JP3592188B2 - 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、オリフィスプレートに設けられている吐出口からインクを噴射して記録を行う液体噴射ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液体噴射記録装置は、例えば液体噴射ヘッドにインク（液体）を供給し、液体噴射ヘッドに設けられたピエゾ素子や電気熱変換体等のエネルギー発生手段を画像データに基づいて駆動することによって、インクを噴射して記録用紙等の記録媒体に付着させて形成したインクドットパターンにより記録を行うものである。このように液体噴射ヘッドの吐出口からインクを噴射することにより記録を行う液体噴射記録装置は、低騒音、高速記録などの点で優れた記録装置として知られている。
【０００３】
図１５は、従来の液体噴射ヘッドを、一部を破断した状態でかつオリフィスプレート１０６を分離した状態で示す斜視図である。
【０００４】
図１５に示すように、この種の従来の液体噴射ヘッドにおいては、インクを吐出するためのエネルギー発生手段である電気熱変換体（吐出ヒータ）１０１ａと、吐出ヒータ１０１ａへ電力を供給する配線とが、シリコン成膜プロセスによりシリコン基板上に形成されているヒータボード１０１が、アルミニウム、セラミックス等によって形成される支持基板（ベースプレート）１０４上に、ダイボンディングにより搭載されている。ベースプレート１０４は、吐出ヒータ１０１ａの駆動に伴ってヒータボード１０１に生じる熱を放熱冷却するヒートシンクとしても機能する。
【０００５】
ヒータボード１０１上には、液流路を形成する天板１０５が設けられている。天板１０５は、天板１０５の底面に凹状に形成されオリフィスプレート１０６の吐出口１０６ａと連通する液流路を構成するノズル１０７と、天板１０５の底面に凹状に形成されノズル１０７へインクを供給するサブタンクとしての役割をもつ共通液室１０８と、共通液室１０８にインクを供給するためのインク供給口１０９とを有している。
【０００６】
さらに、ベースプレート１０４上には、インク流れ方向に関して液体噴射ヘッドよりも上流位置に配設される不図示のインク貯蔵タンクまたはサブタンク等からインク供給口１０９へインクを導くためのインク通路１１１ａを形成するチップタンク１１１が設けられている。
【０００７】
チップタンク１１１には、前面プレート部１１１ｂが形成されている。前面プレート部１１１ｂは、ノズル１０７と同じ間隔で同数設けられた吐出口１０６ａを有するオリフィスプレート１０６を、その外周領域において接合保持する役割と、記録装置本体に配設される不図示のキャップ部材からキャッピング動作時に加えられる脱着力や押圧保持力に対してオリフィスプレート１０６が十分に耐え得るようにオリフィスプレート１０６を支持する役割とを担っている。
【０００８】
なお、天板１０５はポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリプロピレン、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー等の樹脂あるいはセラミックス、シリコン、ニッケル、カーボン等の材料によって形成される。
【０００９】
また、オリフィスプレート１０６はＳＵＳ（ステンレス鋼）、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ等からなる金属プレート、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレン等からなる樹脂成形品や樹脂フィルム材等、さらにはシリコン、セラミックス等によって形成される。
【００１０】
次に、従来の液体噴射ヘッドの組立て工程の概略を説明する。
【００１１】
まず最初に、吐出ヒータ１０１ａとこれに相対するノズル１０７とが高精度に合致するように、ベースプレート１０４上に載置されたヒータボード１０１と天板１０５とをアライメントして、両者を接着剤等の接合手段あるいは押えばね（不図示）等の圧接手段によって密着固定する。
【００１２】
