JP3506017B2 - 電子放出素子とその製造方法及び画像表示装置 - Google Patents
電子放出素子とその製造方法及び画像表示装置Info
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- JP3506017B2 JP3506017B2 JP26463598A JP26463598A JP3506017B2 JP 3506017 B2 JP3506017 B2 JP 3506017B2 JP 26463598 A JP26463598 A JP 26463598A JP 26463598 A JP26463598 A JP 26463598A JP 3506017 B2 JP3506017 B2 JP 3506017B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子を放出する電
子放出素子とその製造方法及び、上記の電子放出素子を
用いて構成される画像表示装置に関する。
子放出素子とその製造方法及び、上記の電子放出素子を
用いて構成される画像表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄型ディスプレィ用の電子源や、高速動
作が可能な微小真空デバイスのエミッター部分として、
微小電子放出素子の開発が盛んである。
作が可能な微小真空デバイスのエミッター部分として、
微小電子放出素子の開発が盛んである。
【０００３】従来、電子放出素子としては、高温に加熱
されたタングステン等の材料に高電圧を印加する「熱放
出型」のものが用いられていたが、近年、高温に加熱す
る必要が無く、低電圧でも電子を放出することが可能で
ある「冷陰極型」の電子放出素子が盛んに研究開発がな
されている。
されたタングステン等の材料に高電圧を印加する「熱放
出型」のものが用いられていたが、近年、高温に加熱す
る必要が無く、低電圧でも電子を放出することが可能で
ある「冷陰極型」の電子放出素子が盛んに研究開発がな
されている。
【０００４】ここで、冷陰極素子として要求される特性
は、低電圧・低消費電力駆動で高電流が安定に得られる
ことであるが、同時に安価に製造し得る構成であること
も必要である。このような冷陰極素子のタイプとして、
例えば特開平７−２８２７１５号公報がある。その構成
の簡略図を図８に示す。
は、低電圧・低消費電力駆動で高電流が安定に得られる
ことであるが、同時に安価に製造し得る構成であること
も必要である。このような冷陰極素子のタイプとして、
例えば特開平７−２８２７１５号公報がある。その構成
の簡略図を図８に示す。
【０００５】これは例えば、特定の処理を行うことによ
り電子親和力が負となり得るダイヤモンドを電子放出源
として利用しようとするものであり、その構成としてダ
イヤモンド膜ではなくダイヤモンド粒子を用いることに
より成膜プロセスを排除し、製造工程の簡素化、ひいて
は低コスト化を実現しようとするものである。
り電子親和力が負となり得るダイヤモンドを電子放出源
として利用しようとするものであり、その構成としてダ
イヤモンド膜ではなくダイヤモンド粒子を用いることに
より成膜プロセスを排除し、製造工程の簡素化、ひいて
は低コスト化を実現しようとするものである。
【０００６】図８に基づいて構成を説明する。図８に示
すように、基板１１１上に電極となる導電層１１２が形
成され、さらにその上にダイヤモンド粒子１１３からな
る電子放出部１１４が形成されている。ダイヤモンド粒
子１１３は所定の処理により電子親和力が負になってい
る。このダイヤモンド粒子１１３に対向するように電子
引き出し電極（図示せず）が設けられ、この電極に電位
を与えることにより電子を取り出す。
すように、基板１１１上に電極となる導電層１１２が形
成され、さらにその上にダイヤモンド粒子１１３からな
る電子放出部１１４が形成されている。ダイヤモンド粒
子１１３は所定の処理により電子親和力が負になってい
る。このダイヤモンド粒子１１３に対向するように電子
引き出し電極（図示せず）が設けられ、この電極に電位
を与えることにより電子を取り出す。
