JPH11304722A - Method and device for inspecting disk - Google Patents

Method and device for inspecting disk

Info

Publication number
JPH11304722A
JPH11304722A JP11673998A JP11673998A JPH11304722A JP H11304722 A JPH11304722 A JP H11304722A JP 11673998 A JP11673998 A JP 11673998A JP 11673998 A JP11673998 A JP 11673998A JP H11304722 A JPH11304722 A JP H11304722A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
disk
image
inspected
defect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11673998A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3487760B2 (en
Inventor
Seiji Hamano
誠司 濱野
Noriaki Yugawa
典昭 湯川
Takeshi Nomura
剛 野村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP11673998A priority Critical patent/JP3487760B2/en
Publication of JPH11304722A publication Critical patent/JPH11304722A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3487760B2 publication Critical patent/JP3487760B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To more quickly inspect a plurality of kinds of disks as compared with the past while satisfying inspection accuracy. SOLUTION: Illumination light 3 is applied to a surface 1a to be inspected of a disk 1 with a light reflection property from one side of a normal line 2, at the same time, reflected light 4 from the surface 1a to be inspected is received at the opposite side of the normal line 2 for obtaining a gray image 5 of the surface 1a to be inspected, transmission light 6 from the disk 1 is received at the side of a surface opposite to the surface 1a to be inspected of the disk 1, a hole and the defect of a light transmission part are detected by the transmission light, the gray-level image 5 is subjected to image processing for detecting a noise image 7 of the defect by image recognition, and the defect of the surface 1a to be inspected is detected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、CD、PD、DV
Dなどのディスク型データストレージメディアとしての
光反射性のディスクに関し、表面の欠陥を検出するディ
スクの検査方法と装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to CD, PD, DV
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a light-reflective disk as a disk-type data storage medium such as D, and to a disk inspection method and apparatus for detecting surface defects.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、これらのディスクの検査は特開平
03−172527号公報に開示の方法および装置が用
いられている。この方法は、光ピックを持った光ディス
クの再生装置を用い、検査すべきディスクにつき1枚ず
つ再生操作を行い、誤動作なく再生できるかどうかで、
ディスクの良否を高精度に検出している。
2. Description of the Related Art Conventionally, these discs are inspected using a method and apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 03-172527. This method uses an optical disk playback device having an optical pick, performs a playback operation on each disk to be inspected one by one, and determines whether playback can be performed without malfunction.
The quality of the disc is detected with high accuracy.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ディスクに
は種々な再生方式のものがある。従って、上記従来のよ
うな再生装置を用いる方法では、ディスクの種類に合わ
せて同じ数の種類の再生装置が要る。このため、各種の
ディスクを検査するには膨大な設備投資を必要とした。
また、検査のためにディスク1枚ずつを再生操作するの
では、1枚ずつの検査に数十分掛かるので検査能率が低
く、コスト高にもなる。ディスク型データストレージメ
ディアの近似の需要拡大に伴う生産数の増大に対応すべ
く、複数の再生装置を同時に用いて検査するのではさら
に設備費がかさむので、さらなるコスト高の原因にな
る。
Incidentally, there are discs of various reproduction systems. Therefore, in the above-described method using the reproducing apparatus, the same number of types of reproducing apparatuses are required in accordance with the type of the disc. Therefore, enormous capital investment was required to inspect various disks.
In addition, if the reproducing operation is performed for each disk for inspection, it takes several tens of minutes to inspect each disk, so that the inspection efficiency is low and the cost is high. In order to cope with an increase in the number of productions due to the approximate increase in demand for disk-type data storage media, simultaneous inspection using a plurality of playback devices further increases equipment costs, which further increases costs.

【0004】本発明者等はこれらの問題を解決しようと
して種々に研究を重ねている。被検査面の画像データを
画像処理して欠陥を画像認識により検出することを考
え、通常の画像処理のように受光により得た濃淡画像を
2値化して検出を行った。その結果、図6に示すような
2値化画像Cとなり、ディスクに読み書きするために設
けてある正規のパターンaとノイズ画像bとが検出さ
れ、正規なパターンaとノイズ画像bとは正規なパター
ンaのパターンマッチング法などによって検出でき、こ
れとマッチングしないノイズ画像bを簡単に欠陥として
検出することができる。しかし、正規なパターンaの1
つにノイズ画像bがあるのに検出されず誤検出となって
いる。また、ディスクは複数の層の貼り合わせであるこ
とが多いなどの理由から、前記のような画像処理、画像
認識では小さな孔や透光部の欠陥を見逃してしまうこと
による誤検出がある。しかも、欠陥の種類としては再生
上のノイズとなる孔、透光部、異物、傷、染みなどがあ
り、これらも各種の正規なパターンの画像と区別して高
精度に判別し検出する必要があるが、これにまだ十分応
えられていない。
The present inventors have been conducting various studies in an attempt to solve these problems. Considering that image data of the surface to be inspected is subjected to image processing to detect defects by image recognition, a grayscale image obtained by light reception is binarized and detected as in normal image processing. As a result, a binarized image C as shown in FIG. 6 is obtained, and a normal pattern a and a noise image b provided for reading and writing on the disk are detected. The noise image b that can be detected by the pattern matching method of the pattern a or the like and that does not match the noise can be easily detected as a defect. However, one of the regular patterns a
Finally, there is a noise image b, which is not detected but is erroneously detected. In addition, since the disk is often a combination of a plurality of layers, there is an erroneous detection in the above-described image processing and image recognition due to missing a small hole or a defect in the light transmitting portion. In addition, the types of defects include holes, light-transmitting portions, foreign matter, scratches, stains, and the like that become noise in reproduction, and these need to be distinguished and detected with high accuracy in distinction from various regular pattern images. However, this has not yet been fully responded.

