JPH07171964A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH07171964A JPH07171964A JP32175193A JP32175193A JPH07171964A JP H07171964 A JPH07171964 A JP H07171964A JP 32175193 A JP32175193 A JP 32175193A JP 32175193 A JP32175193 A JP 32175193A JP H07171964 A JPH07171964 A JP H07171964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle plate
- nozzle
- nozzle hole
- coating material
- pressure chamber
- Prior art date
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】インク滴を吐出させて記録を行うためのドロッ
プオンデマンド型インクジェットヘッドの製造方法に関
し、ノズル孔を塞がないようにノズル孔の縁近傍までノ
ズル板の外表面に溌水性のコーティング材をコーティン
グすることができるインクジェットヘッドの製造方法を
提供することを目的とする。 【構成】ノズル孔２を穿設した後、上記ノズル孔２の出
口部分だけを外側からマスク１３で覆い、その状態で上
記ノズル板１よりも溌水性の高いコーティング材１４を
上記ノズル板１の外表面にコーティングした後、上記マ
スク１３を除去する。
プオンデマンド型インクジェットヘッドの製造方法に関
し、ノズル孔を塞がないようにノズル孔の縁近傍までノ
ズル板の外表面に溌水性のコーティング材をコーティン
グすることができるインクジェットヘッドの製造方法を
提供することを目的とする。 【構成】ノズル孔２を穿設した後、上記ノズル孔２の出
口部分だけを外側からマスク１３で覆い、その状態で上
記ノズル板１よりも溌水性の高いコーティング材１４を
上記ノズル板１の外表面にコーティングした後、上記マ
スク１３を除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、インク滴を吐出させ
て記録を行うためのドロップオンデマンド型インクジェ
ットヘッドの製造方法に関する。
て記録を行うためのドロップオンデマンド型インクジェ
ットヘッドの製造方法に関する。
【０００２】インクジェット記録方式は、構造が簡単で
カラー化がし易く、騒音も無いなどの特長があり、今後
の記録方式の主流として期待されている。
カラー化がし易く、騒音も無いなどの特長があり、今後
の記録方式の主流として期待されている。
【０００３】
【従来の技術】インクジェットヘッドにおいては、イン
ク液が充填された圧力室に面して配置されたノズル板に
ノズル孔が穿設されていて、振動板によって加えられる
圧力によって、圧力室内のインク液がノズル孔からイン
ク滴となって吐出するようになっている。
ク液が充填された圧力室に面して配置されたノズル板に
ノズル孔が穿設されていて、振動板によって加えられる
圧力によって、圧力室内のインク液がノズル孔からイン
ク滴となって吐出するようになっている。
【０００４】そのようなノズル板の表面は溌水性が高い
ことが望ましい。溌水性が低いとノズル板の表面が濡れ
て、隣接するノズル孔の出口どうしがインク液でつなが
り、インク滴の飛翔方向が狂ってしまうからである。ま
た、バックアップユニットでインクを拭きとり難い等の
問題も生じる。
ことが望ましい。溌水性が低いとノズル板の表面が濡れ
て、隣接するノズル孔の出口どうしがインク液でつなが
り、インク滴の飛翔方向が狂ってしまうからである。ま
た、バックアップユニットでインクを拭きとり難い等の
問題も生じる。
【０００５】そこで、従来のインクジェットヘッドの製
造方法においては、ノズル板の外表面にフッ素樹脂など
のような溌水性の高いコーティング材をコーティングし
ていた。
造方法においては、ノズル板の外表面にフッ素樹脂など
のような溌水性の高いコーティング材をコーティングし
ていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、そのようなノ
ズル板の外表面に対するコーティングは、ノズル板にノ
ズル孔を穿けた後で行われるので、ノズル孔の近傍まで
コーティングを行うと、ノズル孔がコーティング材で埋
