JP3499952B2 - Ｃｏ２ ガス用センサ - Google Patents
Ｃｏ２ ガス用センサInfo
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- JP3499952B2 JP3499952B2 JP05709095A JP5709095A JP3499952B2 JP 3499952 B2 JP3499952 B2 JP 3499952B2 JP 05709095 A JP05709095 A JP 05709095A JP 5709095 A JP5709095 A JP 5709095A JP 3499952 B2 JP3499952 B2 JP 3499952B2
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- gas
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、広範囲濃度のＣＯ2 ガ
スを簡便な方法で迅速に検知できるＣＯ2 ガス用セン
サ、その製造方法及びその使用方法に関する。
スを簡便な方法で迅速に検知できるＣＯ2 ガス用セン
サ、その製造方法及びその使用方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＯ2 ガスは大気中に約０．０３vol ％
含まれているが、近年、化石燃料の使用等により、その
含有量が増加の一途をたどっており、それが地球温暖化
という深刻な問題を引き起こしている。したがって、Ｃ
Ｏ2 ガスの排出量を抑制しようとする試みがなされてお
り、その過程において、ＣＯ2 ガス濃度を迅速かつ簡便
に測定できるセンサが求められている。
含まれているが、近年、化石燃料の使用等により、その
含有量が増加の一途をたどっており、それが地球温暖化
という深刻な問題を引き起こしている。したがって、Ｃ
Ｏ2 ガスの排出量を抑制しようとする試みがなされてお
り、その過程において、ＣＯ2 ガス濃度を迅速かつ簡便
に測定できるセンサが求められている。
【０００３】また、閉鎖的な作業環境においては、ＣＯ
2 ガス濃度の増加により、作業員の健康、生命にかかわ
る場合も考えられ（人体への許容濃度は０．５vol
％）、快適な作業環境の維持を確保するためにも、上記
したセンサの開発が望まれている。
2 ガス濃度の増加により、作業員の健康、生命にかかわ
る場合も考えられ（人体への許容濃度は０．５vol
％）、快適な作業環境の維持を確保するためにも、上記
したセンサの開発が望まれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、迅速性及び簡便
性の点、更に、広範囲の濃度測定に精度よく対応できる
ＣＯ2 ガス用センサは実用化されていない。そこで本発
明は、かかる課題を達成できるＣＯ2 ガス用センサ、そ
の製造方法及びその使用方法を提供することを目的とす
る。
性の点、更に、広範囲の濃度測定に精度よく対応できる
ＣＯ2 ガス用センサは実用化されていない。そこで本発
明は、かかる課題を達成できるＣＯ2 ガス用センサ、そ
の製造方法及びその使用方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するべく研究の結果、Ｓｂイオンを添加した斜方晶
系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸リチウム焼
結体が、それに通電した場合、外部雰囲気のＣＯ2 ガス
濃度の変化に応じて電気抵抗値を変化させるというセン
サとしての特性を有することを見出し、本発明を完成し
た。
達成するべく研究の結果、Ｓｂイオンを添加した斜方晶
系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸リチウム焼
結体が、それに通電した場合、外部雰囲気のＣＯ2 ガス
濃度の変化に応じて電気抵抗値を変化させるというセン
サとしての特性を有することを見出し、本発明を完成し
た。
【０００６】 本発明は、Ｓｂイオンを含有する斜方晶
系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸リチウム焼
結体を含む基板と、前記基板の同一面上又は対向する面
上に隔離して配置された二つの電極とを有することを特
徴とするＣＯ2 ガス用センサを提供する。
系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸リチウム焼
結体を含む基板と、前記基板の同一面上又は対向する面
上に隔離して配置された二つの電極とを有することを特
徴とするＣＯ2 ガス用センサを提供する。
【０００７】 また、本発明は、炭酸リチウム１９．８
〜３１．９mol ％、二酸化チタン６１．２〜７７．８mo
l ％及び酸化アンチモン０．２〜１０．０mol ％を乾式
混合し又は湿式混合したのち乾燥し、１３００℃以上で
加熱溶融する工程、次に、大気中又は水中で急冷してＳ
ｂイオンを含有する斜方晶系ラムスデライト型構造を有
する三チタン酸リチウムを得たのち、粉砕し、所望形状
に加圧下で成形する工程、その後、９４０℃以上で３時
間以上焼成することにより、Ｓｂイオンを含有する斜方
晶系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸リチウム
焼結体からなる基板を得る工程、次に、前工程で得られ
た基板の同一又は対向する面上に、二つの電極を隔離し
て形成する工程、を具備することを特徴とするＣＯ2 ガ
ス用センサの製造方法を提供する。
〜３１．９mol ％、二酸化チタン６１．２〜７７．８mo
l ％及び酸化アンチモン０．２〜１０．０mol ％を乾式
混合し又は湿式混合したのち乾燥し、１３００℃以上で
加熱溶融する工程、次に、大気中又は水中で急冷してＳ
ｂイオンを含有する斜方晶系ラムスデライト型構造を有
する三チタン酸リチウムを得たのち、粉砕し、所望形状
に加圧下で成形する工程、その後、９４０℃以上で３時
間以上焼成することにより、Ｓｂイオンを含有する斜方
晶系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸リチウム
焼結体からなる基板を得る工程、次に、前工程で得られ
た基板の同一又は対向する面上に、二つの電極を隔離し
て形成する工程、を具備することを特徴とするＣＯ2 ガ
ス用センサの製造方法を提供する。
【０００８】更に、本発明は、前記ＣＯ2 ガス用センサ
を構成する基板を、予め５０〜５００℃に加熱したの
ち、被測定環境に置くことを特徴とするＣＯ2 ガス用セ
ンサの使用方法を提供する。
を構成する基板を、予め５０〜５００℃に加熱したの
ち、被測定環境に置くことを特徴とするＣＯ2 ガス用セ
ンサの使用方法を提供する。
【０００９】 まず、本発明のＣＯ2 ガス用センサにつ
いて、図１に基づいて説明する。ＣＯ2 ガス用センサ１
を構成する基板２は、Ｓｂイオンを含有する斜方晶系ラ
ムスデライト型構造を有する三チタン酸リチウム焼結体
（以下、単に「Ｓｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結
体」という）から形成されるものである。このような有
Ｓｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結体からなる基板
２の形状、大きさなどは特に制限されるものではなく、
平板状、立方体状、直方体状、円柱状など、ＣＯ2 ガス
用センサの設置場所などに応じ、所望形状にすることが
できる。
いて、図１に基づいて説明する。ＣＯ2 ガス用センサ１
を構成する基板２は、Ｓｂイオンを含有する斜方晶系ラ
ムスデライト型構造を有する三チタン酸リチウム焼結体
（以下、単に「Ｓｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結
体」という）から形成されるものである。このような有
Ｓｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結体からなる基板
２の形状、大きさなどは特に制限されるものではなく、
平板状、立方体状、直方体状、円柱状など、ＣＯ2 ガス
用センサの設置場所などに応じ、所望形状にすることが
できる。
【００１０】基板を構成するＳｂイオン含有三チタン酸
リチウム焼結体は、その製造原料として、炭酸リチウム
を好ましくは１９．８〜３１．９mol ％、特に好ましく
は２５．７〜３０．７mol ％含有し、二酸化チタンを好
ましくは６１．２〜７７．８mol ％、特に好ましくは６
５．６〜７２．３mol ％含有し、Ｓｂイオン源としての
酸化アンチモンを好ましくは０．２〜１０．０mol ％、
特に好ましくは１．０〜５．０mol ％含有するものであ
る。
リチウム焼結体は、その製造原料として、炭酸リチウム
を好ましくは１９．８〜３１．９mol ％、特に好ましく
は２５．７〜３０．７mol ％含有し、二酸化チタンを好
ましくは６１．２〜７７．８mol ％、特に好ましくは６
