JP3481754B2 - 磁気ディスクの浮上保証試験方法 - Google Patents
磁気ディスクの浮上保証試験方法Info
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- JP3481754B2 JP3481754B2 JP30417895A JP30417895A JP3481754B2 JP 3481754 B2 JP3481754 B2 JP 3481754B2 JP 30417895 A JP30417895 A JP 30417895A JP 30417895 A JP30417895 A JP 30417895A JP 3481754 B2 JP3481754 B2 JP 3481754B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク上の
凸部がヘッドの浮上量より低いことを調べる磁気ディス
クの浮上保証試験方法に関する。 【０００２】近年、磁気ディスク装置の大容量化の要望
に伴い、ヘッドの低浮上化が進められている。よって、
磁気ディスク上の凸部の高さがヘッドの浮上量より低い
ことを保証する試験、即ち、磁気ディスクの浮上保証試
験が必要となる。 【０００３】 【従来の技術】次に、図面を用いて従来例を説明する。
図８は従来の磁気ディスクの浮上保証試験装置を説明す
る図、図９は図８における斜視図、図１０は図８におい
て磁気ディスクをセットした時の斜視図である。 【０００４】図８及び図９において、１は試験スライダ
２の浮上量より高さが若干高いバンプ３(例えば、試験
スライダ２の浮上量が30nmの場合、バンプ３の高さは33n
m)が形成されたバンプディスクである。このバンプディ
スク１はディスク駆動部４によって回転駆動されるよう
になっている。 【０００５】このバンプ３は、基板上にフォトレジスト
を塗布しパターニングを行ない、その上からチタニウム
等のスパッタリングを行ない、その後フォトレジストを
はぎ取り、形成した。 【０００６】試験スライダ２はサスペンション５を介し
てヘッドアーム６に取付けられる。そして、試験スライ
ダ２,サスペンション５及びヘッドアーム６は図示しな
いヘッド駆動部により、試験スライダ２がバンプディス
ク１の円周方向を横切る方向に駆動される。 【０００７】更に、ヘッドアーム６には、試験スライダ
２に作用する衝撃を検出し、電気信号として出力するセ
ンサとしてのAE(アコースティックエミッション aucous
ticemission)素子８が設けられている。 【０００８】次に、このような構成の磁気ディスクの浮
上保証試験装置を用いて磁気ディスクの浮上保証を行な
う方法を説明する。まず、図１０に示すように、バンプ
３が形成されたバンプディスク１をディスク駆動部４に
セットし、次に、ディスク駆動部４を駆動してバンプデ
ィスク１を回転駆動する。そして、ヘッド駆動部を駆動
して試験スライダ２をバンプディスク１へアクセスし、
試験スライダ２をとバンプ３に衝突させる。 【０００９】試験スライダ２とバンプ３との衝突による
衝撃は、AE素子８によって検出され、基準値となる。次
に、バンプディスク１をディスク駆動部４より取外し、
図１０に示すように、浮上保証試験を行なう磁気ディス
ク９をディスク駆動部４にセットする。 【００１０】セット後、ディスク駆動部４を駆動して磁
気ディスク９を回転駆動する。そして、ヘッド駆動部を
駆動し、試験スライダ２を磁気ディスク９へアクセスす
る。磁気ディスク９上の凸部と試験スライダ２との衝突
時の衝撃はAE素子８によって検出され、基準値と比較さ
れる。 【００１１】基準値より小さな場合は、磁気ディスク９
上の凸部はバンプ３より低いと判断され、磁気ディスク
９は良品と判断(浮上保証)される。逆に、基準値より大
きな場合は、磁気ディスク９上の凸部はバンプ３より高
いと判断され、磁気ディスク９は不良品と判断される。 【００１２】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の磁
気ディスクの浮上保証試験装置において、基準値を設定
する際、バンプディスク１上に付着する汚れ等により、
AE素子８の出力には疑似信号(ノイズ)が混在し、試験ス
ライダ２とバンプ３との衝突時の信号を検出しにくい問
題点がある。 【００１３】 本発明は、上記問題点に鑑みてなされた
もので、その目的は、基準値を確実に検出できる磁気デ
ィスクの浮上保証試験方法を提供することにある。 【００１４】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、試験スライダの浮上量より高さが若干高いバンプ
が形成されたバンプディスクに試験スライダをアクセス
し、センサによって検出された前記試験スライダと前記
バンプとの衝突時の衝撃の大きさを基準値とし、次に、
浮上保証試験を行なう磁気ディスクに前記試験スライダ