次に、ベースプレート１０４上にチップタンク１１１を組み込み、天板１０５のインク供給口１０９とチップタンク１１１のインク通路１１１ａとを接続させる。このとき、チップタンク１１１の前面プレート部１１１ｂは、液流路端面を構成するヒータボード前面１０１ｂおよび天板前面１０５ｂの外側を覆う。なお、液流路端面１０１ｂ，１０５ｂは、前面プレート部１１１ｂの表面よりも数十μｍから数百μｍ程度突出するように構成されている。
【００１３】
次に、図１６に示すように、オリフィスプレート１０６を、前記の通り突出している液流路端面１０１ｂ，１０５ｂに、接着剤等の接合手段によって接合する。この際、前面プレート部１１１ｂの表面が、液流路端面１０１ｂ，１０５ｂよりも後退しているため、前面プレート部１１１ｂがオリフィスプレート１０６と液流路端面１０１ｂ，１０５ｂとの接合を妨げることはない。
【００１４】
それから、多くの場合には、前面プレート部１１１ｂと液流路端面１０１ｂ，１０５ｂとの間に数十μｍから数百μｍの段差部が設けられていることにより、オリフィスプレート１０６の裏面と前面プレート部１１１ｂとの間に隙間が生じているので、この隙間に接着剤または封止剤等を流し込んで硬化させ、オリフィスプレート１０６の接合を完了させる。これにより、液体噴射ヘッドの組立て工程が終了する。
【００１５】
また、従来の他の液体噴射ヘッドとして、図１７に示すように、オリフィスプレート１０６の四辺のみを覆うように前面が中抜きされたオリフィスカバー１１２が付加された構成も存在する。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、オリフィスプレートが液体噴射ヘッドの液流路（ノズル）開口面に接合されるような構成の液体噴射ヘッドの場合には、図１８に示すように回復装置によるワイピング動作によってインク吐出面をクリーニングする際に、図１８中にワイピング動作ｂとして示すようにワイピングブレード１２１の端部がオリフィスプレート端縁部１０６ｃを引きずるように接触するため、端縁部１０６ｃにおいてヘッド本体からのオリフィスプレート１０６の剥離が発生しやすい。また、ワイピングブレード１２１の先端がオリフィスプレート１０６のフェイス面１０６ｂ上を摺擦するために、ワイピング動作の繰り返しによって、端縁部１０６ｃ以外においてもオリフィスプレート１０６の剥離が発生する可能性がある。
【００１７】
オリフィスプレート１０６の端縁部１０６ｃが僅かでも剥がれてしまうと、その後のワイピング動作の繰り返しによってオリフィスプレート１０６の剥離はさらに進行し、液体噴射ヘッドに回復不能な損傷を与えてしまう。
【００１８】
このような問題を回避するために、図１７に示すように、オリフィスプレート１０６の四方を覆うようにオリフィスカバー１１２を配設した構成がある。しかしこの構成では、吸引回復のためのキャッピング手段が当接される面積が相対的に狭くなる。そのため、キャッピング動作の精度を上げるためにはキャッピング手段に高精度な部品を使用する必要がある。オリフィスカバー１１２を付加する構成において、キャッピング手段が当接される面積を拡大しようとすると、ヘッドの部品が相対的に大きくなる。そのため、いずれもコストアップおよび記録装置全体の大型化による占有面積増大の要因となる。
【００１９】
さらに、オリフィスカバー１１２を付加する構成では、オリフィスカバー１１２とオリフィスプレート１０６との間に段差が生じ、オリフィスプレート１０６上の残留液体をブレード１２１で拭き取る際に段差の隅部に液体が溜まったり、ブレード１２１の振動や飛び越えなどによって接触が不十分となって、拭きむらが生じる可能性がある。さらに、オリフィスカバー１１２とオリフィスプレート１０６との段差にブレード１２１がきちんと追随できず例えば片当りの状態で接触して、ブレード１２１に損傷を与えることもあるため、この構成では信頼性の面からも問題がある。
【００２０】
また、オリフィスカバー１１２を用いない構成では、ワイピングブレード１２１がオリフィスプレート１０６の端縁部１０６ｃに引っ掛からないように、ワイピングブレード１２１の可動範囲を狭くして、ワイピングブレード１２１とオリフィスプレート１０６のフェイス面１０６ｂとの摺擦領域を規制する方法が考えられる。ところが、このような方法の場合、第１に、ワイピングブレード１２１がオリフィスプレート１０６のフェイス面１０６ｂに対して進退するような構成にする必要があり、ワイピング装置が高価となる。第２に、ワイピング動作によってワイピングブレード１２１が回収した塵埃（塵、紙粉、紙毛羽等）や増粘インク（揮発成分が蒸発したインク）が再びフェイス面１０６ｂ上に戻ってしまうという不具合がある。すなわち、ワイピングによってワイピングブレード１２１の摺擦面に回収されて付着した塵埃や増粘インクが、ワイピングブレード１２１の進退時にオリフィスプレート１０６のフェイス面１０６ｂへ転写されて戻されたり、オリフィスプレート１０６のフェイス面１０６ｂに擦り付けられたりするおそれがある。
【００２１】
このように、オリフィスカバー１１２を用いる方法や、ワイピングブレード１２１とオリフィスプレート１０６のフェイス面１０６ｂとが摺擦する範囲を規制する方法はあまり得策ではない。
【００２２】
そこで本発明は、オリフィスカバーを用いる方法や、ワイピングブレードとオリフィスプレートフェイス面とが摺擦する範囲を規制する方法を用いなくても、ワイピング動作によるオリフィスプレートの剥がれを防止することができる液体噴射ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明の液体噴射ヘッドの特徴は、
液体を吐出するための複数の吐出口が配列されているオリフィスプレートと、各吐出口に連通する複数の液流路と、各液流路にそれぞれ配設されており、液体を噴射するためのエネルギーを発生するエネルギー発生手段とを含むヘッド本体とを有し、
オリフィスプレートの一部がヘッド本体の前面に固着され、それ以外の部分がヘッド本体の壁面に沿って折り曲げられた状態で固定されており、
オリフィスプレートの折り曲げ部が接するヘッド本体の壁面に突起が設けられており、オリフィスプレートの折り曲げ部は突起上に乗り上げた状態になっているところにある。
【００２４】
この構成によると、オリフィスプレートの折り曲げ部分を安定的に保持することができ、オリフィスプレートのフェイス面の平面性が高く、また、オリフィスプレートの端縁部が、フェイス面に存在しないようにすることができ、剥離しにくくなる。さらに、部分的に突起が設けられているだけで、ヘッド全体の厚さを厚くするものではない。
【００２５】
オリフィスプレートの折り曲げ部が接するヘッド本体の壁面の突起の後方に、オリフィスプレートの折り曲げ部を押さえる押え板が設けられている構成であると、オリフィスプレートをより確実に固定することができる。また、押え板のコーナー部分でオリフィスプレートの曲げを抑えることができ、押え板とオリフィスプレートの接触面の摩擦力に加えて、より強い力で確実にオリフィスプレートを固定することができる。また、その力は突起と押え板との間のクリアランスを適宜設定することにより選択的に決定できる。
【００２６】
ヘッド本体が、エネルギー発生手段が設けられている素子基板と、素子基板に積層される天板と、素子基板および天板の積層体に取り付けられているチップタンクとを有し、ヘッド本体の前面がチップタンクの前面プレート部であり、ヘッド本体の壁面がチップタンクの側面であると、構成が簡単である。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２８】
図１には本発明の第１の実施形態の液体噴射ヘッドの斜視図が、図２には、押さえ板を省略しオリフィスプレートを分離させ一部を切り欠いた状態の斜視図が、図３にはさらに分解した斜視図が、図４にはこの液体噴射ヘッドの断面図が、図５には図４の要部拡大図が、それぞれ示されている。
【００２９】
本実施形態の液体噴射ヘッドのヘッド本体は、突起１１ｄ以外は前記した従来例と実質的に同じ構成である。すなわち、図２に示すように、エネルギー発生手段である電気熱変換体（吐出ヒータ）１ａと配線とがシリコン基板上に形成されて構成されているヒータボード（素子基板）１が、ベースプレート４上にダイボンディングされている。ベースプレート４は、ヒータボード１の熱を放熱冷却するヒートシンクとして機能する。ヒータボード１には、液流路をなすノズル７とサブタンクである共通液室８とインク供給口９とを有する天板５が接合されている。天板５は、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリプロピレン、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー等の樹脂、あるいは、セラミックス、シリコン、ニッケル、カーボン等の材料によって形成されている。そして、ベースプレート４、天板５、ヒータボード１に、チップタンク１１が取り付けられて、ヘッド本体１５が構成されている。チップタンク１１には、インク供給口９へインクを導くためのインク通路１１ａが形成されている。また、チップタンク１１には前面プレート部１１ｂと突起１１ｄが設けられている。
【００３０】
このヘッド本体１５、具体的には前面プレート部１１ｂに、複数の吐出口６ａを有するオリフィスプレート６が固着されている。オリフィスプレート６の吐出口６ａは、ヘッド本体のノズル７と同数で対向可能な位置に配置されている。オリフィスプレート６は、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ等の金属プレートや、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレン等の樹脂成形品や、樹脂フィルム材等によって形成された、可撓性のフィルム状の部材である。
【００３１】
前面プレート部１１ｂに、オリフィスプレート６の吐出口６ａの外側の部分が接合されて、前面プレート部１１ｂは、オリフィスプレート６を保持して、記録装置本体に配設されている不図示のキャップ部材からキャッピング動作時に加えられる脱着力や押圧保持力に対してオリフィスプレート６が十分に耐え得るように支持している。このオリフィスプレート６は、チップタンク１１の前面プレート部１１ｂよりも大面積であり、チップタンク１１の端縁部１１ｃにて折り曲げられている。このとき、オリフィスプレート６の折り曲げ部６ｄは、突起１１ｄ上を乗り越えた状態となっている。さらに、この折り曲げ部６ｄは、突起１１ｄの後方で、押さえ板１２（図３参照）により固定されている。
【００３２】
次に、本実施形態の液体噴射ヘッドの組立て工程の概略を説明する。
【００３３】
まず、ヒータボード１をベースプレート４上にダイボンディングする。それから、複数の吐出ヒータ１ａと、それに対応するノズル７がそれぞれ対向するように、ヒータボード１と天板５とを高精度に位置合わせする。その後、接着剤等の接合手段あるいは押えバネ（不図示）等の圧接手段によって、ヒータボード１と天板５とが密着させられる。こうして、ヒータボード１と天板５との接合面に液流路が形成される。
【００３４】
次に、チップタンク１１が、天板５およびヒータボード１を覆うようにベースプレート４に固着され、天板５のインク供給口９とチップタンク１１のインク通路１１ａとが接続される。前面プレート部１１ｂは、液流路の開口端が位置する端面（ヒータボード前端面１ｂおよび天板前端面５ｂ）の外側を取り囲む。このとき、端面１ｂ、５ｂは前面プレート部１１ｂの前面よりも数十μｍから数百μｍ程度前方へ突出するように構成されている。
【００３５】
それから、オリフィスプレート６が、接着剤等の接合手段によって、ヒータボード１および天板５の端面１ｂ、５ｂに接合される。前記したように、前面プレート部１１ｂの前面は端面１ｂ、５ｂよりも後退しているため、オリフィスプレート６と液流路端面１ｂ、５ｂの接合を妨げることはない。
【００３６】
続いて、オリフィスプレート６をチップタンク１１の前面プレート部１１ｂの端縁部１１ｃにて折り曲げ、チップタンク１１の外形に沿ってその上面および下面に密着される。このとき、チップタンク１１には突起１１ｄが設けられているので、オリフィスプレート６の折り曲げ部６ｄは、突起１１ｄを乗り越えるような状態となっている。さらに、突起１１ｄの後方の位置で、押さえ板１２をヘッド本体１５に固定することによって、オリフィスプレート６の折り曲げ部６ｄを固定する。このようにしてオリフィスプレート６がヘッド本体１５に接合される。なお、前面プレート部１１ｂと端面１ｂ、５ｂとの間には数十μｍから数百μｍの段差が生じており、オリフィスプレート６がこの段差に沿ってぴったりと密着せずこの部分においてオリフィスプレート６の裏面側に僅かな隙間が生じている場合がある。この場合、この隙間に接着剤または封止剤等を流し込んで封止する。
【００３７】
前記の通り、図１８に示すような回復装置によるワイピング動作を行って液体噴射ヘッドのインク吐出面をクリーニングする場合、従来は、図１８のｂに示す状態において、ワイピングブレード１２１の端部がオリフィスプレート１０６の端縁部１０６ｃを引きずるように接触するため、剥離が発生しやすいという問題があった。
【００３８】
そこで、本実施形態では、オリフィスプレート６をチップタンク１１の前面プレート部１１ｂの端縁部１１ｃにおいて折り曲げる構成になっている。オリフィスプレート６をチップタンク１１の前面プレート部１１ｂの端縁部１１ｃにおいて折り曲げて固定することにより、オリフィスプレート６のチップタンク１１に対する接触面積（接着面積）が大きくなり、より強固に固定されるため、ワイピング時にワイピングブレードから力が加わっても剥がれにくくなる。しかも、オリフィスプレート３はチップタンクの３つの面（前面・上面・下面）に固定されているため、１面のみに固定されている場合に比べてはるかに強固に固定され、特定方向の力に対してのみならず様々な方向から加わる外力に対して剥がれにくくなる。
【００３９】
さらに、ワイピング方向が、オリフィスプレート６の折り曲げ線（および前面プレート部１１ｂの端縁部１１ｃ）に対し垂直な方向である場合には、ワイピングされるフェイス面６ｂにはオリフィスプレート６の端縁部が存在しないため、ワイピングブレードにより加わる力によって剥離する心配はない。場合によっては、ワイピングブレードの相対移動方向と平行な方向の端縁部が前面プレート部の端部付近に位置する可能性もあるが、これは剥離の原因となることはない。さらに、その端縁部をワイピングブレードの移動領域外に位置させればより確実に剥離を防げる。
【００４０】
一方、ワイピング方向が、オリフィスプレート６の折り曲げ線（および前面プレート部１１ｂの端縁部１１ｃ）に対し平行な方向である場合でも、オリフィスプレート６が折り曲げられているので、端縁部にワイピングブレードが当接して外力が加わり、これを剥離させようしても、オリフィスプレート６を折り曲げ部でせん断するような力がはたらかない限り剥離する心配はない。実際にオリフィスプレート６をせん断するほどの大きな力が加わることは考えられないので、この場合もオリフィスプレート６が剥離することはほとんどあり得ない。
【００４１】
このように、ワイピング方向とオリフィスプレートの折り曲げ線とがどのような位置関係にある場合も、オリフィスプレート６を折り曲げて保持することによって、ワイピング時のオリフィスプレート６の剥離を防ぐことができる。
【００４２】
また、フェイス面６ｂは、複数の部材の面が組み合わさって構成されているのではなく、オリフィスプレート６のみから構成されているので、フェイス面６ｂ上に段差がなく平面性が確保されて、ワイピングブレードの耐久性が向上し、ひいては液体噴射記録装置の高寿命化が達成できる。さらに、オリフィスカバーなどがないため、キャッピング精度を高めるためにキャッピング面積をフェイス面６ｂの面積と同じぐらいに大きくしても、液体噴射ヘッド全体が大きくなることはなく、小型化に寄与する。
【００４３】
次に、本実施形態においてチップタンク１１に設けられている突起１１ｄの技術的意味について説明する。
【００４４】
まず、突起が存在しない場合について説明する。オリフィスプレートの材質やその厚みや大きさなどにより、その曲げ特性は様々であり、場合によっては、折り曲げた時にチップタンクの前面プレート部の端縁部に沿った稜線で折れ曲がるという所望の形状を得られない。そして、図６に示すように、オリフィスプレート２６の曲げ部分が、大きな曲率を伴う円弧状の形状になることがある。この場合、前面側（フェイス面２６ａ側）にも大きく張り出す形状となり、フェイス面２６ａの平面性の確保が困難になる。そこで、オリフィスプレート２６の折り曲げ部が曲がる部分である前面プレート部２７の端部を、前面と側面が直角に交わり明確な稜線が存在する形状でなく、図７に示すように端部２７ａを面取りしたり、図８に示すように丸み付け部２７ｂとする構成が考えられる。しかしながら、面取り部２７ａの角度や丸み付け部２７ｂの曲率半径が適切でないとオリフィスプレート２６の円弧状部２６ｂと一致せずこの円弧状部２６ｂが安定しないので、前面プレート部２７を精度よく加工する必要があり工程が煩雑になる。いずれにしろ、オリフィスプレート２６の円弧状部２６ｂを安定させるためには、ヘッド本体を厚くする必要があり、記録装置のスペースおよび並列使用時のヘッド間距離に影響を与えてしまう。また、オリフィスプレート２６の折り曲げ部を固定するために押さえ板を用いる場合には、固定に十分な剛性を持たせるために厚い押え板でなければならず、さらにスペースおよびヘッド間距離に影響を与えてしまう。
【００４５】
これに対し本実施形態では、ヘッド本体１５に突起１１ｄを形成することにより段差を設け、この段差部分でオリフィスプレート６の円弧状部６ｃを安定させることができ、前面側（フェイス面６ｂ側）に張り出して平面性を低下させることがない。また、部分的に突起１１ｄが設けられているだけでヘッド本体１５全体は薄いままなので、スペースやヘッド間距離に影響を与えないように配設することができる。特に、押さえ板１２を突起１１ｄ外の部分に配設すると、剛性の高い厚い押さえ板１２を用いても、ヘッド本体１５の厚さをさほど増加させることはない。また、オリフィスプレート６の曲げ部分が広くなるので、応力の分散により曲率を小さくすることができ、これはヘッド本体の薄型化に有効である。
【００４６】
なお、突起１１ｄを形成することにより生じる段差部分に、接着剤または接着力を有する封止剤１６を注入して、オリフィスプレート６の裏面と前面プレート部１１ｂとを接合すると、曲げ応力は押さえ込まれ、より確実かつ信頼性の高いフェイス面６ｂの平面性をえることができる。
【００４７】
突起１１ｄの高さは、使用するオリフィスプレート６の材質、曲げ剛性、厚み、形状等や、前記したようなオリフィスプレート６の裏面と前面プレート部１１ｂとの間隙（段差部分）における接着剤または封止剤１６の有無などに基づいて選択される。一般的に、突起１１ｄの高さが高い方がオリフィスプレート６の曲げ形状が良好になり、これに対し、突起の高さ１１ｄが低いと、オリフィスプレート６がヘッド本体１５の面に接触せず不安定になり易い部分が小さくなる。さらに、押さえ板１２の厚さを突起部１１ｄの高さ以下にすると、押さえ板１２の厚みがヘッド本体１５の厚さに全く影響を及ぼさない。仮に、押さえ板１２の厚さが突起部１１ｄの高さより大きい場合には、ヘッド本体１５の、押さえ板１２を取り付ける部分を凹状にすることにより、押さえ板１２の厚みがヘッド本体の厚さに全く影響を及ぼさなくなる。
【００４８】
こうやってヘッド本体１５の厚さを薄くすることにより、各部品のサイズが小さくなることにより低コスト化が図れ、また、ヘッド本体１５の小型化に伴う液体噴射記録装置全体の小型化および低コスト化などが図れる。このように液体噴射ヘッドの小型化、薄型化が可能であると、今後ますます必要とされるカラー化多色印字のために液体噴射ヘッドを並列配置する場合に、各色のノズル７（ヘッド）の配列ピッチを小さくすることができ適切な色表現のために効果的である。また、押さえ板１２とオリフィスプレート６が面接触するだけでなく、押さえ板１２のコーナー１６ａによりオリフィスプレート６をラジアル方向に押し付ける、すなわち、図５に示すように突起１１ｄと押さえ板１２とでオリフィスプレート６を挟み付ける構造にすると、さらに強く確実にオリフィスプレート６を固定することができる。
【００４９】
液体噴射記録動作において回復動作を行う場合、図９に示すように、回復キャップ１３がオリフィスプレート６のフェイス面６ｂに接触し、ノズル７の列を含む空間を密封する。本実施形態ではオリフィスプレート６のフェイス面６ｂは平滑であり、段差がないため、キャップ１３がオリフィスプレートのフェイス面６ｂのどの部分に接触しても密封性を確保できる。従って、キャップ１３の位置精度およびキャップ駆動手段（図示せず）の作動精度をある程度低くすることができ、記録装置を簡素化できる。
【００５０】
本実施形態では、オリフィスプレート６を折り曲げることによって、オリフィスプレート６とチップタンク１１とが前面および上下面の３面で接合される構成となっている。これによって、キャッピング後あるいは連続吐出後などに行われるワイピング動作において、ワイピングブレードに対し、オリフィスプレート６の裏側の前面プレート部１１ｂだけでなく、折り曲げ側の面（上面および下面）からも反力を加えることができ、より大きな反力を得ることができる。また、前記の通り、オリフィスプレート６が折り曲げられているので、接触面に外力が加わってこれを剥離させようしても、オリフィスプレートを折り曲げ部などでせん断するだけの力がない限り剥離する心配はない。通常、オリフィスプレート６のせん断方向の破断力は、ワイピングブレードによるオリフィスプレート６のフェイス面６ｂへの押付圧よりもはるかに大きいため、実質上は、ワイピングブレードによりオリフィスプレート６が剥離されることはあり得ない。
