JP3542381B2 - 計測装置 - Google Patents

計測装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3542381B2
JP3542381B2 JP14653194A JP14653194A JP3542381B2 JP 3542381 B2 JP3542381 B2 JP 3542381B2 JP 14653194 A JP14653194 A JP 14653194A JP 14653194 A JP14653194 A JP 14653194A JP 3542381 B2 JP3542381 B2 JP 3542381B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
marker
reading
marker plate
dimensional
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP14653194A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0814832A (ja
Inventor
浩樹 星山
Original Assignee
ジャパン・イー・エム株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP14653194A priority Critical patent/JP3542381B2/ja
Application filed by ジャパン・イー・エム株式会社 filed Critical ジャパン・イー・エム株式会社
Priority to EP95108339A priority patent/EP0685709B1/en
Priority to CN95108571A priority patent/CN1057831C/zh
Priority to KR1019950014358A priority patent/KR100299930B1/ko
Priority to DE69524288T priority patent/DE69524288T2/de
Priority to TW084106250A priority patent/TW285712B/zh
Publication of JPH0814832A publication Critical patent/JPH0814832A/ja
Priority to US08/886,212 priority patent/US5812265A/en
Priority to US08/893,524 priority patent/US5933239A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3542381B2 publication Critical patent/JP3542381B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は計測装置に関し、特に、測定に視差が生じないようにして、計測精度を向上させた計測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の計測装置として、例えば、平成6年5月26日付けで本出願人によって特許出願されたものがある。
【0003】
この計測装置は、図3、及び図4に示されているように、X,Y方向の運動を行うテーブル1と、テーブル1上に載置された被計測物(打抜きパンチ,リードフレーム等のワークピース)2と、被計測物2の任意の点と後述するマーカ板4のマーカ4Aの値を可視光等によって読み取るCCDカメラ等の読取装置3と、テーブル1と読取装置3との間に配置され、テーブル1と共通の運動を行うマーカ板4より構成されている。
【0004】
マーカ板4は、面上に座標のマーカ4Aを有すると共に、可視光を通過させる材質、例えば、ガラス等より構成され、読取装置3の対物レンズの焦点深度の関係から、被計測物2から所定の距離だけ離して配置されている。
【0005】
読取装置3は、テーブル1上の被計測物2の任意の点と、テーブル1と共通の運動を行うマーカ板4のマーカ4Aの被計測物2の任意の点に対応する値を可視光によって読み取るように構成されている。
【0006】
以上の構成を有する計測装置において、読取装置3に対して被計測物2が載置されたテーブル1をX,Y方向に運動させると、読取装置3が被計測物2の任意の点と、この点と対応するマーカ板4のマーカ4Aの値を可視光によって読み取るようになっている。すなわち、1つの読取装置3によって被計測物2とテーブル1の移動量を同時に読み取り、テーブル1に変形等があっても、被計測物2の任意の点と座標値を直接、関連づけて読み取るため、高い計測精度を得ることができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、提案されている計測装置によると、被計測物とマーカ板はある距離だけ離れて配置されているため、読取装置との間の光学的距離に差が生じ、その結果、視差によるずれが生じて計測精度を低下させる。
【0008】
従って、本発明の目的は計測に視差が生じないようにして、計測精度を十分に向上させることができる計測装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題点に鑑み、計測に視差が生じないようにして、計測精度を十分に向上させるため、水平面に載置面を有し、この載置面に被計測物を載置するテーブルと、