【0005】本発明の目的は、検査精度を満足しなが
ら、複数種類のディスクを従来に比し高速度で検査でき
るディスクの検査方法と装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a disk inspection method and apparatus capable of inspecting a plurality of types of disks at a higher speed than before, while satisfying the inspection accuracy.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するために、本発明のディスクの検査方法は、光反射性
のディスクの被検査面に法線の一方の側から照明光を照
射するのに併せ、前記法線の反対の側で前記被検査面か
らの反射光を受光して被検査面の濃淡画像を得るととも
に、ディスクの被検査面と反対の面の側でディスクから
の透過光を受光し、透過光によって孔や透光部の欠陥を
検出し、濃淡画像を画像処理して欠陥のノイズ画像を画
像認識により検出し、被検査面の欠陥を検出することを
1つの特徴としている。
In order to achieve the above object, a disk inspection method according to the present invention irradiates an inspection surface of a light reflective disk with illumination light from one side of a normal line. At the same time, the reflected light from the surface to be inspected is received on the side opposite to the normal line to obtain a grayscale image of the surface to be inspected, and the light is reflected from the disk on the side opposite to the surface to be inspected of the disk. One method is to receive transmitted light, detect defects in holes and light-transmitting parts using transmitted light, perform image processing on grayscale images, detect noise images of defects by image recognition, and detect defects on the inspection surface. Features.

【0007】このように、光反射性の被検査面にその法
線の一方側から照明光を照射して、法線の反対の側でそ
の反射光を受光することにより、光反射性を持った被検
査面の反射条件の違いに応じた濃淡画像が得られる。こ
の濃淡画像データは各種の正規のパターンの画像および
各種のノイズ画像を含むがこれを画像処理することによ
り、濃度の違いやパターンの違いなどによって欠陥だけ
を検出することができる。一方、この画像認識によって
万一にも見逃された欠陥の孔や透孔部があっても、前記
照明光のディスクの被検査面側への透過光を受光するこ
とによりこれを容易かつ確実に検出することができる。
このような欠陥の検出方法は、各種再生方式のディスク
にも同様に適用でき、しかも、透過光の受光と、反射光
による濃淡画像の画像処理および画像認識によって、欠
陥だけを高速度で高精度に検出することができる。従っ
て、設備コストおよび検査コストともに低減する。
As described above, the light-reflective surface to be inspected is irradiated with illumination light from one side of the normal line, and the reflected light is received on the opposite side of the normal line, thereby providing light reflectivity. A shaded image corresponding to the difference in the reflection conditions of the inspected surface is obtained. The grayscale image data includes various normal pattern images and various noise images. By performing image processing on these images, it is possible to detect only a defect due to a difference in density or a difference in pattern. On the other hand, even if there is a hole or a hole of a defect that is missed by this image recognition, it can be easily and reliably received by receiving the transmitted light of the illumination light to the inspection surface side of the disk. Can be detected.
Such a defect detection method can be similarly applied to discs of various playback systems, and furthermore, by detecting transmitted light and performing image processing and image recognition of a grayscale image by reflected light, only a defect can be detected at high speed and with high accuracy. Can be detected. Therefore, both equipment costs and inspection costs are reduced.

