JP3497220B2 - ブラック石英ガラスの製造法 - Google Patents
ブラック石英ガラスの製造法Info
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- JP3497220B2 JP3497220B2 JP35116493A JP35116493A JP3497220B2 JP 3497220 B2 JP3497220 B2 JP 3497220B2 JP 35116493 A JP35116493 A JP 35116493A JP 35116493 A JP35116493 A JP 35116493A JP 3497220 B2 JP3497220 B2 JP 3497220B2
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- Japan
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- quartz glass
- powder
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分光光度計用セル、あ
るいは、半導体製造用石英ガラス治具の炉芯管等に用い
るブラック石英ガラスの製造法に関する。
るいは、半導体製造用石英ガラス治具の炉芯管等に用い
るブラック石英ガラスの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、分光光度計用セルの材料や半
導体用炉芯管等の高温材には、五酸化バナジウムを含有
するブラック石英ガラスが用いられている（特開昭５４
−１５７１２１号公報）。
導体用炉芯管等の高温材には、五酸化バナジウムを含有
するブラック石英ガラスが用いられている（特開昭５４
−１５７１２１号公報）。
【０００３】しかし、五酸化バナジウムを含有するブラ
ック石英ガラスは、高温で結晶化部分を生じるため使用
に耐え得るブラック石英ガラスを得るには、歩留まりが
悪く、コスト高になる。また、ガラス加工上さらに高温
熱処理工程が必要な製品では、この結晶化は致命的欠陥
となっていた。
ック石英ガラスは、高温で結晶化部分を生じるため使用
に耐え得るブラック石英ガラスを得るには、歩留まりが
悪く、コスト高になる。また、ガラス加工上さらに高温
熱処理工程が必要な製品では、この結晶化は致命的欠陥
となっていた。
【０００４】このため、本出願人は、熱処理時にも結晶
化することなく、光による熱伝導をほぼ１００％カット
し、かつ、均熱効果があるブラック石英ガラスを開発し
た（特開平５−２６２５３５号公報）。
化することなく、光による熱伝導をほぼ１００％カット
し、かつ、均熱効果があるブラック石英ガラスを開発し
た（特開平５−２６２５３５号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、五酸化ニオブ
を含有するブラック石英ガラスは、例えば、五塩化ニオ
ブを原料の水晶粉にドープし、さらに高温での還元処理
が必要となるなど操作が煩雑で製造原価も高い。
を含有するブラック石英ガラスは、例えば、五塩化ニオ
ブを原料の水晶粉にドープし、さらに高温での還元処理
が必要となるなど操作が煩雑で製造原価も高い。
【０００６】また、ブラック石英ガラスは、迷光を防止
するため蛍光分析用セルとして用いられ、紫外線（１８
０ｎｍ〜４００ｎｍ）をセル中の被検査液に透過させ、
被検査物が発する蛍光から定性・定量する方法が広く用
いられている。
するため蛍光分析用セルとして用いられ、紫外線（１８
０ｎｍ〜４００ｎｍ）をセル中の被検査液に透過させ、
被検査物が発する蛍光から定性・定量する方法が広く用
いられている。
【０００７】しかし、近年半導体技術や医療技術の高度
化に伴い高精度分析に対応した製品の提供が不可欠とな
り、試料の蛍光を調べる蛍光分析用セルも従来にない高
精度高品質化が必要になってきた。ところが従来のブラ
ック石英ガラスを用いたセルはセル自体のブラック石英
ガラスから紫外線透過時に蛍光が生じるため蛍光分析の
測定が不可能あるいは正しい数値が得られなくなり、精
度の高い蛍光を調べることが出来ず、紫外線を当てても
蛍光を発しないブラック石英ガラスの提供が望まれてい
た。
化に伴い高精度分析に対応した製品の提供が不可欠とな
り、試料の蛍光を調べる蛍光分析用セルも従来にない高
精度高品質化が必要になってきた。ところが従来のブラ
ック石英ガラスを用いたセルはセル自体のブラック石英
ガラスから紫外線透過時に蛍光が生じるため蛍光分析の
測定が不可能あるいは正しい数値が得られなくなり、精
度の高い蛍光を調べることが出来ず、紫外線を当てても
蛍光を発しないブラック石英ガラスの提供が望まれてい
た。
【０００８】本発明は、光を完全に遮断しセルに用いて
も迷光をカットでき、均熱効果があり、また、熱処理時
に結晶化することがなく、さらに、紫外線を照射しても
蛍光を発しないブラック石英ガラスを安価に提供するこ
とを目的とする。
も迷光をカットでき、均熱効果があり、また、熱処理時
に結晶化することがなく、さらに、紫外線を照射しても
蛍光を発しないブラック石英ガラスを安価に提供するこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、バナ
ジウム、ニオブ、タンタルのいずれかの金属塊を粉砕媒
体として水晶粉または合成シリカ粉末を粉砕して均一に
混合し、酸水素火炎溶融法あるいは電気炉中でガラス化
することによって、均一な黒色度の高いブラック石英ガ
ラスが安価に得られるとの知見を得て本発明を完成し
た。
上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、バナ
ジウム、ニオブ、タンタルのいずれかの金属塊を粉砕媒
体として水晶粉または合成シリカ粉末を粉砕して均一に
混合し、酸水素火炎溶融法あるいは電気炉中でガラス化
することによって、均一な黒色度の高いブラック石英ガ
ラスが安価に得られるとの知見を得て本発明を完成し
た。
【００１０】
【００１１】 前記金属を選択したのは、多原子化をと
りえて還元性が強く、ガラス化時に熱還元効果により、
鮮やかな黒色を呈すること、水晶粉や合成シリカ粉末に
よって容易に粉砕されて均一に分散し、かつ安定な金属
としてガラス中に存在できること、また、電子ビーム溶
解精製などにより市販品として高純度のものが容易に得
られるからである。前記金属は、単体または２種以上を
混合して用いることができる。
りえて還元性が強く、ガラス化時に熱還元効果により、
鮮やかな黒色を呈すること、水晶粉や合成シリカ粉末に
よって容易に粉砕されて均一に分散し、かつ安定な金属
としてガラス中に存在できること、また、電子ビーム溶
解精製などにより市販品として高純度のものが容易に得
られるからである。前記金属は、単体または２種以上を
混合して用いることができる。
【００１２】 金属の混合量は、５００〜４０，０００
ｐｐｍ、さらに好ましくは１，０００〜６，０００ｐｐ
ｍである。添加量が５００ｐｐｍ未満では、黒色度が充
分でなく、また４０，０００ｐｐｍを超えると、結晶化
して石英ガラスの性質を損ない、また、色が不均一とな
り好ましくない。
ｐｐｍ、さらに好ましくは１，０００〜６，０００ｐｐ
ｍである。添加量が５００ｐｐｍ未満では、黒色度が充
分でなく、また４０，０００ｐｐｍを超えると、結晶化
して石英ガラスの性質を損ない、また、色が不均一とな
り好ましくない。
【００１３】合成シリカとしては、四塩化珪素やシリコ
ンアルコキシドなどを原料として得たアモルファス等を
用いることができるが、純度がよく微粉化できるもので
あればどの様なものでも構わない。
ンアルコキシドなどを原料として得たアモルファス等を
用いることができるが、純度がよく微粉化できるもので
あればどの様なものでも構わない。
【００１４】 本発明の特色は、従来の方法がニオブ塩
化物をアルコール溶液に溶解させ、この溶液を水晶粉も
しくは合成シリカ粉末に添加し、これを湿潤・乾燥さ
せ、高温で還元処理する工程をとっていたが、本発明で
は、ボールミル等の粉砕混合機にボールの代わりに金属
塊を粉砕媒体として用い、水晶もしくは合成シリカを粉
砕することによって自らも粉砕され、均一な混合体を得
ることにある。
