JP3512428B2 - サブ開口アドレス指定光ビーム・ステアリング装置におけるビーム・ステアリング方法 - Google Patents
サブ開口アドレス指定光ビーム・ステアリング装置におけるビーム・ステアリング方法Info
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Description
グに関し、特に大開口ビームの高性能のサブ開口アドレ
ス指定光ビーム・ステアリング装置、およびこの装置に
おける非常に多数のステアリング角度を提供する方法に
関する。
ク偏向装置が、1987年1月27日発行のJ.P.H
uignard等の米国特許第4,639,091号に
提案されている。このHuignard等の偏向装置
は、前層としてストライプ電極が配置されたウインドウ
を有する層構造の方形板を含む。このウインドウとスト
ライプ電極の双方は、入射する赤外線ビームに対して透
過性を呈する。偏向装置の中間層は電気−光学液晶層を
含んでいる。底部層は、液晶層に隣接した共通電極を持
つ基板を含んでいる。この共通電極は、ビームの波長で
反射することが望ましく、例えば金膜であり、あるいは
透過により作動する偏向装置の場合は、透過性の後部板
を使用することもできる。
加えられることにより調整自在な期間の回折格子を形成
するように液晶層に局部的な屈折率の変化を生じるNの
電圧ステップを有する周期的な階段波形を提案してい
る。
ル光ビーム偏向装置の概念は、参考のため本文に引用さ
れる1990年10月23日発行のT.A.Dorsc
hner等の米国特許第4,964,701号「光ビー
ム用偏向装置(Deflector for an O
ptical Beam)」に、また1989年1月3
日出願のT.A.Dorschnerの米国特許出願第
292,789号「屈折手段を用いる光ビーム用偏向装
置(Deflector for an Optica
l Beam Using Refractive M
eans)」に開示されている。レーザ光ステアリング
のこれら及び他の用途は、光ビームの、特に大きな直径
の回折制限炭酸ガス(CO2)レーザ・レーダ・ビーム
の迅速な大角度指向および走査の必要性を強化するもの
となる。即ち、マイクロ波レーダ・システムに現在広く
使用される多用途のフェーズドアレイ・アンテナの光学
的バージョンの差し迫った需要が存在している。
アリングのための光学的フェーズドアレイ「アンテナ」
は、非常に多数の移相器およびこれに対応する光学的ア
レイの作動のため必要な非常に高密度の電気的接続の故
に、実際に実現することは困難である。高性能の大角度
光ビーム・ステアリングは、アレイの個々の移相器が指
向されるべき光の波長より小さな間隙を有することを必
要とする。通常は、マイクロ波フェーズドアレイ・アン
テナ用には1/2乃至1波長の間隙が選定され、同様の
間隙が光学系で使用されることが予期される。
導体フォトリトグラフ法を用いて非常に容易となってい
る。現在では、2ミクロンより小さな電極幅を持つ装置
が容易に製造されている。更に、サブミクロンの間隙は
技術水準のリソグラフ装置を用いて実施可能となってい
る。しかし、大きなアレイの移相器の各々を個々の電圧
源に接続することは、大変な作業であると思われる。
ると、もし直線的な1次元アレイの全ての移相器が個々
にアドレス指定可能であるとすれば、エッジ接続密度は
10ミクロン波長における開口のセンチメートル(c
m)当たり2,000となり、1ミクロン波長において
はcm当たり20,000となる。1メートルに及ぶ開
口が要求されるため、これまで使用されたフェーズドア
レイ・アーキテクチャに必要とされる電気的接続数は、
可視光波長の場合には百万以上となる可能性がある。第
2次元のステアリングをカバーする第2の1次元装置
は、同数の接続部を必要としよう。このような大きさの
オフ・チップ接続数は、特に通常の半導体技術において
使用されるオフ・チップ接続点が数百にすぎないことを
考慮すれば、あまりにも多すぎると考えられる。
の結果性能が低い光フェーズドアレイ・アンテナもまた
公知である。移相器の結果的な減少は、明らかに電極接
続部の必要数を減少させる。それにも拘わらず、この試
みは、1波長より大きな間隙が一般に1つの入力ビーム