【0008】被検査面に正規のパターンがある場合、濃
淡画像においてこの正規のパターンを画像認識して欠陥
と区別することで、正規のパターンを欠陥として検出す
ることはない。特に、画像処理して画像認識した正規の
パターンの近傍を含むパターン近傍域を設定すると、パ
ターン近傍域の外側では正規のパターンがないので、そ
のままの画像処理状態にて、あるいは、最低濃度となる
欠陥に合わせた2値化処理をして、反射特性の異なる各
種の欠陥全てのノイズ画像を現出させて、漏れなく高精
度に検出することができる。また、パターン近傍域内で
は画像認識した正規のパターンを欠陥と区別することに
よって、外側と同様画像認識にて高精度な欠陥の検出が
できる。
When there is a regular pattern on the surface to be inspected, the regular pattern is not recognized as a defect by recognizing the regular pattern in a grayscale image and distinguishing it from a defect. In particular, when a pattern neighborhood including a neighborhood of a regular pattern that is image-processed and image-recognized is set, there is no regular pattern outside the neighborhood of the pattern. By performing a binarization process in accordance with the defect, noise images of all the various types of defects having different reflection characteristics appear, and it is possible to detect the noise image without omission with high accuracy. Also, in the pattern vicinity area, by distinguishing a regular pattern whose image has been recognized from a defect, a defect can be detected with high accuracy by image recognition as in the case of the outside.

【0009】上記のような検査方法は、光反射性のディ
スクの被検査面を法線の一方側から照明する照明器と、
被検査面の前記法線の反対の側で前記被検査面からの反
射光を受光する第1の受光器と、ディスクの被検査面と
反対の面の側でディスクからの透過光を受光する第2の
受光器と、第1の受光器からの濃淡画像データを画像処
理して画像認識した認識データと、第2の受光器が受光
する透過光データとによってディスクの欠陥を検出する
画像処理器とを備えたことを特徴とするディスクの検査
装置によれば、それぞれの機器の働きによって所定のプ
ログラムに従い、自動的に能率よくかつ安定して達成さ
れる。なお、被検査面の全体の画像は、ディスクを回転
させながら部分的な検出部を被検査面全域に及ぶように
して行うと小規模な検査装置で能率よく被検査面全体を
検査することができるので好適である。また、照明器は
照明光量を調節する光量調節部を備えていると、反射特
性の違うディスクや欠陥に対応して、欠陥を最も検出し
やすい濃淡画像が得られる照明度合いを自由に設定で
き、欠陥の検査の精度および能率が向上する。
The inspection method as described above includes an illuminator for illuminating a surface to be inspected of a light reflective disk from one side of a normal line,
A first light receiving device for receiving light reflected from the surface to be inspected on a side opposite to the normal line of the surface to be inspected, and receiving a transmitted light from the disk on a surface of the disk opposite to the surface to be inspected; Image processing for detecting a disk defect based on recognition data obtained by performing image processing on gray-scale image data from the first light receiver, image recognition of the gray image data from the first light receiver, and transmitted light data received by the second light receiver According to the disk inspection apparatus characterized in that the apparatus is provided, the operation is automatically and efficiently and stably achieved in accordance with a predetermined program by the operation of each apparatus. In addition, if the image of the entire surface to be inspected is made so that the partial detection unit extends over the entire surface to be inspected while rotating the disk, the entire surface to be inspected can be inspected efficiently with a small-scale inspection device. It is preferable because it can be performed. In addition, if the illuminator is equipped with a light amount adjustment unit that adjusts the amount of illumination light, it is possible to freely set the degree of illumination that can obtain a grayscale image in which defects can be most easily detected, in response to disks and defects with different reflection characteristics, The accuracy and efficiency of defect inspection are improved.

【0010】本発明のそれ以上の目的および特徴は、以
下の詳細な説明および図面の記載によって明らかにな
る。本発明の上記各特徴は、単独で、あるいは種々な組
合せで複合して用いられることができる。
[0010] Further objects and features of the present invention will become apparent from the following detailed description and drawings. The above features of the present invention can be used alone or in combination in various combinations.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
てその実施例とともに図1〜図6を参照しながら説明
し、本発明の理解に供する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 6 together with embodiments thereof, to provide an understanding of the present invention.

【0012】本実施の形態のディスクの検査方法は、組
織の変化によって読み書きされる図1に示すようなディ
スク1を光反射性の被検査ディスクとして各種の欠陥を
検出する場合の一例である。しかし、これに限られるこ
とはなく、種々なディスクの反射特性の違う、あるいは
孔、透光部を含む種々な欠陥の検出ができるし、1種類
だけの欠陥の検出にも適用できるのは勿論である。
The disk inspection method according to the present embodiment is an example of a case in which various defects are detected by using a disk 1 as shown in FIG. However, the present invention is not limited to this, and it is possible to detect various kinds of defects having different reflection characteristics of the disks, including holes and light-transmitting portions, and to detect only one type of defect. It is.

【0013】図1に示す本発明の実施の形態のディスク
の検査装置を参照しながら説明すると、ディスク1の被
検査面1aに法線2の一方の側から照明光3を照射する
のに併せ、前記法線の反対の側で前記被検査面1aから
の反射光4を受光して被検査面1aの図3に示すような
濃淡画像5を得るとともに、ディスク1の被検査面1a
と反対の面の側でディスク1からの透過光6を受光し、
透過光6によって孔や透光部の欠陥を検出し、濃淡画像
5を画像処理して欠陥のノイズ画像7を画像認識により
検出し、被検査面1aの欠陥を検出する。
Referring to the disk inspection apparatus according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the illumination light 3 is applied to the inspection surface 1a of the disk 1 from one side of the normal 2 at the same time. On the side opposite to the normal, the reflected light 4 from the surface 1a to be inspected is received to obtain a gray image 5 of the surface 1a to be inspected as shown in FIG.
Receives the transmitted light 6 from the disk 1 on the side opposite to
A defect in a hole or a light transmitting portion is detected by the transmitted light 6, an image processing is performed on the grayscale image 5, a noise image 7 of the defect is detected by image recognition, and a defect on the inspection surface 1a is detected.

【0014】このように、光反射性の被検査面1aにそ
の法線2の一方側から照明光3を照射して、法線2の反
対の側でその反射光4を受光することにより、光反射性
を持った被検査面1aの反射条件の違いに応じた濃淡画
像5が得られる。これには、照明光3の入射角を被検査
面1aに対し10°〜80°程度とするのが好適であ
る。10°以下では反射光4によって被検査面1aの反
射率の違いに応じた濃淡画像は得にくい。80°を越え
ると、光や機器の干渉が生じて検査に適さない。
As described above, by irradiating the light-reflective inspected surface 1a with the illumination light 3 from one side of the normal 2 and receiving the reflected light 4 on the side opposite to the normal 2, A gray image 5 corresponding to the difference in the reflection conditions of the inspection surface 1a having light reflectivity is obtained. For this purpose, it is preferable that the incident angle of the illumination light 3 is about 10 ° to 80 ° with respect to the inspection surface 1a. If the angle is 10 ° or less, it is difficult to obtain a grayscale image corresponding to the difference in the reflectance of the inspection surface 1a due to the reflected light 4. If it exceeds 80 °, light or interference of equipment occurs, which is not suitable for inspection.

【0015】なお、反射光4は照明光3と法線2を境に
した鏡面対象位置となる。また、ディスクの種類、例え
ばディスク1またはこれを構成している各層の材質、厚
みの違い、あるいは欠陥の種類に応じて、それらの反射
特性の違いに対応した検査に好適な濃淡画像5を得るに
は、照明光3の光量を調節するのが好適である。この調
節によっては、あるいは受光の状態によっては、前記角
度範囲を外れることも可能である。
The reflected light 4 is a mirror-target position at the boundary between the illumination light 3 and the normal 2. In addition, according to the type of the disk, for example, the material and thickness of the disk 1 or each layer constituting the disk, or the type of defect, a gray image 5 suitable for inspection corresponding to the difference in their reflection characteristics is obtained. It is preferable to adjust the amount of illumination light 3. By this adjustment or depending on the state of light reception, it is possible to deviate from the above angle range.

【0016】前記図3に示す濃淡画像5は読み書きのた
めに設けた図3に示すような正規のパターン8などの各
種の正規画像および各種のノイズ画像7を含むがこれを
画像処理することにより、濃度の違いやパターンの違い
などによって図5に示す2値化した検出画像5aのノイ
ズ画像7のように欠陥だけを高精度に検出することがで
きる。一方、この画像認識によって万一にも見逃された
欠陥の孔や透孔部があっても、前記照明光3のディスク
1の被検査面1aと反対の面の側への透過光6を受光す
ることによりこれを容易かつ確実に検出することができ
る。このような欠陥の検出方法は、各種再生方式のディ
スクにも同様に適用でき、しかも、透過光6の受光と、
反射光4による濃淡画像5の画像処理および画像認識に
よって、欠陥だけを数秒程度の高速度で高精度に検出す
ることができる。従って、設備コストおよび検査コスト
ともに低減する。
The light and shade image 5 shown in FIG. 3 includes various regular images such as a regular pattern 8 as shown in FIG. 3 provided for reading and writing and various noise images 7. 5, only a defect can be detected with high accuracy, as in the noise image 7 of the binarized detection image 5a shown in FIG. On the other hand, even if there is a hole or a hole of a defect that is missed by this image recognition, the transmitted light 6 of the illumination light 3 to the side opposite to the inspection surface 1a of the disk 1 is received. By doing so, this can be easily and reliably detected. Such a defect detection method can be similarly applied to discs of various reproduction systems, and furthermore, receiving the transmitted light 6 and
By image processing and image recognition of the grayscale image 5 by the reflected light 4, only the defect can be detected with high accuracy at a high speed of about several seconds. Therefore, both equipment costs and inspection costs are reduced.

【0017】被検査面1aに前記のような正規のパター
ン8がある場合、濃淡画像5においてこの正規のパター
ンを2値化など画像処理して画像認識し欠陥と区別する
ことで、正規のパターン8を欠陥として検出することは
ない。しかし、これでも、正規のパターン8に欠陥のノ
イズ画像7が重なっているとこれを検出することは困難
である。そこで、画像処理して画像認識した正規のパタ
ーン8の近傍を含む図4に示す濃淡画像5のようなパタ
ーン近傍域11を設定すると、パターン近傍域11の外
側では正規のパターン8がないので、そのままの画像処
理状態にて、あるいは、最低濃度となる欠陥に合わせた
2値化処理をして、反射特性の異なる各種の欠陥全てに
ついてノイズ画像7を得て漏れなく高精度に検出するこ
とができる。また、パターン近傍域11内では画像認識
した正規のパターン8を欠陥と区別することによって、
外側と同様画像認識にて高精度な欠陥の検出ができる。
正規のパターン8を欠陥と区別するには、パターンマッ
チングなどによって該当パターンを検出し、それ以外を
欠陥に対応したノイズ画像として画像認識すればよい。
When the regular pattern 8 as described above is present on the surface 1a to be inspected, the regular pattern is subjected to image processing such as binarization in the grayscale image 5 and image recognition is performed to distinguish the regular pattern from a defect. 8 is not detected as a defect. However, even in this case, if the defect noise image 7 overlaps the regular pattern 8, it is difficult to detect this. Thus, when a pattern neighborhood 11 such as the grayscale image 5 shown in FIG. 4 including the neighborhood of the regular pattern 8 subjected to image processing and image recognition is set, there is no regular pattern 8 outside the neighborhood 11 of the pattern. In the same image processing state or by performing binarization processing according to the defect having the lowest density, it is possible to obtain a noise image 7 for all the various types of defects having different reflection characteristics and to detect it with high accuracy without omission. it can. In addition, by discriminating the regular pattern 8 whose image has been recognized from the defect in the pattern neighborhood 11,
As with the outside, highly accurate defect detection can be performed by image recognition.
In order to distinguish the regular pattern 8 from the defect, the corresponding pattern may be detected by pattern matching or the like, and the other pattern may be image-recognized as a noise image corresponding to the defect.

【0018】上記のような検査方法を達成するのに本実
施の形態の検査装置は、図1に示すようにモータ12に
連結された回転盤13にディスク1を支持し、これをモ
ータ12で回転させながら被検査面1aの濃淡画像を取
り込むようになっている。1つの実施例データを示す
と、ディスク1の直径は120mm、中央の孔1bの直
径は15mmで、回転盤13の直径は21mm程度であ
る。ディスク1の被検査面1aはディスク1の読み書き
する範囲で、直径で云うと46mm〜120mm範囲で
ある。従って、ディスク1の中央にある正規のパターン
の1つである孔1bは被検査面1aの範囲外であり、前
記濃淡画像5に入らない。もっとも、孔1bは濃淡画像
5に入っても正規画像であるので前記画像処理および画
像認識によって欠陥と区別できる。
In order to achieve the above-described inspection method, the inspection apparatus of the present embodiment supports the disk 1 on a rotating disk 13 connected to a motor 12 as shown in FIG. The gray image of the inspection surface 1a is taken in while rotating. According to one embodiment, the diameter of the disk 1 is 120 mm, the diameter of the central hole 1b is 15 mm, and the diameter of the turntable 13 is about 21 mm. The surface 1a to be inspected of the disk 1 is a range in which the disk 1 can be read and written, and has a diameter of 46 mm to 120 mm. Therefore, the hole 1b, which is one of the regular patterns at the center of the disk 1, is outside the range of the surface 1a to be inspected, and does not enter the grayscale image 5. However, since the hole 1b is a normal image even if it enters the grayscale image 5, it can be distinguished from a defect by the image processing and image recognition.

【0019】回転するディスク1の被検査面1aの全域
の濃淡画像5を取り込むには、照明光3を照射する照明
器14がディスク1の被検査面1aの半径線上を帯状照
明光3で照明し、これの帯状反射光4を受光器15で受
光すれば、ディスク1の1回転で被検査面1aの濃淡画
像5が得られる。しかし、点照明にて内外径側の一方か
ら他方へ順次走査して濃淡画像5を取り込むようにして
も、ディクス1の再生を行うのよりは高速度で達成する
ことができる。照明器14は前記光量調節のための光量
調節部14aを有し、手動で調節できるようになってい
る。ディスク1の被検査面1aの範囲におけるディスク
1の反対の面の側への透過光6を受光するための受光器
17も設けられる。これら照明器14と受光器15とは
互いの光軸が法線2に対して鏡面対象であり、照明器1
4と受光器17とは互いの光軸が同一線上にあるよう
に、これらは相互に所定の位置関係を満足する必要があ
るが、前記照明光の照射角度の調節と、これに関連した
受光側の角度調節とが可能なように支持される。互いが
所定の角度および位置関係を保って連動して角度調節で
きるようにするのが好適である。
In order to capture the grayscale image 5 of the entire inspection surface 1a of the rotating disk 1, an illuminator 14 irradiating the illumination light 3 illuminates the radial line of the inspection surface 1a of the disk 1 with the band illumination light 3. Then, if the strip-like reflected light 4 is received by the light receiver 15, a gray image 5 of the inspection surface 1a can be obtained by one rotation of the disk 1. However, even if the gray scale image 5 is taken in by sequentially scanning from one of the inner and outer diameter sides to the other by the point illumination, it can be achieved at a higher speed than when the disk 1 is reproduced. The illuminator 14 has a light amount adjusting section 14a for adjusting the light amount, and can be adjusted manually. There is also provided a light receiver 17 for receiving the transmitted light 6 to the side opposite to the disk 1 in the range of the inspection surface 1a of the disk 1. The optical axis of each of the illuminator 14 and the light receiver 15 is mirror-symmetric with respect to the normal 2, and the illuminator 1
The optical axis of the light receiver 4 and the light receiver 17 need to satisfy a predetermined positional relationship with each other so that their optical axes are on the same line. It is supported so that the side angle can be adjusted. It is preferable that the angles can be adjusted in conjunction with each other while maintaining a predetermined angle and positional relationship.

【0020】受光器15、17からの受光データは画像
処理部20に入力され、ここで、前記透過光6の検出の
有無の判断と、前記反射光4による濃淡画像の画像処理
および画像認識が行われる。具体的には、画像処理部2
0は図2に示すように、まず、透過光6の有無を判別す
る。これにより、透過光6があれば即そのディスク1は
不良品であると判定でき、複雑な画像処理や画像認識の
操作を省略することができる。透過光6がなければ画像
処理および画像認識による欠陥の検出に移り、画像蓄積
部22にて被検査面1aからの反射光4の受光データを
蓄積する。これによりディスク1の1枚分の所定の濃淡
画像5が蓄積されると、パターン抽出部23で正規のパ
ターン8を抽出する。正規のパターン8を抽出するとパ
ターン近傍域定義部24で抽出した正規のパターン8の
近傍を含むパターン近傍域11を定義する。次いでパタ
ーン近傍域内欠陥抽出部25およびパターン近傍域外欠
陥抽出部26において、それぞれに対応する前記のよう
な欠陥抽出の操作を行う。
The received light data from the light receivers 15 and 17 are input to an image processing section 20 where the determination of the presence or absence of the detection of the transmitted light 6 and the image processing and image recognition of the gray image using the reflected light 4 are performed. Done. Specifically, the image processing unit 2
0, as shown in FIG. 2, first determines the presence or absence of the transmitted light 6. As a result, if the transmitted light 6 is present, the disc 1 can be immediately determined to be defective, and complicated image processing and image recognition operations can be omitted. If there is no transmitted light 6, the process proceeds to the detection of a defect by image processing and image recognition, and the light receiving data of the reflected light 4 from the inspected surface 1a is stored in the image storage unit 22. As a result, when a predetermined density image 5 for one disk 1 is accumulated, the regular pattern 8 is extracted by the pattern extraction unit 23. When the regular pattern 8 is extracted, the pattern neighborhood 11 including the neighborhood of the regular pattern 8 extracted by the pattern neighborhood definition unit 24 is defined. Next, in the near-pattern area defect extracting section 25 and the near-pattern outside defect extracting section 26, the above-described defect extraction operation corresponding to each is performed.

【0021】いずれかにおいて欠陥があると不良品ディ
スクと判定し、欠陥がないと良品として判定する。な
お、パターン抽出部23で正規のパターン8がないと、
パターン無欠陥検出部27にてノイズ画像7があれば欠
陥として検出し不良品ディスクとして判定し、ノイズ画
像7がなければ欠陥はなく良品ディスクとして判定す
る。
If any one has a defect, it is determined to be a defective disk, and if there is no defect, it is determined to be a good disk. If there is no regular pattern 8 in the pattern extracting unit 23,
If there is a noise image 7, the pattern non-defect detection unit 27 detects it as a defect and determines it as a defective disk. If there is no noise image 7, it determines that there is no defect and it is a good disk.

【0022】これによって1枚のディスク1についての
上記のような特徴ある欠陥の検出を、所定のプログラム
に従って自動的に能率よく安定して達成される。
As a result, the above-described characteristic defect detection for one disk 1 is automatically and efficiently achieved stably according to a predetermined program.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明のディスクの検査方法によれば、
各種再生方式のディスクに対し、透過光の受光と、反射
光による濃淡画像の画像処理および画像認識によって、
欠陥だけを高速度で高精度に検出することができる。従
って、設備コストおよび検査コストともに低減する。
According to the disk inspection method of the present invention,
For discs of various playback systems, by receiving transmitted light and performing image processing and image recognition of grayscale images by reflected light,
Only defects can be detected at high speed and with high accuracy. Therefore, both equipment costs and inspection costs are reduced.

【0024】また、被検査面に正規のパターンがあって
も、これを欠陥として検出することはないし、画像認識
した正規のパターンにつき設定したパターン近傍域の外
側で正規のパターンの影響なしに、内側で正規のパター
ンの影響をなくして、それぞれ画像認識により高精度な
欠陥の検出ができる。
Further, even if there is a regular pattern on the surface to be inspected, this is not detected as a defect, and the regular pattern is not affected by the regular pattern outside the area near the pattern set for the recognized regular image. The defect of the defect can be detected with high accuracy by image recognition without the influence of the regular pattern inside.

【0025】本発明のディスクの検査装置によれば、所
定のプログラムに従い、自動的に能率よくかつ安定して
達成される。
According to the disk inspecting apparatus of the present invention, it is achieved efficiently and stably automatically according to a predetermined program.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態に係るディスクの検査方法
および装置を示す概略側面図。
FIG. 1 is a schematic side view showing a disk inspection method and apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の装置の画像処理部の内部機能および処理
操作例を示すフローチャート。
FIG. 2 is a flowchart illustrating an internal function and an example of a processing operation of an image processing unit of the apparatus in FIG. 1;

【図3】図1の方法および装置においてディスクの被検
査面から取り込んだ濃淡画像例。
FIG. 3 is an example of a grayscale image captured from a surface to be inspected of a disk in the method and apparatus of FIG. 1;

【図4】図3の濃淡画像における正規のパターンについ
てのパターン近傍域の設定例。
FIG. 4 is a setting example of a pattern vicinity area for a normal pattern in the grayscale image of FIG. 3;

【図5】図4のパターン近傍域の設定によって検出した
2値化した検出画像例。
FIG. 5 is an example of a binarized detection image detected by setting a pattern vicinity area in FIG. 4;

【図6】本発明者等がした2値化処理による欠陥検出画
像例。
FIG. 6 is an example of a defect detection image obtained by binarization performed by the present inventors.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディスク 1a 被検査面 2 法線 3 照明光 4 反射光 5 濃淡画像 6 透過光 7 ノイズ画像 8 正規のパターン 11 パターン近傍域 13 回転盤 14 照明器 14a 光量調節部 15、17 受光器 20 画像処理部 22 画像蓄積部 23 パターン抽出部 24 パターン近傍域定義部 25 パターン近傍域内欠陥抽出部 26 パターン近傍域外欠陥抽出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Disc 1a Inspection surface 2 Normal line 3 Illumination light 4 Reflected light 5 Grayscale image 6 Transmitted light 7 Noise image 8 Regular pattern 11 Pattern neighborhood 13 Turntable 14 Illuminator 14a Light amount adjusting unit 15, 17 Light receiver 20 Image processing Unit 22 Image storage unit 23 Pattern extraction unit 24 Pattern near area definition unit 25 Pattern near area defect extraction unit 26 Pattern near area outside defect extraction unit

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光反射性のディスクの被検査面に法線の
一方の側から照明光を照射するのに併せ、前記法線の反
対の側で前記被検査面からの反射光を受光して被検査面
の濃淡画像を得るとともに、ディスクの被検査面と反対
の面の側でディスクからの透過光を受光し、透過光によ
って孔や透光部の欠陥を検出し、濃淡画像を画像処理し
て欠陥のノイズ画像を画像認識により検出し、被検査面
の欠陥を検出することを特徴とするディスクの検査方
法。
An illumination light is radiated to a surface to be inspected of a light-reflective disk from one side of a normal line, and reflected light from the surface to be inspected is received at a side opposite to the normal line. In addition to obtaining a grayscale image of the surface to be inspected, the transmitted light from the disk is received on the side of the disk opposite to the surface to be inspected, and the transmitted light detects defects in holes and light-transmitting parts, and the grayscale image is imaged. A disk inspection method, comprising: detecting a noise image of a defect by image recognition to detect a defect on a surface to be inspected;
【請求項2】 被検査面に正規のパターンがある場合、
濃淡画像を画像処理して正規のパターンを画像認識する
ことにより欠陥と区別する請求項1に記載のディスクの
検査方法。
2. When there is a regular pattern on the surface to be inspected,
The disk inspection method according to claim 1, wherein the gray image is subjected to image processing to recognize a regular pattern, thereby discriminating the image from a defect.
【請求項3】 光反射性のディスクの被検査面に法線の
一方の側から照明光を照射するのに併せ、前記法線の反
対の側で前記被検査面からの反射光を受光して被検査面
の濃淡画像を得、この濃淡画像を画像処理して画像認識
した正規のパターンの近傍を含むパターン近傍域を設定
し、パターン近傍域の内側では画像認識した正規のパタ
ーンを欠陥から除いて、外側ではそのような操作なし
に、欠陥のノイズ画像を画像認識により検出する操作を
行うディスクの検査方法。
3. A method of irradiating illumination light on a surface to be inspected of a light-reflective disk from one side of a normal line, and receiving reflected light from the surface to be inspected on a side opposite to the normal line. A shaded image of the surface to be inspected is obtained, and the shaded image is subjected to image processing to set a pattern neighborhood including a neighborhood of a recognized regular image. Except for a disc inspection method in which an operation for detecting a noise image of a defect by image recognition is performed without such an operation outside.
【請求項4】 ディスクの被検査面と反対の面の側でデ
ィスクからの透過光を受光し、透過光によって孔や透光
部の欠陥を検出する請求項3に記載のディスクの検査方
法。
4. The disk inspection method according to claim 3, wherein the transmitted light from the disk is received on the side of the disk opposite to the surface to be inspected, and holes or light transmitting portions are detected by the transmitted light.
【請求項5】 光反射性のディスクの被検査面を法線の
一方側から照明する照明器と、被検査面の前記法線の反
対の側で前記被検査面からの反射光を受光する第1の受
光器と、ディスクの被検査面と反対の面の側でディスク
からの透過光を受光する第2の受光器と、第1の受光器
からの濃淡画像データを画像処理して画像認識した認識
データと、第2の受光器が受光する透過光データとによ
ってディスクの欠陥を検出する画像処理器とを備えたこ
とを特徴とするディスクの検査装置。
5. An illuminator for illuminating a surface to be inspected of a light-reflective disk from one side of a normal line, and receiving reflected light from the surface to be inspected on a side opposite to the normal line to the surface to be inspected. A first light receiving device, a second light receiving device for receiving the transmitted light from the disk on the side opposite to the surface to be inspected of the disk, and an image obtained by performing image processing on the gray image data from the first light receiving device An apparatus for inspecting a disk, comprising: an image processor for detecting a defect of the disk based on the recognized data and the transmitted light data received by the second light receiver.
【請求項6】 照明器は照明光量を調節する光量調節部
を備えている請求項5に記載のディスクの検査装置。
6. The disk inspection apparatus according to claim 5, wherein the illuminator includes a light amount adjusting unit for adjusting an illumination light amount.
JP11673998A 1998-04-27 1998-04-27 How to inspect a disk Expired - Fee Related JP3487760B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11673998A JP3487760B2 (en) 1998-04-27 1998-04-27 How to inspect a disk

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11673998A JP3487760B2 (en) 1998-04-27 1998-04-27 How to inspect a disk

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11304722A true JPH11304722A (en) 1999-11-05
JP3487760B2 JP3487760B2 (en) 2004-01-19

Family

ID=14694598

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11673998A Expired - Fee Related JP3487760B2 (en) 1998-04-27 1998-04-27 How to inspect a disk

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3487760B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100359530B1 (en) * 1999-11-04 2002-11-04 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 Method for defect marking and analysis of thin film hard disks

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100359530B1 (en) * 1999-11-04 2002-11-04 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 Method for defect marking and analysis of thin film hard disks

Also Published As

Publication number Publication date
JP3487760B2 (en) 2004-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW439165B (en) A pixel based machine for patterned wafers
JPH01313741A (en) Method and device for inspecting surface of disk
US8781758B2 (en) Optical inspection method and its apparatus
US20100246356A1 (en) Disk surface defect inspection method and apparatus
US20080088830A1 (en) Optical system of detecting peripheral surface defect of glass disk and device of detecting peripheral surface defect thereof
EP1679504A1 (en) Appearance inspector
US5917933A (en) Method and device for carrying out the quality control of an object
JPH07130107A (en) Optical disk inspection method
JP3487760B2 (en) How to inspect a disk
JP3481864B2 (en) Magnetic disk defect inspection method and magnetic disk defect inspection device
JPH10253547A (en) Visual inspection system for board
JPH11515108A (en) Double-sided optical disk surface inspection device
JPH08306082A (en) Defect detecting device of optical disk
EP0865605B1 (en) Device and process for inspecting a surface of a glass master
JPH10253543A (en) Instrument and method for visual examination of substrate
JP3349494B2 (en) Inspection method and inspection device for disk-shaped body
JPH1139651A (en) Hard disk surface inspecting device
JP3326276B2 (en) Method for inspecting protective coating film of optical disk and inspection apparatus using the same
JP3216669B2 (en) Optical disk defect inspection method
JPS63284455A (en) Surface defect inspection device
JPH02264848A (en) Inspection of optical disk recording medium
JP2003344304A (en) Equipment and method for visual inspection
JPH10143801A (en) Optical test method of magnetic disk
JPH1123486A (en) Defect inspecting device and method therefor
JPH0618439A (en) Inspection unit

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071031

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 5

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081031

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091031

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091031

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101031

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees