JP3482589B2 - めっき装置 - Google Patents
めっき装置Info
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- JP3482589B2 JP3482589B2 JP5282898A JP5282898A JP3482589B2 JP 3482589 B2 JP3482589 B2 JP 3482589B2 JP 5282898 A JP5282898 A JP 5282898A JP 5282898 A JP5282898 A JP 5282898A JP 3482589 B2 JP3482589 B2 JP 3482589B2
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- plating
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- plated
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はめっき装置のマスク
部構造に関する。
部構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】被めっき材には所定箇所をめっきする部
分めっき或は全面的なめっきが施される。例えばリード
フレームには半導体チップを搭載するパッドやワイヤ−
ボンディングされるインナーリード先端部に貴金属が部
分めっきされる。
分めっき或は全面的なめっきが施される。例えばリード
フレームには半導体チップを搭載するパッドやワイヤ−
ボンディングされるインナーリード先端部に貴金属が部
分めっきされる。
【０００３】部分めっきは被めっき材例えばリードフレ
ームにめっきを必要とする部分のみを露呈させめっき液
と接するようにマスクが使用される。即ち、リードフレ
ームに部分めっきする場合は、マスクゴムを設けたマス
クプレ−トとバックゴムを設けたバックプレ−トで当該
リードフレームを挟持して、めっき液を噴きつけ或はめ
っき液に浸漬して電気めっき等によりめっきが行われ
る。
ームにめっきを必要とする部分のみを露呈させめっき液
と接するようにマスクが使用される。即ち、リードフレ
ームに部分めっきする場合は、マスクゴムを設けたマス
クプレ−トとバックゴムを設けたバックプレ−トで当該
リードフレームを挟持して、めっき液を噴きつけ或はめ
っき液に浸漬して電気めっき等によりめっきが行われ
る。
【０００４】この種の部分めっきでは前記マスクゴムと
バックゴムが被めっきリードフレームに密着して挟持し
めっき必要箇所のみにめっきし、めっき後にマスクゴム
とバックゴムによる挟持を解いて被めっきリードフレー
ムを次工程に搬送する。
バックゴムが被めっきリードフレームに密着して挟持し
めっき必要箇所のみにめっきし、めっき後にマスクゴム
とバックゴムによる挟持を解いて被めっきリードフレー
ムを次工程に搬送する。
【０００５】
【この発明が解決しようとする課題】ところで、前記マ
スクゴムとバックゴムによる被めっきリードフレームの
挟持を、前記バックプレ−トとマスクプレ−トを離して
解く際、被めっきリードフレームがマスクゴム或はバッ
クゴムに張り付き、当該リードフレームをめっき装置か
ら搬出できなくなる。
スクゴムとバックゴムによる被めっきリードフレームの
挟持を、前記バックプレ−トとマスクプレ−トを離して
解く際、被めっきリードフレームがマスクゴム或はバッ
クゴムに張り付き、当該リードフレームをめっき装置か
ら搬出できなくなる。
【０００６】また、部分めっきされる被めっき材は前記
リードフレームのように板厚が薄く成形加工され変形し
易いものが多く、前記張り付いた被めっきリードフレー
ム等の被めっき材に腰折れや曲がり等の変形が生じる。
これを無理に搬出すると変形が酷くなるので手作業で張
り付きを解かねばならず生産性が大きく阻害される。
リードフレームのように板厚が薄く成形加工され変形し
易いものが多く、前記張り付いた被めっきリードフレー
ム等の被めっき材に腰折れや曲がり等の変形が生じる。
これを無理に搬出すると変形が酷くなるので手作業で張
り付きを解かねばならず生産性が大きく阻害される。
【０００７】本発明は被めっき材がマスクゴムやバック
ゴムに張り付かず、また変形することなく、且つ生産性
を高められるめっき装置を得ることを目的とする。
ゴムに張り付かず、また変形することなく、且つ生産性
を高められるめっき装置を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、ゴム等
の弾性体からなる弾性当接支持体を設けたマスクプレ−
トとバックプレ−トで被めっき材を挟持しめっきを行う
装置において、前記マスクプレ−ト、バックプレ−トの
少なくともいずれかの弾性当接支持体に、当該弾性支持
体より弾性能のある張り付き防止リフタ−を突出・へ込
み自在に設けたことを特徴とするめっき装置にある。他
