JP3558733B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は広範な圧力帯域で効率よく排気することができ、構造も簡単な真空ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、真空ポンプとしてはターボ分子ポンプ、ねじ溝ポンプ、スクロールポンプおよびドラッグポンプ等があり、特にターボ分子ポンプはロータの外周面に回転翼を備えるものとして、ねじ溝ポンプはロータの外周面にねじ部を備えるものとして知られている。
【0003】
ターボ分子ポンプは図7に示す如く高真空側で排気効率がよく、ねじ溝ポンプ、スクロールポンプおよびドラッグポンプは図8に示す如く低真空側で排気効率がよいという特性を有する。
【0004】
また、低真空から高真空領域までの幅広い排気を可能とする観点から開発された真空ポンプとして、たとえば上記のようなターボ分子ポンプとねじ溝ポンプを複合した、いわゆる広帯域型複合ポンプも知られている。
【0005】
この種の広帯域型複合ポンプについては、図9(a)に示す如く一つの駆動軸50により回転翼aとねじ部bの双方が同時に回転する構造、同図(b)に示す如く別個独立に回転する二つの駆動軸51,52により回転翼aとねじ部bがそれぞれ別々に回転する構造、または同図(c)に示す如くねじ部b側から回転翼a側を切り離すための切離機構53を設け、これにより一つの駆動軸54で回転翼aおよびねじ部bの双方回転と、ねじ部bのみの回転とを適宜選択可能とした構造がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の広帯域型複合ポンプにあっては次のような問題点を有している。
【0007】
図9(a)に示す構成によると、回転翼aおよびねじ部bの双方が同時に回転するものであるため、低真空側においてはターボ分子ポンプ部(回転翼aのある部分)の受ける負荷が過大となることから、図10(b)点線(8)で示すように回転数の低下や発熱を招き、ねじ溝ポンプ部(ねじ部bのある部分)のもつ本来の性能が発揮されず、排気効率が悪く、排気作動可能な圧力帯域が狭くなる(図10(a)実線(9)参照)。
【0008】
なお、回転数低下を防止する観点から、その回転に要するモータを大きなものとすると、それだけ消費電力が増大する等の不具合がある。
【0009】
図9(b)および(c)に示す構成のものは、ともにターボ分子ポンプ部とねじ溝ポンプ部の独立した回転を可能とするものであるから、上記のような不具合を回避することは可能であるが、その構造上次のような欠点を有する。
【0010】
すなわち、図9(b)に示す構成にあっては、ターボ分子ポンプ部とねじ溝ポンプ部の独立した回転が二つの駆動軸51,52によるものであるため、複数の駆動軸を必要とするばかりでなく、駆動軸についての減速機構や複数のコントローラ等も必要となり、機器全体が複雑なものとなる。
【0011】
一方、図9(c)に示す構成にあっては、そのような独立の回転が切離機構53によるものであるため、その切り離しの構造が複雑であることから、これもまた機器全体が複雑なものとなる。
【0012】
この発明は上述の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは広範な圧力帯域で効率よく排気することができ、構造も簡単な真空ポンプを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、一定の圧力帯域で回転によるガスの排気を行うとともに、その排気のための翼部またはねじ部を備えてなる第1の回転ポンプ部と、上記第1の回転ポンプ部とは異なる圧力帯域で回転によるガスの排気を行うとともに、その排気のための翼部またはねじ部を備えてなる第2の回転ポンプ部と、上記第1の回転ポンプ部と第2の回転ポンプ部との間に設けられたすべり機構とを有し、
上記すべり機構は、
上記第1の回転ポンプ部側に備えられた第1の接合部材と、上記第2の回転ポンプ部側に備えられ上記第1の接合部材と接触または磁気的に非接触で接合する第2の接合部材とを有し、
一方のポンプ部に作用する負荷が上記第1の接合部材と第2の接合部材との接合力よりも小さいときは、その接合力により第1の回転ポンプ部と第2の回転ポンプ部とが一体に回転し、上記一方のポンプ部に作用する負荷が上記接合力を上回ると、その負荷により上記第1および第2の接合部材が互いにすべるようになり、
上記第1の接合部材および第2の接合部材は、
第1の磁石体とこの第1の磁石体と吸引し合う第2の磁石体、第1の当接部とこの第1の当接部に摺動可能に接する第2の当接部、磁性流体とこの磁性流体に接するように挿入された突起部、のいずれかより選択される
ことを特徴とする。
【0014】
請求項2記載の発明は第1の回転ポンプ部が、回転可能に配設された筒体からなるねじポンプロータと、上記ねじポンプロータの外周面に設けたねじ部とを備え、第2の回転ポンプ部が、回転可能に配設された筒体からなるターボポンプロータと、上記ターボポンプロータの外周面側に設けた翼部とを備えることを特徴とする。
【0015】
請求項3記載の発明は、請求項1記載の真空ポンプにおいて、上記第1の接合部材および第2の接合部材が、それぞれ第1および第2の磁石体であって、これらの磁石体が永久磁石からなることを特徴とする。
【0016】
請求項4記載の発明は、請求項1記載の真空ポンプにおいて、上記第1の接合部材および第2の接合部材が、それぞれ第1および第2の磁石体であって、これらの磁石体のうちいずれか一方が電磁石からなることを特徴とする。
【0021】
【作用】
この発明は、第1および第2のポンプ部のいずれかに過大な負荷が作用する圧力帯域では両回転ポンプ部間にその負荷に応じたすべりが生じ、負荷を受けた側の回転ポンプ部の回転が停止する。
【0022】
【実施例】
以下、この発明に係る真空ポンプの実施例について図1ないし図6を用い詳細に説明する。
【0023】
この真空ポンプは図1に示すようにケーシング1内に、第1の回転ポンプ部としてねじ溝ポンプ部2、および第2の回転ポンプ部としてターボ分子ポンプ部3を備える。
【0024】
ねじ溝ポンプ部2は筒体からなるねじポンプロータ200とねじ部201から構成されており、ねじポンプロータ200はその内側に位置する軸部4に一体に設けられ、かつ軸部4を中心に回転可能に支持され、またねじ部201はねじポンプロータ200の外周面に形成されている。
【0025】
ねじポンプロータ200の内側には軸部4の外周面と対向する位置にステータ5が設けられ、ステータ5にはモータ6の固定子600が設置されており、また軸部4にはこの固定子600と対向する位置に当該モータ6の回転子601が配設されている。
【0026】
一方、ターボ分子ポンプ部3はねじ溝ポンプ部2と直列に配置され、かつ筒体からなるターボポンプロータ300と翼部301から構成されている。
【0027】
ターボポンプロータ300はその内側の軸部7にベアリング8,8を介して回転可能に取り付けられており、軸部7はねじ溝ポンプ部2の軸部4の延長線上に位置し、かつ一端がねじポンプロータ200の端面に一体に固定されている。
【0028】
翼部301はターボポンプロータ300の外周面側に設けられ、かつ複数の回転翼301aと固定翼301bから構成されており、回転翼301aと固定翼301bはターボポンプロータ300の回転中心軸線に沿って交互に配設され、回転翼301aはターボポンプロータ300の外周面に一体に、また固定翼301bはケーシング1の内壁面に一体に設けられている。
【0029】
ターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2との間にはすべり機構として磁気カップリング部9が設けられており、磁気カップリング部9は第1および第2の磁石体(接合部材)900,901から構成されている。
【0030】
第1の磁石体900はねじ溝ポンプ部2とターボ分子ポンプ部3との間に位置し、かつねじ溝ポンプ部2側に取り付けられている一方、第2の磁石体901は第1の磁石体900と対向し、かつターボ分子ポンプ部3側に取り付けられている(図2参照)。
【0031】
また、第1および第2の磁石体900,901は永久磁石から構成され、互いに吸引し合うように設けられているとともに、ねじ溝ポンプ部2およびターボ分子ポンプ部3の回転中心回りに環状に複数配設されている(図3参照)。
【0032】
このような構成のすべり機構は吸引力によりターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2を磁気的に非接触に接合するとともに、その接合力(吸引力)を上回る過大な負荷がターボ分子ポンプ部3に作用するときは当該負荷に基づきすべりが生じ、ねじ溝ポンプ部2のみの回転を可能とするものである。
【0033】
なお、ターボ分子ポンプ部3のみでは高真空側で排気効率がよく、ねじ溝ポンプ部2のみでは低真空側で排気効率がよい。このように効率のよい圧力帯域に差が生じるのは、ターボ分子ポンプ部3は高真空側においてガスの排気に有効な翼部301を備えるのに対し、ねじ溝ポンプ部2は低真空側においてガスの排気が有効なねじ部201を備えるためである。
【0034】
次に、上記の如く構成された真空ポンプの動作を図1に基づき説明する。
【0035】
この真空ポンプによれば、運転開始当初のように排気しようとするガスの圧力が高い帯域(低真空側)では、ターボ分子ポンプ部3は回転せず、ねじ溝ポンプ部2のみが回転する。
【0036】
すなわち、モータ6を起動すると、ねじポンプロータ200の回転力が磁気カップリング部9を介してターボポンプロータ300側に伝達されようとする。
【0037】
しかし、低真空側ではターボ分子ポンプ部3に過大な負荷が作用し、その負荷が磁気カップリング部9の吸引力を上回り、磁気カップリング部9でのすべりが大きなものとなる。
【0038】
そのため、ねじポンプロータ200の回転力はターボポンプロータ300側に伝達されず、よってターボ分子ポンプ部3は回転せず、ねじ溝ポンプ部2のみが回転し、そのねじ部201によるガスの排気が行われる。
【0039】
このように、低真空側では磁気カップリング部9でのすべりを通じてターボ分子ポンプ部3にかかる負荷が逃げ、その負荷による回転数の低下や発熱が防止される。
【0040】
さらに、排気しようとするガスの圧力が次第に低下し、高真空側に至ると、これに伴いターボ分子ポンプ部3に作用する負荷が磁気カップリング部9の吸引力を下回り、その吸引力によりターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2とが非接触に接合される。
【0041】
これにより、ねじポンプロータ200の回転力が磁気カップリング部9を介してターボポンプロータ300側に伝達され、その結果、ねじ溝ポンプ部2に加えて、ターボ分子ポンプ部3も回転し、その翼部301によるガスの排気が行われる。
【0042】
すなわち、この実施例の真空ポンプは、ターボ分子ポンプ部3に過大な負荷が作用する圧力帯域(低真空側)ではターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2間にその負荷に応じたすべりが生じ、ターボ分子ポンプ部3の回転が停止するように構成したものである。このため過大な負荷を受けながらターボ分子ポンプ部3が回転し続ける不具合、すなわち回転数の低下や発熱を防止でき、排気効率の向上と、排気作動可能な圧力帯域の拡大を図れる。
【0043】
しかも、この真空ポンプによると、負荷に基づくターボ分子ポンプ部3の回転停止がねじ溝ポンプ部2とターボ分子ポンプ部3間を切り離す機構によるのではなく、すべりによるものであるため、機器構造も簡単である。
【0044】
なお、すべり機構については図4あるいは図5に示す構造のものを適用することができる。
【0045】
図4のすべり機構は固体摩擦を利用したものであり、第1および第2の当接部(接合部材)10,11から構成されている。
【0046】
第1の当接部10はねじ溝ポンプ部2とターボ分子ポンプ部3との間に位置し、かつねじ溝ポンプ部2側に取り付けられている一方、第2の当接部11は第1の当接部10に摺動可能に接し、かつターボ分子ポンプ部3側に取り付けられている。
【0047】
このような構成のすべり機構は両当接部10,11間に生じる摩擦力によりターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2を接合するとともに、その接合力(摩擦力)を上回る過大な負荷がターボ分子ポンプ部3に作用するときには当該負荷に基づきすべりが生じ、ねじ溝ポンプ部2のみの回転を可能とするものである。
【0048】
図5のすべり機構は流体の粘性を利用したものであり、ねじ溝ポンプ部2とターボ分子ポンプ部3との間に磁性流体12を備える。
【0049】
磁性流体(第1の接合部材)12はねじポンプロータ200の端面に形成した環状の注入溝13に充填されており、また注入溝13には突起部(第2の接合部材)14の先部が磁性流体12と接するように挿入配設され、突起部14の後部はターボポンプロータ300に固定されている。つまり磁性流体12はねじ溝ポンプ部2に直接接するとともに、突起部14を介してターボ分子ポンプ部3に接するように設けられている。
【0050】
注入溝13の内外両側壁には磁性流体12の流出を防止するための電磁石15が埋設されている。
【0051】
このような構成のすべり機構は磁性流体12を介してねじ溝ポンプ部2とターボ分子ポンプ部3を接合する、つまり磁性流体12の粘性で突起部14を注入溝13に拘束し、これによりターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2の接合を図るとともに、その接合力(粘性による拘束力)を上回る過大な負荷がターボ分子ポンプ部3に作用するときは当該負荷に基づきすべりが生じ、ねじ溝ポンプ部2のみの回転を可能とするものである。
【0052】
特に、このすべり機構では磁性流体12のすべてを電磁石15側に吸引して磁性流体12と突起部14を非接触とし、これによりねじ溝ポンプ部2とターボ分子ポンプ部3との接合を解除でき、またその接合力の変更も電磁石15の吸引力の調節を通じて容易に行える。
【0053】
なお、第1および第2の磁石体900,901についてはいずれか一方あるいは両方を電磁石としてもよい。このように電磁石とする場合は励磁電流を変更するのみでターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2の磁気的接合力を容易に変更できる。
【0054】
第1の回転ポンプ部についてはねじ溝ポンプ部2に限定されず、ターボ分子ポンプ部3とは異なる圧力帯域で回転によるガスを排気を行う他のターボ分子ポンプ部とすることもでき、また第2の回転ポンプ部についてはターボ分子ポンプ部3に限定されず、ねじ溝ポンプ部2とは異なる圧力帯域で回転によるガスを排気を行う他のねじ溝ポンプ部とすることもでき、両回転ポンプ部ともその形式は問わない。つまり第1および第2の回転ポンプ部は互いに異なる圧力帯域で回転によるガスの排気を行うポンプであればよい。
【0055】
図6は本実施例装置の排気特性を示したものであり、その排気特性は実線(3)で示す通り、ねじ溝ポンプ部2単品の特性(一点鎖線(2)参照)とターボ分子ポンプ部3単品の特性(一点鎖線(1)参照)との両者を複合したものとなる。
【0057】
【発明の効果】
この発明に係る真空ポンプにあっては、上記の如く第1および第2の回転ポンプ部のいずれかに過大な負荷が作用する圧力帯域では両回転ポンプ部間にその負荷に応じたすべりが生じ、負荷を受けた側の回転ポンプ部の回転が停止するように構成したものである。このため過大な負荷を受けながら回転ポンプ部が回転し続ける不具合、すなわち回転数の低下や発熱を防止でき、排気効率の向上と、排気作動可能な圧力帯域の拡大を図れる。
【0058】
しかも、この真空ポンプにあっては、負荷に基づく回転ポンプ部の回転停止動作が第1および第2の回転ポンプ部間を切り離す機構によるのではなく、すべりによるものであるため、機器構造も簡単である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例の断面図。
【図2】図1に示すA部周辺の詳細説明図。
【図3】図1のB−B線断面図。
【図4】この発明の他の実施例の断面図。
【図5】この発明の他の実施例の断面図。
【図6】この発明の実施例装置の特性図。
【図7】ターボ分子ポンプの特性図。
【図8】ねじ溝ポンプ等の特性図。
【図9】従来の広帯域型複合ポンプの説明図。
【図10】従来の広帯域型複合ポンプの特性図。
【符号の説明】
2 ねじ溝ポンプ部(第1の回転ポンプ部)
3 ターボ分子ポンプ部(第2の回転ポンプ部)
9 磁気カップリング部(すべり機構)
10 第1の当接部
11 第2の当接部
12 磁性流体
200 ねじポンプロータ
201 ねじ部
300 ターボポンプロータ
301 翼部
900 第1の磁石体
901 第2の磁石体
Claims (4)
- 一定の圧力帯域で回転によるガスの排気を行うとともに、その排気のための翼部またはねじ部を備えてなる第1の回転ポンプ部と、
上記第1の回転ポンプ部とは異なる圧力帯域で回転によるガスの排気を行うとともに、その排気のための翼部またはねじ部を備えてなる第2の回転ポンプ部と、
上記第1の回転ポンプ部と第2の回転ポンプ部との間に設けられたすべり機構とを有し、
上記すべり機構は、
上記第1の回転ポンプ部側に備えられた第1の接合部材と、上記第2の回転ポンプ部側に備えられ上記第1の接合部材と接触または磁気的に非接触で接合する第2の接合部材とを有し、
一方のポンプ部に作用する負荷が上記第1の接合部材と第2の接合部材との接合力よりも小さいときは、その接合力により第1の回転ポンプ部と第2の回転ポンプ部とが一体に回転し、上記一方のポンプ部に作用する負荷が上記接合力を上回ると、その負荷により上記第1および第2の接合部材が互いにすべるようになり、
上記第1の接合部材および第2の接合部材は、
第1の磁石体とこの第1の磁石体と吸引し合う第2の磁石体、第1の当接部とこの第1の当接部に摺動可能に接する第2の当接部、磁性流体とこの磁性流体に接するように挿入された突起部、のいずれかより選択される
ことを特徴とする真空ポンプ。 - 第1の回転ポンプ部が、
回転可能に配設された筒体からなるねじポンプロータと、
上記ねじポンプロータの外周面に設けたねじ部と
を備え、
第2の回転ポンプ部が、
回転可能に配設された筒体からなるターボポンプロータと、
上記ターボポンプロータの外周面側に設けた翼部と
を備える
ことを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。 - 上記第1の接合部材および第2の接合部材が、それぞれ第1および第2の磁石体であって、これらの磁石体が永久磁石からなることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 上記第1の接合部材および第2の接合部材が、それぞれ第1および第2の磁石体であって、これらの磁石体のうちいずれか一方が電磁石からなることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
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JP08720495A JP3558733B2 (ja) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | 真空ポンプ |
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JPH08284877A JPH08284877A (ja) | 1996-10-29 |
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ID=13908444
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2843238B1 (de) * | 2013-08-21 | 2022-06-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe in der unterschiedliche Module entweder mit unterschiedlichen Drehzahlen betrieben werden können oder von unterschiedlichen Gasströmen durchströmt werden können |
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1995
- 1995-04-12 JP JP08720495A patent/JP3558733B2/ja not_active Expired - Fee Related
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EP2843238B1 (de) * | 2013-08-21 | 2022-06-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe in der unterschiedliche Module entweder mit unterschiedlichen Drehzahlen betrieben werden können oder von unterschiedlichen Gasströmen durchströmt werden können |
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