JP3527590B2 - 傾斜センサ、マスク及び天板ホルダ - Google Patents
傾斜センサ、マスク及び天板ホルダInfo
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- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、密閉容器内におけ
る気泡の位置を検出することによってこの密閉容器の傾
斜角を求める傾斜センサ，並びに密閉容器を構成する天
板に二つの電極を形成する際に用いられるマスク及び天
板ホルダに関する。
る気泡の位置を検出することによってこの密閉容器の傾
斜角を求める傾斜センサ，並びに密閉容器を構成する天
板に二つの電極を形成する際に用いられるマスク及び天
板ホルダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、測量機，航空機，自動車等の
傾斜を検知するための傾斜センサとして、密閉容器内に
密封された液体中の気泡の位置を電気的に検出すること
によって傾斜角を測定する傾斜センサが用いられてい
る。
傾斜を検知するための傾斜センサとして、密閉容器内に
密封された液体中の気泡の位置を電気的に検出すること
によって傾斜角を測定する傾斜センサが用いられてい
る。
【０００３】ところで、出願人は、先に、傾斜センサの
傾斜角検出方向に直交する方向における取付精度を緩和
させるために、密閉容器を天板と円筒状部材と底板とか
ら構成するとともに、この天板の片面に形成する凹部の
底面をトロイダル面（その中心で直交する２方向におい
てそれぞれ異なる曲率を有する曲面）とした発明を出願
した（特願平８−１０５８３４号）。
傾斜角検出方向に直交する方向における取付精度を緩和
させるために、密閉容器を天板と円筒状部材と底板とか
ら構成するとともに、この天板の片面に形成する凹部の
底面をトロイダル面（その中心で直交する２方向におい
てそれぞれ異なる曲率を有する曲面）とした発明を出願
した（特願平８−１０５８３４号）。
【０００４】上記発明では、天板に形成されたトロイダ
ル面は、傾斜角検出方向の曲率に比し、この傾斜角検出
方向に直交する方向の曲率が大きく設定されている。ま
た、トロイダル面には、一組の上部電極が、傾斜角検出
方向に直交する方向に延びた中心線に対して線対称とな
る位置に、白金コーティングによって形成されている。
ル面は、傾斜角検出方向の曲率に比し、この傾斜角検出
方向に直交する方向の曲率が大きく設定されている。ま
た、トロイダル面には、一組の上部電極が、傾斜角検出
方向に直交する方向に延びた中心線に対して線対称とな
る位置に、白金コーティングによって形成されている。
【０００５】このような天板は、上面に下部電極が形成
された底板及び円筒部材とともに、気泡を形成する電解
液が封入された密閉容器を構成する。この密閉容器は、
傾斜センサのハウジングをなすホルダに宙吊りの状態で
固定される。このとき、密閉容器は、天板の傾斜角検出
方向と傾斜センサ自体の傾斜角検出方向とが一致するよ
うに位置決めされる。そして、ホルダにカバーが被せら
れることによって、傾斜センサが完成する。
された底板及び円筒部材とともに、気泡を形成する電解
液が封入された密閉容器を構成する。この密閉容器は、
傾斜センサのハウジングをなすホルダに宙吊りの状態で
固定される。このとき、密閉容器は、天板の傾斜角検出
方向と傾斜センサ自体の傾斜角検出方向とが一致するよ
うに位置決めされる。そして、ホルダにカバーが被せら
れることによって、傾斜センサが完成する。
【０００６】このような傾斜センサによれば、この傾斜
センサを取り付ける傾斜角検出対象物の側面が正確に垂
直でなくても、気泡Ｂが円筒部材２の内壁から離れるた
め、正確な傾斜角検出ができるようになっている。
センサを取り付ける傾斜角検出対象物の側面が正確に垂
直でなくても、気泡Ｂが円筒部材２の内壁から離れるた
め、正確な傾斜角検出ができるようになっている。
【０００７】ところで、トロイダル面に形成される上部
電極は、トロイダル面にマスクが当てられるとともに白
金薄膜が高周波スパッタにより堆積されることによっ
て、形成されている。このとき、マスクにおける上部電
極の形成部分は、天板の傾斜角検出方向に並べて配置さ
れなければならない。このようにしなければ、それによ
って形成された上部電極が並ぶ方向におけるトロイダル
面の曲率が設計通りとはならず、密閉容器の傾きに対す
る気泡の移動量が不定となってしまうので、傾斜角検出
感度（出力／角度）にばらつきが生じてしまうからであ
る。
電極は、トロイダル面にマスクが当てられるとともに白
金薄膜が高周波スパッタにより堆積されることによっ
て、形成されている。このとき、マスクにおける上部電
極の形成部分は、天板の傾斜角検出方向に並べて配置さ
れなければならない。このようにしなければ、それによ
って形成された上部電極が並ぶ方向におけるトロイダル
面の曲率が設計通りとはならず、密閉容器の傾きに対す
る気泡の移動量が不定となってしまうので、傾斜角検出
感度（出力／角度）にばらつきが生じてしまうからであ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、マスクにおけ
る上部電極の形成部分が傾斜角検出方向に並ぶ様、天板
に対してマスクを正確に位置決めする作業は、非常に面
倒なものであった。また、マスクを天板に対して正確に
位置決めした場合であっても、電極形成作業中にマスク
の位置がズレてしまって適正な位置に上部電極が形成さ
れない場合もあった。
る上部電極の形成部分が傾斜角検出方向に並ぶ様、天板
に対してマスクを正確に位置決めする作業は、非常に面
倒なものであった。また、マスクを天板に対して正確に
位置決めした場合であっても、電極形成作業中にマスク
の位置がズレてしまって適正な位置に上部電極が形成さ
れない場合もあった。
【０００９】また、天板のトロイダル面に適正な上部電
極が形成された場合であっても、上述したように、その
天板を用いて形成された密閉容器をホルダに対して正確
に位置決めしなければ、傾斜センサ自体の傾斜角検出方
向におけるトロイダル面の曲率が設計値通りにならなか
ったり、傾斜角検出方向に直交する方向に傾斜センサが
傾いた場合にも気泡と各上部電極との接触面積が変化し
てしまう問題が生じる。しかしながら、密閉容器Ａの位
置決め作業は、目視により行わざるを得ないので、非常
に面倒なものであり、傾斜センサの生産効率向上を妨げ
ていた。
極が形成された場合であっても、上述したように、その
天板を用いて形成された密閉容器をホルダに対して正確
に位置決めしなければ、傾斜センサ自体の傾斜角検出方
向におけるトロイダル面の曲率が設計値通りにならなか
ったり、傾斜角検出方向に直交する方向に傾斜センサが
傾いた場合にも気泡と各上部電極との接触面積が変化し
てしまう問題が生じる。しかしながら、密閉容器Ａの位
置決め作業は、目視により行わざるを得ないので、非常
に面倒なものであり、傾斜センサの生産効率向上を妨げ
ていた。
【００１０】本発明は、上記問題に鑑みなされたもので
あり、密閉容器をホルダに対して正確に位置決めした状
態で保持することが可能な傾斜センサを提供すること
を、第１の課題とする。
あり、密閉容器をホルダに対して正確に位置決めした状
態で保持することが可能な傾斜センサを提供すること
を、第１の課題とする。
【００１１】また、本発明は、天板に対して正確に位置
決めされた状態で重ね合わせることが可能なマスクを提
供することを、第２の課題とする。さらに、本発明は、
電極形成作業の際に、天板とマスクとを互いに位置決め
した状態で保持することが可能な天板ホルダを提供する
ことを、第３の課題とする。
決めされた状態で重ね合わせることが可能なマスクを提
供することを、第２の課題とする。さらに、本発明は、
電極形成作業の際に、天板とマスクとを互いに位置決め
した状態で保持することが可能な天板ホルダを提供する
ことを、第３の課題とする。
【００１２】
【課題を解決するため手段】本発明による傾斜センサ
は、上述した第１の課題を解決するため以下の構成を採
用する。すなわち、請求項１の発明は、凹部を有する容
器本体と前記凹部を閉じるための周囲から中央に向かっ
て漸次深くなる凹面をその下面に有する板である天板と
から構成された密閉容器，及び前記密閉容器を保持する
ホルダを備えた傾斜センサであって、前記天板はその側
の全周にわたって外周面を有するとともにこの外周面の
一部をなす非円柱面形状の部分を有し、前記ホルダは前
記天板の外周面が嵌合する嵌合部を有し、前記嵌合部に
前記天板の外周面が嵌合することによって、前記天板の
前記ホルダに対する位置決め及び回転防止がなされるこ
とを特徴とする。
は、上述した第１の課題を解決するため以下の構成を採
用する。すなわち、請求項１の発明は、凹部を有する容
器本体と前記凹部を閉じるための周囲から中央に向かっ
て漸次深くなる凹面をその下面に有する板である天板と
から構成された密閉容器，及び前記密閉容器を保持する
ホルダを備えた傾斜センサであって、前記天板はその側
の全周にわたって外周面を有するとともにこの外周面の
一部をなす非円柱面形状の部分を有し、前記ホルダは前
記天板の外周面が嵌合する嵌合部を有し、前記嵌合部に
前記天板の外周面が嵌合することによって、前記天板の
前記ホルダに対する位置決め及び回転防止がなされるこ
とを特徴とする。
【００１３】ここに、天板の凹面は、トロイダル面（そ
の中心で直交する２方向において夫々異なる曲率を有す
る曲面）であっても良いし、二次曲面等の非球面であっ
ても良い。またトーラス（輪環面）の一部をなす曲面で
あっても良く、球面であっても良い。
の中心で直交する２方向において夫々異なる曲率を有す
る曲面）であっても良いし、二次曲面等の非球面であっ
ても良い。またトーラス（輪環面）の一部をなす曲面で
あっても良く、球面であっても良い。
【００１４】
【００１５】また、請求項２の発明は、請求項１記載の
天板の外周面が、その一部が平面であるとともにこの平
面以外の部分が円柱面として構成され、前記天板の前記
外周面の一部をなす非円柱面形状の部分が、前記平面で
あって、前記ホルダの嵌合部の内面が、前記平面に係合
する係合平面を含むことで、特定したものである。
天板の外周面が、その一部が平面であるとともにこの平
面以外の部分が円柱面として構成され、前記天板の前記
外周面の一部をなす非円柱面形状の部分が、前記平面で
あって、前記ホルダの嵌合部の内面が、前記平面に係合
する係合平面を含むことで、特定したものである。
【００１６】また、請求項４の発明は、請求項１〜３の
いずれかに記載の天板における凹面には、二つの電極が
傾斜角検出方向に沿って並べて形成されていることで、
特定したものである。
いずれかに記載の天板における凹面には、二つの電極が
傾斜角検出方向に沿って並べて形成されていることで、
特定したものである。
【００１７】本発明によるマスクは、上述した第２の課
題を解決するため以下の構成を採用する。すなわち、請
求項５の発明は、互いに直交する二方向においてそれぞ
れ異なった曲率を有する凹面で容器本体に形成された凹
部を閉じることによって傾斜センサの密閉容器を構成す
るとともにその曲率の方向を示す第１の指標を有する天
板の、前記凹面上に二つの電極を形成する際に用いられ
るマスクであって、前記天板の前記凹面と前記マスクと
が所定の位置関係にある時に、前記第１の指標に対して
所定の位置関係となる第２の指標が、形成されているこ
とを特徴とする。
題を解決するため以下の構成を採用する。すなわち、請
求項５の発明は、互いに直交する二方向においてそれぞ
れ異なった曲率を有する凹面で容器本体に形成された凹
部を閉じることによって傾斜センサの密閉容器を構成す
るとともにその曲率の方向を示す第１の指標を有する天
板の、前記凹面上に二つの電極を形成する際に用いられ
るマスクであって、前記天板の前記凹面と前記マスクと
が所定の位置関係にある時に、前記第１の指標に対して
所定の位置関係となる第２の指標が、形成されているこ
とを特徴とする。
【００１８】また、請求項６の発明は、互いに直交する
二方向においてそれぞれ異なった曲率を有する凹面で容
器本体に形成された凹部を閉じることによって傾斜セン
サの密閉容器を構成するとともにその外周面の一部に前
記凹面の曲率の方向を示す第１の指標平面を有する天板
の、前記凹面上に二つの電極を形成する際に用いられる
マスクであって、その外周面の一部には、前記天板の前
記凹面と前記マスクとが所定の位置関係にある時に前記
第１の指標平面と面一となる第２の指標平面が、形成さ
れていることを特徴とする。
二方向においてそれぞれ異なった曲率を有する凹面で容
器本体に形成された凹部を閉じることによって傾斜セン
サの密閉容器を構成するとともにその外周面の一部に前
記凹面の曲率の方向を示す第１の指標平面を有する天板
の、前記凹面上に二つの電極を形成する際に用いられる
マスクであって、その外周面の一部には、前記天板の前
記凹面と前記マスクとが所定の位置関係にある時に前記
第１の指標平面と面一となる第２の指標平面が、形成さ
れていることを特徴とする。
【００１９】また、請求項７の発明は、請求項５又は６
記載の前記天板の前記凹面と前記マスクとが所定の位置
関係にある時とは、前記天板の前記凹面における前記曲
率が最も小さい方向に沿って並んで前記二つの電極が形
成されるように前記天板と前記マスクとが重ね合わせら
れた時であることで、特定したものである。
記載の前記天板の前記凹面と前記マスクとが所定の位置
関係にある時とは、前記天板の前記凹面における前記曲
率が最も小さい方向に沿って並んで前記二つの電極が形
成されるように前記天板と前記マスクとが重ね合わせら
れた時であることで、特定したものである。
【００２０】本発明による天板ホルダは、上述した第３
の課題を解決するために以下の構成を採用する。すなわ
ち、請求項８の発明は、周囲から中央に向かって漸次深
くなる凹面で容器本体に形成された凹部を閉じることに
よって傾斜センサの密閉容器を構成するとともに、その
外周面の一部が非円柱面として形成された天板，及び，
前記天板の前記凹部に二つの電極を形成する際に前記天
板に重ね合わせられるとともに、重ね合わせられた際に
前記天板の外周面と面一となる非円柱面である外周面を
有するマスクを内部に保持する天板ホルダであって、前
記天板の外周面，及び前記マスクの外周面に嵌合する嵌
合部を備えたことを特徴とする。
の課題を解決するために以下の構成を採用する。すなわ
ち、請求項８の発明は、周囲から中央に向かって漸次深
くなる凹面で容器本体に形成された凹部を閉じることに
よって傾斜センサの密閉容器を構成するとともに、その
外周面の一部が非円柱面として形成された天板，及び，
前記天板の前記凹部に二つの電極を形成する際に前記天
板に重ね合わせられるとともに、重ね合わせられた際に
前記天板の外周面と面一となる非円柱面である外周面を
有するマスクを内部に保持する天板ホルダであって、前
記天板の外周面，及び前記マスクの外周面に嵌合する嵌
合部を備えたことを特徴とする。
【００２１】また、請求項９の発明は、周囲から中央に
向かって漸次深くなる凹面で容器本体に形成された凹部
を閉じるとことによって傾斜センサの密閉容器を構成す
るとともにその外周面の一部に第１指標平面が形成され
ている天板，及び，前記天板の前記凹面に二つの電極を
形成する際に前記天板に重ね合わせられるとともに、重
ね合わせられた際に前記天板の前記第１指標平面と面一
となる第２指標平面がその外周面に形成されているマス
クを内部に保持する天板ホルダであって、その内面に、
前記天板の第１指標平面，及び前記マスクの第２指標平
面と密接し、前記天板と前記マスクとの相対的な位置を
決定する基準平面が形成されていることを特徴とする。
向かって漸次深くなる凹面で容器本体に形成された凹部
を閉じるとことによって傾斜センサの密閉容器を構成す
るとともにその外周面の一部に第１指標平面が形成され
ている天板，及び，前記天板の前記凹面に二つの電極を
形成する際に前記天板に重ね合わせられるとともに、重
ね合わせられた際に前記天板の前記第１指標平面と面一
となる第２指標平面がその外周面に形成されているマス
クを内部に保持する天板ホルダであって、その内面に、
前記天板の第１指標平面，及び前記マスクの第２指標平
面と密接し、前記天板と前記マスクとの相対的な位置を
決定する基準平面が形成されていることを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図を用
いてさらに詳細に説明する。 ＜傾斜センサの機械構成＞図１は、本実施形態による傾
斜センサを図２に示されるＩ−Ｉ線に沿って切断した断
面を示す断面図である。図２は、傾斜センサにおける密
閉容器のホルダの上面図であり、図３は、密閉容器のホ
ルダを図２に示されるＩＩ方向から見た図である。この
傾斜センサは、密閉容器Ａ，この密閉容器Ａをその内部
に保持するホルダ７，このホルダ７を閉じるとともに密
閉容器Ａをホルダ７に圧接させる蓋８，並びに、これら
ホルダ７及び蓋８を覆うカバー９から、構成されてい
る。これら各構成部品の詳細を、以下に説明する。 （密閉容器）密閉容器Ａは、円筒部材２と、この円筒部
材２の上下両端に接着された天板３及び底板１とから、
構成されている。これら円筒部材２，天板３，及び底板
１は、いずれも鉛ガラス等の絶縁性の高い材料により形
成され、ガラスペースト等の接着剤によって相互に液密
に接着されている。
いてさらに詳細に説明する。 ＜傾斜センサの機械構成＞図１は、本実施形態による傾
斜センサを図２に示されるＩ−Ｉ線に沿って切断した断
面を示す断面図である。図２は、傾斜センサにおける密
閉容器のホルダの上面図であり、図３は、密閉容器のホ
ルダを図２に示されるＩＩ方向から見た図である。この
傾斜センサは、密閉容器Ａ，この密閉容器Ａをその内部
に保持するホルダ７，このホルダ７を閉じるとともに密
閉容器Ａをホルダ７に圧接させる蓋８，並びに、これら
ホルダ７及び蓋８を覆うカバー９から、構成されてい
る。これら各構成部品の詳細を、以下に説明する。 （密閉容器）密閉容器Ａは、円筒部材２と、この円筒部
材２の上下両端に接着された天板３及び底板１とから、
構成されている。これら円筒部材２，天板３，及び底板
１は、いずれも鉛ガラス等の絶縁性の高い材料により形
成され、ガラスペースト等の接着剤によって相互に液密
に接着されている。
【００２３】天板３の更に詳細な構成を、図４に示す。
図４（ａ）はこの天板３を下面側から見た際における平
面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）におけるｂ−ｂ線
に沿った断面図であり、図４（ｃ）は図４（ａ）におけ
るａ−ａ線に沿った断面図である。これらの図によって
示されるように、天板３は、その上面３ａが平面である
とともにその下面３ｂの中央に凹部３ｃ（凹面に相当）
が形成された略円盤状の透明板であり、その外周面が、
円筒状の曲面（円柱面）とこの円筒を一部切り欠いた形
状の第１指標平面５０（位置決め手段：第１の指標に相
当）とから形成されている。すなわち、この第１指標平
面５０は、傾斜角検出方向（図４中のｘ方向）に対して
平行であり、且つ天板３の上面３ａに対して垂直な平面
として形成されている。
図４（ａ）はこの天板３を下面側から見た際における平
面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）におけるｂ−ｂ線
に沿った断面図であり、図４（ｃ）は図４（ａ）におけ
るａ−ａ線に沿った断面図である。これらの図によって
示されるように、天板３は、その上面３ａが平面である
とともにその下面３ｂの中央に凹部３ｃ（凹面に相当）
が形成された略円盤状の透明板であり、その外周面が、
円筒状の曲面（円柱面）とこの円筒を一部切り欠いた形
状の第１指標平面５０（位置決め手段：第１の指標に相
当）とから形成されている。すなわち、この第１指標平
面５０は、傾斜角検出方向（図４中のｘ方向）に対して
平行であり、且つ天板３の上面３ａに対して垂直な平面
として形成されている。
【００２４】天板３の下面３ｂの中央に形成された凹部
３ｃの底面は、傾斜角検出方向（ｘ方向）及びこの傾斜
角検出方向に直交する方向（ｙ方向）に夫々異なった曲
率を有するトロイダル面となっている。そして、これら
各方向の曲率の中心は、天板３の中心軸延長線上に夫々
存在している。
３ｃの底面は、傾斜角検出方向（ｘ方向）及びこの傾斜
角検出方向に直交する方向（ｙ方向）に夫々異なった曲
率を有するトロイダル面となっている。そして、これら
各方向の曲率の中心は、天板３の中心軸延長線上に夫々
存在している。
【００２５】また、図４（ｃ）に示されるｘ方向の曲率
は、傾斜角の検出精度を向上させるために比較的小さく
設定されている。これに対し、図４（ｂ）に示されるｙ
方向の曲率は、傾斜角検出方向に直交する方向における
取付角が多少悪くても気泡Ｂが円筒部材２の内壁に付着
することがない様、ｘ方向の曲率よりも大きく設定され
ている。具体的にはｘ方向の曲率半径が３００［ｍｍ］
であり、ｙ方向の曲率半径が６０［ｍｍ］に設定されて
いる。
は、傾斜角の検出精度を向上させるために比較的小さく
設定されている。これに対し、図４（ｂ）に示されるｙ
方向の曲率は、傾斜角検出方向に直交する方向における
取付角が多少悪くても気泡Ｂが円筒部材２の内壁に付着
することがない様、ｘ方向の曲率よりも大きく設定され
ている。具体的にはｘ方向の曲率半径が３００［ｍｍ］
であり、ｙ方向の曲率半径が６０［ｍｍ］に設定されて
いる。
【００２６】この凹部３ｃの最深部は、天板３の中心軸
に一致しているとともに、この最深部において凹部３ｃ
の底面に接触する仮想平面が天板３の下面３ｂと平行と
なる状態にされている。なお、凹部３ｃの外縁は円型に
形成されているので、凹部３ｃの底面と天板３の下面３
ｂとの間は、図４（ｃ）に示されるように、ｘ方向にお
いて段差をなしている。天板３は、例えば、＃１０００
の研磨剤によりその一面が適度な粗度を有する粗面に仕
上げられたガラスプリフォームを用いてガラスモールド
によって形成される。その結果、天板３の凹部３ｃは粗
面として形成されている。このとき、第１指標部５０
も、このガラスモールドによって一体に形成される。
に一致しているとともに、この最深部において凹部３ｃ
の底面に接触する仮想平面が天板３の下面３ｂと平行と
なる状態にされている。なお、凹部３ｃの外縁は円型に
形成されているので、凹部３ｃの底面と天板３の下面３
ｂとの間は、図４（ｃ）に示されるように、ｘ方向にお
いて段差をなしている。天板３は、例えば、＃１０００
の研磨剤によりその一面が適度な粗度を有する粗面に仕
上げられたガラスプリフォームを用いてガラスモールド
によって形成される。その結果、天板３の凹部３ｃは粗
面として形成されている。このとき、第１指標部５０
も、このガラスモールドによって一体に形成される。
【００２７】天板３における凹部３ｃの底面には、白金
薄膜からなる第１上部電極４及び第２上部電極５（二つ
の電極に相当）が形成されている。これら上部電極４，
５は、図４のｙ方向に沿って天板３を二等分する線（ｙ
方向中心線）に対して線対称に形成されているととも
に、一定幅のギャップを挟んで相互に離間している。ま
た、これら各上部電極４，５の外周縁は、凹部３ｃの底
面の外縁と一致した円弧型となっている。なお、各上部
電極４，５の外周縁の一部は、凹部３ｃの側壁を伝わっ
て凹部３ｃの外側に延び、下面３ｂ上において扇状に形
成された突出部４ａ、５ａとなっている。
薄膜からなる第１上部電極４及び第２上部電極５（二つ
の電極に相当）が形成されている。これら上部電極４，
５は、図４のｙ方向に沿って天板３を二等分する線（ｙ
方向中心線）に対して線対称に形成されているととも
に、一定幅のギャップを挟んで相互に離間している。ま
た、これら各上部電極４，５の外周縁は、凹部３ｃの底
面の外縁と一致した円弧型となっている。なお、各上部
電極４，５の外周縁の一部は、凹部３ｃの側壁を伝わっ
て凹部３ｃの外側に延び、下面３ｂ上において扇状に形
成された突出部４ａ、５ａとなっている。
【００２８】この各上部電極４，５は、天板３の下面３
ｂ側における電極形成部分以外の部分にマスク（図６参
照）を重ね合わせた状態で高周波スパッタによって白金
薄膜を堆積させることによって、形成される。なお、密
閉容器Ａの組立時において円筒部材２の外側にはみ出し
た各突出部４ａ，５ａの周辺部分には、リード線（図示
略）が半田付けによって付着される。
ｂ側における電極形成部分以外の部分にマスク（図６参
照）を重ね合わせた状態で高周波スパッタによって白金
薄膜を堆積させることによって、形成される。なお、密
閉容器Ａの組立時において円筒部材２の外側にはみ出し
た各突出部４ａ，５ａの周辺部分には、リード線（図示
略）が半田付けによって付着される。
【００２９】底板１は、その平面図である図５に示され
るように、円盤状の透明板である。即ち、この底板１の
上面１ａ及び下面１ｂは、互いに平行な平面となってい
る。また、底板１の上面１ａは、例えば＃１０００の研
磨剤により適度な粗度を有する粗面に仕上げられてお
り、組立時においては、密閉容器Ａの底面をなす。
るように、円盤状の透明板である。即ち、この底板１の
上面１ａ及び下面１ｂは、互いに平行な平面となってい
る。また、底板１の上面１ａは、例えば＃１０００の研
磨剤により適度な粗度を有する粗面に仕上げられてお
り、組立時においては、密閉容器Ａの底面をなす。
【００３０】底板１の上面１ａには、白金薄膜からなる
下部電極６が形成されている。この下部電極６は、底板
１と同軸であって円筒部材２の外径よりも大径且つ上面
１ａの外径よりも若干小径の円形に、形成されている。
この下部電極６は、上部電極４，５の場合と同じく、上
面１ａにおける電極形成部分以外の部分にマスキングを
施してから高周波スパッタによって白金薄膜を堆積させ
ることによって形成される。なお、密閉容器Ａの組立時
において円筒部材２の外側にはみ出した下部電極６の周
辺部分には、リード線（図示略）が半田付けによって付
着される。
下部電極６が形成されている。この下部電極６は、底板
１と同軸であって円筒部材２の外径よりも大径且つ上面
１ａの外径よりも若干小径の円形に、形成されている。
この下部電極６は、上部電極４，５の場合と同じく、上
面１ａにおける電極形成部分以外の部分にマスキングを
施してから高周波スパッタによって白金薄膜を堆積させ
ることによって形成される。なお、密閉容器Ａの組立時
において円筒部材２の外側にはみ出した下部電極６の周
辺部分には、リード線（図示略）が半田付けによって付
着される。
【００３１】円筒部材２は、均一肉厚のガラス管から構
成されている。そして、その上下両端は、その中心軸に
直交する面に沿って切断されており、夫々、天板３の下
面３ｂ又は底板１の上面１ａと同軸に接合している。こ
のとき、円筒部材２の上端面における内側縁は、円筒部
材２の内径と天板３の凹部３ｃの径とが同じ寸法にされ
ているため、この凹部３ｃの側壁と連続するようになっ
ている。なお、この円筒部材２及び底板１が、本発明の
容器本体に相当し、円筒部材２の内部空間が凹部に相当
する。
成されている。そして、その上下両端は、その中心軸に
直交する面に沿って切断されており、夫々、天板３の下
面３ｂ又は底板１の上面１ａと同軸に接合している。こ
のとき、円筒部材２の上端面における内側縁は、円筒部
材２の内径と天板３の凹部３ｃの径とが同じ寸法にされ
ているため、この凹部３ｃの側壁と連続するようになっ
ている。なお、この円筒部材２及び底板１が、本発明の
容器本体に相当し、円筒部材２の内部空間が凹部に相当
する。
【００３２】このようにして構成される密閉容器Ａ内に
は、気泡Ｂを形成する量の空気を残して、電解液Ｄが封
入されている。この電解液Ｄは、例えば、ヨウ化カリウ
ムをメチルアルコールに溶解した液である。この気泡Ｂ
は、天板３の凹部３ｃの最深部が重力方向に最も高い位
置に位置する限り（即ち、天板３の下面３ｂが水平に保
たれている限り）、凹部３ｃの中心に位置するようにな
る。また、図４のｙ方向において天板３が傾いていたと
しても、図４のｘ方向において傾いていなければ、気泡
Ｂは、両上部電極４，５間のギャップを中心として位置
することとなる。
は、気泡Ｂを形成する量の空気を残して、電解液Ｄが封
入されている。この電解液Ｄは、例えば、ヨウ化カリウ
ムをメチルアルコールに溶解した液である。この気泡Ｂ
は、天板３の凹部３ｃの最深部が重力方向に最も高い位
置に位置する限り（即ち、天板３の下面３ｂが水平に保
たれている限り）、凹部３ｃの中心に位置するようにな
る。また、図４のｙ方向において天板３が傾いていたと
しても、図４のｘ方向において傾いていなければ、気泡
Ｂは、両上部電極４，５間のギャップを中心として位置
することとなる。
【００３３】そして、このｙ方向における傾斜角が所定
の角度（仮に、「第１の角度」という）内であれば、こ
のｙ方向における傾斜角が当該傾斜センサによって検出
可能な最大角（仮に、「第２の角度」という。但し、第
１の角度＞第２の角度）を超えていたとしても、気泡Ｂ
は円筒部材２の内壁に接することがない。この状態から
天板３（即ち、密閉容器Ａ）が図４のｘ方向に傾いた場
合、そのｘ方向の傾斜角が第２の角度未満であれば、気
泡Ｂは凹部３ｃ内においてｘ方向に移動する。 （ホルダ）ホルダ７は、アルミニウムの削り出しによっ
て形成されている。このホルダ７は、図２に示されるよ