の要旨は前記マスクプレ−ト、バックプレ−トの弾性当
接支持体がゴムで、前記張り付き防止リフタ−がスポン
ジであることを特徴とするめっき装置にあり、他の要旨
は前記張り付き防止リフタ−が前記マスクプレ−ト、バ
ックプレ−トの弾性当接支持体に散設されているめっき
装置にある。
の弾性体からなる弾性当接支持体を設けたマスクプレ−
トとバックプレ−トで被めっき材を挟持しめっきを行う
装置において、前記マスクプレ−ト、バックプレ−トの
少なくともいずれかの弾性当接支持体に、当該弾性支持
体より弾性能のある張り付き防止リフタ−を突出・へ込
み自在に設けたことを特徴とするめっき装置にある。他
の要旨は前記マスクプレ−ト、バックプレ−トの弾性当
接支持体がゴムで、前記張り付き防止リフタ−がスポン
ジであることを特徴とするめっき装置にあり、他の要旨
は前記張り付き防止リフタ−が前記マスクプレ−ト、バ
ックプレ−トの弾性当接支持体に散設されているめっき
装置にある。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の実施例について図面を参
照して説明する。この実施例では図４に示すようなリー
ドフレーム１を部分めっきする場合について述べる。２
はパッドで半導体チップを搭載するところで、該パッド
２の周りにインナーリード３が形成されている。４は前
記インナーリード３に続いて形成されたアウターリード
である。５はタイバ−、６は前記パッド２を支持するサ
ポ−トバ−、７は位置決めに使用されるガイドホ−ルで
ある。該リードフレーム１にはパッド２及びインナーリ
ード３先端部の片面に貴金属例えばＡｕ、Ａｇ等が部分
めっきされる。
照して説明する。この実施例では図４に示すようなリー
ドフレーム１を部分めっきする場合について述べる。２
はパッドで半導体チップを搭載するところで、該パッド
２の周りにインナーリード３が形成されている。４は前
記インナーリード３に続いて形成されたアウターリード
である。５はタイバ−、６は前記パッド２を支持するサ
ポ−トバ−、７は位置決めに使用されるガイドホ−ルで
ある。該リードフレーム１にはパッド２及びインナーリ
ード３先端部の片面に貴金属例えばＡｕ、Ａｇ等が部分
めっきされる。
【００１０】めっき装置について図１、図２及び図３を
参照して述べる。８はマスクプレ−トで、被めっきリー
ドフレーム材１ａと当接する側にはゴム、合成樹脂等か
らなる弾性当接支持体例えばマスクゴム９が設けられて
いる。マスクプレ−ト８及びマスクゴム９には部分めっ
きするための開口部１０が形成され、めっき液噴射装置
１１からのめっき液が被めっきリードフレーム材１ａの
部分めっき箇所に噴流されるようになっている。なお、
１２は前記めっき液噴射装置１１が設けられたスパ−ジ
ャである。
参照して述べる。８はマスクプレ−トで、被めっきリー
ドフレーム材１ａと当接する側にはゴム、合成樹脂等か
らなる弾性当接支持体例えばマスクゴム９が設けられて
いる。マスクプレ−ト８及びマスクゴム９には部分めっ
きするための開口部１０が形成され、めっき液噴射装置
１１からのめっき液が被めっきリードフレーム材１ａの
部分めっき箇所に噴流されるようになっている。なお、
１２は前記めっき液噴射装置１１が設けられたスパ−ジ
ャである。
【００１１】１３はバックプレ−トで、被めっきリード
フレーム材１ａの通板ラインを挟んで前記マスクプレ−
ト８に対向して設けられ進退駆動装置１４によりマスク
プレ−ト８に対して進退自在である。該バックプレ−ト
１３には被めっきリードフレーム材１ａと当接する側に
ゴム、合成樹脂等からなる弾性当接支持体例えばバック
ゴム１５が設けられている。
フレーム材１ａの通板ラインを挟んで前記マスクプレ−
ト８に対向して設けられ進退駆動装置１４によりマスク
プレ−ト８に対して進退自在である。該バックプレ−ト
１３には被めっきリードフレーム材１ａと当接する側に
ゴム、合成樹脂等からなる弾性当接支持体例えばバック
ゴム１５が設けられている。
【００１２】めっきに際しては前記マスクプレ−ト８の
マスクゴム９とバックプレ−ト１３のバックゴム１５で
被めっきリードフレーム材１ａを挟持してめっきを行
い、めっき後に前記挟持が解れる。このとき被めっきリ
ードフレーム材１ａがマスクゴム９やバックゴム１５に
張り付かないように前記弾性当接支持体より弾性能の高
い張り付き防止リフタ−１６をマスクゴム９、バックゴ
ム１５に点在して設けている。
マスクゴム９とバックプレ−ト１３のバックゴム１５で
被めっきリードフレーム材１ａを挟持してめっきを行
い、めっき後に前記挟持が解れる。このとき被めっきリ
ードフレーム材１ａがマスクゴム９やバックゴム１５に
張り付かないように前記弾性当接支持体より弾性能の高
い張り付き防止リフタ−１６をマスクゴム９、バックゴ
ム１５に点在して設けている。
【００１３】前記張り付き防止リフタ−１６は外力が作
用していないときには前記マスクゴム９、バックゴム１
５の表面より突き出ており、バックプレ−ト１３を進退
駆動装置１４によりマスクプレ−ト８側へ進行させ被め
っきリードフレーム材１ａを挟持する外力を受けるとそ
れぞれマスクゴム９、バックゴム１５の表面まで収縮す
る。該張り付き防止リフタ−１６は前記弾性当接支持体
より弾性能がすぐれたスポンジを使用するのが好まし
い。
用していないときには前記マスクゴム９、バックゴム１
５の表面より突き出ており、バックプレ−ト１３を進退
駆動装置１４によりマスクプレ−ト８側へ進行させ被め
っきリードフレーム材１ａを挟持する外力を受けるとそ
れぞれマスクゴム９、バックゴム１５の表面まで収縮す
る。該張り付き防止リフタ−１６は前記弾性当接支持体
より弾性能がすぐれたスポンジを使用するのが好まし
い。
【００１４】張り付き防止リフタ−１６はこの実施例で
は円柱状のものを設けているが、形状はこれに限らず角
柱状など形状は任意である。
は円柱状のものを設けているが、形状はこれに限らず角
柱状など形状は任意である。
【００１５】次に作用について述べる。被めっきリード
フレーム材１ａが間欠的に搬送されめっき装置１７内に
来ると、図示しない位置決めピンで位置決めされ、パッ
ド２及びインナーリード３先端部のみにめっきするよう
に進退駆動装置１４を作動させバックプレ−ト１３をマ
スクプレ−ト８の方に進行させ、マスクゴム９とバック
ゴム１５により被めっきリードフレーム材１ａを挟持す
る。該挟持の外力で張り付き防止リフタ−１６は前記マ
スクゴム９及びバックゴム１５の面内にそれぞれ収縮す
る。この挟持した状態で被めっきリードフレーム材１ａ
に陰極電極（図示しない）を当接し通電する。これと同
じくしてスパ−ジャ１２内で陽極（図示しない）に接続
されためっき液噴射装置１１からめっき液を噴射しめっ
きする。
フレーム材１ａが間欠的に搬送されめっき装置１７内に
来ると、図示しない位置決めピンで位置決めされ、パッ
ド２及びインナーリード３先端部のみにめっきするよう
に進退駆動装置１４を作動させバックプレ−ト１３をマ
スクプレ−ト８の方に進行させ、マスクゴム９とバック
ゴム１５により被めっきリードフレーム材１ａを挟持す
る。該挟持の外力で張り付き防止リフタ−１６は前記マ
スクゴム９及びバックゴム１５の面内にそれぞれ収縮す
る。この挟持した状態で被めっきリードフレーム材１ａ
に陰極電極（図示しない）を当接し通電する。これと同
じくしてスパ−ジャ１２内で陽極（図示しない）に接続
されためっき液噴射装置１１からめっき液を噴射しめっ
きする。
【００１６】めっき後、バックプレ−ト１３を進退駆動
装置１４により後退させマスクプレ−ト８との前記挟持
を解くと、マスクゴム９及びバックゴム１５にそれぞれ
設けた張り付き防止リフタ−１６がマスクゴム９及びバ
ックゴム１５の表面より突き出る。該張り付き防止リフ
タ−１６の作用で被めっきリードフレーム材１ａがマス
クゴム９、バックゴム１５にくっつくことなく離され、
すぐ搬送される。
装置１４により後退させマスクプレ−ト８との前記挟持
を解くと、マスクゴム９及びバックゴム１５にそれぞれ
設けた張り付き防止リフタ−１６がマスクゴム９及びバ
ックゴム１５の表面より突き出る。該張り付き防止リフ
タ−１６の作用で被めっきリードフレーム材１ａがマス
クゴム９、バックゴム１５にくっつくことなく離され、
すぐ搬送される。
【００１７】この実施例では、張り付き防止リフタ−１
６はマスクゴム９とバックゴム１５の双方に設けたが、
被めっき材がくっつき易い何れか一方に設けてもよい。
６はマスクゴム９とバックゴム１５の双方に設けたが、
被めっき材がくっつき易い何れか一方に設けてもよい。
【００１８】
【発明の効果】本発明は前記のようにマスクプレ−ト、
バックプレ−トの少なくともいずれかの弾性当接支持体
に、当該弾性当接支持体より弾性能のある張り付き防止
リフタ−を突出・収縮自在に設けているので、当該マス
クプレ−トとバックプレ−トで被めっき材を挟持してめ
っきした後、挟持を解くと前記張り付き防止リフタ−が
マスクプレ−ト、バックプレ−トの弾性当接支持体の表
面より突き出て被めっき材が自動的に且つ無理なく確実
に離され、張り付きが防止される。また、めっき後、め
っき装置から直ちに搬出され生産性が高まり、且つ変形
することがない等の効果がある。
バックプレ−トの少なくともいずれかの弾性当接支持体
に、当該弾性当接支持体より弾性能のある張り付き防止
リフタ−を突出・収縮自在に設けているので、当該マス
クプレ−トとバックプレ−トで被めっき材を挟持してめ
っきした後、挟持を解くと前記張り付き防止リフタ−が
マスクプレ−ト、バックプレ−トの弾性当接支持体の表
面より突き出て被めっき材が自動的に且つ無理なく確実
に離され、張り付きが防止される。また、めっき後、め
っき装置から直ちに搬出され生産性が高まり、且つ変形
することがない等の効果がある。
【図１】本発明の１実施例におけるめっき装置を示す
図。
図。
