JP3509308B2 - リニアモータを用いた送り装置 - Google Patents
リニアモータを用いた送り装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械のテーブルや
コラム等を移動させる手段としてリニアモータを用いた
送り装置に関する。
コラム等を移動させる手段としてリニアモータを用いた
送り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、工作機械のテーブルやコラム等の
移動体を移動させる送り装置にリニアモータを用いたも
のには、特開昭６３−２８３８３５号や特開平５−２２
８７６１号のようなものがある。このような送り装置に
みられるように、送り装置に用いられるリニアモータ
は、移動体の案内方向に対して２個のリニアモータが対
称に配置されている。これはリニアモータの固定子と可
動子の間に作用する磁気吸引力を相殺するためである。
従って、このようにリニアモータを対称配置することに
よって、移動体を案内する案内面等が磁気吸引力によっ
て変形することを防止できる。
移動体を移動させる送り装置にリニアモータを用いたも
のには、特開昭６３−２８３８３５号や特開平５−２２
８７６１号のようなものがある。このような送り装置に
みられるように、送り装置に用いられるリニアモータ
は、移動体の案内方向に対して２個のリニアモータが対
称に配置されている。これはリニアモータの固定子と可
動子の間に作用する磁気吸引力を相殺するためである。
従って、このようにリニアモータを対称配置することに
よって、移動体を案内する案内面等が磁気吸引力によっ
て変形することを防止できる。
【０００３】上記したようにリニアモータを対称配置し
た例を図４に示す。ただし、この場合は、リニアモータ
の推力を増大させるために対称配置されたリニアモータ
を並列に配置している。図４において、移動体９０は、
ベース９１上を案内レール９２に沿って、紙面に垂直な
方向に移動するようになっている。ベース９１は、左右
両側に側面梁９１ａを有するとともに、両側面梁９１ａ
の中央に中央梁９４を有しており、これらの梁によっ
て、２つの凹部が形成された構成となっている。また、
移動体９０の下面には、一対の可動子取付部材９５が、
前記２つの凹部の中央に位置するように垂直下方に向け
て取り付けられている。そして、この２つの凹部内に
は、各一対のリニアモータ９３が対称に配置されてい
る。即ち、凹部内における側面梁９１ａおよび中央梁９
４の側面には、リニアモータ９３の固定子９３ｂが取り
付けられ、可動子取付部材９５の両側面には、リニアモ
ータ９３の可動子９３ａが取り付けられている。
た例を図４に示す。ただし、この場合は、リニアモータ
の推力を増大させるために対称配置されたリニアモータ
を並列に配置している。図４において、移動体９０は、
ベース９１上を案内レール９２に沿って、紙面に垂直な
方向に移動するようになっている。ベース９１は、左右
両側に側面梁９１ａを有するとともに、両側面梁９１ａ
の中央に中央梁９４を有しており、これらの梁によっ
て、２つの凹部が形成された構成となっている。また、
移動体９０の下面には、一対の可動子取付部材９５が、
前記２つの凹部の中央に位置するように垂直下方に向け
て取り付けられている。そして、この２つの凹部内に
は、各一対のリニアモータ９３が対称に配置されてい
る。即ち、凹部内における側面梁９１ａおよび中央梁９
４の側面には、リニアモータ９３の固定子９３ｂが取り
付けられ、可動子取付部材９５の両側面には、リニアモ
ータ９３の可動子９３ａが取り付けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記したよう
にリニアモータ９３を対称に配置した場合、以下のよう
な問題が生じる。即ち、上記したように各リニアモータ
９３には、矢印に示すような磁気吸引力が作用する。こ
の時、矢印からも判るように移動体９０側の可動子取付
部材９５と、ベース９１側の中央梁９４には、左右対称
に磁気吸引力が作用するために、磁気吸引力は相殺され
て可動子取付部材９５と中央梁９４には、磁気吸引力に
よる変形は生じない。しかし、ベース９１の側面梁９１
ａには、片側一方しか磁気吸引力が作用しないため、変
形が生じてしまう問題がある。このため、案内レール９
２に係合する案内ブロック９２ａに大きなモーメントが
作用する。そして、移動体９０や案内レール９２が変形
し、案内レール９２と係合する案内ブロック９２ａ内の
ボールやローラが偏摩耗を起こす等の理由により寿命が
低下するとともに、移動体９０の送り精度が悪化する問
題があった。また、このような問題を回避するために、
側面梁９１ａの幅ｔを大きくする必要があり、ベース９
１が大型化するとともにコストが増加するという問題が
ある。以上述べた問題は、対称に配置されたリニアモー
タが一対の場合でも同様である。
にリニアモータ９３を対称に配置した場合、以下のよう
