JP3608897B2 - マグネトロンの駆動電源 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波供給源となるマグネトロンの駆動電源に関する。
【0002】
【従来の技術】
マグネトロンの基本構造を図3に示す。陽極シリンダー1の内面には、中心に向かって複数の陽極ベイン2が放射状に形成され、陽極シリンダー1の中心にはヒータ(陰極)3が配設されている。陽極ベイン2は、陽極シリンダー1にろう付け等で固定されているか、または押出し成形等により一体形成されている。陽極シリンダー1の上下には磁極4が設けられ、磁極4の外側には円筒状の永久磁石5が設置されている。永久磁石5の磁束を通すように、ヨーク6、7が配設されている。即ち、ヨーク6、7、永久磁石5及び磁極4により磁気回路が構成されている。
【0003】
そこで、永久磁石5からの磁束は、磁極4を通ってヒータ3と陽極ベイン2間で形成される作用空間に対し、上下方向に必要な直流磁界を与える。高電位となっているヒータ3から放出された電子は、電界及び直流磁界の影響を受けて円運動をしながら、各陽極ベイン2先端に高周波電界を形成する。この高周波電界は、アンテナリード8によってアンテナ9に導かれ外部に放出される。アンテナ9はアンテナカバー10によって保護されている。
【0004】
電子を発生させるヒータ3は、電子放射特性及び加工性等を勘案して、一般的に酸化トリウム(ThO2 )を微量含むタングステンが用いられる。ヒータ3の上下を支持する上側エンドシールド15及び下側エンドシールド16は、各々陰極リード17、18によって支持され、2本の陰極リード17、18は、入力側セラミック19によって支持されている。陰極リード17、18は、陰極端子20と共に入力側セラミック19に真空気密を保つように銀ろう付けされている。
【0005】
陰極端子20は、チョークコイル21と接続され、チョークコイル21は、入力部のケース22を貫通する貫通コンデンサ23と接続され、貫通コンデンサ23は電源と接続される。ここで、チョークコイル21と貫通コンデンサ23は、マグネトロン内部から見た場合、ローパスフィルタを形成することになり、ヒータ3と陽極ベイン2先端の作用空間に発生した低周波数成分の高周波電界が、陰極リード17、18に伝播するのを抑制できる。
【0006】
入力側セラミック19はシール部品24を介して陽極シリンダー1と真空気密を保って係合している。ヨーク6は、金属ガスケット25を介してシール部品26と電気的に接続され、シール部品26は、陽極シリンダー1と同電位となっており、従ってヨーク6は陽極シリンダー1と同電位となっている。
【0007】
このような構造を有するマグネトロン、特に産業加熱等に用いられるマグネトロンの駆動回路のスイッチング電源装置を図4に示す。マグネトロン30は、フィラメントトランス31及び高圧トランス32の二次巻線側に接続される。フィラメントトランス31の二次巻線は、マグネトロン30のヒータ端子に接続され、ヒータ端子間はフィラメントトランス31の二次巻線の3〜5Vのヒータ電圧が印加される。
【0008】
高圧トランス32の二次巻線の一端は、コンデンサ33を介してマグネトロン30のヒータ端子の一端に接続される。高圧トランス32の二次巻線の他端はマグネトロン30の陽極(アース)に接続される。つまり、高圧トランス32の二次巻線は、コンデンサ33を介してヒータ端子の一方に高電圧(−4〜5kvp)が印加する。高圧トランス32の二次巻線とヒータ端子の他方には、マグネトロン30に流れる負荷電流を検出するための負荷電流検出器34が設けられている。
【0009】
そして、マグネトロン30の長寿命化を図るため、ヒータ電圧を印加した3〜4秒後に高電圧が印加されるようにディレー回路を設けている。フィラメントトランス31の一次巻線側には、切替えスイッチSW1が設けられている。切替えスイッチSW1は予熱端子35と動作端子36に切り替えるようになっている。高圧トランス32の一次巻線側には、切替えスイッチSW2が設けられている。
【0010】
そこで、商用電源を投入すると、切替えスイッチSW1はフィラメントトランス31の予熱端子35に接続されている。切替えスイッチSW2は開いた状態となっており、この時点では高圧は発生していない。切替えスイッチSW1及びSW2は、電磁石リレースイッチ37が採用されており、タイマー38の設定により所定の予熱動作後(3〜4秒後)に、切替えスイッチSW1は動作端子36に、切替えスイッチSW2は同時に閉じられ、高電圧が発生する回路構成となっている。即ち、ヒータ電圧を先に印加し、ヒータを加熱して電子放射させてから高圧を印加する方式で、予熱印加方式と言われている。この場合、ヒータ電圧は、予熱時と高圧印加時(動作時:マイクロ波発振時)で異なるようにディレースイッチで切替えを行う。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
マグネトロン30から発生するマイクロ波は、ガス分子をプラズマ化できることから半導体製造におけるエッチング装置や無電極ランプに採用されている。この用途において、マグネトロン30からのマイクロ波は、常に安定供給されることが要求される。つまり、マグネトロン30が動作中にモーディング発生(2450MHz帯以外の周波数帯で発振)すると、所望とするエッチング性能や光スペクトラムの乱れを生じ、製品不良に至る。
【0012】
このモーディングは、マグネトロン寿命末期には必ず発生することから、マグネトロン寿命時間に対し、相当な安全を見た使用時間限度を設定し、新品のマグネトロンと交換することになる。もし、マグネトロンの余寿命をモニターできればマグネトロン個々の寿命時間バラツキに関係なく、そのマグネトロンを最大限に使用することができ、装置メンテナンスに対し有効となる。
【0013】