【図２】本発明の１実施例におけるめっき装置の作用を
説明するための図。
説明するための図。
【図３】本発明の１実施例におけるマスクプレ−トを示
す図。
す図。
【図４】本発明の１実施例における被めっきリードフレ
ームを示す図。
ームを示す図。
１ リードフレーム
２ パッド
３ インナーリード
４ アウターリード
５ タイバ−
６ サポ−トバ−
７ ガイドホ−ル
８ マスクプレ−ト
９ マスクゴム
１０ 開口部
１１ めっき液噴射装置
１２ スパ−ジャ
１３ バックプレ−ト
１４ 進退駆動装置
１５ バックゴム
１６ 張り付き防止リフタ−
１７ めっき装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭62−263992（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−156290（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−63456（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−207590（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−101698（ＪＰ，Ａ)
特開 昭53−125938（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−13639（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−198497（ＪＰ，Ａ)
実開 昭62−83875（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭62−83873（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭62−75067（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭61−104559（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭59−3533（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C25D 5/02
H01L 23/50
Claims (2)
- 【請求項１】 ゴム等の弾性体からなる弾性当接支持体
をそれぞれ設けたマスクプレートとバックプレートで被
めっき材を挟持しめっきを行う装置において、 前記マスクプレート、バックプレートの少なくともいず
れかの前記弾性当接支持体に、当該弾性当接支持体より
弾性能のある張付き防止リフターを突出・収縮自在に、
且つ散設したことを特徴とするめっき装置。 - 【請求項２】 前記弾性当接支持体は、ゴムであり、 前記張付き防止リフターは、スポンジであることを特徴
とする請求項１記載のめっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5282898A JP3482589B2 (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5282898A JP3482589B2 (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | めっき装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11229177A JPH11229177A (ja) | 1999-08-24 |
| JP3482589B2 true JP3482589B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=12925721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5282898A Expired - Fee Related JP3482589B2 (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3482589B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6063202B2 (ja) * | 2012-10-16 | 2017-01-18 | 株式会社イデヤ | めっき装置 |
-
1998
- 1998-02-17 JP JP5282898A patent/JP3482589B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11229177A (ja) | 1999-08-24 |
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