JP3583895B2 - ストック容器への金属ボールの自動補給方法および装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、基板および半導体チップの電極パッド等に形成されるバンプとして用いられる金および半田等の金属ボールを、基板等の吸着孔に吸着させる際に適用される、ストック容器に対する金属ボールの自動補給方法および装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体実装技術の一つであるBGA(Ball Grid Array)においては、BGAパッケージとマザーボードの電極バンプと称する接合用の金属突起を形成することが行われている。その他、TAB(Tape Automated Bonding)法やフリップチップ等では、半導体チップを基板の電極に接合する際に、同様にバンプが必要である。
【0003】
近年、このバンプとして、径が30μm〜1000μm程度の球状の金属ボールを用い、該金属ボールを多数個ストック容器に収容し、この容器に振動ya気流を付与して金属ボールを浮遊させると共に、上方から吸着孔を有する基板を接近させて、浮遊させた金属ボールを吸着させ、この基板に吸着した金属ボール群を半導体チップの電極パッドあるいは基板に接合する、ボール状バンプの接合技術が知られている。
【0004】
しかして、従来においては、半導体チップの電極パッドあるいは基板と同一配置となるように貫通孔を設けた基板に対し、金属ボールを正確に吸着させ、次いで、これを電極パッドに転写して簡単かつ確実にバンプを接合するための提案がされてきた。(参考技術:特開平5−259224号、特開平7−153765号公報記載技術)
【0005】
これらの従来例においては、例えば図7に示すように、金属ボールbを吸着装置eに装着した基板kの貫通吸着孔pに吸着させる場合には、多数個の金属ボールbを容器c内に多量に入れた状態で振動装置dにより振動を付与して金属ボールbを浮遊させ、基板kを装着した吸着装置eを(a)図の位置から(b)図の位置に移動し、浮遊した金属ボールbを基板kの貫通吸着孔pを介して吸引し、金属ボールbを貫通吸着孔pに吸着させ、(c)図のように吸着孔pに金属ボールbを吸着した状態の基板kを吸着装置eに装着した状態で後工程に移動するようにしている。
【0006】
しかし、これらの従来例では、吸着工程において、吸着欠陥(基板kの吸着孔pに対する金属ボールbの吸着率を100%にできない)を生じることがあった。この吸着欠陥は、金属ボールの浮遊状態が不安定であることに起因して発生すると思われるが、今のところ、浮遊状態を安定確保することについて有用な提案は見当たらない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の点に鑑みなされたもので、径が30〜1000μmの球状の微小金属ボール(以下「金属ボール」と称する。)を基板の吸着孔に吸着させる場合に、容器から所定数の金属ボールを最適高さで浮遊させ、吸着作業を安定させるとともに基板に金属ボールを正確に吸着させられる状態を継続して維持できる、容器への金属ボールの自動補給方法および装置を提供する。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の第一の発明は、ストック容器に多数の金属ボールを載置収容し、ストック容器に振動を付与して金属ボールを浮遊させると共に、上方から吸着孔を有する基板を接近させて、基板の吸着孔に金属ボールを吸着させるに際して、基板に金属ボールを吸着させる前にストック容器を振動させ、この容器内の金属ボールを浮遊させて、この浮遊した金属ボールの浮遊高さを測定し、浮遊高さが設定レベルを超えたとき、所定数の金属ボールをストック容器に自動補給して、吸着操作の際の金属ボールの浮遊高さを、設定レベル以下に維持することを特徴とするストック容器への金属ボールの自動補給方法。
第二の発明は、金属ボールを載置収容するストック容器と、該ストック容器を振動させ金属ボールを浮遊させる振動装置と、該ストック容器の近傍に配設したストック容器から浮遊した金属ボールの浮遊高さを測定する浮遊高さ測定装置と、この測定装置の測定値から浮遊高さを演算して設定浮遊高さレベルと比較し金属ボールの補給個数を演算する演算制御装置と、この演算制御装置からの補給指令により、所定個数の金属ボールをストック容器に補給するボール補給装置を備えたことを特徴とするストック容器への金属ボールの自動補給装置で、第一の発明を実施するための装置例として位置付けられるものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明では、ストック容器内の金属ボールを浮遊させ、基板の吸着孔に吸着させる前に、浮遊高さを管理して、この浮遊高さを最適レベルに維持するようにしており、吸着作業を安定させるとともに基板の吸着孔に対して金属ボールを正確に吸着させられる状態を継続して維持することができる。
【0010】
以下本発明について詳細に説明する。
例えば、ストック容器1に金属ボール2を図7に示すように、多量、例えば3層重ねて載置収容した場合は、この金属ボールを浮遊させるためにストック容器2に振動装置3で振動を付与しても、金属ボール2に振動が効率よく伝達されず、金属ボール2の浮遊状態が安定しない。
【0011】
そのため、吸着工程において、ストック容器に振動を付与して金属ボールを浮遊させて、基板の吸着孔に吸着させようとしても、金属ボールが吸着されない吸着孔もあり、吸着欠陥を発生することが本発明者等によって確認されている。
【0012】
また、金属ボールを少量にして載置収容した場合には、前記多量に載置収容した場合に比べて金属ボールの浮遊状態が安定し吸着性が安定するが、ストック容器への金属ボールの補給頻度が高くなり、金属ボールの補給の都度、装置を停止しなければならず装置の稼働率が低下する。また、複数の補給要員が必要となり、コスト増になることから好ましくない。
【0013】
そこで、本発明者らは、安定した浮遊状態が得られ、同時に装置の稼働率が低下せずかつ補給要員も最小でコスト低減ができる、金属ボールの補給管理について種々実験検討を重ねた。その結果、次のことを知見し本発明を完成した。
【0014】
(実験条件)
・金属ボール
材質:半田(比重9.1)
直径:760μm
・ストック容器(皿状)
底面積:6cm2
・振動装置
振動数:200Hz
(試験結果)
ストック容器上の金属ボールの個数が減少すると、ストック容器上のボールの浮遊高さは高くなり、その傾向はボール搭載量に対し反比例の関係にあるといえる。金属ボールの材質やサイズにより、この関係は変化するが、傾向は同じである。
ストック容器内に金属ボール、数千個を載置収容し、吸着能力、浮遊の安定等を考慮すると、金属ボールの最適高さは、ストック容器底面より数mmと限定できる。
【0015】
金属ボールの個数が少なすぎると、金属ボールが基板に衝突したり、金属ボール同士て衝突して異方向に弾かれるため、基板に吸着し難くなり吸着率が低下する。また、多すぎると、金属ボールへの振動伝達が悪くなり、所望の浮遊高さに達しないため、吸着率が低下する。
【0016】
上記のことから、吸着対象基板条件、実装置の構造条件、金属ボール条件、吸吸引条件、ストック容器条件等を考慮して設定された、吸着率100%を得るためのストック容器内の金属ボール個数と浮遊高さの関係から、最適浮遊高さレベル(範囲)を設定して、所定個数(複数回分)の金属ボールをストック容器に入れ、吸着作業前に、振動装置によりストック容器内で浮遊させその浮遊高さを測定する。
【0017】
この浮遊高さが最適浮遊高さレベルを超えた場合には、ストック容器内の金属ボールの残数が規定数より少なくなったことを示しているので、最適浮遊高さレベル以下になるように、直ちにストック容器内に所定数の金属ボールを補給すればよい。
このストック容器内での金属ボールの浮遊高さの測定と補給作業は、全自動的または半自動的に行うことができる。
【0018】
【実施例】
本発明の実施例を、図1に基づいて説明する。
図1において、1は内部に所定の径で球状の金属ボール2を載置収容するための皿状のストック容器、3は該ストック容器1の下部に設置してこのストック容器を振動させる振動装置、4はストック容器1の上方に近接して配設した金属ボール2の浮遊高さ測定装置、5は該測定装置4からの測定信号を処理して金属ボール2の浮遊高さと補給個数を演算する演算制御装置、6は該演算制御装置5からの指令により所定数の金属ボール2をストック容器1に補給するためのボール補給装置である。
【0019】
振動装置3はストック容器1に50〜500Hzの縦方向の微小振動を付与するもので、ピエゾ振動機や電磁振動機などが適当である。また、金属ボール2の浮遊高さ測定装置4としては、例えばレーザー測定装置あるいは超音波測定装置などが適当である。
【0020】
ボール補給装置6は、ホッパー7を金属ボールの流通管8の通過孔9を開閉でき、金属ボールの量(個数または重量)を計数できる計数開閉装置10を備えており、該演算制御装置5からの指令により、駆動制御装置11を介して金属ボールの量(個数または重量)を補給するための通過孔9の開閉動作を制御できるようになっている。
【0021】
図1の装置を用いて行う実際のボール自動補給操作について、図2〜図5に基づいて説明する。
予め、実験や実績に基づいて、装置条件、吸着対象基板条件、金属ボール条件、吸引条件、ストック容器条件、振動条件に応じた、図3に示した基板12の吸着孔13に対する金属ボール2の吸着率を100%にするためのストック容器1内金属ボール2の個数と浮遊高さを求めておき、ストック容器1に所定個数の金属ボール2を載置収容し、振動装置3で所定の振動条件でストック容器1を振動させることにより、ストック容器1内の金属ボール2を浮遊させる。通常の場合、ストック容器1内には、図2に示すように、複数回分の金属ボール2が載置収容されている。
【0022】
図3(a)に示すように、ストック容器1を振動装置3により振動を付与して金属ボール2を浮遊させた状態で、ストック容器1の上方に昇降自在で水平移動自在な吸着装置14を、基板11の吸着孔13の下端がBの位置になるまで降下させ、浮遊状態の金属ボール2を図3(b)に示すように、基板12の吸着孔13に吸着させる。なお、図中15は吸着装置14の吸引装置(図示省略)との接続口である。
【0023】
本発明では、この吸着操作の前に、図4に示すように、ストック容器1の近傍に配設した浮遊高さ測定装置4により、ストック容器1内で浮遊させた金属ボール2の浮遊高さを測定する。
この浮遊高さの測定値が設定値h(ボール個数が不足し始める高さ)を超えたとき、ストック容器1に補給すべき金属ボール2の個数が演算制御装置5により演算され、駆動制御装置11を介してボール補給装置6の計数開閉装置10を制御し、ボール補給装置6からストック容器1へ所定個数の金属ボール2が補給されてから吸着操作を開始するようにしている。
【0024】
図4は、金属ボール2の浮遊高さが設定値h以下で、ストック容器1内の金属ボール2の個数が適正である正常状態を示しており、図5は、ストック容器1内の金属ボール2の浮遊高さが設定値hを超えており、ストック容器1内の個数が不足し、ボール補給装置6からストック容器1内に金属ボール2の補給が必要である状態を表している。
【0025】
上記の図1〜図3で説明したような実験装置で、基板12の吸着孔13の下端位置を、底面積が30cm2 のストック容器1の底面から数mmの位置にし、吸引条件を一定にし、比重9.1で、径が760μmの球状の金属ボール2を、ストック容器1に載置収容し、浮遊高さレベルを10mmに設定してストック容器に対する金属ボールの補給管理を行いながら、基板12への金属ボール2の吸着実験を行い、吸着作業後の基板12での金属ボール2の吸着率を調査した。
【0026】
その結果、浮遊高さレベルを設定して、この設定レベルで所定個数の金属ボールの補給を行った本発明の実施例の場合には、吸着率はすべて100%であった。これに対して、金属ボール2を、ストック容器1に積層する状態にある個数まで載置収容し、目視で適時、適当量補給した比較例の場合には吸着率は、100%の場合もあったが、92〜97%レベルのものもあった。
【0027】
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではない。例えば、ストック容器条件、浮遊高さ測定装置条件、ボール補給装置条件、振動装置条件等については、吸着対象基板条件、金属ボール条件等に応じて変更されるものである。
【0028】
【発明の効果】
本発明は、ストック容器内の金属ボールを浮遊させ、基板の吸着孔に吸着させる前に、浮遊高さを管理して、この浮遊高さを最適レベルに維持するようにしており、吸着作業を安定させるとともに基板の吸着孔に対して金属ボールを正確に吸着させられる状態を継続して維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の金属ボール自動補給装置の実施例を示す一部断面側面説明図。
【図2】本発明でのストック容器内金属ボールの載置収容状態例を示す側断面説明図。
【図3】(a)図は本発明の実施例での基板の吸着孔に対する金属ボールの吸着動作例を示す側断面説明図、(b)図は基板の吸着孔に対する金属ボールの吸着状態例を示す側断面説明図。
【図4】本発明の実施例でのストック容器内金属ボールの浮遊状態(正常状態)と浮遊高さ測定装置の配置例を示す側断面説明図。
【図5】本発明の実施例でのストック容器内金属ボールの浮遊状態(異常状態)と浮遊高さ測定装置の配置例を示す側断面説明図。
【図6】ストック容器内金属ボールの多量載置収容状態例を示す側断面説明図。
【図7】従来例での基板の吸着孔に対する金属ボールの吸着動作例を示す側断面説明図。
【符号の説明】
1 ストック容器
2 金属ボール
3 振動装置
4 浮遊高さ測定装置
5 演算制御装置
6 ボール補給装置
7 ホッパー
8 流通管
9 流通路
10 計数開閉装置
11 駆動制御装置
12 基板
13 吸着孔
14 吸着装置
15 吸引口
Claims (2)
- ストック容器に多数の金属ボールを載置収容し、ストック容器に振動を付与して金属ボールを浮遊させると共に、上方から吸着孔を有する基板を接近させて、基板の吸着孔に金属ボールを吸着させるに際して、基板に金属ボールを吸着させる前にストック容器を振動させ、この容器内の金属ボールを浮遊させて、この浮遊した金属ボールの浮遊高さを測定し、浮遊高さが設定レベルを超えたとき、所定数の金属ボールをストック容器に自動補給して、吸着操作の際の金属ボールの浮遊高さを、設定レベル以下に維持することを特徴とするストック容器への金属ボールの自動補給方法。
- 金属ボールを載置収容するストック容器と、該ストック容器を振動させ金属ボールを浮遊させる振動装置と、該ストック容器の近傍に配設したストック容器から浮遊した金属ボールの浮遊高さを測定する浮遊高さ測定装置と、この測定装置の測定値から浮遊高さを演算して設定浮遊高さレベルと比較し金属ボールの補給個数を演算する演算制御装置と、この演算制御装置からの補給指令により、所定個数の金属ボールをストック容器に補給するボール補給装置を備えたことを特徴とするストック容器への微小金属ボールの自動補給装置。
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