JP3526409B2 - 合 紙 - Google Patents
合 紙Info
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
て好適な含浸紙に関し、特に、電子回路用リードフレー
ムやシリコンウェハ等の半導体関連分野における合紙と
して好適な含浸紙に関する。
には、積み重ねた一群を1つの物品の如く取り扱う場合
が生じる。この場合、個々の薄手の物品が高価なもので
あると、それらが互いに傷付け合うことを避ける為に、
合紙を各薄手の物品間に挿入することが行われている。
で扱われる電子回路用リードフレームやシリコンウェハ
等の半導体関連物品である場合には、発塵を回避するた
めに、合紙としてプラスチックシートや合成紙、或いは
原紙に樹脂を含浸させてなる含浸紙が使用されている。
これらの中でも、プラスチックシートや合成紙は、吸湿
性能が低いため保存中に水分が結露してリードフレーム
やシリコンウェハ等に悪影響を及ぼす場合がある上、静
電気を誘起し易いので合紙の分離作業に支障を来たした
り、使用後の焼却が環境汚染を引き起こし易いという欠
点がある。そこで現在では、これらの欠点のない含浸紙
を使用することが主流となっている。
紙としては、例えば、特開昭59−83638号公報に
記載された含浸紙を使用することができる。これらの含
浸紙をリードフレームの合紙として用いる場合には、リ
ードフレームが腐蝕したり、見掛け上腐蝕が発生してい
なくても、後のボンディング工程やパッケージング工程
において回路に断線が生じないことが望まれている。ま
た含浸紙をシリコンウェハの合紙として使用した場合に
は、シリコンウェハの信頼性能が劣化しないことが望ま
れている。
ら放出されるイオンの量を、各イオンにつき、合紙1c
m2当り0.02ppm以下とすることにより、上記リ
ードフレームの腐蝕や回路の断線の生じる恐れが無くな
ることを見出し、本発明に到達した。従って、本発明の
目的は、特に電子回路用リードフレームの合紙として好
適な合紙を提供することにある。
路用リードフレームの合紙であって、該合紙が、原紙に
バインダーを含有させてなる含浸紙であり、該含浸紙1
gから、70mlの脱イオン水を用い、100℃で1時
間抽出処理したときに抽出される全ての種類のイオンに
ついて、該イオンの量が、含浸紙1cm2当り、0.0
2ppm以下であると共に、前記含浸紙中のパルプとバ
インダーの比が、パルプ100重量部に対してバインダ
ーが5〜40重量部であることを特徴とする合紙によっ
て達成された。
繊維、靱皮繊維、雁皮繊維等からなる天然パルプ、ナイ
ロン繊維やレーヨン繊維等の合成繊維、フィブリル化し
たポリエチレンに代表される合成パルプ等、一般の製紙
原料として使用されるパルプである。本発明において含
浸紙を再生可能とする場合には、特に木材繊維からなる
木材パルプを使用することが、再生時の離解性と再生後
の使用のしやすさの点から好ましい。木材パルプの具体
例としては、長繊維N−BKP(針葉樹晒硫酸塩パル
プ)、N−BSP(針葉樹晒亜硫酸パルプ)、短繊維L
−BKP(広葉樹晒硫酸塩パルプ)、L−BSP(広葉
樹晒亜硫酸パルプ)等がある。
ては、下記に示す水系バインダーと溶剤系バインダーが
ある。ここで水系バインダーとは、水中にバインダーが
溶解してなるもの及び水中にバインダーの微粒子が分散
してなるものであり、水を媒体として使用するものをい
い、溶剤系バインダーとは、有機溶剤に可溶性のバイン
ダーであり、有機溶剤に溶解して使用するものをいう。
(NBR)、メチルメタクリレート/ブタジエンゴム
(MBR)、ポリウレタン等のゴム系ラテックス;ポリ
アクリレート、ポリ酢酸ビニル、エチレン酢酸ビニルコ
ポリマー等の樹脂系ラテックス;ポリウレタン、ポリエ
ステル、ポリアクリレート等の水溶液。 (b)溶剤系バインダー エチレン/酢酸ビニル共重合体(EVA)、SBR、N
BR、MBR、アルキッド樹脂、アミノアルキッド樹
脂、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、ポリアクリレー
ト。 上記バインダーには、必要により、メラミン樹脂、尿素
樹脂、エポキシ樹脂等の架橋剤を併用してもよい。ま
た、溶剤系バインダーの溶剤としては、トルエン、メチ
ルエチルケトン、酢酸エチル、ヘキサン、及びアルコー
ル等を単独で又は混合して使用することができる。
に優れたものとする場合には、バインダーとして、SB
R、NBR、MBR、ポリウレタン等のゴム系樹脂;ポ
リアクリレート、ポリ酢酸ビニル、エチレン酢酸ビニル
コポリマー等の樹脂を使用する必要がある。上記バイン
ダーが自己架橋型でない場合には、メラミン樹脂、尿素
樹脂、エポキシ樹脂等をラテックス架橋剤として併用す
ることができる。尚、バインダーには、必要に応じて、
サイズ剤、ワックス、着色剤、消泡剤等を加えても良
い。
は、公知のものの中から適宜選択することができる。紙
力増強剤としては、でんぷん、酸化でんぷん、カルボキ
シル化でんぷん、カチオン化でんぷん、植物ガム、ポリ
アクリルアミド(アニオン性、カチオン性、両性)樹
脂、ポリビニルアルコール樹脂、カルボキシメチルセル
ロース等の乾燥紙力増強剤、メラミン樹脂やエポキシ樹
脂等の湿潤紙力増強剤が挙げられる。尚、再生可能な含
浸紙とする場合には、特にでんぷん、ポリアクリルアミ
ド樹脂、又はポリビニルアルコール(PVA)樹脂を使
用することが好ましい。
対して、バインダーを5〜40重量部含浸させるが、特
に、パルプ100重量部に対してバインダーを5〜20
重量部含浸させることが好ましく、5〜15重量部とす
ることが最も好ましい。バインダーが5重量部より少な
いと、パルプ繊維の固定が不十分になるので塵が発生し
易くなる。また、40重量部以上に含浸量を増やして
も、それに見合う無塵性が向上しないだけでなく再生時
の離解性も悪くなる。
が、特に再生可能な含浸紙とする場合には、乾燥紙力増
強剤を、パルプ100重量部に対して、0.01〜25
重量部使用することが好ましく、0.1〜10重量部と
することが最も好ましい。乾燥紙力増強剤の量が0.0
1重量部より少ないと紙力増強効果が得られず、25重
量部より多くてもそれに見合う紙力を得ることができな
い。
れる場合が多いので、クリーン度を良好にする上から塵
の原因となり易い顔料は含まないことが好ましいが、用
途に応じ、パルプ100重量部に対して、3重量部を限
度として使用することも可能である。これらの顔料とし
ては、タルク、クレー、酸化チタン、水酸化アルミニウ
ム、セピオライト等の無機顔料や、尿素樹脂、スチレン
樹脂、メタクリル酸樹脂等の有機顔料が挙げられる。
増強剤及び顔料を含有するスラリーを通常の抄紙機にか
けて原紙をつくり、この原紙にオンマシンサイズプレス
やオフマシン含浸機等を用い、バインダー溶液、エマル
ジョン、またはサスペンジョンを含浸させ、例えば10
0℃〜150℃で加熱乾燥してパルプ繊維同士の結合を
バインダーによって強化し、製造される。従って、含浸
紙から抽出されるイオンの種類及び量を減らすために
は、各工程で混入するイオンを極力減らす必要がある。
各イオンの量を含浸紙1cm2当たり0.02ppm以
下に低減するために、含浸させるバインダーとして、バ
インダー樹脂中に含有する各イオンが0.2重量%以下
であるものを使用する必要がある。このことは、多くの
場合、含浸させるバインダー樹脂をエマルジョンやサス
ペンジョンの形態で供給する場合に特に問題となる。こ
れは、これらの場合に使用する界面活性剤からイオンが
混入するためである。本発明においては、特に、硫酸イ
オンを含浸紙1cm2当り0.01ppm以下に低減さ
せることが好ましい。
は上記の含浸紙からなるので、抽出させる各イオンの量
は合紙1cm2当り0.02ppm以下であり、合紙か
らリードフレームに転写されるイオンの量が充分少ない
ので、リードフレームの信頼性能を低下させない。この
ような観点からは、前記した如く、特に硫酸イオンの合
紙1cm2当りから抽出される量が0.01ppm以下
であることが好ましい。
る合紙から抽出されるイオン性不純物、及び、合紙から
リードフレームに転写したイオン性不純物の測定方法と
して、本発明においては、水抽出方式によってNa+、
NH4 +、K+、Cl−、NO3 −、Brー、SO4
2ー、PO4 3−を検出する方法を採用する。即ち、合
紙からのイオン性不純物抽出の場合には、本発明の含浸
紙の試料となる合紙1gを70mlの脱イオン水中に浸
漬し、100℃で1時間抽出を行い、1cm2当りから
抽出されるイオン性不純物の濃度(ppm)を算出し
た。
性不純物の抽出においては、SEMI G52−90に
準拠して以下の方法で行った。即ち、10枚のリードフ
レームと9枚の合紙を交互に積層し、85±5℃、85
±5%RHの恒温・恒湿槽に24時間水平に放置し、上
下が合紙によって挟まれた5枚のリードフレームを、合
紙を除いて脱イオン水に浸漬し、95℃で30分間抽出
を行う。ここで脱イオン水とは、抵抗値が15KΩ・c
m(25℃)以上のものと定義される。尚、合紙やリー
ドフレームを直接手で触れないように、ポリエチレン製
の外手袋のついた2層綿手袋を使用する。
を用いて行うが、本発明で使用した装置は、IC500
P(横河電気(株)製)である。また、カチオン標準液
用化合物としては、NaCl、NH4Cl及び、KCl
を用い、アニオン標準液用化合物としては、NaCl、
Na2HPO4・12H2O、NaBr、NaNO3、
及びK2SO4を用いた。
ン種のイオン性不純物の表面濃度(SCIC)は次式に
よって与えられる。 SCIC(ng/cm2)=(サンプル濃度−バックグ
ランド濃度)×抽出体積(ml)/リードフレームの表
面積(cm2)×リードフレームの数
しては、密封蓋のついたポリプロピレンまたはポリテト
ラフルオロエチレン製のものを使用する。この場合の容
器の不純物レベルは、合紙サンプルを測定したときに考
えられる不純物レベルの1/5以下とする。また、各イ
