JP3528564B2 - 液晶パネルのセルギャップ検査装置及び方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルのセル
ギャップのむらが許容範囲内にあるか否かを判定した
り、セルギャップむらの傾向別に液晶パネルを分類した
り、液晶パネルのセルギャップの値を測定したりするセ
ルギャップ検査装置及び方法の技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルは、各画素における光の透過
率（以下、単に“透過率”という）を変化させることに
よりパネル全体として画像を表示する。ここで、液晶パ
ネルは一対の基板間に液晶層を挟持して液晶セルが構成
される。透過率とは液晶セルとその両側又は片側に配置
される偏光手段を透過して射出する側で検出された光の
割合を意味するものである。ここで、液晶セル内の液晶
層の厚み（以下、“セルギャップ”と称する）が２次元
的広がりを持つパネル面内の各位置で異なる（即ち、
“セルギャップむら”がある）と、同じ液晶配向状態に
おける透過率の値や液晶印加電圧に対する透過率の変化
特性が各位置で異なってしまう。すると、このセルギャ
ップむらに応じて各画素における表示品質に差が出て、
液晶パネル全体として画質が低下してしまう。このた
め、この種の液晶パネルの製品化の際には、例えばパネ
ル出射面の中央部と端部との間でのセルギャップむら
が、画質維持のために必要な許容範囲を超えてしまう場
合には、当該液晶パネルは不良品であると判定するセル
ギャップむら検査が必要となる。

【０００３】他方で、液晶パネルの伝統的な製品検査と
して、液晶パネルの出射面全体における輝度むら検査が
ある。この輝度むら検査では、液晶パネルの出射面全体
をＣＣＤカメラで撮影して、液晶パネルの中央部と端部
における輝度を検出して検出値を数値比較したり、或い
は、検出された各輝度をディスプレイ画面上にて２次元
表示して目視比較したりする。ここで特に、液晶パネル
の各画素における輝度とセルギャップとの間には比較的
リニアに近い関係があるとされており、このため従来
は、液晶パネルのセルギャップ検査方法においては、上
述の輝度むら検査方法を応用して、液晶パネルの中央部
と端部とにおける輝度の差に基づいて液晶パネルのセル
ギャップの差が所定の許容範囲を超えるか否か（即ち、
セルギャップむらが大きいために不良品であるか否か）
を検査している。

【０００４】更に、ＲＧＢの各色用に一枚ずつ液晶パネ
ルをライトバルブとして用いた液晶プロジェクタにおい
ては、３枚の液晶パネルを透過したＲＧＢの３色の光を
プリズム又はダイクロイックミラーで合成する。このた
め、セルギャップのむらの傾向（例えば、中央部と端部
とでセルギャップの差が殆どない、中央部と端部とでは
中央部が薄い、右端が左端よりも薄いなどの各傾向）が
同じである液晶パネルを組み合わせて一つの液晶プロジ
ェクタを製造することが好ましい。仮に、傾向が異なる
液晶パネルを組み合わせてしまうと、その組み合わせ方
によっては３枚の液晶パネルにおけるセルギャップむら
の影響が増長されて、最終的に一画面内で視認可能な程
度の色の違いとして現れかねないのである。そこで従来
は、セルギャップむらについて不良品であるか否かを検
査するのみならず、後に各液晶プロジェクタを組み立て
る際に、同じセルギャップむらの傾向をもつ３枚の液晶
パネルを組み合わせられるように、液晶パネルを同じ傾
向を持つグループに分類するように検査している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一般的な或いは実用化
されている液晶パネルのセルギャップの値は、４μｍ程
度であることが多い。ここで、本願発明者らの研究によ
ると、前述した従来の輝度に基づく液晶パネルのセルギ
ャップの検査方法によれば、３．５μｍ程度より小さい
ギャップや４．５μｍよりも大きいギャップについて
は、輝度とセルギャップとが比較的リニアに近い関係と
なっており、輝度に基づきセルギャップが所定の許容範
囲に入っているか否かを精度良く判定できる。

【０００６】しかしながら、この約４±０．５μｍの範
囲では、セルギャップが変化しても輝度は余り変化しな
い。或いは、この約４±０．５μｍの範囲内のセルギャ
ップに対して輝度が極小となる個所（即ち、輝度が小さ
くなり且つ輝度の変化率も小さくなる個所）が存在す
る。このため、特に実用上必要な約４±０．５μｍの範
囲内においては、輝度の差に基づいてセルギャップむら
を精度良く検査することは根本的に困難であるという問
題点がある。

【０００７】言い換えれば、従来のセルギャップの検査
方法では、セルギャップむらが極端に大きい不良品であ
るか否か程度の粗い判定は行えるが、例えば約３．８±
０．５μｍの良品範囲内において更にセルギャップむら
の傾向別に分類を行うことは理論上極めて困難である。
従って、従来のセルギャップむらの検査精度では分類不
可能であったような微妙な傾向の違いを持つセルギャッ
プのむらが、３枚の液晶パネルを組み合わせることによ
り、当業者でも全く想像できなかったような視認可能な
程度の画質の差として現れかねないという問題点があ
る。

【０００８】更にまた、ライトバルブとして用いられる
１インチ程度の小型な液晶パネルでは、拡大される画像
に液晶中の不純物粒子の影響で白抜け等が現れるのを防
ぐため、１０インチ程度の大型の液晶パネルの場合とは
異なり、液晶中にギャップ材（スペーサ）を入れずに、
基板を接着するシール剤中にギャップ材を入れるのが一
般的である。このため、ある程度のセルギャップむらが
存在してしまうのは止むを得ない事実である。この観点
からすれば、セルギャップむらの傾向が同じ液晶パネル
を組み合わせることで、一枚の液晶パネルでは問題とな
らないようなセルギャップむらがある液晶パネルを良品
として扱うことは実践上極めて重要である。しかしなが
ら、このように小さいセルギャップむらをその傾向別に
分類することは従来のセルギャップむらの検査精度では
困難であるという問題点がある。

【０００９】本発明は上述した問題点に鑑みなされたも
のであり、高精度で液晶パネルのセルギャップむらを検
査できるセルギャップ検査装置及び方法、高精度でセル
ギャップむらの傾向別により液晶パネルを分類できるセ
ルギャップ検査装置及び方法、並びに高精度でセルギャ
ップの値を測定できるセルギャップ検査装置及び方法を
提供することを課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶パネルのセ
ルギャップ検査装置は上記課題を解決するために、液晶
パネルの出射面上の複数の個所における輝度又はＲ（赤
色）、及びＧ（緑色）の光量を各々検出する光検出手段
と、前記複数の個所のうち少なくとも一個所について、
前記検出された輝度又はＲの光量とＧの光量との大小を
比較すると共に小さくない方の光量に対応する光を検査
用光として選択する選択手段と、前記複数の個所の間に
おける前記検査用光の光量の差をセルギャップむらの指
標値として各々出力するセルギャップむら出力手段とを
備えたことを特徴とする。

【００１１】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、光検出手段により、液晶パネルの出射面上
の複数の箇所における輝度又はＲ、及びＧの光量が各々
検出される。続いて、選択手段により、複数の箇所のう
ち少なくとも一個所について、検出された輝度又はＲの
光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光
量に対応する光（即ち、輝度若しくはＲ、又はＧ）が、
検査用光として選択される。ここで、本発明者らの研究
によると、セルギャップに対する輝度又はＲの光量（Ｒ
の透過率）の変化特性と、セルギャップに対するＧの光
量（Ｇの透過率）の変化特性とは相異なり、セルギャッ
プが液晶の性質等に応じて一定の値をとるところを境
に、この一定の値（例えば、約４．２μｍ程度）よりも
セルギャップが小さい範囲では、セルギャップに対する
輝度又はＲの光量の変化率の方が、セルギャップに対す
るＧの光量の変化率よりも大きくなり、輝度又はＲの光
量の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応す
る。これに対して、この一定の値（約４．２μｍ程度）
よりもセルギャップが大きい範囲では、セルギャップに
対するＧの光量の変化率の方が、セルギャップに対する
輝度又はＲの光量の変化率よりも大きくなり、Ｇの光量
の方がセルギャップの増減に対してより敏感に反応す
る。従って、上述のように選択手段により検査用光とし
て選択される輝度若しくはＲ、又はＧは、その光量がセ
ルギャップの増減に対してより敏感に反応する方の光と
なる。そして、このように選択された検査用光（即ち、
輝度若しくはＲ、又はＧ）の複数の箇所の間における光
量の差が、ギャップむら出力手段によりセルギャップむ
らの指標値として各々出力される。

【００１２】この結果、セルギャップむらの指標値とし
て出力された光量の差が、予め経験上または計算上設定
された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該
検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品
であるか不良品であるかを精度良く検査できる。

【００１３】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、液晶パネルの出射面上
の複数の個所における輝度又はＲ、及びＧの光量を各々
検出する光検出手段と、前記複数の個所のうち少なくと
も一個所について、前記検出された輝度又はＲの光量と
Ｇの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量
に対応する光を検査用光として選択する選択手段と、セ
ルギャップむらの傾向別に予め設定された複数の分類の
うち前記液晶パネルがどの分類に属するかを前記複数の
箇所の間における前記検査用光の光量の差に基づいて判
定する分類手段とを備えたことを特徴とする。

