JP3501083B2 - インクジェット記録ヘッド用ノズルおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド用ノズルおよびその製造方法Info
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Description
させて画像記録等を行うインクジェット記録ヘッドで用
いるノズルおよびその製造方法に関するものである。
を参照して説明する。図7は従来のインクジェット記録
ヘッドの概略構成を示す断面図である。従来、この種の
インクジェット記録ヘッドは、図7に示すようにインク
滴6を吐出するためのノズル1と、インクプール12
と、圧力発生機構13を備えた圧力室8と、インクプー
ル12と圧力室8の間を連通する供給路11とで構成さ
れる。ヘッドは例えば、ノズル1が予め形成されたノズ
ルプレートほかの複数のプレート(図示せず)を積層す
るなどして製造する。圧力室8に満たしたインクを、圧
力発生機構13によって加圧し、ノズル1からインク滴
6を吐出する。
ト滴がノズル1の周囲に再付着することがある。この
他、ノズル1からインクが盛り上がるオーバーシュート
現象によって、ノズル1からあふれ出たインクが周囲に
留まる。あるいは、ノズル1近傍に付着したゴミなどに
よって、周囲がインクで濡れた状態になることがある。
滴の傾きを説明する断面図であるが、図8に示すよう
に、このインク濡れ7に起因して、インク滴6の吐出方
向が傾いたり、滴径、速度等がばらつくなどして、イン
クジェット記録ヘッドの印字性能を著しく低下させるこ
とがある。
性能を有す膜をノズル表面に形成し、インク濡れの発生
を抑制する。また、定期的にゴムラバー等を用いてノズ
ル表面のワイピング(かき取り)を行い、ノズル周囲の
インク濡れやゴミを除いたり、インク濡れを助長する付
着ゴミを除去したりする。さらに、前述のワイピング等
による機械的な摩擦から、ノズルを保護することを主目
的とし、ノズル周囲に段差を設けることが知られてい
る。
−176657号公報で開示されており、図9は同種の
ノズルの断面斜視図を示している。ノズル1を設けたノ
ズルプレート15と同一の基板に段差3が形成されてお
り、段差3の径はノズル1の2から8倍、深さは50ミ
クロン以下が良いとされている。段差3の製造方法につ
いては、例えば特開平5−155027号公報で放電加
工、フォトエッチング、ポンチを用いたプレス、および
レーザ加工による技術が開示されている。
ジェット記録ヘッドのノズルにおける重要な課題は、簡
略な製造方法によって、ノズル周囲のインク濡れの残留
を極力防止するとともに、インク濡れが生じた場合は速
やかにこれを除去することにある。図10は、時間経過
に伴うインク濡れ7の変化を表している。撥水膜(図示
せず)の性能が良好であれば、同図に示したように、イ
ンク濡れ7(図10(a))は表面張力の作用によって
ノズル1の液面(メニスカス)に引き込まれようとし
(図10(b))、やがてノズル1の近傍にインク濡れ
7が無い定常状態に戻る(図10(c))。
インク2がノズル1に引き込まれるまでに時間を要す
る。また、ワイピングによって前述のインク濡れ7やゴ
ミをかき取る際、インク濡れ7が引きずられる等の要因
によって、新たなインク濡れ7を発生させてしまうこと
がある。このため、インク滴6の吐出方向や滴径、速度
等がばらついたり、特に高周波でインク滴6を吐出する
場合は、ノズル1の近傍にインク濡れ7が無くなる前
に、次のインク滴6が吐出されるため、印字性能が悪化
する課題を残す。
すように、インクを吐出するノズルの開口エッジ周囲
に、前記ノズルを取り囲む環状凸部を設けた構造とする
ことにより、ノズル周囲にインク濡れが発生しても、イ
ンク濡れは環状凸部で分断され、インクの表面張力によ
って環状凸部より内側のインク濡れがノズルに引き込ま
れる。このため、短時間でノズル近傍にインク濡れが無
い定常状態に戻る。このような構造は、例えば、特開昭
61−57345号公報に開示されている。
凸部が存在する事によって、ノズルとワイパーとの機械
的な摩擦が抑制される。また、環状凸部より外側にある
インク濡れや、インク濡れを助長するゴミが、ワイピン
グに伴って環状凸部の内側に引きずられて来ないよう遮
断する効果もある。
取り囲む環状凸部は、概略同心円状に複数個設けること
により、ノズル周囲のインク濡れは短時間でノズルに引
き込まれるとともに、ワイピングによってインク濡れや
ゴミが環状凸部の内側に来ないよう遮断する。加えて、
環状凸部を複数形成したことで、ワイピング等の機械的
な摩擦による環状凸部の摩耗を緩和することができる。
取り囲む平面形状でかつ前記ノズル表面を底面とする段
差を設け、前記環状凸部は前記段差の内側に、前記段差
以下の高さで設ける。これにより、環状凸部の効果で、
インク濡れによる悪影響を防止でき、環状凸部の外側に
段差を形成したことで、ワイピング等に伴う機械的な摩
擦から、環状凸部を保護することができる。ワイピング
の際、インク濡れやゴミは段差と環状凸部の間に入るた
め、環状凸部の内側に引きずられて来ることを防止する
効果もある。
では、図14(a)に示すように、インク漏れ7が発生
すると、インク漏れ7は環状凸部を乗り越える。このイ
ンク漏れ7は、図14(b)に示すように、定常状態に
戻るときに、環状凸部の外側に残留してしまう。これは
図15に示す段差の内側に環状凸部を設けた例でも同様
である。さらに、図15に示す形状のノズルに対してワ
イピングを行うと、図16に示すように、インク漏れ7
が環状凸部の内側や段差の内側に残留することもある。
このように残留したインク漏れ7が、例えば、空気中に
漂うゴミ等の微粒子を吸収すると粘着性を呈したり、固
まったりして除去することが困難な状態となり、これが
積層することにより印字に悪影響を及ぼすこともあり得
る。
であって、上述のインク濡れに係わる課題を解決し、イ
ンクジェット記録ヘッドの印字性能低下を防止できるノ
ズルを提供することを目的とする。また、従来技術では
本発明のノズルを容易に製造できない課題があり、あわ
せて本発明のノズルの製造方法を提供することを目的と
する。
ンクジェット記録ヘッド用ノズルであり、インクを吐出
するノズルの開口エッジ周囲に、前記ノズルを取り囲む
環状凸部を設け、前記ノズルを取り囲む平面形状でかつ
前記ノズル表面を底面とする段差を設け、前記環状凸部
は前記段差の内側に、前記段差以下の高さで設けられ、
環状凸部には1個ないしは複数個の切り欠きを設けたこ
とを特徴とする。これにより、、ワイパーに引きずられ
てきた環状凸部の外側インク濡れやゴミの多くは、段差
と環状凸部の間に入り、環状凸部の内側の、特にノズル
の近傍にインク濡れやゴミが残ることを防止できる。ま
た、段差を形成したことによって、段差の内側に位置す
る環状凸部は弱くワイパーと接触する。このため、環状
凸部の摩耗は緩和されて耐久性を向上できる。また、こ
れによりワイピングの際、インク濡れやゴミは順次ワイ
ピングの進行方向に移動し、一部のインク濡れは、ノズ
ル内のインクに吸収される。ノズル吸収されなかったイ
ンク濡れは、切り欠き部分を通って、環状凸部の外側に
移動するため、ノズルの近傍にインク濡れが留まること
はない。特に、環状凸部の内側にあったインク濡れやゴ
ミを、環状凸部の外側へ除去できる効果がある。
は、前記ノズルをワイピイングする際のワイパー進入側
と離脱側を含む少なくとも2ヶ所以上に設けることが望
ましい。切り欠きの位置をワイピングの進行方向に一致
