JP3487760B2 - How to inspect a disk - Google Patents

How to inspect a disk

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JP3487760B2
JP3487760B2 JP11673998A JP11673998A JP3487760B2 JP 3487760 B2 JP3487760 B2 JP 3487760B2 JP 11673998 A JP11673998 A JP 11673998A JP 11673998 A JP11673998 A JP 11673998A JP 3487760 B2 JP3487760 B2 JP 3487760B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】 本発明は、CD、PD、DVDなどのデ
ィスク型データストレージメディアとしての光反射性の
ディスクに関し、欠陥を検出するディスクの検査方法に
関するものである。
[0001] The present invention, CD, PD, relates to an optical reflective disk as a disk-type data storage media of DVD, etc. is relates <br/> the inspection how the disc to detect a defect.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、これらのディスクの検査は特開平
03−172527号公報に開示の方法および装置が用
いられている。この方法は、光ピックを持った光ディス
クの再生装置を用い、検査すべきディスクにつき1枚ず
つ再生操作を行い、誤動作なく再生できるかどうかで、
ディスクの良否を高精度に検出している。
2. Description of the Related Art Conventionally, the method and apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 03-172527 have been used to inspect these disks. This method uses an optical disk playback device with an optical pick and performs playback operations one by one for each disk to be inspected.
The quality of the disc is detected with high accuracy.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ディスクに
は種々な再生方式のものがある。従って、上記従来のよ
うな再生装置を用いる方法では、ディスクの種類に合わ
せて同じ数の種類の再生装置が要る。このため、各種の
ディスクを検査するには膨大な設備投資を必要とした。
また、検査のためにディスク1枚ずつを再生操作するの
では、1枚ずつの検査に数十分掛かるので検査能率が低
く、コスト高にもなる。ディスク型データストレージメ
ディアの近時の需要拡大に伴う生産数の増大に対応すべ
く、複数の再生装置を同時に用いて検査するのではさら
に設備費がかさむので、さらなるコスト高の原因にな
る。
By the way, there are various types of reproducing systems for discs. Therefore, the above-described method using the reproducing device requires the same number of reproducing devices according to the type of the disc. Therefore, a large amount of capital investment was required to inspect various discs.
Further, if the discs are reproduced one by one for the inspection, the inspection efficiency is low and the cost is high because the inspection for each disc takes several tens of minutes. In order to cope with the increase in the number of disks-type data storage media that have been produced in response to the recent increase in demand, inspecting by using a plurality of playback devices at the same time further increases the equipment cost, resulting in a higher cost.

【0004】本発明者等はこれらの問題を解決しようと
して種々に研究を重ねている。被検査面の画像データを
画像処理して欠陥を画像認識により検出することを考
え、通常の画像処理のように受光により得た濃淡画像を
2値化して検出を行った。その結果、図6に示すような
2値化画像Cとなり、ディスクに読み書きするために設
けてある正規のパターンaとノイズ画像bとが検出さ
れ、正規なパターンaとノイズ画像bとは正規なパター
ンaのパターンマッチング法などによって検出でき、こ
れとマッチングしないノイズ画像bを簡単に欠陥として
検出することができる。しかし、正規なパターンaの1
つにノイズ画像bがあるのに検出されず誤検出となって
いる。また、ディスクは複数の層の貼り合わせであるこ
とが多いなどの理由から、前記のような画像処理、画像
認識では小さな孔や透光部の欠陥を見逃してしまうこと
による誤検出がある。しかも、欠陥の種類としては再生
上のノイズとなる孔、透光部、異物、傷、染みなどがあ
り、これらも各種の正規なパターンの画像と区別して高
精度に判別し検出する必要があるが、これにまだ十分応
えられていない。
The present inventors have made various studies in order to solve these problems. Considering that the image data of the surface to be inspected is subjected to image processing to detect a defect by image recognition, a grayscale image obtained by receiving light is binarized and detected as in a normal image processing. As a result, the binarized image C as shown in FIG. 6 is obtained, and the regular pattern a and the noise image b provided for reading and writing on the disc are detected, and the regular pattern a and the noise image b are regular. The pattern a can be detected by a pattern matching method or the like, and a noise image b that does not match the pattern a can be easily detected as a defect. However, 1 of the regular pattern a
Although there is a noise image b, it is not detected and is erroneously detected. Further, since the disc is often formed by laminating a plurality of layers, the image processing and image recognition as described above may cause erroneous detection by overlooking defects such as small holes and light transmitting portions. Moreover, the types of defects include holes, light-transmitting parts, foreign matters, scratches, stains, etc., which cause noise during reproduction, and these must also be distinguished and detected with high accuracy by distinguishing them from various regular pattern images. However, this has not been fully answered.

【0005】 本発明の目的は、検査精度を満足しなが
ら、複数種類のディスクを従来に比し高速度で検査でき
るディスクの検査方法を提供することにある。
An object of the present invention, while satisfying the inspection accuracy, is to provide an inspection how the disks that can be inspected at high speed than a plurality of types of disks in the prior art.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するために、請求項1に係る発明のディスクの検査方法
は、光反射性のディスクの被検査面に法線の一方の側か
ら照明光を照射するのに併せ、前記法線の反対の側で前
記被検査面からの反射光を受光して被検査面の濃淡画像
を得、この濃淡画像を画像処理して画像認識した正規の
パターンの近傍を含むパターン近傍域を設定し、パター
ン近傍域の内側では画像認識した正規のパターンを除い
て、外側では正規パターンを除くような操作なしに、欠
陥のノイズ画像を画像認識により検出する操作を行うこ
とを主たる特徴としている。請求項2に係る発明は、
ィスクの被検査面と反対の面の側でディスクからの透過
光を受光し、透過光によって孔や透光部の欠陥を検出
ることをさらなる特徴としている。なお、これらにおい
て、照明光の入射角は、被検査面に対して10°〜80
°程度とするのが好適である。
In order to achieve the above object, the disk inspection method of the invention according to claim 1 is such that the surface to be inspected of the light-reflecting disk is from one side of the normal line. Along with irradiating the illumination light, the reflected light from the surface to be inspected is received on the side opposite to the normal line to obtain a grayscale image of the surface to be inspected , and the grayscale image is image-processed to perform image recognition. of
Set the pattern neighborhood including the pattern neighborhood and
Except for the normal pattern recognized in the image,
On the outside, without the operation to remove the regular pattern,
Perform the operation to detect the noise image of the fall by image recognition.
The main characteristics are and. In the invention according to claim 2, the transmitted light from the disc is received on the side of the disc opposite to the surface to be inspected, and the defect of the hole or the transparent portion is detected by the transmitted light .
Is a further feature. In addition, these smells
The incident angle of the illumination light is 10 ° to 80 ° with respect to the surface to be inspected.
It is preferable to set it to about °.

【0007】 請求項1に係る発明では、光反射性の被
検査面にその法線の一方側から照明光を照射して、法線
の反対の側でその反射光を受光することにより、光反射
性を持った被検査面の反射条件の違いに応じた濃淡画像
が得られる。この濃淡画像データは各種の正規のパター
ンの画像および各種のノイズ画像を含むがこれを画像処
理することにより、具体的には、被検査面に正規のパタ
ーンがある場合、濃淡画像においてこの正規のパターン
を画像認識して欠陥と区別することで、正規のパターン
を欠陥として検出することはない。特に、画像処理して
画像認識した正規のパターンの近傍を含むパターン近傍
域を設定すると、パターン近傍域の外側では正規のパタ
ーンがないので、そのままの画像処理状態にて、あるい
は、最低濃度となる欠陥に合わせた2値化処理をして、
反射特性の異なる各種の欠陥全てのノイズ画像を現出さ
せて、漏れなく高精度に検出することができる。また、
パターン近傍域内では画像認識した正規のパターンを欠
陥と区別することによって、外側と同様画像認識にて高
精度な欠陥の検出ができる。一方、このような画像認識
によって万一にも見逃された欠陥の孔や透孔部があって
も、請求項2に係る発明では、前記照明光のディスクの
被検査面側への透過光を受光することによりこれを容易
かつ確実に検出することができる。このような欠陥の検
出方法は、各種再生方式のディスクにも同様に適用で
き、しかも、透過光の受光と、反射光による濃淡画像の
画像処理および画像認識によって、欠陥だけを高速度で
高精度に検出することができる。従って、設備コストお
よび検査コストともに低減する。
According to the first aspect of the present invention, the light-reflecting surface to be inspected is irradiated with illumination light from one side of the normal line and the reflected light is received on the side opposite to the normal line, whereby the light is reflected. It is possible to obtain a grayscale image according to the difference in the reflection condition of the inspected surface having reflectivity. The grayscale image data includes various regular pattern images and various noise images. By performing image processing on the grayscale image data, specifically, the regular pattern is printed on the surface to be inspected.
This regular pattern in the grayscale image, if
By recognizing the image and distinguishing it from defects,
Is not detected as a defect. In particular, image processing
Pattern neighborhoods including neighborhoods of image-recognized regular patterns
When the area is set, the regular pattern is
Since there is no image, there is no need for image processing as it is.
Is binarized according to the defect with the lowest density,
A noise image of all types of defects with different reflection characteristics is displayed.
Therefore, it is possible to detect with high accuracy without leakage. Also,
In the vicinity of the pattern, the regular pattern recognized by the image is missing.
By distinguishing from the fall, high image recognition
It is possible to detect defects accurately. On the other hand, even if there is a defective hole or through hole that is overlooked by such image recognition, in the invention according to claim 2, the transmitted light to the inspected surface side of the disc of the illumination light is transmitted. By receiving the light, this can be easily and surely detected. Such a defect detection method can be similarly applied to discs of various reproduction methods, and further, only defects are detected at high speed and with high accuracy by receiving transmitted light and performing image processing and image recognition of a grayscale image by reflected light. Can be detected. Therefore, both equipment cost and inspection cost are reduced.

【0008】[0008]

【0009】[0009]

【0010】本発明のそれ以上の目的および特徴は、以
下の詳細な説明および図面の記載によって明らかにな
る。本発明の上記各特徴は、単独で、あるいは種々な組
合せで複合して用いられることができる。
Further objects and features of the present invention will become apparent from the following detailed description and drawings. The above features of the present invention can be used alone or in combination in various combinations.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
てその実施例とともに図1〜図6を参照しながら説明
し、本発明の理解に供する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described together with examples thereof with reference to FIGS.

【0012】本実施の形態のディスクの検査方法は、組
織の変化によって読み書きされる図1に示すようなディ
スク1を光反射性の被検査ディスクとして各種の欠陥を
検出する場合の一例である。しかし、これに限られるこ
とはなく、種々なディスクの反射特性の違う、あるいは
孔、透光部を含む種々な欠陥の検出ができるし、1種類
だけの欠陥の検出にも適用できるのは勿論である。
The disk inspection method of the present embodiment is an example in which various defects are detected by using a disk 1 as shown in FIG. 1 which is read and written due to a change in tissue as a light reflective disk to be inspected. However, the present invention is not limited to this, and it is possible to detect various defects having different reflection characteristics of various discs or holes and light-transmitting portions, and of course, it is possible to detect only one type of defect. Is.

【0013】図1に示す本発明の実施の形態のディスク
の検査装置を参照しながら説明すると、ディスク1の被
検査面1aに法線2の一方の側から照明光3を照射する
のに併せ、前記法線の反対の側で前記被検査面1aから
の反射光4を受光して被検査面1aの図3に示すような
濃淡画像5を得るとともに、ディスク1の被検査面1a
と反対の面の側でディスク1からの透過光6を受光し、
透過光6によって孔や透光部の欠陥を検出し、濃淡画像
5を画像処理して欠陥のノイズ画像7を画像認識により
検出し、被検査面1aの欠陥を検出する。
Referring to the disc inspection apparatus according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the surface 1a to be inspected of the disc 1 is irradiated with the illumination light 3 from one side of the normal line 2 as well. The reflected light 4 from the surface 1a to be inspected is received on the side opposite to the normal line to obtain a grayscale image 5 of the surface 1a to be inspected as shown in FIG.
The transmitted light 6 from the disc 1 is received on the side opposite to
A defect of a hole or a transparent portion is detected by the transmitted light 6, a grayscale image 5 is image-processed, a noise image 7 of the defect is detected by image recognition, and a defect of the inspection surface 1a is detected.

【0014】このように、光反射性の被検査面1aにそ
の法線2の一方側から照明光3を照射して、法線2の反
対の側でその反射光4を受光することにより、光反射性
を持った被検査面1aの反射条件の違いに応じた濃淡画
像5が得られる。これには、照明光3の入射角を被検査
面1aに対し10°〜80°程度とするのが好適であ
る。10°以下では反射光4によって被検査面1aの反
射率の違いに応じた濃淡画像は得にくい。80°を越え
ると、光や機器の干渉が生じて検査に適さない。
As described above, by irradiating the light-reflective surface 1a with the illumination light 3 from one side of the normal line 2 and receiving the reflected light 4 on the side opposite to the normal line 2, A grayscale image 5 corresponding to the difference in the reflection condition of the surface 1a having the light reflectivity can be obtained. For this purpose, it is preferable that the incident angle of the illumination light 3 is about 10 ° to 80 ° with respect to the inspection surface 1a. When the angle is 10 ° or less, it is difficult to obtain a grayscale image depending on the difference in reflectance of the surface 1a to be inspected due to the reflected light 4. If it exceeds 80 °, interference of light and equipment occurs and it is not suitable for inspection.

【0015】なお、反射光4は照明光3と法線2を境に
した鏡面対称位置となる。また、ディスクの種類、例え
ばディスク1またはこれを構成している各層の材質、厚
みの違い、あるいは欠陥の種類に応じて、それらの反射
特性の違いに対応した検査に好適な濃淡画像5を得るに
は、照明光3の光量を調節するのが好適である。この調
節によっては、あるいは受光の状態によっては、前記角
度範囲を外れることも可能である。
The reflected light 4 has a mirror- symmetrical position with the illumination light 3 and the normal 2 as a boundary. Further, depending on the type of the disc, for example, the difference in material and thickness of the disc 1 or each layer constituting the disc 1, or the type of defect, a grayscale image 5 suitable for inspection corresponding to the difference in their reflection characteristics is obtained. Therefore, it is preferable to adjust the light amount of the illumination light 3. Depending on this adjustment or the state of light reception, it is possible to deviate from the angular range.

【0016】前記図3に示す濃淡画像5は読み書きのた
めに設けた図3に示すような正規のパターン8などの各
種の正規画像および各種のノイズ画像7を含むがこれを
画像処理することにより、濃度の違いやパターンの違い
などによって図5に示す2値化した検出画像5aのノイ
ズ画像7のように欠陥だけを高精度に検出することがで
きる。一方、この画像認識によって万一にも見逃された
欠陥の孔や透孔部があっても、前記照明光3のディスク
1の被検査面1aと反対の面の側への透過光6を受光す
ることによりこれを容易かつ確実に検出することができ
る。このような欠陥の検出方法は、各種再生方式のディ
スクにも同様に適用でき、しかも、透過光6の受光と、
反射光4による濃淡画像5の画像処理および画像認識に
よって、欠陥だけを数秒程度の高速度で高精度に検出す
ることができる。従って、設備コストおよび検査コスト
ともに低減する。
The grayscale image 5 shown in FIG. 3 includes various regular images such as the regular pattern 8 shown in FIG. 3 provided for reading and writing, and various noise images 7. As shown in the noise image 7 of the binarized detection image 5a shown in FIG. 5, only defects can be detected with high accuracy due to differences in density, patterns, and the like. On the other hand, even if there is a defective hole or through hole that is overlooked by this image recognition, the transmitted light 6 of the illumination light 3 to the surface opposite to the surface 1a to be inspected of the disk 1 is received. By doing so, this can be detected easily and surely. Such a defect detection method can be similarly applied to discs of various reproduction systems, and further, the reception of the transmitted light 6 and the
By the image processing and image recognition of the grayscale image 5 by the reflected light 4, only the defect can be detected with high accuracy at a high speed of about several seconds. Therefore, both equipment cost and inspection cost are reduced.

【0017】被検査面1aに前記のような正規のパター
ン8がある場合、濃淡画像5においてこの正規のパター
ンを2値化など画像処理して画像認識し欠陥と区別する
ことで、正規のパターン8を欠陥として検出することは
ない。しかし、これでも、正規のパターン8に欠陥のノ
イズ画像7が重なっているとこれを検出することは困難
である。そこで、画像処理して画像認識した正規のパタ
ーン8の近傍を含む図4に示す濃淡画像5のようなパタ
ーン近傍域11を設定すると、パターン近傍域11の外
側では正規のパターン8がないので、そのままの画像処
理状態にて、あるいは、最低濃度となる欠陥に合わせた
2値化処理をして、反射特性の異なる各種の欠陥全てに
ついてノイズ画像7を得て漏れなく高精度に検出するこ
とができる。また、パターン近傍域11内では画像認識
した正規のパターン8を欠陥と区別することによって、
外側と同様画像認識にて高精度な欠陥の検出ができる。
正規のパターン8を欠陥と区別するには、パターンマッ
チングなどによって該当パターンを検出し、それ以外を
欠陥に対応したノイズ画像として画像認識すればよい。
When the inspection surface 1a has the regular pattern 8 as described above, in the grayscale image 5, the regular pattern is subjected to image processing such as binarization to recognize the image and distinguish it from the defect. 8 is not detected as a defect. However, even with this, if the noise image 7 of the defect overlaps the regular pattern 8, it is difficult to detect it. Therefore, when the pattern neighborhood area 11 such as the grayscale image 5 shown in FIG. 4 including the neighborhood of the regular pattern 8 subjected to the image processing and image recognition is set, the regular pattern 8 does not exist outside the pattern neighborhood area 11. In the image processing state as it is, or by performing the binarization processing according to the defect having the lowest density, the noise image 7 can be obtained for all the various defects having different reflection characteristics and can be detected with high accuracy. it can. Further, in the pattern vicinity area 11, by distinguishing the recognized normal pattern 8 from the defect,
Similar to the outside, image recognition can detect defects with high accuracy.
In order to distinguish the regular pattern 8 from a defect, the corresponding pattern may be detected by pattern matching or the like, and the other pattern may be recognized as a noise image corresponding to the defect.

【0018】上記のような検査方法を達成するのに本実
施の形態の検査装置は、図1に示すようにモータ12に
連結された回転盤13にディスク1を支持し、これをモ
ータ12で回転させながら被検査面1aの濃淡画像を取
り込むようになっている。1つの実施例データを示す
と、ディスク1の直径は120mm、中央の孔1bの直
径は15mmで、回転盤13の直径は21mm程度であ
る。ディスク1の被検査面1aはディスク1の読み書き
する範囲で、直径で云うと46mm〜120mm範囲で
ある。従って、ディスク1の中央にある正規のパターン
の1つである孔1bは被検査面1aの範囲外であり、前
記濃淡画像5に入らない。もっとも、孔1bは濃淡画像
5に入っても正規画像であるので前記画像処理および画
像認識によって欠陥と区別できる。
In order to achieve the above inspection method, the inspection apparatus of the present embodiment supports the disk 1 on the rotary disk 13 connected to the motor 12 as shown in FIG. While rotating, a grayscale image of the surface 1a to be inspected is captured. One example of the data is that the diameter of the disk 1 is 120 mm, the diameter of the central hole 1b is 15 mm, and the diameter of the turntable 13 is about 21 mm. The surface 1a to be inspected of the disk 1 is a range for reading and writing the disk 1, and has a diameter of 46 mm to 120 mm. Therefore, the hole 1b, which is one of the regular patterns at the center of the disk 1, is outside the range of the surface 1a to be inspected and does not enter the grayscale image 5. However, since the hole 1b is a normal image even in the grayscale image 5, it can be distinguished from the defect by the image processing and image recognition.

【0019】回転するディスク1の被検査面1aの全域
の濃淡画像5を取り込むには、照明光3を照射する照明
器14がディスク1の被検査面1aの半径線上を帯状照
明光3で照明し、これの帯状反射光4を受光器15で受
光すれば、ディスク1の1回転で被検査面1aの濃淡画
像5が得られる。しかし、点照明にて内外径側の一方か
ら他方へ順次走査して濃淡画像5を取り込むようにして
も、ディクス1の再生を行うのよりは高速度で達成する
ことができる。照明器14は前記光量調節のための光量
調節部14aを有し、手動で調節できるようになってい
る。ディスク1の被検査面1aの範囲におけるディスク
1の反対の面の側への透過光6を受光するための受光器
17も設けられる。これら照明器14と受光器15とは
互いの光軸が法線2に対して鏡面対象であり、照明器1
4と受光器17とは互いの光軸が同一線上にあるよう
に、これらは相互に所定の位置関係を満足する必要があ
るが、前記照明光の照射角度の調節と、これに関連した
受光側の角度調節とが可能なように支持される。互いが
所定の角度および位置関係を保って連動して角度調節で
きるようにするのが好適である。
In order to capture the grayscale image 5 of the entire surface 1a to be inspected of the rotating disk 1, the illuminator 14 for irradiating the illumination light 3 illuminates the radial line of the surface 1a to be inspected of the disk 1 with the band-shaped illumination light 3. Then, when the band-shaped reflected light 4 is received by the light receiver 15, a gray image 5 of the surface 1a to be inspected can be obtained by one rotation of the disk 1. However, even if the grayscale image 5 is captured by sequentially scanning from one side to the other side of the inner and outer diameters by the point illumination, it can be achieved at a higher speed than the reproduction of the disk 1. The illuminator 14 has a light quantity adjusting unit 14a for adjusting the light quantity, and can be manually adjusted. A light receiver 17 is also provided for receiving the transmitted light 6 to the opposite surface side of the disk 1 in the range of the surface 1a to be inspected of the disk 1. The optical axes of the illuminator 14 and the light receiver 15 are mirror images of each other with respect to the normal line 2.
4 and the light receiver 17 are required to satisfy a predetermined positional relationship with each other so that their optical axes are on the same line. However, adjustment of the irradiation angle of the illumination light and light reception related thereto are necessary. It is supported to allow side angle adjustment. It is preferable that the angles can be adjusted by interlocking with each other while maintaining a predetermined angle and positional relationship.

【0020】受光器15、17からの受光データは画像
処理部20に入力され、ここで、前記透過光6の検出の
有無の判断と、前記反射光4による濃淡画像の画像処理
および画像認識が行われる。具体的には、画像処理部2
0は図2に示すように、まず、透過光6の有無を判別す
る。これにより、透過光6があれば即そのディスク1は
不良品であると判定でき、複雑な画像処理や画像認識の
操作を省略することができる。透過光6がなければ画像
処理および画像認識による欠陥の検出に移り、画像蓄積
部22にて被検査面1aからの反射光4の受光データを
蓄積する。これによりディスク1の1枚分の所定の濃淡
画像5が蓄積されると、パターン抽出部23で正規のパ
ターン8を抽出する。正規のパターン8を抽出するとパ
ターン近傍域定義部24で抽出した正規のパターン8の
近傍を含むパターン近傍域11を定義する。次いでパタ
ーン近傍域内欠陥抽出部25およびパターン近傍域外欠
陥抽出部26において、それぞれに対応する前記のよう
な欠陥抽出の操作を行う。
The light reception data from the light receivers 15 and 17 is input to the image processing unit 20, where the judgment of the presence or absence of the detection of the transmitted light 6 and the image processing and image recognition of the grayscale image by the reflected light 4 are performed. Done. Specifically, the image processing unit 2
For 0, as shown in FIG. 2, first, the presence or absence of the transmitted light 6 is determined. As a result, if there is the transmitted light 6, the disc 1 can be immediately determined to be a defective product, and complicated image processing and image recognition operations can be omitted. If there is no transmitted light 6, the process proceeds to image defect detection by image processing and image recognition, and the image storage unit 22 stores the received light data of the reflected light 4 from the surface 1a to be inspected. As a result, when a predetermined grayscale image 5 for one disc 1 is accumulated, the pattern extracting unit 23 extracts the regular pattern 8. When the regular pattern 8 is extracted, the pattern neighborhood area 11 including the neighborhood of the regular pattern 8 extracted by the pattern neighborhood area defining unit 24 is defined. Then, the defect extraction section 25 within the pattern vicinity area and the defect extraction section 26 outside the pattern vicinity area perform the above-described defect extraction operation corresponding to each.

【0021】いずれかにおいて欠陥があると不良品ディ
スクと判定し、欠陥がないと良品として判定する。な
お、パターン抽出部23で正規のパターン8がないと、
パターン無欠陥検出部27にてノイズ画像7があれば欠
陥として検出し不良品ディスクとして判定し、ノイズ画
像7がなければ欠陥はなく良品ディスクとして判定す
る。
If any of these is defective, it is determined to be a defective disk, and if there is no defect, it is determined to be a good disk. If there is no regular pattern 8 in the pattern extraction unit 23,
If the noise image 7 is not detected by the pattern-free defect detection unit 27, it is detected as a defect and determined as a defective disk. If the noise image 7 is not detected, it is determined as a good disk without a defect.

【0022】これによって1枚のディスク1についての
上記のような特徴ある欠陥の検出を、所定のプログラム
に従って自動的に能率よく安定して達成される。
As a result, the detection of the above-mentioned characteristic defects on one disk 1 is automatically and efficiently achieved in accordance with a predetermined program.

【0023】[0023]

【発明の効果】請求項1に係る発明のディスクの検査方
法によれば、各種再生方式のディスクに対し、反射光に
よる濃淡画像の画像処理および画像認識によって、欠陥
だけを高速度で高精度に検出することができる。従っ
て、設備コストおよび検査コストともに低減する。
に、被検査面に正規のパターンがあっても、これを欠陥
として検出することはないし、画像認識した正規のパタ
ーンにつき設定したパターン近傍域の外側で正規のパタ
ーンの影響なしに、内側で正規のパターンの影響をなく
して、それぞれ画像認識により高精度な欠陥の検出がで
きる。
Effects of the Invention According to the inspection method for a disk of the invention according to claim 1, the disk of the various playback method, the image processing and image recognition grayscale image by reflected light, only the high precision at high velocity defect Can be detected. Therefore, both equipment cost and inspection cost are reduced. Special
Even if there is a regular pattern on the surface to be inspected,
Is not detected as a normal pattern
Pattern outside the area near the pattern set for each pattern.
Eliminates the effects of regular patterns on the inside without
Then, image recognition can detect defects with high accuracy.
Wear.

【0024】 請求項2に係る発明のディスクの検査方
法によれば、前記のような画像認識によって万一にも見
逃された欠陥の孔や透孔部があっても、ディスクの被検
査面側への透過光を受光することによりこれを容易かつ
確実に検出することができる。
A method for inspecting a disk according to the second aspect of the invention
According to the law, in the unlikely event that image recognition as described above
Even if there are defective holes or through holes that have been missed, the disc is inspected.
This can be done easily by receiving the transmitted light to the inspection side.
It can be reliably detected.

【0025】[0025]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態に係るディスクの検査方法
および装置を示す概略側面図。
FIG. 1 is a schematic side view showing a disc inspection method and device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の装置の画像処理部の内部機能および処理
操作例を示すフローチャート。
2 is a flowchart showing an internal function and an example of processing operation of an image processing unit of the apparatus shown in FIG.

【図3】図1の方法および装置においてディスクの被検
査面から取り込んだ濃淡画像例。
FIG. 3 is an example of a grayscale image captured from the surface to be inspected of the disc in the method and apparatus of FIG.

【図4】図3の濃淡画像における正規のパターンについ
てのパターン近傍域の設定例。
FIG. 4 is a setting example of a pattern vicinity area for a regular pattern in the grayscale image of FIG.

【図5】図4のパターン近傍域の設定によって検出した
2値化した検出画像例。
FIG. 5 is an example of a binarized detection image detected by setting the pattern vicinity area in FIG.

【図6】本発明者等がした2値化処理による欠陥検出画
像例。
FIG. 6 is an example of a defect detection image by the binarization process performed by the present inventors.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディスク 1a 被検査面 2 法線 3 照明光 4 反射光 5 濃淡画像 6 透過光 7 ノイズ画像 8 正規のパターン 11 パターン近傍域 13 回転盤 14 照明器 14a 光量調節部 15、17 受光器 20 画像処理部 22 画像蓄積部 23 パターン抽出部 24 パターン近傍域定義部 25 パターン近傍域内欠陥抽出部 26 パターン近傍域外欠陥抽出部 1 disc 1a Inspection surface 2 normal 3 illumination light 4 reflected light 5 gray image 6 transmitted light 7 noise image 8 Regular pattern 11 pattern neighborhood 13 turntable 14 Illuminator 14a Light intensity control unit 15, 17 Light receiver 20 Image processing unit 22 Image storage section 23 pattern extractor 24 pattern neighborhood definition section Defect extraction unit in the 25 pattern vicinity area 26 Defect extraction unit near pattern

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−281054(JP,A) 特開 平6−242013(JP,A) 特開 平4−97512(JP,A) 特開 平7−195383(JP,A) 実開 平1−179245(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/84 - 21/958 G11B 7/26 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-9-281054 (JP, A) JP-A-6-242013 (JP, A) JP-A-4-97512 (JP, A) JP-A-7- 195383 (JP, A) Actual Kaihei 1-179245 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 21/84-21/958 G11B 7/26

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光反射性のディスクの被検査面に法線の
一方の側から照明光を照射するのに併せ、前記法線の反
対の側で前記被検査面からの反射光を受光して被検査面
の濃淡画像を得、この濃淡画像を画像処理して画像認識
した正規のパターンの近傍を含むパターン近傍域を設定
し、パターン近傍域の内側では画像認識した正規のパタ
ーンを除いて、外側では正規のパターンを除くような操
作なしに、欠陥のノイズ画像を画像認識により検出する
操作を行うディスクの検査方法。
1. A surface to be inspected of a light-reflecting disk is irradiated with illumination light from one side of a normal line, and light reflected from the surface to be inspected is received on the side opposite to the normal line. Te to obtain a gray image of the inspected surface, the grayscale image by image processing to set the pattern proximity including the vicinity of normal pattern image recognition, in the inside of the pattern proximity with the exception of the normal pattern image recognition , A method of inspecting a disc that performs an operation of detecting a noise image of a defect by image recognition without performing an operation of removing a regular pattern on the outside.
【請求項2】 ディスクの被検査面と反対の面の側でデ
ィスクからの透過光を受光し、透過光によって孔や透光
部の欠陥を検出する請求項に記載のディスクの検査方
法。
2. The disk inspection method according to claim 1 , wherein the surface of the disk opposite to the surface to be inspected receives the transmitted light from the disk, and the defect of the hole or the transparent portion is detected by the transmitted light.
【請求項3】 照明光の入射角は、被検査面に対して1
0°〜80°程度である請求項1、2のいずれか1項
記載のディスクの検査方法。
3. The incident angle of illumination light is 1 with respect to the surface to be inspected.
The disk inspection method according to claim 1, wherein the disk angle is about 0 ° to 80 °.
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