【００１４】本発明のセルギャップ検査装置によれば、
光検出手段により、液晶パネルの出射面上の複数の箇所
における輝度又はＲ、及びＧの光量が各々検出される。
続いて、選択手段により、複数の箇所のうち少なくとも
一個所について、検出された輝度又はＲの光量とＧの光
量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応する
光（即ち、輝度若しくはＲ、又はＧ）が、検査用光とし
て選択される。ここで、前述したように、選択手段によ
り検査用光として選択される輝度若しくはＲ、又はＧ
は、その光量がセルギャップの増減に対してより敏感に
反応する方の光となる。そして、このように選択された
検査用光（即ち、輝度若しくはＲ、又はＧ）の複数の箇
所の間における光量の差に基づいて、セルギャップむら
の傾向別に予め設定された複数の分類のうち液晶パネル
がどの分類に属するかが、分類手段により判定される。
ここに、“セルギャップむらの傾向”とは、例えば、セ
ルギャップが、中央部と端部とで差がない、中央部が薄
い、右端が左端よりも薄い等のセルギャップむらの方向
性や、差が大きい、差が中程度である、差が小さい等の
セルギャップのむらの程度などを要素とする各種の傾向
が挙げられ、液晶パネルの用途や要求される仕様等を勘
案して適当な数の分類が用意される。そして後に、例え
ば３枚の液晶パネルを組み合わせてプロジェクタを構成
する場合には、同じ分類に属する液晶パネルを組み合わ
せて使用すれば、各液晶パネルにおけるセルギャップの
むらが相互に増長される事態を未然に防ぐことができる
のである。

【００１５】この結果、セルギャップの大小に応じて、
より適切な輝度若しくはＲの光量、又はＧの光量を用い
て、各液晶パネルをセルギャップむらの傾向別に精度良
く分類することが出来る。

【００１６】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、液晶パネルの出射面上
の複数の個所における輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑
色）の光量を各々検出する光検出手段と、前記複数の個
所のうち少なくとも一個所について、前記検出された輝
度又はＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小
さくない方の光量に対応する光を検査用光として選択す
る選択手段と、前記複数の箇所各々における前記検査用
光の光量に基づいて前記複数の箇所各々におけるセルギ
ャップの値を出力するセルギャップ出力手段とを備えた
ことを特徴とする。

【００１７】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、光検出手段により、液晶パネルの出射面上
の複数の箇所における輝度又はＲ、及びＧの光量が各々
検出される。続いて、選択手段により、複数の箇所のう
ち少なくとも一個所について、検出された輝度又はＲの
光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光
量に対応する光（即ち、輝度若しくはＲ、又はＧ）が、
検査用光として選択される。ここで、前述したように、
選択手段により検査用光として選択される輝度若しくは
Ｒ、又はＧは、その光量がセルギャップの増減に対して
より敏感に反応する方の光となる。このように選択され
た検査用光（即ち、輝度若しくはＲ、又はＧ）の複数の
箇所の間における光量の差に基づいて、複数の箇所各々
におけるセルギャップの値が、セルギャップ出力手段に
より出力される。

【００１８】ここで特に、輝度又はＲの光量とセルギャ
ップとの間及びＧの光量とセルギャップとの間には、予
め実験的に又は理論計算やシミュレーションにより求め
ることが出来る一定の関係がある。そして、輝度の光量
がその極小値をとるセルギャップの値（例えば、約４．
０μｍ）又はＲの光量がその極小値をとるセルギャップ
の値（例えば、約４．５μｍ）と、Ｇの光量がその極小
値をとるセルギャップの値（例えば、約４．０μｍ）と
は異なり、両者が一致するセルギャップの値（例えば、
約４．２μｍ）を境にして、それより小さいセルギャッ
プの値に対しては、Ｒの光量がセルギャップの値と一対
一対応にあり、それより大きいセルギャップの値に対し
ては、Ｇの光量がセルギャップの値と一対一対応にあ
る。Ｒの代わりに輝度を用いても同様である。従って、
輝度又はＲの光量、及びＧの光量を変数とする、この対
応関係を示す所定関数を用いれば、選択手段により選択
された輝度若しくはＲ、又はＧの光量を入力としてセル
ギャップが一義的に定まることになる。或いは、これら
の対応関係を示すルックアップテーブル（早見表）を予
め作成しおけば、選択手段により選択された輝度若しく
はＲ、又はＧの光量に対応するルックアップテーブル上
の値として、セルギャップは、一義的に定まることにな
る。このように、選択手段により選択された検査用光
（即ち、輝度若しくはＲ、又はＧ）の光量の差に基づけ
ば、セルギャップの値は一義的に求められ、各箇所にお
けるセルギャップの値をセルギャップ出力手段により出
力することが可能となるのである。

【００１９】以上の結果、セルギャップの大小に応じ
て、より適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギ
ャップを精度良く測定できる。

【００２０】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、液晶パネルの出射面上
の複数の個所における輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑
色）の光量を各々検出する光検出手段と、前記複数の箇
所各々における前記検出された輝度又はＲの光量とＧの
光量の光量比に基づいて前記複数の箇所各々におけるセ
ルギャップの値を出力するセルギャップ出力手段とを備
えたことを特徴とする。

【００２１】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、光検出手段により、液晶パネルの出射面上
の複数の箇所における輝度又はＲ、及びＧの光量が各々
検出される。このように検出された複数の箇所における
輝度又はＲの光量とＧの光量との光量比に基づいて、複
数の箇所各々におけるセルギャップの値が、セルギャッ
プ出力手段により出力される。

【００２２】ここで特に、前述のように、輝度又はＲの
光量とセルギャップとの間、及びＧの光量とセルギャッ
プとの間には各々一定の関係があるため、セルギャップ
の値に対してこの光量比は、一対一対応の関係にある。
従って、この光量比を変数とする、この対応関係を示す
所定関数を用いれば、輝度又はＲの光量、及びＧの光量
或いは両者の光量比を入力として、セルギャップが一義
的に定まることになる。或いは、これらの対応関係を示
すルックアップテーブル（早見表）を予め作成しておけ
ば、検出された輝度又はＲの光量とＧの光量との光量比
に対応するルックアップテーブル上の値として、セルギ
ャップは一義的に定まることになる。このように、輝度
又はＲとＧとの光量比に基づけば、セルギャップの値が
一義的に求められ、各箇所におけるセルギャップの値を
セルギャップ出力手段により出力することが可能となる
のである。

【００２３】以上の結果、輝度又はＲとＧとの光量比を
用いて、セルギャップを精度良く測定できる。

【００２４】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、前記セルギャップ出力
手段は、前記複数の箇所各々における前記検査用光の光
量の所定関数として前記複数の箇所各々におけるセルギ
ャップの値を演算出力する演算出力手段を備えたことを
特徴とする。

【００２５】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、選択される輝度若しくはＲ、又はＧの光量
とセルギャップとの間には前述のように一対一対応の関
係があるため、演算出力手段により、この対応関係を示
す所定関数を用いてセルギャップの値を演算出力でき
る。

【００２６】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、前記セルギャップ出力
手段は、前記輝度又はＲ、及びＧの各光量に各々対する
前記セルギャップの各値が予め設定されたルックアップ
テーブルを格納する記憶手段と、前記複数の箇所各々に
おける前記検査用光の光量に対応する前記セルギャップ
の値を前記ルックアップテーブルから読み出して前記複
数の箇所各々におけるセルギャップの値として出力する
読み出し出力手段とを備えたことを特徴とする。

【００２７】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、選択される輝度若しくはＲ、又はＧの光量
とセルギャップとの間には前述のように一対一対応の関
係があるため、この各光量とセルギャップの各値との対
応関係を示すルックアップテーブル（早見表）からセル
ギャップの値を読み出して出力できる。

【００２８】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、前記セルギャップ出力
手段は、前記複数の箇所各々における前記光量比の所定
関数として前記複数の箇所各々におけるセルギャップの
値を演算出力する演算出力手段を備えたことを特徴とす
る。

【００２９】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、輝度又はＲ、及びＧの光量比とセルギャッ
プとの間には前述のように一対一対応の関係があるた
め、演算出力手段により、対応関係を示す所定関数を用
いてセルギャップの値を演算出力できる。

【００３０】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、前記セルギャップ出力
手段は、前記光量比に対する前記セルギャップの各値が
予め設定されたルックアップテーブルを格納する記憶手
段と、前記複数の箇所各々における前記光量比に対応す
る前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブルか
ら読み出して前記複数の箇所各々におけるセルギャップ
の値として出力する読み出し出力手段とを備えたことを
特徴とする。

【００３１】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、輝度又はＲ、及びＧの光量比とセルギャッ
プとの間には前述のように一対一対応の関係があるた
め、この各光量比とセルギャップの各値との対応関係を
示すルックアップテーブル（早見表）からセルギャップ
の値を読み出して出力できる。

【００３２】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、前記光検出手段は、前
記複数の個所におけるＢ（青色）の光量を更に各々検出
し、前記選択手段は、前記Ｒの光量に代えて前記Ｒ、Ｇ
及びＢの光量から換算される輝度の光量と前記Ｇの光量
との大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応す
る光又は輝度を前記検査用光として選択することを特徴
とする。

【００３３】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、複数の個所におけるＲやＧの光量のみなら
ず、更にＢ（青色）の光量が光検出手段により各々検出
される。選択手段により、Ｒの光量に代えてＲ、Ｇ及び
Ｂの光量から換算される輝度の光量とＧの光量との大小
が比較され、小さくない方の光量に対応する光又は輝度
は、前記検査用光として選択される。ここで輝度は、各
輝度の人間の目に対する特性を考慮して、例えば、計算
式｛０．６×Ｒの光量＋０．３×Ｇの光量＋０．１×Ｂ
の光量｝により計算される。ここで、前述したＲの場合
と同様に、セルギャップに対する輝度の変化特性と、セ
ルギャップに対するＧの光量（Ｇの透過率）の変化特性
とは相異なり、セルギャップが液晶の性質等に応じて一
定の値を取るところを境に、この一定の値（例えば、約
４．６μｍ程度）よりもセルギャップが大きい範囲で
は、セルギャップに対するＧの光量の変化率の方が、セ
ルギャップに対する輝度の変化率よりも大きくなる。従
って、Ｒの光量の代わりに輝度を用いても、複数の箇所
の間における輝度又はＧの光量の差をギャップむら出力
手段によりセルギャップむらの指標値として出力した
り、この差に基づいて分類手段によりセルギャップむら
の傾向別に液晶パネルを分類したり、或いは、この差に
基づいてセルギャップ出力手段によりセルギャップの値
を出力したり出来る。

【００３４】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、前記選択手段は、前記
複数の個所のうち少なくとも二個所について検出された
輝度又はＲの光量の合計とＧの光量の合計との大小を比
較すると共に小さくない方の合計光量に対応する光を前
記検査用光として選択することを特徴とする。

【００３５】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、選択手段により、複数の個所のうち少なく
とも二個所について検出された輝度又はＲの光量の合計
とＧの光量の合計との大小が比較される。ここで特に、
一枚の液晶パネルに関して、複数の箇所におけるセルギ
ャップの値がばらついており、輝度又はＲの方がＧより
もその光量が大きい箇所と、逆にＧの方が輝度又はＲよ
りもその光量が大きい箇所とが混在している場合に、仮
に一つの個所だけで大小関係を比較してどちらかの光を
検査用光として選択してしまうと、例えば他の全ての箇
所でこの大小関係が逆である可能性もある。この場合に
は、検査用光として選択された光の方が他の選択されな
かった光よりも、その光量の変化がセルギャップの変化
をより敏感に反映しているとは限らない。そこで、上述
のように、選択手段により、少なくとも二個所について
検出された輝度又はＲの光量の合計とＧの光量の合計と
の大小を比較して、小さくない方の合計光量に対応する
光を検査用光として選択すれば、複数の箇所全部につい
ての検査精度が高められていない可能性を低減できる。

【００３６】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、前記選択手段は、前記
複数の個所のうち少なくとも二個所について検出された
輝度又はＲの光量とＧの光量との大小を各々比較すると
共に、比較結果が全ての箇所で一致しない場合に、前記
少なくとも二個所について検出された輝度又はＲの光量
の合計とＧの光量の合計との大小を比較すると共に小さ
くない方の合計光量に対応する光を前記検査用光として
選択することを特徴とする。

【００３７】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、選択手段により、先ず、複数の個所のうち
少なくとも二個所について検出された輝度又はＲの光量
とＧの光量との大小が各々比較され、比較結果が全ての
箇所で一致しない場合に、少なくとも二個所について検
出された輝度又はＲの光量の合計とＧの光量の合計との
大小が比較される。即ち、全ての場合について、輝度又
はＲの光量の合計とＧの光量の合計とを求める必要が無
い。

【００３８】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置は上記課題を解決するために、液晶パネルの出射面上
の複数の箇所に各々先端側が対物レンズを介して対面す
る複数の光ファイバと、該複数の光ファイバの後端側か
ら各々出力される光に含まれるＲ（赤色）の光とＧ（緑
色）の光とを各々分離する光分離手段と、該分離された
Ｒの光の光量とＧの光の光量を各々検出する光検出手段
と、該検出された光量に基づいて、前記液晶パネルのセ
ルギャップむらの指標値、前記複数の箇所におけるセル
ギャップの値及びセルギャップむらの傾向別の分類のう
ち少なくとも一つを出力する検査結果出力手段とを備え
たことを特徴とする。

【００３９】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査装
置によれば、液晶パネルの出射面上の複数の箇所から発
せられる光は、対物レンズを介して複数の光ファイバの
先端側から各々入射され、その後端側から各々出力され
る。すると、この光ファイバの後端側から出力される光
に含まれるＲ及びＧの光は、光分離手段により相互に各
々分離される。そして、該分離されたＲ及びＧの光の光
量は、光検出器により各々検出される。最後に、検査結
果出力手段により、該検出された光量に基づいて、液晶
パネルのセルギャップむらの指標値、複数の箇所におけ
るセルギャップの値及びセルギャップむらの傾向別の分
類のうち少なくとも一つが出力される。

【００４０】この結果、Ｒ及びＧの光を各々検出する構
成を比較的簡単な構成とすることができ、セルギャップ
検査装置全体としても、装置の簡易化や低コスト化を図
ることが出来る。また、例えばＣＣＤカメラ等で撮像し
て得た撮像信号から所定の箇所におけるＲ及びＧの光の
みを抽出することにより光検出する場合と比較して、処
理の迅速化も図られる。

【００４１】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法は上記課題を解決するために、液晶パネルの出射面上
の複数の個所における輝度又はＲ、及びＧの光量を各々
検出する光検出工程と、前記複数の個所のうち少なくと
も一個所について、前記検出された輝度又はＲの光量と
Ｇの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量
に対応する光を検査用光として選択する選択工程と、前
記複数の個所の間における前記検査用光の光量の差をセ
ルギャップむらの指標値として各々出力するギャップむ
ら出力工程とを備えたことを特徴とする。

【００４２】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法によれば、検査された液晶パネルがセルギャップむら
に関して良品であるか不良品であるかを精度良く検査で
きる。

【００４３】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法は上記課題を解決するために、液晶パネルの出射面上
の複数の個所における輝度又はＲ、及びＧの光量を各々
検出する光検出工程と、前記複数の個所のうち少なくと
も一個所について、前記検出された輝度又はＲの光量と
Ｇの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量
に対応する光を検査用光として選択する選択工程と、セ
ルギャップむらの傾向別に予め設定された複数の分類の
うち前記液晶パネルがどの分類に属するかを前記複数の
箇所の間における前記検査用光の光量の差に基づいて判
定する分類工程とを備えたことを特徴とする。

【００４４】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法によれば、各液晶パネルをセルギャップむらの傾向別
に精度良く分類することが出来る。

【００４５】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法は上記課題を解決するために、液晶パネルの出射面上
の複数の個所における輝度又はＲ、及びＧの光量を各々
検出する光検出工程と、前記複数の個所のうち少なくと
も一個所について、前記検出された輝度又はＲの光量と
Ｇの光量との大小を比較すると共に小さくない方の光量
に対応する光を検査用光として選択する選択工程と、前
記複数の箇所各々における前記検査用光の光量に基づい
て前記複数の箇所各々におけるセルギャップの値を出力
するセルギャップ出力工程とを備えたことを特徴とす
る。

【００４６】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法によれば、セルギャップを精度良く測定できる。

【００４７】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法は上記課題を解決するために、液晶パネルの出射面上
の複数の個所における輝度又はＲ、及びＧの光量を各々
検出する光検出工程と、前記複数の箇所各々における前
記検出された輝度又はＲの光量とＧの光量の光量比に基
づいて前記複数の箇所各々におけるセルギャップの値を
出力するセルギャップ出力工程とを備えたことを特徴と
する。

【００４８】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法によれば、セルギャップを精度良く測定できる。

【００４９】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法は上記課題を解決するために、前記選択工程におい
て、前記複数の個所のうち少なくとも二個所について検
出された輝度又はＲの光量の合計とＧの光量の合計との
大小を比較すると共に小さくない方の合計光量に対応す
る光を前記検査用光として選択することを特徴とする。

【００５０】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査方
法によれば、複数の箇所全部についての検査精度が高め
られていない可能性を低減できる。

【００５１】本発明のこのような作用及び他の利得は次
に説明する実施の形態から明らかにされよう。

【００５２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００５３】（第１の実施の形態）本発明による、液晶
パネルのセルギャップのむらを検査する機能、液晶パネ
ルをセルギャップむらの傾向別に分類する機能、及びセ
ルギャップの値を測定する機能を有するセルギャップ検
査装置の第１の実施の形態における光検出部分を図１に
示し、その全体構成を図２に示す。

【００５４】図１において、検査装置の光検出部は、対
物レンズ１、光ファイバ２及び光センサ部３を備えて構
成されている。また、液晶パネル１０１は、白色光を液
晶パネル１０１の入射面全体に均等に照射するバックラ
イト１１０の上に、ＲとＧとを透過すると共にＢを透過
しないフィルタ１２０を介して載せられている。

【００５５】光ファイバ２は、液晶パネル１０１の出射
面１０１ａ上の中央に位置する点Ｐ１及び４隅に位置す
る４つの点Ｐ２〜Ｐ５に、各々先端側が対物レンズ１を
介して対面するように配置されている。

【００５６】光センサ部３は、各光ファイバ２毎に、ダ
イクロイックプリズム４、Ｒ検出用の光検出器５及びＧ
検出用の光検出器６を備えて構成されている。ダイクロ
イックプリズム４は、光分離手段の一例を構成してお
り、光ファイバ２の後端側から出力される光に含まれる
Ｒの光をダイクロイック面４で透過すると共にＧの光を
ダイクロイック面４ａで反射することにより、これらの
Ｒ及びＧの光を相互に分離するように構成されている。
また、光検出器５及び６は、このように分離されＲ及び
Ｇの光を各々受光し、その光量を示す光検出信号を、イ
ンターフェース１２に出力するように構成されている。
尚、ダイクロイックプリズム４の代わりにダイクロイッ
クミラーから、このような光分離手段を構成してもよ
い。

【００５７】このように、対物レンズ１、光ファイバ２
及び光センサ部３は、液晶パネル１０１の出射面１０１
ａ上の５つの点Ｐ１〜Ｐ５における、Ｒの光量及びＧの
光量を各々検出するように構成されている。

【００５８】図２に示すように、本発明のセルギャップ
検査装置１００は、図１に示した対物レンズ１、光ファ
イバ２及び光センサ部３に加えて、パソコン（パーソナ
ルコンピュータ）１０と、カラーモニター等の表示装置
２０とプリンタ３０とを備えて構成されている。

【００５９】パソコン１０は、図１に示した光センサ部
３からの光検出信号が入力されるインターフェース１２
と、フロッピーディスク、光ディスク等の記録媒体１３
ａから検査用プログラムや後述のルックアップテーブル
を読み込んだり、記録媒体１３ａに各種の検査結果デー
タを格納したりするＦＤ（フロッピーディスク）ドライ
ブ、光ディスクドライブ等の読取装置１３と、検査用プ
ログラム、ルックアップテーブル等を格納したり検査結
果データを格納したりするためのＨＤ（ハードディス
ク）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random A
ccess Memory）等の記憶装置１４と、後述の検査用プロ
グラムが実行されるＣＰＵ（中央演算装置）１５と、キ
ーモード、マウス等の制御命令や各種パラメータを入力
したり設定するための入力装置１７を備えて構成されて
いる。

【００６０】表示装置２０は、後述のようにセルギャッ
プむらの指標値、液晶パネルのセルギャップむらの傾向
別の分類、セルギャップの測定値等の検査結果データを
所定フォーマットで表示したり、各種命令やパラメータ
指定等が可能なメニュー画面等を表示可能なように構成
されており、プリンタ３０は、このような検査結果デー
タ等を所定フォーマットで印刷可能なように構成されて
いる。

【００６１】ＣＰＵ１５は、記録媒体１３ａ又は記憶装
置１４に格納された検査用プログラムにしたがって、選
択手段の一例として機能して、光センサ部３からインタ
ーフェース１２を介して入力される複数の点Ｐ１〜Ｐ５
におけるＲの光量及びＧの光量を示す光検出信号に基づ
いて、複数の点Ｐ１〜Ｐ５のうち少なくとも一点（例え
ば、点Ｐ１）について、検出されたＲの光量とＧの光量
との大小を比較し、小さくない方の光量に対応する色を
検査用光として選択する。即ちＲの透過率（光量）＞Ｇ
の透過率（光量）の場合には、Ｒを検査用光として設定
し、Ｒの透過率（光量）＜Ｇの透過率（光量）の場合に
は、Ｇを検査用光として設定し、両者が等しい場合は
（極めて希ではあるが）、Ｒ又はＧを検査用光として設
定するように構成されている。尚、本実施の形態では、
光センサ部３で検出されるＲ、Ｇ等の光の光量とＲ、Ｇ
等の光の透過率とは、それらの性質上物理的には同等の
意味を持つ。

【００６２】ここで、検査用光の選択について、図３を
参照して説明する。

【００６３】液晶パネル１０１において一対の基板間に
挟持された液晶中の光の伝播は一般に、Berremanの４×
４マトリクス法で計算することが出来る。また、液晶パ
ネル１０１の一対の基板の対向面に各々設けられた配向
膜の配向方向及び液晶の性質により規定される液晶のツ
イスト角が９０°であるＴＮ（ツイステッドネマチッ
ク）モードの場合には、Gooch-Tarryの式で次に示すよ
うに、簡単に計算できる。

【００６４】即ち、ノーマリーブラックモードの時、液
晶セルの透過率は Ｔ＝Ｓｉｎ²（π／２×（１＋ｕ²）^1/2）／（１＋ｕ²） 但し、ｕ＝２Δｎｄ／λ （ｎ：屈折率、ｄ：セルギ
ャップ、λ：波長） また、ノーマリーホワイトモードの時、液晶セルの透過
率は Ｔ＝１−｛Ｓｉｎ²（π／２×（１＋ｕ²）^1/2）／（１
＋ｕ²）｝ で計算できる。

【００６５】但し、透過率を計算する際には、液晶のΔ
ｎにも波長分散があるので、この影響を加味する必要が
ある。液晶の波長分散は液晶の種類によって異なるが、
以下にその一例を示す。

【００６６】 波長λ［ｎｍ］： Δｎ ４５０ ： ０．１２９ ５００ ： ０．１２４ ５５０ ： ０．１２０ ６００ ： ０．１１７ ６５０ ： ０．１１５ 特に可視光においては、液晶のΔｎは、波長が短い程大
きく、波長が長い程小さくなるため、ＲＧＢ別の光の透
過率の差は、更に大きくなっていることが判る。

【００６７】このような計算に基づきシミュレーション
されるか或いは実験的に得られる液晶パネル１０１のセ
ルギャップとＲＧＢ各色の透過率（光量）との関係を図
３の特性図に示す。図３には、輝度＝０．６Ｇ（Ｇの透
過率）＋０．３Ｒ（Ｒの透過率）＋０．１Ｂ（Ｂの透過
率）として計算した輝度を透過率に換算した輝度につい
ての特性曲線をも示している。

【００６８】図３に示すように、セルギャップｄに対す
るＲの透過率（光量）の変化特性、Ｇの透過率（光量）
の変化特性、Ｂの透過率（光量）の変化特性とは相異な
り、更に、関係式（輝度＝０．６×Ｇの透過率＋０．３
×Ｒの透過率＋０．１×Ｂの透過率）を用いて透過率換
算した輝度の変化特性もこれらと相異なっている。そし
て、セルギャップｄが約４．２μｍ程度のところを境
に、これよりもセルギャップｄが小さい範囲では、セル
ギャップｄに対するＲの光量の変化率の方が、セルギャ
ップｄに対するＧの光量の変化率よりも大きくなってお
り、Ｒの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏
感に反応することが分かる。これに対して、約４．２μ
ｍ程度よりもセルギャップｄが大きい範囲では、セルギ
ャップｄに対するＧの光量の変化率の方が、セルギャッ
プｄに対するＲの光量の変化率よりも大きくなり、Ｇの
光量の方がセルギャップｄの増減に対してより敏感に反
応することが分かる。また、Ｂの光量については、セル
ギャップｄが約３μｍ程度のところに極小値を持ち、約
４．６μｍ程度の所に極大値を持つので、Ｂの透過率か
らセルギャップを特定することは理論上も（実際上も）
不可能であることが分かる。また、前述のように従来の
セルギャップむら検査に用いられていた輝度の場合に
も、セルギャップｄが約３．５μｍ〜４．５μｍ辺りで
は、セルギャップｄの変化に対する輝度の変化が少ない
ので、輝度に基づいてセルギャップむらの検査やセルギ
ャップ測定を精度良く行うことが理論上も実際上も基本
的に困難であることも分かる。

【００６９】従って、上述のように検査プログラムにし
たがって選択手段として機能するＣＰＵ１５により検査
用光として設定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャ
ップｄの増減に対してより敏感に反応する方の色とな
る。

【００７０】本実施の形態では特に、ＣＰＵ１５は検査
プログラムに従って、複数の点Ｐ１〜Ｐ５のうち、例え
ば全ての点などの、少なくとも二点について、検出され
たＲの光量の合計とＧの光量の合計との大小を比較し、
小さくない方の合計光量に対応する色を検査用光として
選択するように構成されている。これは、以下の理由に
よる。

【００７１】即ち、一枚の液晶パネル１０１に関して、
複数の点Ｐ１〜Ｐ５におけるセルギャップの値がばらつ
いており、Ｒの方がＧよりもその光量が大きい点と、逆
にＧの方がＲよりもその光量が大きい点とが混在してい
る場合に、仮に一つの点だけ（例えば、点Ｐ５だけ）で
大小関係を比較して、どちらかの色を検査用光として選
択してしまうと、例えば他の全ての点（例えば、点Ｐ１
〜Ｐ４）でこの大小関係が逆である可能性もある。この
場合には、検査用光として選択された色の方が他の選択
されなかった色よりも、その光量の変化がセルギャップ
の変化をより敏感に反映しているとは限らない。即ち、
一点だけの比較では、複数の点全部についての検査精度
が高められていない可能性が残されている。そこで、上
述のように、少なくとも２点について検出されたＲの光
量の合計とＧの光量の合計との大小を比較して、小さく
ない方の合計光量に対応する色を検査用光として選択す
れば、複数の箇所全部についての検査精度が高められて
いない可能性を低減できるからである。

