JP3587419B2 - 位相シフトマスクブランクおよび位相シフトマスク - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、位相シフトマスクブランク、位相シフトマスクおよびそれを用いたリソグラフィー方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、簡単な膜構成により、マスクパターンを形成する際のレジストへの電子線描画時における電荷蓄積や静電気による帯電を防止しうるハーフトーン型位相シフトマスクブランク、該位相シフトマスクブランクを素材とするハーフトーン型位相シフトマスク、およびこの位相シフトマスクを用いてパターン転写を行うリソグラフィー方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ＬＳＩ製造などにおいては、微細パターンの転写を行うためのマスクであるフォトマスクの１つとして位相シフトマスクが用いられる。この位相シフトマスクのうち、特に単一のホール、ドット、又はライン、スペース等の孤立したパターン転写に適したものとして、ハーフトーン型位相シフトマスクが知られている。
【０００３】
このハーフトーン型位相シフトマスクは、透明基板の表面上に形成するマスクパターンを、実質的に露光に寄与する強度の光を透過させる光透過部と、実質的に露光に寄与しない強度の光を透過させる光半透過部とで構成し、かつ、光透過部を通過してきた光の位相と、光半透過部を通過してきた光の位相を異ならしめることにより光透過部と光半透過部の境界部近傍で通過してきた光が互いに打ち消し合うようにして境界部のコントラストを良好に保持できるようにしたものであり、例えば特開平５−１２７３６１号公報には、位相差を１８０°としたハーフトーン型位相シフトマスクが開示されている。
【０００４】
この公報記載のハーフトーン型位相シフトマスクにおいては、透明基板上に光半透過部を構成する光半透過膜は、ＣｒＯ_ｘ、ＣｒＮ_ｘ、ＣｒＯ_ｘＮ_ｙ、ＣｒＯ_ｘＮ_ｙＣ_ｚ等の膜などの、均一な組成の材料からなる一層の膜で構成されている。
【０００５】
このように一層の膜からなる光半透過膜を素材として形成した光半透過部を有するハーフトーン型位相シフトマスクは、光半透過部を、主に位相角を制御する透過率の高い層（例えばＳＯＧ）と主に光半透過性を制御する透過率の低い層（例えばクロム）との複数種類からなる積層構造としたハーフトーン型位相シフトマスクと比較すると、製造工程の減少、簡略化、欠陥発生率の低減といった利点を有する。
【０００６】
このＣｒＯ_ｘ、ＣｒＮ_ｘ、ＣｒＯ_ｘＮ_ｙ又はＣｒＯ_ｘＮ_ｙＣ_ｚ等からなる光半透過膜の形成法に関して、上記公報には、クロムをスパッタリングターゲットとして、蒸着雰囲気中に酸素、窒素などのガスを入れることで透明基板上にクロムの酸化物、窒化物、酸窒化物、酸窒炭化物を堆積する方法、すなわち、いわゆる反応性スパッタによる方法が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来の方法（反応性スパッタ法）によって形成されるＣｒＯ_ｘ、ＣｒＮ_ｘ、ＣｒＯ_ｘＮ_ｙ又はＣｒＯ_ｘＮ_ｙＣ_ｚ等からなる光半透過膜については、露光に寄与しない程度の光を透過する性質、すなわち露光光に対する透過率が４〜２０％という要件と、所定の位相差を与えるという光半透過部の要件を同時に満たしたものは導電性が乏しい。そのため、光半透過膜をパターニングするために行うレジストへの電子線描画において、打ち込まれた電子がレジスト中で帯電してしまい、正確なパターン形成ができないという問題があった。
【０００８】
また、導電性の欠如は静電気の帯電へとつながり、マスクの製造工程や使用時においてゴミが吸着しやすいという問題があった。したがって、帯電現象を防止するためには電気を伝導し、拡散させる導電層を例えば透明基板上に設ける必要があり、そのためには製造工程が増加するといった欠点があった。
【０００９】
さらに、透明基板と光半透過膜との間に導電層を形成する場合には、短波長の露光光に対して透明である必要があり、特に、近年における高解像度のパターンが要求されることに伴う露光光の短波長化に対しては、そのような露光光に対して透明である導電層材料を新たに開発しなければならないという問題もあった。
【００１０】
本発明は、上述のような背景のもとでなされたものであり、簡単な膜構成により電子線描画時の電荷蓄積や静電気による帯電を防止できるハーフトーン型位相シフトマスクブランク、上記位相シフトマスクブランクを素材としたハーフトーン型位相シフトマスク、およびこの位相シフトマスクを用いてパターン転写を行うリソグラフィー方法を提供することを目的としたものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、簡単な膜構成により、電子線描画時の電荷蓄積や静電気による帯電を防止しうるハーフトーン型位相シフトマスクブランクについて鋭意研究を重ねた結果、透明基板上に、特定の遷移金属とケイ素とを少なくとも含む光半透過膜を有するハーフトーン型位相シフトマスクブランクが、上記の好ましい性質を有すること、そしてこの位相シフトマスクブランクに、常法に従ってパターニング処理を施すことにより、所望のマスクパターンを有するハーフトーン型位相シフトマスクが得られることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
【００１２】
すなわち、本発明は、
（１）透明基板上に光半透過膜を有し、この光半透過膜が、タンタルとケイ素とを少なくとも含む膜からなることを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスクブランク、
（２）上記位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜に、所定のパターンに従ってその一部を除去するパターニング処理を施すことにより、光透過部と光半透過部とからなるマスクパターンを形成してなることを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスク、および
（３）上記ハーフトーン型位相シフトマスクを用いてパターン転写を行うことを特徴とするリソグラフィー方法、
を提供するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクは、透明基板上に光半透過膜を有するものであって、該透明基板の材料については特に制限はなく、従来、位相シフトマスクブランクに慣用されているもの、例えばソーダ石灰ガラスやホワイトクラウンのようなソーダライムガラス；ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、アルミノケイ酸ガラスのような低膨張ガラス；合成石英のような石英ガラス、あるいはポリエステルフィルムのようなプラスチックフィルムなどが用いられるが、ＬＳＩやＬＣＤ用マスクの基板材料としては、ソーダ石灰ガラスおよび石英ガラスが好適である。
【００１４】
一方、上記透明基板上に設けられる光半透過膜は、実質的に露光に寄与しない強度の光を透過する性質と、露光光の位相を所定量シフトさせる性質とを有するとともに、マスクパターンを形成する際のレジストへの電子線描画時に電荷が帯電しない程度以上の導電性を有するものである。本発明においては、このような特性を有する光半透過膜としては、特定の遷移金属とケイ素とを少なくとも含む膜が用いられる。
【００１５】
本発明の位相シフトマスクブランクにおいて、上記光半透過膜に用いられる遷移金属は、タングステン、タンタルおよびクロムの中から選ばれる。これらの遷移金属は単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１６】
また、該光半透過膜は、上記遷移金属とケイ素とから構成されていてもよく、あるいは該遷移金属とケイ素と、さらに酸素および／または窒素とから構成されていてもよい。
【００１７】
本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜の成膜方法としては特に制限はなく、従来公知の方法、例えばスパッタリング法、遷移金属とケイ素の組成を調整したタブレットを用いるＥＢ蒸着法、イオンプレーティング法などの中から、状況に応じて適宜選ぶことができるが、これらの中で、特にスパッタリング法が好適である。例えばスパッタガス中において、前記遷移金属とケイ素とを含有するターゲットをスパッタリングすることにより、透明基板上に光半透過膜を形成することができる。ここで、スパッタガスとしては、アルゴンなどの不活性ガスのみを用いてもよいし、酸素、窒素および窒素酸化物の中から選ばれる少なくとも１種のガスとアルゴンその他の不活性ガスとの混合ガスを用いてもよい。酸素ガスおよび窒素ガスは、膜中にそれぞれ酸素（Ｏ）、窒素（Ｎ）を導入するためのものであり、一方、窒素酸化物ガスは、膜中に酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）とを導入するためのものである。この窒素酸化物ガスとしては特に制限はないが、一酸化窒素（ＮＯ）ガスや二酸化窒素ガス（ＮＯ_２）が好ましい。
【００１８】
また、膜の透過率と導電率を制御するためには、反応ガスとして酸素ガスのみを用いる場合には、スパッタガス総流量の１５〜６０％程度の酸素ガスを導入するのが望ましく、また反応ガスとして窒素ガスのみを用いる場合には、スパッタガス総流量の１５〜１００％程度の窒素ガスを導入するのが望ましい。さらに、反応ガスとして酸素ガスと窒素ガスを用いる場合には、スパッタガス総流量の１５〜５５％程度の酸素ガスおよび１５〜８０％程度の窒素ガスを導入するのが望ましい。なお、ＮやＯの膜中への導入方法は、上記の酸素ガスや窒素ガスや窒素酸化物ガスの使用に限られるものではなく、上述のような効果が期待できる場合、他の酸素化合物や窒素化合物（例えばＮＨ_３ガス）を使用してもよい。また、スパッタリング法としては特に制限はなく、従来公知の方法、例えばＤＣスパッタリング法、ＲＦマグネトロンスパッタリング法などが好ましく用いられる。なお、スパッタリング時の基板加熱や、成膜後のアニーリングなどを適宜行ってもよい。さらに、ターゲット組成としては、遷移金属とケイ素との原子比が３０：１〜１：２０の範囲にあるのが好ましい。
【００１９】
このようにして形成された光半透過膜の膜厚ｄは、位相シフト量をφ、屈折率をｎ、露光光の波長をλとすると、次の（Ｉ）式で決定される。
【００２０】
ｄ＝（φ／３６０）×｛λ／（ｎ−１）｝ …（１）
（１）式において、位相シフト量φは１８０°であることが理想的であるが、実用的な位相シフト量は１６０°≦φ≦２００°であればよい。
【００２１】
本発明のハーフトーン型位相シフトマスクは、前記のようにして得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜に、所定のパターンに従ってその一部を除去するパターニング処理を施し、光透過部と光半透過部とからなるマスクパターンを形成することにより得られる。
【００２２】
図１は本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクおよびハーフトーン型位相シフトマスクを示す図であり、更に具体的には図１（ａ）がハーフトーン型位相シフトマスクブランクの１例の断面図であり、図１（ｂ）がハーフトーン型位相シフトマスクの１例の断面図である。
【００２３】
ハーフトーン型位相シフトマスクブランクは図１（ａ）に示されるように、透明基板１の上に光半透過膜２ａが形成されたものである。また、ハーフトーン型位相シフトマスクは図１（ｂ）に示されるように、図１（ａ）に示されるハーフトーン型位相シフトマスクブランクの光半透過膜２ａに所定のパターンにしたがってその一部を除去するパターニング処理を施して、光半透過部２と光透過部３とで構成されるマスクパターンを形成したものである。
【００２４】
本発明の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜としては、該膜が遷移金属とケイ素と酸素および／または窒素とから構成されている場合、膜中の遷移金属とケイ素が、酸化ケイ素および／または窒化ケイ素中に含有されているものが好ましい。また、該光半透過膜の露光光に対する透過率は４〜２０％の範囲が好ましく、特に５〜１５％の範囲が好適である。
【００２５】
これは、光透過率が４％未満の場合は、図１（ｂ）において、光半透過部２と光透過部３との境界部を通過する光同士の位相ずれによる相殺効果が充分得られず、また、２０％を超える場合は、光半透過部２を通過してきた光によってもレジストが感光してしまう恐れがあるためである。この光半透過膜２ａ、光半透過部２の単位膜厚当たりの光透過率は、遷移金属とケイ素、あるいは遷移金属とケイ素と酸素および／または窒素の含有率などを選定することにより、選ぶことができる。
【００２６】
また、本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクとしては、光半透過膜の可視域における透過率が３０〜７０％の範囲にあることが必要である。このような可視域における透過率を有することにより、マスクの位置合わせ（アライメント）のために、新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がなくなる。
【００２７】
さらに、本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクにおいては、光半透過膜のシート抵抗が５×１０^７Ω／□以下が好ましい。その理由は、シート抵抗が５×１０^７Ω／□を超えると、電子線照射により打ち込まれた電子を充分に導電しがたいためである。この導電性を得るためには、酸素（Ｏ）や窒素（Ｎ）の含有率を選定することによって選ぶことができる。この場合、先に述べたように酸素（Ｏ）や窒素（Ｎ）の含有率を増せば光透過率は増加するが、反面、導電率は低下する傾向にある。また屈折率、反射率、吸収係数等の特性を遷移金属、Ｓｉ、Ｏ、Ｎの組成により好適に選ぶことができる。
【００２８】
本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクにおいて、光半透過膜における各構成元素の比率については、該光半透過膜が前記した特性を有するように適宜選べばよく、特に制限はないが、構成元素が遷移金属、ケイ素、酸素および／または窒素である場合、一般的には、遷移金属：ケイ素：酸素および／または窒素との割合が、原子比で１０〜５５％：１５〜８０％：７０％以下の範囲で選定される。
【００２９】
次に、本発明のハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法の好適な例について、図２を参照しながら説明する。
【００３０】
図２は、本発明のハーフトーン型位相シフトマスクの製造工程の１例の説明図であって、まず、透明基板１の表面に上記のように光半透過膜２ａを形成して得られた位相シフトマスクブランクを用意する［図２（ａ）参照］。次いで、この位相シフトマスクブランクの光半透過膜２ａ上に、４０００〜６０００オングストローム程度の厚さの電子線レジスト膜を形成し［（図２（ｂ）参照］、所定のパターンに従って電子線を照射したのち、レジストの現像処理を行ってレジストパターン４を形成する［（図２（ｃ）参照］。次に、レジストパターン４をマスクとして、光半透過膜２ａをドライエッチング処理したのち［（図２（ｄ）参照］、残存レジストパターン４を剥離することにより、光半透過部２ａおよび光透過部３を有する本発明のハーフトーン型位相シフトマスクが得られる［（図２（ｅ）参照］。
【００３１】
このようにして得られた本発明のハーフトーン型位相シフトマスクは、図３の説明図で示されるように、露光光Ｌ_０が照射された場合、この露光光Ｌ_０が、光半透過部２を通過して図示していない被転写体に達する光Ｌ_１と光透過部３を通過して同じく被転写体に達する光Ｌ_２とに別れる。この場合、光半透過部２を通過した光Ｌ_１の強度は、実質的にレジストの露光に寄与しない程度の弱い光である。一方、光透過部３を通過した光Ｌ_２は実質的に露光に寄与する強い光である。したがって、これによりパターン露光が可能となる。この際、回折現象によって光半透過部２と光透過部３との境界を通過する光が互いに相手の領域に回り込みをおこすが、両者の光の位相はほぼ反転した関係になるため、境界部近傍では互いの光が相殺し合うことで実質的な光強度が減衰する。これによって、境界が極めて明確となり解像度が向上する。
【００３２】
本発明はまた、前記ハーフトーン型位相シフトマスクを用いてパターン転写を行うリソグラフィー方法をも提供するものである。
【００３３】
このリソグラフィー方法については、マスクとして本発明のハーフトーン型位相シフトマスクを用いる方法であれば、特に制限されず、従来ＬＳＩなどの製造において慣用されている方法を用いることができる。
【００３４】
例えば、被加工層を表面に形成した基板上にレジスト層を設けたのち、本発明のハーフトーン型位相シフトマスクを介して、該レジスト層に紫外線、ｇ線、ｉ線、Ｄｅｅｐ ＵＶ、エキシマレーザー光、エックス線などを選択的に照射する。次いで現像工程において不必要な部分のレジスト層を除去し、基板上にレジストパターンを形成させたのち、このレジストパターンをマスクとして被加工層をエッチング処理し、次いで該レジストパターンを除去することにより、マスクパターンに忠実なパターンを基板上に形成することができる。
【００３５】
【作用】
上述の本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクは、光半透過部を形成するための光半透過膜を有し、この光半透過膜が、遷移金属とケイ素、あるいは遷移金属とケイ素と酸素および／または窒素とを主な構成要素とする膜からなっており、この膜は実質的に露光に寄与しない強度の光を透過する性質と、露光光の位相を所定量シフトさせる性質とを有するとともに、電子線描画の際に電荷が帯電しない程度以上の導電性を有し、かつ導電性の幅広い制御性をも兼ね備えたものであることから、単純な膜構成により電子線描画時の電荷蓄積や静電気の帯電による影響を防止しつつ再現性の高いパターニングが可能となった。
【００３６】
また、本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用いることにより、好適な位相シフトマスクを得ることができる。
【００３７】
【実施例】
次に、本発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。
【００３８】
（実施例１）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
図１（ａ）に示すハーフトーン型位相シフトマスクブランクを次のようにして製造した。
【００３９】
透明基板１として、主表面を鏡面研磨した石英ガラス基板を用い、この基板上に、ターゲット組成比がタングステン（Ｗ）とケイ素（Ｓｉ）との原子比で１：１、スパッタガスの組成がアルゴンと酸素との容量比で１：１である条件にて、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、膜厚１２４０オングストロームの光半透過膜を形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．０、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は８．０％、Ｗ：Ｓｉ：Ｏの原子比は２６：２９：４５、シート抵抗は３．０×１０^６Ω／□未満であった。
【００４０】
図４は、このようにして得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクの光半透過膜の波長に対する光透過率の依存関係を示す図である。
【００４１】
また、この光半透過膜について、その膜表面からの深さ方向への原子の分布を、ＥＳＣＡ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ ｆｏｒ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ａｎａｌｙｓｉｓ）により分析した。その結果を図５に示す。図５において、Ｘ軸が結合エネルギー（ＢＩＮＤＩＮＧ ＥＮＥＲＧＹ）（ｅＶ）、Ｙ軸が原子数に対応する量、Ｚ軸がサイクル数（ＣＹＣＬＥＳ）（膜表面からの深さに対応し、数字が小さいほど初期の膜表面に近い）を示す。この図より、膜中にＳｉＯ_２が含まれていることが分かる。
【００４２】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、図２の工程図に従って、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【００４３】
まず、位相シフトマスクブランクの光半透過膜２ａ上に電子線レジスト膜４ａ（東ソー社製：ＣＭＳ−Ｍ８）を６０００オングストロームの厚さに形成し（図２（ｂ）参照）、所定のパターンにしたがって電子線を照射した後、レジストの現像処理を行なってレジストパターン４を形成した（図２（ｃ）参照）。
【００４４】
次に、レジストパターン４をマスクとして光半透過膜２ａを反応性ドライエッチング方式（ＲＩＥ）平行平板型ドライエッチング装置を用いて、ドライエッチング処理した（図２（ｄ）参照）。
