JP3484888B2 - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
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- JP3484888B2 JP3484888B2 JP20401096A JP20401096A JP3484888B2 JP 3484888 B2 JP3484888 B2 JP 3484888B2 JP 20401096 A JP20401096 A JP 20401096A JP 20401096 A JP20401096 A JP 20401096A JP 3484888 B2 JP3484888 B2 JP 3484888B2
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- ink jet
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体にインク
滴を吐出して記録画像を形成するインクジェット式記録
ヘッドに関し、詳細には振動子および振動板を固定する
ヘッドフレームの構造に関する。
滴を吐出して記録画像を形成するインクジェット式記録
ヘッドに関し、詳細には振動子および振動板を固定する
ヘッドフレームの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ノズルと連通する圧力発生室の壁
面に振動板を積層し、この振動板を圧電振動子により加
圧することによりインク滴を吐出し記録媒体に記録する
インクジェット式記録ヘッドとしては、特開平５−２１
２８６０号公報に提案されている。この公報の記録ヘッ
ドはノズルを有するノズル基板と、圧力発生室とリザー
バとインク流路が形成されたスペーサ部材と、振動板と
をサンドイッチ状に積層し、ヘッドフレームに位置決め
された圧電振動子によって振動板を変形させ圧力発生室
内のインク圧力を高めて、ノズルからインク滴を吐出さ
せている。この記録ヘッドを構成するヘッドフレーム
は、圧電振動子の位置決めと接着固定および圧電振動子
の自由端と連結している振動板の枠部を接着固定してい
る。
面に振動板を積層し、この振動板を圧電振動子により加
圧することによりインク滴を吐出し記録媒体に記録する
インクジェット式記録ヘッドとしては、特開平５−２１
２８６０号公報に提案されている。この公報の記録ヘッ
ドはノズルを有するノズル基板と、圧力発生室とリザー
バとインク流路が形成されたスペーサ部材と、振動板と
をサンドイッチ状に積層し、ヘッドフレームに位置決め
された圧電振動子によって振動板を変形させ圧力発生室
内のインク圧力を高めて、ノズルからインク滴を吐出さ
せている。この記録ヘッドを構成するヘッドフレーム
は、圧電振動子の位置決めと接着固定および圧電振動子
の自由端と連結している振動板の枠部を接着固定してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年インクジ
ェット式記録ヘッドは、高速印字、高精細をねらって多
ノズル化を進めている。多ノズル化を進めることにより
１列の圧電振動子の数は増加し、圧電振動子を固定する
へッドフレームは長くなる。従来の技術によるインクジ
ェット式記録ヘッドは、ヘッドフレームに振動板枠部が
接着固定されいるため、圧電振動子が変位することで振
動板を介してへッドフレームに力が作用する構成であ
る。そのため多ノズル化の要求に従い、単に延長大型化
された従来技術のヘッドフレームに圧電振動子の力がノ
ズル基板とペーサ部材と、振動板とをサンドイッチ状に
積層した部材を介して作用した場合、ヘッドフレームは
振動子の変位に合わせ大きくたわみ変形することにな
る。ヘッドフレームのたわみ変形の影響がインク滴吐出
時の圧力発生室に変形量の変化を引き起こすため、イン
ク滴の吐出量や吐出速度は低下する。またヘッドフレ−
ムは両端支持状の梁形状となっているため、ヘッドフレ
−ムの変形量は中央部ほど大きく両端部に近づくほど小
さくなる。そのため、ノズル列内のノズルの位置によっ
てインク滴の吐出量や吐出速度がア−チ状に変動し、印
字品質は悪化する。
ェット式記録ヘッドは、高速印字、高精細をねらって多
ノズル化を進めている。多ノズル化を進めることにより
１列の圧電振動子の数は増加し、圧電振動子を固定する
へッドフレームは長くなる。従来の技術によるインクジ
ェット式記録ヘッドは、ヘッドフレームに振動板枠部が
接着固定されいるため、圧電振動子が変位することで振
動板を介してへッドフレームに力が作用する構成であ
る。そのため多ノズル化の要求に従い、単に延長大型化
された従来技術のヘッドフレームに圧電振動子の力がノ
ズル基板とペーサ部材と、振動板とをサンドイッチ状に
積層した部材を介して作用した場合、ヘッドフレームは
振動子の変位に合わせ大きくたわみ変形することにな
る。ヘッドフレームのたわみ変形の影響がインク滴吐出
時の圧力発生室に変形量の変化を引き起こすため、イン
ク滴の吐出量や吐出速度は低下する。またヘッドフレ−
ムは両端支持状の梁形状となっているため、ヘッドフレ
−ムの変形量は中央部ほど大きく両端部に近づくほど小
さくなる。そのため、ノズル列内のノズルの位置によっ
てインク滴の吐出量や吐出速度がア−チ状に変動し、印
字品質は悪化する。
【０００４】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、多ノズル化されて
も同一ノズル列内から吐出されるインク滴の速度や体積
が均一で、むらの無い画像を記録できるインクジェット
式記録ヘッドを提供することである。
るもので、その目的とするところは、多ノズル化されて
も同一ノズル列内から吐出されるインク滴の速度や体積
が均一で、むらの無い画像を記録できるインクジェット
式記録ヘッドを提供することである。
【０００５】また、本発明の他の目的は、複数のノズル
列を有したヘッドにおいて、そのノズル列が狭い間隔で
列設されていて、多ノズルであってもヘッドの走査方向
には小型化が実現できるインクジェット式記録ヘッドを
提供することである。
列を有したヘッドにおいて、そのノズル列が狭い間隔で
列設されていて、多ノズルであってもヘッドの走査方向
には小型化が実現できるインクジェット式記録ヘッドを
提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
式記録ヘッドは、複数のノズル開口が列設されたノズル
プレートと、前記複数のノズル開口にそれぞれに対応し
た複数の圧力発生室と、前記圧力発生室の一側面を形成
する振動板と、前記複数の圧力発生室のそれぞれに圧力
変化を与える複数の振動子と、前記振動子の自由端が前
記振動板に、前記振動子の固定端が制振板に、それぞれ
固定され、前記制振板及び前記振動板がヘッドフレーム
に保持されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前
記ヘッドフレームには前記ヘッドフレームと異なる材質
からなる補強材を一体的に備え、前記補強材は、前記制
振板が固定されたヘッドフレームと対向するヘッドフレ
ーム内に、前記振動板にほぼ垂直な方向で、かつ前記複
数のノズル開口の列設方向に沿って伸びるように配設さ
れ、更に前記ノズル開口の列設方向の端部で前記ノズル
開口の列設方向に対し垂直方向に張り出した部分を備え
たことを特徴とする。
式記録ヘッドは、複数のノズル開口が列設されたノズル
プレートと、前記複数のノズル開口にそれぞれに対応し
た複数の圧力発生室と、前記圧力発生室の一側面を形成
する振動板と、前記複数の圧力発生室のそれぞれに圧力
変化を与える複数の振動子と、前記振動子の自由端が前
記振動板に、前記振動子の固定端が制振板に、それぞれ
固定され、前記制振板及び前記振動板がヘッドフレーム
に保持されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前
記ヘッドフレームには前記ヘッドフレームと異なる材質
からなる補強材を一体的に備え、前記補強材は、前記制
振板が固定されたヘッドフレームと対向するヘッドフレ
ーム内に、前記振動板にほぼ垂直な方向で、かつ前記複
数のノズル開口の列設方向に沿って伸びるように配設さ
れ、更に前記ノズル開口の列設方向の端部で前記ノズル
開口の列設方向に対し垂直方向に張り出した部分を備え
たことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面を参
照し詳細に説明する。
照し詳細に説明する。
【０００８】図１は本発明の第１の実施例であり、イン
クジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。図２はそ
れをＹＺ平面で切りとったインクジェット式記録ヘッド
の断面図であり、図３はＸＹ平面で切りとったインクジ
ェット式記録ヘッドのヘッドフレーム（４）のみの断面
図である。（６）は振動子であり、制振板（７）の上に
櫛歯状に列設されている。振動子（６）は、制振板
（７）に接着された部分を固定端とし、他端を自由端と
する縦振動モ−ドのアクチュエ−タである。また振動子
（６）は、共通電極層とセグメント電極層を圧電材料層
を介して交互に積層した積層型のアクチュエ−タであ
る。振動子（６）から取り出された共通電極とセグメン
ト電極は、リード板（８）を経て図示しない駆動回路に
電気的に接続されている。振動子は、駆動回路からの電
気信号を受けて振動子長手方向に圧縮、伸長するように
なっている。振動子（６）の自由端は振動板（３）の上
に形成された島状突起部（３ｂ）と接着剤により固定さ
れている。制振板（７）は、振動子（６）の接着面と反
対の面とそれに直行する振動子（６）自由端側の面がヘ
ッドフレ−ム（４）の内壁に接着されている。（１ａ）
はノズル開口であり、ノズルプレ−ト（１）に２列に列
設されている。（２）はスペ−サであり、リザ−バ（２
ａ）と圧力発生室（２ｂ）と供給口（２ｃ）となる溝お
よび貫通穴が形成されている。（３）は振動板であり、
樹脂フィルムと金属箔とからなる２層構造である。振動
板（３）の金属箔は、圧力発生室（２ｂ）と１対１に対
応した島状突起部（３ｂ）となっている。流路ユニット
（５）はノズルプレ−ト（１）とスペ−サ（２）と振動
板（３）を積層接着した構成である。流路ユニット
（５）は、島上突起部（３ｂ）と振動子（６）の自由端
が一致し、さらに供給管（４ｂ）と供給口（３ａ）が一
致するように位置決めされてヘッドフレ−ムと強固に接
着されている。インクは、図示しないインクカ−トリッ
ジから供給管（４ｂ）、供給口（３ａ）、リザ−バ（２
ａ）、供給口（２ｃ）を経て圧力発生室（２ｂ）に供給
されるようになっている。振動子（６）に電荷が充電さ
れると圧電素子（６）は収縮し、圧力発生室（２ｂ）の
体積は拡大する。逆に、振動子（６）の電荷が放電され
ると圧電素子（６）は伸長し、圧力発生室（２ｂ）の体
積は縮小する。インク滴は、例えば振動子（６）にゆっ
くり電荷を充電し圧力発生室（２ｂ）を拡大させた後
に、振動子（６）の電荷を急激に放電することで圧力発
生室（２ｂ）の体積を急速に縮小させる動作で吐出させ
ることができる。
クジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。図２はそ
れをＹＺ平面で切りとったインクジェット式記録ヘッド
の断面図であり、図３はＸＹ平面で切りとったインクジ
ェット式記録ヘッドのヘッドフレーム（４）のみの断面
図である。（６）は振動子であり、制振板（７）の上に
櫛歯状に列設されている。振動子（６）は、制振板
（７）に接着された部分を固定端とし、他端を自由端と
する縦振動モ−ドのアクチュエ−タである。また振動子
（６）は、共通電極層とセグメント電極層を圧電材料層
を介して交互に積層した積層型のアクチュエ−タであ
る。振動子（６）から取り出された共通電極とセグメン
ト電極は、リード板（８）を経て図示しない駆動回路に
電気的に接続されている。振動子は、駆動回路からの電
気信号を受けて振動子長手方向に圧縮、伸長するように
なっている。振動子（６）の自由端は振動板（３）の上
に形成された島状突起部（３ｂ）と接着剤により固定さ
れている。制振板（７）は、振動子（６）の接着面と反
対の面とそれに直行する振動子（６）自由端側の面がヘ
ッドフレ−ム（４）の内壁に接着されている。（１ａ）
はノズル開口であり、ノズルプレ−ト（１）に２列に列
設されている。（２）はスペ−サであり、リザ−バ（２
ａ）と圧力発生室（２ｂ）と供給口（２ｃ）となる溝お
よび貫通穴が形成されている。（３）は振動板であり、
樹脂フィルムと金属箔とからなる２層構造である。振動
板（３）の金属箔は、圧力発生室（２ｂ）と１対１に対
応した島状突起部（３ｂ）となっている。流路ユニット
（５）はノズルプレ−ト（１）とスペ−サ（２）と振動
板（３）を積層接着した構成である。流路ユニット
（５）は、島上突起部（３ｂ）と振動子（６）の自由端
が一致し、さらに供給管（４ｂ）と供給口（３ａ）が一
致するように位置決めされてヘッドフレ−ムと強固に接
着されている。インクは、図示しないインクカ−トリッ
ジから供給管（４ｂ）、供給口（３ａ）、リザ−バ（２
ａ）、供給口（２ｃ）を経て圧力発生室（２ｂ）に供給
されるようになっている。振動子（６）に電荷が充電さ
れると圧電素子（６）は収縮し、圧力発生室（２ｂ）の
体積は拡大する。逆に、振動子（６）の電荷が放電され
ると圧電素子（６）は伸長し、圧力発生室（２ｂ）の体
積は縮小する。インク滴は、例えば振動子（６）にゆっ
くり電荷を充電し圧力発生室（２ｂ）を拡大させた後
に、振動子（６）の電荷を急激に放電することで圧力発
生室（２ｂ）の体積を急速に縮小させる動作で吐出させ
ることができる。
【０００９】本実施例のインクジェット式記録ヘッド
は、２列のノズル列（１３）、（１４）を有する構成で
ある。（１０）、（１１）、（１２）はノズル列（１
３）、（１４）と平行に位置するヘッドフレ−ム（４）
のフレ−ムである。フレ−ム（１０）、（１１）の間に
ノズル列（１３）が配置されている。また、フレ−ム
（１１）、（１２）の間にノズル列（１４）が配置され
ている。ノズル列（１３）に対応する制振板（７）はフ
レ−ム（１０）に接着固定されている。また、ノズル列
（１４）に対応する制振板（７）はフレ−ム（１２）に
接着固定されている。フレ−ム（１１）には制振板
（７）と振動子（６）の固定部は接着されていない。フ
レ−ム（１０）、（１１）、（１２）は、ノズル列（１
３）、（１４）に直行するフレ−ム（１５）により相互
に連結されている。フレ−ム（１１）には金属プレート
からなる補強材（１６）がインサート成形によって埋め
込まれている。へッドフレーム（４）は樹脂を使用して
成型されている。補強材（１６）は、フレーム（１１）
を通り、ノズル列（１３）、（１４）の各々両端部のフ
レーム（１０）、（１１）、（１２）に直交するフレー
ム（１５）に張り出す形状である。
は、２列のノズル列（１３）、（１４）を有する構成で
ある。（１０）、（１１）、（１２）はノズル列（１
３）、（１４）と平行に位置するヘッドフレ−ム（４）
のフレ−ムである。フレ−ム（１０）、（１１）の間に
ノズル列（１３）が配置されている。また、フレ−ム
（１１）、（１２）の間にノズル列（１４）が配置され
ている。ノズル列（１３）に対応する制振板（７）はフ
レ−ム（１０）に接着固定されている。また、ノズル列
（１４）に対応する制振板（７）はフレ−ム（１２）に
接着固定されている。フレ−ム（１１）には制振板
（７）と振動子（６）の固定部は接着されていない。フ
レ−ム（１０）、（１１）、（１２）は、ノズル列（１
３）、（１４）に直行するフレ−ム（１５）により相互
に連結されている。フレ−ム（１１）には金属プレート
からなる補強材（１６）がインサート成形によって埋め
込まれている。へッドフレーム（４）は樹脂を使用して
成型されている。補強材（１６）は、フレーム（１１）
を通り、ノズル列（１３）、（１４）の各々両端部のフ
レーム（１０）、（１１）、（１２）に直交するフレー
ム（１５）に張り出す形状である。
【００１０】へッドフレーム（４）はノズル数や使用条
件に合わせて、高いヤング率を有する熱硬化性樹脂を使
用して成型されている。ヘッドフレーム（４）に金属プ
レートからなる補強材（１６）をフレーム（１１）と一
体的にインサート成形することにより、フレーム（１
１）の幅を厚くすることなく剛性を上げることができ
る。この補強材（１６）はノズル列と平行に且つへッド
フレームの一端から他端にわたって連続的に配置されて
いるため高い剛性を有している。また、フレーム（１
５）にフレーム（１１）の補強板が張り出していること
によりフレーム（１０）と（１１）およびフレーム（１
２）と（１１）の間のフレーム（１５）は高い剛性を有
している。これにより振動子（６）の変位時にフレーム
（１１）が振動子（６）の変位方向に変形する量が極め
て小さくなり、振動子（６）の変位が損なわれることな
く振動板（３）に伝わることになる。その結果、圧力発
生室（２ａ）に目標の圧力変化を与えることができ必要
なインク滴の吐出量と吐出速度が確保できる。例えばヘ
ッドフレームに使われている樹脂のヤング率は１８ＧＰ
ａ程度であるのに対し、ＳＵＳ４３０のヤング率は２１
０ＧＰａと１０倍以上剛性が高い。一般に梁の変形量は
梁の厚さの３乗に反比例するため、補強材（１６）は極
めて幅の薄い金属プレートでも振動板（３）と垂直方向
に長くすることにより高い効果を上げることができる。
図１に示す（Ｔ１）が梁の厚さに相当する。さらに補強
材（１６）を振動子変位方向に延長し、直接振動板
（３）に接着固定することで、より高い剛性を得ること
も可能である。補強材（１６）はインサート成形により
一体成形されるため、製作工数の増加が少なく、制振板
（７）や振動板（３）との接着性や成形性、コストなど
を加味した成形材を選ぶことが可能である。この補強材
（１６）は金属プレートだけでなく高剛性なセラミック
製のものであっても同様な効果を得ることができる。ま
た補強板をセラミックヒータとし、ヘッドフレームの剛
性を上げるとともにインクを温度補正することにより低
温環境下でもインク粘度を一定に保ち、インク滴の吐出
特性を安定させることができる。精密部品であるヘッド
フレーム（４）は高度な寸法精度が要求されるため樹脂
の流れを妨げないよう補強材（１６）には流動改善のた
めの穴（１６ａ）が多数開けられている。そのため成形
時の樹脂の流れを邪魔せず樹脂圧力の偏りをなくし必要
寸法精度を維持する。また温度変化によるヘッドフレー
ム（４）と補強材（１６）のはがれが発生しないよう熱
膨張係数が似たものである樹脂と補強材（１６）を選定
する必要がある。また、補強材（１６）は、プラスチッ
ク成形金型に組み込むため、フレーム（４）よりはみ出
た構成になっている。
件に合わせて、高いヤング率を有する熱硬化性樹脂を使
用して成型されている。ヘッドフレーム（４）に金属プ
レートからなる補強材（１６）をフレーム（１１）と一
体的にインサート成形することにより、フレーム（１
１）の幅を厚くすることなく剛性を上げることができ
る。この補強材（１６）はノズル列と平行に且つへッド
フレームの一端から他端にわたって連続的に配置されて
いるため高い剛性を有している。また、フレーム（１
５）にフレーム（１１）の補強板が張り出していること
によりフレーム（１０）と（１１）およびフレーム（１
２）と（１１）の間のフレーム（１５）は高い剛性を有
している。これにより振動子（６）の変位時にフレーム
（１１）が振動子（６）の変位方向に変形する量が極め
て小さくなり、振動子（６）の変位が損なわれることな
く振動板（３）に伝わることになる。その結果、圧力発
生室（２ａ）に目標の圧力変化を与えることができ必要
なインク滴の吐出量と吐出速度が確保できる。例えばヘ
ッドフレームに使われている樹脂のヤング率は１８ＧＰ
ａ程度であるのに対し、ＳＵＳ４３０のヤング率は２１
０ＧＰａと１０倍以上剛性が高い。一般に梁の変形量は
梁の厚さの３乗に反比例するため、補強材（１６）は極
めて幅の薄い金属プレートでも振動板（３）と垂直方向
に長くすることにより高い効果を上げることができる。
図１に示す（Ｔ１）が梁の厚さに相当する。さらに補強
材（１６）を振動子変位方向に延長し、直接振動板
（３）に接着固定することで、より高い剛性を得ること
も可能である。補強材（１６）はインサート成形により
一体成形されるため、製作工数の増加が少なく、制振板
（７）や振動板（３）との接着性や成形性、コストなど
を加味した成形材を選ぶことが可能である。この補強材
（１６）は金属プレートだけでなく高剛性なセラミック
製のものであっても同様な効果を得ることができる。ま
た補強板をセラミックヒータとし、ヘッドフレームの剛
性を上げるとともにインクを温度補正することにより低
温環境下でもインク粘度を一定に保ち、インク滴の吐出
特性を安定させることができる。精密部品であるヘッド
フレーム（４）は高度な寸法精度が要求されるため樹脂
の流れを妨げないよう補強材（１６）には流動改善のた
めの穴（１６ａ）が多数開けられている。そのため成形
時の樹脂の流れを邪魔せず樹脂圧力の偏りをなくし必要
寸法精度を維持する。また温度変化によるヘッドフレー
ム（４）と補強材（１６）のはがれが発生しないよう熱
膨張係数が似たものである樹脂と補強材（１６）を選定
する必要がある。また、補強材（１６）は、プラスチッ
ク成形金型に組み込むため、フレーム（４）よりはみ出
た構成になっている。
【００１１】次に、本実施例のインクジェット式記録ヘ
ッドを用いてインク滴を吐出する動作において、ヘッド
フレ−ム（４）に作用する力とヘッドフレ−ム（４）の
変形の影響について詳細に説明する。インク滴の吐出動
作は、振動子（６）に電圧を印加することにより振動板
（３）を変形させ圧力発生室（２ｂ）に体積変化を発生
させることにより行なう。ここで、振動板（３）の剛性
が柔らかすぎると、振動子（６）を変位させたときに圧
力発生室（２ｂ）の圧力を振動板が吸収してしまい、イ
ンク滴を吐出する為の有効な圧力が得られなくなる。そ
こで、インク滴を吐出するための有効な圧力を得るた
め、振動板（３）は適度な剛性に設定されている。振動
子（６）が伸長してインク滴を吐出する過程において、
２つの力がフレ−ム（４）に作用する。第１の力は、圧
力発生室（２ｂ）の内部のインクが正圧となり流路ユニ
ット（５）を押し上げようとする力である。第２の力
は、振動子（６）の伸長変形が振動板（３）を介して直
接流路ユニット（５）を引き下げようとする力である。
第１、第２の力により力が加えられた流路ユニット
（５）はノズル列（１３）、（１４）と平行なフレ−ム
（１０）、（１１）、（１２）とそれに直交するフレー
ム（１５）により支えられている。フレ−ム（１０）、
（１１）、（１２）は、フレ−ム（１５）との結合部を
固定端とする両端固定の梁形状とみなすことができる。
本実施例のインクジェット式記録ヘッドはフレーム（１
１）に挿入してある補強材（１６）がフレーム（１５）
にまで張り出している形状のため、フレーム（１５）が
樹脂のみである場合より強い固定端となり、流路ユニッ
ト（５）からの力が作用してもフレ−ム（１０）、（１
１）、（１２）にたわみ変形が発生せず、またフレ−ム
（１０）と（１１）の間のフレーム（１５）、フレーム
（１２）と（１１）の間のフレ−ム（１５）の結合部を
支点としたたわみ変形が発生しない。また、本実施例の
インクジェット式記録ヘッドは、一つのノズル列（１
３）を挟むように平行した２列のフレ−ム（１０）、
（１１）が設けられていて、フレ−ム（１０）に制振板
（７）が固定されている構成である。このような構成で
は、ノズル列（１３）からインク滴の吐出する時に作用
する第１、第２の力がフレ−ム（１０）、（１１）に作
用する。しかし、フレ−ム（１０）に作用した力は、フ
レ−ム（１０）に固定されている制振板（７）を介して
振動子に至る力の釣り合いのル−プにより支持されてい
る。したがって、フレ−ム（１０）はたわみ変形しな
い。フレ−ム（１１）に作用した力は、フレ−ム（１
５）との結合部からフレ−ム（１０）の制振板（７）と
の固定部を経て振動子に至る力のル−プにより支持され
ている。したがって、フレ−ム（１１）に作用した力
は、フレ−ム（１１）をたわみ変形させようとする。ま
たフレーム（１０）、（１１）間のフレーム（１５）も
たわみ変形させようとする。もう一方のノズル列（１
４）からインク滴の吐出する場合も同様にフレ−ム（１
２）に制振板（７）が固定されているため、フレ−ム
（１２）にはたわみ変形する力が作用しない。しかし、
フレ−ム（１１）には制振板（７）が固定されていない
ため、フレ−ム（１１）が受けた力はフレ−ム（１１）
の固定部であるフレ−ム（１５）との結合部を経由して
支持することになる。したがって、フレ−ム（１１）に
作用したノズル列（１４）を吐出させる力はフレ−ム
（１１）をたわみ変形させようとし、フレーム（１
２）、（１１）間のフレーム（１５）もたわみ変形させ
ようとする。本実施例のインクジェット式記録ヘッド
は、特にフレ−ム（１１）に一体的に補強材（１６）を
備え、かつフレーム（１１）に直交する方向にも補強材
（１６）が張り出ているため、フレーム（４）の材質が
樹脂であってもたわみ変形することがない。
ッドを用いてインク滴を吐出する動作において、ヘッド
フレ−ム（４）に作用する力とヘッドフレ−ム（４）の
変形の影響について詳細に説明する。インク滴の吐出動
作は、振動子（６）に電圧を印加することにより振動板
（３）を変形させ圧力発生室（２ｂ）に体積変化を発生
させることにより行なう。ここで、振動板（３）の剛性
が柔らかすぎると、振動子（６）を変位させたときに圧
力発生室（２ｂ）の圧力を振動板が吸収してしまい、イ
ンク滴を吐出する為の有効な圧力が得られなくなる。そ
こで、インク滴を吐出するための有効な圧力を得るた
め、振動板（３）は適度な剛性に設定されている。振動
子（６）が伸長してインク滴を吐出する過程において、
２つの力がフレ−ム（４）に作用する。第１の力は、圧
力発生室（２ｂ）の内部のインクが正圧となり流路ユニ
ット（５）を押し上げようとする力である。第２の力
は、振動子（６）の伸長変形が振動板（３）を介して直
接流路ユニット（５）を引き下げようとする力である。
第１、第２の力により力が加えられた流路ユニット
（５）はノズル列（１３）、（１４）と平行なフレ−ム
（１０）、（１１）、（１２）とそれに直交するフレー
ム（１５）により支えられている。フレ−ム（１０）、
（１１）、（１２）は、フレ−ム（１５）との結合部を
固定端とする両端固定の梁形状とみなすことができる。
本実施例のインクジェット式記録ヘッドはフレーム（１
１）に挿入してある補強材（１６）がフレーム（１５）
にまで張り出している形状のため、フレーム（１５）が
樹脂のみである場合より強い固定端となり、流路ユニッ
ト（５）からの力が作用してもフレ−ム（１０）、（１
１）、（１２）にたわみ変形が発生せず、またフレ−ム
（１０）と（１１）の間のフレーム（１５）、フレーム
（１２）と（１１）の間のフレ−ム（１５）の結合部を
支点としたたわみ変形が発生しない。また、本実施例の
インクジェット式記録ヘッドは、一つのノズル列（１
３）を挟むように平行した２列のフレ−ム（１０）、
（１１）が設けられていて、フレ−ム（１０）に制振板
（７）が固定されている構成である。このような構成で
は、ノズル列（１３）からインク滴の吐出する時に作用
する第１、第２の力がフレ−ム（１０）、（１１）に作
用する。しかし、フレ−ム（１０）に作用した力は、フ
レ−ム（１０）に固定されている制振板（７）を介して
振動子に至る力の釣り合いのル−プにより支持されてい
る。したがって、フレ−ム（１０）はたわみ変形しな
い。フレ−ム（１１）に作用した力は、フレ−ム（１
５）との結合部からフレ−ム（１０）の制振板（７）と
の固定部を経て振動子に至る力のル−プにより支持され
ている。したがって、フレ−ム（１１）に作用した力
は、フレ−ム（１１）をたわみ変形させようとする。ま
たフレーム（１０）、（１１）間のフレーム（１５）も
たわみ変形させようとする。もう一方のノズル列（１
４）からインク滴の吐出する場合も同様にフレ−ム（１
２）に制振板（７）が固定されているため、フレ−ム
（１２）にはたわみ変形する力が作用しない。しかし、
フレ−ム（１１）には制振板（７）が固定されていない
ため、フレ−ム（１１）が受けた力はフレ−ム（１１）
の固定部であるフレ−ム（１５）との結合部を経由して
支持することになる。したがって、フレ−ム（１１）に
作用したノズル列（１４）を吐出させる力はフレ−ム
（１１）をたわみ変形させようとし、フレーム（１
２）、（１１）間のフレーム（１５）もたわみ変形させ
ようとする。本実施例のインクジェット式記録ヘッド
は、特にフレ−ム（１１）に一体的に補強材（１６）を
備え、かつフレーム（１１）に直交する方向にも補強材
（１６）が張り出ているため、フレーム（４）の材質が
樹脂であってもたわみ変形することがない。
【００１２】多ノズル化により振動子（６、６、６・・
・）が増えるとへッドフレーム（４）の寸法（Ｌ１）は
長くなり、振動子（６）が伸縮、伸長するとフレ−ム
（１１）の変形が起きやすくなる。ヘッドフレーム
（４）の寸法（Ｌ１）が長くなると、フレーム（１１）
に直交し、固定端となるフレーム（１５）に加わる荷重
が増大し、本来固定端であって欲しいフレーム（１５）
がさらに変形しやすくなる。その結果、フレーム（１
１）が補強されていてもフレーム（１１）とフレーム
（１５）の結合部を支点としてたわみ変形が起こる。そ
の結果、圧力発生室（２ｂ）の体積変化量は流路ユニッ
ト（５）の変形量分だけ減少することになる。そのため
インクの吐出量の減少や吐出速度の低下が発生する。本
実施例のインクジェット式記録ヘッドはノズル数の大小
にかかわりなくフレーム（１１）に直交し、固定端とな
るフレーム（１５）に補強材（１６）を一体的に備えて
いるのでフレーム（１５）のたわみ変形の影響でインク
滴の吐出速度の低下や、印字品質の劣化がない構造にな
っている。
・）が増えるとへッドフレーム（４）の寸法（Ｌ１）は
長くなり、振動子（６）が伸縮、伸長するとフレ−ム
（１１）の変形が起きやすくなる。ヘッドフレーム
（４）の寸法（Ｌ１）が長くなると、フレーム（１１）
に直交し、固定端となるフレーム（１５）に加わる荷重
が増大し、本来固定端であって欲しいフレーム（１５）
がさらに変形しやすくなる。その結果、フレーム（１
１）が補強されていてもフレーム（１１）とフレーム
（１５）の結合部を支点としてたわみ変形が起こる。そ
の結果、圧力発生室（２ｂ）の体積変化量は流路ユニッ
ト（５）の変形量分だけ減少することになる。そのため
インクの吐出量の減少や吐出速度の低下が発生する。本
実施例のインクジェット式記録ヘッドはノズル数の大小
にかかわりなくフレーム（１１）に直交し、固定端とな
るフレーム（１５）に補強材（１６）を一体的に備えて
いるのでフレーム（１５）のたわみ変形の影響でインク
滴の吐出速度の低下や、印字品質の劣化がない構造にな
っている。
【００１３】図４は、本発明の第２の実施例のインクジ
ェット式記録ヘッドのヘッドフレ−ムのみを取り出して
表したＸＹ断面図である。第２の実施例は第１の実施例
に対してフレ−ム（２１）、（２２）、（２３）の各フ
レームにそって補強材（２４）が一体的に備えられてい
る構成の実施例である。一体的に備えられている補強材
（２４）は振動子（６）（図示せず）の変位によるたわ
み変形に対してフレーム（２１）、（２３）とフレーム
（２５）の結合部が完全な固定端となるように作用する
ため、フレーム（２２）、（２５）のたわみ変形を更に
減少できる。
ェット式記録ヘッドのヘッドフレ−ムのみを取り出して
表したＸＹ断面図である。第２の実施例は第１の実施例
に対してフレ−ム（２１）、（２２）、（２３）の各フ
レームにそって補強材（２４）が一体的に備えられてい
る構成の実施例である。一体的に備えられている補強材
（２４）は振動子（６）（図示せず）の変位によるたわ
み変形に対してフレーム（２１）、（２３）とフレーム
（２５）の結合部が完全な固定端となるように作用する
ため、フレーム（２２）、（２５）のたわみ変形を更に
減少できる。
【００１４】図５は、本発明の第３の実施例であるイン
クジェット式記録ヘッドのヘッドフレ−ムのみを取り出
して表した斜視図である。第３の実施例は第１の実施例
に対して、ノズル列の数を２列から３列にした実施例で
ある。ヘッドフレ−ム（３０）は、４列の平行なフレ−
ム（３１）、（３２）、（３３）、（３４）を有し、そ
れぞれのフレ−ム（３１）、（３２）、（３３）、（３
４）の端部は直行するフレ−ム（３５）、（３６）によ
り結合されている。フレ−ム（３１）とフレ−ム（３
２）の間に位置する制振板（７）はフレ−ム（３１）に
固定されている。フレ−ム（３２）とフレ−ム（３３）
の間に位置する制振板（７）はフレ−ム（３２）に固定
されている。フレ−ム（３３）とフレ−ム（３４）の間
に位置する制振板（７）はフレ−ム（３３）に固定され
ている。
クジェット式記録ヘッドのヘッドフレ−ムのみを取り出
して表した斜視図である。第３の実施例は第１の実施例
に対して、ノズル列の数を２列から３列にした実施例で
ある。ヘッドフレ−ム（３０）は、４列の平行なフレ−
ム（３１）、（３２）、（３３）、（３４）を有し、そ
れぞれのフレ−ム（３１）、（３２）、（３３）、（３
４）の端部は直行するフレ−ム（３５）、（３６）によ
り結合されている。フレ−ム（３１）とフレ−ム（３
２）の間に位置する制振板（７）はフレ−ム（３１）に
固定されている。フレ−ム（３２）とフレ−ム（３３）
の間に位置する制振板（７）はフレ−ム（３２）に固定
されている。フレ−ム（３３）とフレ−ム（３４）の間
に位置する制振板（７）はフレ−ム（３３）に固定され
ている。
【００１５】フレ−ム（３２）にインサートされている
補強材（３８ａ）はフレーム（３１）側にフレーム（３
７）に沿って張り出し部がある。フレ−ム（３３）にイ
ンサートされている補強材（３８ｂ）はフレーム（３
２）側にフレーム（３６）に沿って張り出し部がある。
フレ−ム（３４）にインサートされている補強材（３８
ｃ）はフレーム（３３）側にフレーム（３５）に沿って
張り出し部がある。フレ−ム（３１）とフレ−ム（３
２）に挟まれた位置の振動子（６）（図示せず）が振動
するとフレ−ム（３２）にはたわみ変形の力が作用し、
フレ−ム（３１）とフレ−ム（３２）の間のフレーム
（３７）にはフレーム（３１）との結合部を支点として
たわみ変形の力が作用し、フレ−ム（３１）にはたわみ
変形の力が作用しない。同様に、フレ−ム（３２）とフ
レ−ム（３３）に挟まれた位置の振動子（６）（図示せ
ず）が振動するとフレ−ム（３３）にはたわみ変形の力
が作用し、フレ−ム（３２）とフレ−ム（３３）の間の
フレーム（３６）にはフレーム（３２）との結合部を支
点としてたわみ変形の力が作用し、フレ−ム（３２）に
はたわみ変形の力が作用しない。同様に、フレ−ム（３
３）とフレ−ム（３４）に挟まれた位置の振動子（６）
（図示せず）が振動するとフレ−ム（３４）にはたわみ
変形の力が作用し、フレ−ム（３３）とフレ−ム（３
４）の間のフレーム（３５）にはフレーム（３３）との
結合部を支点としてたわみ変形の力が作用し、フレ−ム
（３３）にはたわみ変形の力が作用しない。したがっ
て、フレ−ム（３１）以外の３つのフレ−ム（３２）、
（３３）、（３４）には、たわみ変形する力が作用する
ため補強材（３６）の形状は、フレーム（３２）、（３
３）、（３４）、（３５）のたわみ変形を抑制するよう
にフレーム（３５）には、それぞれ制振板（７）が固定
されているフレームの方向に張り出した形状になってい
る。
補強材（３８ａ）はフレーム（３１）側にフレーム（３
７）に沿って張り出し部がある。フレ−ム（３３）にイ
ンサートされている補強材（３８ｂ）はフレーム（３
２）側にフレーム（３６）に沿って張り出し部がある。
フレ−ム（３４）にインサートされている補強材（３８
ｃ）はフレーム（３３）側にフレーム（３５）に沿って
張り出し部がある。フレ−ム（３１）とフレ−ム（３
２）に挟まれた位置の振動子（６）（図示せず）が振動
するとフレ−ム（３２）にはたわみ変形の力が作用し、
フレ−ム（３１）とフレ−ム（３２）の間のフレーム
（３７）にはフレーム（３１）との結合部を支点として
たわみ変形の力が作用し、フレ−ム（３１）にはたわみ
変形の力が作用しない。同様に、フレ−ム（３２）とフ
レ−ム（３３）に挟まれた位置の振動子（６）（図示せ
ず）が振動するとフレ−ム（３３）にはたわみ変形の力
が作用し、フレ−ム（３２）とフレ−ム（３３）の間の
フレーム（３６）にはフレーム（３２）との結合部を支
点としてたわみ変形の力が作用し、フレ−ム（３２）に
はたわみ変形の力が作用しない。同様に、フレ−ム（３
３）とフレ−ム（３４）に挟まれた位置の振動子（６）
（図示せず）が振動するとフレ−ム（３４）にはたわみ
変形の力が作用し、フレ−ム（３３）とフレ−ム（３
４）の間のフレーム（３５）にはフレーム（３３）との
結合部を支点としてたわみ変形の力が作用し、フレ−ム
（３３）にはたわみ変形の力が作用しない。したがっ
て、フレ−ム（３１）以外の３つのフレ−ム（３２）、
（３３）、（３４）には、たわみ変形する力が作用する
ため補強材（３６）の形状は、フレーム（３２）、（３
３）、（３４）、（３５）のたわみ変形を抑制するよう
にフレーム（３５）には、それぞれ制振板（７）が固定
されているフレームの方向に張り出した形状になってい
る。
【００１６】
【発明の効果】本発明のインクジェット式記録ヘッド
は、複数のノズル開口が列設されたノズルプレートと、
前記複数のノズル開口にそれぞれに対応した複数の圧力
発生室と、前記圧力発生室の一側面を形成する振動板
と、前記複数の圧力発生室のそれぞれに圧力変化を与え
る複数の振動子と、前記振動子の自由端が前記振動板
に、前記振動子の固定端が制振板に、それぞれ固定さ
れ、前記制振板及び前記振動板がヘッドフレームに保持
されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記ヘッ
ドフレームには前記ヘッドフレームと異なる材質からな
る補強材を一体的に備え、前記補強材は、前記制振板が
固定されたヘッドフレームと対向するヘッドフレーム内
に、前記振動板にほぼ垂直な方向で、かつ前記複数のノ
ズル開口の列設方向に沿って伸びるように配設され、更
に前記ノズル開口の列設方向の端部で前記ノズル開口の
列設方向に対し垂直方向に張り出した部分を備えてい
る。
は、複数のノズル開口が列設されたノズルプレートと、
前記複数のノズル開口にそれぞれに対応した複数の圧力
発生室と、前記圧力発生室の一側面を形成する振動板
と、前記複数の圧力発生室のそれぞれに圧力変化を与え
る複数の振動子と、前記振動子の自由端が前記振動板
に、前記振動子の固定端が制振板に、それぞれ固定さ
れ、前記制振板及び前記振動板がヘッドフレームに保持
されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記ヘッ
ドフレームには前記ヘッドフレームと異なる材質からな
る補強材を一体的に備え、前記補強材は、前記制振板が
固定されたヘッドフレームと対向するヘッドフレーム内
に、前記振動板にほぼ垂直な方向で、かつ前記複数のノ
ズル開口の列設方向に沿って伸びるように配設され、更
に前記ノズル開口の列設方向の端部で前記ノズル開口の
列設方向に対し垂直方向に張り出した部分を備えてい
る。
【００１７】そのため、多ノズル化されてもヘッドフレ
−ムのたわみ変形が発生することなく、同一ノズル列内
から吐出されるインク滴の速度や体積が均一で、むらの
無い画像を記録できるインクジェット式記録ヘッドを提
供することができる。
−ムのたわみ変形が発生することなく、同一ノズル列内
から吐出されるインク滴の速度や体積が均一で、むらの
無い画像を記録できるインクジェット式記録ヘッドを提
供することができる。
【００１８】また、複数のノズル列を有したヘッドにお
いて、フレ−ムの幅を狭くしてもヘッドフレ−ムのたわ
み変形が発生することがなく、複数のノズル列を狭い間
隔で列設することができるため、多ノズルであってもヘ
ッドの走査方向には小型化が実現できるインクジェット
式記録ヘッドを提供することができる。
いて、フレ−ムの幅を狭くしてもヘッドフレ−ムのたわ
み変形が発生することがなく、複数のノズル列を狭い間
隔で列設することができるため、多ノズルであってもヘ
ッドの走査方向には小型化が実現できるインクジェット
式記録ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例であり、インクジェット
式記録ヘッドの分解斜視図である。
式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施例であり、ＹＺ平面で切り
とったインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
とったインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の第１の実施例であり、ＸＹ平面で切り
とったインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
とったインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例のインクジェット式記録
ヘッドのヘッドフレ−ムのみを取り出して表したＸＹ断
面図である。
ヘッドのヘッドフレ−ムのみを取り出して表したＸＹ断
面図である。
【図５】本発明の第３の実施例のインクジェット式記録
ヘッドのヘッドフレ−ムのみを取り出して表した斜視図
である。
ヘッドのヘッドフレ−ムのみを取り出して表した斜視図
である。
１ ノズルプレート
１ａ ノズル開口
２ スペーサ
２ａ リザーバ
２ｂ 圧力発生室
３ 振動板
４ ヘッドフレーム
５ ヘッドユニット
６ 振動子
７ 制振板
１０ フレ−ム
１１ フレ−ム
１２ フレ−ム
１３ ノズル列
１４ ノズル列
１５ フレ−ム
１６ 補強材
１６ａ補強材の穴
Ｌ１ 寸法
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−212860（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−77416（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−132597（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−8452（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−266566（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−220952（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/045
B41J 2/055
Claims (15)
- 【請求項１】 複数のノズル開口が列設されたノズルプ
レートと、前記複数のノズル開口にそれぞれに対応した
複数の圧力発生室と、前記圧力発生室の一側面を形成す
る振動板と、前記複数の圧力発生室のそれぞれに圧力変
化を与える複数の振動子と、前記振動子の自由端が前記
振動板に、前記振動子の固定端が制振板に、それぞれ固
定され、前記制振板及び前記振動板がヘッドフレームに
保持されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、 前記ヘッドフレームには前記ヘッドフレームと異なる材
質からなる補強材を一体的に備え、前記補強材は、前記
制振板が固定されたヘッドフレームと対向するヘッドフ
レーム内に、前記振動板にほぼ垂直な方向で、かつ前記
複数のノズル開口の列設方向に沿って伸びるように配設
され、更に前記ノズル開口の列設方向の端部で前記ノズ
ル開口の列設方向に対し垂直方向に張り出した部分を備
えたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記複数のノズル開口の配列されたノズ
ル列の両側に前記ノズル列と平行に位置する第１のヘッ
ドフレームと第２のヘッドフレ−ムを有し、振動子の固
定端が前記第１のヘッドフレームに保持されたインクジ
ェット式記録ヘッドにおいて、前記第２のヘッドフレ−
ムに前記振動板にほぼ垂直に一体的に備えられている補
強材は、少なくとも前記ノズル開口の列設方向の端部に
おいて前記第１のヘッドフレーム側に張り出ている形状
であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記ノズル列を複数有し、前記ノズル列
間に位置するヘッドフレームに前記ノズル列の列設方向
に沿った前記補強材を備えたことを特徴とする請求項１
又は２に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記補強材が前記複数のノズル列と前記
ノズル列間に位置するヘッドフレームを連結するように
前記ヘッドフレームに一体的に備えた事を特徴とする請
求項３に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記補強材の熱膨張係数と前記ヘッドフ
レームの熱膨張係数がほぼ同じことを特徴とする請求項
１、２、３または４記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項６】 前記ヘッドフレームが樹脂製であること
を特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項７】 前記ヘッドフレームが熱硬化性樹脂製で
あることを特徴とする請求項１記載のインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記補強材が金属プレートであることを
特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項９】 前記補強材がセラミック製であることを
特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項１０】 前記補強材がセラミックヒータである
ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録
ヘッド。 - 【請求項１１】 前記ヘッドフレームが樹脂製の射出成
形品であり、前記補強材がインサート成形によって前記
ヘッドフレームと一体的に構成されることを特徴とする
請求項１記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１２】 前記補強材がノズル列と平行に且つヘ
ッドフレームの一端から他端にわたって連続的に配置さ
れていることを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド。 - 【請求項１３】 前記補強材がヘッドフレームの振動板
の接合面に露出していることを特徴とする請求項１記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１４】 前記振動子は圧電材料の交互に積層し
た構造であることを特徴とする請求項１記載のインクジ
ェット式記録ヘッド。 - 【請求項１５】 前記補強材には穴が開けられているこ
とを特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20401096A JP3484888B2 (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20401096A JP3484888B2 (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1044403A JPH1044403A (ja) | 1998-02-17 |
| JP3484888B2 true JP3484888B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=16483284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20401096A Expired - Fee Related JP3484888B2 (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3484888B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5565567B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
| JP6578871B2 (ja) * | 2015-10-08 | 2019-09-25 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
-
1996
- 1996-08-01 JP JP20401096A patent/JP3484888B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1044403A (ja) | 1998-02-17 |
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| JP2000071449A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
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