させているため、ワイピングに伴って、インク濡れやゴ
ミは、切り欠きを通って環状凸部の内側から外側に除去
できる効果が高まる。
ッド用ノズルは、インクを吐出するノズルの開口エッジ
周囲に、前記ノズルを取り囲む環状凸部を設け、前記環
状凸部は、相互に接触することなく複数個設けられたこ
とを特徴とする。これにより環状凸部の耐久性を向上で
きる。すなわち、環状凸部を1個設けた場合には、その
環状凸部が強くワイパーと接触する。しかし、複数個設
けると外側に位置する環状凸部がワイパーと最も強く接
触し、内側の環状凸部は外側と比べて弱く接触する。そ
の結果、ワイパーとの摩擦とそれに伴う摩耗が緩和さ
れ、環状凸部の耐久性が向上する。 あるいは、前記環状
凸部の平面形状は、前記ノズルをワイピイングする際の
ワイパー進入側と離脱側を長手方向とした楕円流線形に
設けることが望ましい。これにより、ワイピングに伴っ
てノズル近傍のインク濡れやゴミが移動する。その際、
環状凸部の内側にインク濡れやゴミが残留したとして
も、ノズルへの悪影響が最も少ない長手方向の両端にの
みに残る確率が最も高く、ノズル近傍にインク濡れ等が
残留しない。
側に設けたもので、前記ノズル開口径の2ないし3倍に
近接して設けることが望ましい。これにより、インク濡
れを分断する環状凸部が、ノズルに近接して設けてある
ため、ノズル近傍において、インク濡れが生じる領域は
小さくできる。インク濡れはインクの表面張力によって
短時間でノズルに引き込まれ、定常状態に戻る。
ッド用ノズルは、インクを吐出するノズルの表面を底面
とし、前記ノズルを取り囲む段差を有し、前記段差の平
面形状は、前記ノズルをワイピイングする際のワイパー
進入側と離脱側を長手とした楕円流線形に設けることを
特徴とする。これにより、ワイピングによってインク濡
れやゴミが移動する際、ノズルへの影響が無い段差の長
手方向両端のみに残るので、インク吐出性能への悪影響
は防止できる。
ヘッド用ノズルの製造方法であって、前記ノズルが形成
される基板の表面側に薄膜を形成した後、前記段差の底
面部や前記環状凸部以外の領域をフォトリソグラフィー
法によってエッチング除去して前記段差や前記環状凸部
を形成することを特徴とする。このように、ノズルを設
ける基板と別材料の薄膜を成膜してから、エッチング除
去することにより、前述の段差や環状凸部を容易に形成
できる。
録ヘッド用ノズルの構成を図1ないし図5を参照して説
明する。図1は本発明第一実施例の切り欠きを示す断面
斜視図と拡大斜視図である。図2は本発明第一実施例に
よるインク濡れ防止の効果を表す拡大斜視図である。図
3は本発明第二実施例を示す拡大斜視図である。図4は
本発明第三実施例を示す断面斜視図と拡大斜視図であ
る。図5は本発明第三実施例によるインク濡れ防止の効
果を表す拡大斜視図である。
ルであって、本発明の特徴とするところは、図1に示す
ように、インクを吐出するノズル1の開口エッジ周囲
に、ノズル1を取り囲む環状凸部4を設け、環状凸部4
に、1個ないしは複数個の切り欠き5を設けたところに
ある。
る際のワイパー進入側と離脱側を含む少なくとも2ヶ所
以上に設けられる。
つノズル1の表面を底面とする段差3を設け、環状凸部
4は段差3の内側に、段差3以下の高さで設けられる。
うに、相互に接触することなく複数個設けてもよい。こ
の場合には、環状凸部4の内壁は、最も内側に設けたも
ので、ノズル1の開口径の2ないし3倍に近接して設け
る。
ンクジェット記録ヘッド用ノズルは、インクを吐出する
ノズル1の開口エッジ周囲に、ノズル1を取り囲む環状
凸部4を設け、環状凸部4の平面形状は、ノズル1をワ
イピイングする際のワイパー進入側と離脱側を長手方向
とした楕円流線形に設けられたことを特徴とする。