【０００７】ここで、ダイヤモンド粒子１１３はその表
面が電子親和力が負になっているので、導電層１１２か
らダイヤモンド粒子１１３に入った電子は容易にダイヤ
モンド粒子１１３から放出されるため、対向電極（図示
せず）には高電圧を印加しなくとも電子の取り出しが可
能になるというものである。また、粒子を用いた構成で
あるため、その製造工程としては容易且つ低コストなも
のになるというものである。
面が電子親和力が負になっているので、導電層１１２か
らダイヤモンド粒子１１３に入った電子は容易にダイヤ
モンド粒子１１３から放出されるため、対向電極（図示
せず）には高電圧を印加しなくとも電子の取り出しが可
能になるというものである。また、粒子を用いた構成で
あるため、その製造工程としては容易且つ低コストなも
のになるというものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成で電子を取り出そうとした場合、以下に挙げるよ
うな問題が発生する場合があった。
の構成で電子を取り出そうとした場合、以下に挙げるよ
うな問題が発生する場合があった。
【０００９】一つは、ダイヤモンド粒子の電子親和力が
負であるにもかかわらず、対向電極（図示せず）には従
来と同様の高電圧を印加する必要があるということであ
る。
負であるにもかかわらず、対向電極（図示せず）には従
来と同様の高電圧を印加する必要があるということであ
る。
【００１０】これは導電層１１２とダイヤモンド粒子１
１３との界面に存在する電子障壁に起因するものであ
り、導電層１１２とダイヤモンド粒子１１３とがオーミ
ック接合となればこのような問題は発生しないのである
が、一般にはダイヤモンドとオーミック接合を得ること
は材料的に困難で、結果、ショットキー接合となってし
まい、導電層１１２からダイヤモンド粒子１１３に電子
を注入するためには両者の界面に存在する電子障壁を越
えさせねばならず、その結果、高電圧の印加が必要とな
る。
１３との界面に存在する電子障壁に起因するものであ
り、導電層１１２とダイヤモンド粒子１１３とがオーミ
ック接合となればこのような問題は発生しないのである
が、一般にはダイヤモンドとオーミック接合を得ること
は材料的に困難で、結果、ショットキー接合となってし
まい、導電層１１２からダイヤモンド粒子１１３に電子
を注入するためには両者の界面に存在する電子障壁を越
えさせねばならず、その結果、高電圧の印加が必要とな
る。
【００１１】もう一つは、粒子箇々が電子放出源となる
ため、電子放出状態の均一且つ安定に得るためには、粒
子の塗布状態の均一性および安定性を得ることが必要で
あるが、その実現が課題であった。
ため、電子放出状態の均一且つ安定に得るためには、粒
子の塗布状態の均一性および安定性を得ることが必要で
あるが、その実現が課題であった。
【００１２】特に、付着状態の安定性が粒子の大きさに
大きく左右され、例えばミクロンサイズになってくる
と、欠落などが発生し、安定的な電子放出状態が実現困
難であった。
大きく左右され、例えばミクロンサイズになってくる
と、欠落などが発生し、安定的な電子放出状態が実現困
難であった。
【００１３】以上のように、従来の構成では導電層１１
２からダイヤモンド粒子１１３に電子を効率的に注入す
ることが困難であること、粒子を均一且つ安定に塗布・
固着させることが困難であること、等の理由のため、十
分に特性を満足し得る電子放出素子を得ることができな
かった。
２からダイヤモンド粒子１１３に電子を効率的に注入す
ることが困難であること、粒子を均一且つ安定に塗布・
固着させることが困難であること、等の理由のため、十
分に特性を満足し得る電子放出素子を得ることができな
かった。
【００１４】そこで本発明は、従来技術における前記課
題を解決し、低電圧駆動で高電流が安定に得ることが可
能な電子放出素子とその製造方法を提供すること及び、
上述の電子放出素子を用いた画像表示装置を提供するこ
とを目的とする。
題を解決し、低電圧駆動で高電流が安定に得ることが可
能な電子放出素子とその製造方法を提供すること及び、
