JP3137573B2 - 計測装置 - Google Patents

計測装置

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JP3137573B2
JP3137573B2 JP07297163A JP29716395A JP3137573B2 JP 3137573 B2 JP3137573 B2 JP 3137573B2 JP 07297163 A JP07297163 A JP 07297163A JP 29716395 A JP29716395 A JP 29716395A JP 3137573 B2 JP3137573 B2 JP 3137573B2
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浩樹 星山
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    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は計測装置に関し、特
に、測定に視差が生じないようにして、計測精度を向上
させた計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】本出願人によって提案されている計測装
置として、例えば、特願平６−１３６５９６号に示され
るものがある。
【０００３】この計測装置は、図２、及び図３に示され
ているように、Ｘ、Ｙ方向の運動を行うテーブル１と、
テーブル１上に載置された被計測物（打抜きパンチ、リ
ードフレーム等のワークピース）２と、被計測物２の任
意の点と後述するマーカ板４のマーカ４Ａの値を可視光
等によって読み取るＣＣＤカメラ等の読取装置３と、テ
ーブル１と読取装置３との間に配置され、テーブル１と
共通の運動を行うマーカ板４より構成されている。
【０００４】マーカ板４は、面上に座標のマーカ４Ａを
有すると共に、可視光を通過させる材質、例えば、ガラ
ス等より構成され、読取装置３の対物レンズの焦点深度
の関係から、被計測物２から所定の距離だけ離し配置さ
れている。
【０００５】読取装置３は、テーブル１上の被計測物２
の任意の点と、テーブル１と共通の運動を行うマーカ板
４のマーカ４Ａの被計測物２の任意の点に対応する値を
可視光によって読み取るように構成されている。
【０００６】以上の構成を有する計測装置において、読
取装置３に対して被計測物２が載置されたテーブル１を
Ｘ、Ｙ方向に運動させると、読取装置３が被計測物２の
任意の点と、この点に対応するマーカ板４のマーカ４Ａ
の値を可視光によって読み取るようになっている。すな
わち、１つの読取装置３によって被計測物２とテーブル
１の移動量を同時に読み取り、テーブル１に変形等があ
っても、被計測物２の任意の点と座標値を直接、関連づ
けて読み取るため、高い計測精度を得ることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上述べた計
測装置によると、被計測物とマーカ板はある距離だけ離
れて配置されているため、視差によるずれが生じて計測
精度を低下させる。
【０００８】従って、本発明の目的は計測に視差が生じ
ないようにして、計測精度を十分に向上させることがで
きる計測装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、計測に視差が生じないようにして、計測精度を十分
に向上させるため、第１の平面に載置面を有し、この載
置面に被計測物を載置するテーブルと、第１の平面と平
行な第２の平面に配置された座標、寸法、角度等の測定
単位のマーカを有したマーカ板と、被計測物からの光学
距離とマーカからの光学距離が等しい第３の平面に配置
されたハーフミラー手段と、被計測物の任意の点とマー
カ板のマーカの任意の点に対応する値をハーフミラー手
段の透過光と反射光によって読み取る読取手段から構成
された計測装置を提供するものである。
【００１０】上記テーブル、マーカ、及びハーフミラー
手段は静止し、上記読取手段は、１次元、或いは２次元
の運動を行うように構成されている。また、読取手段を
運動させる代わりに読取手段を固定しておき、テーブ
ル、マーカ板、及びハーフミラー手段を１次元、或いは
２次元の運動を行わせるようにしても良い。
【００１１】このような構成を有する計測装置では、被
計測物の任意の点から読取装置までの光学距離と前記任
意の点に対応するマーカ板のマーカがハーフミラー手段
に反射する経路の光学距離と等しいため、読取手段が変
動して光路が傾斜してもハーフミラー手段を介した被計
測物とマーカ板の読取点の対応関係が崩れることがな
く、計測精度を向上させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の計測装置について
添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１３】図１には、本発明の計測装置の第１の実施
の形態が示されている。この計測装置は、水平面に被計
測物２が載置されるテーブル１と、テーブル１と平行に
配置され、後述する読取装置３側にマーカ板４を、ま
た、被計測物２側にハーフミラー６を有したマーカ板ユ
ニット７と、被計測物２の任意の点とマーカ板４の任意
の点に対応するマーカ４Ａの値をハーフミラー６の透過
光と反射光によって読み取るＣＣＤカメラ等の読取装置
３と、読取装置３で読み取ったマーカの値を演算する演
算装置５より構成され、マーカ板ユニット７は被計測物
２からハーフミラー６までの光学距離ｄ1 とマーカ４Ａ
からハーフミラー６までの光学距離ｄ2 が等しくなるよ
うに配置されている。
【００１４】マーカ板４は、面上に測定単位として図３
に示されるような座標のマーカ４Ａを有すると共に、可
視光を通過させる材質、例えば、ガラス等より構成され
ている。マーカ４Ａとしては、寸法、角度等の測定単位
でも良い。
【００１５】ハーフミラー６は、波長により反射率、透
過率が異なるダイクロイックミラー等から構成されてい
る。
【００１６】読取装置３は、１次元、或いは２次元、つ
まり、Ｘ、Ｙ方向の運動を行うように構成され、被計測
物２の任意の点とマーカ板４の任意の点に対応するマー
カ４Ａの値をハーフミラー６の透過光と反射光によって
読み取る。
【００１７】以上の構成を有する計測装置において、読
取装置３をＸ、Ｙ方向に運動させると、読取装置３がテ
ーブル１上の被計測物２の任意の点をハーフミラー６の
透過光によって読み取り、これと同時に被計測物２の任
意の点と対応するマーカ板４のマーカ４Ａの値をハーフ
ミラー６の反射光によって読み取る。読取装置３はこの
読み取ったマーカ４Ａの値を演算装置５に出力し、演算
装置５は入力したマーカ４Ａの値を演算して被計測物２
の計測を行う。
【００１８】このとき、被計測物２とマーカ４Ａが読取
装置３から光学的に等距離に配置されているため、読取
装置３が変動して光路が傾斜してもハーフミラー６を介
した被計測物２とマーカ４Ａの読取点の対応関係が崩れ
ず、計測精度を向上させることができる。
【００１９】尚、以上の実施の形態では、読取装置３を
運動させるようにしたが、読取装置３に代えて、テーブ
ル１とマーカ板ユニット７を運動させるようにしても良
い。また、マーカ板４とハーフミラー６はマーカ板ユニ
ット７として一体化させたが、各々独立させても良い。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の計測装置
によると、被計測物とマーカを読取装置から光学的に等
距離に配置したため、計測に視差が生じなくなり、計測
精度を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す側面図。
【図２】従来の計測装置を示す側面図。
【図３】従来の計測装置を示す上面図。
【符号の説明】
１ テーブル ２ 被計測物 ３ 読取装置 ４ マーカ板 ４Ａ マーカ ５ 演算装置 ６ ハーフミラー ７ マーカ板ユニット

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１の平面に載置面を有し、この載置面
    に被計測物を載置するテーブルと、 前記第１の平面と平行な第２の平面に配置された座標、
    寸法、角度等の測定単位のマーカを有したマーカ板と、 被計測物からの光学距離と前記マーカからの光学距離が
    等しい第３の平面に配置されたハーフミラー手段と、 前記被計測物の任意の点と前記マーカ板の前記マーカの
    前記任意の点に対応する値を前記ハーフミラー手段の透
    過光と反射光によって読み取る読取手段から構成される
    ことを特徴とする計測装置。
  2. 【請求項２】 前記テーブル、前記マーカ板、及び前記
    ハーフミラー手段は静止し、 前記読取手段は、１次元、或いは２次元の運動を行う構
    成を有する請求項１の計測装置。
  3. 【請求項３】 前記読取手段は静止し、 前記テーブル、前記マーカ板、及び前記ハーフミラー手
    段は、１次元、或いは２次元の運動を行う構成を有する
    請求項１の計測装置。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7034930B1 (en) * 2000-08-08 2006-04-25 Advanced Micro Devices, Inc. System and method for defect identification and location using an optical indicia device
EP1548401B1 (de) * 2003-12-13 2015-08-05 Muehlhan AG Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung von Oberflächen, insbesondere von Stahloberflächen, z.B. hinsichtlich Struktur, Farbintensität und/oder Farbverteilung
CN100447525C (zh) * 2006-09-20 2008-12-31 上海量具刃具厂 影像测量仪的测量方法
CN104034266B (zh) * 2014-06-16 2017-01-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于表面微结构的高精度长度检测方法
CN106152947B (zh) 2015-03-31 2019-11-29 北京京东尚科信息技术有限公司 测量物体尺寸的设备、方法和装置
CN105043269B (zh) * 2015-07-08 2017-09-29 上海与德通讯技术有限公司 一种物体尺寸的测量方法及电子设备
CN106840108B (zh) * 2017-01-19 2019-01-22 东莞中子科学中心 视觉测量仪和视觉测量方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2650518A (en) * 1951-03-22 1953-09-01 William J Zaroff Apparatus for measuring feet
DE2640284A1 (de) * 1976-09-08 1978-03-09 Zeiss Carl Fa Okular zur laengen- und winkelmessung durch ein mikroskop
JPS5598842A (en) * 1978-09-28 1980-07-28 Toshiba Corp Position detection system
US4393401A (en) * 1980-11-10 1983-07-12 The Fairchild Engineering Company Method and apparatus for dimensionally measuring articles
DE3323836A1 (de) * 1983-07-01 1985-01-03 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens
JPS6416402A (en) * 1987-07-10 1989-01-19 Hitachi Ltd Wheel for adsorbing magnetism
WO1990009559A1 (en) * 1989-02-15 1990-08-23 Josef Zybert Position determination method and apparatus
DE3909855A1 (de) * 1989-03-25 1990-09-27 Ems Technik Gmbh Verfahren zur lagerbestimmung einer positionierbaren flaeche sowie lagegeber
US5148600A (en) * 1991-09-17 1992-09-22 Advanced Robotics (A.R.L.) Ltd. Precision measuring apparatus

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