ッド用ノズルは、図4に示すように、インクを吐出する
ノズル1の表面を底面とし、ノズル1を取り囲む段差3
を設け、この段差3の平面形状は、ノズル1をワイピイ
ングする際のワイパー進入側と離脱側を長手とした楕円
流線形に形成されたことを特徴とする。
例の説明に先立って、環状凸部および段差の具体的効果
について図11ないし図15を参照して説明する。図1
1に示すように、ノズル1の開口エッジの周囲に、ノズ
ル1と同心円状でノズル1を取り囲む形状の環状凸部4
を1個設ける。ノズル1の開口径は28ミクロン、環状
凸部4の直径は70ミクロン、半径方向の平面幅は20
ミクロン、ノズル1の表面からの高さは5ミクロンとし
た。
的効果を説明する。まず、図11に示したノズルプレー
ト15を用い、図7に示した構成のインクジェット記録
ヘッドを組み立てた。そして、ノズル1からインク滴6
を吐出させる実験評価を行い、ストロボ照射法および高
速度カメラを用いた観察方法によって、インク滴6やノ
ズル1の周囲のインク濡れ7の挙動を調査した。
い条件でインク滴6を吐出した場合の、インク滴6が吐
出した直後におけるノズル1の近傍のインク濡れ7の状
態であり、図14(b)は時間経過に伴うインク濡れ7
の変化を示している。同図に示したように、ノズル1の
周囲に生じたインク濡れ7は、一時的に環状凸部4の外
側まで広がる。しかし、インク濡れ7は数マイクロ秒後
には環状凸部4で分断され、環状凸部4より内側のイン
ク濡れ7がインク2の表面張力によってノズル1に引き
込まれた。
秒後に、ノズル1の近傍にインク濡れ7が無い定常状態
に戻った。比較のため、環状凸部4を持たないノズルプ
レート15を用い、インク濡れ7の差を調査した。その
結果、同一条件において、インク濡れ7が無い定常状態
に戻るまでに要した時間は、吐出直後から約50マイク
ロ秒であった。
製造したインクジェット記録ヘッドを用い、インク滴6
の吐出と、ノズル1のワイピングを行った場合のインク
濡れ7やゴミの挙動を調査した。特に、環状凸部4の周
囲を詳細に観察したところ、環状凸部4の外側にあるイ
ンク濡れ7やインク濡れ7を助長するゴミは、ワイピン
グによって環状凸部4まで引きずられてくる。しかし、
環状凸部4の遮断効果によって、インク濡れ7やゴミが
環状凸部4の内側に侵入しないことが分かった。
よって、短時間でノズル1の近傍のインク濡れ7をノズ
ル1に引き戻すことができ、ワイピングの際はインク濡
れ7やゴミが環状凸部4の内側に侵入することを防止で
きた。また、環状凸部4が存在する事によって、ノズル
1とワイパーの摩擦が緩和された。
環状凸部4をノズル1の周囲に2個設け、内側に形成し
た環状凸部4の直径は70ミクロン、外側に形成した環
状凸部4の直径は90ミクロン、平面幅はいずれも20
ミクロン、ノズル1の表面からの高さも5ミクロンで同
一とし、ノズル1を用いてインクジェット記録ヘッドを
組み立て、ノズル1の周囲のインク濡れ7の挙動を観察
した。
で分断され、環状凸部4より内側のインク濡れがインク
の表面張力によってノズル1に引き込まれる効果は同様
であった。
態に戻る点や、ノズル1のワイピングを行った場合に、
環状凸部4の遮断効果で、インク濡れやゴミが環状凸部
4の内側に来ない点についても同様であった。環状凸部
4を複数形成したことで、ワイピング等の機械的な摩擦
に対する耐久性を向上できた。
は、その環状凸部4が強くワイパーと接触する。しか
し、図12のように複数個設けると、外側に位置する環
状凸部4がワイパーと最も強く接触し、内側の環状凸部
4は外側と比べて弱く接触する。その結果、ワイパーと
の摩擦とそれに伴う摩耗が緩和され、環状凸部4の耐久
性を向上できることが分かった。この効果は、外側に設
けた環状凸部4より内側の環状凸部4の高さを低くする
ことによって一層顕著になる。