上述の電子放出素子を用いた画像表示装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達するため、
本発明の電子放出素子は、少なくとも矩形もしくは針状
の凹凸形状を有する導電層と、前記導電層に固着した針
状物体を備え、前記凹凸形状の凹部の深さが前記針状物
体の長さより大きく、前記凸部の頂部の長さが前記針状
物体の長さより小さく、前記導電層の凸部がその上の針
状物体の電界集中に寄与させるものであることを特徴と
する。
本発明の電子放出素子は、少なくとも矩形もしくは針状
の凹凸形状を有する導電層と、前記導電層に固着した針
状物体を備え、前記凹凸形状の凹部の深さが前記針状物
体の長さより大きく、前記凸部の頂部の長さが前記針状
物体の長さより小さく、前記導電層の凸部がその上の針
状物体の電界集中に寄与させるものであることを特徴と
する。
【００１６】また、本発明の電子放出素子の製造方法
は、少なくとも、凹凸形状を有する導電層を形成する工
程の後に前記凹凸を有する導電層に針状物体を固着させ
る工程を設けたことを特徴とする。
は、少なくとも、凹凸形状を有する導電層を形成する工
程の後に前記凹凸を有する導電層に針状物体を固着させ
る工程を設けたことを特徴とする。
【００１７】また、本発明の画像表示装置は、少なくと
も、電子放出素子と、前記電子放出素子から放出された
電子により画像を形成する画像形成部とを備え、前記電
子放出素子は、少なくとも矩形もしくは針状の凹凸形状
を有する導電層と、前記導電層に固着した針状物体を備
え、前記凹凸形状の凹部の深さが前記針状物体の長さよ
り大きく、前記凸部の頂部の長さが前記針状物体の長さ
より小さく、前記導電層の凸部がその上の針状物体の電
界集中に寄与させるものであることを特徴とする。
も、電子放出素子と、前記電子放出素子から放出された
電子により画像を形成する画像形成部とを備え、前記電
子放出素子は、少なくとも矩形もしくは針状の凹凸形状
を有する導電層と、前記導電層に固着した針状物体を備
え、前記凹凸形状の凹部の深さが前記針状物体の長さよ
り大きく、前記凸部の頂部の長さが前記針状物体の長さ
より小さく、前記導電層の凸部がその上の針状物体の電
界集中に寄与させるものであることを特徴とする。
【００１８】また、本発明の画像表示装置の製造方法
は、少なくとも凹凸形状を有する導電層を形成する工程
と、前記凹凸を有する導電層に針状物体を固着させる工
程と、電子放出素子から放出された電子により画像を形
成する画像形成部を製造・配設する工程とを含むことを
特徴とする。
は、少なくとも凹凸形状を有する導電層を形成する工程
と、前記凹凸を有する導電層に針状物体を固着させる工
程と、電子放出素子から放出された電子により画像を形
成する画像形成部を製造・配設する工程とを含むことを
特徴とする。
【００１９】上述した構成および製造方法によって、電
子放出素子は、針状物体が電子供給源である導電層と電
気的且つ物理的に接触を持ちつつ導電層の凹凸部に固着
されたものとなる。
子放出素子は、針状物体が電子供給源である導電層と電
気的且つ物理的に接触を持ちつつ導電層の凹凸部に固着
されたものとなる。
【００２０】特に凹凸部の凸頂部に固着した針状物体に
対しては電界集中が効果的になり、その結果、低電圧駆
動での大電流の取り出しが可能となる。
対しては電界集中が効果的になり、その結果、低電圧駆
動での大電流の取り出しが可能となる。
【００２１】また、その固着に際しては固着材に粒子を
混入・混合させた溶液を、例えばスピンコートなどで塗
布するので、プロセスとしても容易且つ低コストなもの
となる。
混入・混合させた溶液を、例えばスピンコートなどで塗
布するので、プロセスとしても容易且つ低コストなもの
となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）図１は、本発
明の第１の実施の形態に係る電子放出素子の断面図を示
すものである。図１に示すように、基板１１上に凹凸形
状を有する導電層１が形成されている。そして針状物体
２が導電層１に固着され、電子放出素子が構成されてい
る。この導電層１は針状物体２に電子を供給する電極と
して作用するものである。
