KR100763922B1 - 밸브 유닛 및 이를 구비한 장치 - Google Patents

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이정건
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Abstract

본 발명은, 상온에서 고체 상태인 상전이 물질 및, 상기 상전이 물질에 분산된, 외부로부터의 전자기파 조사에 의한 전자기파 에너지를 흡수하여 발열하는 다수의 미세 발열입자를 포함하여 이루어지며, 채널(channel)에 의해 형성된 유체의 유로를 차단하는 플러그; 및, 상기 플러그에 전자기파를 조사하기 위한 외부 에너지원;을 구비하고, 상기 플러그에 외부로부터 전자기파가 조사되면, 상기 다수의 미세 발열입자가 발열하여 상기 상전이 물질이 용융됨에 의해 상기 유로가 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 밸브 유닛과, 이를 구비한 장치를 제공한다.

Description

밸브 유닛 및 이를 구비한 장치{Valve unit and apparatus with the same}
도 1은 종래 밸브 유닛의 일 예를 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밸브 유닛을 도시한 단면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 밸브 유닛의 기판을 도시한 평면도로서, 도 3은 채널(channel)이 닫힌 상태, 도 4는 채널이 열린 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 순수 파라핀 왁스와, 레이저 조사에 의해 발열하는 미세 발열입자가 포함된 파라핀 왁스에 레이저를 조사할 때 녹는점 도달시간을 비교하여 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따른 밸브 유닛을 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밸브 유닛을 구비한 장치를 도시한 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
50A, 50B ...밸브 유닛 51 ...모재(母材)
55 ...채널 60 ...플러그
65 ...상전이 물질 챔버 70 ...레이저 광원
72, 74 ...미러 100 ...장치
105 ...스핀들 모터 110 ...기판
112 ...채널 115 ...반응 챔버
117, 119 ...유입구, 유출구 120 ...밸브 유닛
121 ...플러그 125 ...레이저 광원
본 발명은 유체가 채널(channel)을 따라 흐를 수 있게 적시에 채널을 개방하는 밸브 유닛과, 이를 구비한 장치에 관한 것이다.
예컨대, PCR 반응(Polymerase chain reaction)과 같은 생화학 반응에 사용되는 생화학 반응용 칩 등에는 유체의 유로를 형성하는 미세 채널이 형성되어 있으며, 생화학 유체가 흐르지 못하도록 상기 미세 채널을 차단하였다가 적시에 상기 미세 채널을 개방하여 유체의 흐름을 유발하는 밸브 유닛이 마련된다.
도 1은 종래의 밸브 유닛을 도시한 평면도로서, 2004년 발행된 Anal. Chem. Vol. 76의 1824~1831 페이지에 공지된 밸브 유닛이다.
도 1을 참조하면, 종래의 밸브 유닛(10)은 유체(F)의 유로를 형성하는 미세 채널(12)과, 상기 미세 채널(12)을 통해 유체(F)가 흐르지 못하도록 미세 채널(12)을 차단하는 파라핀 왁스(20)와, 상기 파라핀 왁스(20)에 인접하여 마련되는, 확장된 채널 폭을 갖는 왁스 챔버(15)를 구비한다. 유체(F)의 흐름이 요구되는 적시에 상기 파라핀 왁스(20)에 열(H)이 가해지며, 이 열(H)로 인해 파라핀 왁스(20)가 녹 아 미세 채널(12)이 개방되어 정체되어 있던 유체(F)가 2점 쇄선으로 된 화살표 방향(즉, 위에서 아래를 향한 방향)으로 흐르게 되어 있다. 녹은 파라핀 왁스(20)는 왁스 챔버(15)에 다시 응집되어 유체(F)의 흐름을 방해하지 않게 되어 있다.
그런데, 상기 종래의 밸브 유닛(10)은 파라핀 왁스(20)가 가열에 의해 녹을 때까지 시간이 많이 소요되어 미세 채널(12) 개방 시점의 정밀한 제어가 어렵고, 파라핀 왁스(20)를 녹이기 위한 가열수단을 미세 채널(12)이 형성된 기판(11)에 직접 구비하여야 하므로 소형화가 어렵다는 문제점이 있다. 한편, 가열수단을 기판(11)에 직접 구비하는 방식은 상기 기판(11)의 소재에 따라 열전도성의 차이가 발생하여 미세 채널(12) 개방의 정밀성에서 차이를 보이게 된다. 따라서 반응용 칩 제작 시 비용절감을 위해 플라스틱 소재를 사용할 때 열전도성이 유리나 실리콘에 비해 현저히 떨어지기 때문에 미세 채널(12) 개방의 정밀성이 떨어질 수 밖에 없다는 단점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 채널 개방이 보다 신속하게 이루어질 수 있게 개선된 밸브 유닛과, 이를 구비한 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 상온에서 고체 상태인 상전이 물질 및, 상기 상전이 물질에 분산된, 외부로부터의 전자기파 조사에 의한 전자기파 에너지를 흡수하여 발열하는 다수의 미세 발열입자를 포함하여 이루어지며, 채널(channel)에 의해 형성된 유체의 유로를 차단하는 플러그; 및, 상기 플러그에 전자기파를 조사하기 위한 외부 에너지원;을 구비하고, 상기 플러그에 외부로부터 전자기파가 조사되면, 상기 다수의 미세 발열입자가 발열하여 상기 상전이 물질이 용융됨에 의해 상기 유로가 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 밸브 유닛과, 이를 구비한 장치를 제공한다.
바람직하게는, 상기 밸브 유닛은 유체의 흐름을 방해하지 않는 위치에 마련된, 상기 용융된 상전이 물질과 그에 혼합된 미세 발열입자를 수용하기 위한 상전이 물질 챔버(chamber)를 더 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 상전이 물질 챔버는 상기 채널에 형성되고, 상기 채널의 폭보다 확장된 폭을 가질 수 있다.
바람직하게는, 상기 밸브 유닛은 상기 외부 에너지원에서 조사된 전자기파가 상기 플러그로 향하도록 상기 전자기파의 광로를 변경시키는 광로변경수단을 더 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 광로변경수단은 적어도 하나의 미러(mirror)를 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 외부 에너지원은 레이저를 조사하는 레이저 광원을 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 레이저 광원은 레이저 다이오드(Laser Diode)를 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 적어도 1 mJ/pulse 의 에너지를 갖는 펄스 전자기파일 수 있다.
바람직하게는, 상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 적어도 10 mW 의 출력을 갖는 연속파동 전자기파일 수 있다.
바람직하게는, 상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 750 내지 1300 ㎚ 의 파장을 가질 수 있다.
바람직하게는, 상기 미세 발열입자는 직경이 1 nm 내지 100 ㎛ 일 수 있다.
바람직하게는, 상기 미세 발열입자는 소수성(疏水性) 캐리어 오일에 분산되어 있을 수 있다.
바람직하게는, 상기 미세 발열입자는 강자성(强磁性) 물질 또는 금속 산화물을 성분으로 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 금속 산화물은 Al2O3, TiO2, Ta2O3, Fe2O3, Fe3O4 및, HfO2 로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 미세 발열입자는 중합체, 퀀텀 도트(quantum dot), 및 자성비드(magnetic bead)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나의 입자 형태를 가질 수 있다.
바람직하게는, 상기 자성비드는 Fe, Ni, Cr 및, 이들의 산화물로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 성분으로 포함할 수 있다.
상기 상전이 물질은 왁스, 겔, 열가소성 수지로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나일 수 있다.
바람직하게는, 상기 왁스는, 파라핀 왁스(paraffin wax), 마이크로크리스탈 린 왁스(microcrystalline wax), 합성 왁스(synthetic wax), 및 천연 왁스(natural wax)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나일 수 있다.
바람직하게는, 상기 겔은, 폴리아크릴아미드(polyacrylamide), 폴리아크릴레이트(polyacrylates), 폴리메타크릴레이트(polymethacrylates) 및, 폴리비닐아미드(polyvinylamides)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나일 수 있다.
바람직하게는, 상기 열가소성 수지는, COC, PMMA, PC, PS, POM, PFA, PVC, PP, PET, PEEK, PA, PSU 및, PVDF로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나일 수 있다.
한편, 바람직하게는, 상기 밸브 유닛을 구비한 장치의 기판은 원반 형상이며, 채널은 기판의 반경 방향으로 연장되고, 상기 기판의 회전에 의한 원심력에 의해 생화학 유체가 기판의 외주 방향으로 펌핑(pumping)되도록 구성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 기판에는 복수의 채널과 반응 챔버가 구비될 수 있다.
또한 본 발명은, 상온에서 고체 상태인 상전이 물질을 포함하여 이루어지며, 채널(channel)에 의해 형성된 유체의 유로를 차단하는 플러그; 및, 상기 플러그에 전자기파를 조사하기 위한 외부 에너지원;을 구비하고, 상기 플러그에 외부로부터 전자기파가 조사되면, 상기 상전이 물질이 전자기파 에너지를 흡수하여 용융됨에 의해 상기 유로가 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 밸브 유닛과, 이를 구비한 장치를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밸브 유닛 및, 이를 구비한 장치를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밸브 유닛을 도시한 단면도이며, 도 3 및 도 4는 도 2의 밸브 유닛의 기판을 도시한 평면도로서, 도 3은 채널(channel)이 닫힌 상태, 도 4는 채널이 열린 상태를 도시한 도면이다. 상기 도 2는 밸브 유닛을 도 3의 (i)-(i) 방향으로 절개할 때 도시되는 단면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 밸브 유닛(50A)은 채널(channel, 55)에 의해 형성된 유로를 차단하는 플러그(60)와, 상기 플러그(60)에 전자기파를 조사하기 위한 외부 에너지원의 일 예로서, 레이저를 조사하기 위한 레이저 광원(70)을 구비한다. 상기 채널(55)은 모재(母材, 51)에 형성되어 있다. 상기 모재(51)는 예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이 장치(100)를 구성하는 기판(110)일 수도 있다. 상기 모재(51)는 모재(51) 외부에 마련된 레이저 광원(70)으로부터 조사된 레이저가 플러그(60)에 입사될 수 있도록, 예컨대 투명 유리 등의 레이저 투과 가능한 소재로 이루어진다. 투명 플라스틱 소재는 레이저 투과가 가능하고, 비용이 저렴하다는 측면에서 바람직하다.
상기 플러그(60)는 상온에서 고체 상태인 상전이 물질과, 상기 상전이 물질에 고르게 분산된 다수의 미세 발열입자를 포함하여 이루어지며, 채널(55)의 특정 부분의 내벽을 빈틈없이 막아 유체(F)의 흐름을 차단한다. 상기 상전이 물질은 왁스(wax)일 수 있다. 상기 왁스는 가열되면 용융하여 액체 상태로 변하며, 이로써 플러그(60)가 붕괴되고 유체(F)의 유로가 개방된다. 상기 플러그(60)를 구성하는 왁스는 적당한 녹는점을 가지는 것이 바람직하다. 녹는점이 너무 높으면 레이저 조 사를 시작한 후 용융될 때까지 시간이 오래 소요되어 개방 시점의 정밀한 제어가 어려워지고, 반대로 녹는점이 너무 낮으면 레이저가 조사되지 않은 상태에서 부분적으로 용융되어 유체(F)가 누출될 수도 있기 때문이다. 상기 왁스로는, 예컨대 파라핀 왁스(paraffin wax), 마이크로크리스탈린 왁스(microcrystalline wax), 합성 왁스(synthetic wax), 또는 천연 왁스(natural wax) 등이 채용될 수 있다.
한편, 상기 상전이 물질은 겔(gel) 또는 열가소성 수지일 수도 있다. 상기 겔로는, 폴리아크릴아미드(polyacrylamide), 폴리아크릴레이트(polyacrylates), 폴리메타크릴레이트(polymethacrylates), 또는 폴리비닐아미드(polyvinylamides) 등이 채용될 수 있다. 또한, 상기 열가소성 수지로는, COC, PMMA, PC, PS, POM, PFA, PVC, PP, PET, PEEK, PA, PSU, 또는 PVDF 등이 채용될 수 있다.
상기 미세 발열입자는 수천 마이크로미터(㎛) 폭을 갖는 채널(55) 내에서 자유롭게 유동 가능하게 1 nm 내지 100 ㎛ 의 직경을 갖는다. 상기 미세 발열입자는, 예컨데 레이저와 같은 전자기파가 조사되면 그 복사 에너지에 의해 온도가 급격히 상승하여 발열하는 성질을 가지며, 왁스에 고르게 분산되는 성질을 갖는다. 이러한 성질을 갖도록 상기 미세 발열입자는 금속 성분을 포함하는 코어(core)와, 소수성(疏水性) 표면 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 상기 미세 발열입자는 Fe로 이루어진 코어와, 상기 Fe에 결합되어 Fe를 감싸는 복수의 계면활성성분(surfactant)을 구비한 분자구조를 가질 수 있다. 통상적으로, 상기 미세 발열입자들은 캐리어 오일(carrrier oil)에 분산된 상태로 보관된다. 소수성 표면구조를 갖는 상기 미세 발열입자가 고르게 분산될 수 있도록 캐리어 오일도 소수성인 것이 바람직하다. 왁 스에 상기 미세 발열입자들이 분산된 캐리어 오일을 부어 혼합함으로써 플러그(60)의 소재를 제조할 수 있다. 상기 미세 발열입자의 입자 형태는 상기 예로써 든 중합체(polymer) 형태에 한정되는 것은 아니며, 퀀텀 도트(quantum dot) 또는 자성비드(magnetic bead)의 형태도 가능하다.
도 5는 순수 파라핀 왁스와, 레이저 조사에 의해 발열하는 미세 발열입자가 포함된 파라핀 왁스에 레이저를 조사할 때 녹는점 도달시간을 비교하여 나타낸 그래프이다.
실선으로 도시된 그래프가 순수(100%) 파라핀 왁스의 온도 그래프이고, 점선으로 도시된 그래프가 평균 직경 10 nm 의 미세 발열입자가 분산된 캐리어 오일과 파라핀 왁스가 1 대 1 비율로 혼합된 50% 불순물(미세 발열입자) 파라핀 왁스의 온도 그래프이며, 이점 쇄선으로 도시된 그래프는 평균 직경 10 nm 의 미세 발열입자가 분산된 캐리어 오일과 파라핀 왁스가 1 대 4 비율로 혼합된 20% 불순물(미세 발열입자) 파라핀 왁스의 온도 그래프이다. 808 ㎚ 의 파장을 갖는 레이저가 실험에 사용되었다. 파라핀 왁스의 녹는점은 대략 섭씨 68 내지 74도이다. 도 5를 참조하면, 순수 파라핀 왁스는 레이저 조사 후 20초 이상이 경과되어야 녹는점에 도달한다((ii) 참조). 반면에, 50% 불순물(미세 발열입자) 파라핀 왁스 및 20% 불순물(미세 발열입자) 파라핀 왁스는 레이저 조사 후 급속히 가열되어 대략 5초 만에 녹는점에 도달하는 것을 확인할 수 있다((i) 참조).
미세 발열입자는, 예컨대 Fe, Ni, Co, 또는 이들의 산화물과 같은 강자성(强磁性) 물질을 성분으로 포함할 수 있다. 또한, Al2O3, TiO2, Ta2O3, Fe2O3, Fe3O4 또는, HfO2 등의 금속 산화물을 성분으로 포함할 수도 있다. 강자성 물질이 포함된 미세 발열입자는 자석을 이용하여 쉽게 위치를 조정할 수 있다. 따라서, 왁스와 미세 발열입자가 혼합된 플러그 소재를 채널에 삽입한 후 모재(51) 외부에서 자석을 상기 플러그 소재에 가까이 대고 채널(55)을 따라 움직이면 왁스를 포함한 플러그 소재 전체가 자석에 끌려 채널(55)을 따라 움직인다. 이와 같은 성질을 이용하여 용이하게 채널(55) 상의 필요한 위치에 플러그(60)를 위치시킬 수 있다.
상기 레이저 광원(70)은 레이저 다이오드(Laser Diode)를 구비할 수 있다. 펄스 레이저를 조사하는 경우 적어도 1 mJ/pulse 의 에너지를 갖는 펄스 레이저를, 연속파동 레이저를 조사하는 경우 적어도 10 mW 의 출력을 갖는 연속파동 레이저를 조사할 수 있는 레이저 광원이라면 밸브 유닛(50A)의 레이저 광원(70)으로 채용될 수 있다. 도 5를 참조하여 설명한 실험에서는 레이저 광원이 808 ㎚ 파장을 갖는 레이저를 조사하였으나, 반드시 이 파장에 한정되는 것은 아니며, 750 내지 1300 ㎚의 파장을 갖는 레이저를 조사하는 레이저 광원은 상기 밸브 유닛(50A)의 레이저 광원(70)으로 채용될 수 있다.
상기 밸브 유닛(50A)은 레이저 조사에 의해 왁스가 용융되어 채널(55)이 개방될 때 상기 용융된 왁스와 그에 혼합된 미세 발열입자를 수용하기 위한 상전이 물질 챔버(65)를 더 구비한다. 상기 상전이 물질 챔버(65)는 채널(55) 상에 플러그(60)에 인접하여 형성되며, 채널(55)의 내측면에서 단차지게 확장되어 채널의 폭(W1)보다 확장된 폭(W2)을 갖는다.
도 2에 도시된 바와 같이 레이저 광원(70)에서 레이저가 플러그(60)를 향해 조사되면 왁스에 분산되어 있는 미세 발열소자가 레이저의 에너지에 의해 온도가 급격히 상승하여 발열하고, 이 발열이 왁스를 급격히 가열하여 왁스가 신속하게 용융된다. 따라서, 플러그(60)는 붕괴되어 정체되어 있던 유체(F)가 채널(55)을 따라 흐르게 되고, 도 4에 도시된 바와 같이 왁스와 이에 분산된 미세 발열입자는 상전이 물질 챔버(65)에 수용되어 다시 응고된다. 참조번호 61은 이처럼 다시 응고된 왁스와 미세 발열입자를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따른 밸브 유닛을 도시한 단면도이다.
도 6을 참조하면, 상기 밸브 유닛(50B)은 도 2 내지 도 4에 도시된 밸브 유닛(50A)와 마찬가지로 채널(55)에 의해 형성되는 유로를 차단하는 플러그(60)와, 레이저를 조사하는 레이저 광원(70)과, 유로가 개방될 때 왁스와 이에 분산된 미세 발열입자를 수용하는 상전이 물질 챔버(65)를 구비한다. 상기 밸브 유닛(50B)의 레이저 광원(70)은 플러그(60)를 향해 레이저를 조사하지 않는다. 상기 밸브 유닛(50B)은 레이저 광원(70)에서 조사된 레이저가 플러그(60)를 향하도록 상기 레이저의 광로를 변경시키는 광로변경수단을 구비하며, 그 광로변경수단은 한 쌍의 미러(mirror, 72, 74)를 구비하여 이루어져 있다. 레이저 광원(70)에서 조사된 레이저는 제1 미러(72)와 제2 미러(74)에 차례로 반사되어 모재(51)를 투과하여 플러그(60)에 입사된다.
상기 레이저 광원(70)의 개수와 플러그(60)의 개수는 1 대 1 대응되지 않을 수 있다. 예를 들면, 상기 모재(51)에 복수의 채널(55)이 형성되어 있는 경우 플러 그(60)가 복수 개 구비될 수 있고, 설사 하나의 채널(55)만 형성되어 있다 하더라도 그 하나의 채널(55)에 플러그(60)가 복수 개 구비될 수도 있다. 이런 경우에 적절한 광로변경수단이 구비되면 하나의 레이저 광원(70)이나 플러그(60)의 개수보다 적은 개수의 레이저 광원(70)으로 복수의 플러그(60)에 레이저를 조사할 수 있다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밸브 유닛을 구비한 장치를 도시한 사시도이다.
도 7을 참조하면, 상기 장치(100)는 원반 형태의 기판(110)과, 상기 기판(110)을 회전시키기 위한 스핀들 모터(105)와, 상기 기판(110)을 향해 레이저를 조사하는 레이저 광원(125)을 구비한다. 상기 기판(110)은 도 2 내지 도 4의 모재(51)에 대응되는 것으로, 상기 기판(110)에는 유체의 유로를 형성하는 복수의 채널(112)과, 각 채널(112) 상에 마련된 반응 챔버(115)를 구비한다. 상기 반응 챔버(115)는 유체의 반응이 진행되는 장소이다. 각 채널(112)은 기판(110)의 반경 방향으로 연장되며, 기판(110)의 중심부에 가까운 채널(112)의 일 단부에는 유체의 유입구(117)가, 기판(110)의 외주부에 가까운 채널(112)의 타 단부에는 유체의 유출구(119)가 마련된다. 상기 유입구(117)를 통해 채널(112)에 유입되는 유체는 기판(110)의 회전에 의한 원심력에 의해 기판(110)의 외주 방향, 즉 유출구(119)를 향한 방향으로 펌핑(pumping)된다. 도 7에는 채널(112)이 한 쌍 도시되어 있으나, 이는 예에 불과하며 3개 이상의 채널이 구비될 수도 있고, 하나의 채널만이 구비될 수도 있다.
상기 레이저 광원에서 조사된 레이저가 입사되는 기판(110) 상의 위치에는 유체의 흐름을 차단하기 위한 플러그(121)가 마련된다. 상기 플러그(121)는 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한 플러그(60)에 대응하는 것이며, 상기 플러그(121)와 레이저 광원(125)이 본 발명의 밸브 유닛(120)을 구성한다. 상기 밸브 유닛(120)은 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한 밸브 유닛(50A)에 대응하므로, 밸브 유닛(50A)을 구성하는 플러그(121)와 레이저 광원(125)에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 7에 도시되진 않았으나, 상기 채널(112) 상에도 용융된 왁스와 이에 혼합된 미세 발열입자를 수용하기 위한 상전이 물질 챔버(65, 도 2 내지 도 4 참조)가 더 구비될 수 있다. 또한, 하나의 레이저 광원(125)으로 기판(110) 상에 구비된 복수의 플러그(121)에 레이저를 조사할 수 있도록, 예컨대 미러(72, 74, 도 6 참조) 등을 포함하여 구성된 적절한 광로변경수단이 더 구비될 수도 있다.
한편, 미세 발열입자를 포함하지 않고 상전이 물질로만 이루어진 플러그에 전자기파를 조사하여 플러그를 용융시킴으로써 유로를 개방하는 밸브 유닛과, 이를 구비한 장치도 본 발명에 포함된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
본 발명의 밸브 유닛은 왁스만으로 이루어진 플러그를 구비한 종래의 밸브 유닛에 비하여, 채널 개방의 반응 속도가 빨라 개방 시점의 정밀한 제어가 가능하 다. 또한, 상기 밸브 유닛을 구비한 장치는, 왁스를 가열하기 위한 가열수단이 기판에 포함되지 않으므로 기판을 소형화할 수 있다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밸브 유닛은 복수의 플러그에 대해 플러그의 개수보다 적은 개수의 외부 에너지원을 구비하므로, 밸브 유닛 및 이를 구비한 장치의 제조비용을 절감할 수 있다.

Claims (44)

  1. 상온에서 고체 상태인 상전이 물질 및, 상기 상전이 물질에 분산된, 외부로부터의 전자기파 조사에 의한 전자기파 에너지를 흡수하여 발열하는 다수의 미세 발열입자를 포함하여 이루어지며, 채널(channel)에 의해 형성된 유체의 유로를 차단하는 플러그; 및, 상기 플러그에 전자기파를 조사하기 위한 외부 에너지원;을 구비하고,
    상기 플러그에 외부로부터 전자기파가 조사되면, 상기 다수의 미세 발열입자가 발열하여 상기 상전이 물질이 용융됨에 의해 상기 유로가 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  2. 제1 항에 있어서,
    유체의 흐름을 방해하지 않는 위치에 마련된, 상기 용융된 상전이 물질과 그에 혼합된 미세 발열입자를 수용하기 위한 상전이 물질 챔버(chamber)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 상전이 물질 챔버는 상기 채널에 형성되고, 상기 채널의 폭보다 확장된 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 외부 에너지원에서 조사된 전자기파가 상기 플러그로 향하도록 상기 전자기파의 광로를 변경시키는 광로변경수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 광로변경수단은 적어도 하나의 미러(mirror)를 구비한 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 외부 에너지원은 레이저를 조사하는 레이저 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 레이저 광원은 레이저 다이오드(Laser Diode)를 구비한 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 적어도 1 mJ/pulse 의 에너지를 갖는 펄스 전자기파인 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 적어도 10 mW 의 출력을 갖는 연속파동 전자기파인 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  10. 제6 항에 있어서,
    상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 750 내지 1300 ㎚ 의 파장을 갖는 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 미세 발열입자는 직경이 1 nm 내지 100 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 미세 발열입자는 소수성(疏水性) 캐리어 오일에 분산되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 미세 발열입자는 강자성(强磁性) 물질 또는 금속 산화물을 성분으로 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 금속 산화물은 Al2O3, TiO2, Ta2O3, Fe2O3, Fe3O4 및, HfO2 로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  15. 제1 항에 있어서,
    상기 미세 발열입자는 중합체, 퀀텀 도트(quantum dot), 및 자성비드(magnetic bead)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나의 입자 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 자성비드는 Fe, Ni, Cr 및, 이들의 산화물로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 성분으로 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  17. 제1 항에 있어서,
    상기 상전이 물질은 왁스, 겔, 열가소성 수지로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 왁스는, 파라핀 왁스(paraffin wax), 마이크로크리스탈린 왁 스(microcrystalline wax), 합성 왁스(synthetic wax), 및 천연 왁스(natural wax)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 겔은, 폴리아크릴아미드(polyacrylamide), 폴리아크릴레이트(polyacrylates), 폴리메타크릴레이트(polymethacrylates) 및, 폴리비닐아미드(polyvinylamides)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  20. 제17 항에 있어서,
    상기 열가소성 수지는, COC, PMMA, PC, PS, POM, PFA, PVC, PP, PET, PEEK, PA, PSU 및, PVDF로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  21. 유체의 유로를 형성하는 채널(channel)과, 상기 생화학 유체의 생화학 반응이 진행되는 반응 챔버가 구비된 기판 및, 상기 채널에 의해 형성된 유로를 차단하였다가 적시에 개방하는 밸브 유닛을 구비한 장치에 있어서,
    상기 밸브 유닛은, 상온에서 고체 상태인 상전이 물질 및, 상기 상전이 물질에 분산된, 외부로부터의 전자기파 조사에 의한 전자기파 에너지를 흡수하여 발열 하는 다수의 미세 발열입자를 포함하여 이루어지며, 상기 채널에 의해 형성된 유로를 차단하는 플러그; 및, 상기 플러그에 전자기파를 조사하기 위한 외부 에너지원;을 구비하고, 상기 플러그에 외부로부터 전자기파가 조사되면, 상기 다수의 미세 발열입자가 발열하여 상기 상전이 물질이 용융됨에 의해 상기 유로가 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 밸브 유닛은 상기 유체의 흐름을 방해하지 않도록 상기 기판에 마련된, 상기 용융된 상전이 물질과 그에 혼합된 미세 발열입자를 수용하기 위한 상전이 물질 챔버(chamber)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 장치.
  23. 제22 항에 있어서,
    상기 상전이 물질 챔버는 상기 채널에 형성되고, 상기 채널의 폭보다 확장된 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  24. 제21 항에 있어서,
    상기 밸브 유닛은 상기 외부 에너지원에서 조사된 전자기파가 상기 플러그로 향하도록 상기 전자기파의 광로를 변경시키는 광로변경수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 장치.
  25. 제24 항에 있어서,
    상기 광로변경수단은 적어도 하나의 미러(mirror)를 구비한 것을 특징으로 하는 장치.
  26. 제21 항에 있어서,
    상기 외부 에너지원은 레이저를 조사하는 레이저 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  27. 제26 항에 있어서,
    상기 레이저 광원은 레이저 다이오드(Laser Diode)를 구비한 것을 특징으로 하는 장치.
  28. 제26 항에 있어서,
    상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 적어도 1 mJ/pulse 의 에너지를 갖는 펄스 전자기파인 것을 특징으로 하는 장치.
  29. 제26 항에 있어서,
    상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 적어도 10 mW 의 출력을 갖는 연속파동 전자기파인 것을 특징으로 하는 장치.
  30. 제26 항에 있어서,
    상기 레이저 광원에서 조사되는 레이저는 750 내지 1300 ㎚ 의 파장을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  31. 제21 항에 있어서,
    상기 미세 발열입자는 직경이 1 nm 내지 100 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 장치.
  32. 제21 항에 있어서,
    상기 미세 발열입자는 소수성(疏水性) 캐리어 오일에 분산되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  33. 제21 항에 있어서,
    상기 미세 발열입자는 강자성(强磁性) 물질 또는 금속 산화물을 성분으로 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  34. 제33 항에 있어서,
    상기 금속 산화물은 Al2O3, TiO2, Ta2O3, Fe2O3, Fe3O4 및, HfO2 로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  35. 제21 항에 있어서,
    상기 미세 발열입자는 중합체, 퀀텀 도트(quantum dot), 및 자성비드(magnetic bead)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나의 입자 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  36. 제35 항에 있어서,
    상기 자성비드는 Fe, Ni, Cr 및, 이들의 산화물로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 성분으로 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  37. 제21 항에 있어서,
    상기 상전이 물질은 왁스, 겔, 열가소성 수지로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 장치.
  38. 제37 항에 있어서,
    상기 왁스는 파라핀 왁스(parraffin wax), 마이크로크리스탈린 왁스(microcrystalline wax), 합성 왁스(synthetic wax), 및 천연 왁스(natural wax)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나의 왁스인 것을 특징으로 하는 장치.
  39. 제37 항에 있어서,
    상기 겔은, 폴리아크릴아미드(polyacrylamide), 폴리아크릴레이트(polyacrylates), 폴리메타크릴레이트(polymethacrylates) 및, 폴리비닐아미드(polyvinylamides)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 장치.
  40. 제37 항에 있어서,
    상기 열가소성 수지는, COC, PMMA, PC, PS, POM, PFA, PVC, PP, PET, PEEK, PA, PSU 및, PVDF로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 장치.
  41. 제21 항에 있어서,
    상기 기판은 원반 형상이며, 상기 채널은 기판의 반경 방향으로 연장되고, 상기 기판의 회전에 의한 원심력에 의해 생화학 유체가 기판의 외주 방향으로 펌핑(pumping)되도록 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
  42. 제21 항에 있어서,
    상기 기판에는 복수의 채널과 반응 챔버가 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
  43. 상온에서 고체 상태인 상전이 물질을 포함하여 이루어지며, 채널(channel)에 의해 형성된 유체의 유로를 차단하는 플러그; 및, 상기 플러그에 전자기파를 조사하기 위한 외부 에너지원;을 구비하고,
    상기 플러그에 외부로부터 전자기파가 조사되면, 상기 상전이 물질이 전자기파 에너지를 흡수하여 용융됨에 의해 상기 유로가 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 밸브 유닛.
  44. 유체의 유로를 형성하는 채널(channel)과, 상기 생화학 유체의 생화학 반응이 진행되는 반응 챔버가 구비된 기판 및, 상기 채널에 의해 형성된 유로를 차단하였다가 적시에 개방하는 밸브 유닛을 구비한 장치에 있어서,
    상기 밸브 유닛은, 상온에서 고체 상태인 상전이 물질을 포함하여 이루어지며, 상기 채널에 의해 형성된 유로를 차단하는 플러그; 및, 상기 플러그에 전자기파를 조사하기 위한 외부 에너지원;을 구비하고, 상기 플러그에 외부로부터 전자기파가 조사되면, 상기 상전이 물질이 전자기파 에너지를 흡수하여 용융됨에 의해 상기 유로가 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
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US12/942,279 US8920753B2 (en) 2006-04-04 2010-11-09 Valve unit and apparatus having the same
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8235073B2 (en) 2009-01-29 2012-08-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Microfluidic valve unit for controlling flow of fluid and method of fabricating the same
KR20200009859A (ko) 2018-07-20 2020-01-30 재단법인대구경북과학기술원 원심 밸브 제어 장치
KR20200098464A (ko) 2018-07-20 2020-08-20 재단법인대구경북과학기술원 원심 밸브 제어 장치

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9682425B2 (en) 2009-12-08 2017-06-20 Baker Hughes Incorporated Coated metallic powder and method of making the same
US8403037B2 (en) 2009-12-08 2013-03-26 Baker Hughes Incorporated Dissolvable tool and method
US9109429B2 (en) 2002-12-08 2015-08-18 Baker Hughes Incorporated Engineered powder compact composite material
US9101978B2 (en) 2002-12-08 2015-08-11 Baker Hughes Incorporated Nanomatrix powder metal compact
US9079246B2 (en) 2009-12-08 2015-07-14 Baker Hughes Incorporated Method of making a nanomatrix powder metal compact
KR100763924B1 (ko) * 2006-08-16 2007-10-05 삼성전자주식회사 밸브 유닛, 이를 구비한 반응 장치 및, 채널에 밸브를형성하는 방법
CN102059161B (zh) * 2009-11-18 2013-04-10 中国科学院化学研究所 一种微流控芯片及其制备方法
US9227243B2 (en) 2009-12-08 2016-01-05 Baker Hughes Incorporated Method of making a powder metal compact
US8528633B2 (en) 2009-12-08 2013-09-10 Baker Hughes Incorporated Dissolvable tool and method
US9127515B2 (en) 2010-10-27 2015-09-08 Baker Hughes Incorporated Nanomatrix carbon composite
US9243475B2 (en) 2009-12-08 2016-01-26 Baker Hughes Incorporated Extruded powder metal compact
US10240419B2 (en) 2009-12-08 2019-03-26 Baker Hughes, A Ge Company, Llc Downhole flow inhibition tool and method of unplugging a seat
US8424610B2 (en) * 2010-03-05 2013-04-23 Baker Hughes Incorporated Flow control arrangement and method
US9090955B2 (en) 2010-10-27 2015-07-28 Baker Hughes Incorporated Nanomatrix powder metal composite
US8631876B2 (en) 2011-04-28 2014-01-21 Baker Hughes Incorporated Method of making and using a functionally gradient composite tool
US9080098B2 (en) 2011-04-28 2015-07-14 Baker Hughes Incorporated Functionally gradient composite article
US9139928B2 (en) 2011-06-17 2015-09-22 Baker Hughes Incorporated Corrodible downhole article and method of removing the article from downhole environment
US9707739B2 (en) 2011-07-22 2017-07-18 Baker Hughes Incorporated Intermetallic metallic composite, method of manufacture thereof and articles comprising the same
US9643250B2 (en) 2011-07-29 2017-05-09 Baker Hughes Incorporated Method of controlling the corrosion rate of alloy particles, alloy particle with controlled corrosion rate, and articles comprising the particle
US9833838B2 (en) 2011-07-29 2017-12-05 Baker Hughes, A Ge Company, Llc Method of controlling the corrosion rate of alloy particles, alloy particle with controlled corrosion rate, and articles comprising the particle
US9057242B2 (en) 2011-08-05 2015-06-16 Baker Hughes Incorporated Method of controlling corrosion rate in downhole article, and downhole article having controlled corrosion rate
US9033055B2 (en) 2011-08-17 2015-05-19 Baker Hughes Incorporated Selectively degradable passage restriction and method
US9109269B2 (en) 2011-08-30 2015-08-18 Baker Hughes Incorporated Magnesium alloy powder metal compact
US9856547B2 (en) 2011-08-30 2018-01-02 Bakers Hughes, A Ge Company, Llc Nanostructured powder metal compact
US9090956B2 (en) 2011-08-30 2015-07-28 Baker Hughes Incorporated Aluminum alloy powder metal compact
US9643144B2 (en) 2011-09-02 2017-05-09 Baker Hughes Incorporated Method to generate and disperse nanostructures in a composite material
US9187990B2 (en) 2011-09-03 2015-11-17 Baker Hughes Incorporated Method of using a degradable shaped charge and perforating gun system
US9347119B2 (en) 2011-09-03 2016-05-24 Baker Hughes Incorporated Degradable high shock impedance material
US9133695B2 (en) 2011-09-03 2015-09-15 Baker Hughes Incorporated Degradable shaped charge and perforating gun system
US9010416B2 (en) 2012-01-25 2015-04-21 Baker Hughes Incorporated Tubular anchoring system and a seat for use in the same
US9068428B2 (en) 2012-02-13 2015-06-30 Baker Hughes Incorporated Selectively corrodible downhole article and method of use
US9605508B2 (en) 2012-05-08 2017-03-28 Baker Hughes Incorporated Disintegrable and conformable metallic seal, and method of making the same
US9816339B2 (en) 2013-09-03 2017-11-14 Baker Hughes, A Ge Company, Llc Plug reception assembly and method of reducing restriction in a borehole
CA2936851A1 (en) 2014-02-21 2015-08-27 Terves, Inc. Fluid activated disintegrating metal system
US11167343B2 (en) 2014-02-21 2021-11-09 Terves, Llc Galvanically-active in situ formed particles for controlled rate dissolving tools
US9910026B2 (en) 2015-01-21 2018-03-06 Baker Hughes, A Ge Company, Llc High temperature tracers for downhole detection of produced water
US10378303B2 (en) 2015-03-05 2019-08-13 Baker Hughes, A Ge Company, Llc Downhole tool and method of forming the same
CN104896191A (zh) * 2015-05-08 2015-09-09 沈阳航空航天大学 一种可重复使用的石蜡阀
US10221637B2 (en) 2015-08-11 2019-03-05 Baker Hughes, A Ge Company, Llc Methods of manufacturing dissolvable tools via liquid-solid state molding
US10016810B2 (en) 2015-12-14 2018-07-10 Baker Hughes, A Ge Company, Llc Methods of manufacturing degradable tools using a galvanic carrier and tools manufactured thereof
CN105806507B (zh) * 2016-04-15 2018-11-23 深圳九星印刷包装集团有限公司 指示装置
CA3012511A1 (en) 2017-07-27 2019-01-27 Terves Inc. Degradable metal matrix composite
CN108414135B (zh) * 2018-01-30 2019-02-26 哈尔滨工业大学 一种防泄漏的高温流场压力测量装置
CN108591610B (zh) * 2018-04-27 2024-04-23 湖南乐准智芯生物科技有限公司 一种微流控系统及微阀、控制方法
CN109181173B (zh) * 2018-08-20 2021-01-15 苏州阿德旺斯新材料有限公司 一种相变控温材料载体的制备方法及其负载相变控温材料的方法
CN108843855B (zh) * 2018-08-31 2024-03-12 湖南乐准智芯生物科技有限公司 一种微流控系统及常闭微阀、控制方法
CN109553980B (zh) * 2018-12-29 2021-03-16 西安交通大学 一种基于磁性颗粒掺杂温敏大变形材料及制备方法
CN114192202B (zh) * 2021-12-09 2022-09-06 中国农业大学 一种应用于微流控芯片的便携式磁珠自动化混合模块

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6375901B1 (en) 1998-06-29 2002-04-23 Agilent Technologies, Inc. Chemico-mechanical microvalve and devices comprising the same
US6536476B2 (en) 2001-01-22 2003-03-25 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Flow rate-controlling method and microvalve therefor

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3469585B2 (ja) * 1997-05-23 2003-11-25 ガメラ バイオサイエンス コーポレイション ミクロ流体工学システムでの流動運動を駆動するために向心的加速を使用するための装置および方法
US6575188B2 (en) * 2001-07-26 2003-06-10 Handylab, Inc. Methods and systems for fluid control in microfluidic devices
US20030156991A1 (en) * 2001-10-23 2003-08-21 William Marsh Rice University Optomechanically-responsive materials for use as light-activated actuators and valves
KR100442836B1 (ko) * 2001-11-10 2004-08-02 삼성전자주식회사 생화학 유체를 온도가 다른 폐쇄된 챔버 구간을 따라 회전이동시키는 폐쇄 유체 회로 시스템

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6375901B1 (en) 1998-06-29 2002-04-23 Agilent Technologies, Inc. Chemico-mechanical microvalve and devices comprising the same
US6536476B2 (en) 2001-01-22 2003-03-25 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Flow rate-controlling method and microvalve therefor

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8235073B2 (en) 2009-01-29 2012-08-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Microfluidic valve unit for controlling flow of fluid and method of fabricating the same
KR101578149B1 (ko) * 2009-01-29 2015-12-17 삼성전자주식회사 미세유체 제어용 밸브 유닛, 및 이의 제조방법
KR20200009859A (ko) 2018-07-20 2020-01-30 재단법인대구경북과학기술원 원심 밸브 제어 장치
KR20200098464A (ko) 2018-07-20 2020-08-20 재단법인대구경북과학기술원 원심 밸브 제어 장치
US11035497B2 (en) 2018-07-20 2021-06-15 Daegu Gyeongbuk Institute Of Science And Technology Centrifugal valve control apparatus

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