JP3542502B2 - 静圧多孔質軸受けの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、静圧多孔質軸受けの製造方法に係り、特に、特性のバラツキが少ない静圧多孔質軸受けを製造するための方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、高い加工精度が要求される際、高速性及び回転精度に優れたエアスピンドル、あるいは、高速性及び案内精度に優れたエアスライダなどが使用されている。
【0003】
これらの静圧軸受けとして、当初、圧縮空気の噴出孔をドリル加工によって形成した、いわゆるオリフィス型の静圧軸受けが使用されていたが、近年、多孔質材を用いた静圧多孔質軸受けが使用される様に変わりつつある。軸受け面を多孔質材で構成することによって、無数の細径のオリフィスを得ることができるので、優れた性能を備えた静圧軸受けを比較的容易に製作することが可能になる。
【0004】
この様な静圧多孔質軸受けの素材に用いられる多孔質材としては、仕上げ加工の際の表面の目詰まりを避けるべく、脆性材料が使用されている。代表的な脆性材料として、カーボン、グラファイト、セラミックス等がある。
【0005】
静圧多孔質軸受けでは、最終絞り部の空気だまり内の空気の圧縮性に起因するニューマチックハンマ(自励振動)の発生を防止するため、あるいは、使用される多孔質材の粒径及び空孔分布の不均一性を排除して流量の最適化を図るため、軸受け面側の空孔径を、母材の空孔径よりも小さく且つ薄くする手段が講じられている。
【0006】
例えば、特開昭63−88317号公報には、多孔質グラファイトからなる軸受け面に機械加工を施した後、樹脂を含浸させ、次いで、軸受け面からの空気の透過流量を測定しながら溶剤を用いて樹脂を除去し、空気の透過流量を設定する製造方法について記載されている。
【0007】
また、特開平2−256915号公報には、多孔質体を液状の熱硬化性樹脂中に浸漬し、表面から所定深さまで前記樹脂が浸透したときに浸漬を終了し、その後、前記樹脂を熱硬化させて、多孔質体の表面に封孔された表面絞り層を形成する製造方法が記載されている。
【0008】
しかしながら、前者の製造方法に関しては、樹脂の塗布量によって空気の透過流量の設定を行っているので、樹脂の塗布あるいは一旦塗布した樹脂の除去に時間と熟練が要求され、生産性の面で問題がある。また、後者の製造方法に関しても、前記樹脂の浸透深さを一定に制御することが必ずしも容易ではなく、静圧多孔質軸受けの特性の均一性について問題が残っている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の様な従来の静圧多孔質軸受けの問題点に鑑み成されたもので、本発明の目的は、生産性に優れ且つ特性のバラツキが少ない静圧多孔質軸受けの製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の静圧多孔質軸受けの製造方法は、
軸受け面から噴出させた流体の静圧によって被支持部材を支持する静圧多孔質軸受けの製造方法において、
第一の多孔質材からなる母材の表面を機械加工によって仕上げ、
次に、この母材の表面に、母材と比べて小さな空孔径を備えた第二の多孔質材からなる表面絞り層を被覆し、
次に、この表面絞り層の表層を機械加工で除去することによって軸受け面を形成し、
前記表面絞り層の機械加工量の調節により、前記軸受け面から噴出される流体の流量を所定の値に設定することを特徴とする。
【0011】
本発明の静圧多孔質軸受けの製造方法によれば、前記母材の表面に被覆された前記表面絞り層の厚さを機械加工量の調節によって精密に調整することができるので、軸受け面から噴出される流体の流量を所定の値に精度良く設定することができる。
【0012】
なお、前記母材を構成する第一の多孔質材として、例えばブロンズの様な、非鉄金属からなる多孔質材を使用する場合、好ましくは、前記母材の表面を単結晶ダイヤモンドバイトを用いた切削によって仕上げる。これによって、切削面に目詰まりを発生させることなく、母材の表面を仕上げることができる。
【0014】
また、前記表面絞り層を構成する第二の多孔質材として、例えば二硫化モリブデンまたはカーボンなどの様な、固体潤滑材からなる多孔質材を使用する場合、好ましくは、前記表面絞り層の表層を研削、ラッピングまたは単結晶ダイヤモンドバイトを用いた切削のいずれかによって除去する。これによって、切削面に目詰まりを発生させることなく、表面絞り層の表層を所定の厚さに除去することができる。
【0016】
好ましくは、前記表面絞り層の表層を除去する際、並行して前記母材を介して前記表面絞り層の裏面側に圧縮気体を供給し、表面絞り層を介して噴出される当該圧縮気体の流量を測定することにより除去量を定めることによって、軸受け面から噴出される流体の流量をより正確に設定することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に基づく静圧多孔質軸受けの製造方法の一例について説明する。図1に、本発明の製造方法において、母材及び表面絞り層の切削加工の際に使用される単結晶ダイヤモンドバイトを用いた切削加工装置の概要を示す。