化物をアルコール溶液に溶解させ、この溶液を水晶粉も
しくは合成シリカ粉末に添加し、これを湿潤・乾燥さ
せ、高温で還元処理する工程をとっていたが、本発明で
は、ボールミル等の粉砕混合機にボールの代わりに金属
塊を粉砕媒体として用い、水晶もしくは合成シリカを粉
砕することによって自らも粉砕され、均一な混合体を得
ることにある。
【００１５】従来の塩化物や酸化物を用いるものは、酸
化物とする過程で充分な酸化が行われず、塩化物が残存
して結晶化したり、ガラス化する過程で酸化物が充分還
元されずに残存して結晶化が生じていたと思われる。こ
れに対して本発明は、金属塊とシリカ粉末の混合によっ
て、これらの化学的な反応を起こさせず、シリカ粉末に
金属を分散した状態にして結晶化を防止したものであ
る。
化物とする過程で充分な酸化が行われず、塩化物が残存
して結晶化したり、ガラス化する過程で酸化物が充分還
元されずに残存して結晶化が生じていたと思われる。こ
れに対して本発明は、金属塊とシリカ粉末の混合によっ
て、これらの化学的な反応を起こさせず、シリカ粉末に
金属を分散した状態にして結晶化を防止したものであ
る。
【００１６】
【００１７】 また、金属ロッドを粉砕媒体としてロッ
ドミル方式で、水晶粉、または、合成シリカ粉末の粉砕
と同時にロッドからの微細な金属を一体的な連続プロセ
スとして均一に混合することができ、このときの金属の
粒度は１００μｍ以下、望ましくは７０μｍ以下の微粉
末となって原料粉と粉砕混合されるようにロッドミルの
運転条件を設定する。
ドミル方式で、水晶粉、または、合成シリカ粉末の粉砕
と同時にロッドからの微細な金属を一体的な連続プロセ
スとして均一に混合することができ、このときの金属の
粒度は１００μｍ以下、望ましくは７０μｍ以下の微粉
末となって原料粉と粉砕混合されるようにロッドミルの
運転条件を設定する。
【００１８】また、混合する水晶粉または合成シリカ粉
末の粒度は特に問わないが、遷移金属とより均一な粉砕
混合体を得る上であらかじめ６０〜３００μｍ、望まし
くは７０〜２５０μｍに粒度調整をしておくことが好ま
しい。
末の粒度は特に問わないが、遷移金属とより均一な粉砕
混合体を得る上であらかじめ６０〜３００μｍ、望まし
くは７０〜２５０μｍに粒度調整をしておくことが好ま
しい。
【００１９】 従来、石英ガラス製品の製造において
は、粒度を細かくすることは発泡につながるとして避け
られていたが、本発明は金属の添加量や粒度を特定する
ことにより、石英ガラス内に均一に分散させ、色むらの
無い優れた製品を提供することを実現した。
は、粒度を細かくすることは発泡につながるとして避け
られていたが、本発明は金属の添加量や粒度を特定する
ことにより、石英ガラス内に均一に分散させ、色むらの
無い優れた製品を提供することを実現した。
【００２０】得られた混合物を酸水素溶融法あるいは電
気炉中でガラス化してブラック石英ガラスを得る。
気炉中でガラス化してブラック石英ガラスを得る。
【００２１】
【効果】本発明によれば、製造時における結晶化が起こ
りにくく、また、１，０００℃以上での再加熱による熱
処理に対しても結晶化することなく、接着などの加工性
が良い。半導体用耐熱炉芯管などに使用すると、光透過
率が、１８０ｎｍ〜５，０００ｎｍの波長域において厚
さ１ｍｍで１％以下と吸収が大きいため、輻射熱を吸収
し、放射熱として均一に熱を放出するため、炉芯管の均
熱効果があがる。また、これを分光光度計用セルに使用
した場合、ほとんど光を吸収するのでセル内の迷光をほ
ぼ０におさえられる。
りにくく、また、１，０００℃以上での再加熱による熱
処理に対しても結晶化することなく、接着などの加工性
が良い。半導体用耐熱炉芯管などに使用すると、光透過
率が、１８０ｎｍ〜５，０００ｎｍの波長域において厚
さ１ｍｍで１％以下と吸収が大きいため、輻射熱を吸収
し、放射熱として均一に熱を放出するため、炉芯管の均
熱効果があがる。また、これを分光光度計用セルに使用
した場合、ほとんど光を吸収するのでセル内の迷光をほ
ぼ０におさえられる。
【００２２】また、紫外線を照射しても蛍光を発するこ
とがないので蛍光分析用のセルとして高精度の分析が可
