JP3595453B2 - 単結晶引上げワイヤの巻上げ機構 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワイヤガイドでガイドされたワイヤを巻上げドラムで巻上げる構成の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ワイヤ巻上げ機構は、単結晶引上装置のルツボの上方に配置されるのが一般的である。単結晶を吊下げたワイヤを、ワイヤガイドを通して巻上げドラムに導き、巻上げドラムで巻上げる構成になっている。ワイヤガイドは、通例、中心軸上に貫通穴を有する筒状の部材である。
【0003】
ワイヤは、ワイヤガイドの上方で、予めワイヤに単結晶インゴットに相当するダミーインゴット等の荷重をかけ、フレーム(21)を所定の回転数で回転させてもダミーインゴット等が揺れない位置にセンタ出しをしておく必要がある。
【0004】
従来のワイヤ巻上げ機構では、次の2つの方法でセンタ出しが行われている。
【0005】
第1の方法は、巻上げドラム全体の位置を調整することにより、ワイヤのセンタ出しを行う方法である。
【0006】
第2の方法は、巻上げドラムの上方にロードセル用ガイド車を設けて、ロードセル用ガイド車からワイヤガイドにワイヤを導き、ロードセル用ガイド車の位置を調整して、ワイヤのセンタ出しを行う方法である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ドラム全体を動かす第1の方法では、荒調整はワイヤに荷重をかけずに行えば良いが、微調整は荷重を受けた状態で行わねばならない。このため、微調整は難しく、熟練を必要としてきた。
【0008】
ロードセル全体を動かす第2の方法でも、微調整は荷重を受けたロードセルを移動させて行うため、第1の方法と同様に熟練を要した。
【0009】
ワイヤのセンタ出しが不十分な場合、単結晶インゴット作製中、インゴットに揺れと曲がりが発生し歩留まり低下となる。
【0010】
このような従来技術の問題点に鑑み、本発明は、ワイヤのセンタ出しの微調整を正確かつ容易に行うことができる単結晶引上げワイヤの巻上げ機構を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決手段の一つは、ワイヤガイド(11)でガイドされた単結晶引上げワイヤ(13)を巻上げドラム(14)で巻上げる構成の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構を改良して、ワイヤ(13)のセンタ出しを行うためのセンタ出し装置(10)を設け、センタ出し装置(10)が少なくとも一方向に移動可能なガイド部材(12)を有しており、このガイド部材(12)が所定の位置まで移動してワイヤ(13)をガイドし、巻上げドラム(14)とワイヤガイド(11)の間でワイヤ(13)の軌道を所定方向にずらしてセンタ出しを行う構成にしたことを特徴とする単結晶引上げワイヤの巻上げ機構である。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構は、ワイヤのセンタ出しを行うためのセンタ出し装置を有している。そのセンタ出し装置は、少なくとも一方向に移動可能なガイド部材を備えている。このガイド部材は、所定の位置まで移動してワイヤをガイドし、巻上げドラムとワイヤガイドの間でワイヤの軌道を横方向にずらしてセンタ出しを行う。
【0013】
ガイド部材が、支持部材に回転自在に支持されたガイド車であって、支持部材がX方向とY方向に移動可能になっていることが好ましい。
【0014】
支持部材をX方向とY方向に移動させるX方向とY方向用のマイクロメータヘッドを設け、これらのマイクロメータヘッドによってガイド車のX方向位置とY方向位置の微調整を行うことができる。
【0015】
支持部材が旋回軸を有し、ガイド車がその旋回軸を中心に動作位置と待機位置の間を旋回できるようにすることが好ましい。その場合、ガイド部材を待機位置に待機させた状態でワイヤ交換を行うことができる。
【0016】
例えば、本発明による単結晶引上げワイヤ巻上げ機構においては、巻上げドラムに巻かれたワイヤがワイヤガイドを通って垂れ下げられる際、ワイヤガイドの中心にワイヤを位置合わせするため、巻上げドラムから垂れ下げられるワイヤ中心をワイヤガイドの中心より所定の寸法だけ予めずらしておき、ガイド車によってワイヤガイドのすぐ上でワイヤを反らせる。このとき、ワイヤガイドの中心にワイヤを位置合わせするためにガイド車をX方向とY方向に微調整するのが、前述のマイクロメーターヘッドである。ガイド車は、ワイヤ交換時等に容易に旋回移動でき、ガイドユニット毎に取り外し可能になっており、取付けは位置決めピンにていつも同じ位置に取付けられる構造になっているのが好ましい。
【0017】
【実施例】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
【0018】
図1は、本発明の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構の一実施例を示す側面図である。図中、フレームのみが断面で示されている。図2は、図1の巻上げ機構の上面図である。
【0019】
ワイヤ巻上げ機構1は、単結晶引上げ装置のルツボ(図示せず)の上方に配置され、単結晶を吊下げたワイヤ13を巻上げドラム14で巻上げるものである。
【0020】
ワイヤ巻上げ機構1は、フレーム21上に設定され、巻上げドラム14、その駆動部(図示せず)、ワイヤガイド11、センタ出し装置10から構成される。
【0021】
フレーム21は、単結晶引上げ装置と固定関係に配置されている。
【0022】
フレーム中央の縦方向の貫通穴には、ワイヤガイド11が挿入されている。ワイヤガイド11は、ワイヤ通し穴を有する円筒状の部材であり、ルツボの真上に配置される。
【0023】
ワイヤガイド11の上方には、巻上げドラム14とその駆動部が配置されている。巻上げドラム14は、図1に示すように、ワイヤガイド11の貫通穴の延長線上から所定距離aだけ横方向にずらして配置されている。
【0024】
ベース21の上には、センタ出し装置10が配置されている。センタ出し装置10は、巻上げドラム14とワイヤガイド11の間で、ワイヤ13の軌道を横方向にずらしてセンタ出しを行うものである。
