JP3498186B2 - 誘電体同軸共振器の導電性被膜形成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、軸方向に延びる孔を有
する柱状誘電体の内周面及び外周面に導電性被膜を形成
してなる誘電体同軸共振器の導電性被膜形成方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】図１５は、従来の誘電体同軸共振器を示
す斜視図、図１６は、従来の誘電体同軸共振器の製造工
程を示す図である。

【０００３】同図に示す誘電体同軸共振器１００は、終
端ショートの１／４波長誘電体同軸共振器で、略λg／
４（λg：共振周波数ｆoの管内波長λg）の軸方向寸法
Ｌを有し、かつ、中心軸上に円形の貫通孔１０２が穿設
された断面正方形の角柱状のセラミックス等からなる誘
電体１０１の、上記貫通孔１０２の内周面１０１Ａ、軸
に平行な外周面１０１Ｂ及び一方端面１０１Ｃに、銅、
銀等の金属膜Ｋを形成して構成されている。

【０００４】上記内周面１０１Ａを被覆してなる金属膜
Ｋは、同軸共振器の内導体を構成し、上記外周面１０１
Ｂを被覆してなる金属膜Ｋは、同軸共振器の外導体を構
成し、該内導体と外導体とが上記一方端１０１Ｃに形成
された金属膜Ｋにより短絡されて終端ショートの１／４
波長同軸共振器が構成されている。

【０００５】上記誘電体同軸共振器１００は、λg／４
以上の軸方向寸法Ｌ′を有する角柱状の誘電体１０１を
銅、銀等の導電性塗布材１０３で満たされた塗布材槽１
０４に完全に浸漬して（図１６（ａ））、上記貫通孔１
０２の内周面１０１Ａ、外周面１０１Ｂ及び両端面１０
１Ｃ，１０１Ｄに導電性塗布材１０３が塗布された後、
所定の焼成温度で加熱して誘電体１０１全体に金属膜Ｋ
が形成され（図１６（ｂ））、この後、誘電体１０１の
一方端を、軸方向寸法Ｌが略λg／４になるまで研磨し
て製造されている（図１６（ｃ））。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の誘電体同軸共振
器は、軸方向寸法Ｌが略λg／４に設定されているの
で、共振周波数ｆoに応じて軸方向寸法Ｌが異なる。こ
のため、図１７に示すように、異なる共振周波数ｆoを
有する複数の誘電体同軸共振器１００を開放端面１０１
Ｄを揃えて並設し、該開放端面１０１Ｄの前方に配置さ
れた結合基板１０５を介して縦続接続してなる誘電体フ
ィルタを構成した場合、誘電体同軸共振器１００の終端
面１０１Ｃの面が不揃いになり、誘電体フィルタの収容
スペースを有効に利用することが困難である。

【０００７】また、従来の誘電体同軸共振器の製造方法
は、誘電体１０１全体を導電性部材で被覆した後、一方
端面を研磨して開放端面を形成するとともに、軸方向寸
法Ｌを所定の寸法に調整しているので、研磨工程に時間
を要し、製造に長時間を要することになっている。特に
誘電体同軸共振器の共振周波数ｆoの種類が多くなる
と、上記研磨工程の作業内容が多種類になり、製造工程
が複雑になり、標準化が困難となる。

【０００８】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、誘電体同軸共振器の製造を容易にする誘電体同軸共
振器の導電性被膜形成方法を提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、１又は２以上
の軸方向に延びる孔を有する柱状の誘電体の軸に平行な
外周面、孔の内周面及び孔が設けられた少なくとも一方
の端面を導電性の被膜で覆ってなる誘電体同軸共振器の
導電性被膜形成方法であって、液状の導電材が入った導
電材槽の上方位置に、孔の上端を閉塞した誘電体を垂直
に配置し、第１の気圧中で上記誘電体を所定寸法だけ上
記槽内に浸漬して誘電体の下端面及び外周面に導電材を
塗布する第１の工程と、上記誘電体を上記導電材槽に浸
漬した状態で、気圧を上記第１の気圧よりも高い所定の
第２の気圧に昇圧して誘電体の内周面に上記所定寸法だ
け導電材を塗布する第２の工程と、導電材が塗布された
誘電体を所定の高温度で焼成して導電性の被膜を形成す
る第３の工程とを含むものである（請求項１）。

【００１０】また、本発明は、請求項１における第２の
工程と第３の工程との間に、上記誘電体を液状の導電材
から引き上げ、上記導電材槽内の気圧を上記第１の気圧
よりも低い所定の第３の気圧に降圧して誘電体の孔に溜
まった導電材を排出させる工程をさらに含むようにして
もよい（請求項２）。