マグネトロンの寿命時間は、マグネトロン自体の固体差及び使用条件によって大きく異なる。具体的には、数百時間から1万時間位のバラツキを持っている。このような寿命特性を持つマグネトロンをメンテナンスする手段として、例えば1,000時間使用したら交換する。つまり、使用時間を設定し、その時間に達したら交換するのが一般的である。この場合、当然未だ充分な余寿命であっても、そのマグネトロンは処分してしまい、結果的にはメンテナンスコストの増加を招く。
【0014】
本発明の課題は、余寿命を推定でき、マグネトロンを最大限に使用できると共に、装置メンテナンスに対し有効なマグネトロンの駆動電源を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の手段は、マグネトロンにヒータ電圧を印加するフィラメントトランスと、このフィラメントトランスによる加熱後に陽極電圧を供給する高圧トランスとを備えたマグネトロンの駆動電源において、前記フィラメントトランスの二次巻線側又は一次巻線側に、マグネトロンの定格フィラメント電圧を供給する定格フィラメント電圧用端子の他に、前記定格フィラメント電圧の85〜90%のフィラメント電圧を供給する寿命確認用端子を有する切替えスイッチを設けたことを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の一形態を図1及び図2により説明する。なお、図4と同じ又は相当部品には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。図1に示すように、切替えスイッチSW1の動作端子36は、切替えスイッチSW3を介してフィラメントトランス31の一次巻線に接続されている。切替えスイッチSW3は、フィラメントトランス31の一次巻線側から引き出した2個の定格フィラメント電圧用端子40及び寿命確認用端子41に切り替えるようになっている。
【0017】
一方の定格フィラメント電圧用端子40は、定格フィラメント電圧Efを供給する端子であり、通常動作時はこの定格フィラメント電圧用端子40に投入している。他方の寿命確認用端子41は、マグネトロン30の余寿命をモニターするもので、定格フィラメント電圧Efの85〜90%のフィラメント電圧が供給されるようになっている。なお、ここで言う定格フィラメント電圧Efは、マグネトロン30の規格における定格フィラメント電圧値である。
【0018】
図2はマグネトロン30のモーディングフィラメント開始電圧Efmの経時変化を示したものである。マグネトロン30の使用時間に伴い、マグネトロン特性におけるモーディングフィラメント開始電圧Efmは上昇してくる。このEfmは経時的に徐々に上昇し、フィラメントトランス31で設定された定格フィラメント電圧Efに達すると、マグネトロン30は完全に発振停止となる。図中、A点はEfm=Efとなり、マグネトロン30の発振が停止して完全寿命停止点となる。EfmがEfの95%で間欠的なモーディングが発生する。B点は間欠的なモーディングが発生するEfm値でEfmbとする。C点はモーディングが発生したEfm値でEfmcとする。
【0019】
そこで、周期的にマグネトロン30のEfをEfm値で強制的に動作させ、即ち、切替えスイッチSW3を寿命確認用端子41に接続して強制的に動作させ、マグネトロン30のモーディング発生有無を負荷電流検出器34によって確認する。モーディング発生有の場合は、EfmはEfmcまで劣化していることになり、余寿命時間はT時間となる。モーディングが検出されればマグネトロンの交換時期に突入したことを意味する。従って、このT時間内にマグネトロン30を交換する。
【0020】
なお、切替えスイッチSW1及びSW3は、フィラメントトランス31の一次巻線側に設けたが、フィラメントトランス31の二次巻線側の設けてもよい。
【0021】
【発明の効果】
本発明によれば、フィラメントトランスの二次巻線側又は一次巻線側に、マグネトロンの定格フィラメント電圧を供給する定格フィラメント電圧用端子の他に、前記定格フィラメント電圧の85〜90%のフィラメント電圧を供給する寿命確認用端子を有する切替えスイッチを設けたので、余寿命を推定でき、マグネトロンを最大限に使用できると共に、装置メンテナンスに対し有効となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマグネトロンの駆動電源の一実施の形態を示す要部回路図である。
【図2】マグネトロンのモーディングフィラメント開始電圧の経時変化を示す説明図である。
【図3】マグネトロンの断面図である。
【図4】従来のマグネトロンの駆動電源の要部回路図である。
【符号の説明】
30 マグネトロン
31 フィラメントトランス
32 高圧トランス
34 負荷電流検出器
36 動作端子
40 定格フィラメント電圧用端子
41 寿命確認用端子
SW1、SW2、SW3 切替えスイッチ
Ef 定格フィラメント電圧
Efm モーディングフィラメント開始電圧
Claims (2)
- マグネトロンにヒータ電圧を印加するフィラメントトランスと、このフィラメントトランスによる加熱後に陽極電圧を供給する高圧トランスとを備えたマグネトロンの駆動電源において、前記フィラメントトランスの二次巻線側又は一次巻線側に、マグネトロンの定格フィラメント電圧を供給する定格フィラメント電圧用端子の他に、前記定格フィラメント電圧の85〜90%のフィラメント電圧を供給する寿命確認用端子を有する切替えスイッチを設けたことを特徴とするマグネトロンの駆動電源。
- 前記切替えスイッチの切替えでマグネトロンを動作させた時に生じるモーディングを検出できる機能を持つことを特徴とする請求項1記載のマグネトロンの駆動電源。
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