【0025】
センタ出し装置10はユニット化されており、そのユニットベース22がフレーム21上に設置されている。ユニットベース22は、2本のピン17により、フレーム21の所定位置に位置決めされる。従って、センタ出し装置10は、取付け時の位置決めを正確かつ容易に行うことができる。
【0026】
ユニットベース22には、Xテーブル27がX方向に移動可能にガイドされている。Xテーブル27は、アリ溝式にガイドされている。Xテーブル27は、ネジ式の固定手段でユニットベース22に固定可能である。
【0027】
Xテーブル27では、Yテーブル24がY方向に移動可能に案内されている。Yテーブル24も、同様に、アリ溝式に案内されている。そして、Y方向の位置決めが済んだら、ネジ式の固定手段でXテーブル27に固定できるようになっている。
【0028】
ユニットベース22には、X方向用とY方向用のマイクロメータヘッド15、16が、それぞれ取付け部23を介して設定されている。これらのマイクロメータヘッド15、16は、Xテーブル27とYテーブル24のX方向位置とY方向位置を微調整するためのものである。
【0029】
Y方向用のマイクロメータヘッド16は、Xテーブル27の上に設定しても良い。
【0030】
Yテーブル24の上には、支持部材25が、旋回軸19を中心に旋回可能に配置されている。支持部材25は、ボルトその他の固定部材26によってYテーブル24に固定可能である。
【0031】
支持部材25の先端部には、ガイド車12が回転自在に取付けられている。ガイド車12の周面中央には、ワイヤ13をガイドするための溝が形成されている。
【0032】
巻上げドラム14から垂らされたワイヤ13は、例えばX方向に距離aだけずれている。このズレを、センタ出し装置10のガイド車12によって、X方向に距離aだけ強制的に押し出すようにして補正する。
【0033】
ガイド車12のX方向の微調整は、X方向用のマイクロメータヘッド15で行う。また、ガイド車12のY方向の微調整は、Y方向用のマイクロメータヘッド16で行う。
【0034】
このように簡単な操作で、巻上げドラム14から垂らされたワイヤ13は、ワイヤガイド11の貫通穴に厳密に整列させることができる。
【0035】
一方、ワイヤ交換時には、固定部材26による固定を解除し、支持部材25を待機位置(図1の一点鎖線)まで旋回させて、邪魔にならないようにする。
【0036】
なお、本発明は前述の実施例に限定されない。例えば、前記実施例におけるセンタ出し装置は、ガイド車でワイヤを押すタイプであったが、引き戻すタイプにすることもできる。また、ガイド部材は、2個のローラを組合わせたものでも良い。
【0037】
さらに、マイクロメータヘッドの代わりに、デジタル変位計を取付けて、ワイヤのX方向と、Y方向の座標を読み取るようしても良い。
【0038】
また、X方向と、Y方向の微調整をアクチュエータの遠隔操作で行い、ワイヤーに単結晶インゴットに相当するダミーインゴットを吊し、フレーム21を回転させることによってダミーインゴットを実際の引上げと同じ回転数で回転させながらダミーインゴットが揺れなくなる位置にガイド部材を移動させることによって、自動的にワイヤのセンタ出しを行うことも可能である。
【0039】
【発明の効果】
本発明の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構によれば、センタ出し装置のガイド部材により、巻上げドラムとワイヤガイドの間でワイヤの軌道を所定方向にずらしてセンタ出しを行うため、ワイヤのセンタ出しを比較的小さな力で容易に行うことができる。それゆえ、正確なセンタ出しが可能である。
【0040】
また、マイクロメータヘッドを設けてX方向及びY方向の微調整を行うようにすれば、ワイヤのセンタ出しを、さらに容易にかつ正確に行うことができる。
【0041】
このように、センタ出しを正確に行うことによって、単結晶インゴットの揺れと曲がりを解消でき、その結果、歩留まりを大幅に向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構の一実施例を示す側面図であり、図中、フレームのみが断面で示されている。
【図2】図1の巻上げ機構を示す上面図。
【符号の説明】
1 ワイヤ巻上げ機構
10 センタ出し装置
11 ワイヤガイド
12 ガイド部材
13 ワイヤ
14 巻上げドラム
15、16 マイクロメータヘッド
25 支持部材
Claims (4)
- ワイヤガイド(11)でガイドされた単結晶引上げワイヤ(13)を巻上げドラム(14)で巻上げる構成の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構において、ワイヤ(13)のセンタ出しを行うためのセンタ出し装置(10)を設け、センタ出し装置(10)が少なくとも一方向に移動可能なガイド部材(12)を有しており、このガイド部材(12)が所定の位置まで移動してワイヤ(13)をガイドし、巻上げドラム(14)とワイヤガイド(11)の間でワイヤ(13)の軌道を所定方向にずらしてセンタ出しを行う構成にしたことを特徴とする単結晶引上げワイヤの巻上げ機構。
- ガイド部材(12)が、支持部材(25)に回転自在に支持されたガイド車(12)として構成されていて、支持部材(25)がX方向とY方向に移動可能になっていることを特徴とする請求項1に記載の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構。
- 支持部材(25)をX方向とY方向に移動させるX方向とY方向用のマイクロメータヘッド(15、16)を設け、これらのマイクロメータヘッド(15、16)によってガイド車のX方向位置の微調整とY方向位置の微調整を行う構成にしたことを特徴とする請求項2に記載の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構。
- 支持部材(25)が旋回軸(19)を有し、ガイド車(12)がその旋回軸(19)を中心に動作位置と待機位置の間を旋回可能になっていることを特徴とする請求項2又は3に記載の単結晶引上げワイヤの巻上げ機構。
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