垂直面に置かれ、面上に座標、寸法、角度等の測定単位のマーカを有したマーカ板と、
前記被計測物からの距離と前記マーカ板からの距離が等しく、且つ、前記水平面及び前記垂直面に対して45°の角度を有する平面に配置されたハーフミラー手段と、
前記被計測物の任意の点と前記マーカ板の前記マーカの前記任意の点に対応する値を前記ハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取る読取手段から構成され、
前記テーブル及び前記マーカ板と、前記読取手段とは、1次元、或いは2次元の相対運動を行うように構成された計測装置を提供するものである。
【0010】
上記読取手段は、1次元、或いは2次元の運動を行うように構成されている。また、読取手段を運動させる代わりに読取手段を固定しておき、テーブルとマーカ板を対応させた1次元、或いは2次元の等速運動を水平面と垂直面で行わせるようにしても良い。
【0011】
【作用】
上記構成に基づく本発明の計測装置は、読取手段から等距離に配置された被計測物の任意の点とマーカ板のマーカの前記任意の点に対応する値を読取手段がハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取るようになっているため、読取装置との間の光学的距離を等しくでき、その結果、計測に視差が生じないようにして、計測精度を向上させることができる。更に、読取手段が変動して光路が傾斜してもハーフミラー手段を介した被計測物とマーカ板の読取点の対応関係が崩れることがなく、更に計測精度を向上させることができる。
【0012】
【実施例】
以下、本発明の計測装置について添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【0013】
図1,及び図2には、本発明の計測装置の一実施例が示されている。この計測装置は、水平面に被計測物2を載置するテーブル1と、テーブル1に対して垂直に配置されたマーカ板4と、被計測物2からの距離とマーカ板4からの距離が等しくなる位置にテーブル1、及びマーカ板4に対して45°の角度を有して配置されたハーフミラー6と、被計測物2の任意の点とマーカ板4の任意の点に対応するマーカ4Aの値をハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取るCCDカメラ等の読取装置3と、読み取ったマーカ4Aの値を演算する演算装置5より構成されている。
【0014】
マーカ板4は、面上に測定単位として図4に示されるような座標のマーカ4Aを有して構成されている。マーカ4Aとしては、寸法,角度等の測定単位でも良い。
【0015】
読取装置3は、1次元、或いは2次元、つまり、X,Y方向の運動を行うように構成されている。
【0016】
以上の構成を有する計測装置において、読取装置3をX,Y方向に運動させると、読取装置3がテーブル1上の被計測物2の任意の点をハーフミラー手段の透過光によって読み取り、これと同時に被計測物2の任意の点と対応するマーカ板4のマーカ4Aの値をハーフミラー手段の反射光によって読み取り、演算装置5がその読取値を演算して被計測物2の計測を行う。
【0017】
このとき、被計測物2とマーカ板4が読取装置3から等距離に配置されているため、読取装置3との間の光学的距離を等しくでき、その結果、計測に視差が生じないようにして、計測精度を向上させることができる。更に、読取装置3が変動して光路が傾斜してもハーフミラー6を介した被計測物2とマーカ板4の読取点の対応関係が崩れず、更に計測精度を向上させることができる。
【0018】
なお、以上の実施例では、読取装置3を運動させるようにしたが、読取装置3に代えて、テーブル1とマーカ板4を対応させた1次元、或いは2次元の等速運動を水平面と垂直面で行わせるようにしても良い。また、被測定物2を透過光で、マーカ4Aを反射光で読み取ったが、被計測物2を反射光で、マーカ4Aを透過光で読み取るようにしても良い。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の計測装置によると、水平面に載置面を有し、この載置面に被計測物を載置するテーブルと、
垂直面に置かれ、面上に座標、寸法、角度等の測定単位のマーカを有したマーカ板と、
前記被計測物からの距離と前記マーカ板からの距離が等しく、且つ、前記水平面及び前記垂直面に対して45°の角度を有する平面に配置されたハーフミラー手段と、
前記被計測物の任意の点と前記マーカ板の前記マーカの前記任意の点に対応する値を前記ハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取る読取手段から構成され、
前記テーブル及び前記マーカ板と、前記読取手段とは、1次元、或いは2次元の相対運動を行うように構成されているため、計測に視差が生じないようにして、計測精度を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す側面図。
【図2】本発明の一実施例を示す上面図。
【図3】従来の計測装置を示す側面図。
【図4】従来の計測装置を示す上面図。
【符号の説明】
1 テーブル
2 被計測物
3 読取装置
4 マーカ板
4A マーカ
5 演算装置
6 ハーフミラー

Claims (3)

  1. 水平面に載置面を有し、この載置面に被計測物を載置するテーブルと、
    垂直面に置かれ、面上に座標、寸法、角度等の測定単位のマーカを有したマーカ板と、
    前記被計測物からの距離と前記マーカ板からの距離が等しく、且つ、前記水平面及び前記垂直面に対して45°の角度を有する平面に配置されたハーフミラー手段と、
    前記被計測物の任意の点と前記マーカ板の前記マーカの前記任意の点に対応する値を前記ハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取る読取手段から構成され、
    前記テーブル及び前記マーカ板と、前記読取手段とは、1次元、或いは2次元の相対運動を行うように構成されていることを特徴とする計測装置。
  2. 前記テーブルと前記マーカ板は静止し、
    前記読取手段は、1次元、或いは2次元の運動を行う構成を有する請求項1の計測装置。
  3. 前記読取手段は静止し、
    前記テーブルと前記マーカ板は、前記水平面と前記垂直面で対応する1次元、
    或いは2次元の運動を等速で行う構成を有する請求項1の計測装置。
JP14653194A 1994-05-31 1994-06-28 計測装置 Expired - Lifetime JP3542381B2 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14653194A JP3542381B2 (ja) 1994-06-28 1994-06-28 計測装置
CN95108571A CN1057831C (zh) 1994-05-31 1995-05-31 用于测量物体尺寸的装置和测量物体尺寸时用的度盘
KR1019950014358A KR100299930B1 (ko) 1994-05-31 1995-05-31 물체의차원을측정하는장치및그에사용되는척도기
DE69524288T DE69524288T2 (de) 1994-05-31 1995-05-31 Apparat und Skala zum Messen einer Dimension eines Objektes
EP95108339A EP0685709B1 (en) 1994-05-31 1995-05-31 Apparatus for measuring dimension of article and scale to be used in the same
TW084106250A TW285712B (ja) 1994-05-31 1995-06-17
US08/886,212 US5812265A (en) 1994-05-31 1997-07-01 Apparatus for measuring dimension of article and scale to be used in the same
US08/893,524 US5933239A (en) 1994-05-31 1997-07-11 Scale for measuring dimension of article and scale to be used in the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14653194A JP3542381B2 (ja) 1994-06-28 1994-06-28 計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0814832A JPH0814832A (ja) 1996-01-19
JP3542381B2 true JP3542381B2 (ja) 2004-07-14

Family

ID=15409757

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14653194A Expired - Lifetime JP3542381B2 (ja) 1994-05-31 1994-06-28 計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3542381B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0814832A (ja) 1996-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111243002A (zh) 应用于高精度三维测量的单目激光散斑投影系统标定及深度估计方法
DE60236019D1 (de) Stereoskopisches dreidimensionales metrologiesystem und -verfahren
CA2250435C (en) Method for the contact-free measurement of the distance of an object according to the principle of laser triangulation
WO2018204112A1 (en) Triangulation scanner having flat geometry and projecting uncoded spots
US8483477B2 (en) Method of constructing a digital image of a three-dimensional (3D) surface using a mask
CN102937418A (zh) 一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置
KR100299930B1 (ko) 물체의차원을측정하는장치및그에사용되는척도기
WO2018207720A1 (ja) 特徴量を用いた3次元計測方法およびその装置
CN206258081U (zh) 一种具有实时高度标定功能的三维影像测量装置
CN105698707B (zh) 一种光栅三维形貌测量仪
EP2793042B1 (en) Positioning device comprising a light beam
JP3137573B2 (ja) 計測装置
JP3542381B2 (ja) 計測装置
JP4603121B2 (ja) 光学式スケール装置及び光学式ロータリースケール装置
KR101995344B1 (ko) 사각지역이 없는 듀얼 깊이 카메라 모듈
NL8601552A (nl) Inrichting voor het uit tenminste een stereopaar foto's afleiden van driedimensionale kwantitatieve informatie.
JPH01116402A (ja) 矩形シートの寸度測定方法及び装置
Balcaen et al. Stereo-DIC uncertainty estimation using the epipolar constraint and optimized three camera triangulation
Yoshizawa et al. Compact camera system for 3D profile measurement
JPH07324912A (ja) 計尺装置
JPH07318311A (ja) 計測装置
JP3209886B2 (ja) 計測装置
JPH01244303A (ja) 非接触式3次元形状測定装置
JPS6228402B2 (ja)
JPH10170225A (ja) 計測装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040204

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040331

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090409

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100409

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110409

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120409

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120409

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140409

Year of fee payment: 10

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term