JP3599687B2 - プラズマ処理方法及び装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子の表面加工を行うプラズマ処理方法及び装置に係り、特にシリコン窒化膜のエッチングに好適なプラズマ処理方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子の加工には、プラズマを利用した方法が広く用いられている。従来、シリコン窒化膜をエッチングするプラズマとしては、U.S. Patent5,756,402号明細書に開示されているように、フッ素元素を含むガスを主成分として、水素元素を含むガスおよび酸素元素を含むガスを混合したガスのプラズマが利用されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体素子の高集積化に伴い、微細化が必要となっている。このため、MOS(Metal Oxide Semiconductor)素子のゲートチャネル長に影響するLDD(Lightly Doped Drain、以下「LDD」と略す) SPACERエッチングの寸法精度が重要となっている。また、近年では、半導体素子の高集積化に伴って、SAC(Self Alignment Contact)技術を適用するために、このLDD SPACERをシリコン窒化膜で形成する方法が用いられている。従って、LDD SPACERエッチングの際には、異方性に寸法精度よく、且つ下地であるシリコン酸化膜と選択性の高いエッチング技術が要求される。
【0004】
従来技術であるフッ素元素を含むガスを主成分として前記シリコン窒化膜をエッチングした場合の試料の断面を図8に示す。初期状態は図1(a)に示すように半導体基板101上にシリコン酸化膜でなるゲート酸化膜102,多結晶シリコンでなるゲート電極104,ゲート電極104のマスク106,シリコン酸化膜でなるゲート被覆絶縁膜103を形成後、その上にシリコン窒化膜105が形成されている。フッ素元素を含むガスをエッチングガスとして用いた場合には、シリコン窒化膜のシリコン酸化膜に対する選択比を大きくすることはできるが、図8に示すように等方性が強くなり、シリコン窒化膜105にサイドエッチングが発生し、ゲート電極104側面のシリコン窒化膜がやせ細り、寸法加工精度が悪くなる。
【0005】
本発明の目的は、これらの課題を解決し、下地シリコン酸化膜との選択比を大きくするとともにシリコン窒化膜の寸法加工精度を向上させることのできるプラズマ処理方法及び装置を提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の1つの態様においては、フッ素元素を含まない塩素ガスのようなハロゲン化元素でエッチングすることによりシリコン窒化膜の等方的なエッチングを防止し、シリコン酸化膜のエッチング速度を抑制するためにアルミニウムを混合したプラズマで処理する。
【0007】
即ち、本発明の1態様は、真空容器と、真空容器内にプラズマを発生させる手段と、プラズマにより表面加工される試料を設置する試料台と、試料台に高周波バイアス電圧を印加するための電源を含むプラズマ処理装置を用い、真空容器内でハロゲン元素を含むガスとアルミニウムの混合雰囲気をプラズマ化し、生成されたプラズマを用いて試料の半導体基板上に形成されたシリコン酸化膜上のシリコン窒化膜をエッチングするプラズマ処理方法を提供する。
【0008】
本発明の別の態様では、プラズマ処理装置にシリコンを設け、ハロゲン元素を含むガスとアルミニウムとシリコンとの混合雰囲気をプラズマ化するプラズマ処理方法が提供される。
【0009】
本発明の別の態様では、前記ハロゲン元素を含むガスは、少なくとも塩素または臭素またはヨウ素元素を含むプラズマ処理方法が提供される。
【0010】
本発明の別の態様では、プラズマを発生させるガスの処理圧力は、0.5Pa 以上100Pa(パスカル)以下であるプラズマ処理方法が提供される。
【0011】
本発明の別の態様では、高周波バイアス電圧は連続的もしくは周期的にオン,オフしてプラズマ処理するプラズマ処理方法が提供される。
【0012】
本発明の別の態様では、アルミニウムは、真空容器内のプラズマに晒される一部分または全面を、アルミニウムを主成分とする材質で形成され、これらの部分からプラズマ中にアルミニウムが供給されるプラズマ処理方法が提供される。
【0013】
本発明の別の態様では、真空容器は、脱着可能な99%以上の高純度アルミニウムで形成されたパーツを含み、不純物の少ないアルミニウムを前記プラズマ中に供給するプラズマ処理方法が提供される。
【0014】
本発明の別の態様では、真空容器に、アルミニウム元素を含むガスを供給できる別の領域からプラズマ中にアルミニウムを供給するプラズマ処理方法が提供される。
【0015】
本発明の別の態様では、シリコンは、真空容器内のプラズマに晒される一部分が、シリコンを主成分とする材質で形成され、これらの部分からプラズマ中に供給されるプラズマ処理方法が提供される。
【0016】
本発明の別の態様では、真空容器に、シリコン元素を含むガスを供給できる別の領域からプラズマ中にシリコンを供給するプラズマ処理方法が提供される。
