JP3509202B2 - 非接触容積測定方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、測定物表面上に照射さ
れたスリット光をテレビカメラにより撮影されたスリッ
ト画像に基づくスリットデータの各要素間の変位および
変化率から測定物の表面部分を判別するとともに、前記
測定物の表面部分の基準となる基準面を近似する近似式
に基づき前記基準面の傾きおよび位置のずれを求めてス
リット毎の容積を算出し、それを積分して測定物の測定
すべき容積を求めるようにした非接触容積測定方法およ
び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の非接触容積測定装置（特開平４−
３０１７０７および特開平４−３０１７０８）は、図７
に示すように測定物Ｔの表面部分の基準となる基準面Ｒ
の位置および傾きを固定として、測定を行いスリット毎
にその基準面Ｒからの距離すなわち奥行きを求めてそれ
らを加算し、測定物Ｔの凹部Ｃの容積を求めていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の非接触容積
測定装置は、前記測定物Ｔの基準面Ｒの位置および傾き
を固定として、測定を行い前記測定物Ｔの前記凹部Ｃの
容積を求めるものであるため、前記測定物Ｔの傾きおよ
び位置、あるいはセンサであるカメラの傾きおよび位置
が変化する場合や、前記基準面Ｒが曲面である場合に
は、前記測定物Ｔの前記凹部Ｃの容積を正確に演算する
ことが出来ないという問題が有った。

【０００４】そこで本発明者らは、測定物表面上に照射
されたスリット光をテレビカメラによって撮影されたス
リット画像に基づく３次元座標のスリットデータの各要
素間の変位又は変化率から測定物の基準面を判別すると
ともに、前記測定物の基準面を近似する近似式に基づき
前記基準面の傾きおよび位置のずれを求めて前記測定物
の凹部の容積を求めるという本発明の技術的思想に着眼
し、さらに研究開発を重ねた結果、前記測定物の基準面
に傾きおよび位置のずれが有っても、前記測定物の凹部
の容積を正確に求めることが出来るという目的を達成す
る本発明に到達した。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
の第１発明）の非接触容積測定方法は、スリット光源よ
り測定物にスリット光を投射し、測定物表面上のスリッ
ト光をテレビカメラによりスリット画像として取込み、
取り込んだスリット画像をもとに所定座標からの３次
元座標データであるスリットデータの演算を行い、この
スリットデータによりスリット投射位置のスリット毎の
容積を算出し、それを積分して測定すべき容積を求める
非接触容積測定方法において、前記スリットデータの各
要素間の変位又は変化率から測定物の表面部分を判別す
るとともに、前記測定物の判別された表面部分の基準と
なる基準面を、そのスリットデータに基づき近似し、該
判別した表面部分と該判別した表面部分の基準となる基
準面とのずれを求めて、前記スリットデータにより前記
スリット投射位置のスリット毎の容積を算出するように
したものである。

【０００６】本発明（請求項２に記載の第２発明）の非
接触容積測定方法は、第１発明において、前記スリット
データの各要素間の変位又は変化率の急変により前記測
定物の表面部分を判別するものである。

【０００７】本発明（請求項３に記載の第３発明）の非
接触容積測定方法は、前記第１発明において、前記測定
物の判別された表面部分の基準となる基準面の位置およ
び傾きを、そのスリットデータに基づき近似するもので
ある。

【０００８】本発明（請求項４に記載の第４発明）の非
接触容積測定方法は、前記第３発明において、前記測定
物の前記基準面を、そのスリットデータより適合する近
似式を探索して近似式により近似するものである。

【０００９】本発明（請求項５に記載の第５発明）の非
接触容積測定方法は、前記第４発明において、前記測定
物の前記基準面を近似する近似式に基づき前記基準面の
傾きおよび位置のずれを求め、求めた前記基準面の傾き
および位置のずれにより前記容積演算を補償するもので
ある。

【００１０】本発明（請求項６に記載の第６発明）の非
接触容積測定方法は、前記第５発明において、前記測定
物の前記基準面を近似する近似式に基づくデータと取り
込んだ計測データとの差を求めて、求めた差により前記
容積演算を補償するものである。

【００１１】本発明（請求項７に記載の第７発明）の非
接触容積測定装置は、測定物を所定方向に所定距離移動
する移動台と、前記測定物にスリット光を照射するスリ
ット光源と、前記スリット光源から照射されたスリット
光が測定物に当たっている時のスリット画像を撮影する
カメラと、前記カメラから得られるスリット画像から３
次元座標のスリットデータを演算する３次元座標演算手
段と、演算されたスリットデータより前記測定物の表面
部分の基準となる基準面に適合する近似式を探索して近
似式により近似する近似手段と、前記近似式に基づき前
記基準面の傾きおよび位置のずれを求め、求めた前記基
準面の傾きおよび位置のずれにより補償してスリット毎
の容積を算出し、それを積分して測定すべき容積を求め
る容積演算手段とから成る画像処理装置とから成るもの
である。

【００１２】本発明（請求項８に記載の第８発明）の非
接触容積測定方法は、前記第６発明において、前記スリ
ットデータの各要素間の変位又は変化率から判別された
測定物の表面部分の基準となる基準面に適合する近似式
を探索し、該近似式に基づくデータとスリットデータと
の差と、スリットデータのデータピッチとにより、前記
スリット投射位置のスリット毎の容積を算出するように
したものである。

【００１３】

【作用】上記構成より成る第１発明の非接触容積測定方
法は、前記スリット光源より測定物にスリット光を投射
し、前記測定物表面上のスリット光を前記テレビカメラ
によりスリット画像として取込み、取り込んだスリット
画像をもとに所定座標からの３次元座標データであるス
リットデータの演算を行い、前記スリットデータの各要
素間の変位又は変化率から前記測定物の表面部分を判別
し、前記測定物の判別された表面部分の基準となる基準
面を、そのスリットデータに基づき近似し、該判別した
表面部分と該判別した表面部分の基準となる基準面との
ずれを求めて、前記スリットデータにより前記スリット
投射位置のスリット毎の容積を算出し、それを積分して
測定すべき容積を演算するものである。

【００１４】上記構成より成る第２発明の非接触容積測
定方法は、第１発明において、前記スリットデータの各
要素間の変位又は変化率の急変により前記測定物の表面
部分を判別して、基準となる基準面を判別するものであ
る。

【００１５】上記構成より成る第３発明の非接触容積測
定方法は、前記第１発明において、前記測定物の判別さ
れた表面部分の基準となる基準面の位置および傾きを、
そのスリットデータに基づき近似するものである。

【００１６】上記構成より成る第７発明の非接触容積測
定装置は、前記移動台が前記測定物を所定方向に所定距
離移動し、前記スリット光源が前記測定物にスリット光
を照射し、前記カメラが前記スリット光源から照射され
たスリット光が測定物に当たっている時のスリット画像
を撮影し、前記画像処理装置の前記３次元座標演算手段
が前記カメラから得られるスリット画像から３次元座標
のスリットデータを演算し、前記近似手段が演算された
スリットデータより前記測定物の表面部分の基準となる
基準面に適合する近似式を探索して近似式により近似
し、前記容積演算手段が前記近似式に基づき前記基準面
の傾きおよび位置のずれを求め、求めた前記基準面の傾
きおよび位置のずれに基づきスリット毎の容積を算出
し、それを積分して測定すべき容積を求めるものであ
る。

【００１７】上記構成より成る第８発明の非接触容積測
定方法は、前記第６発明において、前記スリットデータ
の各要素間の変位又は変化率から判別された測定物の表
面部分の基準となる基準面に適合する近似式を探索し、
該近似式に基づくデータとスリットデータとの差と、ス
リットデータのデータピッチとにより、前記スリット投
射位置のスリット毎の容積を算出し、それを積分して測
定すべき容積を演算するものである。

【００１８】

【発明の効果】上記作用を奏する第１発明の非接触容積
測定方法は、前記スリットデータの各要素間の変位又は
変化率から前記測定物の表面部分を判別し、前記測定物
の判別された表面部分の基準となる基準面を、そのスリ
ットデータに基づき近似し、該判別した表面部分と該判
別した表面部分の基準となる基準面とのずれを求めて、
前記スリットデータにより前記スリット投射位置のスリ
ット毎の容積を算出し、それを積分して測定すべき容積
を演算するもので、前記測定物の基準面に傾きおよび位
置のずれが有っても、前記測定物の容積を正確に求める
ことが出来るという効果を奏する。

【００１９】上記作用を奏する第２発明の非接触容積測
定方法は、前記スリットデータの各要素間の変位および
変化率の急変により前記測定物の表面部分を判別して、
基準となる基準面を判別するもので、一層正確に前記測
定物の容積を正確に求めることが出来るという効果を奏
する。