明の第１の実施の形態に係る電子放出素子の断面図を示
すものである。図１に示すように、基板１１上に凹凸形
状を有する導電層１が形成されている。そして針状物体
２が導電層１に固着され、電子放出素子が構成されてい
る。この導電層１は針状物体２に電子を供給する電極と
して作用するものである。
【００２３】そしてこの電子放出素子に対し、例えば、
対向するように電子引き出し電極３を設け、この電子引
き出し電極３に電圧を印加し電子放出素子に電界を作用
させることにより電子４を引き出すものである。
対向するように電子引き出し電極３を設け、この電子引
き出し電極３に電圧を印加し電子放出素子に電界を作用
させることにより電子４を引き出すものである。
【００２４】本発明の効果をさらに増大させる観点か
ら、導電層１の凹凸形状としては、凹部の深さが針状物
体２の長さより大きく、また、凸部頂部の長さが針状物
体２の長さより小さいような矩形、例えば、針状形状で
あることが望ましい。
ら、導電層１の凹凸形状としては、凹部の深さが針状物
体２の長さより大きく、また、凸部頂部の長さが針状物
体２の長さより小さいような矩形、例えば、針状形状で
あることが望ましい。
【００２５】この状態で導電層１に針状物体２を固着さ
せると、図２に示すような導電層１が平坦の場合には針
状物体２は面に沿った状態となってしまい、電界集中の
観点からは非常に不利となるが、上述のように導電層１
が凹凸形状である場合には、凸部頂部に於いては、針状
物体２がいかなる方向を向こうとも、針状物体２の少な
くとも一方の端部が空間に突出した状態で固着される可
能性が大きい。
せると、図２に示すような導電層１が平坦の場合には針
状物体２は面に沿った状態となってしまい、電界集中の
観点からは非常に不利となるが、上述のように導電層１
が凹凸形状である場合には、凸部頂部に於いては、針状
物体２がいかなる方向を向こうとも、針状物体２の少な
くとも一方の端部が空間に突出した状態で固着される可
能性が大きい。
【００２６】また、例えば図３（ａ），（ｂ）に示すよ
うに、針状物体２を起てた状態で導電層１に固着させた
場合でも、導電層１自身が凹凸形状を有することによ
り、その電界集中効果も相まって、図３（ａ）の方が低
電圧駆動で大電流の取り出しが可能となる。
うに、針状物体２を起てた状態で導電層１に固着させた
場合でも、導電層１自身が凹凸形状を有することによ
り、その電界集中効果も相まって、図３（ａ）の方が低
電圧駆動で大電流の取り出しが可能となる。
【００２７】以上のように、本発明の電子放出素子に対
し電界を作用させると、電界は導電層１の凹凸の凸部頂
部に固着した針状物体２の空間に突出した端部に効率的
に作用することとなり、結果、低電圧駆動で大電流の取
り出しが可能となる。
し電界を作用させると、電界は導電層１の凹凸の凸部頂
部に固着した針状物体２の空間に突出した端部に効率的
に作用することとなり、結果、低電圧駆動で大電流の取
り出しが可能となる。
【００２８】以上の説明における針状物体２としては、
例えば、ウィスカーなどが挙げられる。また、いわゆる
カーボン・ナノ・チューブは、ナノ・サイズのチューブ
が絡み合いながら一方向に成長した針状形状を呈してお
り、巨視的針状形状の中にさらに微視的針状形状が含ま
れていることから、これを用いることは前述した電界集
中という観点からは更に効果的である。
例えば、ウィスカーなどが挙げられる。また、いわゆる
カーボン・ナノ・チューブは、ナノ・サイズのチューブ
が絡み合いながら一方向に成長した針状形状を呈してお
り、巨視的針状形状の中にさらに微視的針状形状が含ま
れていることから、これを用いることは前述した電界集
中という観点からは更に効果的である。
【００２９】凹凸を有する導電層１に針状物体２を固着
させる手段として固着材を用いる場合、例えば、蛍光体
塗布などで多用される「ビークル」を用いれば、真空中
での使用に際しての実績がある分、有利である。
させる手段として固着材を用いる場合、例えば、蛍光体
塗布などで多用される「ビークル」を用いれば、真空中
での使用に際しての実績がある分、有利である。
