JP3504854B2 - 飛行時間型質量分析計 - Google Patents
飛行時間型質量分析計Info
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- JP3504854B2 JP3504854B2 JP10387398A JP10387398A JP3504854B2 JP 3504854 B2 JP3504854 B2 JP 3504854B2 JP 10387398 A JP10387398 A JP 10387398A JP 10387398 A JP10387398 A JP 10387398A JP 3504854 B2 JP3504854 B2 JP 3504854B2
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- Japan
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- ion
- ions
- flight
- mass spectrometer
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、飛行時間型質量分
析計に関し、より詳しくは、外部イオン源からイオン溜
に導入されたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えるこ
とによってイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを
加速させた後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質
量電荷比を分析する垂直加速型飛行時間型質量分析計に
関する。
析計に関し、より詳しくは、外部イオン源からイオン溜
に導入されたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えるこ
とによってイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを
加速させた後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質
量電荷比を分析する垂直加速型飛行時間型質量分析計に
関する。
【０００２】
【従来の技術】飛行時間型質量分析計（ＴＯＦＭＳ）
は、イオンに同一運動エネルギーＵを与えた時、イオン
の質量電荷比Ｍ（＝ｍ／ｚ）が小さいものほどイオン検
出器に早く到達することを利用して、イオンの分離を行
なっている。イオンの飛行距離Ｌを飛行するトータルの
時間をｔTOF、イオンパルスの幅をΔｔとすると、得ら
れるマススペクトルの分解能Ｒは（１）式で与えられ
る。 Ｒ ＝ Ｍ／ΔＭ ＝ ｔTOF／２Δｔ （１） ｔTOF ＝ Ｌ√（ｍ／２Ｕ） イオンの飛行距離Ｌが一定ならば、（１）式に従って、
イオンパルス幅Δｔが狭いほど分解能Ｒは高くなる。こ
のため、パルスイオン幅Δｔを短くする最も簡便な方法
として、紫外レーザパルスを用いたいわゆるパルスイオ
ン化法が開発されており、これにより、数ｎｓのイオン
パルスを生成させている。このパルスイオン化法に分光
計としてＴＯＦＭＳを組み合わせた装置として、ＳＩＭ
Ｓ／ＴＯＦ、ＳＮＭＳ／ＴＯＦ、及びＭＡＬＤＩ／ＴＯ
Ｆがある。
は、イオンに同一運動エネルギーＵを与えた時、イオン
の質量電荷比Ｍ（＝ｍ／ｚ）が小さいものほどイオン検
出器に早く到達することを利用して、イオンの分離を行
なっている。イオンの飛行距離Ｌを飛行するトータルの
時間をｔTOF、イオンパルスの幅をΔｔとすると、得ら
れるマススペクトルの分解能Ｒは（１）式で与えられ
る。 Ｒ ＝ Ｍ／ΔＭ ＝ ｔTOF／２Δｔ （１） ｔTOF ＝ Ｌ√（ｍ／２Ｕ） イオンの飛行距離Ｌが一定ならば、（１）式に従って、
イオンパルス幅Δｔが狭いほど分解能Ｒは高くなる。こ
のため、パルスイオン幅Δｔを短くする最も簡便な方法
として、紫外レーザパルスを用いたいわゆるパルスイオ
ン化法が開発されており、これにより、数ｎｓのイオン
パルスを生成させている。このパルスイオン化法に分光
計としてＴＯＦＭＳを組み合わせた装置として、ＳＩＭ
Ｓ／ＴＯＦ、ＳＮＭＳ／ＴＯＦ、及びＭＡＬＤＩ／ＴＯ
Ｆがある。
【０００３】一方、ＥＩ、ＣＩ、ＥＳＩ、及びＩＣＰの
ようなイオン化法は、上記のパルスイオン化法に対して
連続イオン化法と呼ばれる。このような連続イオン化法
と組み合わせたＴＯＦＭＳのひとつとして、垂直加速型
飛行時間型質量分析計（Orthogonal Acceleration TO
FMS：ＯＡ／ＴＯＦ）が提案されている（J.H.J.Dawson
and Guihause, Rapid commu. Mass Spectrom.,
3, (1989), 155）。
ようなイオン化法は、上記のパルスイオン化法に対して
連続イオン化法と呼ばれる。このような連続イオン化法
と組み合わせたＴＯＦＭＳのひとつとして、垂直加速型
飛行時間型質量分析計（Orthogonal Acceleration TO
FMS：ＯＡ／ＴＯＦ）が提案されている（J.H.J.Dawson
and Guihause, Rapid commu. Mass Spectrom.,