５．６〜７２．３mol ％含有し、Ｓｂイオン源としての
酸化アンチモンを好ましくは０．２〜１０．０mol ％、
特に好ましくは１．０〜５．０mol ％含有するものであ
る。
【００１１】また、本発明のＣＯ2 ガス用センサを構成
する二つの電極３ａ及び３ｂは、基板の同一面上に隔離
して形成されているものであるが、そのほか、二つの電
極を対向する面上に隔離して形成することもできる。こ
の電極材料としてはイオンブロック効果の高いものであ
れば特に制限されるものではなく、通常は白金を用いる
ことができる。
する二つの電極３ａ及び３ｂは、基板の同一面上に隔離
して形成されているものであるが、そのほか、二つの電
極を対向する面上に隔離して形成することもできる。こ
の電極材料としてはイオンブロック効果の高いものであ
れば特に制限されるものではなく、通常は白金を用いる
ことができる。
【００１２】次に、その製造方法を説明しながら、あわ
せてＣＯ2 ガス用センサの詳細な構成についても説明す
る。
せてＣＯ2 ガス用センサの詳細な構成についても説明す
る。
【００１３】まず、炭酸リチウム（Ｌｉ2 ＣＯ3 ）、二
酸化チタン（ＴｉＯ2 ）及びＳｂイオン源としての酸化
アンチモン、即ち、三酸化二アンチモン（Ｓｂ
2 Ｏ3 ）、四酸化二アンチモン（Ｓｂ2 Ｏ4 ）又は五酸
化二アンチモン（Ｓｂ2 Ｏ5 ）を、乾式又は湿式混合し
たのち（湿式混合の場合は、乾燥処理を要する）、白金
容器中に入れ（好ましくは押し固めた状態で入れる）、
１３００℃以上で加熱溶融する。
酸化チタン（ＴｉＯ2 ）及びＳｂイオン源としての酸化
アンチモン、即ち、三酸化二アンチモン（Ｓｂ
2 Ｏ3 ）、四酸化二アンチモン（Ｓｂ2 Ｏ4 ）又は五酸
化二アンチモン（Ｓｂ2 Ｏ5 ）を、乾式又は湿式混合し
たのち（湿式混合の場合は、乾燥処理を要する）、白金
容器中に入れ（好ましくは押し固めた状態で入れる）、
１３００℃以上で加熱溶融する。
【００１４】この工程における炭酸リチウムと二酸化チ
タンの混合割合は、三チタン酸リチウムの生成率を高め
てＣＯ2 ガスセンサとしての特性を十分に発現させるた
め、炭酸リチウムの配合量が１９．８〜３１．９mol ％
であることが好ましく、特に２５．７〜３０．７mol ％
であることが好ましい。また、同様の理由から、ニ酸化
チタンの配合量が６１．２〜７７．８mol ％であること
が好ましく、特に６５．６〜７２．３mol ％であること
が好ましい。さらに、Ｓｂイオン源である酸化アンチモ
ンの混合割合は、三チタン酸リチウムの熱安定性を高
め、ＣＯ2 ガスセンサとしての特性をより安定かつ十分
に発現させるため、酸化アンチモンの配合量が０．２〜
１０．０mol ％であることが好ましく、特に１．０〜
５．０mol ％であることが好ましい。
タンの混合割合は、三チタン酸リチウムの生成率を高め
てＣＯ2 ガスセンサとしての特性を十分に発現させるた
め、炭酸リチウムの配合量が１９．８〜３１．９mol ％
であることが好ましく、特に２５．７〜３０．７mol ％
であることが好ましい。また、同様の理由から、ニ酸化
チタンの配合量が６１．２〜７７．８mol ％であること
が好ましく、特に６５．６〜７２．３mol ％であること
が好ましい。さらに、Ｓｂイオン源である酸化アンチモ
ンの混合割合は、三チタン酸リチウムの熱安定性を高
め、ＣＯ2 ガスセンサとしての特性をより安定かつ十分
に発現させるため、酸化アンチモンの配合量が０．２〜
１０．０mol ％であることが好ましく、特に１．０〜
５．０mol ％であることが好ましい。
【００１５】 次に、大気中又は水中において急冷する
ことにより、Ｓｂイオンを含有する斜方晶系ラムスデラ
イト型構造を有する三チタン酸リチウム（Ｌｉ2 Ｔｉ3
Ｏ7 ）を得たのち、粉砕し、所望形状に加圧下で成形す
る。
ことにより、Ｓｂイオンを含有する斜方晶系ラムスデラ
イト型構造を有する三チタン酸リチウム（Ｌｉ2 Ｔｉ3
Ｏ7 ）を得たのち、粉砕し、所望形状に加圧下で成形す
る。
【００１６】その後、前工程で得られた三チタン酸リチ
ウムを、９４０℃以上で３時間以上、好ましくは１１０
０℃で５時間焼成したのち、大気中又は水中において急
冷することにより、Ｓｂイオン含有三チタン酸リチウム
焼結体を得ることができる。
ウムを、９４０℃以上で３時間以上、好ましくは１１０
０℃で５時間焼成したのち、大気中又は水中において急
冷することにより、Ｓｂイオン含有三チタン酸リチウム
焼結体を得ることができる。
【００１７】次に、Ｓｂイオン含有三チタン酸リチウム
焼結体を基板とし、その同一又は対向する面上に、常法
により二つの電極を隔離して形成する。
焼結体を基板とし、その同一又は対向する面上に、常法
により二つの電極を隔離して形成する。
【００１８】このように、基板をＳｂイオン含有三チタ
ン酸リチウム焼結体により形成することにより、次の利
点を有する。三チタン酸リチウム焼結体は、室温では準
安定相として存在するため、温度に対しては不安定とな
る。したがって、３８０℃以上の温度雰囲気に長時間置
かれると六方晶系に相転移し、絶縁体化するとともにセ
ンサ機能が消失してしまう。しかし、Ｓｂイオンを含有
させることにより、９００℃以上の高温においても安定
に存在させることができる。更に、センサ特性としての
電気抵抗値も、Ｓｂイオンを含有していない三チタン酸
リチウム焼結体に比べると大幅に低下するため、測定が
容易になる。
ン酸リチウム焼結体により形成することにより、次の利
点を有する。三チタン酸リチウム焼結体は、室温では準
安定相として存在するため、温度に対しては不安定とな
る。したがって、３８０℃以上の温度雰囲気に長時間置
かれると六方晶系に相転移し、絶縁体化するとともにセ
ンサ機能が消失してしまう。しかし、Ｓｂイオンを含有
させることにより、９００℃以上の高温においても安定
に存在させることができる。更に、センサ特性としての
電気抵抗値も、Ｓｂイオンを含有していない三チタン酸
リチウム焼結体に比べると大幅に低下するため、測定が
容易になる。
【００１９】次に、本発明のＣＯ2 ガス用センサの使用
方法を、図２に基づいて説明する。図２は、ＣＯ2 ガス
用センサを組み込んだ測定回路の概略平面図である。電
極３ａ，３ｂは、導体５を介して交流電源に接続されて
いる。この測定回路には、ＣＯ2 ガス用センサの電気抵
抗の変化を計測するためのＬＣＲメーターが組み込まれ
ている。
方法を、図２に基づいて説明する。図２は、ＣＯ2 ガス
用センサを組み込んだ測定回路の概略平面図である。電
極３ａ，３ｂは、導体５を介して交流電源に接続されて
いる。この測定回路には、ＣＯ2 ガス用センサの電気抵
抗の変化を計測するためのＬＣＲメーターが組み込まれ
ている。
【００２０】まず、ＣＯ2 ガス用センサ１を所望の測定
環境に置く。次に、電源より通電すると、基板２を構成
するＳｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結体は、ＣＯ
2 ガス濃度の変化に応じてその電気抵抗が変化するとい
うセンサ特性を有しているため、測定時及びその後のＣ
Ｏ2 ガス濃度変化に応じた電気抵抗値を示す。したがっ
て、それらをＬＣＲメーターにより読み取り、予め作成
した検量線に基づいて、ＣＯ2 ガス濃度を求めることが
できる。なお、このとき、ＣＯ2 ガスの検知能力及び電
気抵抗値復元能力をより高めるため、基板２を予め５０
〜５００℃、特に１００〜３００℃に加熱したのち、Ｃ
Ｏ2 ガス用センサ１を所望の測定環境に置くことが好ま
しい。
環境に置く。次に、電源より通電すると、基板２を構成
するＳｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結体は、ＣＯ
2 ガス濃度の変化に応じてその電気抵抗が変化するとい
うセンサ特性を有しているため、測定時及びその後のＣ
Ｏ2 ガス濃度変化に応じた電気抵抗値を示す。したがっ
て、それらをＬＣＲメーターにより読み取り、予め作成
した検量線に基づいて、ＣＯ2 ガス濃度を求めることが
できる。なお、このとき、ＣＯ2 ガスの検知能力及び電
気抵抗値復元能力をより高めるため、基板２を予め５０
〜５００℃、特に１００〜３００℃に加熱したのち、Ｃ
Ｏ2 ガス用センサ１を所望の測定環境に置くことが好ま
しい。
【００２１】本発明のＣＯ2 ガス用センサは、使用後、
そのまま大気中に放置することにより、電気抵抗値は短
時間で通電前の初期値に復元し、再度の測定に提供する
ことができる。
そのまま大気中に放置することにより、電気抵抗値は短
時間で通電前の初期値に復元し、再度の測定に提供する
ことができる。
【００２２】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳しく説明
するが、本発明はこれらにより限定されるものではな
い。
するが、本発明はこれらにより限定されるものではな
い。
【００２３】実施例１
次の製造方法で、図１に示すような形状のＣＯ2 ガス用
センサを製造した。まず、炭酸リチウム（キシダ化学社
製；特級試薬）、二酸化チタン（キシダ化学社製；特級
試薬；ルチル１００％，）及びＳｂイオン源としての五
酸化二アンチモン（Ｓｂ2 Ｏ5 ）を、モル分率（mol
％）２８．１／６８．９／３．０となるように計量した
のち乾式混合し、所定の白金容器中に入れて押し固め、
１３５０℃、１時間の条件で電気炉を用いて加熱溶融し
た。
センサを製造した。まず、炭酸リチウム（キシダ化学社
製；特級試薬）、二酸化チタン（キシダ化学社製；特級
試薬；ルチル１００％，）及びＳｂイオン源としての五
酸化二アンチモン（Ｓｂ2 Ｏ5 ）を、モル分率（mol
％）２８．１／６８．９／３．０となるように計量した
のち乾式混合し、所定の白金容器中に入れて押し固め、
１３５０℃、１時間の条件で電気炉を用いて加熱溶融し
た。
【００２４】 次に、電気炉から取り出し、大気中に放
置して室温まで急冷することにより、Ｓｂイオンを含有
する斜方晶系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸
リチウム（Ｌｉ2 Ｔｉ3 Ｏ7 ）の塊を得た。その後、そ
の塊をアルミナ乳鉢により粉砕し、その粉砕物を加圧下
（２０MPa ）で平板状に成形した。
置して室温まで急冷することにより、Ｓｂイオンを含有
する斜方晶系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸
リチウム（Ｌｉ2 Ｔｉ3 Ｏ7 ）の塊を得た。その後、そ
の塊をアルミナ乳鉢により粉砕し、その粉砕物を加圧下
（２０MPa ）で平板状に成形した。
【００２５】その後、前工程で得られた三チタン酸リチ
ウムを、１１００℃で５時間焼成したのち、大気中で放
置して室温まで急冷することにより、Ｓｂイオン含有三
チタン酸リチウム焼結体からなる基板を得た。
ウムを、１１００℃で５時間焼成したのち、大気中で放
置して室温まで急冷することにより、Ｓｂイオン含有三
チタン酸リチウム焼結体からなる基板を得た。
【００２６】次に、前工程で得られた基板の同一面上
に、白金からなる二つの電極を隔離して形成し、ＣＯ2
ガス用センサを得た。
に、白金からなる二つの電極を隔離して形成し、ＣＯ2
ガス用センサを得た。
【００２７】実施例２
実施例１で得たＣＯ2 ガス用センサを図２に示すような
測定回路に組み込み、ＣＯ2 ガスを１０〜１０5vol ppm
まで変化させ、その場合の電気抵抗値（Ω）の変化をＬ
ＣＲメーターで読み取ることにより、検量線を作成し
た。測定は、ＣＯ 2 ガス用センサのみを密閉系内に放置
し、外部雰囲気との電源（交流１００ｖ）等と導体によ
り接続して行った。なお、基板は、予め３００℃に加熱
しておいた。結果を図３に示す。
測定回路に組み込み、ＣＯ2 ガスを１０〜１０5vol ppm
まで変化させ、その場合の電気抵抗値（Ω）の変化をＬ
ＣＲメーターで読み取ることにより、検量線を作成し
た。測定は、ＣＯ 2 ガス用センサのみを密閉系内に放置
し、外部雰囲気との電源（交流１００ｖ）等と導体によ
り接続して行った。なお、基板は、予め３００℃に加熱
しておいた。結果を図３に示す。
【００２８】図３から明らかなとおり、１０〜１０3VOL
ppmまでのＣＯ2 ガス濃度の変化に対し、７００〜７８
３Ωまでの直線的な電気抵抗値の変化を示した。この結
果から、１０〜１０3vol ppmまでのＣＯ2 ガス濃度範囲
において、本発明のＣＯ2 ガス用センサの測定信頼性が
確認された。
ppmまでのＣＯ2 ガス濃度の変化に対し、７００〜７８
３Ωまでの直線的な電気抵抗値の変化を示した。この結
果から、１０〜１０3vol ppmまでのＣＯ2 ガス濃度範囲
において、本発明のＣＯ2 ガス用センサの測定信頼性が
確認された。
【００２９】また、測定終了後、ＣＯ2 ガス用センサを
大気中でそのまま約１０分間放置することにより、電気
抵抗値が初期値に戻ったことを確認した。
大気中でそのまま約１０分間放置することにより、電気
抵抗値が初期値に戻ったことを確認した。
【００３０】実施例３
実施例１のＣＯ2 ガス用センサにより、炉を使用する一
般的な作業所内のＣＯ 2 ガス濃度を測定したところ、電
気抵抗値が７７２Ωを示し、これからＣＯ2 ガス濃度が
０．１ppm であることがわかった。また、この同作業所
内のＣＯ2 ガス濃度を、汎用されている赤外線型ＣＯ2
メータにより測定した結果、同一の測定値が得られた。
般的な作業所内のＣＯ 2 ガス濃度を測定したところ、電
気抵抗値が７７２Ωを示し、これからＣＯ2 ガス濃度が
０．１ppm であることがわかった。また、この同作業所
内のＣＯ2 ガス濃度を、汎用されている赤外線型ＣＯ2
メータにより測定した結果、同一の測定値が得られた。
【００３１】
【発明の効果】本発明のＣＯ2 ガス用センサは、基板と
してＳｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結体を用いて
いる。このＳｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結体
は、ＣＯ 2 ガスの濃度変化に応じて電気抵抗を変化させ
るというガスセンサとしての特性を有しているため、測
定環境のＣＯ2 ガス濃度を、簡便な測定方法により、迅
速にかつ高い信頼性で測定することができる。
してＳｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結体を用いて
いる。このＳｂイオン含有三チタン酸リチウム焼結体
は、ＣＯ 2 ガスの濃度変化に応じて電気抵抗を変化させ
るというガスセンサとしての特性を有しているため、測
定環境のＣＯ2 ガス濃度を、簡便な測定方法により、迅
速にかつ高い信頼性で測定することができる。
【図１】本発明のガスセンサの一実施例の斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明のガスセンサを組み込んだ、測定回路の
概略平面図である。
概略平面図である。
【図３】本発明のガスセンサによるＣＯ2 ガス濃度の測
定結果を説明するための図である。
定結果を説明するための図である。
１…ガスセンサ
２…基板
３ａ，３ｂ…電極
５…導体
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 27/12
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｓｂイオンを含有する斜方晶系ラムスデ
ライト型構造を有する三チタン酸リチウム焼結体を含む
基板と、前記基板の同一面上又は対向する面上に隔離し
て形成された二つの電極とを有することを特徴とするＣ
Ｏ2 ガス用センサ。 - 【請求項２】 前記Ｓｂイオンを含有する斜方晶系ラム
スデライト型構造を有する三チタン酸リチウム焼結体
が、製造原料として、炭酸リチウム１９．８３１．９mo
l ％、二酸化チタン６１．２〜７７．８mol ％及びＳｂ
イオン源としての酸化アンチモン０．２〜１０．０mol
％を含有するものである請求項１記載のＣＯ2 ガス用セ
ンサ。 - 【請求項３】 炭酸リチウム１９．８〜３１．９mol
％、二酸化チタン６１．２〜７７．８mol ％及び酸化ア
ンチモン０．２〜１０．０mol ％を乾式混合し又は湿式
混合したのち乾燥し、１３００℃以上で加熱溶融する工
程、 次に、大気中又は水中で急冷してＳｂイオンを含有する
斜方晶系ラムスデライト型構造を有する三チタン酸リチ
ウムを得たのち、粉砕し、所望形状に加圧下で成形する
工程、 その後、９４０℃以上で３時間以上焼成することによ
り、Ｓｂイオンを含有する斜方晶系ラムスデライト型構
造を有する三チタン酸リチウム焼結体からなる基板を得
る工程、 次に、前工程で得られた基板の同一又は対向する面上
に、二つの電極を隔離して形成する工程、 を具備することを特徴とするＣＯ2 ガス用センサの製造
方法。 - 【請求項４】 請求項１記載のＣＯ2 ガス用センサを構
成する基板を、予め５０〜５００℃に加熱したのち、被
測定環境に置くことを特徴とするＣＯ2 ガス用センサの
使用方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05709095A JP3499952B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | Ｃｏ２ ガス用センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05709095A JP3499952B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | Ｃｏ２ ガス用センサ |
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1995
- 1995-03-16 JP JP05709095A patent/JP3499952B2/ja not_active Expired - Fee Related
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