【００４５】
ドライエッチング処理後、残存レジストパターン４を剥離することにより、光半透過部２および光透過部３を有する位相シフトマスクを得た（図２（ｅ）参照）。
【００４６】
本実施例によれば、位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａが、前述のように３．０×１０^６Ω／□未満のシート抵抗を有するため、位相シフトマスクブランクの作成においてレジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【００４７】
また、本実施例の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であるため、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【００４８】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【００４９】
また、図４に示すように、可視域における透過率が４２％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【００５０】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【００５１】
（実施例２）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例１（１）において、ターゲット組成比をＷ：Ｓｉ原子比＝１：２とした以外は、実施例１（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚１０７８オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．１５、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は７．０％、Ｗ：Ｓｉ：Ｏの原子比は１３：３３：５４、シート抵抗は４．０×１０^６Ω／□未満であった。
【００５２】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【００５３】
本実施例によれば、位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａが、前述のように４．０×１０^６Ω／□未満のシート抵抗を有するので、位相シフトマスクの作成においてレジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【００５４】
また、本実施例の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【００５５】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【００５６】
また、可視域における透過率が４１％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【００５７】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【００５８】
（実施例３）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
図１（ａ）に示すハーフトーン型位相シフトマスクブランクを次のようにして製造した。
【００５９】
透明基板１として、主表面を鏡面研磨した石英ガラス基板を用い、この基板上に、ターゲット組成比がタングステン（Ｗ）とケイ素（Ｓｉ）との原子比で１：１、スパッタガスの組成がアルゴンと窒素との容量比で１：３である条件にて、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、膜厚１０３３オングストロームの光半透過膜を形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．２、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は７．５％、Ｗ：Ｓｉ：Ｎの原子比は２９：３０：４１、シート抵抗は３．８×１０^４Ω／□未満であった。
【００６０】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【００６１】
本実施例によれば、位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａが、前述のように３．８×１０^４Ω／□未満のシート抵抗を有するため、位相シフトマスクブランクの作成においてレジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【００６２】
また、本実施例の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であるため、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【００６３】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【００６４】
また、可視域における透過率が５２％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【００６５】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【００６６】
（実施例４）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例３（１）において、ターゲット組成比をＷ：Ｓｉ原子比＝１：２とした以外は、実施例３（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚９５４オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．５、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は６．５％、Ｗ：Ｓｉ：Ｎの原子比は１４：３０：５６、シート抵抗は５．０×１０^４Ω／□未満であった。
【００６７】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【００６８】
本実施例によれば、位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａが、前述のように５．０×１０^４Ω／□未満のシート抵抗を有するので、位相シフトマスクの作成においてレジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【００６９】
また、本実施例の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【００７０】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【００７１】
また、可視域における透過率が４０％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【００７２】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【００７３】
（実施例５）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
図１（ａ）に示すハーフトーン型位相シフトマスクブランクを次のようにして製造した。
【００７４】
透明基板１として、主表面を鏡面研磨した石英ガラス基板を用い、この基板上に、ターゲット組成比がタングステン（Ｗ）とケイ素（Ｓｉ）との原子比で１：１、スパッタガスの組成がアルゴンと酸素と窒素との容量比で１：１：２である条件にて、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、膜厚１０９７オングストロームの光半透過膜を形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．１３、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は７．８％、Ｗ：Ｓｉ：Ｏ：Ｎ＝１９：２２：３７：２２、シート抵抗は５．２×１０^５Ω／□未満であった。
【００７５】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【００７６】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のようにシート抵抗５．２×１０^５Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【００７７】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【００７８】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【００７９】
また、可視域における透過率が４５％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【００８０】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【００８１】
（実施例６）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例５（１）において、ターゲット組成比をＷ：Ｓｉ原子比＝１：２とした以外は、実施例５（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚９９２オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．２５、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は６．８％、Ｗ：Ｓｉ：Ｏ：Ｎ＝１３：２６：４０：２１、シート抵抗１．３×１０^６Ω／□未満であった。
【００８２】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【００８３】
本実施例によれば、位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａが、前述のように１．３×１０^６Ω／□未満のシート抵抗を有するので、位相シフトマスクの作成においてレジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【００８４】
また、本実施例の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【００８５】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【００８６】
また、可視域における透過率が４３％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【００８７】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【００８８】
（実施例７）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例１（１）において、遷移金属としてタングステンの代わりにタンタル（Ｔａ）を用い、ターゲット組成比をＴａ：Ｓｉ原子比＝１：１とした以外は、実施例１（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚１１２７オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．１、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は９．５％、Ｔａ：Ｓｉ：Ｏの原子比は２５：３０：４５、シート抵抗は２．５×１０^６Ω／□未満であった。
【００８９】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【００９０】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のようにシート抵抗２．５×１０^６Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【００９１】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【００９２】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【００９３】
また、可視域における透過率が５５％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【００９４】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【００９５】
（実施例８）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例１（１）において、遷移金属としてタングステンの代わりにタンタル（Ｔａ）を用い、ターゲット組成比をＴａ：Ｓｉ原子比＝１：２とした以外は、実施例１（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚１０９７オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．１３、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は７．７％、Ｔａ：Ｓｉ：Ｏの原子比は１２：３５：５３、シート抵抗は３．２×１０^６Ω／□未満であった。
【００９６】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【００９７】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のように、シート抵抗３．２×１０^６Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【００９８】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【００９９】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１００】
また、可視域における透過率が４５％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１０１】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１０２】
（実施例９）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例３（１）において、遷移金属としてタングステンの代わりにタンタル （Ｔａ）を用い、ターゲット組成比をＴａ：Ｓｉ原子比＝１：１とした以外は、実施例１（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚９９２オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．２５、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は６．８％、Ｔａ：Ｓｉ：Ｎの原子比は２７：３１：４２、シート抵抗は３．８×１０^４Ω／□未満であった。
【０１０３】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【０１０４】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のようにシート抵抗３．８×１０^４Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【０１０５】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【０１０６】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１０７】
また、可視域における透過率が４３％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１０８】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１０９】
（実施例１０）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例３（１）において、遷移金属としてタングステンの代わりにタンタル （Ｔａ）を用い、ターゲット組成比をＴａ：Ｓｉ原子比＝１：２とした以外は、実施例３（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚１１８１オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．０５、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は６．０％、Ｔａ：Ｓｉ：Ｎの原子比は１３：３０：５７、シート抵抗は５．０×１０^４Ω／□未満であった。
【０１１０】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【０１１１】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のように、シート抵抗５．０×１０^４Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【０１１２】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【０１１３】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１１４】
また、可視域における透過率が４０％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１１５】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１１６】
（実施例１１）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例５（１）において、遷移金属としてタングステンの代わりにタンタル （Ｔａ）を用い、ターゲット組成比をＴａ：Ｓｉ原子比＝１：１とした以外は、実施例５（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚１０５１オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．１８、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は７．２％、Ｔａ：Ｓｉ：Ｏ：Ｎの原子比は１７：２３：３７：２３、シート抵抗は４．８×１０^５Ω／□未満であった。
【０１１７】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【０１１８】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のようにシート抵抗４．８×１０^５Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【０１１９】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【０１２０】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１２１】
また、可視域における透過率が４４％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１２２】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１２３】
（実施例１２）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例５（１）において、遷移金属としてタングステンの代わりにタンタル（Ｔａ）を用い、ターゲット組成比をＴａ：Ｓｉ原子比＝１：２とした以外は、実施例５（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚１１１７オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．２１、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は６．５％、Ｔａ：Ｓｉ：Ｏ：Ｎの原子比は１３：２７：３９：２１、シート抵抗は９．２×１０^５Ω／□未満であった。
【０１２４】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【０１２５】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のように、シート抵抗９．２×１０^５Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【０１２６】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【０１２７】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１２８】
また、可視域における透過率が４０％程度であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１２９】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１３０】
（実施例１３）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
図１（ａ）に示すハーフトーン型位相シフトマスクブランクを次のようにして製造した。
【０１３１】
透明基板１として、主表面を鏡面研磨した石英ガラス基板を用い、この基板上に、ターゲット組成比がタングステン（Ｗ）とケイ素（Ｓｉ）との原子比で１：１、スパッタガスとしてアルゴンのみを用いる条件にて、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、膜厚８１０オングストロームの光半透過膜を形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．５３、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は５．１％、Ｗ：Ｓｉの原子比は４７：５３、シート抵抗は１．５×１０^−３Ω／□未満であった。
【０１３２】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【０１３３】
本実施例によれば、位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａが、前述のように１．５×１０^−３Ω／□未満のシート抵抗を有するため、位相シフトマスクブランクの作成においてレジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【０１３４】
また、本実施例の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であるため、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【０１３５】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１３６】
また、可視域における透過率が３５〜４０％であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１３７】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１３８】
（実施例１４）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例１３（１）において、ターゲット組成比をＷ：Ｓｉ原子比＝１：２とした以外は、実施例１３（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚７７５オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．６０、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は５．５％、Ｗ：Ｓｉの原子比は２８：７２、シート抵抗は２．０×１０^−３Ω／□未満であった。
【０１３９】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【０１４０】
本実施例によれば、位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａが、前述のように２．０×１０^−３Ω／□未満のシート抵抗を有するので、位相シフトマスクの作成においてレジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【０１４１】
また、本実施例の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【０１４２】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１４３】
また、可視域における透過率が３５〜４０％であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１４４】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１４５】
（実施例１５）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例１３（１）において、遷移金属としてタングステンの代わりにタンタル（Ｔａ）を用い、ターゲット組成比をＴａ：Ｓｉ原子比＝１：１とした以外は、実施例１３（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚８００オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．５５、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は５．１％、Ｔａ：Ｓｉの原子比は４９：５１、シート抵抗は１．６×１０^−３Ω／□未満であった。
【０１４６】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【０１４７】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のようにシート抵抗１．６×１０^−３Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【０１４８】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【０１４９】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１５０】
また、可視域における透過率が３５〜４０％であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１５１】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１５２】
（実施例１６）
（１）ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造
実施例１３（１）において、遷移金属としてタングステンの代わりにタンタル（Ｔａ）を用い、ターゲット組成比をＴａ：Ｓｉ原子比＝１：２とした以外は、実施例１３（１）と同様にして、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により、透明基板上に、膜厚７６５オングストロームの光半透過膜２ａを形成し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。形成された光半透過膜の屈折率ｎは２．６２、λ＝２４８ｎｍのときの透過率は５．７％、Ｔａ：Ｓｉの原子比は３３：６７、シート抵抗は２．３×１０^−３Ω／□未満であった。
【０１５３】
（２）ハーフトーン型位相シフトマスクの製造
上記（１）で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを用い、実施例１（２）と同様にして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造した。
【０１５４】
本実施例によれば、光半透過膜２ａが、前述のように、シート抵抗２．３×１０^−３Ω／□未満であるため、レジストパターンの形成のために行なう電子線照射によって打ち込まれた電子が帯電することを充分に防止できるものであった。
【０１５５】
また、本実施例において、光半透過膜２ａは、透明基板１とのエッチング選択比（光半透過膜のエッチング速度／透明基板のエッチング速度）が３以上であり、適宜な条件でのエッチングを行なうことにより、透明基板１をほとんど傷つけずに光半透過膜２ａのエッチングを行なうことができた。
【０１５６】
また、本実施例において、光半透過膜２ａ（光半透過部２）は、透明基板１との充分な付着性を有しており、通常のフォトマスク作成の洗浄工程で行なわれる超音波洗浄やスクラブ洗浄にも耐えることができ、さらに耐酸性に優れているため、上記洗浄工程で行なわれる熱濃硫酸洗浄あるいは過酸化水素と濃硫酸との混合液による洗浄に充分耐え得るものであった。
【０１５７】
また、可視域における透過率が３５〜４０％であり、実施例１と同様にマスクの位置合わせ（アライメント）のために新たにアライメントマークを形成するための膜を形成する必要がない。
【０１５８】
本実施例の位相シフトマスクを使用したところ、従来の位相シフトマスクと同様の焦点深度が得られた。
【０１５９】
上述した実施例１〜１６における位相シフトマスクブランクの製造条件および物性を表１〜表４にまとめて示す。
【０１６０】
【表１】

【０１６１】
【表２】

【０１６２】
【表３】

【０１６３】
【表４】

【０１６４】
（実施例１７）
上記実施例の試料について３６５ｎｍでの屈折率を測定し、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクとしての条件を満たす膜厚において光半透過膜を作成しその透過率を測定したところ、いずれも５〜１５％の範囲であり、３６５ｎｍ波長においてもハーフトーン型シフトマスクブランクおよびハーフトーン型位相シフトマスクとして使用できることを確認した。
【０１６５】
（実施例１８）
上記実施例においてガス導入条件の内、酸素ガスおよび／または窒素ガスの導入量を総量に対し各々５〜１０％程度減少させ光半透過膜を作成し、４３６ｎｍにおける屈折率よりハーフトーン型位相シフトマスクブランクとしての条件を満たす膜厚において透過率を測定したところ、いずれも５〜１５％の範囲であり、導電率を含む他の特性についてもすべて充分な特性値を満たした状態で４３６ｎｍ波長においてもハーフトーン型シフトマスクおよびハーフトーン型位相シフトマスクブランクとして使用できることを確認した。
【０１６６】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランク及びハーフトーン型位相シフトマスクは、透明基板上に光透過部を形成するための光半透過膜を有し、この光半透過膜が、実質的に露光に寄与しない強度の光を透過する性質と露光光の位相を所定量シフトさせる性質とを有すると同時に、電子線描画の際に電荷が帯電しない程度以上の導電性をも兼ね備え、自由に制御できるものであることから、単純な膜構成により電子線描画時の電荷蓄積や静電気による帯電を防止することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のハーフトーン型位相シフトマスクブランクおよび本発明のハーフトーン型位相シフトマスクを示す図であり、図１（ａ）がハーフトーン型位相シフトマスクブランクの１例の断面図、図１（ｂ）がハーフトーン型位相シフトマスクの１例の断面図である。
【図２】本発明のハーフトーン型位相シフトマスクの製造工程の１例を示す説明図である。
【図３】ハーフトーン型位相シフトマスクの作用説明図である。
【図４】実施例１で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクの光半透過膜の波長に対する光透過率の依存関係を示す図である。
【図５】実施例１で得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜の膜表面から深さ方向への原子の分布をＥＳＣＡによって分析した結果を示す図である。
【符号の説明】
１ 透明基板
２ 光半透過部
２ａ 光半透過膜
３ 光透過部
４ レジストパターン
４ａ レジスト膜

Claims (8)

1. 透明基板上に光半透過膜を有し、この光半透過膜が、タンタルとケイ素とを少なくとも含む膜からなることを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスクブランク。
2. 光半透過膜が、さらに酸素、または酸素および窒素を含むものである、請求項１に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランク。
3. 光半透過膜中のタンタルとケイ素が、酸化ケイ素および／または窒化ケイ素中に含有されている、請求項２に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランク。
4. 光半透過膜のシート抵抗が５×１０⁷Ω／□以下である、請求項１、２または３に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランク。
5. 光半透過膜の露光光に対する透過率が４〜２０％である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランク。
6. 光半透過膜の可視光に対する透過率が３〜７０％である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランク。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載の位相シフトマスクブランクにおける光半透過膜に、所定のパターンに従ってその一部を除去するパターニング処理を施すことにより、光透過部と光半透過部とからなるマスクパターンを形成してなることを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスク。
8. 請求項７に記載のハーフトーン型位相シフトマスクを用いてパターン転写を行うことを特徴とするリソグラフィー方法。

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