まって不良品になってしまう場合がある。
ズル板の外表面に対するコーティングは、ノズル板にノ
ズル孔を穿けた後で行われるので、ノズル孔の近傍まで
コーティングを行うと、ノズル孔がコーティング材で埋
まって不良品になってしまう場合がある。
【０００７】そのため、ノズル孔の近くまでコーティン
グすることができず、インク滴の飛翔方向に乱れが出る
ことがあった。また、隣り合うノズル孔間の間隔を短く
することができないため、インクジェット記録の解像度
をあげることができない等の問題があった。
グすることができず、インク滴の飛翔方向に乱れが出る
ことがあった。また、隣り合うノズル孔間の間隔を短く
することができないため、インクジェット記録の解像度
をあげることができない等の問題があった。
【０００８】そこで本発明は、ノズル孔を塞がないよう
にノズル孔の縁近傍までノズル板の外表面に溌水性のコ
ーティング材をコーティングすることができるインクジ
ェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
にノズル孔の縁近傍までノズル板の外表面に溌水性のコ
ーティング材をコーティングすることができるインクジ
ェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、実施
例を説明するための図１に示されるように、インク液が
充填される圧力室に面して配置されるノズル板１に、上
記圧力室内からインク滴を吐出するためのノズル孔２を
穿設した後、上記ノズル孔２の出口部分だけを外側から
マスク１３で覆い、その状態で上記ノズル板１よりも溌
水性の高いコーティング材１４を上記ノズル板１の外表
面にコーティングした後、上記マスク１３を除去するよ
うにしたことを特徴とする。
め、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、実施
例を説明するための図１に示されるように、インク液が
充填される圧力室に面して配置されるノズル板１に、上
記圧力室内からインク滴を吐出するためのノズル孔２を
穿設した後、上記ノズル孔２の出口部分だけを外側から
マスク１３で覆い、その状態で上記ノズル板１よりも溌
水性の高いコーティング材１４を上記ノズル板１の外表
面にコーティングした後、上記マスク１３を除去するよ
うにしたことを特徴とする。
【００１０】また、インク液が充填される圧力室に面し
て配置されるノズル板１に、上記圧力室内からインク滴
を吐出するためのノズル孔２を穿設した後、上記ノズル
孔２内に上記ノズル板１とは異なる材質の充填材１７を
充填し、その状態で上記ノズル板１よりも溌水性の高い
コーティング材１４を上記ノズル板１の外表面にコーテ
ィングした後、上記充填材１７を除去するようにしたこ
とを特徴とする。
て配置されるノズル板１に、上記圧力室内からインク滴
を吐出するためのノズル孔２を穿設した後、上記ノズル
孔２内に上記ノズル板１とは異なる材質の充填材１７を
充填し、その状態で上記ノズル板１よりも溌水性の高い
コーティング材１４を上記ノズル板１の外表面にコーテ
ィングした後、上記充填材１７を除去するようにしたこ
とを特徴とする。
【００１１】さらに、インク液が充填される圧力室に面
して配置されるノズル板１の外表面に、上記ノズル板１
よりも溌水性の高いコーティング材をコーティングした
後、上記圧力室内からインク滴を吐出するためのノズル
孔２を、上記ノズル板１に穿設するようにしてもよい。
して配置されるノズル板１の外表面に、上記ノズル板１
よりも溌水性の高いコーティング材をコーティングした
後、上記圧力室内からインク滴を吐出するためのノズル
孔２を、上記ノズル板１に穿設するようにしてもよい。
【００１２】
【作用】ノズル孔２の出口部分だけを外側からマスク１
３で覆ってノズル板１の外表面をコーティングすると、
コーティング材１４は、ノズル孔２の出口以外の部分に
おいてノズル板１の外表面に直接コーティングされる。
したがって、コーティングの後でマスク１３を除去すれ
ば、ノズル板１の外表面は、ノズル孔２の出口部分だけ
を除いて全面コーティングされた状態になる。
３で覆ってノズル板１の外表面をコーティングすると、
コーティング材１４は、ノズル孔２の出口以外の部分に
おいてノズル板１の外表面に直接コーティングされる。
したがって、コーティングの後でマスク１３を除去すれ
ば、ノズル板１の外表面は、ノズル孔２の出口部分だけ
を除いて全面コーティングされた状態になる。
【００１３】ノズル孔２内に充填材１７を充填してノズ