【００５１】
図１０〜１２に示す本発明の第２の実施形態の液体噴射ヘッドは、突起の形状と押さえ板の配設位置のみが第１の実施形態と異なる構成である。この部分の構成のみを以下に説明し、その他の構成についての説明は省略する。
【００５２】
本実施形態では、チップタンク１７の突起１７ａと押さえ板１８との間隔が広くなっており、その代わり、突起１７ａの後端部が丸みづけられている。これにより、オリフィスプレート６が、突起１７ａの上面から押さえ板１８の下面へと滑らかに位置している。第１の実施形態のようにオリフィスプレート６を突起１１ｄと押さえ板１２とで挟みつける構成のように、押さえ板１２の配設作業に高精度を要求されることはなく、それでいて、オリフィスプレート６のチップンク１７との接触面積が広くとれるためオリフィスプレート６の固定の信頼性が確保できる。
【００５３】
また、図１３に示す第３の実施形態では、第１の実施形態のチップタンク１１の前面プレート部１１ｂの代わりに、オリフィスプレート６を受けるための専用部材である受けプレート１９が設けられている。
【００５４】
また、図１４に示す第４の実施形態では、チップタンク２０の前面プレート２０ａとベースプレート２１の前面部２１ａとで、オリフィスプレート６を受ける面を構成している。
【００５５】
これら、第２〜４の実施形態においても、第１の実施形態と同様な効果を発揮することができる。
【００５６】
また、前記した各実施形態では、図５，１２に示すようにチップタンク１１，１７の上面側のみ突起１１ｄ，１７ａを設けた構成について述べているが、下面側（ベースプレート側）に同様な突起を設けた構成であっても、同様の効果を得ることができる。さらに上面側、下面側の両方に突起を設けた構成とすることも効果的である。
【００５７】
なお、各実施形態において、突起はチップタンクと一体成形により設けられていても、別個に形成された突起部材がチップタンクに貼り付けられている構成であってもよい。
【００５８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ヘッド本体にオリフィスプレートを貼り合せ、オリフィスプレートを折り曲げて固定することにより、曲げ部分の円弧状部および折り曲げ部を安定的に保持することができ、オリフィスプレートのフェイス面の平面性が高く、また、オリフィスプレートの端部が、フェイス面に存在しないようにすることができ、剥離しにくくなる。さらに、部分的に突起が設けられているだけで、ヘッド全体の厚さを厚くするものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の液体噴射ヘッドの斜視図である。
【図２】図１の液体噴射ヘッドの一部切り欠き斜視図である。
【図３】図１の液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図４】図１の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図５】図４の要部拡大図である。
【図６】第１の参考例の液体噴射ヘッドの要部拡大断面図である。
【図７】第２の参考例の液体噴射ヘッドの要部拡大断面図である。
【図８】第３の参考例の液体噴射ヘッドの要部拡大断面図である。
【図９】図１の液体噴射ヘッドのキャッピング動作を示す模式図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態の液体噴射ヘッドの斜視図である。
【図１１】図１０の液体噴射ヘッドの断面図である。
【図１２】図１１の要部拡大図である。
【図１３】本発明の第３の実施形態の液体噴射ヘッドの斜視図である。
【図１４】本発明の第４の実施形態の液体噴射ヘッドの斜視図である。
【図１５】従来の液体噴射ヘッドの一部切り欠き斜視図である。
【図１６】図１５の液体噴射ヘッドの斜視図である。
【図１７】従来の液体噴射ヘッドの変形例の斜視図である。
【図１８】従来の液体噴射ヘッドの液体噴射ヘッドのワイピング動作を示す模式図である。
【符号の説明】
１ ヒータボード（素子基板）
１ａ 吐出ヒータ（エネルギー発生手段）
１ｂ 端面
４ ベースプレート
５ 天板
５ｂ 端面
６ オリフィスプレート
６ａ 吐出口
６ｂ フェイス面
６ｃ 円弧状部
６ｄ 折り曲げ部
７ ノズル
８ 共通液室
９ インク供給口
１１ チップタンク
１１ａ インク通路
１１ｂ 前面プレート部
１１ｃ 端縁部
１１ｄ 突起
１２ 押さえ板
１３ キャップ
１５ ヘッド本体
１６ 封止剤
１７ チップタンク
１７ａ 突起
１８ 押さえ板
１９ 受けプレート
２０ チップタンク
２０ａ 前面プレート部
２１ ベースプレート
２１ａ 前面部

Claims (8)

1. 液体を吐出するための複数の吐出口が配列されているオリフィスプレートと、
   前記各吐出口に連通する複数の液流路と、前記各液流路にそれぞれ配設されており、前記液体を噴射するためのエネルギーを発生するエネルギー発生手段とを含むヘッド本体とを有し、
   前記オリフィスプレートの一部が前記ヘッド本体の前面に固着され、それ以外の部分が前記ヘッド本体の壁面に沿って折り曲げられた状態で固定されており、前記オリフィスプレートの折り曲げ部が接する前記ヘッド本体の前記壁面に突起が設けられており、前記オリフィスプレートの前記折り曲げ部は前記突起上に乗り上げた状態になっている、液体噴射ヘッド。
2. 前記オリフィスプレートの折り曲げ部が接する前記ヘッド本体の前記壁面の前記突起の後方に、前記折り曲げ部を押さえる押え板が設けられている、請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記折り曲げ部が、前記突起と前記押え板とによって挟みつけられている、請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記ヘッド本体が、前記エネルギー発生手段が設けられている素子基板と、前記素子基板に積層される天板と、前記素子基板および前記天板の積層体に取り付けられているチップタンクとを有し、
   前記ヘッド本体の前面が前記チップタンクの前面プレート部であり、前記ヘッド本体の壁面が前記チップタンクの側面である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 複数の液流路と、前記各液流路にそれぞれ配設されており、液体を噴射するためのエネルギーを発生するエネルギー発生手段とを含むヘッド本体の前面に、複数の吐出口が配列されているオリフィスプレートを、前記各液流路と前記各吐出口とがそれぞれ対向するように貼り付ける工程と、
   前記オリフィスプレートのうち、前記ヘッド本体の前面への固着部以外の部分を、前記ヘッド本体の壁面に沿って折り曲げる工程とを含み、
   前記オリフィスプレートを折り曲げる工程で、前記オリフィスプレートを、前記ヘッド本体の前記壁面に設けられている突起上に乗り上げた状態にして折り曲げる、液体噴射ヘッドの製造方法。
6. 前記ヘッド本体の前記壁面の前記突起の後方で、前記折り曲げ部を、押え板により押さえる工程をさらに含む、請求項５に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
7. 前記オリフィスプレートを押さえる工程で、前記折り曲げ部を、前記突起と前記押え板とによって挟みつける、請求項６に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
8. 前記エネルギー発生手段が設けられている素子基板に天板を積層し、前記素子基板および前記天板の積層体にチップタンクを取り付けて前記ヘッド本体を形成する工程をさらに有し、
   前記ヘッド本体の前面が前記チップタンクの前面プレート部であり、前記ヘッド本体の壁面が前記チップタンクの側面である、請求項５〜７のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。

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