外周側に、ノズル1の表面を底面とする環状の段差3を
設けた例について述べる。本例では、環状凸部4は直径
70ミクロン、平面幅20ミクロン、高さ5ミクロンで
ノズル1と同心円形状に形成し、その外側に段差3を直
径150ミクロン、ノズル1の表面からの高さ5ミクロ
ンで形成した。図13に示すノズルプレートにより、イ
ンクジェット記録ヘッドを組み立て、インク滴6やノズ
ル1の周囲のインク濡れ7を調査した。
後のノズル1近傍のインク濡れ7を表しており、図15
(b)は時間経過に伴ってインク濡れ7がノズル1に引
き戻されていく状態を示している。
凸部4の外側まで広がるが、数マイクロ秒後に環状凸部
4で分断された。これにより、吐出直後から約25マイ
クロ秒後に、ノズル1の近傍にインク濡れ7が無い定常
状態に戻り、環状凸部4のインク濡れ7を防止する効果
が確認できた。また、段差3を形成したことによって、
段差3の内側に位置する環状凸部4は弱くワイパーと接
触する。このため、環状凸部4の摩耗は緩和されて耐久
性を向上できた。
に引きずられてきた環状凸部4の外側インク濡れ7やゴ
ミの多くは、段差3と環状凸部4の間に入りんだ。この
ため、環状凸部4の内側の、特にノズル1の近傍にイン
ク濡れ7やゴミが残ることを防止できることが分かっ
た。
凸部4を1個形成したが、ワイピング時の摩耗に対する
環状凸部4の耐久性や、インク濡れ7の分断効果をさら
に向上するため、環状凸部4を複数個形成してもよい。
また、段差3より環状凸部4の高さを低く形成すると、
耐久性はさらに向上する。
る。以上では、環状凸部4および段差3の具体的効果に
ついて述べたが、本発明第一実施例では、図1に示すよ
うに、環状凸部4に切り欠き5を複数形成する。本形態
においては、ノズル1と同心円形状に1個の環状凸部4
と、その外側に段差3を形成し、ワイピングを行う際の
ワイパー10の進入側と離脱側、およびそれらと約90
度異なる方向に、計4個の切り欠き5を形成した。
20ミクロン、高さ5ミクロン、段差3は直径150ミ
クロン、ノズル1の表面からの高さ5ミクロンとし、切
り欠き5については、円周方向の幅10ミクロンで環状
凸部4を破断する形状に形成した。
ト記録ヘッドを組み立て、インク滴6の吐出やワイピン
グの実験評価を行った。その結果、ノズル1の近傍から
速やかにインク濡れ7を除ける効果や、段差3による環
状凸部4の耐久性向上の効果を確認できた。
り、ワイピングによって生じるインク濡れ7の悪影響を
さらに低減できる効果がある。図2に示すように、ワイ
パー10の進行によって、段差3の外側にあったインク
濡れ7やゴミ(図示せず)は、順次ワイパー10と共に
移動し、一部のインク濡れ7は、ノズル1の中のインク
に吸収される。ノズル1に吸収されなかったインク濡れ
7や、ワイピング以前に環状凸部4の内側にあったイン
ク濡れ7やゴミはほとんど、切り欠き5を通って環状凸
部4の外側に移動し、段差3の近傍に僅かに残る程度で
あった。本実施例の効果は、複数の環状凸部4を設けた
構成についても同様に得ることができる。
部4で同様の評価を行った時は、図16に示すように、
インク濡れ7やゴミは環状凸部4の内側に残る現象が時
々観察された。これに対して、切り欠き5を設けた本実
施例では、ノズル1の近傍にインク濡れ7やゴミが留ま
る確率はさらに低減できた。
参照して説明する。本実施例では、環状凸部4の平面形
状を楕円流線形にした点で前述の実施例の構成と異な
り、楕円形の長軸はノズル1に対するワイピイング方向
と同一、短軸はワイピング方向と90度の方向とした。
ロン、高さ5ミクロン、長軸の径は100ミクロン、短
軸側の径は60ミクロンとし、これを直径150ミクロ
ン、ノズル1の表面から高さ5ミクロンの段差3の内側
に1個形成した。切り欠き5については、円周方向の幅
を10ミクロンとして環状凸部4を破断する形状に設
け、ワイピングを行う際のワイパー10の進入側と離脱
側に2個形成した。
様、インクジェット記録ヘッドを組み立て、ノズル1の
周囲のインク濡れ7を観察した。ノズル1の近傍のイン
ク濡れ7が環状凸部4で分断され、速やかにノズル1に
戻る効果や、段差3の内側に環状凸部4を設けたこと
で、ワイピングに対する耐久性を向上できる効果を確認
できた。
形成したことによって、インク濡れやゴミを環状凸部4
の外側に除去できる効果も確認できた。
線形状に形成したことで、ワイピングに伴ってインク濡
れやゴミが環状凸部4の内側に確率的に残ったとして
も、その場所はほとんど楕円の長手方向の両端のみであ
った。また、楕円形状の効果によって、環状凸部4の内
側におけるインク濡れやゴミがワイピング方向に移動し
やすくなり、インク濡れやゴミを環状凸部4の内側から
外側に除去できる効果が一層高まることが分かった。こ
のため、ノズル1の近傍にインク濡れやゴミが留まる可
能性はさらに低減できた。本実施例の効果は、環状凸部
4を複数設けた構成についても同様に得ることができ
る。
ついて図4および図5を用いて説明する。本実施例にお
いては、段差3をワイパー10の進行方向を長手とした
楕円流線形に設けた点、環状凸部を設けていない点が第
一および第二実施例とは異なる。
の高さ5ミクロン、ワイパー10の進行方向の長軸側径
は100ミクロン、短軸側の径60ミクロンに形成し
た。この段差3を設けたノズル1を用い、図7に示した
構造のインクジェット記録ヘッドを組み立て、段差3の
効果を調査した。その結果、段差3をノズル1に近接し
て設けたことによって、インク濡れ7が発生した場合で
も速やかにノズル1に戻る効果が確認できた。
に、ワイパー10によってノズル1の周囲をワイピング
する際、インク濡れ7やゴミが段差3の内側に残留した
としても、段差3の長手方向両端のみに残ることにあ
る。段差3の両端はノズル1への影響が無い部分であ
り、インク吐出性能への悪影響は防止できることが分か
った。なお本実施例では環状凸部を設けなかったが、楕
円流線形状の段差3の内側に環状凸部4を形成してもよ
い。
参照して説明する。本実施例は、ノズルの製造実施例を
説明する。ここでは同図を用い、段差3の内側に1個の
環状凸部4を設けたノズル1の製造工程について説明す
る。環状凸部4を持たない場合や、段差3を形成せずに
環状凸部4のみを設けたノズル、あるいは複数の環状凸
部4を設けたり、環状凸部4に切り欠き5を形成した実
施例についても、以下の製造工程と同一の方法で製造し
た。
4を形成する。基板9はシリコン単結晶ウエハから切り
出したものであり、薄膜14はポリシリコンをCVDプ
ロセスで5ミクロン厚に堆積成膜した。次に、薄膜14
にレジスト16を成膜し、フォトリソグラフィー法で段
差3や環状凸部4以外の領域を開口する。そして、ウエ
ットエッチングで薄膜をエッチングした後、レジスト1
6は除去した。
凸部4を形成した後、薄膜14を成膜した側から、フォ
トリソグラフィー法とRIE法(ドライエッチング)で
ノズル1の開口部分を形成し、最後にノズル1の裏面側
からシリコン単結晶の異方性ウエットエッチングでテー
パ形状にエッチング除去して、ノズルプレート15を製
造した。以上のフォトリソプロセスによって、前述の実
施形態の欄で述べた段差や環状凸部を容易に形成でき
た。
に対する撥水性能を有す膜を形成する。その後、図7に
示すように、このノズルプレート15と、インクプール
12とノズルへの連通孔を形成したプールプレートと、
インクに圧力を加える圧力室8と、圧力室8とインクプ
ール12を連結する供給路11を形成した圧力室プレー
トとを、接着剤を用いて順次積層接合する。