ル板１の外表面をコーティングすると、コーティング材
１４はノズル孔２の出口以外の部分においてノズル板１
の外表面に直接コーティングされる。したがって、コー
ティングの後で充填材１７を除去すれば、ノズル板１の
外表面は、ノズル孔２の出口部分だけを除いて全面コー
ティングされた状態になる。
ル板１の外表面をコーティングすると、コーティング材
１４はノズル孔２の出口以外の部分においてノズル板１
の外表面に直接コーティングされる。したがって、コー
ティングの後で充填材１７を除去すれば、ノズル板１の
外表面は、ノズル孔２の出口部分だけを除いて全面コー
ティングされた状態になる。
【００１４】ノズル板１の外表面にコーティングをした
後でノズル孔２をノズル板１に穿設すれば、ノズル孔２
の出口部分のコーティング材１４が除去され、ノズル板
１の外表面の他の部分には全面にコーティング材１４が
残る。
後でノズル孔２をノズル板１に穿設すれば、ノズル孔２
の出口部分のコーティング材１４が除去され、ノズル板
１の外表面の他の部分には全面にコーティング材１４が
残る。
【００１５】
【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。
図４はドロップオンデマンド型のインクジェットヘッド
の一例を示しており、ノズル孔２が貫通して穿設された
ノズル板１が、インク流路３と圧力室４が凹んで形成さ
れた基板５に接合されている。６は振動板、７は圧電素
子、８及び９は圧電素子７に電圧を印加するための電極
である。
図４はドロップオンデマンド型のインクジェットヘッド
の一例を示しており、ノズル孔２が貫通して穿設された
ノズル板１が、インク流路３と圧力室４が凹んで形成さ
れた基板５に接合されている。６は振動板、７は圧電素
子、８及び９は圧電素子７に電圧を印加するための電極
である。
【００１６】このようなインクジェットヘッドにおいて
は、インク液がインク流路３を介して圧力室４内に常に
充填されていて、圧電素子７に電圧を印加して振動板６
を変形させることにより、圧力室４内のインク液に吐出
圧力が加えられ、インク滴がノズル孔２から外方に吐出
されて飛翔する。
は、インク液がインク流路３を介して圧力室４内に常に
充填されていて、圧電素子７に電圧を印加して振動板６
を変形させることにより、圧力室４内のインク液に吐出
圧力が加えられ、インク滴がノズル孔２から外方に吐出
されて飛翔する。
【００１７】なお、一つのインクジェットヘッドはこの
ようなものを多数（例えば１６ないし６４個）配列した
ものであり、多数のインクジェットヘッドが形成された
大きなブロックを、小さく切断して一つのインクジェッ
トヘッドが得られる。本発明は、基板５に接合される前
の状態における、ノズル板１の外表面１ａに対するコー
ティング工程に関するものである。
ようなものを多数（例えば１６ないし６４個）配列した
ものであり、多数のインクジェットヘッドが形成された
大きなブロックを、小さく切断して一つのインクジェッ
トヘッドが得られる。本発明は、基板５に接合される前
の状態における、ノズル板１の外表面１ａに対するコー
ティング工程に関するものである。
【００１８】図１は本発明の第１の実施例を示してお
り、ノズル孔２が穿設された例えばステンレス鋼からな
るノズル板１の外表面に、まずに示されるように、光
硬化性の感光性樹脂１１を塗布する。
り、ノズル孔２が穿設された例えばステンレス鋼からな
るノズル板１の外表面に、まずに示されるように、光
硬化性の感光性樹脂１１を塗布する。
【００１９】次いでに示されるように、ノズル孔２に
対応する位置に、ノズル孔２より僅かに大きな孔が穿け
られた遮光マスク１２を感光性樹脂１１の表面に覆せ、
露光をする。
対応する位置に、ノズル孔２より僅かに大きな孔が穿け
られた遮光マスク１２を感光性樹脂１１の表面に覆せ、
露光をする。
【００２０】そして、遮光マスク１２を取り除いて感光
性樹脂１１を現像すると、に示されるように、露光さ
れたノズル孔１の出口部分だけに感光性樹脂１１が残
り、これがコーティングよけのためのマスク１３とな
る。
性樹脂１１を現像すると、に示されるように、露光さ
れたノズル孔１の出口部分だけに感光性樹脂１１が残
り、これがコーティングよけのためのマスク１３とな
る。
【００２１】そこでに示されるように、ノズル板１の
外表面全体にノズル板１より溌水性の大きな例えばフッ
素系樹脂からなるコーティング材１４を、例えば厚さ１
０μｍにコーティングする。