【0017】
本発明の別の態様では、アルミニウムを主成分とする材質は、真空容器内のアース電位に設定されるプラズマ処理方法が提供される。
【0018】
本発明の別の態様では、シリコンを主成分とする材質は、真空容器内のアース電位に設定されるプラズマ処理方法が提供される。
【0019】
本発明の他の態様では、真空容器と、真空容器内にプラズマを発生させる手段と、プラズマにより表面加工される試料を設置する電極を構成する試料台と、試料台に高周波バイアス電圧を印加するための電源とを具備し、試料台近傍に設けられアース電極を形成し、フッ素元素を除くハロゲン元素を含むガスとの混合雰囲気のプラズマを生成するアルミニウム部材とを含み、生成されたプラズマにより試料としての基板上に形成されたシリコン酸化膜上のシリコン窒化膜を選択的にエッチング可能としたプラズマ処理装置を提供する。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図1ないし図5により説明する。
図2は、本発明を適用するプラズマ処理装置のプラズマ生成部の詳細を例示した図である。本実施例はプラズマを生成する手段としてUHF波と磁界を利用した例である。UHF波電源201から同軸ケーブル202,アンテナ203と
UHF波透過窓(例えば石英平板)204を介して真空容器210にUHF波が導入される。真空容器210の内周は、石英もしくはアルミナの円筒211で覆い、真空容器210の外周には真空容器210内に磁場を形成するソレノイドコイル205が設置されており、磁場とUHF波の相乗作用を利用して、プラズマ206を発生させる構造となっている。径200mmの試料207は試料台208上に設置され、直流電源213により印加された直流電圧により誘電膜209を介して試料台208に前記試料207を静電吸着している。試料台208には連続的もしくは周期的にオン,オフできる高周波電源212と試料台208温度調整のための冷媒温度コントローラ215が接続されている。また、真空容器210内のプラズマ206に晒される一部分または全面に、アルミニウムを主成分とするリングを配置する。この場合は、プラズマに電位を与えるためのアース電極を兼ね、試料台208の側面外周に対向して純度の高いアルミニウムのリング214が設けられている。
【0021】
上記のエッチング装置を用いて、真空容器210内に塩素ガスを導入し、真空容器210内にプラズマ206を発生させることにより、プラズマ中の塩素ラジカルおよび塩素イオンとアルミニウムのリング214とが反応し、AlxClyの反応生成物となって、プラズマ中にアルミニウム成分が供給される。このとき、リング214をアースにしているので、プラズマとの間にイオンシースができ、プラズマ中のイオンを引き込む作用があるので、プラズマ中の活性種とのさらなる反応を促すことができる。この塩素成分とアルミニウム成分との混合されたプラズマを用いてシリコン窒化膜をエッチングしたところ、シリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比(すなわち、シリコン窒化膜/シリコン酸化膜)を大きくした状態で、シリコン窒化膜の垂直方向の異方性エッチングが可能であることがわかった。
【0022】
図1(a)〜図1(b)は加工形状を調べた例を示す。図1(a)に示す径
200mmの半導体基板101上にゲート酸化膜102,ゲート電極104,マスク106,シリコン酸化膜でなるゲート被覆絶縁膜103を形成後、その上にシリコン窒化膜105が形成されている試料を、塩素ガス50〜500ml/分,処理圧力0.5〜50.0Pa,UHF波の電力は300〜800W、高周波電源212の電力は20〜100Wで前記塩素ガス流量,前記処理圧力,前記高周波電力を適正化して処理すると、図1(b)に示すようにゲート電極104側面のシリコン窒化膜のやせ細りのない(t,t1寸法の差のない、又は差の少ない)異方性の加工ができる。
【0023】
本実施例のように、塩素ガスを真空容器210に導入し、真空容器210内にアルミニウム成分を供給することで、シリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を高くし、シリコン窒化膜をゲート電極側面のシリコン窒化膜のやせ細りなく異方性エッチングが可能となり、シリコン窒化膜の寸法加工精度を向上させることができる。さらに、処理圧力と高周波電力の調整によりシリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を任意で調整できる。
【0024】
図3は、真空容器210内に塩素ガスプラズマを発生させた状態でリング214の有無の状態で、高周波電力を変化させて調べた例を示す。本実施例における塩素ガス流量は170ml/分、処理圧力は3.0Pa 、UHF波の電力は500Wである。図3において、リング214が無い状態のシリコン窒化膜のエッチング速度を曲線3aに示し、シリコン酸化膜のエッチング速度を曲線3bに示す。リング214を設置した状態のシリコン窒化膜のエッチング速度は曲線3c,シリコン酸化膜のエッチング速度を曲線3dに示す。この結果によれば真空容器
210内にアルミニウム成分が供給されるとシリコン窒化膜のエッチング速度比は殆ど変化しないが、シリコン酸化膜のエッチング速度を低下させる効果がある。
【0025】
これは、シリコン窒化膜とアルミニウムの反応性生物との反応による反応生成物よりも、シリコン酸化膜とアルミニウムの反応性生物との反応による反応生成物のほうが蒸発しにくいために、シリコン酸化膜上にアルミニウムを含む反応生成物が付着して保護膜の働きをするためと考えられる。
【0026】
図4(a)は、真空容器210内に塩素ガスプラズマを発生させた状態でリング214の有無の状態で処理圧力を変化させて調べた例を示す。この実施例における塩素ガスは170ml/分、UHF波の電力は500W、高周波電力は70Wである。図4(a)において、リング214が無い状態のシリコン窒化膜のエッチング速度を曲線4a,シリコン酸化膜のエッチング速度を曲線4bに示し、リング214を設置した状態のシリコン窒化膜のエッチング速度は曲線4c,シリコン酸化膜のエッチング速度を曲線4dに示す。図4(a)に示すように、エッチング速度は処理圧力が高くなるにつれてシリコン窒化膜,シリコン酸化膜共にエッチング速度が低下することがわかる。即ち、処理圧力を増減することで反応生成物の堆積量が制御でき、処理圧力を高めることによりシリコン酸化膜上に多くの反応生成物が堆積し、シリコン酸化膜のエッチング速度を低下させることができると考えられる。
【0027】
図4(b)はシリコン窒化膜とシリコン酸化膜との選択比を示し、リング214が無い状態の選択比を曲線4e,リング214を設置した状態の選択比を曲線
4fに示す。この結果によれば、真空容器210内にアルミニウム成分が供給されると、処理圧力0.5Pa 以上でシリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を容易にコントロールできる。
【0028】
図5(a)〜5(b)は、真空容器210内に塩素ガスプラズマを発生させリング214が設置された状態で高周波電力を変化させて調べた例を示す。この実施例における塩素ガスは170ml/分、処理圧力は1.0Pa 、UHF波の電力は500Wである。図5(a)において、シリコン窒化膜のエッチング速度を曲線5aに示し、シリコン酸化膜のエッチング速度を曲線5bに示す。図5(a)に示すように、エッチング速度は高周波電力が低くなるにつれてシリコン窒化膜,シリコン酸化膜共にエッチング速度が低下することがわかる。即ち、高周波電力を増減することで塩素イオンの加速電圧が制御でき、高周波電力を低くくすることにより、シリコン酸化膜上への反応生成物の堆積量が増加し、シリコン酸化膜のエッチング速度をより低下させることができると考えられる。
【0029】
図5(b)は、リング214を設置した状態の選択比を示す。この結果によれば真空容器210内にアルミニウム成分が供給されると、高周波電力を調整することによりシリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を容易にコントロールできる。
【0030】
また、高周波電力を周期的にオン,オフする機構を用い高周波電力のオフ時間を調整することにより、シリコン酸化膜上への反応性生物の堆積量を制御でき、同様な効果が得られると考えられる。
【0031】
なお、本発明は上述した実施例に特定されるものではない。たとえば、上記実施例では真空容器内にアルミニウムを主成分とするリングを設置した状態について説明したが、他の方法、例えばアルミニウム元素を含むガス(Al(CH3)3:トリメチルアルミニウムまたはAl(C2H5)3:トリエチルアルミニウムまたはAl(CH3)2H:ジメチルアルミニウムハイドライド等のアルミニウム化合物ガス)をエッチングガスである塩素ガスとともに真空容器210内に供給する。もしくは、処理室である真空容器210とは異なる別の領域でアルミニウム母材をプラズマまたは熱処理によりガス化し、真空容器210内に供給しても良い。
【0032】
次に、本発明の第2の実施例を図6を参照して説明する。図6は本発明の第2の実施例を実施するためのプラズマ処理装置を示す。本図において図2と同符号は同一部材を示し説明を省略する。本図が図2と異なる点は、アルミニウム製リング214の上部にシリコンを主成分とするリング216を設けた点である。図6に示すように、リング214上にシリコンを主成分とするリング、この場合、シリコンリング216を設置した状態において、シリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を調べた。処理条件は、塩素ガスは170ml/分、処理圧力は3.0Pa 、UHF波の電力は500W、高周波電力は70Wで、リング216が無い状態で選択比は22.0であるのに対し、リング216を設けた場合には選択比を65.9まで向上させることができた。また、本実施例では真空容器内にシリコンを主成分とするリングを設置した状態について説明したが、他の方法、例えばシリコン元素を含むガス(SiCl4:四塩化ケイ素等のシリコン化合物ガス)を真空容器210内に直接に供給する。もしくは、真空容器210とは異なる別の領域でシリコンをプラズマまたは熱処理によりガス化し、真空容器
210内に供給しても良い。
【0033】
次に、本発明の第3の実施例を図7により説明する。本実施例が前記第1の実施例と異なる点は、エッチングガスとして塩素ガスの代わりに臭化水素ガスを用いた点である。図7は、真空容器210内に臭化水素ガスプラズマを発生させリング214の有無における高周波電力と選択比との関係を調べた例を示す。本実施例における臭化水素ガス流量は200ml/分、処理圧力は4.0Pa 、UHF波の電力は500Wである。図7において、リング214が無い状態のシリコン窒化膜とシリコン酸化膜の選択比を曲線7aに示す。リング214を設置した状態のシリコン窒化膜とシリコン酸化膜の選択比を点7bに示す。この結果によれば臭化水素ガスプラズマ中においても、真空容器210内にアルミニウム成分が供給されるとシリコン窒化膜とシリコン酸化膜の選択比を向上させる効果があることが分かった。また、ヨウ素ガスを用いた場合でも、同様な効果が得られると考えられる。
【0034】
以上、これら実施例では、リング214をアースに接続した場合について述べたが、電気的に浮遊させてプラズマに晒すようにしたものでも同様の効果が得られる。
【0035】
また、本発明ECRプラズマ方式の装置のみならず、反応性イオンエッチング,マグネトロンエッチング,誘導結合型プラズマエッチング等の処理装置による処理にも応用可能である。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体基板上に形成したシリコン酸化膜上のシリコン窒化膜の加工において、ハロゲン元素を含むガスとアルミニウムの混合雰囲気をプラズマ化することで、下地のシリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の選択比を大きくできるとともに寸法加工精度の良い優れた加工特性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例によるプラズマ処理方法による加工特性を説明する試料の断面図である。
【図2】本発明の第1の実施例を実施するためのプラズマ処理装置を示す構成図である。
【図3】本発明の効果を説明するための一実施例であって、真空容器内にアルミニウム有無での各膜のエッチング速度と高周波電力の関係を示す図である。
【図4】本発明の効果を説明するための一実施例であって、真空容器内にアルミニウム有無でのシリコン酸化膜のエッチング速度と処理圧力の関係を示す図である。
【図5】本発明の一実施例を説明するための例であって、各膜のエッチング速度と処理圧力との関係を示す図である。
【図6】本発明の第2の実施例を実施するためのプラズマ処理装置を示す構成図である。
【図7】本発明の第3の実施例を説明するものであって、臭化水素ガスプラズマを発生させた状態で真空容器内にアルミニウム有無でのシリコン窒化膜とシリコン酸化膜との選択比の関係を示す図である。
【図8】従来技術のプラズマ処理方法により加工した場合の例である。
【符号の説明】
101…半導体基板、102…ゲート酸化膜、103…ゲート被覆絶縁膜、
104…ゲート電極、105…シリコン窒化膜、106…マスク、201…UHF波電源、202…同軸ケーブル、203…アンテナ、204…UHF波透過窓、205…ソレノイドコイル、206…プラズマ、207…試料、208…試料台、209…誘電膜、210…真空容器、211…円筒、212…高周波電源、
213…直流電源、214,216…リング、215…冷媒温度コントローラ。
Claims (6)
- 真空容器と、該真空容器内にプラズマを発生させる手段と、該プラズマにより表面加工される試料を設置する試料台と、前記試料台に高周波バイアス電圧を印加するための電源を含むプラズマ処理装置を用い、前記プラズマ処理装置にシリコンを設け、前記真空容器内でハロゲン元素を含むガスとアルミニウムとシリコンとの混合雰囲気をプラズマ化し、該生成されたプラズマを用いて前記試料の半導体基板上に形成されたシリコン酸化膜上のシリコン窒化膜をエッチングすることを特徴とするプラズマ処理方法。
- 請求項1記載のプラズマ処理方法において、前記シリコンは、前記真空容器内のプラズマに晒される一部分が、シリコンを主成分とする材質で形成され、これらの部分からプラズマ中に供給されるプラズマ処理方法。
- 請求項2記載のプラズマ処理方法において、前記シリコンを主成分とする材質は、真空容器内のアース電位に設定されるプラズマ処理方法。
- 請求項1記載のプラズマ処理方法において、前記真空容器に、シリコン元素を含むガスを供給できる別の領域からプラズマ中にシリコンを供給するプラズマ処理方法。
- 請求項1ないし4記載のいずれかのプラズマ処理方法において、前記アルミニウムは、前記真空容器内のプラズマに晒される一部分または全面を、アルミニウムを主成分とする材質で形成され、これらの部分からプラズマ中にアルミニウムが供給されるプラズマ処理方法。
- 請求項5記載のプラズマ処理方法において、前記アルミニウムを主成分とする材質は、真空容器内のアース電位に設定されるプラズマ処理方法。
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