してピエゾアクチュエータを利用し、圧力室8の下側に
これを接合する。個々のノズル1に対応した圧力発生機
構13に、個別の電圧を印加できるよう配線を行ってヘ
ッドを製造した。変位発生機構13に電圧波形を印加
し、圧力室8を下側から上側に押す事によって、圧力室
8に満たしたインクを加圧し、ノズル1からインク滴6
を吐出した。
シリコンを成膜したが、メッキ法やスピンコート法等で
他の材質を成膜してもよい。また、ノズルプレートはシ
リコン単結晶基板を用いて製造したが、他の結晶基板や
金属板を用いてもよい。
ズルを加工したが、ノズルがあらかじめ形成された基板
に段差や環状凸部を形成してもよい。本実施例ではノズ
ルの加工をフォトリソ方式によって行ったが、金属板に
プレスで微小孔を形成する方法や、ニッケル等を利用し
た電鋳方法その他の手段を用いてもよい。
環状凸部に切り欠きを形成したり、環状凸部を楕円形状
とすることによって、ノズル近傍のインク濡れが速やか
にノズルに戻り、かつノズル近傍にインク濡れやゴミが
残留しない良好な状態を作り出すことができる。これに
より、個々のノズルから吐出するインク滴の吐出方向な
どの性能バラツキが低減でき、かつ高周波でインク滴を
吐出できる。さらに、本発明のインクジェット記録ヘッ
ド用ノズルを簡単に製造することができる。
と拡大斜視図。
を表す拡大斜視図。
図。
を表す拡大斜視図。
る断面図。
面図。
明する断面図。
化を説明する断面図。
斜視図。
図。
断面図。
効果を表す断面図。
Claims (7)
- 【請求項1】インクを吐出するノズルの開口エッジ周囲
に、前記ノズルを取り囲む環状凸部を設け、前記ノズル
を取り囲む平面形状でかつ前記ノズル表面を底面とする
段差を設け、前記環状凸部は前記段差の内側に、前記段
差以下の高さで設けられ、前記環状凸部には1個ないし
は複数個の切り欠きを設けたことを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド用ノズル。 - 【請求項2】前記切り欠きは、前記ノズルをワイピイン
グする際のワイパー進入側と離脱側を含む少なくとも2
ヶ所以上に設けられた請求項1記載のインクジェット記
録ヘッド用ノズル。 - 【請求項3】インクを吐出するノズルの開口エッジ周囲
に、前記ノズルを取り囲む環状凸部を設け、前記環状凸
部は、相互に接触することなく複数個設けられたことを
特徴とする請求項1記載のインクジェット記録ヘッド用
ノズル。 - 【請求項4】前記環状凸部の平面形状は、前記ノズルを
ワイピイングする際のワイパー進入側と離脱側を長手方
向とした楕円流線形に設けられたことを特徴とする請求
項1または請求項3記載のインクジェット記録ヘッド用
ノズル。 - 【請求項5】 前記環状凸部の内壁は、最も内側に設け
たもので、前記ノズル開口径の2ないし3倍に近接して
設けられた請求項1または請求項3記載のインクジェッ
ト記録ヘッド用ノズル。 - 【請求項6】 インクを吐出するノズルの表面を底面と
し、前記ノズルを取り囲む段差を設け、この段差の平面
形状は、前記ノズルをワイピイングする際のワイパー進
入側と離脱側を長手とした楕円流線形に形成されたこと
を特徴とする請求項1または請求項3記載のインクジェ
ット記録ヘッド用ノズル。 - 【請求項7】 請求項1または請求項3記載のインクジ
ェット記録ヘッド用ノズルの製造方法であって、前記ノ
ズルを設ける基板の表面側に薄膜を形成した後、前記段
差の底面部や前記環状凸部以外の領域をフォトリソグラ
フィー法によってエッチング除去して前記段差や前記環
状凸部を形成することを特徴とするインクジェット記録
ヘッド用ノズルの製造方法。
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