【００１１】

【作用】請求項１記載の発明によれば、孔の上端が閉塞
された誘電体を、第１の気圧中で所定寸法だけ液状の導
電材で満たされた導電材槽に浸漬すると、誘電体の下端
面及び軸と平行な外周面に下端から所定寸法だけ導電材
が塗布され、孔の内周面には下端部のみ導電材が塗布さ
れる。

【００１２】この状態で、気圧を第１の気圧から第２の
気圧に昇圧すると、気圧の上昇に応じて導電材槽の液面
が押し下げられて孔内の導電材の液面が上昇し、孔の内
周面に下端から所定寸法だけ導電材が塗布される。この
後、導電材が塗布された誘電体を所定の焼成温度で加熱
することにより、導電材が焼結されて誘電体表面に導電
性の被膜が形成される。

【００１３】また、請求項２の発明によれば、導電材槽
内の気圧を第１の気圧よりも低い第３の気圧に降圧する
と、誘電体の孔に溜まった導電材が排出される。この
後、導電材が塗布された誘電体を所定の焼成温度で加熱
することにより、導電材が焼結されて誘電体の外周面と
内周面とに導電性の被膜が形成される。

【００１４】

【実施例】図１は、本発明に係る電極形成方法により製
造された誘電体同軸共振器の第１実施例を示す斜視図、
図２は、同誘電体同軸共振器の縦断面図である。

【００１５】誘電体同軸共振器１は、正方形の断面形状
を有し、中心軸上に円形の貫通孔３が穿設されたセラミ
ックス等からなる柱状の誘電体２の、上記貫通孔３の内
周面２Ａ、軸に平行な外周面２Ｂ及び一方端面２Ｃを、
銅、銀、白金等の電極（導電材）４で被覆して構成され
ている。なお、断面形状は、円形、楕円等の任意の断面
形状にすることができる。

【００１６】上記誘電体２の内周面２Ａを被覆してなる
電極４は、同軸共振器の内導体を構成し、上記外周面２
Ｂを被覆してなる電極４は、同軸共振器の外導体を構成
し、上記一方端面２Ｃに被覆された電極４により上記内
導体及び外導体を短絡して終端ショートの同軸共振器が
構成されている。

【００１７】上記誘電体２はλg／４よりも長い軸方向
寸法Ｌ１を有し、上記内周面２Ａ及び外周面２Ｂは、一
方端２Ｃから所望の共振周波数ｆoで共振する所定の寸
法Ｌ２だけ電極４が被覆されている。なお、この寸法Ｌ
２は、開放端の電界分布の影響により設計値と異なるこ
とから予め実験等により算出されるもので、λg／４よ
りも短い寸法である。

【００１８】そして、上記のように内導体及び外導体の
軸方向の寸法を設定することにより誘電体同軸共振器１
は、終端ショートの１／４波長同軸共振器となってい
る。

【００１９】図３は、本発明に係る誘電体共振器の電極
形成方法を示す概略図で、（ａ）は誘電体を液状の導電
性塗布材が入った塗布材槽に浸漬する前の状態を示す
図、（ｂ）は誘電体を塗布材槽に浸漬した状態を示す
図、（ｃ）は誘電体を塗布材槽に浸漬した状態で気圧を
上昇させた状態を示す図、（ｄ）は塗布材槽から誘電体
を引き上げた状態で気圧を降下させた状態を示す図、
（ｅ）は誘電体に塗布された導電性塗布材の焼成工程を
示す図である。

【００２０】同図において、密閉容器５は、外部にポン
プ６が接続され、容器内の気圧が変更可能になってい
る。また、密閉容器５の内部には、銅、銀、白金等の液
状の導電性塗布材（以下、電極ペーストという）７が入
ったペースト槽（導電性塗布材槽）８が配置されてい
る。

【００２１】また、炉９は、複数個の温度槽が連結され
たトンネル状の電気炉で、炉内の通路に被加熱物を搬送
するベルトコンベア９１が設けられている。各温度層
は、予め設定された焼成プロセスに基づく所定の温度に
保持されており、電極ペーストが塗布された誘電体２を
上記ベルトコンベア９１により上流側から下流側に所定
速度で搬送して該誘電体２を所定の焼成温度で加熱する
ようになっている。

【００２２】誘電体同軸共振器１の製造工程は、電極ペ
ースト７を柱状の誘電体２に塗布する塗布工程と、誘電
体に塗布された電極ペースト７を焼成して金属膜を形成
する焼成工程とから構成されている。図３（ａ）〜
（ｄ）は塗布工程に相当し、同図（ｅ）は焼成工程に相
当している。

【００２３】誘電体同軸共振器１は、以下の手順で製造
される。まず、ポンプ６により密閉容器５内を低気圧Ｐ
に保持する。次に、この密閉容器５内のペースト槽８の
上方位置に、貫通孔３の上端を密閉した誘電体２を垂直
に配置する（図３（ａ））。そして、低気圧Ｐの状態
で、誘電体２を垂直下方に下降し、その下端から共振周
波数ｆoの波長に基づく所定寸法Ｌ２だけペースト槽８
に浸漬する（同図（ｂ））。この後、ポンプ６により密
閉容器内５内の気圧を気圧Ｐよりも高い所定の気圧Ｐ′
に昇圧する（同図（ｃ））。

【００２４】上記気圧Ｐ′は、図４（ａ）（ｂ）に示す
ように、貫通孔３内の電極ペースト７の液面Ｍ１が誘電
体２の外周面２Ｂに接している電極ペースト７の液面Ｍ
２に上昇する圧力である。すなわち、貫通孔３内の容積
をＶ（図４（ａ）参照）とし、上記電極ペースト７の液
面Ｍ１が液面Ｍ２に上昇したときの貫通孔３内の容積を
Ｖ′（図４（ｂ）参照）とすると、ボイルの法則よりＰ
・Ｖ＝Ｐ′・Ｖ′が成り立つから、気圧Ｐ′は、Ｐ′＝
（Ｐ・Ｖ）／Ｖ′で算出される。

【００２５】続いて、ペースト槽６から誘電体２を引上
げ、気圧Ｐよりも低い所定の気圧Ｐ″に降圧して貫通孔
３内に溜ったペーストを排出させる（図３（ｄ））。そ
して、誘電体２に塗布された電極ペースト７を乾燥させ
た後、電気炉９により所定の焼成温度で加熱して該電極
ペースト７を焼結し、誘電体２の周面に電極被膜を形成
する（図３（ｅ））。

【００２６】上記のように、誘電体同軸共振器１の誘電
体２の軸方向寸法Ｌ１を内導体及び外導体を構成する電
極４の軸方向寸法Ｌ２よりも長くし、誘電体２に形成さ
れる電極４の軸方向寸法Ｌ２を調節するようにしている
ので、誘電体同軸共振器１の製造が簡単になる。

【００２７】また、共振周波数ｆoに拘らず、誘電体同
軸共振器１の外形寸法を一定にすることができるので、
該誘電体同軸共振器１を応用した機器の設計が容易にな
る。例えば複数の誘電体同軸共振器を縦続接続してなる
誘電体フィルタにおいては、図５に示すように、並設さ
れた全誘電体同軸共振器１の開放端面２Ｄ及び終端面２
Ｃが面一になるので、誘電体同軸共振器１の配設位置に
デッドスペースが生じなく、誘電体フィルタの構造をコ
ンパクトかつ堅牢にすることができる。

【００２８】なお、上記実施例は、誘電体同軸共振器単
体について説明したが、本発明は、複数の軸方向の貫通
孔を有する誘電体の、内周面及び外周面に電極を形成し
て構成される一体成形型誘電体フィルタの構造にも適用
することができる。

【００２９】また、上記誘電体同軸共振器１の製造方法
として、誘電体をペースト槽に所定寸法だけ浸漬させる
とともに、浸漬の前後で気圧を変化させて貫通孔の内周
面に形成される電極の軸方向寸法Ｌ２を制御するように
したので、簡単な方法で比較的高精度に電極を形成する
ことができ、切削による該電極の寸法の微調整を低減す
ることができる。

【００３０】上記実施例では、貫通孔が穿設された誘電
体を用いているので、ペースト槽に浸漬する際に上記貫
通孔の開放端面側を栓等により密閉していたが、誘電体
２に代えて非貫通孔が穿設された誘電体を用いるように
してもよい。この誘電体では、上記のように貫通孔の開
放端面側を密閉する必要がないので、電極形成作業がよ
り簡単になる利点がある。