外表面全体にノズル板１より溌水性の大きな例えばフッ
素系樹脂からなるコーティング材１４を、例えば厚さ１
０μｍにコーティングする。
【００２２】そして、溶剤によって感光性樹脂１１から
なるマスク１３を溶かすと、に示されるように、ノズ
ル板１はノズル孔２の出口部分だけを除いて全面コーテ
ィングされた状態になる。なお、感光性樹脂１１として
は、コーティング材１４を溶かさない溶剤（例えばアセ
トン、トルエン）に溶けるもの（例えば東京応化製ＯＦ
ＰＲ８００）を用いる。
なるマスク１３を溶かすと、に示されるように、ノズ
ル板１はノズル孔２の出口部分だけを除いて全面コーテ
ィングされた状態になる。なお、感光性樹脂１１として
は、コーティング材１４を溶かさない溶剤（例えばアセ
トン、トルエン）に溶けるもの（例えば東京応化製ＯＦ
ＰＲ８００）を用いる。
【００２３】図２は第２の実施例を示しており、に示
されるように、ノズル孔２が穿設されたノズル板１の裏
面側を、液状又は液状に近い硬化性樹脂１６の表面に密
着させて、矢印に示されるようにノズル孔２の出口側か
ら吸収をする。
されるように、ノズル孔２が穿設されたノズル板１の裏
面側を、液状又は液状に近い硬化性樹脂１６の表面に密
着させて、矢印に示されるようにノズル孔２の出口側か
ら吸収をする。
【００２４】すると、に示されるように、硬化性樹脂
１６がノズル孔２内に充填されて硬化し、ノズル孔２を
全長にわたって閉塞する充填材１７となる。そこでに
示されるように、ノズル板１の外表面全体に例えばフッ
素系樹脂からなるコーティング材１４をコーティングし
た後、溶剤によってノズル孔２内の硬化性樹脂１６から
なる充填材１７を溶かすと、に示されるように、ノズ
ル板１は、ノズル孔２の出口部分だけを除いて全面コー
ティングされた状態になる。なお、硬化性樹脂１６とし
ては、コーティング材１４を溶かさない溶剤（例えばア
セトン、トルエン）に溶けるもの（例えば東京応化製Ｏ
ＦＰＲ８００）を用いる。
１６がノズル孔２内に充填されて硬化し、ノズル孔２を
全長にわたって閉塞する充填材１７となる。そこでに
示されるように、ノズル板１の外表面全体に例えばフッ
素系樹脂からなるコーティング材１４をコーティングし
た後、溶剤によってノズル孔２内の硬化性樹脂１６から
なる充填材１７を溶かすと、に示されるように、ノズ
ル板１は、ノズル孔２の出口部分だけを除いて全面コー
ティングされた状態になる。なお、硬化性樹脂１６とし
ては、コーティング材１４を溶かさない溶剤（例えばア
セトン、トルエン）に溶けるもの（例えば東京応化製Ｏ
ＦＰＲ８００）を用いる。
【００２５】図３は第３の実施例を示しており、ここで
はまず、に示されるように、厚さが例えば１００μｍ
のステンレス鋼材からなるノズル板１の外表面全面に、
例えばフッ素系樹脂からなるコーティング材１４をコー
ティングする。
はまず、に示されるように、厚さが例えば１００μｍ
のステンレス鋼材からなるノズル板１の外表面全面に、
例えばフッ素系樹脂からなるコーティング材１４をコー
ティングする。
【００２６】次いでに示されるように、ノズル孔を穿
設する位置に対応させて、ノズル板１の裏面側からのプ
レス加工によって、板厚が極部的に５０μｍになるよう
に、例えば直径が１００μｍ程度の球状の凹み１８を形
成する。
設する位置に対応させて、ノズル板１の裏面側からのプ
レス加工によって、板厚が極部的に５０μｍになるよう
に、例えば直径が１００μｍ程度の球状の凹み１８を形
成する。
【００２７】そしてに示されるように、ノズル板１の
外表面側から、直径が例えば５０μｍのノズル孔２を、
プレス加工によって貫通して穿設する。するとノズル板
１は、ノズル孔２の出口部分だけを除いて全面コーティ
ングされた状態になる。なお、ノズル孔２の孔穿けはプ
レス加工以外の加工法で行ってもよい。
外表面側から、直径が例えば５０μｍのノズル孔２を、
プレス加工によって貫通して穿設する。するとノズル板
１は、ノズル孔２の出口部分だけを除いて全面コーティ
ングされた状態になる。なお、ノズル孔２の孔穿けはプ
レス加工以外の加工法で行ってもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、ノズル板の外表面に、
ノズル孔の出口部分だけを除いて溌水性の高いコーティ
ング材をコーティングすることができるので、ノズル孔
から吐出されるインク滴の飛翔方向が安定して優れた印
字品質が得られると共に、隣り合うノズル孔間の間隔を
短くすることが可能になって、インクジェット記録の解
像度を高めることができる。
ノズル孔の出口部分だけを除いて溌水性の高いコーティ
ング材をコーティングすることができるので、ノズル孔
から吐出されるインク滴の飛翔方向が安定して優れた印
字品質が得られると共に、隣り合うノズル孔間の間隔を
短くすることが可能になって、インクジェット記録の解
像度を高めることができる。
【図１】第１の実施例の工程説明図である。
【図２】第２の実施例の工程説明図である。
【図３】第３の実施例の工程説明図である。
【図４】インクジェットヘッドの側面断面図である。
【符号の説明】 １ ノズル板 ２ ノズル孔 １３ マスク １４ コーティング材
Claims (3)
- 【請求項１】インク液が充填される圧力室に面して配置
されるノズル板（１）に、上記圧力室内からインク滴を
吐出するためのノズル孔（２）を穿設した後、上記ノズ
ル孔（２）の出口部分だけを外側からマスク（１３）で
覆い、その状態で上記ノズル板（１）よりも溌水性の高
いコーティング材（１４）を上記ノズル板（１）の外表
面にコーティングした後、上記マスク（１３）を除去す
るようにしたことを特徴とするインクジェットヘッドの
製造方法。 - 【請求項２】インク液が充填される圧力室に面して配置
されるノズル板（１）に、上記圧力室内からインク滴を
吐出するためのノズル孔（２）を穿設した後、上記ノズ
ル孔（２）内に上記ノズル板（１）とは異なる材質の充
填材（１７）を充填し、その状態で上記ノズル板（１）
よりも溌水性の高いコーティング材（１４）を上記ノズ
ル板（１）の外表面にコーティングした後、上記充填材
（１７）を除去するようにしたことを特徴とするインク
ジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項３】インク液が充填される圧力室に面して配置
されるノズル板（１）の外表面に、上記ノズル板（１）
よりも溌水性の高いコーティング材をコーティングした
後、上記圧力室内からインク滴を吐出するためのノズル
孔（２）を、上記ノズル板（１）に穿設するようにした
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32175193A JPH07171964A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32175193A JPH07171964A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07171964A true JPH07171964A (ja) | 1995-07-11 |
Family
ID=18136046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32175193A Withdrawn JPH07171964A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07171964A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6341836B1 (en) | 1999-03-17 | 2002-01-29 | Fujitsu Limited | Water-repellent coating and method for forming same on the surface of liquid jet |
| JP2004520981A (ja) * | 2001-06-05 | 2004-07-15 | ザール テクノロジー リミテッド | 液滴付着装置用ノズル板 |
-
1993
- 1993-12-21 JP JP32175193A patent/JPH07171964A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6341836B1 (en) | 1999-03-17 | 2002-01-29 | Fujitsu Limited | Water-repellent coating and method for forming same on the surface of liquid jet |
| JP2004520981A (ja) * | 2001-06-05 | 2004-07-15 | ザール テクノロジー リミテッド | 液滴付着装置用ノズル板 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |