JP3611797B2 - 真空チャックを搭載したマニピュレータ及び部品組立方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空チャックを搭載したマニピュレータ及び部品組立方法に係り、特にマイクロポンプなどのマイクロマシンや時計などのミニチュアマシンの組立などに用いる超小型の真空チャックを搭載したマニピュレータ及び部品組立方法に好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
時計やマルチメディア家電製品等の精密小型機械(ミニチュアマシン)の組立工場では、マニピュレータ(ロボットを含む)が真空チャックを持ち、部品を吸着・把持して搬送、組立を行っている。また、Siマイクロマシニング技術を用いて製作されるマイクロポンプなどのマイクロマシンの製作においても、複数のデバイスを統合するシステム製作のために組立作業が必要である。
【0003】
ミニチュアマシンあるいはマイクロマシンの組立のために有効な把持デバイスとして、1994年度日本機械学会講演論文集(IV)488頁に記載の真空チャック(従来技術1)がある。また、1996年度日本機械学会講演論文集(IV)468頁には数μm程度のごく微小な素材を把持するマイクログリッパ(従来技術2)の研究が報告されている。また、Proceedings of IEEE−MEMS97の72頁には、直径数10μmの部品を把持する静電駆動マイクログリッパ(従来技術3)がマイクロ部品の把持デバイスとして報告されている。さらに、特開平8−229750号公報(従来技術4)及び特開平9−267279号公報(従来技術5)には、マニピュレータとの間に微動機構を具備した把持用ツールの例が記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ミニチュアマシンあるいはマイクロマシンの構成部品は、概略数μmから数mm程度の寸法を有する。それを高精度かつ自由な姿勢でハンドリングするためには、機構全体が組立用マニピュレータ本体の先端部に搭載可能で、配管や配線がマニピュレータの位置制御の障害にならないような超小型の把持デバイスが必要となる。
【0005】
しかしながら、前述した従来技術1の真空チャックや従来技術2の数μm程度のごく微小な素材を把持するマイクログリッパでは、いかに微小な部品が把持できるかに主眼点が置かれ、把持デバイス自身の寸法をマイクロ化することは考慮されておらず、精密で複雑な作業を要するミニチュアマシンあるいはマイクロマシンの組立用マニピュレータ本体の先端部に搭載するには適していない。また、従来技術3の静電駆動マイクログリッパでは、把持力が15nN (1.5μgf)と、いずれもミニチュアマシンの組立に適用するには力不足である。そして、いずれの把持デバイスにおいても、把持した部品の姿勢を精密に維持制御することについては考慮されておらず、吸着の際に部品の姿勢が著しく変化する可能性がある。
【0006】
さらに、従来技術4、5では、組立時の反力検出器がなく、直線的に変位する微動機構のみ具備しているので、組立動作における微調整の自由度に限界があり、組立の成否が粗動用マニピュレータの位置決め精度に大きく依存する可能性がある。
【0007】
本発明の目的は、組立の際のマニピュレータ本体への負荷を軽減して自由な姿勢での組立作業を容易に行うことができると共に位置決め精度を向上することができ、しかも、微小な部品同士の組立を容易に行うことができる真空チャックを搭載したマニピュレータ及び部品組立方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の特徴は、組立部品を把持する真空チャックを先端部に搭載して移動する真空チャックを搭載するマニピュレータにおいて、上記真空チャックは、超小型の真空ポンプと、上記真空ポンプを駆動する駆動用モータと、上記真空ポンプの正転・逆転で生ずる減圧・陽圧雰囲気により組立部品を吸着・脱離する部品吸着機構と、把持する組立部品からの反力を検出する反力検出器と、上記部品吸着機構を微動させる相対位置微動機構とを有しており、上記マニピュレータ本体の先端部位置と上記真空チャックで把持される組立部品との相対位置が組立方向に対して直角な平面内での上記マニピュレータ本体の位置決め精度よりも小さい直径で円軌道運動するように上記相対位置微動機構を構成すると共に、組立部品を組立対象部品に組立てる際に受ける反力を上記反力検出器で検出し、この検出結果に基づいて組立完了を判定して組立部品を上記部品吸着機構より脱離するように構成したことにある。
【0009】
そして、減圧及び陽圧雰囲気の発生機構としてスクロールポンプや歯車ポンプ等のモータ回転駆動型真空ポンプを用いて、精密組立用マニピュレータ本体の先端に搭載できるような超小型機構としている。
【0010】
また、部品組立での嵌合を容易にするため、吸着部品の相対位置微動機構として、駆動源であるモータを真空ポンプと兼用して、真空チャック連結側に対し反対側の回転出力軸12aに連結された偏心旋回機構、あるいは、真空ポンプと部品吸着機構との間に電歪アクチュエータを設置することにより、マニピュレータ本体の位置決め精度よりも小さい直径で、嵌合組立方向に対し垂直な平面内で円軌道運動させるようにしている。そして、真空ポンプの駆動回転方向を交互に正・反転させ、部品の吸着と脱離を繰り返す方法により、マニピュレータ本体の先端位置に対する部品の相対位置をマニピュレータ本体の位置決め精度よりも十分小さい変位量だけ変化させるようにしている。
【0011】
さらに、真空ポンプと部品吸着機構との間に圧力変動を抑制するバッファタンクを設置することにより、部品吸着の後に真空ポンプを停止しても減圧雰囲気から大気圧に戻る時間が長くなるようにしている。
【0012】
また、部品を脱離させる時は、ポンプの駆動回転方向を逆転させることにより、大気圧より少し圧力の高い陽圧雰囲気を発生させ、部品を強制的に放すように制御するようにしている。
【0013】
部品吸着機構の形状を、最先端構造をノズル構造、あるいはそれと軟らかい吸盤との組合せにすることにより、多種類の形状を有する部品が吸着できるようにすると共に、把持した部品の姿勢・位置を精密に維持制御できるようにしている。
【0014】
さらに、組立部品を把持し別の部品に組立てる際に、把持した部品と相手の部品との相対位置を、マニピュレータの位置決め精度よりも十分小さい直径で、嵌合組立方向に対し直角な平面内で円軌道運動させる工程と、把持した部品が相手の部品と接触する際に受ける反力を測定する工程とを、同時あるいは交互に繰り返して実施することにより、部品組立での嵌合を容易にできるようにしている。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図を参照して説明する。なお、各図における同一符号は同一物または相当物を示す。
【0016】
まず、本発明の第1の実施例を図1から図15を参照して説明する。
【0017】
最初に、本発明の真空チャックを搭載するマニピュレータ(以下マニピュレータと呼ぶ)100の全体構成を図1を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施例を示す真空チャックを搭載するマニピュレータの構成図である。
【0018】
マニピュレータ100は、組立部品4を把持して組立対象部品5に組立てるための超小型の真空チャック1と、この真空チャック1を所定位置に移動するためのマニピュレータ本体2と、真空チャック1及びマニピュレータ本体2の駆動を制御するための制御電源3とから構成されている。真空チャック1は、マニピュレータ本体2の先端部分に搭載されると共に、分離して静止位置に置かれた制御電源3と電気配線17を介して接続されている。組立部品4及び組立対象部品5は、マイクロポンプ等のマイクロマシンや時計等のミニチュアマシンを構成する部品である。
【0019】
上述した真空チャック1は、真空ポンプ11、その駆動用モータ12、配管13、電気配線17、部品吸着機構14、相対位置微動機構15、及び反力検出器16からなり、これらが一体的に構成されている。そして、真空ポンプ11は、駆動用モータ12により駆動され、配管13を介して部品吸着機14から吸気するものである。また、相対位置微動機構15は、真空チャック1の微動を行うものであり、駆動用モータ12のマニピュレータ本体2側に設置されている。さらには、反力検出器16は、真空チャック1が組立部品4を把持したか、あるいは組立部品4が組立対象部品5に嵌合されたかを検出するためのものであり、真空ポンプ11の部品吸着機構14側に設置されている。
【0020】
マニピュレータ100は、真空チャック1及びマニピュレータ本体2を制御電源3により制御することにより、組立部品4を把持して移動し、別の位置に置かれた組立対象部品5に組立部品4を組み付ける作業を行う。ここで、真空チャック1は、真空ポンプ11から部品吸着機構14を一体的に構成してマニピュレータ本体2の先端部に搭載したことにより、静止位置にある制御電源3には電気配線17だけが接続されるようになり、マニピュレータ100の動作に対する障害が軽減される。その結果、組立部品4の把持姿勢及びマニピュレータ100の動きを自由に選べるようになり、多自由度の組立作業が可能になる。
【0021】
次に、真空チャック1の詳細を図2及び図3を参照して説明する。図2は図1の真空チャックを搭載するマニピュレータに用いる真空チャックの断面図、図3は図2のA−A断面図である。
【0022】
真空チャック1は、スクロール型真空ポンプ11と、その駆動用モータ12とを中央に備えている。そして、真空ポンプ11は一側に真空ポンプ11の吸入口116にバッファタンク(圧力容器)117を介して配管13及び部品吸着機構14を接続している。このようにバッファタンク117を介することにより、組立部品4を吸着した状態で真空ポンプ11の駆動を停止しても、減圧雰囲気から大気圧に戻る時間が長くなり、組立部品4の把持を維持して組立対象部品5への組立を完了することができると共に、部品搬送中の機械的振動及び発熱が低減されてマニピュレータ100の位置決め精度が向上し、さらに、組立部品4への熱影響が少なくなり、消費電力を低く抑えることができる。
【0023】
また、真空チャック1は、駆動用モータ12の回転軸12aをマニピュレータ本体2側にも突出しており、これに相対位置微動機構15を接続している。この相対位置微動機構15は、マニピュレータ本体2の先端部にも固定されており、これにより真空チャック1がマニピュレータ本体2の先端部に搭載されることになる。相対位置微動機構15は、偏心旋回機構151と、駆動用モータ12への取付け部材152と、マニピュレータ本体2への取付け部材153とから構成されている。偏心旋回機構151は、駆動用モータ12の回転軸12aの駆動により偏心回転する回転軸151aと、この回転軸151aにより偏心回転するディスク部材151bと、このディスク部材151bと取付け部材152、153との間に設けられたボール151cとからなっている。この相対位置微動機構15により、マニピュレータ本体2の先端位置に対する組立部品4の相対位置をマニピュレータ本体の2の位置決め精度よりも十分小さい変位量だけ微動できるようになり、組立対象部品5への組立・嵌合の際の調整が非常に容易になる。
【0024】
真空ポンプ11は上述したようにスクロール型ポンプを用いている。スクロール型ポンプは、部品点数が少なく、組立構造も非常に単純であるため、マイクロ化するのに適している。すなわち、マイクロ化が最も必要とする真空ポンプ11をマイクロ化することにより、真空チャック1の全体のマイクロ化を図ることが可能になる。
【0025】
スクロール型真空ポンプ11は、固定側と旋回側の1組のインボリュート曲線からなる固定スクロール111、旋回スクロール112、シャフト113、ケーシング114、軸受115である。シャフト113は、ケーシング114に軸受115を介して支持されると共に、駆動用モータ12の回転軸12aに対して偏心した軸部で軸受115を介して旋回スクロール112と連結している。この旋回スクロール112は、固定スクロール111と組み合わさって旋回運動を行うように構成されている。
【0026】
この構造において、駆動用モータ12でシャフト113を回転させることにより、旋回スクロール112が公転運動し、固定スクロール111との間に形成されるわずかなギャップを有する密閉空間が、吸入口116から吐出口118に向かって漸次絞られるように作用し、その結果として、密閉空間内の流体が送給され、ポンプ作用が起こる。
【0027】
固定スクロール111及び旋回スクロール112のスクロール形状の基礎になるインボリュート曲線は極座標表示により次式で決定した。
【0028】
ここで、Aは基礎円半径で本実施例では0.175mm、tはスクロールの厚さで0.25mmとした。さらに、スクロールの高さは1.5mmとした。したがって、スクロール断面のアスペクト比は6である。また、スクロール1回転当たりの理論排気量を約4μlに設定した。
【0029】
既に普及している通常寸法のスクロール型ポンプでは、旋回スクロールの自転を防止するために、オルダムリングが用いられるが、この実施例では、超小型の構造を実現するために、図3で明らかなように、旋回スクロール112及びケーシング114の両方にそれぞれ3個所の円形案内溝119を設け、その中にそれぞれ鋼球1191を入れ、旋回スクロール112が自転するのを防止するようにしている。なお、鋼球1191の代わりに中実円筒部材であってもよい。
【0030】
次に、自転防止機構の変形例を図4及び図5を参照して説明する。図4は図3の変形例1を示す図、図5は図3の変形例2を示す図である。
【0031】
図4に示す自転防止機構は案内溝119及び鋼球1191が4個のものであり、図5に示す自転防止機構は案内溝119及び鋼球1191が8個のものである。自転防止機構の案内溝119の数は平面を規定するために最低限3個必要であり、その場合は旋回スクロール112とケーシング114の間の摩擦力を低く抑えることができる。それに対し、案内溝119の数が多い場合は、駆動用モータ軸12aへのモーメント負荷が少なくなり、案内溝119と旋回スクロール側軸受115の摩耗が軽減される。ただし、案内溝119の数が多い場合は、摩擦力が増加するとともに、案内溝119の深さのばらつきにより鋼球1191との隙間が大きな振動が大きくなり易い。
【0032】
真空ポンプ11の構造材料としては、固定スクロール111には重量を軽くしてマニピュレータ本体2へ搭載を容易にするためにアルミニウム材料を用い、旋回スクロール112には鋼球1191による摩耗量を低減するために鋳鉄材料を用いている。また、固定スクロール111及び旋回スクロール112の全体構造の加工には精密旋盤及びフライス盤を用い、スクロール部の加工にはNCエンドミルを用いて加工している。そして、使用するエンドミル工具の直径は0.6mmで、0.8mm間隔のスクロール部を一筆書きの軌跡でミリング加工している。これらの部品の組立は、M1ボルトと接着剤を用いて行ったものである。なお、用途によっては、この組合せの材質に限定されるものではなく、例えばアルミニウム同士、鋳鉄同士、樹脂との組合せ等を選定してもよい。
次に、スクロール型真空ポンプ11における排気速度の駆動回転数依存性を図6を参照して説明する。図6は図1に用いるスクロール型真空ポンプにおける排気速度の特性図である。なお、真空ポンプ11の駆動用モータ12としては、直径10mm、長さ約20mmの最大出力1.2Wのモータを用いている。
【0033】
真空ポンプ11は、図6にて明らかなように、駆動用モータ11の動作電圧すなわち回転数の範囲内で、単調増加する排気速度が得られる。その最大値は約70ml/minであり、その時の駆動回転数は約20000rpmであることから、スクロール1回転当たりの排気量は約3.5μlとなり、理論排気量に対する容積効率は0.9である。
【0034】
次に、回転式ポンプである真空ポンプ11の変形例を図7及び図8を参照して説明する。図7は図2の真空ポンプの変形例1の断面図、図8は図2の真空ポンプの変形例2の断面図である。
【0035】
図7に示す真空ポンプ11は歯車型ポンプであり、図8に示す真空ポンプ11はベーン型ポンプである。これらのポンプ11は、複数の閉じた空間を形成して細い矢印に示すように回転させることにより、各空間の容積を各々増減させ、太い矢印に示すように連続的に吸排気を行うポンプである。これらのうちの歯車型ポンプ11は、歯車間の気体の漏れが大きく、効率が低くなるが、超小型ポンプとして使用が可能である。また、ベーン型ポンプ11は、気体の漏れを少なくするためにロータの一部に移動可能なベーンが多数挿入された複雑な構造を有しているが、超小型ポンプとして使用可能である。
【0036】
次に、部品吸着機構14の詳細を図9及び図10を参照して説明する。図9は図1の部品吸着機構の断面図、図10は図9のB−B断面図である。
【0037】
部品吸着機構14は、組立部品4を吸着・把持して組立対象部品5に嵌合した後に組立部品4を離脱するものであり、ノズル141と吸盤144との組合せで構成されている。なお、ノズル141または吸盤144単独で部品吸着機構14を構成することも可能である。
【0038】
ノズル141は、第1円筒部材141a及び第2円筒部材141bを上下に固定して構成されており、上下に貫通する吸い込み穴142を形成している。吸い込み穴142は、第1円筒部材141aにおいて、組立部品4側から真空ポンプ11側に向かって内径が漸次減少するテーパ穴部142aと、それに続く一定内径穴部142bと、それに続く拡大穴部142cとを有し、第2円筒部材141bにおいて、それに続く分岐穴部142dを有している。第1円筒部材141bは、配管13に取付けられており、これにより部品吸着機構142は配管13を介して真空ポンプ117に連通されるようになっている。
【0039】
具体的には、テーパ穴部142aの開口径は概ね組立部品4の軸部4a外径の2倍にマニピュレータ本体2の位置決め精度を加えた値に設定する。例えば、組立部品4の外径が100μmで、マニピュレータ本体2の位置決め精度が50μmであれば、開口径を250μm程度にする。テーパ穴部142aを設けたことにより、マニピュレータ本体2の位置決め誤差によって組立部品4と部品吸着機構14との間に位置ずれが発生しても、組立部品4の軸部4a上端がテーパ穴部142aの開口の範囲内に位置すれば、軸部4aが吸い込み穴142内に挿入され、組立部品4の吸着・把持が可能になる。一定内径の穴部142bの内径は、組立部品4の外径に数μmから10数μm程度加えた値が望ましい。これにより、組立部品4軸部4aがこの穴部14bに挿入された状態で、把持した組立部品4の姿勢位置を精密に維持できる。また、一定内径の穴部142bの深さは極力長い方が、組立部品4の姿勢維持に効果的である。
【0040】
吸盤144は、柔らかく滑らかな表面のゴム状のもので構成され、上部144aがノズル141に装着され、中央部144bが蛇腹状になっていて軸方向の長さが大きく変化でき、下部144cが拡大した形状をしている。このようにしたことにより、組立部品4の寸法の変動に対して効果的に把持できると共に、十分な吸着面積を確保することができる。
【0041】
係る部品吸着機構14においては、組立部品4の軸部4aがテーパ穴部142aに入り、そのテーパ斜面に誘導され一定内径の穴部142bに入ると、ノズル穴142と組立部品4との間の空気流による圧力損失で、組立部品4前後に圧力差が発生し、組立部品4の軸部4aがノズル141の奥部(図9の上方)に吸引される。組立部品4が軸状の形状の場合は、このノズル141だけで吸着・把持が起こる。組立部品4が図7に示すような軸付き平板の場合は、平板部4bの表面が吸盤144に接触・吸引され吸着・把持が起こる。そして、いずれの場合もノズル141により、部品の位置及び姿勢が高精度に保たれる。組立部品4が軸のない板やブロックのような場合は、吸盤144のみによる吸着が起こる。この場合は、部品の形状に拘束されない各種形状の部品の把持が可能である。
【0042】
以上のように、部品吸着機構14をノズル141と軟らかい吸盤144との組合せにすることにより、多種類の形状を有する部品が吸着できるようになり、また、それと同時に把持した部品の姿勢・位置を精密に維持することができる。
【0043】
ここで、部品吸着機構14としてノズル141のみを用いた場合の吸着力について図11を参照して説明する。図11は図9の部品吸着機構のノズルのみにおける吸着力の特性図である。なお、この吸着力特性は、微小歯車の組立部品4を吸着させ、その時に要する駆動用モータへの印加電圧に対する吸着力を測定したものである。
【0044】
ノズルのみの部品吸着機構14は、図11で明らかなように、モータ印加電圧に対して比例した吸着力を得ることができる。そして、この実施例では、モータへの入力電圧を調節して3.4V以上にすることにより、吸着力0.06mN(6mgf)以上を得られることが確認できた。
【0045】
また、部品吸着機構14として軟質吸盤144のみを用いた場合の吸着力の測定結果について述べる。直径7mmのゴム製吸盤144のみを用いた部品吸着機構14による吸着力は、駆動回転数約10000rpm以上において、最大約0.7N(70gf)以上を得られることが確認できた。
【0046】
次に、部品吸着機構14の変形例を図12及び図13を参照して説明する。図12は図9の部品吸着機構の変形例を示す断面図、図13は図12のC−C断面図である。
【0047】
この部品吸着機構14では、ノズル141内部に複数の中子145が設置されている。この変形例では4個の中子を示したが、少なくとも2個以上の中子であればよい。本構造において、組立部品4が部品吸着機構14に入ると、中子145と一緒に吸引される。ここで、中子145を追加したことにより、軸状部品の外径が異なる場合でも、中子145とノズル141との隙間値範囲内で同様な把持力が得られるという効果が発揮される。
【0048】
次に、上述したマニピュレータ100の動作について図14及び図15を参照して説明する。
【0049】
マニピュレータ100による位置決めから組立部品4の把持までの動作を図14を参照して説明する。図14は図1の真空チャックを搭載するマニピュレータによる位置決めから組立部品の把持までの動作フローチャート図である。
【0050】
図14において、マニピュレータ本体2の位置決めは公知のティーチングプレイバック方式を採用している。すなわち、まず手動で所望の位置までマニピュレータ本体2を移動させ(ステップ201)、その場所の三次元位置座標を記憶させ、シーケンス実行時にはその座標をめがけて位置決めする方式である。座標系は部品嵌合方向をZ軸、それに直角な平面をX−Y平面と定義する。部品吸着位置のX−Y座標があらかじめ記憶した値に一致したところで(ステップ202)、チャック指示信号を発信する(ステップ203)。
【0051】
この信号を受信すると(ステップ204)、真空ポンプを正方向に回転駆動して減圧雰囲気を発生させながら(ステップ205)、マニピュレータ本体2を徐々に下降していき(ステップ206)、真空チャック1により組立部品4を吸着する。組立部品4が部品吸着機構14の終点に突き当たったかどうかは、真空チャック1に設置された反力検出器16で検出し(ステップ207)、マニピュレータ本体2の降下を停止させる(ステップ208)。そして、設定時間が経過したら(ステップ209)、チャック完了信号を発信する(ステップ210)。
【0052】
この信号を受信すると(ステップ211)、真空ポンプ11を停止させる(ステップ212)。ここで、バッファタンク117の設置により減圧雰囲気が維持され、真空ポンプ11を駆動しないでも組立部品4の吸着が続行される。そして、マニピュレータ本体2を低速度で上昇させ(ステップ213)、設定したXY座標かを確認し(ステップ214)、マニピュレータ本体2の上昇を停止する(ステップ215)。
【0053】
係る実施例のシーケンスにおいては、真空ポンプ11のON、OFFのタイミング及び反力検出に特徴がある。本実施例では、ティーチングプレイバックによる位置決め方式を採用したが、マニピュレータの動きを観察しながら、人為的に制御するいわゆるマスタスレーブ方式や両者の組合せも効果的である。
【0054】
マニピュレータ100による組立部品の把持から離脱までの動作を図15を参照して説明する。図15は図1の真空チャックを搭載するマニピュレータによる組立部品の把持から離脱までの動作フローチャート図である。
【0055】
図15において、真空チャック1により組立部品4を吸着した状態(真空ポンプはOFFのままでよい)で、組立対象部品5の嵌合位置までマニピュレータ本体2により移動させる(ステップ221)。組立部品4を組立対象部品5に嵌合するに際しては、組立部品4の先端のX−Y座標があらかじめ記憶した嵌合位置まで移動したところで(ステップ222)、真空チャック1の駆動用モータ12を正転駆動する。これにより真空ポンプ11が正転運転すると共に(ステップ223)、駆動用モータ12の回転軸12aに接続された偏心旋回機構151が作動して真空チャック1がマニピュレータ本体2に対して円軌道を描くよう運動する(ステップ224)。これに伴って組立部品4も円軌道を描くように運動する。
【0056】
そして、マニピュレータ本体2の動作により、組立部品4が円軌道を描くように運動させながら徐々に下降していく(ステップ225)。組立部品4が組立対象部品5に嵌合したかどうかは、嵌合位置で組立部品4が組立対象部品5から受ける反力を検出しながら下降させ、その反力が小さくなったところを嵌合したとして認識させる(ステップ226)。嵌合したと認識した場合には、駆動用モータ12の駆動を停止して組立部品4の円軌道運動を停止すると共に(ステップ227)、マニピュレータ本体2の下降を停止し(ステップ228)、リリース停止信号を発信する(ステップ229)。
【0057】