能となり、紫外から赤外までの広範囲の波長域における
遮光性に優れ高精度の蛍光分析用セルなどの製品を提供
できる。
とがないので蛍光分析用のセルとして高精度の分析が可
能となり、紫外から赤外までの広範囲の波長域における
遮光性に優れ高精度の蛍光分析用セルなどの製品を提供
できる。
【００２３】さらに、蛍光の発生メカニズムは定かでは
ないが、不純物による構造欠陥とされており、高純度の
原料を選定すれば、市販の遷移金属は純度が高いので、
構造欠陥の原因となる不純物の影響も避けられる。
ないが、不純物による構造欠陥とされており、高純度の
原料を選定すれば、市販の遷移金属は純度が高いので、
構造欠陥の原因となる不純物の影響も避けられる。
【００２４】 本発明は、混合粉体の粒径分布を適宜制
御でき、混合粉体の粒径を１００μｍ以下、望ましくは
７０μｍ以下、さらに好ましくは、４０μｍ以下の範囲
にシャープな粒度分布のピークを有するように設定する
ことができる。
御でき、混合粉体の粒径を１００μｍ以下、望ましくは
７０μｍ以下、さらに好ましくは、４０μｍ以下の範囲
にシャープな粒度分布のピークを有するように設定する
ことができる。
【００２５】
【００２６】
【実施例】以下に、実施例を用いてさらに具体的に説明
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２７】実施例１
原料として、金属バナジウム、及び、表１に示す粒度調
整をした水晶粉を用いた。水晶粉に対する金属バナジウ
ムの混合濃度は２，０００ｐｐｍとし、水晶粉および金
属バナジウムの混合粉末を乳鉢で７０μｍ以下の微粉末
になるように充分に混合した後、酸水素火炎溶融法によ
り溶融し、サイズ１００ｍｍφ×１００ｍｍのブラック
石英ガラスインゴットを得た。得られたブラック石英ガ
ラスの見かけ比重は２．２であり、完全な黒体であっ
た。
整をした水晶粉を用いた。水晶粉に対する金属バナジウ
ムの混合濃度は２，０００ｐｐｍとし、水晶粉および金
属バナジウムの混合粉末を乳鉢で７０μｍ以下の微粉末
になるように充分に混合した後、酸水素火炎溶融法によ
り溶融し、サイズ１００ｍｍφ×１００ｍｍのブラック
石英ガラスインゴットを得た。得られたブラック石英ガ
ラスの見かけ比重は２．２であり、完全な黒体であっ
た。
【表１】
【００２８】得られたブラック石英ガラスから厚さ１ｍ
ｍの研磨板を作成し、分光光度計を用い透過率を測定し
たところ波長１８０ｎｍから５，０００ｎｍまでの光を
全く透過しないことが確認された。また、蛍光光度計に
おいて２００ｎｍ〜５００ｎｍの波長で励起しても蛍光
を発しなかった。
ｍの研磨板を作成し、分光光度計を用い透過率を測定し
たところ波長１８０ｎｍから５，０００ｎｍまでの光を
全く透過しないことが確認された。また、蛍光光度計に
おいて２００ｎｍ〜５００ｎｍの波長で励起しても蛍光
を発しなかった。
【００２９】実施例２
原料として、表２に示す粒度調整をした合成シリカ粉末
（日東化学製）５００ｇをアルミナ製のボールミルポッ
ト（日本化学陶業製）に入れ、金属タンタル小塊（１ｍ
ｍ〜３０ｍｍ）を粉砕媒体として、混合粉の粒度を７０
μｍ以下になるように５０時間合成シリカ粉末を粉砕
し、表２に示す粒度分布の混合微粉末を得た。このと
き、金属タンタルの減量から、１，６００ｐｐｍの金属
タンタルが合成シリカ粉末に混合されたことを確認し
た。
（日東化学製）５００ｇをアルミナ製のボールミルポッ
ト（日本化学陶業製）に入れ、金属タンタル小塊（１ｍ
ｍ〜３０ｍｍ）を粉砕媒体として、混合粉の粒度を７０
μｍ以下になるように５０時間合成シリカ粉末を粉砕
し、表２に示す粒度分布の混合微粉末を得た。このと
き、金属タンタルの減量から、１，６００ｐｐｍの金属
タンタルが合成シリカ粉末に混合されたことを確認し
た。
【表２】
【００３０】実施例３
原料として、表３に示す粒度調整をした合成シリカ粉末
（日東化学製）５００ｇをアルミナ製のボールミルポッ
ト（日本化学陶業製）に入れ、金属バナジウム小塊（１
ｍｍ〜３０ｍｍ）を粉砕媒体として、混合粉の粒度を７
０μｍ以下になるように１２０時間合成シリカ粉末を粉
砕し、表３に示す粒度分布の混合微粉末を得た。このと
き、金属バナジウムの減量から、２，８００ｐｐｍの金
属バナジウムが合成シリカ粉末に混合されたことを確認
した。
（日東化学製）５００ｇをアルミナ製のボールミルポッ
ト（日本化学陶業製）に入れ、金属バナジウム小塊（１
ｍｍ〜３０ｍｍ）を粉砕媒体として、混合粉の粒度を７
０μｍ以下になるように１２０時間合成シリカ粉末を粉
砕し、表３に示す粒度分布の混合微粉末を得た。このと
き、金属バナジウムの減量から、２，８００ｐｐｍの金
属バナジウムが合成シリカ粉末に混合されたことを確認
した。
【表３】
【００３１】実施例４
原料として、表４に示す粒度調整をした合成シリカ粉末
（日東化学製）５００ｇをアルミナ製のボールミルポッ
ト（日本化学陶業製）に入れ、金属ニオブ小塊（１ｍｍ
〜３０ｍｍ）を粉砕媒体として、混合粉の粒度を７０μ
ｍ以下になるように１２０時間合成シリカ粉末を粉砕
し、表４に示す粒度分布の混合微粉末を得た。このと
き、金属ニオブの減量から、２，８００ｐｐｍの金属ニ
オブが合成シリカ粉末に混合されたことを確認した。
（日東化学製）５００ｇをアルミナ製のボールミルポッ
ト（日本化学陶業製）に入れ、金属ニオブ小塊（１ｍｍ
〜３０ｍｍ）を粉砕媒体として、混合粉の粒度を７０μ
ｍ以下になるように１２０時間合成シリカ粉末を粉砕
し、表４に示す粒度分布の混合微粉末を得た。このと
き、金属ニオブの減量から、２，８００ｐｐｍの金属ニ
オブが合成シリカ粉末に混合されたことを確認した。
【表４】
【００３２】実施例５
原料として、表５に示す粒度調整をした合成シリカ粉末
（日東化学製）２００ｇをアルミナ製のボールミルポッ
ト（日本化学陶業製）に入れ、金属ニオブ小塊（１ｍｍ
〜３０ｍｍ）を粉砕媒体として、混合粉の粒度を７０μ
ｍ以下になるように５０時間合成シリカ粉末を粉砕し、
表５に示す粒度分布の混合微粉末を得た。このとき、金
属ニオブの減量から、５，５００ｐｐｍの金属ニオブが
合成シリカ粉末に混合されたことを確認した。
（日東化学製）２００ｇをアルミナ製のボールミルポッ
ト（日本化学陶業製）に入れ、金属ニオブ小塊（１ｍｍ
〜３０ｍｍ）を粉砕媒体として、混合粉の粒度を７０μ
ｍ以下になるように５０時間合成シリカ粉末を粉砕し、
表５に示す粒度分布の混合微粉末を得た。このとき、金
属ニオブの減量から、５，５００ｐｐｍの金属ニオブが
合成シリカ粉末に混合されたことを確認した。
【表５】
【００３３】実施例１〜５で得られた粉末を、それぞれ
カーボン製の容器にいれ、電気炉中で１，８００℃で３
０分間ガラス化を行い、５０ｍｍφ×２０ｍｍのブラッ
ク石英ガラスを得た。得られたブラック石英ガラスはい
ずれも完全な黒体であり、１ｍｍの研磨板とし透過率を
測定したが、どれも波長１８０ｎｍ〜５，０００ｎｍで
全く光を透過しなかった。また、２５４ｎｍの紫外線を
照射したところいずれも蛍光は発せられなかった。
カーボン製の容器にいれ、電気炉中で１，８００℃で３
０分間ガラス化を行い、５０ｍｍφ×２０ｍｍのブラッ
ク石英ガラスを得た。得られたブラック石英ガラスはい
ずれも完全な黒体であり、１ｍｍの研磨板とし透過率を
測定したが、どれも波長１８０ｎｍ〜５，０００ｎｍで
全く光を透過しなかった。また、２５４ｎｍの紫外線を
照射したところいずれも蛍光は発せられなかった。
【００３４】得られたサンプルについて、結晶化防止、
加工性について試験を行った。
加工性について試験を行った。
【００３５】［結晶化防止］実施例１〜５で得られたブ
ラック石英ガラスと五酸化バナジウムを着色剤としたブ
ラック石英ガラスを大気中で１，２００℃および１，２
５０℃に再加熱し、結晶化について比較したところ、五
酸化バナジウムを着色剤とした製品は、１，２００℃で
結晶化して外観上好ましくなく商品価値上問題があった
が、本発明品は、いずれも１，２５０℃においても結晶
化が起こらなかった。
ラック石英ガラスと五酸化バナジウムを着色剤としたブ
ラック石英ガラスを大気中で１，２００℃および１，２
５０℃に再加熱し、結晶化について比較したところ、五
酸化バナジウムを着色剤とした製品は、１，２００℃で