3, (1989), 155）。
【０００４】ＯＡ／ＴＯＦの模式図を図１に示す。運動
エネルギーｅＶ1で外部イオン源１からイオン溜２に導
入されたイオンビーム３が、長さｙ0のイオン溜２に充
満すると、イオン押し出しプレート４に高圧パルス電圧
（Ｖ2）が加えられ、イオンは飛行方向と垂直の方向
（ＴＯＦＭＳの光軸方向）に運動エネルギーｅＶ2で加
速され、イオン溜より排出されると共に、ＴＯＦＭＳ分
光部５を飛行後、イオン検出部６に到達する。イオン検
出器に到達するイオンビームの断面の形状は、イオン溜
の形状を反映した短冊形であり、縦が数cm〜１０cm、横
が数mmの幅を持っている。
エネルギーｅＶ1で外部イオン源１からイオン溜２に導
入されたイオンビーム３が、長さｙ0のイオン溜２に充
満すると、イオン押し出しプレート４に高圧パルス電圧
（Ｖ2）が加えられ、イオンは飛行方向と垂直の方向
（ＴＯＦＭＳの光軸方向）に運動エネルギーｅＶ2で加
速され、イオン溜より排出されると共に、ＴＯＦＭＳ分
光部５を飛行後、イオン検出部６に到達する。イオン検
出器に到達するイオンビームの断面の形状は、イオン溜
の形状を反映した短冊形であり、縦が数cm〜１０cm、横
が数mmの幅を持っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】イオン検出器は、通
常、面検出器であり、２次電子の走行時間が短く、２次
電子増幅作用を持つマイクロチャンネルプレート（ＭＣ
Ｐ）またはマイクロスフェアプレート（ＭＳＰ）が１個
使用される。しかしながら、ＭＣＰ（又はＭＳＰ）は、
イオン強度が大きい（イオン個数が多い）イオンパルス
が入射した場合、２次電子増倍管としての飽和を生じ
る。この飽和を解消できる時間の長短は、そのＭＣＰ
（又はＭＳＰ）の持つ固有のストリップ電流に支配され
るが、通常、マイクロ秒オーダーを要する。このため、
ＭＣＰ（又はＭＳＰ）の飽和が解消するまでの間、イオ
ン検出器としての不感時間を生じ、この間のスペクトル
測定ができなくなり、データが欠落する。
常、面検出器であり、２次電子の走行時間が短く、２次
電子増幅作用を持つマイクロチャンネルプレート（ＭＣ
Ｐ）またはマイクロスフェアプレート（ＭＳＰ）が１個
使用される。しかしながら、ＭＣＰ（又はＭＳＰ）は、
イオン強度が大きい（イオン個数が多い）イオンパルス
が入射した場合、２次電子増倍管としての飽和を生じ
る。この飽和を解消できる時間の長短は、そのＭＣＰ
（又はＭＳＰ）の持つ固有のストリップ電流に支配され
るが、通常、マイクロ秒オーダーを要する。このため、
ＭＣＰ（又はＭＳＰ）の飽和が解消するまでの間、イオ
ン検出器としての不感時間を生じ、この間のスペクトル
測定ができなくなり、データが欠落する。
【０００６】予め、イオン強度の強いイオンパルスの質
量電荷比（ｍ／ｚ）が判っていれば、そのイオンがイオ
ン検出器に到達する直前直後の短時間にＭＣＰ（又はＭ
ＳＰ）への印加電圧を低下及び復元させ、イオン強度の
強いイオンパルスが到達する瞬間だけイオン検出器の２
次電子増幅率を低下させる方法（ＭＣＰゲート法）があ
る。この方法は、不感時間を短縮する効果はあるもの
の、未知試料のスペクトルを測定する場合には、予めこ
のような時間予測を行なうことは困難である。
量電荷比（ｍ／ｚ）が判っていれば、そのイオンがイオ
ン検出器に到達する直前直後の短時間にＭＣＰ（又はＭ
ＳＰ）への印加電圧を低下及び復元させ、イオン強度の
強いイオンパルスが到達する瞬間だけイオン検出器の２
次電子増幅率を低下させる方法（ＭＣＰゲート法）があ
る。この方法は、不感時間を短縮する効果はあるもの
の、未知試料のスペクトルを測定する場合には、予めこ
のような時間予測を行なうことは困難である。
【０００７】本発明の目的は、上述した点に鑑み、イオ
ン強度の強いイオンパルスがイオン検出器に入射して
も、イオン検出器の飽和によるデータの欠落をもたらさ
ない垂直加速型飛行時間型質量分析計のイオン検出シス
テムを提供することにある。
ン強度の強いイオンパルスがイオン検出器に入射して
も、イオン検出器の飽和によるデータの欠落をもたらさ
ない垂直加速型飛行時間型質量分析計のイオン検出シス
テムを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明にかかる飛行時間型質量分析計は、外部イオ
ン源からイオン溜に導入されたイオンに対し、高圧パル
ス電圧を加えることによってイオンの飛行方向と交差す
る方向にイオンを加速させた後、一定の飛行距離を飛行
させてイオンの質量電荷比を分析する飛行時間型質量分
析計において、異なる２次電子増幅率を持つ複数のマイ
クロチャンネルプレート又はマイクロスフェアプレート
をイオン検出器として並べて配置して、イオン強度の強
いイオンパルスが入射した場合の高増幅率のマイクロチ
ャンネルプレート又はマイクロスフェアプレートの飽和
に由来する不感時間のデータ欠落部分を低増幅率のマイ
クロチャンネルプレート又はマイクロスフェアプレート
から得たデータで補完させることを特徴としている。
め、本発明にかかる飛行時間型質量分析計は、外部イオ
ン源からイオン溜に導入されたイオンに対し、高圧パル
ス電圧を加えることによってイオンの飛行方向と交差す
る方向にイオンを加速させた後、一定の飛行距離を飛行
させてイオンの質量電荷比を分析する飛行時間型質量分
析計において、異なる２次電子増幅率を持つ複数のマイ
クロチャンネルプレート又はマイクロスフェアプレート
をイオン検出器として並べて配置して、イオン強度の強
いイオンパルスが入射した場合の高増幅率のマイクロチ
ャンネルプレート又はマイクロスフェアプレートの飽和
に由来する不感時間のデータ欠落部分を低増幅率のマイ
クロチャンネルプレート又はマイクロスフェアプレート
から得たデータで補完させることを特徴としている。
【０００９】また、外部イオン源からイオン溜に導入さ
れたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによっ
てイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させ
た後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比
を分析する飛行時間型質量分析計において、得られたス
ペクトルのＳ／Ｎ比を改善するために、シグナルアベレ
ージャーを用いてスペクトルを積算させることを特徴と
している。
れたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによっ
てイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させ
た後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比
を分析する飛行時間型質量分析計において、得られたス
ペクトルのＳ／Ｎ比を改善するために、シグナルアベレ
ージャーを用いてスペクトルを積算させることを特徴と
している。
【００１０】 また、外部イオン源からイオン溜に導入
されたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによ
ってイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速さ
せた後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷
比を分析する飛行時間型質量分析計において、イオンの
入射方向に対して並列に配置された、異なる２次電子増
幅率を持つ複数のマイクロチャンネルプレート又はマイ
クロスフェアプレートと、該プレートからの出力をプレ
ート毎に増幅させるための複数のプリアンプと、該プリ
アンプからの出力をプリアンプ毎にＡＤ変換させるため
の複数のＡＤコンバータと、該ＡＤコンバータからの出
力を一括して処理するためのデータ処理システムとを備
えたことを特徴としている。
されたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによ
ってイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速さ
せた後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷
比を分析する飛行時間型質量分析計において、イオンの
入射方向に対して並列に配置された、異なる２次電子増
幅率を持つ複数のマイクロチャンネルプレート又はマイ
クロスフェアプレートと、該プレートからの出力をプレ
ート毎に増幅させるための複数のプリアンプと、該プリ
アンプからの出力をプリアンプ毎にＡＤ変換させるため
の複数のＡＤコンバータと、該ＡＤコンバータからの出
力を一括して処理するためのデータ処理システムとを備
えたことを特徴としている。
【００１１】また、外部イオン源からイオン溜に導入さ
れたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによっ
てイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させ
た後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比
を分析する飛行時間型質量分析計において、前記ＡＤコ
ンバータの後段かつ前記データ処理システムの前段に、
前記複数のＡＤコンバータからの出力をＡＤコンバータ
毎に積算させるための複数のシグナルアベレージャーを
設けたことを特徴としている。
れたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによっ
てイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させ
た後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比
を分析する飛行時間型質量分析計において、前記ＡＤコ
ンバータの後段かつ前記データ処理システムの前段に、
前記複数のＡＤコンバータからの出力をＡＤコンバータ
毎に積算させるための複数のシグナルアベレージャーを
設けたことを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。図２は、本発明にかかる垂直加
速型飛行時間型質量分析計のイオン検出システムを示し
たものである。イオンパルス７は、短冊型のビーム断面
形状を保ったまま、イオン検出器８に入射する。イオン
検出器８は、３個のＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）をイオンパ
ルスの形状に合わせて並列に配置したもので、それぞれ
異なるＭＣＰ電源（又は、ＭＳＰ電源）９によって異な
る電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ3が印加されている。その結果、３
個のＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）はそれぞれ異なった２次電
子増幅率を持っている。例えば、２次電子増幅率は、各
々相対的に×１、×１０、×１００、（又は×１、×１
／１０、×１／１００）といったように設定される。こ
れは、もちろん×１／３、×１／９、×１／２７や×１
／５、×１／１０、×１／２５のような端数の出る設定
であってもかまわない。要は、複数の異なる２次電子増
幅率を持つように、ＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）の印加電圧
を設定した並列検出システムを提供することにある。
実施の形態を説明する。図２は、本発明にかかる垂直加
速型飛行時間型質量分析計のイオン検出システムを示し
たものである。イオンパルス７は、短冊型のビーム断面
形状を保ったまま、イオン検出器８に入射する。イオン
検出器８は、３個のＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）をイオンパ
ルスの形状に合わせて並列に配置したもので、それぞれ
異なるＭＣＰ電源（又は、ＭＳＰ電源）９によって異な
る電圧Ｖ1、Ｖ2、Ｖ3が印加されている。その結果、３
個のＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）はそれぞれ異なった２次電
子増幅率を持っている。例えば、２次電子増幅率は、各
々相対的に×１、×１０、×１００、（又は×１、×１
／１０、×１／１００）といったように設定される。こ
れは、もちろん×１／３、×１／９、×１／２７や×１
／５、×１／１０、×１／２５のような端数の出る設定
であってもかまわない。要は、複数の異なる２次電子増
幅率を持つように、ＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）の印加電圧
を設定した並列検出システムを提供することにある。
【００１３】３個のＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）には、それ
ぞれプリアンプ１０、ＡＤコンバータ１１、シグナルア
ベレージャー１２が直列に接続されている。そして、３
個のシグナルアベレージャー１２は、一括して１台のデ
ータ処理システム１３に接続される構成になっている。
ぞれプリアンプ１０、ＡＤコンバータ１１、シグナルア
ベレージャー１２が直列に接続されている。そして、３
個のシグナルアベレージャー１２は、一括して１台のデ
ータ処理システム１３に接続される構成になっている。
【００１４】このイオン検出システムは次のように動作
する。まず、イオン検出器８からのイオンパルス７の入
射信号は、３個のＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）の各々に接続
された３個のプリアンプ１０に個別に出力され、プリア
ンプ１０の作用によって増幅される。増幅されたアナロ
グの入射信号は、ＡＤコンバータ１１においてデジタル
信号に変換される。デジタル化された入射信号は、シグ
ナルアベレージャー１２において繰り返し積算され、Ｓ
／Ｎ比の改善が図られる。飛行時間型質量分析計では、
毎秒５０ｋ〜１００ｋ回の高速測定が可能なので、この
ような積算によるＳ／Ｎ比の改善は極めて有効である。
Ｓ／Ｎ比を改善された入射信号は、データ処理システム
１３に取り込まれ、種々のデータ処理に供される。
する。まず、イオン検出器８からのイオンパルス７の入
射信号は、３個のＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）の各々に接続
された３個のプリアンプ１０に個別に出力され、プリア
ンプ１０の作用によって増幅される。増幅されたアナロ
グの入射信号は、ＡＤコンバータ１１においてデジタル
信号に変換される。デジタル化された入射信号は、シグ
ナルアベレージャー１２において繰り返し積算され、Ｓ
／Ｎ比の改善が図られる。飛行時間型質量分析計では、
毎秒５０ｋ〜１００ｋ回の高速測定が可能なので、この
ような積算によるＳ／Ｎ比の改善は極めて有効である。
Ｓ／Ｎ比を改善された入射信号は、データ処理システム
１３に取り込まれ、種々のデータ処理に供される。
【００１５】イオン検出器自身の飽和に伴う不感時間対
策は次の通りである。図２において、例えば最大の２次
電子増幅率を持つＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）が強いイオン
パルスによって飽和した場合、不感時間で欠落した部分
のスペクトルは、より低い２次電子増幅率を持つＭＣＰ
（又は、ＭＳＰ）で得たスペクトルから補完させること
ができる。即ち、より低い２次電子増幅率のＭＣＰ（又
は、ＭＳＰ）で観測したスペクトルは、飽和によるデー
タの欠落がないため、２つのＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）間
の２次電子増幅率の比を掛けてやることで、飽和によっ
て欠落したデータ部分を再現でき、データ処理システム
１３の処理で、ほぼ完全なスペクトルを再構成させるこ
とができるからである。
策は次の通りである。図２において、例えば最大の２次
電子増幅率を持つＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）が強いイオン
パルスによって飽和した場合、不感時間で欠落した部分
のスペクトルは、より低い２次電子増幅率を持つＭＣＰ
（又は、ＭＳＰ）で得たスペクトルから補完させること
ができる。即ち、より低い２次電子増幅率のＭＣＰ（又
は、ＭＳＰ）で観測したスペクトルは、飽和によるデー
タの欠落がないため、２つのＭＣＰ（又は、ＭＳＰ）間
の２次電子増幅率の比を掛けてやることで、飽和によっ
て欠落したデータ部分を再現でき、データ処理システム
１３の処理で、ほぼ完全なスペクトルを再構成させるこ
とができるからである。
【００１６】この方式は、ＭＳＰの場合には、更に有利
な点がある。ＭＳＰにおける２次電子増幅率の直線性は
１０3〜１０4なので、複数の２次電子増幅率を持つイオ
ン検出系を持つことは、イオン検出部のトータルダイナ
ミックレンジを拡大できる利点があるからである。
な点がある。ＭＳＰにおける２次電子増幅率の直線性は
１０3〜１０4なので、複数の２次電子増幅率を持つイオ
ン検出系を持つことは、イオン検出部のトータルダイナ
ミックレンジを拡大できる利点があるからである。
【００１７】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明の垂直加速型
飛行時間型質量分析計を用いれば、イオン検出器の飽和
に由来するデータの欠落を簡単に補完させることができ
るので、未知試料のマススペクトルを測定する場合で
も、イオン検出器の飽和を気にすることなく測定を行な
うことができる。
飛行時間型質量分析計を用いれば、イオン検出器の飽和
に由来するデータの欠落を簡単に補完させることができ
るので、未知試料のマススペクトルを測定する場合で
も、イオン検出器の飽和を気にすることなく測定を行な
うことができる。
【図１】 従来の垂直加速型飛行時間型質量分析計を示
す図である。
す図である。
【図２】 本発明の垂直加速型飛行時間型質量分析計の
イオン検出システムを示す図である。
イオン検出システムを示す図である。
【符号の説明】
１・・・外部イオン源、２・・・イオン溜、３・・・イオンビー
ム、４・・・イオン押し出しプレート、５・・・ＴＯＦＭＳ分
光部、６・・・イオン検出部、７・・・イオンパルス、８・・・
イオン検出器、９・・・ＭＣＰ電源（又は、ＭＳＰ電
源）、１０・・・プリアンプ、１１・・・ＡＤコンバータ、１
２・・・シグナルアベレージャー、１３・・・データ処理シス
テム。
ム、４・・・イオン押し出しプレート、５・・・ＴＯＦＭＳ分
光部、６・・・イオン検出部、７・・・イオンパルス、８・・・
イオン検出器、９・・・ＭＣＰ電源（又は、ＭＳＰ電
源）、１０・・・プリアンプ、１１・・・ＡＤコンバータ、１
２・・・シグナルアベレージャー、１３・・・データ処理シス
テム。
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フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 49/00 - 49/42
G01T 1/28
Claims (4)
- 【請求項１】外部イオン源からイオン溜に導入されたイ
オンに対し、高圧パルス電圧を加えることによってイオ
ンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させた後、
一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比を分析
する飛行時間型質量分析計において、異なる２次電子増
幅率を持つ複数のマイクロチャンネルプレート又はマイ
クロスフェアプレートをイオン検出器として並べて配置
して、イオン強度の強いイオンパルスが入射した場合の
高増幅率のマイクロチャンネルプレート又はマイクロス
フェアプレートの飽和に由来する不感時間のデータ欠落
部分を低増幅率のマイクロチャンネルプレート又はマイ
クロスフェアプレートから得たデータで補完させること
を特徴とする飛行時間型質量分析計。 - 【請求項２】外部イオン源からイオン溜に導入されたイ
オンに対し、高圧パルス電圧を加えることによってイオ
ンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させた後、
一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比を分析
する飛行時間型質量分析計において、得られたスペクト
ルのＳ／Ｎ比を改善するために、シグナルアベレージャ
ーを用いてスペクトルを積算させることを特徴とする請
求項１記載の飛行時間型質量分析計。 - 【請求項３】外部イオン源からイオン溜に導入されたイ
オンに対し、高圧パルス電圧を加えることによってイオ
ンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させた後、
一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比を分析
する飛行時間型質量分析計において、イオンの入射方向
に対して並列に配置された、異なる２次電子増幅率を持
つ複数のマイクロチャンネルプレート又はマイクロスフ
ェアプレートと、該プレートからの出力をプレート毎に
増幅させるための複数のプリアンプと、該プリアンプか
らの出力をプリアンプ毎にＡＤ変換させるための複数の
ＡＤコンバータと、該ＡＤコンバータからの出力を一括
して処理するためのデータ処理システムとを備えて成る
飛行時間型質量分析計。 - 【請求項４】外部イオン源からイオン溜に導入されたイ
オンに対し、高圧パルス電圧を加えることによってイオ
ンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させた後、
一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比を分析
する飛行時間型質量分析計において、前記ＡＤコンバー
タの後段かつ前記データ処理システムの前段に、前記複
数のＡＤコンバータからの出力をＡＤコンバータ毎に積
算させるための複数のシグナルアベレージャーを設けた
ことを特徴とする請求項３記載の飛行時間型質量分析
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10387398A JP3504854B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 飛行時間型質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10387398A JP3504854B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 飛行時間型質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11288684A JPH11288684A (ja) | 1999-10-19 |
| JP3504854B2 true JP3504854B2 (ja) | 2004-03-08 |
Family
ID=14365565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10387398A Expired - Fee Related JP3504854B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 飛行時間型質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3504854B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE0101555D0 (sv) | 2001-05-04 | 2001-05-04 | Amersham Pharm Biotech Ab | Fast variable gain detector system and method of controlling the same |
| JP4710710B2 (ja) * | 2006-05-01 | 2011-06-29 | 株式会社島津製作所 | 飛行時間型質量分析装置 |
| JP4851273B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2012-01-11 | 日本電子株式会社 | 質量分析方法および質量分析装置 |
| US7884317B2 (en) * | 2007-01-03 | 2011-02-08 | Leco Corporation | Base line restoration circuit |
| JP2021144887A (ja) | 2020-03-13 | 2021-09-24 | キオクシア株式会社 | 飛行時間型質量分析装置、及び、飛行時間型質量分析方法 |
| JP7330138B2 (ja) * | 2020-06-11 | 2023-08-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器 |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP10387398A patent/JP3504854B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH11288684A (ja) | 1999-10-19 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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