JP3526713B2 - 光半導体素子モジュールおよびその製造方法 - Google Patents
光半導体素子モジュールおよびその製造方法Info
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Description
半導体素子モジュールおよびその製造方法に関し、より
詳しくは半導体受光素子又は半導体発光素子と光ファイ
バとを光学的に直接結合させる形式のモジュールおよび
その製造方法に関する。
では、図12に示されるように、ストッパー80に挿入
凹部81を形成し、挿入凹部81の先端部に開口82を
開設し、光半導体素子と光データが入射又は出射する窓
部とを有する光半導体素子パッケージ100をその窓部
が開口82に対向するように挿入凹部81に挿入した
後、これらをケース70の第2の挿入穴部71内にケー
ス後端側から挿入し、ホルダー90をケース70の第2
の挿入穴部71内面に螺挿してストッパー80とホルダ
ー90とで光半導体素子パッケージ100を挟持固定す
る一方、ケース70の第2の挿入穴部71と連通する小
径の第2の挿入穴部72内に光コネクタフェルール(図
示せず)を挿入する構造が採用されていた(特開昭58
ー97878号公報、参照)。
記載の光半導体素子モジュールでは、ストッパー80と
ホルダー90で光半導体素子パッケージ100を保持し
ているものの、ケース70の第2の挿入穴部72に光コ
ネクタフェルールを挿入する際にその押圧力がストッパ
ー80を介して光半導体素子パッケージ100に加わる
構造となっていたので、光半導体素子パッケージ100
がケース70内で位置ずれを起こして受光感度又は光結
合効率が低下したり、光半導体素子パッケージ100が
破損したりすることがあった。
子モジュールにおいては受光面が広いので、光半導体素
子パッケージ100と光コネクタフェルールとを機械的
に位置合わせするだけで必要な受光感度が得られてい
た。しかし、最近の光データ転送レートの高速化に伴
い、受光素子の静電容量を小さくすべく受光面を狭くす
る傾向にあり、必要な受光感度が得にくくなるという問
題が生じた。
タフェルールの押圧力が光半導体素子パッケージに直接
影響を与えず、しかも光データ転送レートの高速化に容
易に対応できるようにした光半導体素子モジュールを提
供することを課題とする。
半導体素子モジュールは、光半導体素子と光データが入
射又は出射する窓部とを有する光半導体素子パッケージ
と、該光半導体素子パッケージを収容保持しかつ光ファ
イバ先端が上記光半導体素子パッケージの窓部と対向す
るように光コネクタフェルールを挿入保持可能なケース
とから構成される光半導体素子モジュールにおいて、上
記ケース内の光半導体素子パッケージと光コネクタフェ
ルールとの間の部位には光データを透過しうる開口を有
するストッパーリングが配設され、該ストッパーリング
が上記光半導体素子パッケージ側に該光半導体素子パッ
ケージの先端が当接する平面部を、上記光コネクタフェ
ルール側に該光コネクタフェルールが挿入されてその先
端が底面と当接する筒状部を有する形状をなし、圧入に
よって上記ケース内に固定保持されていることを特徴と
する。
ージと光コネクタフェルールとの間にストッパーリング
を圧入してケース内に固定保持するようにした点にあ
る。これにより、光コネクタフェルールをケースに挿入
する際の押圧力はストッパーリングで受けられてケース
に伝えられ、光半導体素子パッケージが押圧力の影響を
受けるおそれを解消できることとなる。
グを光半導体素子パッケージ側に該光半導体素子パッケ
ージの先端が当接する平面部を、光コネクタフェルール
側に該光コネクタフェルールが挿入されてその先端が底
面と当接する筒状部を有する形状となした点にある。こ
れにより、光半導体素子と光コネクタフェルールの先端
間の距離を高精度に設定でき、必要な受光感度又は光結
合効率が得られる。特に、光半導体素子パッケージと光
コネクタフェルールを光学的に位置合わせすると、受光
感度又は光結合効率をより一層向上させることができ
る。
パッケージ側の平面部と光コネクタフェルール側の筒状
部とを有する形状であれば、どのような形状であっても
よい。例えば、下記実施形態に示される円板状のベース
部とベース部から直角方向に一体的に延びる円筒状部と
からなる全体としてほぼ凸形状とすることができるが、
他の形状、例えば多角形状のベース部及び筒状部として
もよく、又ベース部に光半導体素子パッケージが挿入さ
れる筒部をさらに有する形状としてもよい。
問題とはならない場合には光半導体素子パッケージに対
する光コネクタフェルールの押圧力の影響のみの問題を
解決すればよい。
データが入射又は出射する窓部とを有する光半導体素子
パッケージと、該光半導体素子パッケージを収容保持し
かつ光ファイバ先端が上記光半導体素子パッケージの窓
部と対向するように光コネクタフェルールを挿入保持可
能なケースとから構成される光半導体素子モジュールに
おいて、上記ケース内の光半導体素子パッケージと光コ
ネクタフェルールとの間の部位には光データを透過しう
る開口を有するストッパーリングが配設され、該ストッ
パーリングが圧入によって上記ケース内に固定保持され
ていることを特徴とする光半導体素子モジュールを提供
することができる。
コネクタフェルールの押圧力の影響がそれほど問題とは
ならない場合には受光感度又は光結合効率の問題を解決
すれせばよい。
データが入射又は出射する窓部とを有する光半導体素子
パッケージと、該光半導体素子パッケージを収容保持し
かつ光ファイバ先端が上記光半導体素子パッケージの窓
部と対向するように光コネクタフェルールを挿入保持可
能なケースとから構成される光半導体素子モジュールに
おいて、上記ケース内の光半導体素子パッケージと光コ
ネクタフェルールとの間の部位には光データを透過しう
る開口を有するストッパーリングが配設され、該ストッ
パーリングが上記光半導体素子パッケージ側に該光半導
体素子パッケージの先端が当接する平面部を、上記光コ
ネクタフェルール側に該光コネクタフェルールが挿入さ
れてその先端が底面と当接する筒状部を有する形状をな
していることを特徴とする光半導体素子モジュールを提
供することができる。
差は0〜50μmが適切である。圧入公差が50μmよ
り大きいときは圧入が困難になる一方、0μmより小さ
いときは十分な圧入強度、例えば10kgf以上の圧入
強度が得られず、ストッパーリングが抜けやすくなるか
らである。これにより、ストッパーリングをケースに圧
入したときの圧入力による部品の変形や、ケースに光コ
ネクタフェルールを挿入したときの押圧力によるストッ
パーリングの変形、破損、脱落を防止できることとな
る。
をケース内に圧入にて固定保持するのが肝要であるが、
押圧力に対する強度をさらに向上できれば、より一層好
ましい。そこで、ストッパーリングには係止鍔部を形成
する一方、ケースの内面には係止凹部を周方向の全周に
わたって形成し、係止凹部にストッパーリングの係止鍔
部の外縁を嵌合させるのがよい。この場合、ストッパー
リングのケースへの圧入が困難になるおそれがある。そ
こで、ストッパーリングの係止鍔部の外縁を面取りする
のが好ましい。これにより、ストッパーリングを容易に
圧入できると共に、ケース及びストッパーリングの金属
磨耗を防止できる。また、かかる嵌合構造を採用する場
合にはストッパーリングは実質的な平板状とすることも
できる。
で、温度変化の影響を考慮することが大切である。そこ
で、ケースとストッパーリングとを同一材質で製作し、
両者の線膨張係数を実質的に等しくするのが好ましい。
データが入射又は出射する窓部とを有する光半導体素子
パッケージと、該光半導体素子パッケージを収容保持し
かつ光ファイバ先端が上記光半導体素子パッケージの窓
部と対向するように光コネクタフェルールを挿入保持可
能なケースとから構成される光半導体素子モジュールを
製造するにあたり、上記ケース内径と略等しい外径の治
具を用い、上記ケース内面の係止凹部に上記ストッパー
リングの係止鍔部の外縁が嵌合するまで上記ストッパー
リングを上記ケース内に圧入して固定保持した後、上記
光半導体素子パッケージの先端が上記ストッパーリング
の平面部に当接するまで上記ケース内に上記光半導体素
子パッケージを挿入するとともに、上記ケースの反対側
に上記光コネクタフェルールをその先端が上記ストッパ
ーリングの反対側表面に当接するまで挿入し、上記光半
導体素子パッケージの光半導体素子と上記光コネクタフ
ェルールとを光学的に位置合わせし、上記光半導体素子
パッケージを上記ケースに固定するようにしたこと特徴
とする光半導体素子モジュールの製造方法を提供するこ
とができる。
パッケージと光コネクタフェルールとの間にストッパー
リングを圧入してケース内に固定保持するようにしたの
で、光コネクタフェルールをケースに挿入する際の押圧
力はストッパーリングで受けられてケースに伝えられ、
光半導体素子パッケージが押圧力の影響を受けるおそれ
を解消して光半導体素子パッケージの位置ずれや破損を
防止できる。
ッケージ側の平面部と光コネクタフェルール側の筒状部
とを有する形状としたので、光半導体素子パッケージの
先端を平面部に当接させ、光コネクタフェルールを筒状
部に挿入してその先端を筒状部の底面に当接させると、
光半導体素子と光コネクタフェルールの先端間の距離を
高精度に設定でき、必要な受光感度又は光結合効率を得
ることができる。
細に説明する。図1ないし図5は本発明に係る光半導体
素子モジュールの好ましい実施形態を示す。図1は光半
導体素子モジュールの断面図、図2はその構成部品であ
るケース10の断面図、図3は構成部品であるストッパ
ーリング20の断面図、図4は構成部品である光半導体
素子パッケージ30の断面図、図5は光コネクタフェル
ール50の断面図である。
ケース10、ストッパーリング20、光半導体素子パッ
ケージ30の3部品にて構成されている。これらの3部
品10、20、30については図2、図3及び図4を用
いて詳細に説明する。
型の外形状をなし、その中心軸線上にはケース先端側
(図2の左方側)から第1の挿入穴部11、第2の挿入
穴部12及び第3の挿入穴部13が連続して形成されて
いる。第1の挿入穴部11はケース先端側の外周面がテ
ーパ状に面取りされるとともに、光コネクタフェルール
20の挿入が容易なようにケース先端側の内周面がテー
パ状に面取りされ、その内部には光コネクタフェルール
50が挿入されるようになっている。また、第2の挿入
穴部12はその内径が第1の挿入穴部11の内径よりも
大きく、ケース後端側からストッパーリング20が挿入
されるようになっている。
第2の挿入穴部12の内径よりも大きく、ケース後端側
の内周面がストッパーリング20及び光半導体素子パッ
ケージ30の挿入が容易なようにテーパ状に面取りさ
れ、第3の挿入穴部13内にはケース後端側から光半導
体素子パッケージ30が挿入されるようになっている。
また、第2、第3の挿入穴部12、13の間には係止凹
部14がケース内面全周にわたって形成されている。
0は平面部及び係止鍔部である円板状のベース部21
と、ベース部21から直角方向に一体的に延びる円筒状
部(筒状部)22とからなる形状をなし、ベース部21
の中央には光データを透過させるための開口23が光コ
ネクタフェルールの外径よりも小径に形成され、円筒状
部22の内径はケース10の第1の挿入穴部11の内径
と等しく設定され、円筒状部22内には光コネクタフェ
ルール(図示せず)の先端部が挿入され、光コネクタフ
ェルールの先端が円筒状部22の底面と当接してその光
軸方向の位置決めが行われるようになっている。
の第2の挿入穴部12内に圧入固定され、ベース部21
の外周縁の先端側部分は挿入が容易なようにテーパ状に
面取りされ、ケース10の係止凹部14に嵌合されるよ
うになっている。さらに、ベース部21の後端側の表面
は光半導体素子パッケージ30の先端が当接されてその
光軸方向の位置決めが行われるようになっている。
0.35mmに、ベース部21の外周縁の外径はケース
10の第3の挿入穴部13の内径よりも0.02〜0.
2mm大きく形成されている。
ケージ30の内部に光半導体素子31が設けられ、光半
導体素子パッケージ30の先端部には光データが入射又
は出射するガラス窓(窓部)32がパッケージ30先端
面とほぼ面一に設けられている。
ェルール(例えば、JIS C5973 1992)
で、その一端部の外周縁は挿入が容易なようにテーパ状
に形成され、その内部には光ファイバ51の一端部が挿
入されるようになっている。
を図6ないし図10を用いて説明する。本例の光半導体
素子モジュールを製造する場合、まず図6に示されるよ
うに、クランプ治具40の穴内にケース10を先端側か
ら挿入し、ケース10をクランプ又はホールドする。こ
の状態において、ストッパーリング20をケース10の
第3の挿入穴部13内に軽く挿入するが、ストッパーリ
ング20のベース部21の外縁及びケース10の第3の
挿入穴部13内縁をテーパ状としているので、ストッパ
ーリング20をケース10の第3の挿入穴部13内に正
確に位置決めできる。
21の外縁とケース10の係止凹部14とを噛み合わせ
る構造とするため、ストッパーリング20のベース部2
1の外径はケース10の第3の挿入穴部13の内径より
も0.02〜0.2mm大きく形成されており、圧入治
具60を用い、圧入力20〜60kgf程度で圧入する
が、圧入治具60はストッパーリング20をケース10
に圧入する際に、ストッパーリング20の変形を防止す
るため、圧入治具60の外径がケース10の第3の挿入
穴部13の内径とほぼ等しい外径の円柱形状をなし、ク
ランプ治具40の上方に配置される。
図7に示されるように、ストッパーリング20のベース
部21がケース10内で弾性変形されつつ、ケース10
内の奥方、即ちケース先端側に向けて挿入されて行く。
この時、ストッパーリング20のベース部21の外縁が
テーパ状をなしているので、ストッパーリング20の挿
入は円滑に行うことできる。
と、図8に示されるように、やがてストッパーリング2
0の円筒状部22がケース10の第2の挿入穴部12に
圧入され始める。さらに、圧入治具6に荷重をかけ続け
ると、図9に示されるように、ストッパーリング20の
円筒状部22がケース10の第2の挿入穴部12に完全
に圧入されるとともに、ベース部21の外縁がケース1
0の係止凹部14に嵌合してベース部21の弾性変形が
解除され、安定した状態となる。その後、圧入治具60
が取り除かれる。
2の外径とケース10の第2の挿入穴部12の内径との
間の寸法公差は圧入後に10kgf以上の圧入強度を確
保でき、しかも圧入時に部品が変形するのを回避するた
めに0〜50μmとし、ストッパーリング20の円筒状
部22の外径をケース10の第2の挿入穴部12の内径
より0〜50μm大きくしている。この寸法公差が50
μmより大きいときは圧入が困難になる一方、0μmよ
り小さいときは十分な圧入強度が得られず、ストッパー
リング20が抜けやすくなる。
2とケース10の係止凹部14を噛み合せる構造として
いるので、光コネクタフェルール50をケース10の第
1の挿入穴部11内に挿入する際における光コネクタフ
ェルール50の押圧力等に対する十分な強度を確保する
ことができる。
0とを同一材質、例えばSUS303やSF20T等と
することにより、ケース10とストッパーリング20の
線膨張係数が等しくなり、温度変化等に起因する圧入強
度の低下を防止することができる。
第3の挿入穴部13内に後端側から光半導体素子パッケ
ージ30をストッパーリング20のベース部21表面と
当接するまで挿入するとともに、ケース10の第1の挿
入穴部11に光コネクタフェルール50を、光コネクタ
フェルール50の先端面がストッパーリング20の円筒
状部22内の底面と当接するまで挿入し、光コネクタフ
ェルール50を固定する。この時、ストッパーリング2
0のベース部21の表面によって光半導体素子パッケー
ジ30の光軸方向の位置決めがなされ、又ストッパーリ
ング20の円筒状部22底面によって光コネクタフェル
ール50の光軸方向の位置決めがなされる。
体受光素子を用いた光半導体素子モジュールを例にとっ
て光学的に位置合わせする方法を説明する。光ファイバ
51の他端には安定化光源(図示せず)を接続する。光
半導体素子パッケージ30をソケット(図示せず)に保
持し、光半導体素子パッケージ30の先端面がストッパ
ーリング20のベース部21の表面に当接するまでソケ
ットを降下させる。この状態において、安定化光源から
光を発生させると、その光が光ファイバ51へ伝搬さ
れ、光ファイバ51からガラス窓32を経て半導体受光
素子31に入射される。その時、光半導体素子パッケー
ジ30のアノード(図示せず)とカソード(図示せず)
との間に起電力が誘起され、電流が発生する。その発生
した電流値を測定回路(図示せず)を介して電流計(図
示せず)にて読み取り、その値、即ち受光感度が最大と
なるように光半導体素子パッケージ30をXY方向に移
動させて位置調整を行う。その後、ケース10と光半導
体素子パッケージ30を接着又は溶接にて固定する。
ールは上述の受光感度(発光素子の場合には光結合効
率)のばらつきが大きいことも1つの問題であった。こ
れはケース70及びストッパー80の加工精度のばらつ
きに起因する光コネクタフェルールと光半導体素子の距
離が大きくばらつくことが主原因であった。
パーリング20を別部品にて構成し、ストッパーリング
20のベース部21の表面及び円筒状部22の底面に光
半導体素子パッケージ30及び光コネクタフェルール5
0の先端面を当接させるようにしているので、ベース部
21の厚みを精度よく仕上げることにより、光コネクタ
フェルール50と光半導体素子31との間の距離のばら
つきを著しく低下でき、その結果として受光感度(又は
光結合効率)を向上でき、しかも安定した値に維持する
ことができることとなる。
ース部21の厚みを0.3mm程度とするが、その理由
を説明する。図11は光半導体素子パッケージ30と光
コネクタフェルール50との間の距離に対する受光感度
の関係を示す図である。図11から、光半導体素子パッ
ケージ30と光コネクタフェルール50との間の距離が
近いほど、即ちストッパーリング20のベース部21の
厚みが小さいほど受光感度が高いことが分かる。
21の厚みを極端に小さくした時、例えば0.1〜0.