【００３１】図６は、非貫通孔を有する誘電体を用いた
誘電体同軸共振器の構造の一例を示す斜視図、図７は、
同誘電体同軸共振器の縦断面図である。

【００３２】誘電体同軸共振器１０の誘電体１１は、正
方形の断面形状を有し、一方端面１１Ａの中心に軸に平
行な円形の非貫通孔１２が穿設されている。誘電体１１
の孔１２の内周面は、軸に平行な面にのみ内導体電極１
３が形成されている。また、誘電体１１の外周面は、上
記孔１２の先端部に対向する位置に短冊状の入出力用の
端子電極１５，１６が形成され、この端子電極１５，１
６を囲み、かつ、上記非貫通孔１２に対向する部分に外
導体電極１４が形成されている。上記内導体電極１３及
び外導体電極１４は、端面１１Ａ全体に形成された短絡
電極１７により終端されている。

【００３３】この誘電体同軸共振器１０は、上記端子電
極１５，１６と内導体電極１３間に形成される結合容量
Ｃ１，Ｃ２を介して信号の入出力が行なわれ、等価回路
は、図８に示すようになっている。構造的には、図１に
示す誘電体同軸共振器１の開放端面に誘電体層が形成さ
れたものであり、図１の誘電体同軸共振器１の外周面２
Ｂの適所に上記端子電極１５，１６に相当する電極を形
成すれば、実質的に誘電体同軸共振器１０と同一とな
る。

【００３４】誘電体同軸共振器１０は、上述した方法に
より誘電体１１の一方端面１１Ａ、外周面及び内周面に
電極４を形成した後、外周面１１Ｂの端子電極１５，１
６の形成位置の周囲の電極４を剥離して該端子電極１
５，１６を形成する手順で製造される。

【００３５】なお、上記端子電極１５，１６に代えて開
放端面１１Ｄに入出力用の端子電極を１個だけ形成する
ようにしてもよい。

【００３６】また、２個以上の非貫通孔を有する誘電体
を用いた場合は、一体成形型誘電体フィルタを容易に構
成することができる。

【００３７】図９は、本発明に係る電極形成方法により
製造される一体成形型誘電体フィルタの第１実施例を示
す斜視図、図１０は、同一体成形型誘電体フィルタの縦
断面図、図１１は、同一体成形型誘電体フィルタの等価
回路図である。

【００３８】誘電体フィルタ２０は、長方形の断面形状
を有し、軸に平行な一対の非貫通孔２２，２３が穿設さ
れた角柱状のセラミックス等からなる誘電体２１を用い
て構成された表面実装可能な一体成形型誘電体フィルタ
である。

【００３９】誘電体フィルタ２０は、図１１の等価回路
に示すように、２個の誘電体同軸共振器θ１，θ２が一
体成形されたもので、誘電体２１の軸に平行な幅広の一
方側面２１Ａが実装面となっている。誘電体２１の非貫
通孔２２，２３の内周面２１Ｅ，２１Ｆは、端面２１Ｇ
から所定寸法Ｌ２だけ電極４が形成され、上記側面２１
Ａの、上記非貫通孔２２，２３の先端閉塞部に形成され
た電極４に対向する位置に一対の短冊状の端子電極２
４，２５が形成されている。

【００４０】端子電極２４は、側面２１Ａに接する側面
２１Ｂに回り込ませて形成され、端子電極２５は、側面
２１Ａに接する側面２Ｃに回り込ませて形成されてい
る。また、誘電体２１の側面２１Ａ〜２１Ｄ全体及び両
端面２１Ｇ，２１Ｈに、上記端子電極２４，２５を囲む
ようにして電極４が形成されている。

【００４１】上記側面２１Ａ〜２１Ｄに形成された電極
４は、上記誘電体同軸共振器θ１，θ２の共通の外導体
を構成し、上記内周面２１Ｅ，２１Ｆに形成された電極
４は、それぞれ上記誘電体同軸共振器θ１，θ２の内導
体を構成し、端面２１Ｇに形成された電極４は、上記内
導体と外導体との短絡電極を構成している。

【００４２】上記誘電体同軸共振器θ１，θ２は、誘電
体２１内に形成される磁界により磁気的に結合され、端
子電極２４と内周面２１Ｅの電極４間に外部結合容量Ｃ
e１が構成され、端子電極２５と内周面２１Ｆの電極４
間に外部結合容量Ｃe２が構成されている。

【００４３】更に、非貫通孔２２，２３の先端閉塞部に
形成された電極４と端面２１Ｈ間で接地容量Ｃs１，Ｃs
２が構成されている。なお、この接地容量Ｃs１，Ｃs２
は、誘電体フィルタ２０の軸方向寸法Ｌ１に寄与し、適
当に設定することにより軸方向寸法Ｌ１の短縮が可能に
なっている。