に対して多数の出力ビームを生じるため、多くの用途に
受入れ得ないと考えられる。本発明の用途がレーザ・レ
ーダ・システムである場合、唯1つのビームであること
が一般に必須である。多数のビームの存在はある送信機
能においては許容され得るが、意図するビームへの電力
は大きな割合でなくとも減少することになる。しかし、
受信モードにおいては、多数の方向からのエネルギに対
して同時に生じる感度は目標方向に望ましくない曖昧さ
を生じ得る。
的は、光学的ビーム・ステアリング装置におけるビーム
のステアリングを行うための改善された方法を提供する
ことにある。
イに分割された多数のストライプ電極移相器を含み、こ
れにより大きな直径の光ビームのより高い分解能のステ
アリングを生じる光ビーム・ステアリング装置における
光ビームのステアリングを行なう改善された方法の提供
にある。
ブアレイ・アドレス指定ビーム・ステアリング装置を用
いて入射電磁ビームをステアリングするための方法を提
供することにより達成され、このビーム・ステアリング
装置は、並列動作する複数の同一サブアレイに分割され
た多数の移相器を含んでいる。本方法は、各サブアレイ
を複数の周期に等しく細分割し、各周期の移相器に与え
られる電圧の階段波形を結果として生じるように各サブ
アレイの移相器に電圧を加えることを含む。
器が存在する。第2の実施例においては、各サブアレイ
は全ての周期が同数の移相器を含むとはかぎらない多く
の周期に細分割される。本発明の望ましい実施態様によ
れば、各周期の移相器に加えられる電圧の階段波形は、
周期間に2πの位相ランプを生じるように選定される。
グ装置は、第1の面上に共通の電極を有する光学移相器
のアレイと、第2の面上に多数のS個の並列ストライプ
電極と、第1および第2の面の中間に1つの電気−光学
移相媒体とを含む。このビーム・ステアリング装置は更
に、各々がストライプ電極のS/Mと接続されるM個の
相互接続部を含み、i番目の相互接続部が0乃至(S/
M)−1の範囲のjの全ての整数値に対して(i+j
M)番目のストライプ電極の各々と接続されている。こ
のビーム・ステアリング装置は更に、M個の相互接続部
と共通電極との間にそれぞれM個の制御信号を接続する
ことにより、移相媒体における屈折率の局部的な変化を
生じさせる手段装置を含む。
ズが、要求される電気的接続数が現在の技術で処理可能
である程度に小さい、サブ開口アドレス指定ビーム・ス
テアリング装置に対して多数のビーム・ステアリング位
置を提供することが可能である。不等長周期、あるいは
等長および不等長周期の組合わせの選定により、サブア
レイの単なる階乗的な分割による以上に著しく多くの状
態がアドレス可能となる。
ては、添付図面と関連する以降の詳細な記述からよく理
解されよう。
示された光ビーム・ステアリング装置に関して本文に開
示される。多数の移相器のサブ開口のアドレス指定を行
う例示的ビーム・ステアリング装置は、本願と同時に出
願され本発明の譲受人に譲渡されたT.A.Dorsc
hnerおよびD.P.Reslerの係属中の米国特
許出願「サブ開口アドレス指定を備えた光ビーム・ステ
アリング装置(Optical Beam Steer
er Having Subaperture Add
ressing)」において詳細に開示されている。こ
の米国特許出願の教示内容は参考のため本文に引用す
る。
め記載される形式の液晶ビーム・ステアリング装置10
が概略断面図で示される。装置10は、対象となる周波
数範囲で光学的透過性のウィンドウ12及び14を有す
る液晶セルから構成される。ウインドウ12に対して固
定された共通電極16は、導電性を持ち光学的に透過性
を有する。ウインドウ14に固定された電極18として
全体的に示される電極181、182、183、、、は、
複数の導電性を有する光学的に透過性のあるストライプ
を含む。例示として、炭酸ガス・レーザ・ビームのステ
アリングのため、電極18は幅が4〜10マイクロメー
トル(μm)であり、相互に約1μmだけ隔てられてい
る。ウインドウ12および14間の間隙は、例えば長く
薄いロッド状のいわゆる「ネマチック」相の有機体分子
である液晶分子層20で充填されている。
は、可視光線から遠赤外線の範囲にわたる偏光ビーム2
2を生じる光源およびビーム形成ネットワーク(図示せ
ず)に応答する。光線22a〜22cで部分的に示され
る光ビーム22は、光学装置10のウインドウ14へ指
向される。光ビーム22は、ストライプ電極18により
形成される面と直角に入射し、あるいは望ましくはビー
ムのストライプ電極18により形成された面に対する投
射が電極18の長手方向に平行となるように斜めに入射
する。
過する整列層に対して偏光が平行である光の速度に影響
を及ぼす、従って遅れを生じることが、液晶分子の特性
であり配向が上記の如き整列層により充分に規定され
る。このため、図1の簡単な例においては、共通電極1
6と個々のストライプ電極18との間の制御電圧発生器
26からの異なる電位の付加は、個々のストライプ電極
181、182、183、、、と共通電極16との間の領
域に電界差をもたらす結果となり、これにより液晶層2
0における屈折率の局部的な変化を生じる。
6aとして略図的に示されるビーム22a、22bおよ
び22cが入射する電極18に加えられた電位は、出て
くる光線24cに最も大きな遅れおよび出てくる光線2
4aには最も小さな遅れを生じる如きものである。この
ため、光ビーム偏向装置10から出てくるビーム24の
波面17は、入射波面に対して傾斜している。従って、
図1の光ビーム偏向装置10はストライプ電極18に対
して与えられた電位に従って選択的なビーム・ステアリ
ングを生じることが判るであろう。
ストライプ電極18に対して制御電圧信号を加えること
は、例えば、M.I.Skolnik編集「レーダ・ハ
ンドブック(Radar Handbook)」の第2
章(McGraw−Hill、New York、19
70年)に教示される如き従来のマイクロ波レーダ・ビ
ームのステアリングにおいて使用される方法に類似して
いる。例示された波形26aに示されるように、間隔が
周期的でありかつ最小値と最大値間の各周期内で電圧ス
テップの連続的な推移を有する複数の制御電圧信号が多
数のストライプ電極18に対して加えられる。しかし、
本発明を周期的である複数の制御電圧信号のみに限定す
ることは意図するところではない。
の如くである。即ち、階段波形電圧26aが電極18に
加えられ、電圧レベルは開口に跨がる移相の均一な階段
波形即ち近似ランプを結果として生じるように選定され
る。液晶の応答は線形的でないため、電圧ランプは必ず
しも等しい段階を含まない。この移相器は、マイクロ波
アレイにおける如く、大きな移相の要求を避けるため、
モジューロ2πで作動することができる。結果として生
じる位相の「鋸歯状」分布は単一の連続的な位相ランプ
に相当し、これはプリズム状に働いて与えられた位相ラ
ンプの程度に従って入射ビームをステアリングする。
制御電圧を与える装置について考察すると、前掲のDo
rschner等の出願は、多数の電極を複数のサブア
レイに組合わせるための構造を開示しており、これにお
いては、各サブアレイが意図する用途に対してビーム・
ステアリング角度の充分な分布を生じるに充分な数の電
極を含む。
る簡素化されたビーム・ステアリング組立体の一部の平
面図および断面図をそれぞれ示している。この組立体
は、ウインドウ40および44を有する液晶セル52
と、その間の液晶分子層50とを含んでいる。図1のビ
ーム・ステアリング装置10における如く、セル52
は、ウインドウ44の内面に共通電極42と、ウインド
ウ40の内面上の全体的にストライプ電極30と呼ばれ
る多数のストライプ電極30(1,1)、30(1,
2)、、、30(1,6)、30(2,1)、、、30
(2,6)、、、30(n,1)、、、30(n,6)
とを含む。
リング組立体がストライプ状の移相器の大きなアレイを
含み、各移相器がその間にストライプ電極30の1つ、
共通電極42および液晶分子50から形成されることが
判る。この移相器は、横方向寸法λ0=w+Δを有し、
ここでwはストライプ電極30の幅であり、Δはストラ
イプ電極30間の間隙である。移相器は、ビーム・ステ
アリング組立体の略々全開口を均等に覆っている。
合的にサブアレイ38と呼ばれる複数のn個のサブアレ
イ38(1)、、、38(n)が総合的にジャンパ・ス
トラップ32と呼ばれるジャンパ・ストラップ32
(1)、32(2)、、、32(6)により形成されて
いる。図示を容易にするため、6個の移相器のサブアレ
イサイズが示される。ジャンパ・ストラップ32(1)
は、ストライプ電極30(1,1)、30(2,
1)、、、30(n,1)を相互に連結し、ジャンパ・
ストラップ32(2)はストライプ電極30(1,
2)、30(2,2)、、、30(n,2)を連結する
等々である。ジャンパ・ストラップ32(1)は、導体
34(1,1)によりストライプ電極30(1,1)
と、導体34(2,1)、、、によりストライプ電極3
0(2,1)と、また導体34(n,1)によりストラ
イプ電極30(n,1)と接続されている。一般に、ジ
ャンパ・ストラップ32(i)が導体34(j,i)に
よりストライプ電極30(j,i)と接続され、ここで
jは1からサブアレイ個数までであり、iは1から各サ
ブアレイ内の移相器Mの数までである。各ジャンパ・ス
トラップ32(i)は、制御電圧を加える目的のため外
部配線と相互に結合するための接触パッド36(i)で
終る。同様に、導体46は、導体44により共通電極4
2と相互に接続され、基準電圧を付加する目的のため外
部導線と相互に接続するため接触パッド48で終ってい
る。
は、1cm以上の開口の場合に通常必要とされる数千個
の代わりに、6個目毎の電極30が並列に接続され、接
触パッド36を介して外部の電源と接続されなければな
らない6個のアドレス・ラインが設けられる。また、サ
ブアレイ38における電極30の数とは独立的に、即ち
アレイ全体で1つの接地線が設けられる。
器が独立的にアドレス指定可能であるが、各移相器は、
他のサブアレイ38の各々の対応する移相器と並列に恒
久的に接続されている。このため、どんな空間的位相分
布が1つのサブアレイ38に加えられても、これが全開
口に跨がって反復される。
等の引用文献に詳細に記載されたサブアレイ・アドレス
指定光ビーム・ステアリング装置は、従来のフェーズド
・アレイと同様に動作させることができる、即ち、ビー
ム・ステアリング開口に跨がる位相ランプの階段状近似
が、電極に対応する電圧階段波形を加えることにより形
成される(図1参照)。従来のフェーズド・アレイと同
様に、前記位相ランプは最大振幅2πのモジューロ2π
で加えることができる。しかし、本例では、限られた
数、即ち各サブアレイ毎の個数であるM個の移相器が独
立的にアドレス指定可能である故に、限られた数のラン
プ周期のみを合成させ得る。このことは、アドレス指定
可能なビーム位置の数を限定するが、それでも以下に述
べるように、中程度のサブアレイ・サイズでもやや大き
な数の位置が可能となる。
る周期NΛ0を持つ同じランプをサブアレイのエッジに
不連続を生じることなく加えることができる。これは、
サイドローブの低レベルを維持するための重要な配慮と
なる。±6、±3、±2および無限大となるNを持つN
個の位相ステップからなるランプを、例示として図2、
図3のサブアレイで形成することができる。これらラン
プ周期の各々は、θ=sin-1(λ/NΛ0)により与
えられるアドレス指定可能なビーム位置と対応し、ここ
でλは光ビームの自由空間波長である。
得る角度組は、それぞれ±19.47°、±41.81
°、±90°および0°である。これらは、非常に小さ
いサブアレイの結果である大きなステアリング角度であ
る。90°の場合は、この方向では実際には非常に小さ
なエネルギがステアリングされるため実際には実用性が
なく、装置の有効な放射領域はゼロまで減少する。
イは比較的小さなステアリング角度を含む。一例とし
て、48個の移相器のサブアレイは、正確な階乗周期
(本例では、「ランプ・ピッチ」で示される)の場合、
図4に示したステアリング角度の分布を生じる。移相器
のストライプ電極間の1波長の間隔Λ0が仮定された。
±10°の注目視野に対するこれらの角度のみが示さ
れ、これはやや典型的な対象範囲である。図4からは、
取得可能な角度の分布がやや均一であり、実際には最も
小さなステアリング角度θ=sin-1(λ/NΛ0)の
略々倍数であることが判る。このことは、サブアレイに
おけるエレメント数が増加するに伴い均一角度の間隙が
増加する傾向を呈し、同様に、ビーム間の間隔は、サブ
アレイにおけるエレメント数が増加するに伴い減少す
る。
アドレス指定可能にする。一例として、上記の正確な周
期の線形的重ね合せによって別の周期を形成することが
できる。サブアレイ次元に合算される周期の組合わせに
より異なる有効周期を形成することもでき、これにより
サブアレイのエッジに不連続を生じない。上記の6エレ
メントのサブアレイの場合、唯一の異なる有効波形は2
エレメント・ランプの後に4エレメント・ランプが続く
ものである。しかし、大きな数Mの移相器を持つサブア
レイの場合は、異なる有効移相器を生じる多くのこのよ
うな組合わせがある。特に、組合わせがサブアレイに跨
がって1からM/2の範囲の2π移相(全波)の考え得
る各整数倍をもたらすことが判り、Mはサブアレイにお
ける移相器の個数である。これは、ボアサイトの各側に
おけるM/2の略々等しい間隔の個々の(全レイリー・
スポット)ビーム・ステアリング方向と対応する。これ
らMビーム(および他)の品質は下記の如く計量し得
る。
は、少ない収差を持ち目標に対して最大エネルギを送る
高品質のビームを必要とする。これらの条件下では、ビ
ーム品質に対する有効性能指数はいわゆるストレール
(Strehl)比である。収差が小さい時は、収差を
持たないビームに対して軸心強さI0に対する収差を持
つビームの軸心強さIの比は、下式の如くストレール比
で表わすことができる。即ち、 I/I0=1−(2πσ/λ)2 但し、σは、波面の理想値からの平方二乗平均(RM
S)偏差である。ストレール比は、一般に範囲0.6<
I/I0<1.0におけるビーム品質に対する有効基準
と考えられる。1のストレール比は、理想的な回折極限
ビームと対応する。0.6のストレール比は、光学系の
開口における10分の1波長のRMS位相誤差と対応し
ている。波の15分の1と20分の1間のRMS位相誤
差は、それぞれ古典的な4分の1波長のレイリー基準と
有効に対応し、また0.8および0.9のストレール比
と対応している。レイリー基準においては、2つの隣接
する等しい強さの光源が、第2回折パターンの中心と一
致する1つの点イメージの回折パターンの最初の暗黒リ
ングを持ち、分解可能であると言う。λ/14の場合
は、マレシャル(Marechal)基準としても知ら
れる。いずれかの基準を満たすビームが、実際に回折限
度と見做される。
・ステアリング装置の開口に跨がる位相プロファイルの
偏差は、収差として処理され、性能はストレール比によ
り定量化され得る。特に、理想的周期によりアドレス指
定不可能なステアリング角度の場合は、同じ角度にステ
アリングする周期の多数の組合わせが存在し得るが、こ
のような各組合わせに対する位相プロファイルは理想的
な位相プロファイルから一般には異なる量だけ偏りを呈
する。従って、ストレール比は、与えられたステアリン
グ角度に対する最良の組合わせ即ち分布を選定すると共
に、理想的な(等しい周期の)場合に対するこの選定の
性能を定量的に評価するため使用することができる。理
想的な波面からの偏差が小さい程、収差は小さくなり、
所望の角度へ指向されるエネルギの量は大きくなる。所
望の角度へ指向されないエネルギは位相収差により望ま
しくないサイドローブに散乱され、サイドローブにおけ
る小さなエネルギは1からストレール比を差し引いたも
のになる。
の開口に跨がる5つの波動の位相偏移の位相ランプをシ
ミュレートする場合について考察しよう。これは、48
エレメント・サブアレイでは具現し得ない9.6エレメ
ントの理想的な周期と対応する9.6エレメント毎に2
πの位相リセットを必要とする。しかし、それぞれ10
電極の3つの周期とそれぞれ9つの電極の2つの組合わ
せにより正確に5つの波動を得ることができる。これら
の周期が操作される順列の順序の如何に拘わらず、ステ
アリング角度は第1の次数、即ち、1つの波動の移相器
相互の間隔の場合にビーム位置62として図4に示され
る±5.98°である5つの波動の位相偏移の角度に固
定されたままである。しかし、所望の方向に指向される
エネルギの量は、周期の順序と共に変化する。順序が
[10、10、10、9、9]の如き周期の場合は、順
序が[10,9,10,9,10]よりも大きな理想的
な線形の同位相波面からの最大位相偏差を呈する。前者
の順序は、RMS加重で割引かれる位相偏差に集中す
る。後者の順序は、理想値付近で振動する波面を生じ、
これによりより小さなRMS位相誤差が蓄積する。この
2つの場合に対して計算されたストレール比は、それぞ
れ0.95および0.98である。本例においては、両
方の順序が一般に有効であるが、別の順序はサイドロー
ブ・エネルギの僅かに3分の1に過ぎず、望ましい。
グ装置のサブアレイを駆動する別の手法によれば、サブ
アレイのサイズの正確に整数倍ではない周期もまた、ビ
ーム品質は劣化するが使用できる。この手法の事例は、
5つの階段の後に1つの外れた階段が続く、反復最大ま
たは最小階段値の如き階段波形ランプである。このよう
な状態が受入れられるかどうかは、許容される光線劣化
量に依存する。このことは、ストレール比を基準として
用いてケース毎に勘案されねばならない。しかし、ガウ
ス・ビーム照射の場合、少なくとも大きくない、典型的
には20°以下であるビームのステアリング角度では2
0dBより低いサイドローブ・レベルを維持するには、
3ビットの位相量子化の使用で充分である。このため、
45°もの大きさである理想値からの位相ランプの偏差
が受入れ得る。
より、中程度の大きさのサブアレイにより多くのビーム
・ステアリング位置が得られることが判る。記述された
M個の移相器を有するサブアレイの場合、少なくともM
個の有効な状態が存在する。
示したが、このような開示方法からの種々の変更が本発
明の実施において可能であることが判るであろう。本発
明の範囲は、本文に開示された方法に限定されるべきも
のではなく、頭書の特許請求の範囲によって判断される
べきものである。
アリング装置の簡略化した実施例を示す平面図である。
ステアリング装置の簡略化した実施例を示す断面図であ
る。
ステアリング装置におけるステアリング角度対位相ラン
プ・ピッチの関係を示す図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 電磁波に位相シフトを生じさせる移相手
段(30,42,50)のアレイを備える電磁ビーム・
ステアリング装置を動作させる方法であって、 (a)前記アレイを複数の周期に分割するステップと、 (b)各周期の前記移相手段(30,42,50)に印
加される電圧の階段状波形を結果として生じるように前
記移相手段(30,42,50)に電圧を印加するステ
ップと、 を含む方法において、前記電圧を印加するステップは、
前記移相手段(30,42,50)アレイが複数の同一
サブアレイ(38)に分割され、該複数の同一サブアレ
イに並列に電圧を印加するステップを含み、前記ビーム
・ステアリング装置は恒久的に接続された並列アドレス
指定手段(32,34,36)を含み、該アドレス指定
手段に前記電圧が印加されることを特徴とし、更に、 前記ビーム・ステアリング装置は、第1の面上に共通電
極(42)を、第2の面上に複数のS個の並列ストライ
プ電極(30)を、前記第1および第2の面の中間に電
気−光学移相媒体(50)を有し、光学的位相シフトを
生じさせる移相手段(30,42,50)のアレイと、
各々が前記ストライプ電極(30)のS/Mに結合され
るM個の相互接続(32)とを含み、i番目の相互接続
が0から(S/M)−1の全ての整数値jに対して(i
+jM)番目のストライプ電極(30)の各々に結合さ
れ、更に、前記M個の相互接続(32)と前記共通電極
(42)との間でM個の制御信号を個々に結合する手段
(36,48)を含むことを特徴とするとともに、前記
電圧を並列に印加するステップは、前記M個の相互接続
(32)と前記共通電極(42)との間にM個の制御信
号電圧を印加することによって、前記移相媒体(50)
における屈折率の局部的な変化を生じさせることを特徴
とする方法。 - 【請求項2】 請求項1記載の方法において、各サブア
レイ(38)は、全ての周期が同数の移相手段(30,
42,50)を含むわけではない複数の周期に細分割さ
れることを特徴とする方法。 - 【請求項3】 請求項1記載の方法において、各周期の
前記移相手段(30,42,50)に印加される電圧の
階段状波形が前記周期にわたり2πの位相ランプを生じ
るようにされることを特徴とする方法。 - 【請求項4】 請求項1記載の方法において、前記移相
手段(30,42,50)に印加される電圧の階段状波
形が等しい電圧ステップ状ランプからなり、更に反復さ
れる電圧ステップの1つを有することを特徴とする方
法。
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