オンの単一成分標準液は、1リットルの脱イオン水に、
それぞれ1.000gの各イオンを溶解して調製し、保
存多成分標準液は、希釈法により、これらの単一成分標
準溶液から調整する。
の紙面pHは6.0〜8.0であることが好ましい。紙
面pHがこの範囲外であるとリードフレームを腐蝕する
ことがある。紙面pHを6.0〜8.0にするために
は、必要に応じて中和剤をバインダーに添加すればよ
い。この際、中和剤が強アルカリ性であると腐蝕反応を
起こすため、中和剤としては、エチルアミンやエタノー
ルアミンを使用することが好ましい。
詳述するが、本発明はこれによって限定されるものでは
ない。尚、試料の調製やイオン及びイオン性不純物の測
定は、本明細書に記載された方法で行った。また、含浸
紙の紙面pHは、JAPAN TAPPI NO.49
−86 A法に準拠して測定した。
0重量部に対し、乾燥紙力増強剤としてポリアクリルア
ミド樹脂(商品名スミレーズ・レジン886:住友化学
工業社製)を固形分で1重量部添加した紙料を調製し、
米坪量が100g/m2のシートを作製した。その後ノ
ニオン性アクリルエマルション(商品名プライマルB−
15:ローム・アンド・ハース・ジャパン社製)に中和
剤としてジエタノールアミンをノニオン性アクリルエマ
ルジョンに対し、固形分比で3.5重量%添加した含浸
液を調製し、シート中のパルプ100重量部に対し、固
形分で14重量部を含浸させた。得られた含浸紙の紙面
pHは7であった。
0重量部に対し、湿潤紙力増強剤としてエポキシ化ポリ
アミド樹脂(商品名スミレーズ・レジン675:住友化
学工業社製)を固形分で1重量部添加した紙料を調製
し、米坪量が100g/m2のシートを作製した。その
後ノニオン・アニオン性のアクリルエマルション(商品
名ニューコートLMS−60:新中村化学工業(株)
製)に中和剤としてジエタノールアミンをノニオン・ア
ニオン性アクリルエマルジョンに対し、固形分比で2.
5重量%添加した含浸液を調製し、シート中のパルプ1
00重量部に対し、固形分で14重量部を含浸させた。
得られた含浸紙の紙面pHは7であった。
ルアミンを使用しなかった他は、実施例1と全く同様に
して含浸紙を得た。得られた含浸紙のpHは5.5であ
った。
ームの合紙とし、SEMI G52−90に準拠してイ
オン転写量を測定すると共に、含浸紙を抽出して抽出さ
れたイオン濃度を測定した結果は表1に示した通りであ
る。但し、表中のNDはイオンが検出されなかったこと
を示す。また、転写量の単位はng/cm2であり、含
浸紙からのイオン抽出量の単位はppm/cm2であ
る。
Claims (3)
- 【請求項1】電子回路用リードフレームの合紙であっ
て、該合紙が、原紙にバインダーを含有させてなる含浸
紙であり、該含浸紙1gから、70mlの脱イオン水を
用い、100℃で1時間抽出処理したときに抽出される
全ての種類のイオンについて、該イオンの量が、含浸紙
1cm2当り、0.02ppm以下であると共に、前記
含浸紙中のパルプとバインダーの比が、パルプ100重
量部に対してバインダーが5〜40重量部であることを
特徴とする合紙。 - 【請求項2】前記合紙から抽出されるイオンにおける硫
酸イオンの量が、合紙1cm2当たり、0.01ppm
以下である、請求項1に記載された合紙。 - 【請求項3】紙面pHが6.0〜8.0である、請求項
1又は2に記載された合紙。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP32482098A JP3526409B2 (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 合 紙 |
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP32482098A Expired - Lifetime JP3526409B2 (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 合 紙 |
Country Status (1)
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Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-11-16 JP JP32482098A patent/JP3526409B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
社団法人 日本化学会,標準化学用語辞典,日本,丸善株式会社,1991年 3月30日,第515頁 |
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JP2000154492A (ja) | 2000-06-06 |
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