【００３０】また、導電層１は針状物体２に電子を供給
する電極として作用するものであって、通常の金属をは
じめとする導電性の薄膜・厚膜、１層構造・多層構造な
どは問わなくとも、同様の効果が得られることは自明で
ある。
する電極として作用するものであって、通常の金属をは
じめとする導電性の薄膜・厚膜、１層構造・多層構造な
どは問わなくとも、同様の効果が得られることは自明で
ある。
【００３１】以上の説明においては、導電層１が凹凸形
状を有する構成としては、図１に示すような導電層１自
身が凹凸形状となっている構成を例としたが、図４に示
すような基板１１が凹凸形状となっておりそこに導電層
１が均一な厚みで形成されているようなものでも同様の
効果が得られることは自明である。
状を有する構成としては、図１に示すような導電層１自
身が凹凸形状となっている構成を例としたが、図４に示
すような基板１１が凹凸形状となっておりそこに導電層
１が均一な厚みで形成されているようなものでも同様の
効果が得られることは自明である。
【００３２】（第２の実施形態）図５（ａ）〜（ｃ）に
本発明の第２の実施の形態である電子放出素子の製造方
法の概略工程図を示す。これは第１の実施の形態として
説明した電子放出素子の製造方法である。
本発明の第２の実施の形態である電子放出素子の製造方
法の概略工程図を示す。これは第１の実施の形態として
説明した電子放出素子の製造方法である。
【００３３】まず基板１１上に導電層１を凹凸形状を有
するように形成し（図５（ａ））、そこに、針状物体２
と固着材５との混合溶液を導電層１上に滴下（図５
（ｂ））し乾燥させることにより、導電層１上に針状物
体２を固着させる（図５（ｃ））工程である。
するように形成し（図５（ａ））、そこに、針状物体２
と固着材５との混合溶液を導電層１上に滴下（図５
（ｂ））し乾燥させることにより、導電層１上に針状物
体２を固着させる（図５（ｃ））工程である。
【００３４】この方法によれば、針状物体２を電子供給
源である導電層１に対して電気的且つ物理的に接触を持
ちつつ導電層１の凹凸部に固着させることとなり、特に
凹凸部の凸頂部に固着した針状物体に対しては電界集中
が効果的になり、その結果、低電圧駆動での大電流の取
り出しが可能となる。
源である導電層１に対して電気的且つ物理的に接触を持
ちつつ導電層１の凹凸部に固着させることとなり、特に
凹凸部の凸頂部に固着した針状物体に対しては電界集中
が効果的になり、その結果、低電圧駆動での大電流の取
り出しが可能となる。
【００３５】またプロセスとしても容易なものであり、
低コストが実現できる。ここで、針状物体２と固着材５
との混合溶液を導電層１上に滴下（図５（ｂ））し乾燥
させる工程の代わりに、スピンコートを用いると針状物
体２の導電層１への塗布均一性が更に増し、エミッショ
ンの均一性が実現できる。また、基板１１上に導電層１
を凹凸形状を有するように形成する（図５（ａ））代わ
りに、基板１１を凹凸にし、そこに導電層１を形成する
工程でも、本発明の同様の効果が得られることは自明で
ある。
低コストが実現できる。ここで、針状物体２と固着材５
との混合溶液を導電層１上に滴下（図５（ｂ））し乾燥
させる工程の代わりに、スピンコートを用いると針状物
体２の導電層１への塗布均一性が更に増し、エミッショ
ンの均一性が実現できる。また、基板１１上に導電層１
を凹凸形状を有するように形成する（図５（ａ））代わ
りに、基板１１を凹凸にし、そこに導電層１を形成する
工程でも、本発明の同様の効果が得られることは自明で
ある。
【００３６】（第３の実施形態）図６に本発明の第３の
実施の形態である画像表示装置の概略断面図を示す。こ
れは第１の実施の形態として説明した電子放出素子を用
いた画像表示装置である。
実施の形態である画像表示装置の概略断面図を示す。こ
れは第１の実施の形態として説明した電子放出素子を用
いた画像表示装置である。
【００３７】例えば、第１の実施の形態での電子放出素
子１１１が、外囲器１２の一部を兼ねた基板１２ａ上に
形成されている。１３は画像形成部であり、電子放出素
子１１１からの電子に対し、例えば加速・偏向・変調等
の駆動・制御を行う電子駆動電極１３ａと、外囲器１２