うに、上面側から見た際に、円形の本体からその径方向
に向かって矩形の延出部７ｆが延出する形状を有してい
る。このホルダ７の本体の上面には、中心軸線Ｌ（図１
参照）を中心に、天板３の外径寸法よりやや小さく、円
筒部材２及び底板１の外径寸法より大きい径寸法を有す
る円筒形状の凹部７ｄが穿たれている。
の角度（仮に、「第１の角度」という）内であれば、こ
のｙ方向における傾斜角が当該傾斜センサによって検出
可能な最大角（仮に、「第２の角度」という。但し、第
１の角度＞第２の角度）を超えていたとしても、気泡Ｂ
は円筒部材２の内壁に接することがない。この状態から
天板３（即ち、密閉容器Ａ）が図４のｘ方向に傾いた場
合、そのｘ方向の傾斜角が第２の角度未満であれば、気
泡Ｂは凹部３ｃ内においてｘ方向に移動する。 （ホルダ）ホルダ７は、アルミニウムの削り出しによっ
て形成されている。このホルダ７は、図２に示されるよ
うに、上面側から見た際に、円形の本体からその径方向
に向かって矩形の延出部７ｆが延出する形状を有してい
る。このホルダ７の本体の上面には、中心軸線Ｌ（図１
参照）を中心に、天板３の外径寸法よりやや小さく、円
筒部材２及び底板１の外径寸法より大きい径寸法を有す
る円筒形状の凹部７ｄが穿たれている。
【００３４】ホルダ７の上面における凹部７ｄの周囲に
は、それぞれ略扇形形状を有する一つの基準支持柱部７
ｅ及び二つの支持柱部７ａが、中心軸線Ｌを中心として
ほぼ等角度間隔をおいて突出形成されている。基準支持
柱部７ｅは、中心軸線Ｌに関して延出部７ｆと対称とな
る位置に形成されている。一方、各支持柱部７ａは、中
心軸線Ｌを中心として基準支持柱部７ｅからそれぞれ１
２０度ズレた位置に形成されている。また、基準支持柱
部７ｅの内面は、傾斜センサ自体の傾斜角検出方向に沿
って凹部７ｄの内周面に接触する平面と面一の平面をな
している。一方、各支持柱部７ａの内面は、凹部７ｄの
内周面の延長面をなしている。
は、それぞれ略扇形形状を有する一つの基準支持柱部７
ｅ及び二つの支持柱部７ａが、中心軸線Ｌを中心として
ほぼ等角度間隔をおいて突出形成されている。基準支持
柱部７ｅは、中心軸線Ｌに関して延出部７ｆと対称とな
る位置に形成されている。一方、各支持柱部７ａは、中
心軸線Ｌを中心として基準支持柱部７ｅからそれぞれ１
２０度ズレた位置に形成されている。また、基準支持柱
部７ｅの内面は、傾斜センサ自体の傾斜角検出方向に沿
って凹部７ｄの内周面に接触する平面と面一の平面をな
している。一方、各支持柱部７ａの内面は、凹部７ｄの
内周面の延長面をなしている。
【００３５】基準支持部７ｅの内面には、ホルダ７の中
心軸線Ｌ（図１参照）に直交するフランジ面２０（図１
における上側面）を有する畦状の内方フランジ７ｃが中
心軸線Ｌに向かって突出形成されている。一方、各支持
柱部７ａの上端近傍には、各支持柱部７ａの内面を中心
軸線Ｌに対して一段後退させた形状の段差部が形成され
ている。この段差部の段差面２１は、基準支持柱部７ｅ
のフランジ面２０と同一平面上にそれぞれ存し、天板３
の外周面が嵌り込む嵌合面を形成している。
心軸線Ｌ（図１参照）に直交するフランジ面２０（図１
における上側面）を有する畦状の内方フランジ７ｃが中
心軸線Ｌに向かって突出形成されている。一方、各支持
柱部７ａの上端近傍には、各支持柱部７ａの内面を中心
軸線Ｌに対して一段後退させた形状の段差部が形成され
ている。この段差部の段差面２１は、基準支持柱部７ｅ
のフランジ面２０と同一平面上にそれぞれ存し、天板３
の外周面が嵌り込む嵌合面を形成している。
【００３６】ここで、内方フランジ７ｃよりも上方に位
置する基準支持部７ｅ内面は、天板３のホルダ７に対す
る相対位置を決定するための係合平面２２（位置決め手
段）を構成する。これにより、傾斜センサの組立におい
て、密閉容器Ａの天板３における第１指標平面５０をこ
の係合平面２２に密接させると、密閉容器Ａが回転方向
において位置決めされるとともに、天板３に形成された
上部電極４，５が傾斜センサ自体の傾斜角検出方向に並
ぶようになっている。
置する基準支持部７ｅ内面は、天板３のホルダ７に対す
る相対位置を決定するための係合平面２２（位置決め手
段）を構成する。これにより、傾斜センサの組立におい
て、密閉容器Ａの天板３における第１指標平面５０をこ
の係合平面２２に密接させると、密閉容器Ａが回転方向
において位置決めされるとともに、天板３に形成された
上部電極４，５が傾斜センサ自体の傾斜角検出方向に並
ぶようになっている。
【００３７】なお、密閉容器Ａの底板１の半径は、凹部
７ｄの半径から内方フランジ７ｃの張り出し長さを減じ
た長さよりも小さく設定されている。一方、天板３の半
径は、凹部７ｄの半径よりも大きく設定されている。従
って、密閉容器Ａを、その中心軸をホルダ７の中心軸線
Ｌと一致させつつ重力方向に降下させると、底板１の下
面１ｂは、凹部７ｄ内に入り込むが、天板３の下面３ｂ
は、フランジ面２０及び段差面２１に当接して軸方向に
位置決めされるようになっている。
７ｄの半径から内方フランジ７ｃの張り出し長さを減じ
た長さよりも小さく設定されている。一方、天板３の半
径は、凹部７ｄの半径よりも大きく設定されている。従
って、密閉容器Ａを、その中心軸をホルダ７の中心軸線
Ｌと一致させつつ重力方向に降下させると、底板１の下
面１ｂは、凹部７ｄ内に入り込むが、天板３の下面３ｂ
は、フランジ面２０及び段差面２１に当接して軸方向に
位置決めされるようになっている。
【００３８】また、フランジ面２０及び段差面２１と凹
部７ｄ底面との間の間隔は、密閉容器Ａにおける天板３
の下面３ｂと底板１の下面１ｂとの間の間隔よりも大き
くなっている。従って、密閉容器Ａは、その中心軸線が
ホルダ７の中心軸線Ｌと同軸になる状態でホルダ７に宙
吊り状態で保持される。また、基準支持柱部７ｅ及び各
支持柱部７ａの端面は、中心軸線Ｌに直交する同一の平
面上に形成されており、夫々、中心軸線Ｌと平行な方向
を向いた雌ねじ孔７ｂを有している。また、基準支柱部
７ｅ及び各支持柱部７ａの外周面は、中心軸線Ｌを中心
とした円柱面状の曲面上に形成されており、その上半分
において若干小径となっている。
部７ｄ底面との間の間隔は、密閉容器Ａにおける天板３
の下面３ｂと底板１の下面１ｂとの間の間隔よりも大き
くなっている。従って、密閉容器Ａは、その中心軸線が
ホルダ７の中心軸線Ｌと同軸になる状態でホルダ７に宙
吊り状態で保持される。また、基準支持柱部７ｅ及び各
支持柱部７ａの端面は、中心軸線Ｌに直交する同一の平
面上に形成されており、夫々、中心軸線Ｌと平行な方向
を向いた雌ねじ孔７ｂを有している。また、基準支柱部
７ｅ及び各支持柱部７ａの外周面は、中心軸線Ｌを中心
とした円柱面状の曲面上に形成されており、その上半分
において若干小径となっている。
【００３９】一方、ホルダ７の延出部７ｆには、図１及
び図３に示されるように、矩形の取着部１０が、延出部
７ｆ末端から９０度下方（重力方向）に折れ曲る状態で
一体に形成されている。この取着部１０には、傾斜角検
出対象物にこの傾斜センサを固定するための固定ネジ１
１（図１参照）を挿通するための固定孔１０ａが２個並
べて穿たれている。
び図３に示されるように、矩形の取着部１０が、延出部
７ｆ末端から９０度下方（重力方向）に折れ曲る状態で
一体に形成されている。この取着部１０には、傾斜角検
出対象物にこの傾斜センサを固定するための固定ネジ１
１（図１参照）を挿通するための固定孔１０ａが２個並
べて穿たれている。
【００４０】なお、取着部１０は、傾斜センサの傾斜角
検出方向に沿って設けられている。すなわち、基準支柱
部７ｅの係合平面２２と平行に設けられている。また、
取着部１０の固定孔１０ａは、固定ネジ１１の軸の外径
よりも大径の内径を有している。従って、傾斜角検出対
象物にこの傾斜センサを固定する際に、傾斜センサを図
１の面内において、固定ネジ１１の軸を中心に若干回転
させて、傾きの調整を行うことができる。 （蓋）蓋８は、アルミニウムの削り出しによって、図１
に示されるように、上述した基準支持柱部７ｅ及び各支
持柱部７ａの外周面の上半分における外径と同径の円盤
状に、形成されている。この蓋８には、基準支持柱７ｅ
及び各支持柱７ａの上に載置されたときに、これらの支
持柱７ａ，７ｅの雌ねじ孔７ｂ位置と一致する３カ所
に、この雌ねじ孔７ｂにねじ込まれる皿ネジ１３のネジ
頭が入り込む座ぐり８ｃが、形成されている。
検出方向に沿って設けられている。すなわち、基準支柱
部７ｅの係合平面２２と平行に設けられている。また、
取着部１０の固定孔１０ａは、固定ネジ１１の軸の外径
よりも大径の内径を有している。従って、傾斜角検出対
象物にこの傾斜センサを固定する際に、傾斜センサを図
１の面内において、固定ネジ１１の軸を中心に若干回転
させて、傾きの調整を行うことができる。 （蓋）蓋８は、アルミニウムの削り出しによって、図１
に示されるように、上述した基準支持柱部７ｅ及び各支
持柱部７ａの外周面の上半分における外径と同径の円盤
状に、形成されている。この蓋８には、基準支持柱７ｅ
及び各支持柱７ａの上に載置されたときに、これらの支
持柱７ａ，７ｅの雌ねじ孔７ｂ位置と一致する３カ所
に、この雌ねじ孔７ｂにねじ込まれる皿ネジ１３のネジ
頭が入り込む座ぐり８ｃが、形成されている。
【００４１】また、蓋８の下面には、中心軸線Ｌを中心
として、天板３の外径よりも若干小径の円形溝８ａが形
成されている。この円形溝８ａには、天板３を圧接する
ためのＯリング１２が填め込まれている。また、この蓋
８の中心には、外部から密閉容器Ａ内の気泡を観察する
ための覗き孔８ｂが形成されている。 （カバー）カバー９は、アルミニウムの削り出しによっ
て、上述した各支持柱７ａの外周面の下半分における外
径と同径の内径を有する有底円筒形に、形成されてい
る。このカバー９は、密閉容器Ａが外部からの侵入物に