【００２０】上記作用を奏する第３発明の非接触容積測
定方法は、前記測定物の判別された表面部分の基準とな
る基準面の位置および傾きを、そのスリットデータに基
づき近似した値に基づき容積を演算するので、一層正確
に前記測定物の容積を正確に求めることが出来るという
効果を奏する。

【００２１】上記作用を奏する第７発明の非接触容積測
定装置は、前記測定物の前記基準面に適合する近似式に
基づき前記基準面の傾きおよび位置のずれを求め、求め
た前記基準面の傾きおよび位置のずれに基づきスリット
毎の容積を算出し、それを積分して測定すべき容積を求
めるので、前記測定物の基準面に傾きおよび位置のずれ
が有っても、前記測定物の容積を一層正確に求めること
が出来るという効果を奏する。

【００２２】上記作用を奏する第８発明の非接触容積測
定方法は、前記スリットデータの各要素間の変位又は変
化率から判別された測定物の表面部分の基準となる基準
面に適合する近似式を探索し、該近似式に基づくデータ
とスリットデータとの差と、スリットデータのデータピ
ッチとにより、前記スリット投射位置のスリット毎の容
積を算出し、それを積分して測定すべき容積を演算する
もので、前記測定物の基準面に傾きおよび位置のずれが
有っても、前記測定物の容積を正確に求めることが出来
るという効果を奏する。

【００２３】

【実施例】以下本発明の実施例につき、図面を用いて説
明する。

【００２４】（第１実施例） 本第１実施例の非接触容積測定方法および装置は、図１
および図３に示すように測定物１０を所定方向に所定距
離移動する移動テーブル１と、前記測定物１０にスリッ
ト光を照射するレーザスリット光源２と、前記レーザス
リット光源２から照射されたスリット光が前記測定物１
０に当たっている時のスリット画像を撮影するカメラ３
と、前記レーザスリット光源２とカメラ３を配設したレ
ンジファインダ４と、前記カメラ３から得られるスリッ
ト画像から３次元座標のスリットデータを演算する３次
元座標演算手段５１と、演算されたスリットデータより
前記測定物１０の表面部分の基準となる基準面に適合す
る近似式を探索して近似式により近似する近似手段５２
と、前記近似式に基づくデータと取り込んだ計測データ
との差を求めて、求めた差により折れ点を求めてスリッ
ト毎の容積を算出し、それを積分して測定すべき容積を
求める容積演算手段５３とを備えた画像処理装置５とか
ら成るものである。

【００２５】前記移動テーブル１は、図１に示すように
測定物である上面１１に円形凹部１２を有する円筒体１
０を図中Ｘ軸方向に微小一定量だけ移動し得る構成より
成る。

【００２６】前記レーザスリット光源２は、図１および
図３に示すように前記円筒体１０の上面１１にスリット
光２０を照射し得る構成より成る。

【００２７】前記カメラ３は、図１および図３に示すよ
うに前記レーザスリット光源２に対して傾斜して配設さ
れ、前記円筒体１０の上面１１のスリット光照射部に指
向させてスリット画像を撮影するＣＣＤテレビカメラに
よって構成されている。

【００２８】前記レンジファインダ４は、図１および図
３に示すようにくの字状の部材の前記移動テーブル１上
に載置された前記円筒体１０の真上の水平部４１に配設
された前記レーザスリット光源２と、前記水平部に対し
て傾斜して形成された傾斜部４２に配設されたＣＣＤカ
メラ３によって構成されている。

【００２９】前記ＣＣＤテレビカメラ３は、図１および
図３に示すようにスリット画像を格納する前記画像処理
装置５を構成する画像メモリ５０に接続されるととも
に、モニタ６に接続されている。

【００３０】前記画像処理装置５は、図１および図３に
示すように撮影されたスリット画像を抽出して三次元デ
ータを画像処理し、前記円筒体１０の円形凹部１２の容
積を演算するパソコンによって構成され、前記３次元座
標演算手段５１と、前記近似手段５２と、前記容積演算
手段５３との機能を備えた画像演算装置５５によって構
成される。

【００３１】前記パソコン５０のＩ／Ｏ５６に接続され
たドライバ７は、入力された駆動信号に基づき前記移動
テーブル１をＸ軸方向に微小一定量だけ移動させ得る構
成より成る。

【００３２】前記画像演算装置５５を構成するパソコン
は、レンジファインダ４、画像処理装置５、ドライバ６
をＩ／Ｏ５６を介してＣＰＵ５７により制御するもの
で、そのために以下に詳述する図２に示される容積演算
の基本プログラムが予めＲＯＭ５８に格納されている。

【００３３】上記構成より成る第１実施例の非接触容積
測定装置の非接触容積測定方法について、前記プログラ
ムに従い説明する。図２に示すように、プログラムの第
１ステップにおいては、前記レンジファインダ４の前記
レーザスリット光源２より測定物である円筒体１０の上
面１１にスリット光２０を投射する。投射されたスリッ
ト光は、前記円筒体１０の上面１１の表面形状に応じた
凹凸表面をスリット画像として浮き出す。

【００３４】第２ステップにおいては、前記ＣＣＤテレ
ビカメラ３が、前記円筒体１０の上面１１上のレーザス
リット光を図１に示すスリット画像としてそれぞれ取り
込み、さらに第３ステップにおいて前記ＣＣＤテレビカ
メラ３が取り込んだスリット画像を画像処理装置５内の
画像メモリ５０に格納する。

【００３５】第４ステップにおいては、パソコンによっ
て構成される画像演算装置５５が、前記画像メモリ５０
に格納されたスリット画像を抽出する。

【００３６】第５ステップにおいては、前記画像演算装
置５５により抽出されたスリット画像上の各点に対し、
所定座標からの三次元座標データの演算を行う。具体的
にはスリット画像上の点は約４８０点あり、これらの各
点がドーナツ状の基準面１１の基準高さからどれだけの
長さ離れているかを演算する。

【００３７】第６ステップにおいては、スリット上の三
次元座標データに基づき、第１スリットのスリット投射
位置の容積（１スリット容積Ｖｃ）を算出する。

【００３８】第７ステップにおいては、Ｘ軸ドライバ７
に信号を出力してＸ軸ドライバ７が駆動信号を出力する
ことにより移動テーブル１をＸ軸方向に微小一定量移動
させ、上記第１ステップから第６ステップを繰り返す。

【００３９】第８ステップにおいては、前記測定物であ
る円筒体１０の上面部１１すべてについて、各１スリッ
ト毎の容積が算出されれば計測を終了し、上記全ての１
スリット容積Ｖｃを積分することにより上面部１１の円
形凹部Ｗの容積Ｖを演算する。

【００４０】なお前記基準面１１の近似演算について図
４ないし図６に基づき説明する。図４に示すようにステ
ップ２０１において、前記画像メモリ５０に格納されて
いるスリット画像データの中から前記測定物１０の前記
基準面１１の両サイド２０ポイントずつのデータを取込
み、ステップ２０２において、各データの値から近似式
への当てはめを行う。

【００４１】ステップ２０３において、前記両サイド２
０ポイントずつのデータすなわちトータル４０ポイント
のデータを用いて両サイドの近似式を求め、ステップ２
０４において、求めた近似式を用いて両サイドから折れ
点（Ｋ点、Ｌ点）の位置を演算する。

【００４２】ステップ２０５において、計測したデータ
と前記近似式に基づくデータとの差を求め、ステップ２
０６において、求めた差のデータをもちいて計測データ
ピッチとの積により面積を求める。

【００４３】ステップ２０７において、ｎライン分の体
積を算出して、ステップ２０８において、ｄｘだけステ
ージを移動させる。

【００４４】なおステップ２０２において、前記測定物
１０の加工頂面１１は、一定方向に対して３次の曲線を
出すことは非常に難しく、容積を測定する必要性も少な
いため、本実施例においては近似曲線は２次式までとす
る。

【００４５】近似式の適応条件は、 Ａ（ｙj ，ｚj ）は、ｊ−１とｊ−２番目のデータから
１次式で求めたｊ番目のデータ（ｙ，ｚ）である。 Ｂ（ｙj ，ｚj ）は、ｊ−１とｊ−２とｊ−３番目のデ
ータから２次式で求めたｊ番目のデータ（ｙ，ｚ）であ
る。 ａ（ｙj ，ｚj ）Ａ（ｙj ，ｚj ）は、ａ点とＡ点の距
離である。 ｊは、１スリット内の定ピッチ毎のデータ番号である。 ｄｚj は、ｊとｊ−１番目のｚデータの変化量、ｄｚj
＝ｚj −ｚj-1 である。 ｚj は、ｊ番目のｚデータである。 ａ（ｙj ，ｚj ）は、計測したｊ番目のｙ，ｚデータで
ある。