の一部１２ｂの内面に塗布された蛍光体１３ｂとからな
り、前記駆動された電子により蛍光体１３ｂを発光させ
画像を表示する。
子１１１が、外囲器１２の一部を兼ねた基板１２ａ上に
形成されている。１３は画像形成部であり、電子放出素
子１１１からの電子に対し、例えば加速・偏向・変調等
の駆動・制御を行う電子駆動電極１３ａと、外囲器１２
の一部１２ｂの内面に塗布された蛍光体１３ｂとからな
り、前記駆動された電子により蛍光体１３ｂを発光させ
画像を表示する。
【００３８】ここで、電子放出素子１１１としては、本
発明の電子放出素子を用いているため、低電圧で安定且
つ時間的・場所的に安定なエミッション電流の取り出し
が可能であり、従って、高品質な画像表示装置が実現で
きる。
発明の電子放出素子を用いているため、低電圧で安定且
つ時間的・場所的に安定なエミッション電流の取り出し
が可能であり、従って、高品質な画像表示装置が実現で
きる。
【００３９】図７（ａ）〜（ｄ）に画像表示装置の製造
方法の概略工程図を示す。これは、第１の実施の形態で
説明した電子放出素子を用いた画像表示装置である。
方法の概略工程図を示す。これは、第１の実施の形態で
説明した電子放出素子を用いた画像表示装置である。
【００４０】例えば、外囲器１２の一部を兼ねる基板１
２ａに、第１の実施形態での電子放出素子１１１を形成
する（図７（ａ））。そして画像形成部の一部である電
子駆動電極１３ａを配設し（図７（ｂ））、内面に蛍光
体１３ｂを塗布した外囲器の一部１２ｂを設置し（図７
（ｃ））、内部を真空にして画像表示装置を製造する
（図７（ｄ））。
２ａに、第１の実施形態での電子放出素子１１１を形成
する（図７（ａ））。そして画像形成部の一部である電
子駆動電極１３ａを配設し（図７（ｂ））、内面に蛍光
体１３ｂを塗布した外囲器の一部１２ｂを設置し（図７
（ｃ））、内部を真空にして画像表示装置を製造する
（図７（ｄ））。
【００４１】
【００４２】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、導電
層の凹凸の形状寸法と針状物体の寸法関係を特定して前
記導電層に針状物体を固着させることにより、凸部頂部
に於いては、針状物体の少なくとも一方の端部が空間に
突出した状態で固着される可能性が高くなり、その結
果、低電圧での電子の取り出しが可能となる。また、そ
の塗布に際しては、粒子を固着材に混入させた溶液とす
ることにより、例えばスピンコートなどで塗布すること
が可能となるので、プロセスとしては非常に容易なもの
とできる。
層の凹凸の形状寸法と針状物体の寸法関係を特定して前
記導電層に針状物体を固着させることにより、凸部頂部
に於いては、針状物体の少なくとも一方の端部が空間に
突出した状態で固着される可能性が高くなり、その結
果、低電圧での電子の取り出しが可能となる。また、そ
の塗布に際しては、粒子を固着材に混入させた溶液とす
ることにより、例えばスピンコートなどで塗布すること
が可能となるので、プロセスとしては非常に容易なもの
とできる。
【図１】本発明の第１の実施の形態である電子放出素子
の断面図
の断面図
【図２】本実施の形態における針状物体の導電層への固
着状態を示す図
着状態を示す図
【図３】（ａ），（ｂ）同針状物体の導電層への固着状
態を示す図
態を示す図
【図４】凹凸を有する導電層の構造を示す図
【図５】（ａ）〜（ｃ）本発明の第２の実施の形態であ
る電子放出素子の製造方法の概略工程図
る電子放出素子の製造方法の概略工程図
【図６】本発明の第３の実施の形態である画像表示装置
の概略断面図
の概略断面図
【図７】（ａ）〜（ｄ）本発明の画像表示装置の製法に
かかる概略工程図
かかる概略工程図
【図８】従来の電子放出素子の断面図
１ 導電層
２ 針状物体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 北畠 真
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電
器産業株式会社内