よって破損される事や埃等のゴミが傾斜センサ内に侵入
する事を、防止している。なお、カバー９の縁部の２カ
所には、各電極４，５，６に導通するリード線（図示
略）を外部に通して傾斜角検出回路（図９参照）に接続
させるための図示せぬ切り欠きが、形成されている。 ＜傾斜センサの組立手順＞傾斜センサを組み立てるに
は、先ず、鉛ガラスのガラスモールドによって、上記し
た形状の天板３を作製する。また、底板１及び円筒部材
２を作製し、これらを適宜研磨する。また、アルミブロ
ックから、上述した形状のホルダ７，蓋８，及びカバー
９を削り出す。
として、天板３の外径よりも若干小径の円形溝８ａが形
成されている。この円形溝８ａには、天板３を圧接する
ためのＯリング１２が填め込まれている。また、この蓋
８の中心には、外部から密閉容器Ａ内の気泡を観察する
ための覗き孔８ｂが形成されている。 （カバー）カバー９は、アルミニウムの削り出しによっ
て、上述した各支持柱７ａの外周面の下半分における外
径と同径の内径を有する有底円筒形に、形成されてい
る。このカバー９は、密閉容器Ａが外部からの侵入物に
よって破損される事や埃等のゴミが傾斜センサ内に侵入
する事を、防止している。なお、カバー９の縁部の２カ
所には、各電極４，５，６に導通するリード線（図示
略）を外部に通して傾斜角検出回路（図９参照）に接続
させるための図示せぬ切り欠きが、形成されている。 ＜傾斜センサの組立手順＞傾斜センサを組み立てるに
は、先ず、鉛ガラスのガラスモールドによって、上記し
た形状の天板３を作製する。また、底板１及び円筒部材
２を作製し、これらを適宜研磨する。また、アルミブロ
ックから、上述した形状のホルダ７，蓋８，及びカバー
９を削り出す。
【００４２】次に、上述した手法によって、天板３の凹
部３ｃの内面に上部電極４，５を形成する。このとき、
天板３の下面３ｂ側の電極形成部分以外をマスキングす
るマスク３０（図６参照），並びに天板３及びマスク３
０を保持するコートホルダ４０（図８参照：天板ホルダ
に相当）が用いられる。以下、マスク３０及びコートホ
ルダ４０について説明する。
部３ｃの内面に上部電極４，５を形成する。このとき、
天板３の下面３ｂ側の電極形成部分以外をマスキングす
るマスク３０（図６参照），並びに天板３及びマスク３
０を保持するコートホルダ４０（図８参照：天板ホルダ
に相当）が用いられる。以下、マスク３０及びコートホ
ルダ４０について説明する。
【００４３】図６（ａ）は、マスク３０の平面図であ
り、図６（ｂ）は、図６（ａ）のｃ−ｃ線に沿った一部
断面一部側面図である。マスク３０は、図６（ａ）に示
されるように、略円板状の部材から前述した天板３の上
部電極４，５及びその突出部４ａ，５ａの形状を打ち抜
いて形成されている。このマスク３０の外周面は、天板
３の外周面と合致する形状を有している。具体的には、
上部電極４，５の突出部４ａ，５ａに対応する部分が欠
落した円柱面と平面状の第２指標平面５１（第２の指標
に相当）とから形成されている。従って、第１指標平面
５０と第２指標平面５１とが同一平面上に連続するよう
にしてマスク３０と天板３とを重ね合わせると、マスク
３０と天板３とが正確な所定の相対位置関係を保つよう
になる。
り、図６（ｂ）は、図６（ａ）のｃ−ｃ線に沿った一部
断面一部側面図である。マスク３０は、図６（ａ）に示
されるように、略円板状の部材から前述した天板３の上
部電極４，５及びその突出部４ａ，５ａの形状を打ち抜
いて形成されている。このマスク３０の外周面は、天板
３の外周面と合致する形状を有している。具体的には、
上部電極４，５の突出部４ａ，５ａに対応する部分が欠
落した円柱面と平面状の第２指標平面５１（第２の指標
に相当）とから形成されている。従って、第１指標平面
５０と第２指標平面５１とが同一平面上に連続するよう
にしてマスク３０と天板３とを重ね合わせると、マスク
３０と天板３とが正確な所定の相対位置関係を保つよう
になる。
【００４４】このとき、マスク３０の第１上部電極４に
対応する抜き打ち部分３０ａと第２上部電極５に対応す
る抜き打ち部分３０ｂとの間のブリッジ部３０ｃが、天
板３の凹部３ｃの底におけるｙ方向中心線上に位置する
こととなる。なお、このブリッジ部３０ｃは、図６
（ｂ）に示されるように、天板３の凹部３ｃのｙ方向の
曲率と同じ曲率（曲率半径６０［ｍｍ］）の球面状に隆
起した形状となっている。
対応する抜き打ち部分３０ａと第２上部電極５に対応す
る抜き打ち部分３０ｂとの間のブリッジ部３０ｃが、天
板３の凹部３ｃの底におけるｙ方向中心線上に位置する
こととなる。なお、このブリッジ部３０ｃは、図６
（ｂ）に示されるように、天板３の凹部３ｃのｙ方向の
曲率と同じ曲率（曲率半径６０［ｍｍ］）の球面状に隆
起した形状となっている。
【００４５】このブリッジ部３０ｃの球面上の長手方向
中心線上には、溝３１が形成されている。この溝３１が
形成されていることにより、ｘ方向における縦断面図で
ある図７に示されるように、マスク３０が天板３に重ね
合わせられた際に、溝３１の両側縁においてブリッジ部
３０ｃの上面が天板３の凹部３ｃに隙間なく線接触す
る。従って、電極形成作業の際において、天板３の凹部
３ｃの上部電極４，５間における一定幅のギャップ形成
位置に白金分子が付着してしまうことが防止される。
中心線上には、溝３１が形成されている。この溝３１が
形成されていることにより、ｘ方向における縦断面図で
ある図７に示されるように、マスク３０が天板３に重ね
合わせられた際に、溝３１の両側縁においてブリッジ部
３０ｃの上面が天板３の凹部３ｃに隙間なく線接触す
る。従って、電極形成作業の際において、天板３の凹部
３ｃの上部電極４，５間における一定幅のギャップ形成
位置に白金分子が付着してしまうことが防止される。
【００４６】図８（ａ）は、コートホルダ４０の上面図
であり、図８（ｂ）は、コートホルダ４０のｄ−ｄ線に
沿った断面図である。このコートホルダ４０は略円筒状
に形成されており、上面側の開口部４０ａは、天板３及
びマスク３０のはめ込み口をなしている。一方、コート
ホルダ４０の下面側の開口部４０ｂは、スパッタされた
白金分子の導入口をなしている。
であり、図８（ｂ）は、コートホルダ４０のｄ−ｄ線に
沿った断面図である。このコートホルダ４０は略円筒状
に形成されており、上面側の開口部４０ａは、天板３及
びマスク３０のはめ込み口をなしている。一方、コート
ホルダ４０の下面側の開口部４０ｂは、スパッタされた
白金分子の導入口をなしている。
【００４７】コートホルダ４０の内周面は、コートホル
ダ４０の中心軸線に沿った略円柱面状に形成されてお
り、且つ天板３及びホルダ３０の外周面に合致した形状
に形成されている（嵌合部に相当）。すなわち、コート
ホルダ４０の内周面は、天板３及びマスク３０の外周面
の円柱面部分に対応して形成された円柱面と天板３の第
１指標平面５０及びマスク３０の第２指標平面５１に合
致する基準平面５３とから構成されている。これによ
り、天板３及びマスク３０は、これらの第１指標平面５
０または第２指標平面５１が基準平面５３に接触した場
合にのみ、コートホルダ４０内に、はめ込まれ得る。そ
して、このようにはめ込まれた状態では、コートホルダ
４０の中心軸線と天板３及びマスク３０の中心軸線とが
同軸となる。
ダ４０の中心軸線に沿った略円柱面状に形成されてお
り、且つ天板３及びホルダ３０の外周面に合致した形状
に形成されている（嵌合部に相当）。すなわち、コート
ホルダ４０の内周面は、天板３及びマスク３０の外周面
の円柱面部分に対応して形成された円柱面と天板３の第
１指標平面５０及びマスク３０の第２指標平面５１に合
致する基準平面５３とから構成されている。これによ
り、天板３及びマスク３０は、これらの第１指標平面５
０または第２指標平面５１が基準平面５３に接触した場
合にのみ、コートホルダ４０内に、はめ込まれ得る。そ
して、このようにはめ込まれた状態では、コートホルダ
４０の中心軸線と天板３及びマスク３０の中心軸線とが
同軸となる。
【００４８】また、コートホルダ４０の下端の内周面に
沿って、リング状の係止フランジ４３が形成されてい
る。この係止フランジ４３は、コートホルダ４０内には
め込まれるマスク３０及び天板３の落下を防止するもの
である。
沿って、リング状の係止フランジ４３が形成されてい
る。この係止フランジ４３は、コートホルダ４０内には
め込まれるマスク３０及び天板３の落下を防止するもの
である。
【００４９】さらに、コートホルダ４０の基準平面５３
に対向する部位には、それぞれ上下二段で構成される３
組のネジ孔４２が、コートホルダ４０の径方向に向け
て、コートホルダ４０の外周面から内周面までを貫通す
る状態で、設けられている。各ネジ孔４２には、コート
ホルダ４０内にマスク３０及び天板３がはめ込まれた際
に、マスク３０及び天板３を固定するための図示せぬ固
定ネジがねじ込まれる。すなわち、コートホルダ４０の
外周面から複数の固定ネジが各ネジ孔４２にねじ込まれ
ると、各固定ネジの端部が天板３及びマスク３０の円柱
面を押圧し、天板３の第１指標平面５０及びマスク３０
の第２指標平面５１がコートホルダ４０の基準平面５３
に密接されることによって、マスク３０及び天板３がコ
ートホルダ４０内で固定されるのである。これにより、
コートホルダ４０内に保持された天板３とマスク３０と
の間には、適正な相対位置関係が維持されるので、電極
形成中にこれらの相対位置関係がズレない。
に対向する部位には、それぞれ上下二段で構成される３
組のネジ孔４２が、コートホルダ４０の径方向に向け
て、コートホルダ４０の外周面から内周面までを貫通す
る状態で、設けられている。各ネジ孔４２には、コート
ホルダ４０内にマスク３０及び天板３がはめ込まれた際
に、マスク３０及び天板３を固定するための図示せぬ固
定ネジがねじ込まれる。すなわち、コートホルダ４０の
外周面から複数の固定ネジが各ネジ孔４２にねじ込まれ
ると、各固定ネジの端部が天板３及びマスク３０の円柱
面を押圧し、天板３の第１指標平面５０及びマスク３０
の第２指標平面５１がコートホルダ４０の基準平面５３
に密接されることによって、マスク３０及び天板３がコ
ートホルダ４０内で固定されるのである。これにより、
コートホルダ４０内に保持された天板３とマスク３０と
の間には、適正な相対位置関係が維持されるので、電極
形成中にこれらの相対位置関係がズレない。
【００５０】なお、コートホルダ４０内周面には、その
上面側の開口部４０ａから下面側の開口部４０ｂに向か
って延びる二つの半円筒型溝４１が互いに向き合う位置
関係で穿たれている。これらの半円筒型溝４１は、電極
形成作業後に天板３及びマスク３０をコートホルダ４０
内から取り出す際に、図示せぬ取り出し用治具を挿入す
るためのものである。
上面側の開口部４０ａから下面側の開口部４０ｂに向か
って延びる二つの半円筒型溝４１が互いに向き合う位置
関係で穿たれている。これらの半円筒型溝４１は、電極
形成作業後に天板３及びマスク３０をコートホルダ４０
内から取り出す際に、図示せぬ取り出し用治具を挿入す
るためのものである。
【００５１】電極形成作業の際には、マスク３０及び天
板３が、それぞれの第１指標平面５０又は第２指標平面
５１を基準平面５３に合わせるようにしてコートホルダ
４０にはめ込まれる。すなわち、最初に、マスク３０
が、その背面（平面のみからなる面）をコートホルダ４
０の下面側の開口部４０ｂに向けてはめ込まれ、続い
て、天板３が、その下面３ｂ側をマスク３０に向けては
め込まれる。これにより、マスク３０及び天板３は、そ
れらの各中心軸線がコートホルダ４０の中心軸線に一致
する状態でコートホルダ４０内に収まる。そして、マス
ク３０の縁部と係止フランジ４３とが当接することによ
り、マスク３０及び天板３の落下が防止され、マスク３
０及び天板３がコートホルダ４０内に保持された状態に
なる。この際におけるマスク３０及び天板３を、図８
（ｂ）に破線で示す。
板３が、それぞれの第１指標平面５０又は第２指標平面
５１を基準平面５３に合わせるようにしてコートホルダ
４０にはめ込まれる。すなわち、最初に、マスク３０
が、その背面（平面のみからなる面）をコートホルダ４
０の下面側の開口部４０ｂに向けてはめ込まれ、続い
て、天板３が、その下面３ｂ側をマスク３０に向けては
め込まれる。これにより、マスク３０及び天板３は、そ
れらの各中心軸線がコートホルダ４０の中心軸線に一致
する状態でコートホルダ４０内に収まる。そして、マス
ク３０の縁部と係止フランジ４３とが当接することによ
り、マスク３０及び天板３の落下が防止され、マスク３
０及び天板３がコートホルダ４０内に保持された状態に
なる。この際におけるマスク３０及び天板３を、図８
（ｂ）に破線で示す。
【００５２】次に、図示せぬ複数の固定ネジを各ネジ孔
４２にねじ込むことにより、マスク３０の第２指標平面
５１及び天板３の第１指標平面５０がコートホルダ４０
の基準平面５３に密接される。これにより、マスク３０
の第２指標平面５１と天板３の第１指標平面５０とが完
全に同一平面上に位置し、これに伴い、マスク３０の天
板３に対する重ね合わせ位置が所定の位置関係となり、
天板３の下面３ｂ側が正確にマスキングされた状態にな
る。
４２にねじ込むことにより、マスク３０の第２指標平面
５１及び天板３の第１指標平面５０がコートホルダ４０
の基準平面５３に密接される。これにより、マスク３０
の第２指標平面５１と天板３の第１指標平面５０とが完
全に同一平面上に位置し、これに伴い、マスク３０の天
板３に対する重ね合わせ位置が所定の位置関係となり、
天板３の下面３ｂ側が正確にマスキングされた状態にな
る。
【００５３】コートホルダ４０に保持された天板３及び
マスク３０は、図示せぬ高周波スパッタ装置内にセット
され、天板３のマスキングが施されていない部分に、高
周波スパッタによって白金薄膜が形成される。このよう
にして、天板３に上部電極４，５及びその突出部４ａ，
５ａが形成される。
マスク３０は、図示せぬ高周波スパッタ装置内にセット
され、天板３のマスキングが施されていない部分に、高
周波スパッタによって白金薄膜が形成される。このよう
にして、天板３に上部電極４，５及びその突出部４ａ，
５ａが形成される。
【００５４】また、底板１の上面１ａにも同様にして下
部電極６を形成する。次に、底板１の上面１ａと円筒部
材２の下端面との間，及び、天板３の下面３ｂと円筒部
材２の上端面との間を、夫々同軸に合わせて、ガラスペ
ーストからなる接着剤によって液密に接着する。そし
て、円筒部材２の側面に形成されている図示せぬ注入口
を通じて、円筒部材２内に電解液Ｄを注入する。そし
て、適当量の空気を残留させた状態で、この図示せぬ注
入口を熱溶解させて密閉する。そして、各電極４，５，
６に、夫々リード線（図示略）の一端を半田付けによっ
て固着する。このようにして、密閉容器Ａが完成する。
なお、この密閉容器Ａ内では、凹部３ｃの内面と電解液
Ｄとの間の表面張力により、残留した空気が気泡Ｂを形
成する。
部電極６を形成する。次に、底板１の上面１ａと円筒部
材２の下端面との間，及び、天板３の下面３ｂと円筒部
材２の上端面との間を、夫々同軸に合わせて、ガラスペ
ーストからなる接着剤によって液密に接着する。そし
て、円筒部材２の側面に形成されている図示せぬ注入口
を通じて、円筒部材２内に電解液Ｄを注入する。そし
て、適当量の空気を残留させた状態で、この図示せぬ注
入口を熱溶解させて密閉する。そして、各電極４，５，
６に、夫々リード線（図示略）の一端を半田付けによっ
て固着する。このようにして、密閉容器Ａが完成する。
なお、この密閉容器Ａ内では、凹部３ｃの内面と電解液
Ｄとの間の表面張力により、残留した空気が気泡Ｂを形
成する。
【００５５】次に、天板３の第１指標平面５０をホルダ
７の基準支柱部７ｅの係合平面２２に合わせ、第１指標
平面５０と係合平面２２とが密着する状態を維持しなが
ら、密閉容器Ａをホルダ７の上面に形成された基準支持
柱部７ｅ及び各支持柱部７ａの間に落とし込む。する
と、密閉容器Ａの天板３の外周面が基準支柱部７ｅの係
合平面２２と各支柱部７ａの内面との間に嵌合すること
によって、その凹部３ｃの最も曲率が小さい方向（ｘ方
向）が傾斜センサ自体の傾斜角度検出方向と一致する方
向を向くとともに、天板３の下面３ｂが基準支柱部７ｅ
の内方フランジ７ｃのフランジ面２０及び各支柱部７ａ
の段差面２１によって安定保持される。これによって、
密閉容器Ａは、ホルダ７内の空間において適正な姿勢及
び位置で宙吊りとなる。
７の基準支柱部７ｅの係合平面２２に合わせ、第１指標
平面５０と係合平面２２とが密着する状態を維持しなが
ら、密閉容器Ａをホルダ７の上面に形成された基準支持
柱部７ｅ及び各支持柱部７ａの間に落とし込む。する
と、密閉容器Ａの天板３の外周面が基準支柱部７ｅの係
合平面２２と各支柱部７ａの内面との間に嵌合すること
によって、その凹部３ｃの最も曲率が小さい方向（ｘ方
向）が傾斜センサ自体の傾斜角度検出方向と一致する方
向を向くとともに、天板３の下面３ｂが基準支柱部７ｅ
の内方フランジ７ｃのフランジ面２０及び各支柱部７ａ
の段差面２１によって安定保持される。これによって、
密閉容器Ａは、ホルダ７内の空間において適正な姿勢及
び位置で宙吊りとなる。
【００５６】なお、各上部電極４，５の突出部４ａ，５
ａは、基準支持柱部７ｅと各支持柱部７ａとの間の空間
に位置することになるので、これら各上部電極４，５が
ホルダ７から絶縁される。また、天板３の下面３ｂと凹
部３ｃの最深部に接触する仮想平面とが平行であること
から、ホルダ７の中心軸線Ｌを鉛直方向に向けて立てる
と、凹部３ｃの最深部（中心点）が密閉容器Ａ内部にお
いて最も高い位置になる。従って、気泡Ｂがこの凹部３
ｃの最深部（中心点）に移動するのである。
ａは、基準支持柱部７ｅと各支持柱部７ａとの間の空間
に位置することになるので、これら各上部電極４，５が
ホルダ７から絶縁される。また、天板３の下面３ｂと凹
部３ｃの最深部に接触する仮想平面とが平行であること
から、ホルダ７の中心軸線Ｌを鉛直方向に向けて立てる
と、凹部３ｃの最深部（中心点）が密閉容器Ａ内部にお
いて最も高い位置になる。従って、気泡Ｂがこの凹部３
ｃの最深部（中心点）に移動するのである。
【００５７】次に、蓋８の円形溝８ａにＯリング１２を
填め、この蓋８をホルダ７に被せる。そして、蓋８の各
座ぐり８ｃを各雌ネジ孔７ｂに合致させ、座ぐり８ｃを
介して３本の皿ネジ１３を各雌ネジ孔７ｂにねじ込む。
そして、皿ネジ１３を可能な限りねじ込むと、天板３の
上面３ａの傾きがどのようであっても、Ｏリング１２が
変形しつつその全周において天板３の上面３ａに接触
し、天板３の全周においてこの天板３をホルダ７の内方
フランジ７ｃに押しつける。従って、上述した位置に位
置決めされた状態で、密閉容器Ａがホルダ７に固定され
る。
填め、この蓋８をホルダ７に被せる。そして、蓋８の各
座ぐり８ｃを各雌ネジ孔７ｂに合致させ、座ぐり８ｃを
介して３本の皿ネジ１３を各雌ネジ孔７ｂにねじ込む。
そして、皿ネジ１３を可能な限りねじ込むと、天板３の
上面３ａの傾きがどのようであっても、Ｏリング１２が
変形しつつその全周において天板３の上面３ａに接触
し、天板３の全周においてこの天板３をホルダ７の内方
フランジ７ｃに押しつける。従って、上述した位置に位
置決めされた状態で、密閉容器Ａがホルダ７に固定され
る。
【００５８】以上のような手順により、傾斜センサが組
み立てられる。 ＜傾斜センサに接続される傾斜角検出回路＞次に、以上
のように構成された傾斜センサによって傾斜角を検出す
るための傾斜角検出回路の構成を、図９によって説明す
る。図９において、コードＣを介して各電極４，５，６
に接続された制御部１６は、密閉容器Ａの傾斜角を求め
る処理を実行する中央演算処理装置（Central Processi
ng Unit:ＣＰＵ）等である。表示器１８は、制御部１６
で得られた傾斜角を表示する液晶表示板（Liquid Cryst
al Display:ＬＣＤ）である。スイッチ１９は、制御部
１６に対し主電源を投入するためのスイッチである。
み立てられる。 ＜傾斜センサに接続される傾斜角検出回路＞次に、以上
のように構成された傾斜センサによって傾斜角を検出す
るための傾斜角検出回路の構成を、図９によって説明す
る。図９において、コードＣを介して各電極４，５，６
に接続された制御部１６は、密閉容器Ａの傾斜角を求め
る処理を実行する中央演算処理装置（Central Processi
ng Unit:ＣＰＵ）等である。表示器１８は、制御部１６
で得られた傾斜角を表示する液晶表示板（Liquid Cryst
al Display:ＬＣＤ）である。スイッチ１９は、制御部
１６に対し主電源を投入するためのスイッチである。
【００５９】制御部１６は、スイッチ１９によって主電
源が投入された時には、各上部電極外端部４，５と下部
電極６との間に各々パルス状に電圧を印加し、各電圧印
可時に第１上部電極４に流れる電流値と第２上部電極５
に流れる電流値との比を測定する。制御部１６は、この
電流比に対して所定の定数を掛けることにより、傾斜角
を算出する。さらに制御部１６は、このようにして算出
した傾斜角を、表示器１８に表示させる。 ＜傾斜センサの動作＞次に、以上のように構成される傾
斜センサの動作を説明する。
源が投入された時には、各上部電極外端部４，５と下部
電極６との間に各々パルス状に電圧を印加し、各電圧印
可時に第１上部電極４に流れる電流値と第２上部電極５
に流れる電流値との比を測定する。制御部１６は、この
電流比に対して所定の定数を掛けることにより、傾斜角
を算出する。さらに制御部１６は、このようにして算出
した傾斜角を、表示器１８に表示させる。 ＜傾斜センサの動作＞次に、以上のように構成される傾
斜センサの動作を説明する。
【００６０】先ず、測定の準備として、傾斜センサを傾
斜角検出対象物に固定する。上述したように、この傾斜
センサでは、取着部１０の正面に沿った方向の傾斜を測
定するようにその密封容器Ａの回転位置が調整されてい
る。従って、傾斜角検出対象物が箱状物である場合に
は、傾斜角検出方向に沿った垂直面上に、この傾斜セン
サの取着部１０を固定ネジ１１によって固定する。この
固定ネジ１１が挿通される取着部１０の固定孔１０ａ，
１０ａの内径は、固定ネジ１１の軸部の外経よりも大径
なので、この取着部１０の面内においてこの傾斜センサ
を若干回転させて、傾斜角検出対象物の水平面と傾斜セ
ンサの水平面（中心軸線Ｌに直交する面）とを合致させ
ることができる。この調整作業は、蓋８の覗き孔８ｂか
ら密閉容器Ａ内の気泡Ｂを見ながら、気泡Ｂが両上部電
極４，５の中央に移動するようにして行う。このような
調整を行った後に、蓋８の上部から、カバー９をホルダ
７に被せる。この時、カバー９に設けた切り欠き９ａか
ら、各リード線（図示略）を夫々引き出し、それらの他
端を制御部１６に接続する。
斜角検出対象物に固定する。上述したように、この傾斜
センサでは、取着部１０の正面に沿った方向の傾斜を測
定するようにその密封容器Ａの回転位置が調整されてい
る。従って、傾斜角検出対象物が箱状物である場合に
は、傾斜角検出方向に沿った垂直面上に、この傾斜セン
サの取着部１０を固定ネジ１１によって固定する。この
固定ネジ１１が挿通される取着部１０の固定孔１０ａ，
１０ａの内径は、固定ネジ１１の軸部の外経よりも大径
なので、この取着部１０の面内においてこの傾斜センサ
を若干回転させて、傾斜角検出対象物の水平面と傾斜セ
ンサの水平面（中心軸線Ｌに直交する面）とを合致させ
ることができる。この調整作業は、蓋８の覗き孔８ｂか
ら密閉容器Ａ内の気泡Ｂを見ながら、気泡Ｂが両上部電
極４，５の中央に移動するようにして行う。このような
調整を行った後に、蓋８の上部から、カバー９をホルダ
７に被せる。この時、カバー９に設けた切り欠き９ａか
ら、各リード線（図示略）を夫々引き出し、それらの他
端を制御部１６に接続する。
【００６１】このように傾斜センサの固定が完了する
と、操作者は、スイッチ１９によって制御部１６へ主電
源を投入する。すると、制御部１６は、各上部電極４，
５と下部電極６との間に電圧を印加し、第１上部電極４
に流れる電流値及び第２上部電極５に流れる電流値を夫
々測定し、これら各電流値同士の比を算出する。
と、操作者は、スイッチ１９によって制御部１６へ主電
源を投入する。すると、制御部１６は、各上部電極４，
５と下部電極６との間に電圧を印加し、第１上部電極４
に流れる電流値及び第２上部電極５に流れる電流値を夫
々測定し、これら各電流値同士の比を算出する。
【００６２】この際、第１上部電極４と下部電極６との
間の抵抗値及び第２上部電極５と下部電極６との間の抵
抗値は、各上部電極４，５と電解液Ｄとの接触面積に応
じて変化するので、それに応じて各上部電極４，５に流
れる電流同士の比も変化することになる。即ち、傾斜角
検出対象物が傾斜角検出方向において水平位置にある時
には、上述の調整に拠り気泡Ｂが両上部電極４，５の中
央に位置するので、各上部電極４，５と下部電極６との
間に生じる抵抗値は同じ値となるので、両電流値は同じ
となる。これに対して、傾斜角検出対象物が測定方向に
おいて傾くと、それに応じて気泡Ｂの位置も上部電極４
又は５の何れかの側に変移する。すると、各上部電極
４，５と下部電極６との間に生じる抵抗値に差が生じ、
各上部電極４，５に流れる電流値に差が生じる。
間の抵抗値及び第２上部電極５と下部電極６との間の抵
抗値は、各上部電極４，５と電解液Ｄとの接触面積に応
じて変化するので、それに応じて各上部電極４，５に流
れる電流同士の比も変化することになる。即ち、傾斜角
検出対象物が傾斜角検出方向において水平位置にある時
には、上述の調整に拠り気泡Ｂが両上部電極４，５の中
央に位置するので、各上部電極４，５と下部電極６との
間に生じる抵抗値は同じ値となるので、両電流値は同じ
となる。これに対して、傾斜角検出対象物が測定方向に
おいて傾くと、それに応じて気泡Ｂの位置も上部電極４
又は５の何れかの側に変移する。すると、各上部電極
４，５と下部電極６との間に生じる抵抗値に差が生じ、
各上部電極４，５に流れる電流値に差が生じる。
【００６３】制御部１６は、算出した電流比に対して所
定の定数を掛けることによって傾斜角の値を算出し、算
出した傾斜角の値を表示部１９上に表示する。制御部１
６は、このような電圧印加から傾斜角の表示までの一連
の動作を、スイッチ１９によって主電源が投入されてい
る間、間欠的に繰り返す。
定の定数を掛けることによって傾斜角の値を算出し、算
出した傾斜角の値を表示部１９上に表示する。制御部１
６は、このような電圧印加から傾斜角の表示までの一連
の動作を、スイッチ１９によって主電源が投入されてい
る間、間欠的に繰り返す。
【００６４】本実施形態によるマスク３０によると、容
易に天板３とマスク３０とを正確な相対位置関係で重ね
合わせることができる。このため、上部電極４，５の形
成作業の省力化，及び密閉容器の品質維持に寄与するこ
とができる。
易に天板３とマスク３０とを正確な相対位置関係で重ね
合わせることができる。このため、上部電極４，５の形
成作業の省力化，及び密閉容器の品質維持に寄与するこ
とができる。
【００６５】また、本実施形態によるコートホルダ４０
によると、コートホルダ４０に保持された天板３とマス
ク３０とは、電極形成作業中にこれらの相対位置がズレ
ることがない。従って、より適正な上部電極４，５の形
成作業を行うことができる。さらに、本実施形態による
傾斜センサによると、天板３の第１指標平面５０を係合
平面２２に合わせて密閉容器Ａをホルダ７内に落とし込
めば、密閉容器Ａが適正な姿勢でホルダ７に保持され
る。従って、傾斜センサの組立作業をより省力化できる
とともに、完成した傾斜センサの品質維持をより適切に
図ることができる。また、傾斜センサの単位時間当たり
における作製数を増加することもできる。
によると、コートホルダ４０に保持された天板３とマス
ク３０とは、電極形成作業中にこれらの相対位置がズレ
ることがない。従って、より適正な上部電極４，５の形
成作業を行うことができる。さらに、本実施形態による
傾斜センサによると、天板３の第１指標平面５０を係合
平面２２に合わせて密閉容器Ａをホルダ７内に落とし込
めば、密閉容器Ａが適正な姿勢でホルダ７に保持され
る。従って、傾斜センサの組立作業をより省力化できる
とともに、完成した傾斜センサの品質維持をより適切に
図ることができる。また、傾斜センサの単位時間当たり
における作製数を増加することもできる。
【００６６】なお、本実施形態では、天板３の凹部３ｃ
はトロイダル面により形成されているが、凹部３ｃは球
状凹面により形成されたものであっても良い。
はトロイダル面により形成されているが、凹部３ｃは球
状凹面により形成されたものであっても良い。
【００６７】
【発明の効果】以上説明した、本発明による傾斜センサ
によれば、密閉容器をホルダに対して正確に位置決めし
た状態で保持することが可能となる。また、本発明によ
るマスクによれば、天板に対して正確に位置決めされた
状態で重ね合わせることが可能となる。さらに、本発明
による天板ホルダによれば、電極形成作業の際に、天板
とマスクとを互いに位置決めした状態で保持することが
可能となる。
によれば、密閉容器をホルダに対して正確に位置決めし
た状態で保持することが可能となる。また、本発明によ
るマスクによれば、天板に対して正確に位置決めされた
状態で重ね合わせることが可能となる。さらに、本発明
による天板ホルダによれば、電極形成作業の際に、天板
とマスクとを互いに位置決めした状態で保持することが
可能となる。
【図１】 本発明の実施形態による傾斜センサを図２に
示されるＩ−Ｉ線に沿って切断した断面図。
示されるＩ−Ｉ線に沿って切断した断面図。
【図２】 図１に示した傾斜センサにおける密閉容器の
ホルダの上面図。
ホルダの上面図。
【図３】 密閉容器のホルダを図２に示されるＩＩ方向
から見た図。
から見た図。
【図４】 図１に示した天板を示す三面図。
【図５】 図１に示した底板を示す平面図。
【図６】 図１に示した天板のマスクを示す二面図。
【図７】 マスクの一部と天板の凹部との傾斜角検出方
向における断面図。
向における断面図。
【図８】 図１に示した天板と図６に示したマスクとを
保持するコートホルダを示す二面図。
保持するコートホルダを示す二面図。
【図９】 図１に示した傾斜センサに接続される傾斜角
検出回路を示すブロック図。
検出回路を示すブロック図。
Ａ 密閉容器
３ 天板
３ｃ 凹部（周囲から中央に向かって漸次深くなる凹
面） ４ 第１上部電極（電極） ５ 第２上部電極（電極） ７ ホルダ ２２ 係合平面（位置決め手段） ３０ マスク ４０ コートホルダ（天板ホルダ） ５０ 第１指標平面（位置決め手段：第１の指標） ５１ 第２指標平面（第２の指標） ５３ 基準平面
面） ４ 第１上部電極（電極） ５ 第２上部電極（電極） ７ ホルダ ２２ 係合平面（位置決め手段） ３０ マスク ４０ コートホルダ（天板ホルダ） ５０ 第１指標平面（位置決め手段：第１の指標） ５１ 第２指標平面（第２の指標） ５３ 基準平面
─────────────────────────────────────────────────────
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(72)発明者 落合 裕子
東京都板橋区前野町２丁目36番９号 旭
光学工業株式会社内
(72)発明者 布施 広昭
東京都板橋区前野町２丁目36番９号 旭
光学工業株式会社内
(72)発明者 曽根 博
東京都板橋区前野町２丁目36番９号 旭
光学工業株式会社内
(56)参考文献 特開 平７−146142（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−27508（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01C 9/00 - 9/36
Claims (9)
- 【請求項１】凹部を有する容器本体と前記凹部を閉じる
ための周囲から中央に向かって漸次深くなる凹面をその
下面に有する板である天板とから構成された密閉容器，
及び前記密閉容器を保持するホルダを備えた傾斜センサ
であって、前記天板はその側の全周にわたって外周面を有するとと
もにこの外周面の一部をなす非円柱面形状の部分を有
し、 前記ホルダは前記天板の外周面が嵌合する嵌合部を有
し、 前記嵌合部に前記天板の外周面が嵌合することによっ
て、前記天板の前記ホルダに対する位置決め及び回転防
止がなされる ことを特徴とする傾斜センサ。 - 【請求項２】前記天板の外周面の一部をなす非円柱面形
状の部分が平面であるとともにこの平面以外の部分が円
柱面として構成され、 前記ホルダの嵌合部の内面は、前記平面に係合する係合
平面を含むことを特徴とする請求項１記載の傾斜セン
サ。 - 【請求項３】前記天板の前記凹面は、傾斜角検出方向及
びこの傾斜角検出方向に直交する方向に夫々異なった曲
率を有することを特徴とする請求項１記載の傾斜セン
サ。 - 【請求項４】前記天板の前記凹面には、二つの電極が傾
斜角検出方向に沿って並べて形成されていることを特徴
とする請求項１乃至３の何れかに記載の傾斜センサ。 - 【請求項５】互いに直交する二方向においてそれぞれ異
なった曲率を有する凹面で容器本体に形成された凹部を
閉じることによって傾斜センサの密閉容器を構成すると
ともにその曲率の方向を示す第１の指標を有する天板
の、前記凹面上に二つの電極を形成する際に用いられる
マスクであって、 前記天板の前記凹面と前記マスクとが所定の位置関係に
ある時に前記第１の指標に対して所定の位置関係となる
第２の指標が、形成されていることを特徴とするマス
ク。 - 【請求項６】互いに直交する二方向においてそれぞれ異
なった曲率を有する凹面で容器本体に形成された凹部を
閉じることによって傾斜センサの密閉容器を構成すると
ともにその外周面の一部に前記凹面の曲率の方向を示す
第１の指標平面を有する天板の、前記凹面上に二つの電
極を形成する際に用いられるマスクであって、 その外周面の一部には、前記天板の前記凹面と前記マス
クとが所定の位置関係にある時に前記第１の指標平面と
面一となる第２の指標平面が、形成されていることを特
徴とするマスク。 - 【請求項７】前記天板の前記凹面と前記マスクとが所定
の位置関係にある時とは、前記天板の前記凹面における
前記曲率が最も小さい方向に沿って並んで前記二つの電
極が形成されるように前記天板と前記マスクとが重ね合
わせられた時であることを特徴とする請求項５又は６記
載のマスク。 - 【請求項８】周囲から中央に向かって漸次深くなる凹面
で容器本体に形成された凹部を閉じることによって傾斜
センサの密閉容器を構成するとともに、その外周面の一
部が非円柱面として形成された天板，及び，前記天板の
前記凹部に二つの電極を形成する際に前記天板に重ね合
わせられるとともに、重ね合わせられた際に前記天板の
外周面と面一となる非円柱面である外周面を有するマス
クを内部に保持する天板ホルダであって、 前記天板の外周面，及び前記マスクの外周面に嵌合する
嵌合部を備えたことを特徴とする天板ホルダ。 - 【請求項９】周囲から中央に向かって漸次深くなる凹面
で容器本体に形成された凹部を閉じるとことによって傾
斜センサの密閉容器を構成するとともに、その外周面の
一部に第１指標平面が形成されている天板，及び，前記
天板の前記凹面に二つの電極を形成する際に前記天板に
重ね合わせられるとともに、重ね合わせられた際に前記
天板の前記第１指標平面と面一となる第２指標平面がそ
の外周面に形成されているマスクを内部に保持する天板
ホルダであって、 その内面に、前記天板の第１指標平面，及び前記マスク
の第２指標平面と密接し、前記天板と前記マスクとの相
対的な位置を決定する基準平面が形成されていることを
特徴とする天板ホルダ。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP19631696A JP3527590B2 (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 傾斜センサ、マスク及び天板ホルダ |
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| DE19732173A DE19732173B4 (de) | 1996-07-25 | 1997-07-25 | Neigungsmesser, Maske und Halter |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19631696A JP3527590B2 (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 傾斜センサ、マスク及び天板ホルダ |
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|---|---|
| JPH1038566A JPH1038566A (ja) | 1998-02-13 |
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|---|---|---|---|
| JP19631696A Expired - Fee Related JP3527590B2 (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 傾斜センサ、マスク及び天板ホルダ |
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| DE (1) | DE19732173B4 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102506820A (zh) * | 2011-10-20 | 2012-06-20 | 上海交通大学 | 水下支撑块水平度检测装置及方法 |
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| KR100424784B1 (ko) * | 2001-11-02 | 2004-03-30 | 한국항공우주산업 주식회사 | 배면비행 경보장치 |
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-
1996
- 1996-07-25 JP JP19631696A patent/JP3527590B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-07-24 US US08/899,816 patent/US5937528A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-07-25 DE DE19732173A patent/DE19732173B4/de not_active Expired - Fee Related
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| JPH1038566A (ja) | 1998-02-13 |
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