な問題が生じる。即ち、上記したように各リニアモータ
９３には、矢印に示すような磁気吸引力が作用する。こ
の時、矢印からも判るように移動体９０側の可動子取付
部材９５と、ベース９１側の中央梁９４には、左右対称
に磁気吸引力が作用するために、磁気吸引力は相殺され
て可動子取付部材９５と中央梁９４には、磁気吸引力に
よる変形は生じない。しかし、ベース９１の側面梁９１
ａには、片側一方しか磁気吸引力が作用しないため、変
形が生じてしまう問題がある。このため、案内レール９
２に係合する案内ブロック９２ａに大きなモーメントが
作用する。そして、移動体９０や案内レール９２が変形
し、案内レール９２と係合する案内ブロック９２ａ内の
ボールやローラが偏摩耗を起こす等の理由により寿命が
低下するとともに、移動体９０の送り精度が悪化する問
題があった。また、このような問題を回避するために、
側面梁９１ａの幅ｔを大きくする必要があり、ベース９
１が大型化するとともにコストが増加するという問題が
ある。以上述べた問題は、対称に配置されたリニアモー
タが一対の場合でも同様である。
【０００５】本発明は、以上の問題を解決するためにな
されたものであり、リニアモータによる磁気吸引力の影
響をなくして、案内ブロック等の寿命の低下を防止する
とともに、送り精度を向上させることができる送り装置
を提供することを目的とする。
されたものであり、リニアモータによる磁気吸引力の影
響をなくして、案内ブロック等の寿命の低下を防止する
とともに、送り精度を向上させることができる送り装置
を提供することを目的とする。
【０００６】↑
【課題を解決するための手段】本発明は上述した目的を
達成する手段として、請求項１の手段は、ベース上に移
動体を移動可能に支持し、前記移動体を可動子と固定子
とを備えるリニアモータによって移動させるリニアモー
タを用いた送り装置であって、前記ベースに設けられた
一対の梁と、前記移動体に取り付けられ前記一対の梁の
間に位置する平板形状の可動子取付部材と、前記可動子
取付部材の２つの平行な側面のそれぞれに取り付けられ
た前記可動子と、それぞれの前記可動子に対向するよう
に前記一対の梁のそれぞれの側面に取り付けられた前記
固定子と、前記一対の梁のそれぞれの上部に設けられ、
前記固定子が取り付けられた前記一対の梁のそれぞれの
側面と平行に形成された静圧案内面と、前記移動体に形
成され、前記静圧案内面と対向する摺動面と、前記摺動
面と前記静圧案内面との間に圧油を供給して油圧力を発
生させる圧油供給手段と、前記一対の梁のそれぞれの側
面に作用する前記リニアモータの磁気吸引力を相殺させ
る前記油圧力となるように前記圧油の圧力を調整する圧
力調整手段とを備えたものである。
達成する手段として、請求項１の手段は、ベース上に移
動体を移動可能に支持し、前記移動体を可動子と固定子
とを備えるリニアモータによって移動させるリニアモー
タを用いた送り装置であって、前記ベースに設けられた
一対の梁と、前記移動体に取り付けられ前記一対の梁の
間に位置する平板形状の可動子取付部材と、前記可動子
取付部材の２つの平行な側面のそれぞれに取り付けられ
た前記可動子と、それぞれの前記可動子に対向するよう
に前記一対の梁のそれぞれの側面に取り付けられた前記
固定子と、前記一対の梁のそれぞれの上部に設けられ、
前記固定子が取り付けられた前記一対の梁のそれぞれの
側面と平行に形成された静圧案内面と、前記移動体に形
成され、前記静圧案内面と対向する摺動面と、前記摺動
面と前記静圧案内面との間に圧油を供給して油圧力を発
生させる圧油供給手段と、前記一対の梁のそれぞれの側
面に作用する前記リニアモータの磁気吸引力を相殺させ
る前記油圧力となるように前記圧油の圧力を調整する圧
力調整手段とを備えたものである。
【０００７】請求項２の手段は、ベース上に移動体を移
動可能に支持し、前記移動体を可動子と固定子とを備え
るリニアモータによって移動させるリニアモータを用い
た送り装置であって、前記ベースに設けられた一対の梁
と、前記移動体に取り付けられ前記一対の梁の間に位置
する平板形状の可動子取付部材と、前記可動子取付部材
の２つの平行な側面のそれぞれに取り付けられた前記可
動子と、それぞれの前記可動子に対向するように前記一
対の梁のそれぞれの側面に取り付けられた前記固定子
と、前記一対の梁のそれぞれの上部に設けられ、前記固
定子が取り付けられた前記一対の梁のそれぞれの側面と
直交しかつ前記移動体の移動方向と平行な軸を含むよう
に形成された第１静圧案内面と、前記移動体に形成さ
れ、前記第１静圧案内面と対向する第１摺動面と、前記
第１静圧面と直交するように形成された第２静圧案内面
と、前記移動体に形成され、前記第２静圧案内面と対向
する第２摺動面と、前記第１静圧案内面と前記第１摺動
面の間および前記第２静圧案内面と前記第２摺動面の間
に圧油を供給して油圧力を発生させる圧油供給手段と、
前記一対の梁のそれぞれの側面に作用する前記リニアモ
ータの磁気吸引力を相殺させる前記油圧力となるように
前記第２静圧案内面と前記第２摺動面との間に供給する
前記圧油の圧力を調整する圧力調整手段とを備えたもの
である。
動可能に支持し、前記移動体を可動子と固定子とを備え
るリニアモータによって移動させるリニアモータを用い
た送り装置であって、前記ベースに設けられた一対の梁
と、前記移動体に取り付けられ前記一対の梁の間に位置
する平板形状の可動子取付部材と、前記可動子取付部材
の２つの平行な側面のそれぞれに取り付けられた前記可
動子と、それぞれの前記可動子に対向するように前記一
対の梁のそれぞれの側面に取り付けられた前記固定子
と、前記一対の梁のそれぞれの上部に設けられ、前記固
定子が取り付けられた前記一対の梁のそれぞれの側面と
直交しかつ前記移動体の移動方向と平行な軸を含むよう
に形成された第１静圧案内面と、前記移動体に形成さ
れ、前記第１静圧案内面と対向する第１摺動面と、前記
第１静圧面と直交するように形成された第２静圧案内面
と、前記移動体に形成され、前記第２静圧案内面と対向
する第２摺動面と、前記第１静圧案内面と前記第１摺動
面の間および前記第２静圧案内面と前記第２摺動面の間
に圧油を供給して油圧力を発生させる圧油供給手段と、
前記一対の梁のそれぞれの側面に作用する前記リニアモ
ータの磁気吸引力を相殺させる前記油圧力となるように
前記第２静圧案内面と前記第２摺動面との間に供給する
前記圧油の圧力を調整する圧力調整手段とを備えたもの
である。
【０００８】
【作用】請求項１においては、リニアモータが作動する
と、固定子と可動子との間に磁気吸引力が発生する。こ
の時、可動子取付部材の両側に作用する磁気吸引力は相
殺されるために可動子取付部材に変形は生じない。しか
し、梁には片側のみしか磁気吸引力が作用しないために
変形が生じる。このため、圧油供給手段によって、摺動
面と静圧案内面との間に圧油を供給し、梁に作用する磁
気吸引力と反対方向の力を発生させることによって、梁
の変形を防止する。
と、固定子と可動子との間に磁気吸引力が発生する。こ
の時、可動子取付部材の両側に作用する磁気吸引力は相
殺されるために可動子取付部材に変形は生じない。しか
し、梁には片側のみしか磁気吸引力が作用しないために
変形が生じる。このため、圧油供給手段によって、摺動
面と静圧案内面との間に圧油を供給し、梁に作用する磁
気吸引力と反対方向の力を発生させることによって、梁
の変形を防止する。
【０００９】請求項２においては、移動体を第１静圧案
内面と第２静圧案内面によって静圧支持によって案内す
る。そして、この静圧案内面の一方である第２静圧案内
面と第２摺動面との間に発生する圧力を用いて梁の変形
を防止する。
内面と第２静圧案内面によって静圧支持によって案内す
る。そして、この静圧案内面の一方である第２静圧案内
面と第２摺動面との間に発生する圧力を用いて梁の変形
を防止する。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例について図１，２，３を参照
して説明する。図１に示すように本実施例のリニアモー
タを用いた送り装置は、ベース１、移動体３および４つ
のリニアモータ５を主な構成としている。このような構
成によって、移動体３は、ベース１上を後述する静圧案
内面によって支持され、図１，２の紙面に垂直な方向に
移動するようになっている。ベース１は、左右両側に側
面梁１３を有するとともに、この２つの側面梁１３の中
央に中央梁１４を有している。従って、これらの梁１
３，１４によって、並列に２つの凹部１２が形成されて
いる。左右両側の側面梁１３上には、コの字型のガイド
ブロック１５が取り付けられている。このガイドブロッ
ク１５は、図１，２の紙面に垂直な方向に長い、後述す
る静圧案内面を形成しており、この静圧案内面に移動体
３が案内されている。
して説明する。図１に示すように本実施例のリニアモー
タを用いた送り装置は、ベース１、移動体３および４つ
のリニアモータ５を主な構成としている。このような構
成によって、移動体３は、ベース１上を後述する静圧案
内面によって支持され、図１，２の紙面に垂直な方向に
移動するようになっている。ベース１は、左右両側に側
面梁１３を有するとともに、この２つの側面梁１３の中
央に中央梁１４を有している。従って、これらの梁１
３，１４によって、並列に２つの凹部１２が形成されて
いる。左右両側の側面梁１３上には、コの字型のガイド
ブロック１５が取り付けられている。このガイドブロッ
ク１５は、図１，２の紙面に垂直な方向に長い、後述す
る静圧案内面を形成しており、この静圧案内面に移動体
３が案内されている。
【００１１】移動体３は、ガイドブロック１５のコの字
型の内側に位置して案内される第１摺動部材３１と、ガ
イドブロック１５のコの字型の背面に対接して案内され
る第２摺動部材３２とを有している。また、移動体３の
下面には、一対の可動子取付部材３５が、ベース１に設
けられた２つの凹部１２のそれぞれの中央に位置するよ
うに垂直下方に向けて取り付けられている。
型の内側に位置して案内される第１摺動部材３１と、ガ
イドブロック１５のコの字型の背面に対接して案内され
る第２摺動部材３２とを有している。また、移動体３の
下面には、一対の可動子取付部材３５が、ベース１に設
けられた２つの凹部１２のそれぞれの中央に位置するよ
うに垂直下方に向けて取り付けられている。
【００１２】４つのリニアモータ５の各可動子５１は、
可動子取付部材３５の側面にそれぞれ取り付けられてい
る。また、リニアモータ５の各固定子５２は、各可動子
５１と対向するように側面梁１３および中央梁１４の側
面に取り付けられている。この固定子５２は、永久磁石
のＮ極とＳ極が長手方向に交互に配置された構成となっ
ている。また可動子５１には、コイルが内蔵されてい
る。そして、図略の制御装置よりこの可動子５１内のコ
イルが励磁された時には、各可動子５１の推力は同じ方
向に作用するようになっており、可動子５１に発生する
推力によって、移動体３が移動するようになっている。
可動子取付部材３５の側面にそれぞれ取り付けられてい
る。また、リニアモータ５の各固定子５２は、各可動子
５１と対向するように側面梁１３および中央梁１４の側
面に取り付けられている。この固定子５２は、永久磁石
のＮ極とＳ極が長手方向に交互に配置された構成となっ
ている。また可動子５１には、コイルが内蔵されてい
る。そして、図略の制御装置よりこの可動子５１内のコ
イルが励磁された時には、各可動子５１の推力は同じ方
向に作用するようになっており、可動子５１に発生する
推力によって、移動体３が移動するようになっている。
【００１３】次に上記した移動体３を静圧案内面によっ
て支持する構成について図２，３に基づいて説明する。
図２は、図１の左半分のみを表しているが、以下に説明
する各ポケット３１ａ，３１ｂ，３２ａは、左右対称に
設けられている。上記したガイドブロック１５の内側上
面である上方案内面１５ａ（第１案内面）に対接する第
１摺動部材３１の上面には、ポケット３１ａが形成され
ている。このポケット３１ａは、後述する図３に示すポ
ケット３２ａと同様に第１摺動部材３１の長手方向（図
１，２の紙面に垂直な方向）に複数設けられている。同
様にガイドブロック１５の内側下面である下方案内面１
５ｂに対接する第１摺動部材３１の下面には、ポケット
３１ｂが形成されている。また、このポケット３１ｂ
は、ポケット３１ａと同様に第１摺動部材３１の長手方
向に複数設けられている。また、ガイドブロック１５の
背面に形成された側方案内面１５ｃ（第２案内面）に対
接する第２摺動部材３２の側面には、ポケット３２ａが
形成されている。このポケット３２ａは、図３に示すよ
うに第１摺動部材３１の長手方向（図１，２の紙面に垂
直な方向、図３の左右方向）に複数設けられている。な
お、図３おいて４４ｂは、後述するポケット３２ａに圧
油を供給する管路４４の開口端である。
て支持する構成について図２，３に基づいて説明する。
図２は、図１の左半分のみを表しているが、以下に説明
する各ポケット３１ａ，３１ｂ，３２ａは、左右対称に
設けられている。上記したガイドブロック１５の内側上
面である上方案内面１５ａ（第１案内面）に対接する第
１摺動部材３１の上面には、ポケット３１ａが形成され
ている。このポケット３１ａは、後述する図３に示すポ
ケット３２ａと同様に第１摺動部材３１の長手方向（図
１，２の紙面に垂直な方向）に複数設けられている。同
様にガイドブロック１５の内側下面である下方案内面１
５ｂに対接する第１摺動部材３１の下面には、ポケット
３１ｂが形成されている。また、このポケット３１ｂ
は、ポケット３１ａと同様に第１摺動部材３１の長手方
向に複数設けられている。また、ガイドブロック１５の
背面に形成された側方案内面１５ｃ（第２案内面）に対
接する第２摺動部材３２の側面には、ポケット３２ａが
形成されている。このポケット３２ａは、図３に示すよ
うに第１摺動部材３１の長手方向（図１，２の紙面に垂
直な方向、図３の左右方向）に複数設けられている。な
お、図３おいて４４ｂは、後述するポケット３２ａに圧
油を供給する管路４４の開口端である。
【００１４】次に各ポケット３１ａ，３１ｂ，３２ａに
圧油を供給する圧油供給手段について説明する。各ポケ
ット３１ａ，３１ｂ，３２ａに圧油を供給する手段は、
それぞれ別個に圧力が調整できるように、それぞれが独
立して構成されているが、基本的に同じ構成であるた
め、ポケット３２ａについてのみ説明する。ポケット３
２ａに圧油を供給する圧油供給手段４０は、ポンプ４
２、管路４４、レリーフ弁４３および減圧弁４１からな
っている。ポンプ４２は、モータによって駆動され、管
路４４に圧油を供給する。管路４４は、ポケット３２ａ
に連通し、ポンプ４２から供給される圧油をポケット３
２ａ内に供給する。管路４４は、上記した図３に示す第
２摺動部材３２の長手方向に形成された複数のポケット
３２ａを連結するとともに、図１に示す左右対称に配置
された第２摺動部材３２のそれぞれに設けられたポケッ
ト３２ａを連結している。また、管路４４のポケット３
２ａへの開口端４４ｂ近傍には絞り４４ａが設けられて
いる。従って、圧油によって左右対称の圧力がガイドブ
ロック１５の背面に作用するようになっている。
圧油を供給する圧油供給手段について説明する。各ポケ
ット３１ａ，３１ｂ，３２ａに圧油を供給する手段は、
それぞれ別個に圧力が調整できるように、それぞれが独
立して構成されているが、基本的に同じ構成であるた
め、ポケット３２ａについてのみ説明する。ポケット３
２ａに圧油を供給する圧油供給手段４０は、ポンプ４
２、管路４４、レリーフ弁４３および減圧弁４１からな
っている。ポンプ４２は、モータによって駆動され、管
路４４に圧油を供給する。管路４４は、ポケット３２ａ
に連通し、ポンプ４２から供給される圧油をポケット３
２ａ内に供給する。管路４４は、上記した図３に示す第
２摺動部材３２の長手方向に形成された複数のポケット
３２ａを連結するとともに、図１に示す左右対称に配置
された第２摺動部材３２のそれぞれに設けられたポケッ
ト３２ａを連結している。また、管路４４のポケット３
２ａへの開口端４４ｂ近傍には絞り４４ａが設けられて
いる。従って、圧油によって左右対称の圧力がガイドブ
ロック１５の背面に作用するようになっている。
【００１５】レリーフ弁４３は、ポンプ４２から吐出す
る圧力を一定圧に制御するものである。減圧弁４１は、
レリーフ弁４３によって一定圧に制御した圧力を手動に
よって微調整するものである。なお、上記ポケット３１
ａ，３１ｂについても、同様な構成で圧油が供給される
が、圧力の供給源であるポンプ４２は共用している。ま
た、ポケット３１ａ，３１ｂに連通する管路４５，４６
についても、第１摺動部材３１の長手方向および左右対
称に配置された第１摺動部材３１のそれぞれに設けられ
た各ポケット３１ａ，３１ｂを連結している。管路４
５，４６のポケット３１ａ，３１ｂへの開口端近傍に
は、絞り４５ａ，４６ａが設けられている。従って、管
路４５からの圧油によって左右対称の圧力がガイドブロ
ック１５の内側上面に作用し、管路４６からの圧油によ
って左右対称の圧力がガイドブロック１５の内側下面に
作用するようになっている。
る圧力を一定圧に制御するものである。減圧弁４１は、
レリーフ弁４３によって一定圧に制御した圧力を手動に
よって微調整するものである。なお、上記ポケット３１
ａ，３１ｂについても、同様な構成で圧油が供給される
が、圧力の供給源であるポンプ４２は共用している。ま
た、ポケット３１ａ，３１ｂに連通する管路４５，４６
についても、第１摺動部材３１の長手方向および左右対
称に配置された第１摺動部材３１のそれぞれに設けられ
た各ポケット３１ａ，３１ｂを連結している。管路４
５，４６のポケット３１ａ，３１ｂへの開口端近傍に
は、絞り４５ａ，４６ａが設けられている。従って、管
路４５からの圧油によって左右対称の圧力がガイドブロ
ック１５の内側上面に作用し、管路４６からの圧油によ
って左右対称の圧力がガイドブロック１５の内側下面に
作用するようになっている。
【００１６】図１，２において、１６は、ポケット３２
ａから流出する圧油を回収するための第１圧油回収通路
であり、ベース１の長手方向に取り付けられている。同
様に１７は、ポケット３１ａ，３１ｂから流出する圧油
を回収するための第２圧油回収通路であり、ベース１の
長手方向に取り付けられている。次に以上の構成に基づ
いて本実施例の作用を説明する。
ａから流出する圧油を回収するための第１圧油回収通路
であり、ベース１の長手方向に取り付けられている。同
様に１７は、ポケット３１ａ，３１ｂから流出する圧油
を回収するための第２圧油回収通路であり、ベース１の
長手方向に取り付けられている。次に以上の構成に基づ
いて本実施例の作用を説明する。
【００１７】移動体３を移動させるに際して、まずポン
プ４２が駆動され、各ポケット３１ａ，３１ｂ，３２ａ
に圧油が供給される。これによって、ガイドブロック１
５の内側上面、内側下面および背面と各ポケット３１
ａ，３１ｂ，３２ａの間に油膜が形成され、移動体３は
ガイドブロック１５に対して静圧支持される。この時、
各ポケット３１ａ，３１ｂ，３２ａから外部に流出する
圧油は、第１圧油回収通路１６および第２圧油回収通路
１７によって回収され、再び利用されるようになってい
る。
プ４２が駆動され、各ポケット３１ａ，３１ｂ，３２ａ
に圧油が供給される。これによって、ガイドブロック１
５の内側上面、内側下面および背面と各ポケット３１
ａ，３１ｂ，３２ａの間に油膜が形成され、移動体３は
ガイドブロック１５に対して静圧支持される。この時、
各ポケット３１ａ，３１ｂ，３２ａから外部に流出する
圧油は、第１圧油回収通路１６および第２圧油回収通路
１７によって回収され、再び利用されるようになってい
る。
【００１８】このように移動体３が静圧支持された状態
で、図略の制御装置より４つのリニアモータ５の可動子
５１内のコイルが励磁されると、それぞれ対向する固定
子５２との間に推力が発生する。この推力によって移動
体３は、ガイドブロック１５に沿って移動する。この
時、４組の可動子５１と固定子５２の間には、磁気吸引
力が発生する。この磁気吸引力を矢印で示すと、図１に
おいて、左端のリニアモータ５には、矢印６１，６２で
示される磁気吸引力が作用し、順に次のリニアモータ５
には、矢印６３，６４で示される磁気吸引力が作用し、
さらに次のリニアモータ５には、矢印６５，６６で示さ
れる磁気吸引力が作用し、右端のリニアモータ５には、
矢印６７，６８で示される磁気吸引力が作用する。これ
ら４つのリニアモータ５は同じものであるため、各磁気
吸引力の大きさは同じである。このため、従来技術の欄
でも説明したように、図１の左側の可動子取付部材３５
の両側に作用する磁気吸引力（矢印６２，６３）は打ち
消し合い、右側の可動子取付部材３５の両側に作用する
磁気吸引力（矢印６６，６７）も打ち消し合う。従っ
て、２つの可動子取付部材３５には変形は生じない。ま
た、中央梁１４の両側に作用する磁気吸引力（矢印６
４，６５）も打ち消し合う。従って、この中央梁１４に
も変形は生じない。しかし、両側の側面梁１３のそれぞ
れに作用する磁気吸引力（矢印６３，６８）は、他の磁
気吸引力によって打ち消されることはない。従って、こ
の磁気吸引力（矢印６３，６８）を相殺する方向の力
を、ポケット３２ａの圧油を調節することにより、側面
梁１３に作用させるのである。
で、図略の制御装置より４つのリニアモータ５の可動子
５１内のコイルが励磁されると、それぞれ対向する固定
子５２との間に推力が発生する。この推力によって移動
体３は、ガイドブロック１５に沿って移動する。この
時、４組の可動子５１と固定子５２の間には、磁気吸引
力が発生する。この磁気吸引力を矢印で示すと、図１に
おいて、左端のリニアモータ５には、矢印６１，６２で
示される磁気吸引力が作用し、順に次のリニアモータ５
には、矢印６３，６４で示される磁気吸引力が作用し、
さらに次のリニアモータ５には、矢印６５，６６で示さ
れる磁気吸引力が作用し、右端のリニアモータ５には、
矢印６７，６８で示される磁気吸引力が作用する。これ
ら４つのリニアモータ５は同じものであるため、各磁気
吸引力の大きさは同じである。このため、従来技術の欄
でも説明したように、図１の左側の可動子取付部材３５
の両側に作用する磁気吸引力（矢印６２，６３）は打ち
消し合い、右側の可動子取付部材３５の両側に作用する
磁気吸引力（矢印６６，６７）も打ち消し合う。従っ
て、２つの可動子取付部材３５には変形は生じない。ま
た、中央梁１４の両側に作用する磁気吸引力（矢印６
４，６５）も打ち消し合う。従って、この中央梁１４に
も変形は生じない。しかし、両側の側面梁１３のそれぞ
れに作用する磁気吸引力（矢印６３，６８）は、他の磁
気吸引力によって打ち消されることはない。従って、こ
の磁気吸引力（矢印６３，６８）を相殺する方向の力
を、ポケット３２ａの圧油を調節することにより、側面
梁１３に作用させるのである。
【００１９】即ち、図３に示すようにポケット３２ａか
ら供給される圧油は、ガイドブロック１５の背面を押圧
し、矢印６９方向の力をガイドブロック１５に作用させ
る。ガイドブロック１５は、側面梁１３に固着されてい
るため、同方向の力が側面梁１３に作用する。従って、
この矢印６９方向の油圧力を減圧弁４１を手動によって
調整することにより、側面梁１３に作用する磁気吸引力
と相殺させることができる。
ら供給される圧油は、ガイドブロック１５の背面を押圧
し、矢印６９方向の力をガイドブロック１５に作用させ
る。ガイドブロック１５は、側面梁１３に固着されてい
るため、同方向の力が側面梁１３に作用する。従って、
この矢印６９方向の油圧力を減圧弁４１を手動によって
調整することにより、側面梁１３に作用する磁気吸引力
と相殺させることができる。
【００２０】この油圧力と磁気吸引力とが相殺されたこ
とを判断するためには、磁気吸引力による側面梁１３の
変形量を実測しておき、油圧を作用させることよって、
この変形量が０に接近する時を適切と判断することがで
きる。しかし、移動体３の直進性が最も良好となった時
の油圧力を磁気吸引力を相殺したと判断することも可能
である。
とを判断するためには、磁気吸引力による側面梁１３の
変形量を実測しておき、油圧を作用させることよって、
この変形量が０に接近する時を適切と判断することがで
きる。しかし、移動体３の直進性が最も良好となった時
の油圧力を磁気吸引力を相殺したと判断することも可能
である。
【００２１】以上述べたように本実施例では、側面梁１
３に作用する磁気吸引力をポケット３２ａによる静圧力
によって相殺することができる。しかし、現実に移動体
３上に工具等を載置する場合には、工具による加工時の
切削抵抗によって、ポケット３２ａによる静圧力は変動
することになる。しかし、この切削抵抗による変動量は
磁気吸引力に対して十分小さいため、このような変動に
対しても本実施例の効果は失われるものではない。
３に作用する磁気吸引力をポケット３２ａによる静圧力
によって相殺することができる。しかし、現実に移動体
３上に工具等を載置する場合には、工具による加工時の
切削抵抗によって、ポケット３２ａによる静圧力は変動
することになる。しかし、この切削抵抗による変動量は
磁気吸引力に対して十分小さいため、このような変動に
対しても本実施例の効果は失われるものではない。
【００２２】上記した実施例では、左右対称に配置され
たリニアモータを並列に２組配置した計４つのリニアモ
ータを用いた構成であるが、１組の左右対称に配置され
たリニアモータから成る構成としても良い。また、上記
した実施例では、移動体を静圧案内面によって案内する
構成としているが、移動体をボールやローラを用いた転
がり軸受によって案内し、磁気吸引力を相殺する手段に
のみ静圧案内面を用いた構成としても良い。
たリニアモータを並列に２組配置した計４つのリニアモ
ータを用いた構成であるが、１組の左右対称に配置され
たリニアモータから成る構成としても良い。また、上記
した実施例では、移動体を静圧案内面によって案内する
構成としているが、移動体をボールやローラを用いた転
がり軸受によって案内し、磁気吸引力を相殺する手段に
のみ静圧案内面を用いた構成としても良い。
【００２３】さらに上記した実施例では、リニアモータ
の可動子側にコイルを設け、固定子側に永久磁石を設け
た構成としたが、可動子側に永久磁石を設け、固定子側
にコイルを設けた構成としても良い。また、リニアモー
タの種類は、直流モータ、誘導モータ、ステッピングモ
ータ等の特に種類は限定されない。
の可動子側にコイルを設け、固定子側に永久磁石を設け
た構成としたが、可動子側に永久磁石を設け、固定子側
にコイルを設けた構成としても良い。また、リニアモー
タの種類は、直流モータ、誘導モータ、ステッピングモ
ータ等の特に種類は限定されない。
【００２４】
【発明の効果】本発明における請求項１においては、リ
ニアモータの固定子と可動子との間に磁気吸引力が作用
しても、圧油供給手段によって、摺動面と静圧案内面と
の間に圧油を供給し、梁に作用する磁気吸引力と反対方
向の力を発生させることによって、梁の変形を防止する
ことができる。即ち、静圧案内面を使用しているため
に、梁のそれぞれに対して、磁気吸引力と反対方向の力
を発生させることができる。また、このような一方向の
力を静圧案内面に対して発生させても、静圧支持である
ため、静圧案内面の摩耗量はボールやローラ等によって
支持する場合に比べ非常に小さい。
ニアモータの固定子と可動子との間に磁気吸引力が作用
しても、圧油供給手段によって、摺動面と静圧案内面と
の間に圧油を供給し、梁に作用する磁気吸引力と反対方
向の力を発生させることによって、梁の変形を防止する
ことができる。即ち、静圧案内面を使用しているため
に、梁のそれぞれに対して、磁気吸引力と反対方向の力
を発生させることができる。また、このような一方向の
力を静圧案内面に対して発生させても、静圧支持である
ため、静圧案内面の摩耗量はボールやローラ等によって
支持する場合に比べ非常に小さい。
【００２５】このように本発明では、梁の変形が防止で
きるため、案内ブロック等の案内面の寿命の低下を防止
することができる。また、必要以上に梁の剛性を高める
必要がないため、梁の幅を小さくできる。さらに、案内
面に変形が生じないために送り精度を向上させることが
できる。請求項２においては、移動体を第１静圧案内面
と第２静圧案内面によって静圧支持によって案内し、こ
の静圧案内面の一方である第２静圧案内面を用いて梁の
変形を防止する。このため、静圧送り装置の圧油供給手
段を利用して梁の変形を防止することができる。従っ
て、簡単な構成となるため、低コストな装置を提供する
ことができる。
きるため、案内ブロック等の案内面の寿命の低下を防止
することができる。また、必要以上に梁の剛性を高める
必要がないため、梁の幅を小さくできる。さらに、案内
面に変形が生じないために送り精度を向上させることが
できる。請求項２においては、移動体を第１静圧案内面
と第２静圧案内面によって静圧支持によって案内し、こ
の静圧案内面の一方である第２静圧案内面を用いて梁の
変形を防止する。このため、静圧送り装置の圧油供給手
段を利用して梁の変形を防止することができる。従っ
て、簡単な構成となるため、低コストな装置を提供する
ことができる。
【図１】本発明の実施例の全体構成図である。
【図２】本実施例の油圧供給部分を示した図でしある。
【図３】本実施例のポケットを示した図である。
【図４】従来技術を説明するための図である。
１ ベース
３ 移動体
５ リニアモータ
１３ 側面梁
１４ 中央梁
１５ ガイドブロック
１５ａ 上方案内面
１５ｃ 側方案内面
３２ 第２摺動部材
３２ａ ポケット
３５ 可動子取付部材
４０ 圧油供給手段
５１ 可動子
５２ 固定子
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B23Q 5/28
B23Q 1/26
H02K 41/00 - 41/06
Claims (2)
- 【請求項１】ベース上に移動体を移動可能に支持し、前
記移動体を可動子と固定子とを備えるリニアモータによ
って移動させるリニアモータを用いた送り装置であっ
て、 前記ベースに設けられた一対の梁と、 前記移動体に取り付けられ前記一対の梁の間に位置する
平板形状の可動子取付部材と、前記 可動子取付部材の２つの平行な側面のそれぞれに取
り付けられた前記可動子と、それぞれの前記 可動子に対向するように前記一対の梁の
それぞれの側面に取り付けられた前記固定子と、前記 一対の梁のそれぞれの上部に設けられ、前記固定子
が取り付けられた前記一対の梁のそれぞれの側面と平行
に形成された静圧案内面と、 前記移動体に形成され、前記静圧案内面と対向する摺動
面と、前記 摺動面と前記静圧案内面との間に圧油を供給して油
圧力を発生させる圧油供給手段と、 前記一対の梁のそれぞれの側面に作用する前記リニアモ
ータの磁気吸引力を相殺させる前記油圧力となるように
前記圧油の圧力を調整する圧力調整手段 とを備えたこと
を特徴とするリニアモータを用いた送り装置。 - 【請求項２】ベース上に移動体を移動可能に支持し、前
記移動体を可動子と固定子とを備えるリニアモータによ
って移動させるリニアモータを用いた送り装置であっ
て、 前記ベースに設けられた一対の梁と、前記移動体に取り付けられ前記一対の梁の間に位置する
平板形状の可動子取付部材と、 前記可動子取付部材の２つの平行な側面のそれぞれに取
り付けられた前記可動子と、 それぞれの前記可動子に対向するように前記一対の梁の
それぞれの側面に取り付けられた前記固定子と、 前記 一対の梁のそれぞれの上部に設けられ、前記固定子
が取り付けられた前記一対の梁のそれぞれの側面と直交
しかつ前記移動体の移動方向と平行な軸を含むように形
成された第１静圧案内面と、 前記移動体に形成され、前記第１静圧案内面と対向する
第１摺動面と、前記第１静圧面と直交するように形成された第２静圧案
内面と、 前記移動体に形成され、前記第２静圧案内面と対向する
第２摺動面と、 前記第１静圧案内面と前記第１摺動面の間および前記第
２静圧案内面と前記第２摺動面の間に圧油を供給して油
圧力を発生させる圧油供給手段と、 前記一対の梁のそれぞれの側面に作用する前記リニアモ
ータの磁気吸引力を相殺させる前記油圧力となるように
前記第２静圧案内面と前記第２摺動面との間に供給する
前記圧油の圧力を調整する圧力調整手段 とを備えたこと
を特徴とするリニアモータを用いた送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16996095A JP3509308B2 (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | リニアモータを用いた送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16996095A JP3509308B2 (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | リニアモータを用いた送り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0919844A JPH0919844A (ja) | 1997-01-21 |
| JP3509308B2 true JP3509308B2 (ja) | 2004-03-22 |
Family
ID=15896026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16996095A Expired - Fee Related JP3509308B2 (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | リニアモータを用いた送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3509308B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100488850B1 (ko) * | 2002-02-06 | 2005-05-11 | 주식회사 져스텍 | 메인터넌스 시스템이 구비된 리니어 모터 |
| JP4508176B2 (ja) * | 2006-10-13 | 2010-07-21 | 株式会社ジェイテクト | 工作機械における摺動体の案内機構 |
-
1995
- 1995-07-05 JP JP16996095A patent/JP3509308B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0919844A (ja) | 1997-01-21 |
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