2mmとした時、ベース部21は旋盤による機械加工中
に倒れたり、ベース部21の表裏面間の平行が保持でき
なかったりする等の問題が生じ、又ベース部21の降伏
点が低く、光コネクタフェルール50を挿入する際の押
圧力によってベース部21が降伏してしまい、事実上採
用不可能な寸法である。それ故に、上述の問題点を解決
でき、しかも受光感度を高くすべく、ベース部21の厚
みを0.25〜0.35mmに設定している。この結
果、高速データ転送レートへの対応が可能となる。
ース10内に圧入して固定保持するようにしたので、光
コネクタフェルール50の挿入時の押圧力により光半導
体素子パッケージ30が損傷したり、位置ずれしたりす
ることがなくなり、信頼性の高い光半導体素子モジュー
ルが得られる。また、ストッパーリング20とケース1
0とを別部品に構成しているので、部品の寸法精度のば
らつきが小さくなり、高精度及び高受光感度の光半導体
素子モジュールを製造することができる。そのため、高
速データ転送レートへの対応も可能となる。
光素子を用いた光半導体素子モジュールについての適用
例を示しているが、光半導体素子に発光素子を用いた光
半導体素子モジュールにおいても同様に適用できること
はいうまでもない。
ましい実施形態を示す断面図である。
断面図である。
ングを示す断面図である。
パッケージを示す断面図である。
断面図である。
ルの第1の製造過程を示す断面図である。
ルールとの距離に対する受光感度の関係を示す図であ
る。
図である。
Claims (15)
- 【請求項1】 光半導体素子と光データが入射又は出射
する窓部とを有する光半導体素子パッケージと、該光半
導体素子パッケージを収容保持しかつ光ファイバ先端が
上記光半導体素子パッケージの窓部と対向するように光
コネクタフェルールを挿入保持可能なケースとから構成
される光半導体素子モジュールにおいて、 上記ケース内の光半導体素子パッケージと光コネクタフ
ェルールとの間の部位には光データを透過しうる開口を
有するストッパーリングが配設され、該ストッパーリン
グが上記光半導体素子パッケージ側に該光半導体素子パ
ッケージの先端が当接する平面部を、上記光コネクタフ
ェルール側に該光コネクタフェルールが挿入されてその
先端が底面と当接する筒状部を有する形状をなし、圧入
によって上記ケース内に固定保持されていることを特徴
とする光半導体素子モジュール。 - 【請求項2】 上記ストッパーリングの圧入しろ外径
と、上記ケースの圧入しろ内径との寸法公差が0〜50
μmである請求項1記載の光半導体素子モジュール。 - 【請求項3】 上記ストッパーリングには係止鍔部が形
成され、上記ケースの内面には係止凹部が周方向の全周
にわたって形成され、上記係止凹部に上記ストッパーリ
ングの係止鍔部の外縁が嵌合されている請求項1又は2
記載の光半導体素子モジュール。 - 【請求項4】 上記ストッパーリングの係止鍔部の外縁
が面取りされている請求項3記載の光半導体素子モジュ
ール。 - 【請求項5】 上記ケースと上記ストッパーリングとが
同一材質で製作されている請求項1ないし4のいずれか
に記載の光半導体素子モジュール。 - 【請求項6】 光半導体素子と光データが入射又は出射
する窓部とを有する光半導体素子パッケージと、該光半
導体素子パッケージを収容保持しかつ光ファイバ先端が
上記光半導体素子パッケージの窓部と対向するように光
コネクタフェルールを挿入保持可能なケースとから構成
される光半導体素子モジュールにおいて、 上記ケース内の光半導体素子パッケージと光コネクタフ
ェルールとの間の部位には光データを透過しうる開口を
有するストッパーリングが配設され、該ストッパーリン
グが圧入によって上記ケース内に固定保持されているこ
とを特徴とする光半導体素子モジュール。 - 【請求項7】 上記ストッパーリングの圧入しろ外径
と、上記ケースの圧入しろ内径との寸法公差が0〜50
μmである請求項6記載の光半導体素子モジュール。 - 【請求項8】 上記ストッパーリングには係止鍔部が形
成され、上記ケースの内面には係止凹部が周方向の全周
にわたって形成され、上記係止凹部に上記係止鍔部の外
縁が嵌合されている請求項6又は7記載の光半導体素子
モジュール。 - 【請求項9】 上記ストッパーリングの係止鍔部の外縁
が面取りされている請求項8記載の光半導体素子モジュ
ール。 - 【請求項10】 上記ケースと上記ストッパーリングと
が同一材質で製作されている請求項6ないし9のいずれ
かに記載の光半導体素子モジュール。 - 【請求項11】 光半導体素子と光データが入射又は出
射する窓部とを有する光半導体素子パッケージと、該光
半導体素子パッケージを収容保持しかつ光ファイバ先端
が上記光半導体素子パッケージの窓部と対向するように
光コネクタフェルールを挿入保持可能なケースとから構
成される光半導体素子モジュールにおいて、 上記ケース内の光半導体素子パッケージと光コネクタフ
ェルールとの間の部位には光データを透過しうる開口を
有するストッパーリングが配設され、該ストッパーリン
グが上記光半導体素子パッケージ側に該光半導体素子パ
ッケージの先端が当接する平面部を、上記光コネクタフ
ェルール側に該光コネクタフェルールが挿入されてその
先端が底面と当接する筒状部を有する形状をなしている
ことを特徴とする光半導体素子モジュール。 - 【請求項12】 上記ストッパーリングには係止鍔部が
形成され、上記ケースの内面には係止凹部が周方向の全
周にわたって形成され、上記係止凹部に上記係止鍔部外
縁が嵌合されている請求項11記載の光半導体素子モジ
ュール。 - 【請求項13】 上記ストッパーリングの係止鍔部の外
縁が面取りされている請求項12記載の光半導体素子モ
ジュール。 - 【請求項14】 上記ケースと上記ストッパーリングと
が同一材質で製作されている請求項11ないし13のい
ずれかに記載の光半導体素子モジュール。 - 【請求項15】 光半導体素子と光データが入射又は出
射する窓部とを有する光半導体素子パッケージと、該光
半導体素子パッケージを収容保持しかつ光ファイバ先端
が上記光半導体素子パッケージの窓部と対向するように
光コネクタフェルールを挿入保持可能なケースとから構
成される光半導体素子モジュールを製造するにあたり、 上記ケース内径と略等しい外径の治具を用い、上記ケー
ス内面の係止凹部に上記ストッパーリングの係止鍔部の
外縁が嵌合するまで上記ストッパーリングを上記ケース
内に圧入して固定保持した後、 上記光半導体素子パッケージの先端が上記ストッパーリ
ングの平面部に当接するまで上記ケース内に上記光半導
体素子パッケージを挿入し、上記ケースの反対側に光コ
ネクタフェルールをその先端が上記ストッパーリングの
反対側表面に当接するまで挿入し、 上記光半導体素子パッケージの光半導体素子と上記光コ
ネクタフェルールとを光学的に位置合わせし、上記光半
導体素子パッケージを上記ケースに固定するようにした
こと特徴とする光半導体素子モジュールの製造方法。
Priority Applications (1)
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JP03015297A JP3526713B2 (ja) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | 光半導体素子モジュールおよびその製造方法 |
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