【００４６】前記測定物１０の量サイドの４０ポイント
内には、図５に示すように凹部はないとして、下記条件
で近似式を選定する 条件１ ０次近似式 数１ 条件２ １次近似式 数２ 条件３ ２次近似式 数３

【数１】

【数２】

【数３】 条件１ないし３の順に処理を行い成り立ったところの条
件で近似式を求める。条件に当てはまらない場合は、上
次式に当てはめる。

【００４７】ステップ２０３における近似式の算出は、
計測したデータ（凹部でないところ両サイド４０ボイン
ト）を用い、近似式を求める。すなわち、第１に計測し
たデータの連続性を近似式への当てはめみるため、近似
式を求めるために必要な最小限のデータを採用し近似式
を求める。第２に近似式の次数を決定した後、再度４０
ポイント全てのデータによって近似式を求める。

【００４８】ここでいう近似式は、特に限定はなく最適
な近似式を用いれば良い。例として最小自乗法の一次式
と二次式の一般式と解について以下に数４および数５と
して記述する。

【数４】

【数５】 前記最小自乗法の他、ラグランジェ補間法、スプライン
補間法、ベジェ近似曲線等その他いくつかの近似法があ
る。

【００４９】ステップ２０４における折れ点の検出は、
測定物の両サイドから近似式により折れ点（凹部の境界
点）の位置を求めるもので、計測したデータを前記第１
ないし第３の選択された近似式に当てはめ近似式を満た
さなくなった点を夫々Ｋ点およびＬ点とするものであ
る。

【００５０】すなわち本第１実施例の非接触容積測定方
法および装置は、前記レーザスリット光源２より測定物
１０にスリット光を投射し、前記測定物１０の上面１１
上のスリット光を前記ＣＣＤカメラ３によりスリット画
像として取込み、取り込んだスリット画像をもとに所定
座標からの３次元座標データであるスリットデータの演
算を行い、前記測定物１０である円筒体の表面部分の基
準となる両サイドの頂面である基準面を、そのスリット
データに基づき上記条件に従い最適な近似式によって近
似するとともに、計測データを前記近似式に当てはめ外
れた点（Ｋ点、Ｌ点）を折れ点として、前記求めたＫ点
とＬ点の間の上記スリットデータによりスリット投射位
置のスリット毎の容積を算出し、それを積分して測定す
べき容積を演算するものである。

【００５１】なお、図５に示すように前記基準面となる
両サイドの頂面が傾いていても、前記スリットデータに
それが反映されており、かかる傾きを考慮してその影響
を補償して前記凹部の容積が演算される。

【００５２】上記作用を奏する第１実施例の非接触容積
測定方法および装置は、前記スリットデータの各要素間
の変位および変化率から前記測定物１０の基準面である
両サイドの頂面を最適な近似式で近似するので、前記測
定物１０の基準面１１に傾きおよび位置のずれが有った
りカメラに傾きやずれが有っても、前記測定物の容積を
正確に求めることが出来るという効果を奏する。

【００５３】また第１実施例の非接触容積測定方法およ
び装置は、前記スリットデータの各要素間の変位および
変化率から前記測定物１０の基準面である両サイドの頂
面を最適な近似式で近似して、近似式に計測したデータ
を当てはめ、当てはまらない点を、前記凹部との境界点
である折れ点（Ｋ点、Ｌ点）として求めて、前記折れ点
の間の前記凹部の容積を測定するので、前記測定物の容
積を一層正確に求めることが出来るという効果を奏す
る。

【００５４】さらに第１実施例の非接触容積測定方法お
よび装置は、前記測定物１０の基準面１１に傾きおよび
位置のずれが有り、前記凹部の底面に傾きおよび位置ず
れが有る場合でも前記基準面である両サイドの頂面を近
似する近似式で表現される直線または曲線を基準にした
距離により前記凹部の面積を求めるので、前記凹部の容
積を正確に測定することが出来るという効果を奏する。

【００５５】上述の実施例は、説明のために例示したも
ので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記
載から当業者が認識することができる本発明の技術的思
想に反しない限り、変更および付加が可能である。

【００５６】また、上述の第１実施例は、前記近似式に
計測データを当てはめて、外れた点を前記凹部の折れ点
とする例について一例として述べたが、本発明は、それ
に限定するものでは無く、近似式を用いないで計測デー
タの変化または変化率の急変点によって前記凹部の折れ
点を求める態様も採用可能である。

【００５７】さらに上述の第１実施例は、前記凹部の折
れ点を求めるために前記近似式に計測データを当てはめ
て、外れた点を折れ点とする例について説明したが、本
発明は、近似式と計測データとを比較してその差を用い
て容積演算を補償することにより、演算精度を高める態
様も採用可能である。

【００５８】さらに、上述の第１実施例は、被測定物を
直線的に動かす例について説明したが、レンジファイン
ダ４を微小量ずつ直線的に動かしたり、測定対象物を微
小角だけ回転させることも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の全体を示す全体図であ
る。

【図２】第１実施例の容積測定のフローを示すチャート
図である。

【図３】第１実施例の画像処理装置の機能で大別したブ
ロック図である。

【図４】第１実施例の画像処理における近似演算のフロ
ーを示すチャート図である。

【図５】第１実施例の近似式に基づく容積演算を説明す
るための線図である。

【図６】第１実施例の容積演算を説明するための部分拡
大図である。

【図７】従来装置の容積演算を説明するための線図であ
る。

【符号の説明】

１ 移動テーブル ２ レーザスリット光源 ３ ＣＣＤテレビカメラ ４ レンジファインダ ５ 画像処理装置 ６ モニタ ５１ ３次元座標演算手段 ５２ 近似手段 ５３ 容積演算手段

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−301707（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−301708（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−172538（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−241737（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 G06T 7/00

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スリット光源より測定物にスリット光を
   投射し、 測定物表面上のスリット光をテレビカメラによりスリッ
   ト画像として取込み、 取り込んだスリット画像をもと
   に所定座標からの３次元座標データであるスリットデー
   タの演算を行い、 このスリットデータによりスリット投射位置のスリット
   毎の容積を算出し、それを積分して測定すべき容積を求
   める非接触容積測定方法において、 前記スリットデータの各要素間の変位又は変化率から測
   定物の表面部分を判別するとともに、前記測定物の判別された表面部分の基準となる基準面
   を、そのスリットデータに基づき近似し、 該判別した表面部分と該判別した表面部分の基準となる
   基準面とのずれを求めて、前記スリットデータにより前
   記スリット投射位置のスリット毎の容積を算出するよう
   にしたことを特徴とする非接触容積測定方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記スリットデータの各要素間の変位又は変化率の急変
   により前記測定物の表面部分を判別することを特徴とす
   る非接触容積測定方法。
3. 【請求項３】 請求項１において、 前記測定物の判別された表面部分の基準となる基準面の
   位置および傾きを、そのスリットデータに基づき近似す
   ることを特徴とする非接触容積測定方法。
4. 【請求項４】 請求項３において、 前記測定物の前記基準面を、そのスリットデータより適
   合する近似式を探索して近似式により近似することを特
   徴とする非接触容積測定方法。
5. 【請求項５】 請求項４において、 前記測定物の前記基準面を近似する近似式に基づき前記
   基準面の傾きおよび位置のずれを求め、求めた前記基準
   面の傾きおよび位置のずれにより前記容積演算を補償す
   ることを特徴とする非接触容積測定方法。
6. 【請求項６】 請求項５において、 前記測定物の前記基準面を近似する近似式に基づくデー
   タと取り込んだ計測データとの差を求めて、求めた差に
   より前記容積演算を補償することを特徴とする非接触容
   積測定方法。
7. 【請求項７】 測定物を所定方向に所定距離移動する移
   動台と、 前記測定物にスリット光を照射するスリット光源と、 前記スリット光源から照射されたスリット光が測定物に
   当たっている時のスリット画像を撮影するカメラと、 前記カメラから得られるスリット画像から３次元座標の
   スリットデータを演算する３次元座標演算手段と、演算
   されたスリットデータより前記測定物の表面部分の基準
   となる基準面に適合する近似式を探索して近似式により
   近似する近似手段と、前記近似式に基づき前記基準面の
   傾きおよび位置のずれを求め、求めた前記基準面の傾き
   および位置のずれにより補償してスリット毎の容積を算
   出し、それを積分して測定すべき容積を求める容積演算
   手段とから成る画像処理装置とから成ることを特徴とす
   る非接触容積測定装置。
8. 【請求項８】 請求項６において、 前記スリットデータの各要素間の変位又は変化率から判
   別された測定物の表面部分の基準となる基準面に適合す
   る近似式を探索し、該近似式に基づくデータとスリット
   データとの差と、スリットデータのデータピッチとによ
   り、前記スリット投射位置のスリット毎の容積を算出す
   るようにしたことを特徴とする非接触容積測定方法。