JP3550225B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、針押さえの構造に特徴のあるプローブカードに関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は、一列に並んだ複数個(例えば8チップや16チップ)のICチップを同時に検査するための従来のプローブカードの平面図である。図6は図5の6−6線断面図であり、図7は図5のプローブカードの底面図である。図6において、多数のプローブ針10の基端は配線基板12の配線パターンに半田付け13で固定されており、プローブ針10の途中は針押さえ14の底面に接着固定されている。針押さえ14の底面は配線基板12に対して傾斜しており、この傾斜した底面に接着剤24によってプローブ針10が接着固定されている。針押さえ14は配線基板12の開口部16の内部に配置され、配線基板12の下方に突き出している。針押さえ14の上面には支持板18が接着固定されている。針押さえ14は直接には配線基板12に固定されず、支持板18を介して固定されている。図5の平面図に示すように、枠状の細長い支持板18は、その長手方向両端部だけが配線基板12にネジ止めされている。支持板18の中央開口部を通してプローブ針10の先端が見えており、支持板18と開口部16との隙間を通してもプローブ針10の途中が見えている。
【0003】
図7の底面図に示すように、配線基板12の細長い長方形の開口部16の内部には、開口部16よりも周囲寸法の小さい細長い長方形の枠状の針押さえ14が、その周囲と開口部16との間にわずかな隙間をあけて配置されている。支持板18は、針押さえ14と幅が同じであるが、ネジ22で固定するために針押さえ14よりも長くなっている。針押さえ14の底面の、互いに平行な1対の針固定部には、接着剤24によってプローブ針10の途中が固定されている。この例では、8個のICチップ26を同時に検査できるようにプローブ針10が配列されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
図8(A)は、上述した従来のプローブカードを用いて、ウェーハ上のICチップを高温状態で検査するときの正面断面図である。プローブカードの配線基板12の外周部はプローバのホルダー28に取り付けられる。ウェーハ30はヒートチャック32の上に保持されて高温に加熱される。このウェーハ30上のICチップの電極パッドにプローブ針10を接触させてICチップを検査する。
【0005】
このような高温測定中に、ヒートチャック32やウェーハ30からの輻射熱や伝導熱を受けて、配線基板12の下面側の温度は上面側よりも高くなる。したがって、図8(B)の矢印34に示すように、配線基板12が熱膨張によって下側に凸となるように変形する。このとき、針押さえ14は下がることなくほぼ同じ高さを維持している。なぜならば、図7に示すように、針押さえ14はその上に接着固定された支持板18を介して開口部16の長手方向両端付近だけで配線基板12にネジ止めされているからであり、このネジ止め部分は、配線基板12の中央部(下方への変位量が大きい)から遠ざかっている。
【0006】
このように、プローブ針10の基端は、下方に凸となるように変位した配線基板12の比較的中央付近に固定され、一方で、プローブ針10の途中は、ほぼ同じ高さを維持する針押さえ14に固定されているので、配線基板12が下がった分だけ、図8(B)に示すようにプローブ針10が針押さえ14を矢印36のように内側に押す力が働く。その結果、図9の底面図に示すように、針押さえ14の、1対の平行なプローブ針固定部分(接着剤24の付いている部分)が内側に凸となるように変形する(なお、図9では変形量を誇張して描いてある)。その結果、この針押さえ14に固定されたプローブ針10が矢印38に示すように内側に前進する。このような前進現象は、針押さえの長手方向中央部付近において特に顕著である。また、針押さえが長くなるほど(すなわち、同時に検査する一列のチップ数が多くなるほど)、この前進現象が顕著になる。プローブ針の先端がこのように前進してしまうと、プローブ針の針先とICチップの電極パッドとの位置ずれが生じ、検査に悪影響を与える。
【0007】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、一列に並んだ複数のチップを高温で同時に検査するためのプローブカードにおいて、針押さえの変形を防止することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明のプローブカードは、細長い針押さえにおいて、その長手方向に垂直な補強部を形成したことを特徴とするものである。すなわち、この発明のプローブカードは、多数のプローブ針の基端が配線基板に固定され、前記プローブ針の途中が針押さえに固定されているプローブカードにおいて、次の(イ)〜(ホ)の特徴を有するものである。(イ)前記配線基板の中央に細長い開口部が形成されている。(ロ)前記開口部の内部に細長い針押さえが配置されている。(ハ)前記開口部の長手方向の両端付近で、前記針押さえの長手方向両端部が前記配線基板に固定されている。(ニ)前記針押さえは、間隔をおいて互いに平行に配置された1対の細長い針固定部を備えている。(ホ)前記針押さえの長手方向の両端以外の箇所において、前記1対の針固定部の間に、針押さえの長手方向に垂直な方向に延びる一つ以上の補強部が形成されている。
【0009】
このように補強部を形成すると、配線基板の熱膨張等に起因して針押さえが変形しようとしても、補強部に支えられて1対の平行な針固定部の間の距離が一定に保たれる。したがって、プローブ針の針先と電極パッドとの位置ずれが生じない。
【0010】
針押さえを配線基板に固定するに当たっては、針押さえ自体の長手方向両端部を直接配線基板に固定してもよいし、針押さえに支持板を固定し、この支持板の長手方向両端部を配線基板に固定してもよい。すなわち、針押さえを配線基板に固定する箇所が針押さえの長手方向両端部であればよく、直接固定するか、別の支持部材を介して間接に固定するかは、どちらでもよい。
【0011】
針押さえの1対の針固定部の間に形成した補強部は、少なくとも1本が必要であり、1本だけの場合には、針押さえの長手方向の中央部に設けるのが効果的である。補強部は複数本設けるのが好ましく、できれば等間隔に配置する。その場合、隣り合う補強部の間に配置されている一群のプローブ針が、被検査基板上の一つのICチップに対応するようにするとよい。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明のプローブカードの一実施形態の底面図である。このプローブカードの基本的な構造は図5〜図7に示す従来のプローブカードと同じであり、異なっているところは、針押さえ40に補強部42が形成されていることである。それ以外の部品は従来例と同じであり、同じ部品については、図5から図7に示す従来例と同じ符号を付けて、その詳細な説明は省略する。
【0013】
図1において、多数のプローブ針10の基端は配線基板12の配線パターンに半田付けで固定されており、プローブ針10の途中は針押さえ40の底面(互いに平行な1対の針固定部)に接着剤24で接着固定されている。配線基板12に形成された細長い長方形の開口部16の内部には、開口部16よりも周囲寸法の小さい細長い長方形の枠状の針押さえ40が、その周囲と開口部16との間にわずかな隙間をあけて配置されている。針押さえ40の上面には支持板18が接着固定されている。枠状の細長い支持板18は、その長手方向両端部だけが配線基板12にネジ止めされている。この例では、8個のICチップを同時に検査できるようにプローブ針が配列されている。
【0014】
図2は針押さえ40の平面図である。この針押さえ40は、細長い長方形の枠状であり、プローブ針の途中を固定するための1対の平行な針固定部44を備えている。この針固定部44に接着剤を用いてプローブ針の途中を固定できる。これらの針固定部44の間には7本の補強部42が一体に形成されている。この補強部42は、針押さえ40の長手方向に垂直な方向に延びており、補強部42同志は互いに平行である。そして、補強部42は針押さえ40の長手方向に等間隔に配置されている。7本の補強部42の存在により、針押さえ40には8個の中空部が形成されている。この中空部46に突き出した一群のプローブ針によって一つのICチップが検査される。一つの中空部46に対してICチップ1個が対応する。したがって、この針押さえ40を備えるプローブカードは、8個のICチップを同時に検査できる。もちろん、それ以外の個数のICチップを同時に検査するようにしてもよく、その場合は、それに対応した長さの針押さえを準備するとともに、同時に検査するチップ数よりも一つ数の少ない補強部42を形成することによりチップ数と同数の中空部46を形成する。
【0015】
この針押さえ40は、1対の平行な針固定部44の間に補強部42が等間隔で形成されているので、高温検査時の配線基板の熱膨張等に起因して針固定部44がプローブ針から内側に押す力を受けても、針固定部44は補強部42に支えられてほとんど変形しない。したがって、プローブ針の針先と電極パッドとの位置ずれが生じない。
【0016】
図3(A)は図1の3A−3A線断面図であり、補強部42の箇所を断面にしたものである。図3(B)は図1の3B−3B線断面図であり、補強部42以外の箇所を断面にしたものである。図4は図1の実施形態の平面図である。枠状の支持板18の中央開口を通して補強部42が見えている。
【0017】
【発明の効果】
この発明のプローブカードは、細長い針押さえの1対の平行な針固定部の間に補強部を形成したことにより、配線基板の熱膨張等に起因して針押さえが変形しようとしても、補強部に支えられて1対の平行な針固定部の間の距離が一定に保たれる。したがって、プローブ針の針先と電極パッドとの位置ずれが生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のプローブカードの一実施形態の底面図である。
【図2】図1の実施形態で用いている針押さえの平面図である。
【図3】図1の3A−3A線断面図と3B−3B線断面図である。
【図4】図1のプローブカードの平面図である。
【図5】従来のプローブカードの平面図である。
【図6】図5の6−6線断面図である。
【図7】図5のプローブカードの底面図である。
【図8】従来のプローブカードを用いてウェーハ上のICチップを高温状態で検査するときの正面断面図である。
【図9】従来のプローブカードの高温使用状態の底面図である。
【符号の説明】
10 プローブ針
12 配線基板
16 開口部
18 支持板
22 ネジ
24 接着剤
40 針押さえ
42 補強部
44 針固定部
46 中空部
Claims (4)
- 多数のプローブ針の基端が配線基板に固定され、前記プローブ針の途中が針押さえに固定されているプローブカードにおいて、次の(イ)〜(ホ)の特徴を有するプローブカード。
(イ)前記配線基板の中央に細長い開口部が形成されている。
(ロ)前記開口部の内部に細長い針押さえが配置されている。
(ハ)前記開口部の長手方向の両端付近で、前記針押さえの長手方向両端部が前記配線基板に固定されている。
(ニ)前記針押さえは、間隔をおいて互いに平行に配置された1対の細長い針固定部を備えている。
(ホ)前記針押さえの長手方向の両端以外の箇所において、前記1対の針固定部の間に、針押さえの長手方向に垂直な方向に延びる一つ以上の補強部が形成されている。 - 前記補強部が、前記針押さえの長手方向に互いに間隔をおいて、複数個形成されていることを特徴とすることを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 前記補強部が等間隔に形成されていることを特徴とする請求項2記載のプローブカード。
- 隣り合う補強部の間に配置されている一群のプローブ針が、被検査基板上の一つのICチップに対応していることを特徴とする請求項3記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP23786095A JP3550225B2 (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP23786095A JP3550225B2 (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | プローブカード |
Publications (2)
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---|---|
JPH0964125A JPH0964125A (ja) | 1997-03-07 |
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Family
ID=17021494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23786095A Expired - Lifetime JP3550225B2 (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (3)
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-
1995
- 1995-08-24 JP JP23786095A patent/JP3550225B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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JPH0964125A (ja) | 1997-03-07 |
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