【００７２】尚、このように２点以上でＲ及びＧの光量
の大小比較を行う場合、先ず、複数の点のうち少なくと
も二点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小
を各々比較して、比較結果が全ての箇所で一致しない場
合に、少なくとも二点について検出されたＲの光量の合
計とＧの光量の合計との大小とを比較するようにしても
よい。このように構成すれば、全ての場合について、Ｒ
の光量の合計とＧの光量の合計とを求める必要が無い。

【００７３】再び、図２に戻り、ＣＰＵ１５は検査用プ
ログラムにしたがって、表示装置２０と共にギャップむ
ら出力手段の一例としても機能して、複数の点Ｐ１〜Ｐ
５の間における検査用光（Ｒ又はＧ）の光量の差（例え
ば、点Ｐ１を基準とする差）を、セルギャップむらの指
標値として各々出力するように構成されている。

【００７４】この結果、本実施の形態によれば、セルギ
ャップむらの指標値として表示装置２０の画面上に表示
された光量（透過率）の差が、予め経験上または計算上
設定された所定の許容範囲（例えば、±０．数μｍ程
度）に入っているか否かにより、当該検査された液晶パ
ネル１０１が、セルギャップむらに関して良品であるか
不良品であるかを精度良く検査できる。

【００７５】尚、検査用プログラムに従ってＣＰＵ１５
により、中央の点Ｐ１と４隅の点Ｐ２〜Ｐ５各々との間
における検査用光（Ｒ又はＧ）の光量の差が、予め設定
された許容範囲内にあるか否かを自動的に判定するよう
に構成してもよい。この場合、判定結果としては、例え
ば、各点間のセルギャップ各々について、表示画面上に
判定結果を示す欄を設けておき、この欄に“良品”或い
は“不良品”の如きテキストデータを表示する。或い
は、一つでも許容範囲内にない光量の差が存在する場合
に、液晶パネル１０１全体に対する判定結果として、
“不良品”の如きテキストデータを表示してもよい。こ
のように本実施の形態のセルギャップ検査装置１００に
よれば、液晶パネル１０１の中央部と端部におけるセル
ギャップｄの差を自動的に数値比較できるだけでなく、
自動的に良品又は不良品であるとの判定結果が出力され
るので便利である。

【００７６】更に、本実施の形態では、ＣＰＵ１５は検
査用プログラムにしたがって、表示装置２０と共に分類
手段の一例としても機能して、セルギャップむらの傾向
別に予め設定された複数の分類のうち前記液晶パネルが
どの分類に属するかを複数の点Ｐ１〜Ｐ５の間における
検査用光の光量の差に基づいて判定する。

【００７７】ここに、“セルギャップむらの傾向”と
は、例えば、セルギャップが、中央部と端部とで差がな
い、中央部が薄い、端部が薄い、右端が左端よりも薄
い、左端が右端よりも薄い、上端が下端よりも薄い、下
端が上端よりも薄い等のセルギャップむらの方向性や、
差が大きい、差が中程度である、差が小さい等のセルギ
ャップのむらの程度などを要素とする各種の傾向が挙げ
られ、液晶パネルの用途や要求される仕様等を勘案して
適当な数の分類が用意される。そして後に、例えば３枚
の液晶パネルを組み合わせてプロジェクタを構成する場
合には、同じ分類に属する液晶パネルを組み合わせて使
用すれば、各液晶パネルにおけるセルギャップのむらが
相互に増長される事態を未然に防ぐことができるのであ
る。そして、このようにして得られた判定結果を表示装
置２０に表示したり、プリンタ３０に印刷したりするよ
うに構成されている。プリンタ３０は、このような分類
結果を小型のシール上に印刷して、液晶パネルの端部に
貼り付けられるようにしてもよい。

【００７８】更に、本実施の形態では、ＣＰＵ１５は検
査用プログラムにしたがって、表示装置２０と共にセル
ギャップ出力手段の一例としても機能して、複数の点Ｐ
１〜Ｐ５各々における検査用光の光量に基づいて、複数
の点Ｐ１〜Ｐ５各々におけるセルギャップの値を出力す
るように構成されている。

【００７９】ここで特に、Ｒの光量とセルギャップとの
間及びＧの光量とセルギャップとの間には、予め実験的
に又は理論計算やシミュレーションにより求めることが
出来る、例えば、図３に示したような一定の関係があ
る。そして、Ｒの光量がその極小値をとるセルギャップ
ｄの値（例えば、約４．５μｍ）と、Ｇの光量がその極
小値をとるセルギャップｄの値（例えば、約４．０μ
ｍ）とは異なり、両者が一致するセルギャップｄの値
（例えば、約４．２μｍ）を境にして、それより小さい
セルギャップｄの値に対しては、Ｒの光量がセルギャッ
プｄの値と一対一対応にあり、それより大きいセルギャ
ップｄの値に対しては、Ｇの光量がセルギャップｄの値
と一対一対応にある。従って、Ｒの光量及びＧの光量を
変数とする、この一対一対応の関係を示す所定関数を用
いて演算すれば、検査用光として選択されたＲ又はＧの
光量を入力としてセルギャップｄがその演算結果として
一義的に定まることになる。或いは、Ｒ及びＧの各光量
とセルギャップｄの各値との対応関係を示すルックアッ
プテーブル（早見表）を予め作成しておけば、検査用光
として選択されたＲ又はＧの光量に対応するルックアッ
プテーブル上の値として、セルギャップｄは、一義的に
定まることになる。

【００８０】そこで、本実施の形態では、このようなＲ
及びＢの光量とセルギャップｄとの対応関係を２次関
数、３次関数などで近似した所定関数を予め検査用プロ
グラムに組み込んでおき、実際の検査時に、Ｒ又はＧの
光量を入力として、ＣＰＵ１５により、この所定関数を
用いてセルギャップｄの値を演算出力するように構成さ
れている。或いは、Ｒ及びＧの各光量とセルギャップｄ
の各値との対応関係を示すルックアップテーブル（早見
表）を予め作成して記録媒体１３ａや記憶装置１４中に
予め格納しておき、ＣＰＵ１５により、選択されたＲ又
はＧの光量に対応するルックアップテーブル上のセルギ
ャップｄの値を読み出して出力するように構成されてい
る。

【００８１】以上の結果、本実施の形態のセルギャップ
検査装置１００により、セルギャップｄの大小に応じ
て、より適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、液晶パ
ネル１０１のセルギャップむらの指標値を出力したり、
液晶パネル１０１をセルギャップむらの傾向別に分類し
たり、液晶パネル１０１のセルギャップを精度良く測定
できる。

【００８２】次に、本実施の形態のセルギャップ検査装
置１００を用いたセルギャップ検査手順について説明す
る。尚、セルギャップ検査装置１００にロードされる記
録媒体１３ａ或いはパソコン１０内蔵の記憶装置１４に
は、前述のＲ及びＧの各光量に対応する各セルギャップ
の値を示すルックアップテーブルが予め格納されている
ものとする。

【００８３】先ず、実際に液晶パネル１０１を検査する
前に、対物レンズ１、光ファイバ２、光センサ部３等の
ホワイトバランスをとる。この処理は液晶パネル１０１
を撮影用台上のバックライト１１０上に載せる前に、バ
ックライト１１０及びフィルタ１２０だけを撮影用台上
に載せて、Ｒ及びＧ別に光検出信号を得て、これら各光
検出信号の出力レベルが相互に同じになるように各色の
ゲインを設定する。

【００８４】次に、液晶パネル１０１を撮影用台上のバ
ックライト１１０及びフィルタ１２０上に載せる。そし
て、バックライト１１０からの光により各点Ｐ１〜Ｐ５
から発せられる光は、対物レンズ１を介して複数の光フ
ァイバ２の先端側から各々入射され、その後端側から各
々出力される。すると、この光ファイバ２の後端側から
出力される光に含まれるＲ及びＧの光は、ダイクロイッ
クプリズム４により相互に各々分離される。そして、該
分離されたＲ及びＧの光の光量は、光検出器５及び６に
より各々検出される。これらの結果、光センサ部３から
は、Ｒ及びＧの光検出信号が出力される。

【００８５】すると、ＣＰＵ１５により、各点Ｐ１〜Ｐ
５のうち一点又は複数の点について、Ｒの光量とＧの光
量との大小が比較され、小さくない方の光量に対応する
Ｒ又はＧが、検査用光として選択される。このように検
査用光として選択されるＲ又はＧは、前述のようにその
光量がセルギャップｄの増減に対してより敏感に反応す
る方の色となる。

【００８６】次に、このように選択された検査用光（即
ちＲ又はＧ）の中央の点Ｐ１と４隅の点Ｐ２〜Ｐ５各々
との間における光量の差が、表示装置２０の画面上にセ
ルギャップむらの指標値として各々表示される。

【００８７】これと並行して、検査用光（即ちＲ又は
Ｇ）の各点Ｐ１〜Ｐ５における光量に対応するセルギャ
ップの値が、記録媒体１３ａ又は記憶装置１４に格納さ
れたルックアップテーブルから読み出され、各点Ｐ１〜
Ｐ５におけるセルギャップ測定値（５つの測定値）とし
て各々出力される。

【００８８】以上の結果、検査者は、セルギャップの大
小に応じてより適切なＲの光量又はＧの光量についての
光量の差をセルギャップむらの指標値として表示装置２
０上で見た後、この表示された光量の差が、許容範囲に
入っているか否かを判断する。或いは、この判定は、前
述のようにＣＰＵ１５により自動的に行われる。更に、
セルギャップの大小に応じてより適切なＲの光量又はＧ
の光量を用いて、液晶パネル１０１が、予め設定された
セルギャップむらの傾向別の分類のうちどれに属するか
を判定でき、例えば、プリンタ３０により分類コードが
印刷されたシールを印刷出力できる。更にまた、セルギ
ャップの大小に応じてより適切なＲの光量又はＧの光量
を用いて、セルギャップを精度良く測定できる。

【００８９】（第２の実施の形態）本発明によるセルギ
ャップ検査装置の第２の実施の形態について図１から図
３を参照して説明する。第２の実施の形態は、第１の実
施の形態と同様のハードウエア構成を持つが、ＣＰＵ１
５が実行する検査用プログラムの内容が異なる。

【００９０】即ち、検査用プログラムにしたがって、Ｃ
ＰＵ１５は、光センサ部３により複数の点Ｐ１〜Ｐ５各
々において検出されたＲの光量とＧの光量の光量比に基
づいて、複数の点Ｐ１〜Ｐ５各々におけるセルギャップ
の値を出力するように構成されている。

【００９１】図３に示したように、Ｒの光量とセルギャ
ップとの間及びＧの光量とセルギャップとの間には各々
一定の関係があるため、セルギャップの値に対してこの
光量比は、一対一対応の関係にある。

【００９２】そこで、本実施の形態では、このようなＲ
及びＢの光量比とセルギャップとの対応関係を２次関
数、３次関数などで近似した所定関数を予め検査用プロ
グラムに組み込んでおき、実際の検査時に、Ｒ又はＧの
光量を入力として、ＣＰＵ１５により、この所定関数を
用いてセルギャップｄの値を演算出力するように構成さ
れている。或いは、Ｒ及びＧの光量比とセルギャップの
各値との対応関係を示すルックアップテーブル（早見
表）を予め作成して記録媒体１３ａや記憶装置１４中に
格納しておき、ＣＰＵ１５により、Ｒ及びＧの光量比に
対応するルックアップテーブル上のセルギャップｄの値
を読み出して出力するように構成されている。

【００９３】以上の結果、本実施の形態のセルギャップ
検査装置１００により、Ｒ及びＧの光量比を用いて、液
晶パネル１０１のセルギャップを精度良く測定できる。

【００９４】（第３の実施の形態）本発明によるセルギ
ャップ検査装置の第３の実施の形態について図４を参照
して説明する。第３の実施の形態では、第１の実施の形
態と比べて光検出部の構成が異なり、他の構成は同様で
ある。従って、他の構成については、説明は省略する。

【００９５】図４に示すように、本実施の形態では、第
１の実施の形態における対物レンズ１及び光ファイバ２
に加えて、各点Ｐ１〜Ｐ５に極近接して位置する各点Ｐ
１’〜Ｐ５’に先端側が対物レンズ１’を介して対向配
置される光ファイバ２’が備えられている。そして、対
物レンズ１の前面には、Ｒの光のみを透過するフィルタ
１Ｒが取り付けられており、対物レンズ１’の前面に
は、Ｇの光のみを透過するフィルタ１Ｇが取り付けられ
ている。そして、光センサ部３’は、光ファイバ２の後
端側から出力されるＲの光を検出するＲ検出用の光検出
器５及び光ファイバ２’の後端側から出力されるＧの光
を検出するＧ検出用の光検出器６を備えて構成されてい
る。

【００９６】このように本実施の形態によれば、光セン
サ部３’の構成を小型簡略化できる。尚、対物レンズ１
及び１’を液晶パネル１０１の出射面１０１ａに対して
僅かに傾けることにより、対をなす点Ｐ１と点Ｐ１’等
が、ほぼ同一の地点となるように構成してもよい。

【００９７】（第４の実施の形態）本発明によるセルギ
ャップ検査装置の第４の実施の形態について図５及び図
６を参照して説明する。第４の実施の形態では、第１の
実施の形態と比べて光検出部の構成が異なり、他の構成
は同様である。従って、他の構成については、説明は省
略する。

【００９８】図５に示すように、本実施の形態では、第
１の実施の形態における対物レンズ１、光ファイバ２及
び光センサ部３に代えて、ＣＣＤカメラ５０を備えて構
成されている。

【００９９】本実施の形態では、特にＣＣＤカメラ５０
は、点Ｐ１〜Ｐ５のみならず液晶パネル１０１の出射面
１０１ａ全体を撮像するように構成されている。そし
て、ＣＰＵ１５及び表示装置２０は、検査用光の光検出
信号の出力レベルを液晶パネル１０１の出射面１０１ａ
全体について擬似カラー化して２次元表示するように構
成されている。図６にこのような擬似カラー化した２次
元表示の一例を示す。

【０１００】図６に示すように、表示装置２０の画面２
０ａには、例えば、液晶パネル１０１の出射面１０１ａ
の中央に位置する点Ｐ１におけるセルギャップの値を基
準として、それよりも小さいセルギャップを持つ箇所を
赤色として、それよりも大きいセルギャップを持つ箇所
を黄色として、しかも点Ｐ１におけるセルギャップの値
からの差を色濃度に対応するようにした擬似カラー出射
面１０２が表示されている。

【０１０１】この結果、セルギャップ検査装置１００に
よれば、液晶パネル１０１の中央部と４隅におけるセル
ギャップｄの差を、表示装置２０の画面２０ａ上におけ
る色の差として視覚的に認識できる。尚、図６に示した
表示画面２０ａ内の左上領域には、前述の分類結果を示
すテキスト又はコード情報２０ｂが表示されており、そ
の下側には、各点Ｐ１〜Ｐ５におけるセルギャップの値
を示す数値データ２０ｃとセルギャップむらデータ２０
ｄとがリスト形式で表示されている。

【０１０２】（第５の実施の形態）図７に、本発明によ
るセルギャップ検査装置の第５の実施の形態の全体構成
を示す。尚、図７において、図１に示した第１の実施の
形態の場合と同じ構成要素については同じ参照符号を付
し、その説明は省略する。

【０１０３】図７において、セルギャップ検査装置２０
０は、光ファイバ２に接続された光センサ部３と、Ａ／
Ｄ変換器３１と、選択器３３と、ＰＲＯＭ（Ｒ）３５
と、ＰＲＯＭ（Ｇ）３６と、入力切り換えスイッチ３７
と、検査出力器３８とを備えて構成されている。

【０１０４】Ａ／Ｄ変換器３１は、光センサ部３からの
Ｒ及びＧの光検出信号が各々入力されると、これらを各
々ＡＤ変換してＲ及びＧのデジタル信号を出力する。そ
して、 Ａ／Ｄ変換器３１は、Ｒ及びＧのデジタル信号
を常に選択器３３に通すように構成されている。

【０１０５】選択器３３は、検査用ロジックにしたがっ
て選択手段の一例として機能して、ＡＤ変換されたＲ及
びＢのデジタル信号から液晶パネル１０１の出射面１０
１ａにおいて図１に示した点Ｐ１〜Ｐ５とのうちの一点
（例えば、第１の点Ｐ１）について検出されたＲの光量
（透過率）とＧの光量（透過率）との大小を比較すると
共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用光
として選択するように構成されている。

【０１０６】ＰＲＯＭ（Ｒ）３５は、Ｒの各光量に各々
対するセルギャップの各値が予め設定されたルックアッ
プテーブルが格納されている。そして、各点Ｐ１〜Ｐ５
における光量に対応するセルギャップｄの値が、格納さ
れたルックアップテーブルから読み出されるようにＰＲ
ＯＭ（Ｒ）３５は、プログラムされている。

【０１０７】ＰＲＯＭ（Ｇ）３６は、Ｇの各光量に各々
対するセルギャップの各値が予め設定されたルックアッ
プテーブルが格納されている。そして、各点Ｐ１〜Ｐ５
における光量に対応するセルギャップｄの値が、格納さ
れたルックアップテーブルから読み出されるようにＰＲ
ＯＭ（Ｇ）３６は、プログラムされている。

【０１０８】そして、このように読み出された各点Ｐ１
〜Ｐ５におけるセルギャップ測定値のうちの選択器３３
により設定された検査用光（即ちＲ又はＧ）に対応する
一方が、入力切り換えスイッチ３７を介して、検査出力
器３８に入力される。

【０１０９】検査出力器３８は、このように入力され
た、検査用光（即ちＲ又はＧ）の各点Ｐ１〜Ｐ５におけ
る光量に対応するセルギャップｄの値を、表示画面や紙
面上に出力するように構成されている。同時に、検査出
力器３８は、中央の点Ｐ１と４隅の点Ｐ２〜Ｐ５各々と
の間における検査用光（Ｒ又はＧ）の光量に基づくセル
ギャップの差を、セルギャップむらの指標値として、表
示画面や紙面上に出力するように構成されている。

【０１１０】従って、本実施の形態によれば、第１の実
施の形態の場合と同様に、セルギャップｄの大小に応じ
て、より適切なＲの光量（透過率）又はＧの光量（透過
率）を用いて、各点Ｐ１〜Ｐ５におけるセルギャップｄ
を迅速に且つ精度良く測定でき、更に、セルギャップむ
らの指標値として検査出力器３８から出力されたセルギ
ャップの差が、予め設定された所定の許容範囲に入って
いるか否かにより、当該検査された液晶パネル１０１
が、セルギャップむらに関して良品であるか不良品であ
るかを迅速に且つ精度良く検査できる。更にまた当該検
査された液晶パネル１０１をセルギャップむらの傾向別
に、迅速且つ精度良く分類することも可能である。

【０１１１】（第６の実施の形態）本発明によるセルギ
ャップ検査装置の第６の実施の形態について図１から図
３及び図８を参照して説明する。第６の実施の形態は、
第１の実施の形態と比べて光検出部の構成が異なり、更
に、ＣＰＵ１５が実行する検査用プログラムの内容が異
なる。

【０１１２】即ち先ず、図８に示すように、本実施の形
態では、フィルタ１２０（図１参照）を用いることなく
バックライト１１０上に直接、液晶パネル１０１を載
せ、Ｒ及びＧだけでなくＢについても光検出を行う。
尚、図８では、ＣＣＤカメラ５０によりＲＧＢ各々の光
検出を行う場合を示しているが、図１に示したような対
物レンズ１、光ファイバ２及び光センサ部３を用いて、
ＲＧＢ各々の光検出を行うように構成してもよい。この
場合には、例えば、ダイクロイックプリズム４を各光路
に対して２重に設けて白色光からＲＧＢ３色に分離する
ように構成される。或いは、図４に示した第３の実施の
形態を変形して、極近接した３点を一点とみなして光検
出するように構成してもよい。

【０１１３】本実施の形態では、検査用プログラムにし
たがってＣＰＵ１５は、Ｒ、Ｇ及びＢの光量から換算さ
れる輝度の光量とＧの光量との大小を比較し、小さくな
い方の光量に対応する色光又は輝度を検査用光として選
択するように構成されている。輝度は、各輝度の人間の
目に対する特性を考慮して、例えば、計算式｛０．６×
Ｒの光量＋０．３×Ｇの光量＋０．１×Ｂの光量｝によ
り計算される。

【０１１４】ここで、前述した各実施の形態におけるＲ
の場合と同様に、図３に示したように、セルギャップｄ
に対する輝度の変化特性と、セルギャップｄに対するＧ
の光量（Ｇの透過率）の変化特性とは相異なり、一般に
はセルギャップｄが約４．６μｍ程度のところを境に、
これよりもセルギャップｄが大きい範囲では、セルギャ
ップｄに対するＧの光量の変化率の方が、セルギャップ
ｄに対する輝度の変化率よりも大きくなる。

【０１１５】従って、本実施の形態においても、上述の
各実施の形態において用いられたＲの光量の代わりに輝
度を用いて、上述の各実施の形態の場合と同様に、中央
の点Ｐ１と４隅の点Ｐ２〜Ｐ５の間における検査用光と
して選択された輝度又はＧの光量の差を、セルギャップ
むらの指標値として出力したり、この差に基づいてセル
ギャップむらの傾向別に液晶パネル１０１を分類した
り、或いは、この差、あるいは輝度とＧの光量比に基づ
いてＣＰＵ１５によりセルギャップの値を出力したり出
来る。

【０１１６】尚、以上説明した各実施の形態において
は、対物レンズ１、光ファイバ２及び光センサ部３やＣ
ＣＤカメラ５０等の分光特性の違いや撮影用台上に載せ
られるバックライト１１０やフィルタ１２０の色温度の
違い等により図３に示したような特性は変動する。従っ
て、図３に示したような一つの特性について前述のルッ
クアップテーブルを予め用意しておき、実際の検査の際
に、これらの分光特性やバックライトの色温度等のパラ
メータの相違に応じてルックアップテーブルから読み出
した各セルギャップ値に対して補正を加えるのが好まし
い。このような補正は、例えば、第１の実施の形態の場
合であれば、ＣＰＵ２を制御する検査用プログラムの中
に、ルックアップテーブルから読み出した各セルギャッ
プ値と上記分光特性等のパラメータとを入力とする所定
関数を用いた補正用プログラムを組み込んでおけばよ
い。或いは、第５の実施の形態の場合であれば、ＰＲＯ
Ｍ（Ｒ）３５やＰＲＯＭ（Ｇ）３６の中にこのような補
正用プログラムを組み込んでおけばよい。

【０１１７】（第７の実施の形態）本発明によるセルギ
ャップ検査装置の第７の実施の形態について説明する。
第７の実施の形態は、第６の実施の形態と同様に、検査
用プログラムにしたがってＣＰＵ１５は、輝度の光量と
Ｇの光量との大小を比較し、小さくない方の光量に対応
する色又は輝度を検査用光として選択するように構成さ
れている。但し、第６の実施の形態と異なる点は、第６
の実施の形態ではＲＧＢの光量を検出し、輝度の光量を
演算により算出していたが、本発明では輝度を演算にて
算出するのではなく、バックライト１１０上に直接、液
晶パネル１０１を載せ、直接的に輝度を検出することに
ある。

【０１１８】本実施の形態によれば、光検出部の構成と
しては、図５に示すように、ＣＣＤカメラ５０を備えて
構成されている。特にＣＣＤカメラ５０は、点Ｐ１〜Ｐ
５のみならず液晶パネル１０１の出射面１０１ａ全体を
撮像するように構成されている。しかし、本実施の形態
では、図５において、インターフェースに出力される光
量の情報はＲとＧではなく、輝度とＧになっている。

【０１１９】また、本実施の形態の他の構成によれば、
図４に示すように、対物レンズ１及び光ファイバ２に加
えて、各点Ｐ１〜Ｐ５に極近接して位置する各点Ｐ１’
〜Ｐ５’に先端側が対物レンズ１’を介して対向配置さ
れる光ファイバ２’が備えられている。しかし、本実施
の形態では、対物レンズ１の前面のフィルタ１Ｒは取り
除かれ、対物レンズ１’の前面には、Ｇの光のみを透過
するフィルタ１Ｇが取り付けられている。そして、光セ
ンサ部３’は、光ファイバ２の後端側から出力される輝
度の光を検出する検出用の光検出器５及び光ファイバ
２’の後端側から出力されるＧの光を検出するＧ検出用
の光検出器６を備えて構成されている。

【０１２０】このように、本実施の形態においては、第
６の実施の形態のように、輝度を演算して算出するので
はなく、直接的に光検出している構成を有している。

【０１２１】従って、前述した各実施の形態におけるＲ
の場合と同様に、図３に示したように、セルギャップｄ
に対する輝度の変化特性と、セルギャップｄに対するＧ
の光量（Ｇの透過率）の変化特性とは相異なり、一般に
はセルギャップｄが約４．６μｍ程度のところを境に、
これよりもセルギャップｄが大きい範囲では、セルギャ
ップｄに対するＧの光量の変化率の方が、セルギャップ
ｄに対する輝度の変化率よりも大きくなる。

【０１２２】従って、本実施の形態においても、上述の
各実施の形態において用いられたＲの光量の代わりに輝
度を用いて、上述の各実施の形態の場合と同様に、中央
の点Ｐ１と４隅の点Ｐ２〜Ｐ５の間における検査用光と
して選択された輝度又はＧの光量の差を、セルギャップ
むらの指標値として出力したり、この差に基づいてセル
ギャップむらの傾向別に液晶パネル１０１を分類した
り、或いは、この差、あるいは輝度とＧの光量比に基づ
いてＣＰＵ１５によりセルギャップの値を出力したり出
来る。

【０１２３】以上説明したように、各実施の形態によれ
ば、高精度で液晶パネルのセルギャップむらを検査する
ことができ、高精度でセルギャップむらの傾向別に液晶
パネルを分類でき、高精度でセルギャップを測定するこ
とができる。

【０１２４】

【発明の効果】本発明の液晶パネルのセルギャップ検査
装置及び方法によれば、Ｒ又はＧの光量を用いることに
より、輝度又はＧの光量を用いることにより、或いは、
輝度又はＲとＧの光量比を用いることにより、高精度で
液晶パネルのセルギャップむらを検査でき、高精度でセ
ルギャップむらの傾向別により液晶パネルを分類でき、
高精度でセルギャップの値を測定できる。

【０１２５】また、光ファイバを利用して光検出部を構
成することにより、装置構成の簡易化を図ることも出来
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によるセルギャップ検査装置の第１の
実施の形態における光検出分部の構成を示すブロック図
である。

【図２】 本発明によるセルギャップ検査装置の第１の
実施の形態の全体構成を示すブロック図である。

【図３】 液晶パネルにおけるセルギャップと各色の透
過率（光量）及び輝度との関係を示す特性図である。

【図４】 本発明によるセルギャップ検査装置の第３の
実施の形態における光検出分部の構成を示すブロック図
である。

【図５】 本発明によるセルギャップ検査装置の第４の
実施の形態における光検出分部の構成を示すブロック図
である。

【図６】 第４の実施の形態における図1の検査装置に
備えられたカラーモニターの表示画面の一例を示す平面
図である。

【図７】 本発明によるセルギャップ検査装置の第５の
実施の形態の全体構成を示すブロック図である。

【図８】 本発明によるセルギャップ検査装置の第６の
実施の形態における光検出分部の構成を示すブロック図
である。

【符号の説明】

１…対物レンズ ２…光ファイバ ３…光センサ部 ４…ダイクロイックプリズム ５、６…光検出器 １０…パソコン １２…インターフェース １３…読取装置 １３ａ…記録媒体 １４…記憶装置 １５…ＣＰＵ １７…入力装置 ２０…表示装置 ２０ａ…表示画面 ３０…プリンタ ３１…Ａ／Ｄ変換器 ３３…選択器 ３５…ＰＲＯＭ（Ｒ） ３６…ＰＲＯＭ（Ｇ） ３７…入力切り換えスイッチ ３８…検査出力器 １００…セルギャップ検査装置 １０１…液晶パネル １０１ａ…液晶パネルの出射面 １１０…バックライト １２０…フィルタ ２００…セルギャップ検査装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/08 G02F 1/13 G01N 21/84 - 21/958 G01B 11/00 - 11/30

Claims (15)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶パネルの出射面上の複数の個所にお
   ける輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑色）の光量を各々
   検出する光検出手段と、 前記複数の個所のうち少なくとも一個所について、前記
   検出された輝度又はＲの光量とＧの光量との大小を比較
   すると共に小さくない方の光量に対応する光を検査用光
   として選択する選択手段と、 前記複数の個所の間における前記検査用光の光量の差を
   セルギャップむらの指標値として各々出力するセルギャ
   ップむら出力手段とを備えたことを特徴とする液晶パネ
   ルのセルギャップ検査装置。
2. 【請求項２】 液晶パネルの出射面上の複数の個所にお
   ける輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑色）の光量を各々
   検出する光検出手段と、 前記複数の個所のうち少なくとも一個所について、前記
   検出された輝度又はＲの光量とＧの光量との大小を比較
   すると共に小さくない方の光量に対応する光を検査用光
   として選択する選択手段と、 セルギャップむらの傾向別に予め設定された複数の分類
   のうち前記液晶パネルがどの分類に属するかを前記複数
   の箇所の間における前記検査用光の光量の差に基づいて
   判定する分類手段とを備えたことを特徴とする液晶パネ
   ルのセルギャップ検査装置。
3. 【請求項３】 液晶パネルの出射面上の複数の個所にお
   ける輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑色）の光量を各々
   検出する光検出手段と、 前記複数の個所のうち少なくとも一個所について、前記
   検出された輝度又はＲの光量とＧの光量との大小を比較
   すると共に小さくない方の光量に対応する光を検査用光
   として選択する選択手段と、 前記複数の箇所各々における前記検査用光の光量に基づ
   いて前記複数の箇所各々におけるセルギャップの値を出
   力するセルギャップ出力手段とを備えたことを特徴とす
   る液晶パネルのセルギャップ検査装置。
4. 【請求項４】 液晶パネルの出射面上の複数の個所にお
   ける輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑色）の光量を各々
   検出する光検出手段と、 前記複数の箇所各々における前記検出された輝度又はＲ
   の光量とＧの光量の光量比に基づいて前記複数の箇所各
   々におけるセルギャップの値を出力するセルギャップ出
   力手段とを備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギ
   ャップ検査装置。
5. 【請求項５】 前記セルギャップ出力手段は、前記複数
   の箇所各々における前記検査用光の光量の所定関数とし
   て前記複数の箇所各々におけるセルギャップの値を演算
   出力する演算出力手段を備えたことを特徴とする請求項
   ３に記載の液晶パネルのセルギャップ検査装置。
6. 【請求項６】 前記セルギャップ出力手段は、 前記輝度又はＲの光量、及びＧの光量に各々対する前記
   セルギャップの各値が予め設定されたルックアップテー
   ブルを格納する記憶手段と、 前記複数の箇所各々における前記検査用光の光量に対応
   する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブル
   から読み出して前記複数の箇所各々におけるセルギャッ
   プの値として出力する読み出し出力手段とを備えたこと
   を特徴とする請求項３に記載の液晶パネルのセルギャッ
   プ検査装置。
7. 【請求項７】 前記セルギャップ出力手段は、前記複数
   の箇所各々における前記光量比の所定関数として前記複
   数の箇所各々におけるセルギャップの値を演算出力する
   演算出力手段を備えたことを特徴とする請求項４に記載
   の液晶パネルのセルギャップ検査装置。
8. 【請求項８】 前記セルギャップ出力手段は、 前記光量比に対する前記セルギャップの各値が予め設定
   されたルックアップテーブルを格納する記憶手段と、 前記複数の箇所各々における前記光量比に対応する前記
   セルギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み
   出して前記複数の箇所各々におけるセルギャップの値と
   して出力する読み出し出力手段とを備えたことを特徴と
   する請求項４に記載の液晶パネルのセルギャップ検査装
   置。
9. 【請求項９】 前記光検出手段は、前記複数の箇所にお
   けるＢ（青色）の光量を更に各々検出し、 前記選択手段は、前記Ｒの光量に代えて前記Ｒ，Ｇ及び
   Ｂの光量から換算される輝度の光量と前記Ｇの光量との
   大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応する色
   又は輝度を前記検査用光として選択することを特徴とす
   る請求項１から３、５及び６のいずれか一項に記載の液
   晶パネルのセルギャップ検査装置。
10. 【請求項１０】 前記選択手段は、前記複数の個所のう
    ち少なくとも二個所について検出された輝度又はＲの光
    量の合計とＧの光量の合計との大小を比較すると共に小
    さくない方の合計光量に対応する光を前記検査用光とし
    て選択することを特徴とする請求項１から３、５及び６
    のいずれか一項に記載の液晶パネルのセルギャップ検査
    装置。
11. 【請求項１１】 液晶パネルの出射面上の複数の箇所に
    各々先端側が対物レンズを介して対面する複数の光ファ
    イバと、 該複数の光ファイバの後端側から各々出力される光に含
    まれるＲ（赤色）の光とＧ（緑色）の光とを各々分離す
    る光分離手段と、 該分離されたＲの光の光量とＧの光の光量を各々検出す
    る光検出手段と、 該検出された光量に基づいて、前記液晶パネルのセルギ
    ャップむらの指標値、前記複数の箇所におけるセルギャ
    ップの値及びセルギャップむらの傾向別の分類のうち少
    なくとも一つを出力する検査結果出力手段とを備えたこ
    とを特徴とする液晶パネルのセルギャップ検査装置。
12. 【請求項１２】 液晶パネルの出射面上の複数の個所に
    おける輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑色）の光量を各
    々検出する光検出工程と、 前記複数の個所のうち少なくとも一個所について、前記
    検出された輝度又はＲの光量とＧの光量との大小を比較
    すると共に小さくない方の光量に対応する光を検査用光
    として選択する選択工程と、 前記複数の個所の間における前記検査用光の光量の差を
    セルギャップむらの指標値として各々出力するセルギャ
    ップむら出力工程とを備えたことを特徴とする液晶パネ
    ルのセルギャップ検査方法。
13. 【請求項１３】 液晶パネルの出射面上の複数の個所に
    おける輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑色）の光量を各
    々検出する光検出工程と、 前記複数の個所のうち少なくとも一個所について、前記
    検出された輝度又はＲの光量とＧの光量との大小を比較
    すると共に小さくない方の光量に対応する光を検査用光
    として選択する選択工程と、 セルギャップむらの傾向別に予め設定された複数の分類
    のうち前記液晶パネルがどの分類に属するかを前記複数
    の箇所の間における前記検査用光の光量の差に基づいて
    判定する分類工程とを備えたことを特徴とする液晶パネ
    ルのセルギャップ検査方法。
14. 【請求項１４】 液晶パネルの出射面上の複数の個所に
    おける輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑色）の光量を各
    々検出する光検出工程と、 前記複数の個所のうち少なくとも一個所について、前記
    検出された輝度又はＲの光量とＧの光量との大小を比較
    すると共に小さくない方の光量に対応する光を検査用光
    として選択する選択工程と、 前記複数の箇所各々における前記検査用光の光量に基づ
    いて前記複数の箇所各々におけるセルギャップの値を出
    力するセルギャップ出力工程とを備えたことを特徴とす
    る液晶パネルのセルギャップ検査方法。
15. 【請求項１５】 液晶パネルの出射面上の複数の個所に
    おける輝度又はＲ（赤色）、及びＧ（緑色）の光量を各
    々検出する光検出工程と、 前記複数の箇所各々における前記検出された輝度又はＲ
    の光量とＧの光量の光量比に基づいて前記複数の箇所各
    々におけるセルギャップの値を出力するセルギャップ出
    力工程とを備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギ
    ャップ検査方法。