JP3490018B2 - 測定装置の校正方法 - Google Patents

測定装置の校正方法

Info

Publication number
JP3490018B2
JP3490018B2 JP07712499A JP7712499A JP3490018B2 JP 3490018 B2 JP3490018 B2 JP 3490018B2 JP 07712499 A JP07712499 A JP 07712499A JP 7712499 A JP7712499 A JP 7712499A JP 3490018 B2 JP3490018 B2 JP 3490018B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
calibration
measuring
standard
measurement
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP07712499A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000275315A (ja
Inventor
達也 今泉
幸広 島方
正愼 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP07712499A priority Critical patent/JP3490018B2/ja
Publication of JP2000275315A publication Critical patent/JP2000275315A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3490018B2 publication Critical patent/JP3490018B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ネットワーク・ア
ナライザ等の測定装置を用いて被測定物の各種特性を測
定する際に、測定器具による測定誤差を軽減し高確度の
測定を行うために行う測定装置の校正方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来、ネットワーク・アナライザ等の測
定装置を用いて被測定物の各種特性を測定する際には、
測定装置メーカー等から供給される校正用標準器(Cali
bration Standard)を用いた測定装置の校正が行われて
いる。この校正は、測定装置と被測定物を接続する測定
ケーブル等の測定器具による測定誤差の補正を行うもの
であり、被測定物の測定に先立ち行われる。この測定誤
差は、特に高周波領域における測定値に大きな影響を与
えるため、この誤差を補正する校正作業は重要である。
【0003】前記校正用標準器は、所定の特性を有して
いる。この特性を表すものが校正用標準器の定義値と呼
ばれるものである。前記校正では、測定器具を用いて校
正用標準器の特性を測定し、この測定値と前記定義値と
を比較する。そして、この測定値と定義値との差から校
正用補正値を算出し、この校正用補正値を用いて測定装
置の校正を行う。被測定物の測定は、校正時の測定器具
及び校正を行った測定装置を用いて行われる。これによ
り、被測定物の各種特性を高確度に測定することができ
る。なお、ここで測定としては、例えば高周波部品や高
周波回路の伝送・反射特性等の測定である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記測定装
置、校正用標準器及び測定ケーブルの接続用端子は通常
同軸形状となっている。したがって、被測定物が表面実
装部品(Surface MountDevice:以下「SMD」とい
う)等の部品である場合には、直接測定装置を接続する
ことができない。このため、SMDを測定装置に接続す
るために伝送線路変換具を用いる。この変換具は、同軸
伝送線路をマイクロストリップラインやコプレーナーラ
インに変換するものである。前記SMDは、この変換具
のマイクロストリップライン又はコプレーナーラインに
接続可能となっている。通常は、SMDをマイクロスト
リップライン又はコプレーナーラインに圧着させること
により接続する。
【0005】このような変換具を用いた測定では、SM
D以外の伝送線路である変換具及び測定ケーブルによる
測定誤差を排除するように測定装置を校正する必要があ
る。しかしながら、前記校正用標準器も接続用端子が同
軸形状となっているため、変換具についての測定誤差を
排除することができない。これに対応するには、変換具
のストリップライン等に接続可能でSMDと同形状の標
準器(以下SMD型標準器という)を用意できればよ
い。すなわち、このSMD型標準器の定義値と測定値か
ら校正用補正値を求め、これに基づき測定装置の校正を
行えばよい。
【0006】しかしながら、従来の標準器及び測定装置
では、標準器の定義値として、周波数特性に依存しない
一定の値や、周波数特性には依存するが極めて簡易的な
数式をもって表現した値を用いていた。すなわち、複雑
な周波数特性を有する定義値を用いた標準器及びこれに
対応する測定装置はなかった。このため、SMD型標準
器は、その特性値が、前述したような周波数特性に依存
しない一定の値や、周波数特性には依存するが極めて簡
易的な数式で表現できるように作成する必要があった。
このようなSMD型標準器の作成は、形状の特殊性等か
ら非常に困難な作業であった。また、一般的に、標準器
の実際の特性値と定義値との間に誤差が生じると、この
誤差が被測定物の測定時に測定誤差として現出すること
になる。
【0007】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、被測定物の形状等に
拘わらず測定器具による測定誤差を軽減し高確度の測定
を行うために行うことができる測定装置の校正方法を提
供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明では、測定器具を介して被測定物を
測定装置に接続して行う所望の周波数帯域における被測
定物の特性測定において、この測定に先立ち、前記周波
数帯域において任意且つ既知の周波数特性を有する校正
用標準器を前記測定器具を介して測定装置に接続し、こ
の校正用標準器の周波数特性を測定して校正用標準器の
Sパラメータを取得し、この測定したSパラメータ及び
前記校正用標準器の任意且つ既知の周波数特性を表すS
パラメータに基づき校正用補正値を算出し、この校正用
補正値に基づき前記測定器具を用いた被測定物の測定時
における測定装置の校正を行うことを特徴とする測定装
置の校正方法を提案する。
【0009】本発明によれば、校正用標準器が有する任
意且つ既知の周波数特性を表すSパラメータと、測定器
具を用いて測定した校正用標準器のSパラメータとに基
づき校正用補正値を算出するので、校正用標準器として
複雑な特性を有するものを用いることができる。したが
って、種々の形状を有する校正用標準器及び測定器具を
用いることができるので、測定装置による測定対象物の
範囲がひろがる。また、校正の際には、校正用標準器が
有する既知の周波数特性を利用するので、従来の測定装
置や標準器に用いられていた標準器の定義値に関する表
現方法に制約を受けることなく、任意の特性を有する校
正用標準器を用いることが可能となる。したがって、高
確度の校正を行うことができる。
【0010】本発明の好適な態様の一例として、請求項
2の発明では、請求項1記載の測定装置の校正方法にお
いて、前記校正用標準器のうち少なくとも測定装置に基
準負荷として接続する標準器は、前記周波数帯域におい
て任意の特性インピーダンス値を有することを特徴とす
るものを提案する。
【0011】また、請求項3の発明では、請求項1又は
何れか1項記載の測定装置の校正方法において、前記
被測定物は表面実装用の電子部品であることを特徴とす
るものを提案する。
【0012】
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態にかかる測定
装置の校正方法について図1〜図7を参照して説明す
る。図1〜図3は測定装置の校正方法を説明する構成
図、図4は表面実装形状の被測定物を例示する外観斜視
図、図5は標準器専用治具の要部を説明する外観斜視
図、図6は標準器専用治具の要部を説明する断面図、図
7は測定装置の校正方法を説明するフローチャートであ
る。
【0014】本実施の形態では、図3に示すように、ネ
ットワーク・アナライザ等の測定装置10と、SMD用
測定治具20と、測定装置10とSMD用測定治具20
を接続する測定ケーブル30とを用い、SMDである被
測定物40の各種特性を所定の周波数範囲(例えば30
kHz〜6GHz)にわたって測定するものとする。し
たがって、本実施の形態にかかる測定装置10の校正方
法は、このような測定システムにおいて、被測定物40
の特性測定が高確度となることを目的として行われるも
のである。なお、被測定物40としては、例えば、図4
に示すような表面実装形状の積層フィルタ等である。こ
の被測定物40は、信号用端子電極41と接地用端子電
極42を備えている。また、測定内容としては伝送特性
・反射特性の測定である。
【0015】ここで、測定装置10の測定端子11は通
常同軸形状であるため、測定ケーブル30の両端も同軸
形状のコネクタ31が設けられている。SMD用測定治
具20は、同軸形状となっているコネクタ31とSMD
である被測定物40とを接続するための伝送経路変換具
である。このSMD測定治具20は、誘電体基板21
と、誘電体基板21に形成されたマイクロストリップラ
イン22とグランドパターン23からなる。被測定物4
0を測定するには、被測定物40の信号用端子電極41
をマイクロストリップライン22に圧着させ、接地用端
子電極42をグランドパターン23に圧着させればよ
い。
【0016】測定装置10の校正は、図1〜図3に示す
ように、前記測定システムに加え、測定装置10と接続
する計算機50と、標準器専用測定治具60と、校正用
標準器70とを用いて行われる。
【0017】計算機50は、測定装置10からの送出さ
れる各種データを受信し、これらに基づき所定の計算を
行うとともに、さらに測定装置10に対してデータを送
出するものである。
【0018】標準器専用測定治具60は、校正用標準器
70の特性を取得する際に用いられるものである。この
標準器専用測定治具60からなる測定系は、所定の周波
数範囲(例えば30kHz〜6GHz)にわたり基準の
特性インピーダンス値(例えば50Ω)を有しており、
挿入損失・反射が最小に抑えられるように予め作成され
ている。具体的には、標準器専用測定治具60は、同軸
ケーブル61の測定装置10側に設けた前記測定端子1
1用のコネクタ62と、同軸ケーブル61の他端側に設
けたコネクタ63とからなる。このコネクタ63は、図
5及び図6に示すように、例えばSMA等のオス型同軸
コネクタと係合するようなメス型構造の同軸コネクタで
ある。すなわち、コネクタ63は、円筒状の中心接触導
体63aと、外周にネジ山が形成された外側接触導体6
3bと、中心接触導体63a及び外側接触導体63bの
間に介在する絶縁体63cを備えている。また、このコ
ネクタ63の外側接触導体63bの端面には段差が形成
されている。この段差は、段差形成面が同軸の中心付近
を通るように形成されている。さらに、中心接触導体6
2aの内側には、測定ピン64が挿脱自在に配置されて
いる。このような構造により、コネクタ63にはオス型
の同軸コネクタが接続可能であるとともに、図5に示す
ように、端子電極を測定ピン64及び外側接触導体63
bに圧着させることによりSMD形状の部品や後述する
校正用標準器70を接続可能としている。
【0019】したがって、標準器専用測定治具60に
は、測定装置10のメーカ等から供給され同軸コネクタ
を備えた通常の標準器(LOAD,OPEN,SHOR
T,THROUGHの4種)が接続可能であるととも
に、後述するSMD形状の校正用標準器70が接続可能
である。これにより、校正用標準器70の特性取得に先
立ち、測定装置10に標準器専用測定治具60を接続し
た測定系について、通常の標準器を用いた校正作業を行
った後に校正用標準器70の特性を測定すれば、校正用
標準器70の正確な特性を得ることができる。すなわ
ち、校正用標準器70の特性を既知なものとすることが
できる。
【0020】校正用標準器70は、SMD用測定治具2
0と標準器専用測定治具60の双方に装着可能な形状を
有している。通常は、被測定物40とほぼ同一の形状を
有するように形成される。校正用標準器70としては、
「LOAD」,「OPEN」,「SHORT」,「TH
ROUGH」の4種類のものを用意する。また、校正用
標準器70の特性は、所定の周波数範囲(例えば30k
Hz〜6GHz)において任意の周波数特性を有するよ
うに作成されている。すなわち、従来の校正方法では、
測定装置の制約等により、その周波数特性が一定の値を
有するものや簡単な関数により表せるように標準器を作
成する必要があった。つまり標準器をモデル化する必要
があった。例えば、「LOAD」の標準器は、通常所定
の周波数範囲において一様な特性インピーダンスを有す
るものが使われていた。これに対して、本発明では、校
正用標準器70の周波数特性は任意なものとすることが
できるので、その作成が容易である。
【0021】このような装置を使用して行う測定装置1
0の測定方法について図7のフローチャートを参照して
説明する。まず、図1で示したように、測定装置10に
標準器専用測定治具60を接続するとともに予め通常の
標準器による校正作業を行っておく。そして、この標準
器専用測定治具60に校正用標準器70をセットし、所
定の周波数範囲にわたって校正用標準器70のSパラメ
ータを取得する。この取得データは、校正用標準器70
の実際の特性を表す特性データとして計算機50に転送
される(ステップS1)。
【0022】次に、図2で示したように、標準器専用測
定治具60に代えてSMD用測定治具20及び測定ケー
ブル30を接続する。そして、SMD用測定治具20に
前記校正用標準器70をセットし、所定の周波数範囲に
わたって校正用標準器70のSパラメータを取得する。
この取得データは、校正用標準器70の特性データに加
えてSMD用測定治具20及び測定ケーブル30からな
る測定系が有するものである。この取得データは、測定
データとして計算機50に転送される(ステップS
2)。
【0023】次に、計算機50は、校正用標準器70の
実際の特性を表す特性データと、SMD用測定治具20
及び測定ケーブル30からなる測定系が有する誤差を含
む測定データとに基づき、補正データを算出する。具体
的には、所定の周波数範囲にわたって前記特性データと
測定データとの差分から補正データを求めればよい。
【0024】最後に、図3で示したように、この補正デ
ータを測定装置10に転送し、この補正データを校正用
データとして測定装置10にセットすることにより測定
装置10の校正が完了する(ステップS4)。
【0025】以上のステップにより測定装置10の校正
が完了するので、以降は測定装置10、SMD用測定治
具20及び測定ケーブル30を用いて被測定物40の測
定を行えばよい(ステップS5)。
【0026】なお、この校正作業は、「LOAD」,
「OPEN」,「SHORT」,「THROUGH」と
いう全種類の校正用標準器70を用いて実施する。
【0027】このような校正方法が有効であることを図
8を参照して説明する。図8(a)では、SMD型「L
OAD」タイプの校正用標準器70の特性データ(点
線)と、SMD用測定治具20及び測定ケーブル30を
用いて同じ校正用標準器70を測定して得たデータ(実
線)を表している。また、図8(b)では、校正を行っ
た後に被測定物として前記校正用標準器70を測定して
得たデータ(実線)を表している。なお、縦軸はリター
ンロス、横軸は周波数である。
【0028】このグラフが示すように、校正後に校正用
標準器70を測定して得られたデータが、校正用標準器
70の特性データを正確に表していることを確認でき
る。すなわち、SMD用測定治具20及び測定ケーブル
30からなる測定系の誤差を排除した高確度な測定が可
能であることがわかる。
【0029】これを従来の校正方法と対比して説明する
(図9参照)。図9(a)において、点線はSMD型L
OADタイプの標準器の持つ特性値を示し、実線は測定
ケーブル等の測定器具を用いて測定した結果、すなわち
標準器の特性と測定器具との特性が合成された特性を示
し、一点鎖線はネットワークアナライザ等の測定装置が
認識しているLOADタイプ標準器の定義値を示してい
る。また、図9(b)において、点線は前記標準器の持
つ特性値を示し、実線は校正を行った後に被測定物とし
て前記標準器を測定して得た特性値を表している。な
お、縦軸はリターンロス、横軸は周波数である。
【0030】従来の校正方法では、標準器の実際の特性
データにかかわらず、標準器の定義値と標準器を測定し
て得た測定データに基づき校正を行っている。したがっ
て、本来校正後には測定データ(実線)が標準器の実際
の特性値を表すべきところが、図9(b)に示すように
両者に誤差が生じていることがわかる。したがって、従
来定義(表現)ができないような任意の周波数特性を有
する標準器を用いた場合には、測定誤差が生じていた。
本発明では、前述したように、このような測定誤差が生
じないので高確度の測定が可能である。
【0031】このように本実施の形態では、校正用標準
器70が有する周波数特性と、SMD用測定治具20及
び測定ケーブル30を用いて測定した校正用標準器70
の測定値とに基づき校正用補正値を算出するので、校正
用標準器70として複雑で任意な特性を有するものを用
いることができる。したがって、種々の形状を有する校
正用標準器70及び測定器具を用いることができるの
で、測定装置10による測定対象物の範囲がひろがる。
また、校正用標準器70が有する既知の周波数特性を利
用するので、従来の測定装置や標準器に用いられていた
標準器の定義値に関する表現方法に制約を受けることな
く、任意の特性を有する校正用標準器70を用いること
が可能となる。したがって、高確度の校正を行うことが
できる。
【0032】なお、本実施の形態では校正用標準器70
の周波数特性を既知なものとするために、標準器専用測
定治具60を用いたが、本発明はこれに限定されるもの
ではない。例えば、これら標準器又は治具の特性をシミ
ュレータなどにより特性を取得することにより既知なも
のとしてもよい。この場合には、計算により得られたS
パラメータデータをそのまま校正演算に使用することが
できる。
【0033】また、本実施の形態では、測定装置10の
具体例としてネットワーク・アナライザを用いたが、本
発明はこれに限定されるものではない。例えば、インピ
ーダンス・アナライザ等であってもよい。
【0034】さらに、本実施の形態では、被測定物40
としてSMDを例示するとともに、測定器具としてSM
D用測定治具20及び測定ケーブル30を例示したが、
本発明はこれに限定されるものではない。特に、被測定
物として通常用いられるような同軸形状の接続端子をも
たない場合には本発明は有用である。また、同軸形状の
接続端子を持つ被測定物に対しても本発明を適用するこ
とができる。
【0035】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
校正用標準器が有する任意且つ既知の周波数特性と、測
定器具を用いて測定した校正用標準器の測定値とに基づ
き校正用補正値を算出するので、校正用標準器として複
雑な特性を有するものを用いることができる。したがっ
て、種々の形状を有する校正用標準器及び測定器具を用
いることができるので、測定装置による測定対象物の範
囲がひろがる。また、校正用標準器が有する既知の周波
数特性を利用するので、従来の測定装置や標準器に用い
られていた標準器の定義値に関する表現方法に制約を受
けることなく、任意の特性を有する校正用標準器を用い
ることが可能となる。したがって、高確度の校正を行う
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】測定装置の校正方法を説明する構成図
【図2】測定装置の校正方法を説明する構成図
【図3】測定装置の校正方法を説明する構成図
【図4】表面実装形状の被測定物を例示する外観斜視図
【図5】標準器専用治具の要部を説明する外観斜視図
【図6】標準器専用治具の要部を説明する断面図
【図7】測定装置の校正方法を説明するフローチャート
【図8】校正前後における校正用標準器の測定データを
表すグラフ
【図9】従来の校正方法を用いた校正前後における校正
用標準器の測定データを表すグラフ
【符号の説明】
10…測定装置、20…SMD用測定治具、30…測定
ケーブル、40…被装邸物、50…計算機、60…標準
器専用測定治具、70…校正用標準器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−253702(JP,A) 特開 平9−243688(JP,A) 特開 平8−15348(JP,A) 特開 平6−11540(JP,A) 特開 平1−224635(JP,A) 特開 昭59−34171(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 35/00 - 35/04 G01R 31/28 - 31/3193 G01R 27/00 - 27/32 G01D 18/00

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定器具を介して被測定物を測定装置に
    接続して行う所望の周波数帯域における被測定物の特性
    測定において、 この測定に先立ち、前記周波数帯域において任意且つ既
    知の周波数特性を有する校正用標準器を前記測定器具を
    介して測定装置に接続し、この校正用標準器の周波数特
    性を測定して校正用標準器のSパラメータを取得し、こ
    の測定したSパラメータ及び前記校正用標準器の任意且
    つ既知の周波数特性を表すSパラメータに基づき校正用
    補正値を算出し、この校正用補正値に基づき前記測定器
    具を用いた被測定物の測定時における測定装置の校正を
    行うことを特徴とする測定装置の校正方法。
  2. 【請求項2】 前記校正用標準器のうち少なくとも測定
    装置に基準負荷として接続する標準器は、前記周波数帯
    域において任意の特性インピーダンス値を有することを
    特徴とする請求項1記載の測定装置の校正方法。
  3. 【請求項3】 前記被測定物は表面実装用の電子部品で
    あることを特徴とする請求項1又は2何れか1項記載の
    測定装置の校正方法。
JP07712499A 1999-03-23 1999-03-23 測定装置の校正方法 Expired - Fee Related JP3490018B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07712499A JP3490018B2 (ja) 1999-03-23 1999-03-23 測定装置の校正方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07712499A JP3490018B2 (ja) 1999-03-23 1999-03-23 測定装置の校正方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000275315A JP2000275315A (ja) 2000-10-06
JP3490018B2 true JP3490018B2 (ja) 2004-01-26

Family

ID=13625058

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP07712499A Expired - Fee Related JP3490018B2 (ja) 1999-03-23 1999-03-23 測定装置の校正方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3490018B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7500161B2 (en) * 2003-06-11 2009-03-03 Agilent Technologies, Inc. Correcting test system calibration and transforming device measurements when using multiple test fixtures

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000275315A (ja) 2000-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7439748B2 (en) Method and apparatus for measuring high-frequency electrical characteristics of electronic device, and method for calibrating apparatus for measuring high-frequency electrical characteristics
US7019535B2 (en) Method and system for calibrating a measurement device path and for measuring a device under test in the calibrated measurement device path
US6768328B2 (en) Single point probe structure and method
US7994801B2 (en) Calibrated S-parameter measurements of a high impedance probe
US7405576B2 (en) Method and apparatus for measuring high-frequency electrical characteristics of electronic device, and method for calibrating apparatus for measuring high-frequency electrical characteristics
JPH11326413A (ja) ネットワ―ク・アナライザにおける測定誤差補正方法
JP5126065B2 (ja) 電子部品の高周波特性誤差補正方法及び装置
US20030115008A1 (en) Test fixture with adjustable pitch for network measurement
US7375534B2 (en) Method and apparatus for measuring high-frequency electrical characteristics of electronic device, and method for calibrating apparatus for measuring high-frequency electrical characteristics
JP3490018B2 (ja) 測定装置の校正方法
KR100211026B1 (ko) 고주파 측정 오차 보정 방법
US7282903B2 (en) Longitudinal balance measuring bridge circuit
JP4363062B2 (ja) 電気特性測定装置および電気測定装置の測定誤差校正方法
US6876935B2 (en) Method for correcting measurement error, method of determining quality of electronic component, and device for measuring characteristic of electronic component
JP3558080B2 (ja) 測定誤差の補正方法、電子部品の良否判定方法および電子部品特性測定装置
US20040138844A1 (en) Impedance standard substrate and correction method for vector network analyzer
JP3912429B2 (ja) 電子部品の高周波電気特性測定方法および装置、高周波電気特性測定装置の校正方法
JP3912427B2 (ja) 電子部品の高周波電気特性測定方法および装置、高周波電気特性測定装置の校正方法
JP4743208B2 (ja) 電子部品の電気特性測定方法
JP3017367B2 (ja) マルチポート回路のsパラメータ測定方法
JP3976866B2 (ja) ハイブリッドトランスの校正方法及び校正装置
JP4525391B2 (ja) π型インピーダンス回路網のインピーダンス測定方法および測定装置
JP2004157016A (ja) 高周波測定方法およびベクトルネットワークアナライザ
JP2001343406A (ja) 同軸プローブ
JP2000275285A (ja) 高周波測定用同軸接続器

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20031014

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees