JP3548858B2 - 流量の制御方法及びそれに用いるマイクロバルブ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、微小流路内を通る流体の流量を何ら機械的な開閉機構を用いずに任意に調節しうる流量の制御方法及びそれに用いるマイクロバルブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
これまで微小流路内の流量の制御は、普通寸法の装置に用いられているバルブ機構を単に小型化したものや、膜状の弁を利用した開閉機構を用いて行われている。しかしながら、これらの方法は、いずれも機械的な動作要素を必要とするため、長期間にわたって使用すると部品の摩耗や腐食により精度が低下するのを免れない上に、摩耗や腐食が著しくなると流体の漏れを生じるおそれがある。しかも、動作部分にはアクチュエータが用いられるため、機構自体が複雑化し、また所望の流量が得られるようにバルブの開閉状態を調整するには、特殊な制御機構を用いなければならないため、連続的流量制御には構造が著しく複雑化するという欠点がある。
【0003】
他方、化学IC内部にある複数の流路を動的に切り替え、反応系の動的改変を行うために、形状記憶合金を利用したマイクロ切り替えバルブチップも提案されているが、この方法も形状記憶合金という特殊な材料を用いる必要がある上に、光硬化性樹脂をもって特定形状の弁を成形しなければならないという煩雑さを伴い、実用に供するにはいくつかの解決しなければならない問題がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の微小流路の流量制御方法における欠点を克服し、機械的素子や特殊な材料を用いることなく、流路中を通る流体自体の物性を利用して微小流路の流量を制御しうる新規な方法を提供することを目的としてなされたものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、微小流路内の流量を制御する方法について種々研究を重ねた結果、可逆的に固相−液相変化しうる流体を流路に通し、流路中の適所にこの流体を冷却及び加熱する機構を設けて、流体自体の固相化状態を任意に形成させ、その固相をもって流路を遮断し、流れを阻止すれば、流体の流量を連続的に変えうることを見出し、この知見に基づいて本発明をなすに至った。
【0006】
すなわち、本発明は、断熱性固体基板に穿設した微小流路に、熱により可逆的に固液相転移しうる流体を流しながら、その流体自体を冷却、固化し、生成した固体をもって流路を閉塞し、あるいはその固化した流体自体を加熱、融解して流路を開放することにより微小流路内の流体の流量を調節することを特徴とする微小流路内の流量の制御方法、及び断熱性固体基板に穿設された微小流路、その流路内に充填されたそれ自体単独で熱により可逆的に固液相転移しうる物質及びその微小流路の適所に配置された物質を加熱及び冷却しうる温度制御手段から構成されたマイクロバルブを提供するものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面に従って本発明方法をさらに詳細に説明する。
図1は、本発明方法の基本理論を説明するための斜視図であって、断熱性材料で構成した基体1に微小流路2が穿設され、その微小流路2の両側面に温度制御機構4,4′が配置されている。そして、この微小流路2にそれ自体単独で可逆的に固液相転移可能な物質3を転移点以上の温度を維持して流すと、この微小流路2には物質3が液相を保ち、自由に流通するが、温度制御機構4,4′を作動し、物質3を転移点よりも低く冷却、固化すると、この位置で生成した固体により、流れが阻止され、閉止状態となる。次に、温度制御機構4,4′を作動させて、固化した物質3を転移点以上に加熱、融解すると、固相は液相に変化し、物質3は流体となって自由に流れるようになり、開放状態となる。
【0008】
本発明方法において、固体基板1を形成する材料としては、断熱性材料、例えばセラミックス、プラスチック、黒鉛、木材などが好ましいが、断熱加工した金属も用いることができる。
次に、この断熱性材料に穿設される微小流路としては、表面を掘削した条溝や内部を貫通した管路を挙げることができ、これらの寸法として径0.1〜1mmの範囲が選ばれる。
また、流体としては、可逆的固液転移性感熱樹脂、例えばポリ(ジイソプロピルアクリルアミド)、高級炭化水素油、例えばパラフィン、低融点合金などが用いられるが、特に感温性の作用流体が好適である。
【0009】
また、微小流路2の側面に配置される温度制御機構4,4′としては、冷却・加熱の両方が可能なペルチェ素子が好適である。この際、熱容量を大きくするために大型素子を用いる必要があって、微小流路2の近傍に配置できない場合には、基板1より熱伝導率の高い材料で該素子から流路2まで熱伝導チャンネルを形成させるのがよい。
【0010】
本発明方法においては、流路2が微小であるため、流体の熱容量は小さく、熱伝導も短時間で行われやすいので、温度制御機構4,4′の熱容量を十分に大きくすれば、凍結、融解を短時間で起させることができ、流路の閉止、開放を容易に実現することができる。
この際、流体として転移点以下に冷却できないもの、例えば気体を用いる場合には、温度制御機構4,4′で囲まれた個所にだけ、側流としてバルブ作動用液体を流すことによって閉止状態を実現することができる。
【0011】
本発明方法においては、流量を連続的に変化させることもできる。図2は、この方法を説明するための温度制御機構の断面図及び流路の流れ方向に垂直な断面内における温度分布を示すグラフである。すなわち、微小流路2の一方の側面に配置された温度制御機構4を流体の転移点以下に、他方の側面に配置された温度制御機構4′を転移点以上に調整すると、図2の実線で示されるような温度勾配が生じる。そして、転移点以上の範囲では流体は円滑に流れるが、転移点以下の範囲では、流体が凍結し、流れを妨げるので流量は減少する。したがって、このような機構を用い、温度差によって流体の固相部分の割合を調整すると流量を連続的に変えることができる。
【0012】
【発明の効果】
本発明によると、特別な付属装置を用いることなく、単に微小流路内を流れる流体の固液相変化を利用するだけで、微小流路内の流量制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法の基本原理を示す斜視図。
【図2】流体の流量を連続的に制御する方法を説明するための温度制御機構の断面図及び流路の流れ方向に垂直な断面内における温度分布を示すグラフ。
【符号の説明】
1 断熱性基板
2 微小流路
3 物質
4,4′ 温度制御機構
Claims (3)
- 断熱性固体基板に穿設した微小流路に、熱により可逆的に固液相転移しうる流体を流しながら、その流体自体を冷却、固化し、生成した固体をもって流路を閉塞し、あるいはその固化した流体自体を加熱、融解して流路を開放することにより微小流路内の流体の流量を調節することを特徴とする微小流路内の流量の制御方法。
- 微小流路の一方の側面に配置された温度制御手段を流体の相転移点以下に、他方の側面に配置された温度制御手段を相転移点以上に調整することによって、該流路の断面積を連続的に変化させる請求項1記載の流量の制御方法。
- 断熱性固体基板に穿設された微小流路、その流路内に充填されたそれ自体単独で熱により可逆的に固液相転移しうる物質及びその微小流路の適所に配置された物質を加熱及び冷却しうる温度制御手段から構成されたマイクロバルブ。
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Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6048734A (en) | 1995-09-15 | 2000-04-11 | The Regents Of The University Of Michigan | Thermal microvalves in a fluid flow method |
US6692700B2 (en) | 2001-02-14 | 2004-02-17 | Handylab, Inc. | Heat-reduction methods and systems related to microfluidic devices |
US8895311B1 (en) | 2001-03-28 | 2014-11-25 | Handylab, Inc. | Methods and systems for control of general purpose microfluidic devices |
US7010391B2 (en) | 2001-03-28 | 2006-03-07 | Handylab, Inc. | Methods and systems for control of microfluidic devices |
US7323140B2 (en) | 2001-03-28 | 2008-01-29 | Handylab, Inc. | Moving microdroplets in a microfluidic device |
US7829025B2 (en) | 2001-03-28 | 2010-11-09 | Venture Lending & Leasing Iv, Inc. | Systems and methods for thermal actuation of microfluidic devices |
US6575188B2 (en) * | 2001-07-26 | 2003-06-10 | Handylab, Inc. | Methods and systems for fluid control in microfluidic devices |
US6852287B2 (en) | 2001-09-12 | 2005-02-08 | Handylab, Inc. | Microfluidic devices having a reduced number of input and output connections |
US6679279B1 (en) * | 2002-07-10 | 2004-01-20 | Motorola, Inc. | Fluidic valve having a bi-phase valve element |
WO2004014452A2 (en) * | 2002-08-12 | 2004-02-19 | Osteotech, Inc. | Synthesis of a bone-polymer composite material |
KR100468854B1 (ko) * | 2002-10-10 | 2005-01-29 | 삼성전자주식회사 | 미소 유량의 제어가 가능한 마이크로 구조체 |
GB0304082D0 (en) * | 2003-02-22 | 2003-03-26 | Synthese O Grande Vitesse Ltd | Improvements in and relating to circuits |
JP4996248B2 (ja) | 2003-07-31 | 2012-08-08 | ハンディーラブ インコーポレイテッド | 粒子含有サンプルの処理 |
US7315109B1 (en) * | 2003-08-15 | 2008-01-01 | Medrad, Inc. | Actuators and fluid delivery systems using such actuators |
US7204264B2 (en) * | 2004-04-21 | 2007-04-17 | Waters Investments Ltd. | High pressure capillary micro-fluidic valve device and a method of fabricating same |
US8852862B2 (en) | 2004-05-03 | 2014-10-07 | Handylab, Inc. | Method for processing polynucleotide-containing samples |
WO2005108620A2 (en) | 2004-05-03 | 2005-11-17 | Handylab, Inc. | Processing polynucleotide-containing samples |
US8642353B2 (en) | 2004-05-10 | 2014-02-04 | The Aerospace Corporation | Microfluidic device for inducing separations by freezing and associated method |
US7694694B2 (en) * | 2004-05-10 | 2010-04-13 | The Aerospace Corporation | Phase-change valve apparatuses |
US7721762B2 (en) * | 2004-06-24 | 2010-05-25 | The Aerospace Corporation | Fast acting valve apparatuses |
US7686040B2 (en) * | 2004-06-24 | 2010-03-30 | The Aerospace Corporation | Electro-hydraulic devices |
US7650910B2 (en) * | 2004-06-24 | 2010-01-26 | The Aerospace Corporation | Electro-hydraulic valve apparatuses |
JP2008528886A (ja) * | 2005-01-21 | 2008-07-31 | ウオーターズ・インベストメンツ・リミテツド | 温度制御された可変流体抵抗装置 |
US20070092409A1 (en) * | 2005-10-21 | 2007-04-26 | Beatty Christopher C | Reconfigurable valve using optically active material |
US11806718B2 (en) | 2006-03-24 | 2023-11-07 | Handylab, Inc. | Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system |
US8883490B2 (en) | 2006-03-24 | 2014-11-11 | Handylab, Inc. | Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system |
US10900066B2 (en) | 2006-03-24 | 2021-01-26 | Handylab, Inc. | Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel |
US7998708B2 (en) | 2006-03-24 | 2011-08-16 | Handylab, Inc. | Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel |
ES2692380T3 (es) | 2006-03-24 | 2018-12-03 | Handylab, Inc. | Método para realizar PCR con un cartucho con varias pistas |
KR100763922B1 (ko) | 2006-04-04 | 2007-10-05 | 삼성전자주식회사 | 밸브 유닛 및 이를 구비한 장치 |
US7998433B2 (en) | 2006-04-04 | 2011-08-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Valve unit and apparatus having the same |
DE102006020716B4 (de) * | 2006-05-04 | 2012-03-01 | Technische Universität Dresden | Mikrofluidik-Prozessor |
KR100738113B1 (ko) * | 2006-05-10 | 2007-07-12 | 삼성전자주식회사 | 상전이형 밸브 및 그 제작방법 |
EP1884284A1 (en) | 2006-08-04 | 2008-02-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Closing valve unit and reaction apparatus having closing valve |
US8464760B2 (en) | 2006-08-16 | 2013-06-18 | Samsung Electronic Co., Ltd. | Valve unit, reaction apparatus with the same, and method of forming valve in channel |
KR100763924B1 (ko) | 2006-08-16 | 2007-10-05 | 삼성전자주식회사 | 밸브 유닛, 이를 구비한 반응 장치 및, 채널에 밸브를형성하는 방법 |
KR100851980B1 (ko) | 2006-09-05 | 2008-08-12 | 삼성전자주식회사 | 열 활성 유닛을 구비한 원심력 기반의 미세유동 장치, 이를포함하는 미세유동 시스템 및 상기 미세유동 시스템의구동방법 |
DE102006051535A1 (de) | 2006-10-27 | 2008-12-18 | Andreas Dr. Richter | Automatischer Mikrofluidik-Prozessor |
WO2008061165A2 (en) | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Handylab, Inc. | Microfluidic cartridge and method of making same |
KR101258434B1 (ko) | 2007-05-03 | 2013-05-02 | 삼성전자주식회사 | 미세유동 시스템 및,이의 제조방법 |
KR101335726B1 (ko) | 2007-06-04 | 2013-12-04 | 삼성전자주식회사 | 면역혈청 검사 및 생화학 검사를 동시에 수행하는 디스크형미세유동장치 |
US9186677B2 (en) | 2007-07-13 | 2015-11-17 | Handylab, Inc. | Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples |
US8287820B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-10-16 | Handylab, Inc. | Automated pipetting apparatus having a combined liquid pump and pipette head system |
US9618139B2 (en) | 2007-07-13 | 2017-04-11 | Handylab, Inc. | Integrated heater and magnetic separator |
US8182763B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-05-22 | Handylab, Inc. | Rack for sample tubes and reagent holders |
US8105783B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-01-31 | Handylab, Inc. | Microfluidic cartridge |
AU2008276211B2 (en) | 2007-07-13 | 2015-01-22 | Handylab, Inc. | Polynucleotide capture materials, and methods of using same |
US8133671B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-03-13 | Handylab, Inc. | Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples |
USD787087S1 (en) | 2008-07-14 | 2017-05-16 | Handylab, Inc. | Housing |
KR101578149B1 (ko) * | 2009-01-29 | 2015-12-17 | 삼성전자주식회사 | 미세유체 제어용 밸브 유닛, 및 이의 제조방법 |
DE102009018365A1 (de) | 2009-04-23 | 2010-11-04 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Thermopneumatischer Aktor und Verfahren zum Herstellen eines solchen |
WO2010140128A1 (en) * | 2009-06-03 | 2010-12-09 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Valve with material having modifiable degree of penetrability |
ES2769028T3 (es) | 2011-04-15 | 2020-06-24 | Becton Dickinson Co | Termociclador microfluídico de barrido en tiempo real |
US8714193B2 (en) | 2011-07-14 | 2014-05-06 | National Oilwell Varco, L.P. | Poppet valve with integrated dampener |
DK3273253T3 (da) | 2011-09-30 | 2020-10-12 | Becton Dickinson Co | Forenet reagensstrimmel |
USD692162S1 (en) | 2011-09-30 | 2013-10-22 | Becton, Dickinson And Company | Single piece reagent holder |
CN104040238B (zh) | 2011-11-04 | 2017-06-27 | 汉迪拉布公司 | 多核苷酸样品制备装置 |
CN107881219B (zh) | 2012-02-03 | 2021-09-10 | 贝克顿·迪金森公司 | 用于分子诊断测试分配和测试之间兼容性确定的外部文件 |
DE102012206042B4 (de) | 2012-04-13 | 2013-11-07 | Technische Universität Dresden | Verfahren und Vorrichtung zur gezielten Prozessführung in einem Mikrofluidik-Prozessor mit integrierten aktiven Elementen |
RU2700861C2 (ru) | 2013-04-18 | 2019-09-23 | Нэшнл Ойлвэл Варко, Л.П. | Тарельчатый клапан с регулируемым гасителем пульсаций и упруго поддерживаемой направляющей |
CN103807502A (zh) * | 2013-12-16 | 2014-05-21 | 浙江大学 | 热控可变流阻 |
EP4132706A1 (en) * | 2020-04-10 | 2023-02-15 | The Regents of the University of California | Microfluidic phase-change membrane microvalves |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0814337B2 (ja) * | 1988-11-11 | 1996-02-14 | 株式会社日立製作所 | 流体自体の相変化を利用した流路の開閉制御弁及び開閉制御方法 |
JP3028826B2 (ja) * | 1990-03-09 | 2000-04-04 | 株式会社日立製作所 | 流体流路の開閉装置及びその開閉制御方法及び閉止確認方法 |
FR2730545B1 (fr) * | 1995-02-13 | 1997-03-28 | Bio Merieux | Vanne statique a congelation, et enceinte de traitement controlee par au moins une vanne |
-
2001
- 2001-01-22 JP JP2001013056A patent/JP3548858B2/ja not_active Expired - Lifetime
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