結晶化して外観上好ましくなく商品価値上問題があった
が、本発明品は、いずれも１，２５０℃においても結晶
化が起こらなかった。
【００３６】［加工性］実施例１〜５で得られたブラッ
ク石英ガラスは、高温加熱による結晶化がおきない為、
五酸化バナジウム添加物と比較して接着等の高温加工が
行い易くなり、また、切削等の加工は石英ガラスと同等
であった。
ク石英ガラスは、高温加熱による結晶化がおきない為、
五酸化バナジウム添加物と比較して接着等の高温加工が
行い易くなり、また、切削等の加工は石英ガラスと同等
であった。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｈ０１Ｌ 21/22 ５０１ Ｈ０１Ｌ 21/22 ５０１Ｍ
(56)参考文献 特開 平５−178624（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−172240（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C03B 20/00
C03C 1/00 - 14/00
Claims (3)
- 【請求項１】バナジウム、ニオブ、タンタルのいずれか
の金属塊を粉砕媒体として水晶粉または合成シリカ粉末
を粉砕して均一に混合し、酸水素火炎溶融法あるいは電
気炉中でガラス化することを特徴とするブラック石英ガ
ラスの製造法。 - 【請求項２】請求項１において、混合粉の粒度を１００
μｍ以下とすることを特徴とするブラック石英ガラスの
製造法。 - 【請求項３】請求項１および２のいずれかにおいて、金
属の混合量は、５００〜４０，０００ｐｐｍであること
を特徴とするブラック石英ガラスの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35116493A JP3497220B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ブラック石英ガラスの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35116493A JP3497220B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ブラック石英ガラスの製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07196335A JPH07196335A (ja) | 1995-08-01 |
| JP3497220B2 true JP3497220B2 (ja) | 2004-02-16 |
Family
ID=18415489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35116493A Expired - Fee Related JP3497220B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ブラック石英ガラスの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3497220B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1352986B8 (en) * | 2002-04-04 | 2009-03-04 | Tosoh Corporation | Quartz glass thermal sprayed parts and method for producing the same |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP35116493A patent/JP3497220B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07196335A (ja) | 1995-08-01 |
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