【0018】
工具11は、単結晶ダイヤモンドバイトからなり、工具ホルダ14を介して空気静圧主軸15の先端に装着される。工具ホルダ14には、更に、工具11の対角位置にダミー12が装着される。このダミー12は、回転中に主軸のバランスを確保するために使用される。主軸15は、静圧軸受け(図示せず)を介してコラム32に支持され、コラム32の上に設けられたY軸サーボモータ16によって、Y軸方向(上下方向)の位置がフィードバック制御される。
【0019】
工具ホルダ14の正面にはワーク取付台21が設けられ、ワーク取付台21の前面にワーク10が保持される。ワーク取付台21は、X軸テーブル23の上に固定され、X軸テーブル23は、Z軸テーブル27の上にエアスライダ24(空気静圧案内)を介して摺動可能に支持されている。更に、Z軸テーブル27は、ベース31の上にエアスライダ28(空気静圧案内)を介して摺動可能に支持されている。X軸テーブル23は、Z軸テーブル27の上に設けられたX軸サーボモータ25及び光学スケール(図示せず)によって、X軸方向(図1において紙面に対し垂直方向)の位置がフィードバック制御される。同様に、Z軸テーブル27は、ベース31の上に設けられたZ軸サーボモータ29及び光学スケール(図示せず)によって、Z軸方向(主軸15の軸方向)の位置がフィードバック制御される。各軸の動きは、数値制御装置33によって制御される。
【0020】
更に、本発明の製造方法を適用する場合、ワーク取付台21に保持されているワーク10に対して、後述の様に、圧縮空気を送り込むための空気配管41が設けられる。この空気配管41は空気供給源42に接続され、空気配管41の途中には流量計43が設けられている。
【0021】
次に、図1に示した切削装置を用いて、静圧多孔質軸受けを製作する工程の一例について説明する。
先ず、ワーク10として、図2に示す静圧多孔質軸受けの半製品状態のものを準備する。このワーク10は、軸受けケース3の前面に、母材1を構成するブロンズ製の多孔質材からなる板が取付けられたものである。母材1は、シール層4を介してその外周部が軸受けケース3の前方に接着され、母材1の裏面側と軸受けケース3との間に、圧縮空気が収容される空間部5が形成されている。軸受けケース3には、上記の空間部5に圧縮空気を送り込むための空気供給孔6が設けられている。
【0022】
先ず、図2に示したワーク10を、母材1側を前面にしてワーク取付台21(図1)に取り付ける。
次に、主軸15の駆動を開始する。ワーク10が工具11と干渉しない様に、予め、X軸位置を定めるとともに、Z軸テーブル27を所定ストローク送り込んで切り込み量を定め、主軸15の回転が定常値に達した後、X軸テーブル23を駆動して、ワーク10の表面の切削加工を行う。ワーク10の前面に当たる母材1の表面は、上記のような切削装置及び単結晶ダイヤモンドバイトからなる工具11を用いて切削加工することにより、目詰まりを伴わずに切削により仕上げることができる。
【0023】
次に、母材1の表面の仕上げ加工が終了したワーク10を、一旦、切削装置から取り外す。切削装置の外で、母材1の表面に、固体潤滑材である二硫化モリブデン(あるいは、カーボン)をバインダと混練して塗布し、次いで、これを焼き付けることなどによって、表面絞り層2(加工前)を形成する。図3に、表面絞り層2が形成された後のワーク10の状態を示す。
【0024】
次に、ワーク10を、再び、切削装置のワーク取付台21に取り付ける。このとき、空気配管41を介して母材1の裏面側に圧縮空気を送り込みながら、単結晶ダイヤモンドバイトからなる工具11を用いて、表面絞り層2の表層部の切削を行う。この切削の際、並行して流量計43によって圧縮空気の流量をモニターし、次回の切り込み量、即ち表層部の除去量を定める。
【0025】
なお、この場合の除去量は、Z方向送り1回当たり0.1μm以下が可能であり、上記方法によれば、正確に圧縮空気の透過流量を設定することができる。これによって、特性が揃った静圧多孔質軸受けを、比較的容易に製作することができる。
【0026】
図4に、表面絞り層2の切削加工と並行して圧縮空気の透過流量を測定することにより、表面絞り層2の厚みと透過流量との関係を求めた結果の一例を示す。図5及び図6に、本発明に基づく静圧多孔質軸受けの製造方法の他の例を示す。図5に示す母材を、軸受けケース3に挿入して固定する前に、前述した例と同様に、その表面を単結晶ダイヤモンドバイトからなる工具11を用いた切削によって仕上げ、この母材1を軸受けケース3の装着穴7に挿入して固定する。このとき、母材1の表面1Aが、軸受けケース3の表面3Aより所定量aだけ低くなるようにする。次いで、図6に示すように、装着穴7を完全に満たすように、母材1の表面に二硫化モリブデン(あるいはカーボン)をバインダと混練して塗布し、表面絞り層2を形成する。
【0027】
この後、表面絞り層2の表面を、前述した例と同様に、所定量除去するが、この例では、図6に二点鎖線Aで示すように、表面絞り層2とともに軸受けケース3の表面を同時に加工し、表面絞り層2と軸受けケース3の表面を同一平面上に位置させる。このように、表面絞り層2とともに軸受けケース3の表面を同時に加工する場合には、当該表面の加工を研削やラッピングによって行っても良い。
【0028】
なお、表面絞り層2を、上記の例で用いた二硫化モリブデン(あるいはカーボン)の代わりに、セラミックスなどの脆性材料で形成することもできる。この場合には、上記の例と同様に母材1の表面を仕上げた後、母材1の表面にセラミックス等の多孔質材からなる表面絞り層2を形成する。この場合には、研削によって表面絞り層2の表層を除去する。
【0029】
なお、この表面絞り層2の表層は、研削によって中仕上げまで行い、その後、最終仕上げをラッピングによって行っても良い。
図7に、上記の製造方法において使用される研削装置の概略構成を示す。ワーク10(図2)は、チャック52を介してテーブル53の上に取り付けられる。テーブル53は、ベース54の上に支持される。砥石51は、ワーク10の上方に配置される。ワーク10の一部を構成する軸受けケース3(図2参照)には、先の例と同様に、供給配管41が接続される。この空気配管41は空気供給源42に接続され、空気配管41の途中には流量計43が設けられている。
【0030】
【発明の効果】
本発明の静圧多孔質軸受けの製造方法によれば、均一な特性を備えた静圧多孔質軸受けを、比較的容易に製作することができる。この結果、高剛性、高速性能、低空気消費量などに優れた静圧多孔体軸受けを、従来と比べて低いコストで製作することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく静圧多孔質軸受けの製造方法において使用される切削装置の概略構成を示す図。
【図2】本発明に基づく静圧多孔質軸受けの製造方法において、予め準備されるワークの構成を示す図。
【図3】本発明に基づく静圧多孔質軸受けの製造方法において、ワークの表面に表面絞り層を形成した状態を示す図。
【図4】本発明に基づく静圧多孔質軸受けの製造方法において、表面絞り層の厚さと圧縮空気の透過流量との関係を示す図。
【図5】本発明に基づく静圧多孔質軸受けの製造方法において、予め準備されるワークの構成を示す図。
【図6】本発明に基づく静圧多孔質軸受けの製造方法において、図5に示したワークの表面に表面絞り層を形成した状態を示す図。
【図7】本発明に基づく静圧多孔質軸受けの他の製造方法において使用される研削装置の概略構成を示す図。
【符号の説明】
1・・・母材(第一の多孔質材)、
2・・・表面絞り層(第二の多孔質材)、
3・・・軸受けケース、
4・・・シール層、
5・・・空間部、
6・・・空気供給孔、
11・・・工具(単結晶ダイヤモンドバイト)、
12・・・ダミー、
14・・・工具ホルダ、
15・・・主軸、
16・・・Y軸サーボモータ、
21・・・ワーク取付台、
23・・・X軸テーブル、
24・・・エアスライダ(空気静圧案内)、
25・・・X軸サーボモータ、
27・・・Z軸テーブル、
28・・・エアスライダ(空気静圧案内)、
29・・・Z軸サーボモータ、
31・・・ベース、
32・・・コラム、
33・・・数値制御装置、
41・・・空気配管、
42・・・空気供給源、
43・・・流量計、
51・・・砥石、
52・・・チャック、
53・・・テーブル、
54・・・ベース。
Claims (4)
- 軸受け面から噴出させた流体の静圧によって被支持部材を支持する静圧多孔質軸受けの製造方法において、
非鉄金属材料の第一の多孔質材からなる母材の表面を単結晶ダイヤモンドバイトを用いた切削によって仕上げ、
この母材の表面に、固体潤滑剤をバインダと混練して塗布し、次いで、この塗膜を焼き付けることによって、母材と比べて小さな空孔径を備えた第二の多孔質材からなる表面絞り層を被覆し、
この表面絞り層の表層を単結晶ダイヤモンドバイトを用いた切削で除去することによって軸受け面を形成し、
前記表面絞り層の機械加工量の調節により、前記軸受け面から噴出される流体の流量を所定の値に設定することを特徴とする静圧多孔質軸受けの製造方法。 - 前記表面絞り層の表層の機械加工量の設定は、切削と並行して前記母材を介して前記表面絞り層の裏面側に圧縮気体を供給し、表面絞り層を介して噴出される当該圧縮気体の流量を測定することによって行われることを特徴とする請求項1に記載の静圧多孔質軸受けの製造方法。
- 前記第一の多孔質材は、ブロンズからなる多孔質材であることを特徴とする請求項1または2に記載の静圧多孔質軸受けの製造方法。
- 前記固体潤滑剤は、二硫化モリブデンまたはカーボンであることを特徴とする請求項1または2に記載の静圧多孔質軸受けの製造方法。
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