このリリース指示信号を検出すると(ステップ230)、真空チャック1の駆動用モータ12を逆転起動する。これにより真空チャック1の真空ポンプ11が逆転運転し(ステップ231)、陽圧雰囲気を形成させながらマニピュレータ本体2で真空チャック1を退避させ(ステップ232)、組立部品4を真空チャック1から脱離する。退避させたマニピュレータ本体2が設定したXY座標かを確認し(ステップ233)、マニピュレータ本体2の上昇を停止する(ステップ234)。そして、真空ポンプ11の運転を停止し(ステップ235)、リリース完了信号を発信する(ステップ236)。
【0058】
このリリース完了信号を受信すると(ステップ237)、マニピュレータ本体2は原点に復帰するように動作する(ステップ238)。
【0059】
本実施例では、円軌道運動と反力検出により部品を嵌合すること、真空ポンプ11の逆回転による陽圧雰囲気を利用して組立部品4を脱離することに特徴がある。なお、上述した嵌合と脱離を完全に分けるようなことをしないで、真空ポンプ11を正逆交互に駆動し、反力を検出しながら下降させて、脱離・吸着を交互に繰り返しながら嵌合してもよい。
【0060】
以上の動作シーケンスにより、位置決め・嵌合の際、マニピュレータの位置決め精度の限界により、X−Y平面内でランダムな方向に位置ずれが発生しても、組立反力をモニタしながら円軌道運動で微調整するので、位置ずれ方向と無関係に直線的に微動させる方法よりも容易に嵌合適性位置を見出すことができる。その結果として、真空チャックによる部品の高精度な吸着・把持、マニピュレータによる搬送・位置決め、嵌合・脱離が行われ、全体として、高精度な微小部品の組立作業が実現される。
【0061】
次に、本発明の第2の実施例を図16及び図17を参照して説明する。図16は本発明の第2の実施例を示す真空チャックを搭載するマニピュレータの真空チャックの断面図、図17は図16のD−D断面図である。
【0062】
本実施例と第1の実施例との違いは相対位置微動機構15の位置と構造である。すなわち、本実施例では、真空ポンプ11のバッファタンク117と部品吸着機構14の間に相対位置微動機構15が位置し、部品吸着機構14につながる柔軟性に富む配管13を側方から挟み込むように電歪アクチュエータ152を設置している。本実施例の構造により、部品吸着機構14の位置をマニピュレータ本体2の位置決め精度に比べて十分微小な変位量だけ変化させることができる。さらに、2個の電歪アクチュエータ152を互いに位相の90度ずれた交流電圧で励振することにより、部品吸着機構14の位置を円軌道あるいは楕円軌道軌道を描くように相対運動させることができる。本構造の相対位置微動機構15を採用することにより、小型の構造で、組立部品4の組立対象部品5への組立・嵌合の際、組立が非常に容易になる。さらに、本実施例では、第1の実施例の構造に比べて、微動させる部材の寸法が小さく、重量が非常に軽くなるので、マニピュレータに対する振動負荷が軽くなり、その結果として位置決め精度を向上することができる。
【0063】
本実施例においては、スクロールポンプ11を用いて、精密組立用マニピュレータ本体2の先端に搭載できるようにし、組立の際のマニピュレータ本体2への負荷が軽減され、自由な姿勢での組立作業が容易になり、位置決め精度を向上することができる。また、吸着部品の相対位置微動機構15の採用により嵌合を非常に容易に行うことができる。また、圧力変動を抑制するバッファタンク117の採用により部品把持の際に真空ポンプ11を停止したのち減圧雰囲気から大気圧に戻る時間が長くなるようにして、振動と発熱を抑制し、部品の位置決め精度を向上することができる。さらに、部品吸着機構14の最先端構造をノズル141構造、あるいはそれと軟らかい吸盤144との組合せにすることにより、多種類の形状を有する部品が吸着できる。また、嵌合の際の反力をモニタしながら、把持した部品の相対位置を円軌道運動させ微調整することにより、微小な部品同士の組立が容易にできる。
【0064】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、組立の際のマニピュレータ本体への負荷を軽減して自由な姿勢での組立作業を容易に行うことができると共に位置決め精度を向上することができ、しかも、微小な部品同士の組立を容易に行うことができる真空チャックを搭載したマニピュレータ及び部品組立方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す真空チャックを搭載するマニピュレータの構成図である。
【図2】図1の真空チャックを搭載するマニピュレータに用いる真空チャックの断面図である。
【図3】図2のA−A断面図である。
【図4】図3の変形例1を示す図である。
【図5】図3の変形例2を示す図である。
【図6】図1に用いるスクロール型真空ポンプにおける排気速度の特性図である。
【図7】図2の真空ポンプの変形例1の断面図である。
【図8】図2の真空ポンプの変形例2の断面図である。
【図9】図1の部品吸着機構の断面図である。
【図10】図9のB−B断面図である。
【図11】図9の部品吸着機構のノズルのみにおける吸着力の特性図である。
【図12】図9の部品吸着機構の変形例を示す断面図である。
【図13】図12のC−C断面図である。
【図14】図1の真空チャックを搭載するマニピュレータによる位置決めから組立部品の把持までの動作フローチャート図である。
【図15】図1の真空チャックを搭載するマニピュレータによる組立部品の把持から離脱までの動作フローチャート図である。
【図16】本発明の第2の実施例を示す真空チャックを搭載するマニピュレータの真空チャックの断面図である。
【図17】図16のD−D断面図である。
【符号の説明】
1…真空チャック、2…マニピュレータ本体、3…制御電源、4…組立部品、5…組立対象部品、11…真空ポンプ、12…駆動用モータ、13…配管、14…部品吸着機構、15…相対位置微動機構、16…反力検出器、17…電気配線、100…マニピュレータ、111…固定スクロール、112…旋回スクロール、113…シャフト、114…ケーシング、115…軸受、116…吸入口、117…バッファタンク、118…吐出口、119…案内溝、141…ノズル、141a…第1円筒部材、141b…第2円筒部材、142…吸い込み穴、144…吸盤、145…中子、151…偏心旋回機構、152…電歪アクチュエータ。
Claims (2)
- 組立部品を把持する真空チャックを先端部に搭載して移動する真空チャックを搭載するマニピュレータにおいて、上記真空チャックは、超小型の真空ポンプと、上記真空ポンプを駆動する駆動用モータと、上記真空ポンプの正転・逆転で生ずる減圧・陽圧雰囲気により組立部品を吸着・脱離する部品吸着機構と、把持する組立部品からの反力を検出する反力検出器と、上記部品吸着機構を微動させる相対位置微動機構とを有しており、上記マニピュレータ本体の先端部位置と上記真空チャックで把持される組立部品との相対位置が組立方向に対して直角な平面内での上記マニピュレータ本体の位置決め精度よりも小さい直径で円軌道運動するように上記相対位置微動機構を構成すると共に、組立部品を組立対象部品に組立てる際に受ける反力を上記反力検出器で検出し、この検出結果に基づいて組立完了を判定して組立部品を上記部品吸着機構より脱離するように構成し、上記相対位置微動機構は、上記真空ポンプの上記駆動用モータを兼用して駆動され、真空ポンプ設置側に対し反対側のモータ回転出力軸に連結された偏心旋回機構を備えていることを特徴とする真空チャックを搭載するマニピュレータ。
- 真空ポンプで発生する減圧及び陽圧雰囲気を利用して組立部品を吸着・脱離することにより組立対象部品の所定位置に前記組立部品を嵌合して組立てる真空チャックと、上記真空チャックをその先端に搭載するマニピュレータ本体とを備えたマニピュレータを用いて部品を組立てる部品組立方法において、組立部品を組立対象部品に組立てる際に、上記マニピュレータ本体で位置決めする工程と、把持した組立部品が組立対象部品と接触する際に受ける反力を測定する工程と、相対位置微動機構により上記真空チャックで把持された組立部品の相対位置が嵌合組立方向に対し直角な平面内で上記マニピュレータ本体の位置決め精度よりも小さい直径で円軌道運動させる工程とを有し、上記真空ポンプの駆動回転方向を交互に正・反転させて組立部品の吸着と脱離を繰り返すことにより、組立部品と組立対象部品の相対位置をマニピュレータ本体の位置決め精度よりも小さい変位量で相対運動させて組立部品を組立対象部品に嵌合することを特徴とする部品組立方法。
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