【００４４】誘電体フィルタ２０は、誘電体２１の端面
２１Ｈ側をペースト槽８に浸漬して該端面２１Ｈ及び側
面２１Ａ〜２１Ｄの一部に電極ペースト７を塗布すると
ともに、上述のボイルの法則を用いた方法により誘電体
２１の端面２１Ｇ、側面２１Ａ〜２１Ｄの残りの部分及
び内周面２１Ｅ，２１Ｆに電極ペースト７を塗布した
後、電気炉９により所定の温度で焼成して誘電体２１に
電極４を形成し、この後、側面２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ
の端子電極の形成位置の周囲の電極４を剥離して該端子
電極２４，２５を形成して製造される。

【００４５】図１２は、本発明に係る電極形成方法によ
り製造される一体成形型誘電体フィルタの第２実施例を
示す斜視図、図１３は、同一体成形型誘電体フィルタの
縦断面図である。

【００４６】図１２に示す一体成形型誘電体フィルタ２
０′は、図９において、端面２１Ｈの非貫通孔２２，２
３と同軸位置に非貫通孔２６，２７を穿設したものであ
る。従って、孔２２と孔２６間及び孔２３と孔２７間
は、それぞれ仕切壁２８と２９とにより分離されてい
る。孔２６，２７の軸に平行な内周面２１Ｉ，２１Ｊ
は、端面２１Ｈから所定寸法Ｌ３だけ電極４が形成され
ている。

【００４７】上記内周面２１Ｉに形成された電極４と内
周面２１Ｅに形成された電極４間で上記接地容量Ｃs１
が構成され、内周面２１Ｊに形成された電極４と内周面
２１Ｆに形成された電極４間で上記接地容量Ｃs２が構
成されている。従って、内周面２１Ｉ，２１Ｊに形成さ
れる電極４の長さ寸法Ｌ３を調整することにより上記接
地容量Ｃs１，Ｃs２を所要の容量値に調整することがで
きるようになっている。

【００４８】一体成形型誘電体フィルタ２０′も上記一
体成形型誘電体フィルタ２０と同様の手順で製造される
が、誘電体２１の端面２１Ｈ側に電極ペースト７を塗布
する際、上述のボイルの法則を用いた方法により内周面
２１Ｉ，２１Ｊに塗布される電極ペースト７の寸法Ｌ３
を調整することにより接地容量Ｃs１，Ｃs２の調整を比
較的高精度に行なうことが可能である。

【００４９】上記第２実施例では、結合孔を有しない一
体成形型誘電体フィルタについて説明したが、結合孔を
有する一体成形型誘電体フィルタに対しても本発明に係
る電極形成方法を適用することができる。

【００５０】すなわち、図１４に示すように、電極ペー
スト７の粘度を高くすると、誘電体３０をペースト槽８
に浸漬した場合、径の大きい孔３１，３２には電極ペー
スト７が浸入するが、径の小さい結合孔３３には表面張
力により電極ペースト７が浸入しないから、結合孔３３
の径の寸法に応じて電極ペースト７の粘度を適度に調整
することにより孔３１，３２の内周面にのみ電極を形成
することができる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液状の導電材が入った導電材槽の上方位置に孔の上端を
閉塞した誘電体を垂直に配置し、この誘電体を第１の気
圧中で所定寸法だけ槽内に浸漬して当該誘電体の下端面
及び外周面に導電材を塗布する第１の工程と、誘電体を
導電材槽に浸漬した状態で、気圧を第１の気圧よりも高
い所定の第２の気圧に昇圧して誘電体の内周面に所定寸
法だけ導電材を塗布する第２の工程と、導電材が塗布さ
れた誘電体を所定の高温度で焼成して導電性の被膜を形
成する第３の工程とを含むようにしたので、誘電体の軸
方向寸法を調整するための導電性被膜の切削作業が低減
される結果、工程が簡素化されて製造が容易となり、製
造の自動化が可能になる。

【００５２】また、本発明によれば、第２の工程と第３
の工程との間に、誘電体を液状の導電材から引き上げ、
導電材槽内の気圧を第１の気圧よりも低い所定の第３の
気圧に降圧して誘電体の孔に溜まった導電材を排出させ
る工程をさらに含むようにしたので、誘電体の孔に溜ま
った導電材を確実に排出させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電極形成方法により製造された誘
電体同軸共振器の第１実施例を示す斜視図である。

【図２】本発明に係る電極形成方法により製造された誘
電体同軸共振器の第１実施例の縦断面図である。

【図３】本発明に係る電極形成方法を示す概略図で、
（ａ）は誘電体を塗布材槽に浸漬する前の状態を示す
図、（ｂ）は誘電体を塗布材槽に浸漬した状態を示す
図、（ｃ）は誘電体を塗布材槽の浸漬した状態で気圧を
上昇させた状態を示す図、（ｄ）は塗布材槽から誘電体
を引き上げた状態で気圧を降下させた状態を示す図、
（ｅ）は誘電体に塗布された導電性塗布材の焼成工程を
示す図である。

【図４】導電性塗布材の液面の状態を示す図で、（ａ）
は誘電体を浸漬したときの導電性塗布材の液面の状態を
示す図、（ｂ）は気圧を上昇したときの導電性塗布材の
液面の状態を示す図である。

【図５】第１実施例に係る誘電体同軸共振器を用いた誘
電体フィルタの内部構造を示す平面図である。

【図６】非貫通孔を有する誘電体を用いた誘電体同軸共
振器の構造の一例を示す斜視図である。

【図７】非貫通孔を有する誘電体を用いた誘電体同軸共
振器の縦断面図である。

【図８】非貫通孔を有する誘電体を用いた誘電体同軸共
振器の等価回路図である。

【図９】本発明に係る電極形成方法により製造される一
体成形型誘電体フィルタの第１実施例を示す斜視図であ
る。

【図１０】本発明に係る電極形成方法により製造される
一体成形型誘電体フィルタの第１実施例の縦断面図であ
る。

【図１１】本発明に係る電極形成方法により製造される
一体成形型誘電体フィルタの第１実施例の等価回路図で
ある。

【図１２】本発明に係る電極形成方法により製造される
一体成形型誘電体フィルタの第２実施例を示す斜視図で
ある。

【図１３】本発明に係る電極形成方法により製造される
一体成形型誘電体フィルタの第２実施例の縦断面図であ
る。

【図１４】径の小さい結合孔を有する誘電体をペースト
槽に浸漬した状態を示す図である。

【図１５】従来の誘電体同軸共振器を示す斜視図であ
る。

【図１６】従来の誘電体同軸共振器の製造工程を示す図
で、（ａ）は誘電体を塗布材槽に浸漬する工程図、
（ｂ）は誘電体に塗布され導電性塗布材を焼成する工程
図、（ｃ）は金属膜が形成された誘電体を研磨する工程
図である。

【図１７】従来の誘電体同軸共振器を用いた誘電体フィ
ルタの概略構造を示す平面図である。

【符号の説明】

１,１０ 誘電体同軸共振器 ２，１１，２１，３０ 誘電体 ３，１２，２２，２３ 孔 ４ 電極 ５ 密閉容器 ６ ポンプ ７ 電極ペースト ８ ペースト槽 ９ 炉 １３ 内導体電極 １４ 外導体電極 １５，１６，２４，２５ 端子電極 ２０，２０′ 誘電体フィルタ ３１，３２ 孔 ３３ 結合孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−801（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−199013（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−26105（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01P 7/04 H01P 11/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １又は２以上の軸方向に延びる孔を有す
   る柱状の誘電体の軸に平行な外周面、孔の内周面及び孔
   が設けられた少なくとも一方の端面を導電性の被膜で覆
   ってなる誘電体同軸共振器の導電性被膜形成方法であっ
   て、液状の導電材が入った導電材槽の上方位置に、孔の
   上端を閉塞した誘電体を垂直に配置し、第１の気圧中で
   上記誘電体を所定寸法だけ上記槽内に浸漬して誘電体の
   下端面及び外周面に導電材を塗布する第１の工程と、上
   記誘電体を上記導電材槽に浸漬した状態で、気圧を上記
   第１の気圧よりも高い所定の第２の気圧に昇圧して誘電
   体の内周面に上記所定寸法だけ導電材を塗布する第２の
   工程と、導電材が塗布された誘電体を所定の高温度で焼
   成して導電性の被膜を形成する第３の工程とを含むこと
   を特徴とする誘電体同軸共振器の導電性被膜形成方法。
2. 【請求項２】 前記第２の工程と前記第３の工程との間
   に、上記誘電体を上記液状の導電材から引き上げ、上記
   導電材槽内の気圧を上記第１の気圧よりも低い所定の第
   ３の気圧に降圧して誘電体の孔に溜まった導電材を排出
   させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項１記載
   の誘電体同軸共振器の導電性被膜形成方法。