JP3563723B2 - グロー放電負荷の試験負荷装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、スパッタリング装置などのグロー放電を利用した装置に用いられる直流電源の試験において、グロー放電開始までの高インピーダンス状態と正規グロー放電のインピーダンス状態と、さらにアーク放電発生時の低インピーダンス状態を模擬して、直流電源の各状態における特性を容易に試験できるようにした試験負荷装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
本発明の試験負荷装置を説明するに当たって、スパッタリング装置などのグロー放電を利用した装置に用いられる直流電源に求められる機能について説明する。
【0003】
図1はグロー放電の電流−電圧特性を示したものである。グロー放電が始まるためには放電開始電圧以上の電圧を印加しなければならず、放電開始電圧以上の電圧を印加するとグロー放電が始まり、電流密度が上がるにつれて電圧が急速に低下する負性抵抗領域である前期グローと呼ばれる領域に入る。さらに電流密度が上がると、電圧があまり変化しない正規グローと呼ばれる領域に入る。そして、さらに電流密度が上がると電圧も上昇する異常グロー領域に入り、ついにはアーク放電領域に至る。
【0004】
スパッタリング装置の場合では、放電開始電圧は1000V〜1600Vであり、正規グローの電圧は数百Vである。これに対して、アーク放電時は100V以下の電圧となり、過大な電流が流れることになる。この過大な電流によって、スパッタリング装置のターゲット材などを損傷したり、さらにはスパッタリング装置で製造する製品にも影響を及ぼし、製品の品質の低下や歩留まりの低下を招くことになる。
【0005】
そこで、このグロー放電を利用したスパッタリング装置などに用いられる直流電源の機能として、
(1)放電開始時は、放電開始電圧以上の電圧を出力でき、そのときの出力インピーダンスが大きいこと、
(2)グロー放電が開始して、定常運転に入ると、出力インピーダンスは極力小さく、かつ、グロー放電の開始後は速やかに電圧を低下させて、異常グロー領域に入らないようにすること、
(3)アーク放電が発生した場合には、アーク放電を速やかに検出し、出力電圧をゼロVあるいは小さな逆電圧にしてアーク放電を消滅させ、一定時間後に再び出力して正常なグロー放電に戻すことが要求される。
【0006】
図2は、このような機能を備えたスパッタリング装置用直流電源のアーク放電
発生時の出力電圧および出力電流の一例を示したものである。なお図2において、出力電圧はターゲット(陰極)への電位で示している。アーク放電が発生すると出力電圧がステップ状に立ち上がり、逆に出力電流が急増する。この時間は多くとも数十nsである。その後、直流電源がアーク放電を検出し、出力電圧をゼロVにすると出力電流はゼロまで減衰する。アーク放電検出から出力電流がゼロになるまでの時間は、直流電源によって異なるが、数μsから数十μsである。一定の時間後に直流電源が出力電圧を復帰させると、放電開始電圧に向かって立ち下がり、放電開始電圧を超えると電流が流れ始め、電圧も正規グローの電圧に戻っていく。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記直流電源において、これらの機能の確認試験をする場合は、従来、スパッタリング装置などのグロー放電を利用した装置そのものと組合わせなければならなかった。一方、これらの装置は高価であり、寸法も大きく、直流電源の製造者が必ずしも用意できるものではないので、直流電源の機能確認試験が困難であった。
【0008】
そこで本発明の目的は、スパッタリング装置などのグロー放電を利用した装置と組合わせなくとも、直流電源単独で前記機能を確認できるような試験負荷装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の試験負荷装置は、グロー放電開始電圧に相当する電圧になったことを、分圧器とトリガダイオードで検出してパルス信号を作り、正規グローに相当するインピーダンスを持った模擬負荷に直列接続されたサイリスタスイッチにパルス信号を供給してサイリスタスイッチを点弧することによって、グロー放電までの高インピーダンス状態から正規グロー放電のインピーダンス状態への移行現象を模擬できる機能を備えている。
【0010】
また、本発明の試験負荷装置は、アーク放電電圧に相当する電圧を模擬するコンデンサ負荷と、このコンデンサ負荷に直列接続されたサイリスタスイッチとを備え、コンデンサ負荷に予めアーク放電電圧に相当する電圧を充電した後、サイリスタスイッチを点弧することによって、アーク放電発生時の低電圧,低インピーダンス状態への移行現象を模擬できる機能を備えている。
【0012】
さらにまた、本発明の試験負荷装置は、前期グロー放電までの高インピーダンス状態から正規グロー放電のインピーダンス状態への移行現象を模擬できる機能と、アーク放電発生時の低電圧,低インピーダンス状態への移行現象を模擬できる機能とを同時に備えて、さらに連続的に確認できる機能を備えている。
【0013】
【発明の実施の形態】
図3は、本発明による試験負荷装置の回路例を示したものである。この試験負荷装置は、放電開始動作模擬回路20と、アーク放電模擬回路30とを備えている。
【0014】
放電開始動作模擬回路20は、サイリスタスイッチ1Aと、そのゲートフィルタ2Aと、パルストランス3Aと、電流制限抵抗4と、設定電圧以上でオンするトリガダイオード5と、パルス電源用コンデンサ6と、分圧器7と、負荷抵抗8とから構成されている。負荷抵抗8は、正規グロー領域に相当するインピーダンスに設定され、模擬負荷を構成している。
【0015】
一方、アーク放電模擬回路30は、サイリスタスイッチ1Bと、そのゲートフィルタ2Bと、パルストランス3Bと、パルス変換回路9と、ゲートパルス供給用DC電源10と、模擬アーク放電電圧充電用のコンデンサ11と、電流制限抵抗12と、ブロックダイオード13,14と、模擬アーク放電電圧充電用のDC電源15と、スイッチ16,17,18と、スイッチ制御器19とから構成されている。
【0016】
以上のような構成の試験負荷装置は、前述した機能を有する直列電源40に接続される。
【0017】
次に、この試験負荷装置の動作を説明するが、まず、放電開始動作模擬回路20による、グロー放電までの高インピーダンス状態から正規グロー放電のインピーダンス状態への移行現象の模擬動作について説明する。
【0018】
直流電源40からの出力電圧が試験負荷装置に供給されると、分圧器7によって分圧された電圧がトリガダイオード5の設定電圧以上に達した時点で、トリガダイオード5がオンして、パルス電源用コンデンサ6と電流制限抵抗4とで決まるパルス電流がパルストランス3Aに流れる。このパルス電流はパルストランス3Aの二次側に変換され、ゲートフィルタ2Aでノイズが除去されて、サイリスタスイッチ1Aのゲートに供給され、サイリスタスイッチ1Aがオンする。サイリスタスイッチ1Aがオンすると模擬負荷8に電流が流れ始めるが、模擬負荷8は正規グロー領域に相当するインピーダンスに設定してあるので、直流電源40が、グロー放電領域に入ったことを検知して出力電圧を低下させれば、過電流にならずに定常運転状態に入ることができる。
【0019】
次に、アーク放電模擬回路30による、アーク放電発生時の低電圧、低インピーダンス状態への移行現象の模擬動作を、図4に示すスイッチ16,17,18のオン,オフのタイミング図を参照して説明する。
【0020】
スイッチ16がオンすると、模擬アーク放電電圧充電用のコンデンサ11が電流制限抵抗12を介して放電される。次に、スイッチ16がオフしてスイッチ17がオンすると、予め模擬アーク放電電圧に設定されているDC電源15により模擬アーク放電電圧充電用のコンデンサ11が電流制限抵抗12を介して模擬アーク放電電圧に充電される。その後、スイッチ17をオフしてスイッチ18をオンすると、ゲートパルス供給用DC電源10からパルス変換回路9を介してパルストランス3Bにパルス電流が流れる。このパルス電流はパルストランス3Bの二次側に変換され、ゲートフィルタ2Bによりノイズが除去されてサイリスタスイッチ1Bのゲートに供給され、サイリスタスイッチ1Bがオンする。サイリスタスイッチ1Bがオンすると、放電開始動作模擬回路20の模擬負荷8に流れていた電流は、模擬アーク放電電圧充電用のコンデンサ11の電圧が低いために、ブロックダイオード13でブロックされて、サイリスタスイッチ1Aがオフすると同時に、模擬アーク放電電圧充電用のコンデンサ11に急速に電流が流れ込む。このとき、直流電源40が急激な電圧の低下や過大な電流を検知してアーク放電として検出し、出力電圧をゼロVにするか、または小さな逆電圧を発生すると、出力電流が急速に減少しサイリスタスイッチ1Bがオフする。
【0021】
一定の時間後に、直流電源40が出力電圧を復帰させると放電開始電圧に向かって立ち上がり、再び放電開始動作模擬回路20が動作する。
【0022】
ここでスイッチ16,17,18の動作を停止しなければ、アーク放電模擬回路30の動作が繰り返される。したがって、直流電源の放電開始時の動作とアーク放電発生時の動作が連続的に模擬でき、機能確認ができる。
【0023】
図5は、本発明による試験負荷装置の他の回路例を示したものである。この試験負荷装置は、放電開始動作模擬回路20と、アーク放電模擬回路32とを備えている。図3の試験負荷装置と比べて、アーク放電模擬回路の構成が異なる。すなわち、アーク放電模擬回路32は、模擬アーク電圧充電用のコンデンサ11への予備充電回路(ブロックダイオード14、DC電源15、スイッチ16,17)は無く、言い換えればアーク電圧が0Vの場合に相当する。この場合、電流制限抵抗12は放電時定数がスイッチ18のオン・オフ周期に比べて充分小さな値に設定される。また、スイッチ制御器19は、図3の場合と異なり、一定周波数の単発パルス発生器で充分である。
【0024】
図6は、本発明による試験負荷装置のさらに他の回路例を示したものである。この試験負荷装置は、放電開始動作模擬回路20と、アーク放電模擬回路32とを備えている。図5の試験負荷装置と比べて、放電開始動作模擬回路の構成が異なる。すなわち、補助サイリスタ1Cが付加されている。
【0025】
この放電開始模擬回路22では、トリガダイオード5がオンしてもサイリスタスイッチ1Aをオンさせるに十分な電流が供給できない場合(例えば、サイリスタスイッチ1Aが2個以上のサイリスタ素子を直列接続したもので構成される場合)に、トリガダイオード5がオンすると補助サイリスタ1Cがオンして、補助サイリスタ1Cに流れる電流でパルストランス3Aを駆動してサイリスタスイッチ1Aのゲート電流を供給するようにしたものである。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のグロー放電負荷の模擬試験装置を用いることにより、スパッタリング装置などのグロー放電を利用した装置に用いられる直流電源の放電開始時の動作特性とアーク放電発生時の動作特性を、実際の負荷装置と組合わせることなく容易に確認することができ、直流電源の単独の試験が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】グロー放電の電力−電圧特性を示す図である。
【図2】スパッタリング装置用直流電源のアーク放電発生時の出力電圧および出力電流の一例を示す図である。
【図3】本発明の試験負荷装置の回路例を示す図である。
【図4】スイッチのオン,オフのタイミング図である。
【図5】本発明の試験負荷装置の他の回路例を示す図である。
【図6】本発明の試験負荷装置のさらに他の回路例を示す図である。
【符号の説明】
1A,1B サイリスタスイッチ
1C 補助サイリスタ
2A,2B ゲートフィルタ
3A,3B パルストランス
4A,12 電流制限抵抗
5 トリガダイオード
6 パルス電源用コンデンサ
7 分圧器
8 負荷抵抗
9 パルス変換回路
10 ゲートパルス供給用DC電源
11 模擬アーク放電電圧充電用のコンデンサ
13,14 ブロックダイオード
15 模擬アーク放電電圧充電用のDC電源
16,17,18 スイッチ
19 スイッチ制御器
20,22 放電開始動作模擬回路
30,32 アーク放電模擬回路
40 直列電源
Claims (7)
- グロー放電を利用した装置に用いられる直流電源の試験負荷装置において、
正規グローに相当するインピーダンスを持った模擬負荷と、
前記模擬回路に直列接続されたスイッチと、
グロー放電開始電圧に相当する電圧になったことを検出して、前記スイッチをオンするパルス信号を作成する回路とを備え、
前記パルス信号を供給して前記スイッチをオンすることによって、グロー放電までの高インピーダンス状態から正規グロー放電のインピーダンス状態への移行現象を模擬することを特徴とする試験負荷装置。 - 前記模擬負荷は、抵抗であり、前記スイッチは、サイリスタであることを特徴とする請求項1に記載の試験負荷装置。
- グロー放電を利用した装置に用いられる直流電源の試験負荷装置において、
アーク放電電圧に相当する電圧を模擬するコンデンサ負荷と、
前記コンデンサに直列接続されたスイッチとを備え、
前記コンデンサに予めアーク放電電圧に相当する電圧を充電した後、前記スイッチをオンすることによって、アーク放電発生時の低電圧,低インピーダンス状態への移行現象を模擬することを特徴とする試験負荷装置。 - 前記スイッチは、サイリスタであることを特徴とする請求項3に記載の試験負荷装置。
- グロー放電を利用した装置に用いられる直流電源の試験負荷装置において、
正規グローに相当するインピーダンスを持った模擬負荷と、前記模擬回路に直列接続された第1のスイッチと、グロー放電開始電圧に相当する電圧になったことを検出して、前記第1のスイッチをオンするパルス信号を作成する回路とを備え、前記パルス信号を供給して前記第1のスイッチをオンすることによって、グロー放電までの高インピーダンス状態から正規グロー放電のインピーダンス状態への移行現象を模擬する放電開始動作模擬回路と、
アーク放電電圧に相当する電圧を模擬するコンデンサ負荷と、前記コンデンサに直列接続された第2のスイッチとを備え、前記コンデンサに予めアーク放電電圧に相当する電圧を充電した後、前記第2のスイッチをオンすることによって、
アーク放電発生時の低電圧、低インピーダンス状態への移行現象を模擬するアーク放電模擬回路とを有し、
グロー放電までの高インピーダンス状態から正規グロー放電のインピーダンス状態への移行現象と、アーク放電発生時の低電圧,低インピーダンス状態への移行現象とを連続的に模擬することを特徴とする試験負荷装置。 - 前記模擬負荷は、抵抗であり、前記第1および第2のスイッチは、サイリスタ
であることを特徴とする請求項5に記載の試験負荷装置。 - 前記グロー放電を利用した装置は、スパッタリング装置であることを特徴とす
る請求項1〜6のいずれかに記載の試験負荷装置。
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