(56)参考文献 特開 平10−149760（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−329823（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−196086（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 1/304
H01J 9/02
H01J 29/04
H01J 31/12
Claims (6)
- 【請求項１】 少なくとも矩形もしくは針状の凹凸形状
を有する導電層と、前記導電層に固着した針状物体を備
え、前記凹凸形状の凹部の深さが前記針状物体の長さよ
り大きく、前記凸部の頂部の長さが前記針状物体の長さ
より小さく、前記導電層の凸部において前記針状物体の
少なくとも一方の端部が空間に突出した状態で固着した
ものである電子放出素子。 - 【請求項２】 前記針状物体がカ−ボン系材料、ダイヤ
モンド、ウイスカ−あるいはカ−ボンナノチュ−ブから
なる請求項１記載の電子放出素子。 - 【請求項３】 少なくとも、凹凸形状を有する導電層を
形成する工程と、その後に前記凹凸を有する導電層に針
状物体を固着させる工程を有することを特徴とする電子
放出素子の製造方法。 - 【請求項４】 前記導電層に針状物体を固着させる工程
は、固着材に針状物体を混入し、それを前記導電層に滴
下・乾燥させる工程あるいは前記凹凸を有する導電層に
対してスピンコ−トさせる工程である請求項３記載の電
子放出素子の製造方法。 - 【請求項５】 固着材として、ビ−クルを用いた請求項
３または４記載の電子放出素子の製造方法。 - 【請求項６】 少なくとも、請求項１記載の電子放出素
子と、前記電子放出素子から放出された電子により画像
を形成する画像形成部を具備した画像表示装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26463598A JP3506017B2 (ja) | 1998-09-18 | 1998-09-18 | 電子放出素子とその製造方法及び画像表示装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP26463598A JP3506017B2 (ja) | 1998-09-18 | 1998-09-18 | 電子放出素子とその製造方法及び画像表示装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000100312A JP2000100312A (ja) | 2000-04-07 |
| JP3506017B2 true JP3506017B2 (ja) | 2004-03-15 |
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| JP26463598A Expired - Fee Related JP3506017B2 (ja) | 1998-09-18 | 1998-09-18 | 電子放出素子とその製造方法及び画像表示装置 |
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| JP (1) | JP3506017B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102171785A (zh) * | 2008-09-30 | 2011-08-31 | 凸版印刷株式会社 | 场致发射灯 |
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|---|---|---|---|---|
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1998
- 1998-09-18 JP JP26463598A patent/JP3506017B2/ja not_active Expired - Fee Related
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