をアクセスし、前記センサによって検出された前記試験
スライダと前記磁気ディスク上の凸部との衝撃値が前記
基準値より低い場合は、前記磁気ディスク上の凸部が前
記試験スライダの浮上量より低いと判断して前記磁気デ
ィスクの浮上保証を行なう磁気ディスクの浮上保証試験
方法において、前記バンプディスクの前記バンプが設け
られた円周上に前記バンプを特定する磁気信号を記録
し、前記試験スライダに前記磁気信号を検出する磁気ヘ
ッド素子を設け、前記磁気信号で前記バンプを特定した
時の前記センサの出力を前記基準値とすることを特徴と
するものである。 【００１５】 バンプを特定する磁気信号をバンプディ
スクに設け、磁気ヘッド素子でバンプを特定する磁気信
号を検出することにより、試験スライダとバンプとが衝
突した時のセンサの出力（基準値）を確実に検出するこ
とができる。 【００１６】 【００１７】 【００１８】 前記磁気信号の一例としては、前記バン
プの近傍以外に記録されているものがある。 【００１９】 【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態を説明する。図１は実施の一形態例の磁気ディスク
の浮上保証試験方法を行なう装置を説明する図、図２は
図１における正面図、図３は図１におけるバンプディス
クのバンプ部分の断面図である。 【００２０】図１及び図２において、１１は試験スライ
ダ１２の浮上量より高さが若干高いバンプ１３が形成さ
れたバンプディスクである。このバンプディスク１１は
ディスク駆動部１４によって回転駆動されるようになっ
ている。 【００２１】試験スライダ１２はサスペンション１５を
介してヘッドアーム１６に取付けられる。そして、試験
スライダ１２,サスペンション１５及びヘッドアーム１
６は図示しないヘッド駆動部により、試験スライダ１２
がバンプディスク１の円周方向を横切る方向に駆動され
る。 【００２２】更に、ヘッドアーム１６には、試験スライ
ダ１２に作用する衝撃を検出し、電気信号として出力す
るセンサとしてのAE素子１８が設けられている。また、
バンプディスク１１は、図３に示すように、ガラスやア
ルミニウム等の基板２０上に磁性層２１及び硬質カーボ
ン(ダイヤモンドライクカーボン)等の保護膜層２２が形
成されたものである。そして、図１に示すように、バン
プ１３が設けられた円周上(トラック)には、バンプ１３
近傍以外にバンプ１３を特定する信号としての磁気信号
２３が書込まれている。 【００２３】尚、本実施の形態例のバンプ１３は、バン
プ形成部分以外がマスキングされたマスクを用い、スパ
ッタリング法で形成した。又、本実施の形態例のバンプ
１３の基板２０に平行な方向の断面積は、従来のバンプ
の断面積より広くなるように設定し、更に、バンプ１３
の上面と側面との角部にはアール(丸み)を形成した。 【００２４】一方、試験スライダ１２には、バンプディ
スク１１に記録された磁気信号を読み取り可能な磁気ヘ
ッド素子２４が設けられている。次に、このような構成
の磁気ディスクの浮上保証試験装置を用いて磁気ディス
クの浮上保証を行なう方法を説明する。 【００２５】まず、図１に示すように、バンプ１３が形
成されたバンプディスク１１をディスク駆動部１４にセ
ットし、次に、ディスク駆動部１４を駆動してバンプデ
ィスク１１を回転駆動する。そして、ヘッド駆動部を駆
動して試験スライダ１２をバンプディスク１１へアクセ
スする。 【００２６】この時、図４に示すように、AE素子１８の
出力(AE出力)だけを見ると、バンプディスク１１上や試
験スライダ１２の浮上面に付着する汚れ等により、疑似
信号が混在し、どのピークがバンプディスク１１上のバ
ンプ１３に衝突した時の出力か判別できない。 【００２７】一方、試験スライダ１２の磁気ヘッド素子
２４の出力(リード信号)を見ると、バンプディスク１１
上や試験スライダ１２の浮上面に付着する汚れ等の影響
は受けず、磁気信号が書込まれていないバンプ１３近傍
では、信号イレーズ部分として明確に判別でき、確実に
バンプ１３を特定できる。 【００２８】よって、AE信号とリード信号との両方を見
て、リード信号が信号イレーズ部分となった時のAE出力
のピークが基準値(バンプ出力)となる。次に、バンプデ
ィスク１１をディスク駆動部１４より取外し、従来例と
同様に、浮上保証試験を行なう磁気ディスクをディスク
駆動部４にセットする。 【００２９】セット後、ディスク駆動部４を駆動して磁
気ディスクを回転駆動する。そして、ヘッド駆動部を駆
動し、試験スライダ１２を磁気ディスクへアクセスす
る。磁気ディスク上の凸部と試験スライダ１２との衝突
時の衝撃はAE素子１８によって検出され、先程検出した
基準値と比較される。 【００３０】基準値より小さな場合は、磁気ディスク上
の凸部はバンプ１３より低いと判断され、磁気ディスク
は良品と判断(浮上保証)される。逆に、基準値より大き
な場合は、磁気ディスク上の凸部はバンプ１３より高い
と判断され、磁気ディスクは不良品と判断される。 【００３１】本実施の形態例によれば、バンプ特定信号
としての磁気信号２３をバンプディスク１１に設け、こ
の信号を読み取る機能として試験スライダ１２に磁気ヘ
ッド素子２４を設けたことにより、基準値を確実に検出
できる。 【００３２】更に、バンプ１３の基板２０に平行な方向
の断面積は、従来のバンプの断面積より広くなるように
設定したことにより、基板２０との接触面積が広くな
り、バンプ１３の耐久性が向上する。更に、バンプ１３
の上面と側面との角部にはアールを形成したことによ
り、バンプ１３に試験スライダ１２が衝突して、バンプ
１３の上面と側面との角部が欠けてしまうことを防止す
ることができる。 【００３３】本発明は上記実施の形態例に限定するもの
ではない。上記実施の形態例では、バンプ特定信号とし
て、磁気信号をバンプ１３の近傍以外に設けたが、図５
に示すように、バンプ１３近傍にのみ磁気信号３０を書
込んでおいてもよい。 【００３４】更に、AE素子１８はヘッドアーム１６に設
けたが、ここに限定するものではなく、試験スライダ１
２に作用する衝撃を検出できる箇所ならどこでもよい。
又、バンプディスクは、上述のような磁気ディスクの浮
上保証試験に用いられる他に、スライダの浮上量の校正
を行なう場合にも用いられる。 【００３５】即ち、スライダの浮上量は、単色光の屈折
化,反射による干渉縞を利用し測定しているが、スライ
ダの表面状態により浮上量が異なって計測されるので、
バンプディスクはその校正用としても使用される。 【００３６】この場合のバンプディスクは、図６に示す
ように、バンプディスク３１の半径方向に高さの異なる
複数のバンプ(図６では５つのバンプ３２〜３６)を形成
する。バンプディスク３１は磁気層を形成する必要がな
いので、図７に示すように基板３７上にCr合金等の密着
層３８を形成し、その上にスパッタ成膜法で高さの異な
るバンプ３２〜３６を形成する。そして、バンプの耐久
性向上,スライダの損傷を低減するために、硬質カーボ
ンの保護層３９を形成する。 【００３７】更に、前述の実施の形態例のバンプ１３と
同様に、バンプディスク３１の耐久性向上にために、バ
ンプ３２〜３６の基板２０に平行な方向の断面積は、従
来のバンプの断面積より広くなるように設定し、更に、
バンプ３２〜３６の上面と側面との角部にはアール(丸
み)を形成する。 【００３８】 【発明の効果】以上述べたように本発明の磁気ディスク
の浮上保証試験方法によれば、バンプ特定する磁気信号
をバンプディスクに設け、磁気ヘッド素子でバンプを特
定する磁気信号を検出することにより、試験スライダが
バンプに衝突した時のセンサの出力（基準値）を確実に
検出することができる。 【００３９】
凸部がヘッドの浮上量より低いことを調べる磁気ディス
クの浮上保証試験方法に関する。 【０００２】近年、磁気ディスク装置の大容量化の要望
に伴い、ヘッドの低浮上化が進められている。よって、
磁気ディスク上の凸部の高さがヘッドの浮上量より低い
ことを保証する試験、即ち、磁気ディスクの浮上保証試
験が必要となる。 【０００３】 【従来の技術】次に、図面を用いて従来例を説明する。
図８は従来の磁気ディスクの浮上保証試験装置を説明す
る図、図９は図８における斜視図、図１０は図８におい
て磁気ディスクをセットした時の斜視図である。 【０００４】図８及び図９において、１は試験スライダ
２の浮上量より高さが若干高いバンプ３(例えば、試験
スライダ２の浮上量が30nmの場合、バンプ３の高さは33n
m)が形成されたバンプディスクである。このバンプディ
スク１はディスク駆動部４によって回転駆動されるよう
になっている。 【０００５】このバンプ３は、基板上にフォトレジスト
を塗布しパターニングを行ない、その上からチタニウム
等のスパッタリングを行ない、その後フォトレジストを
はぎ取り、形成した。 【０００６】試験スライダ２はサスペンション５を介し
てヘッドアーム６に取付けられる。そして、試験スライ
ダ２,サスペンション５及びヘッドアーム６は図示しな
いヘッド駆動部により、試験スライダ２がバンプディス
ク１の円周方向を横切る方向に駆動される。 【０００７】更に、ヘッドアーム６には、試験スライダ
２に作用する衝撃を検出し、電気信号として出力するセ
ンサとしてのAE(アコースティックエミッション aucous
ticemission)素子８が設けられている。 【０００８】次に、このような構成の磁気ディスクの浮
上保証試験装置を用いて磁気ディスクの浮上保証を行な
う方法を説明する。まず、図１０に示すように、バンプ
３が形成されたバンプディスク１をディスク駆動部４に
セットし、次に、ディスク駆動部４を駆動してバンプデ
ィスク１を回転駆動する。そして、ヘッド駆動部を駆動
して試験スライダ２をバンプディスク１へアクセスし、
試験スライダ２をとバンプ３に衝突させる。 【０００９】試験スライダ２とバンプ３との衝突による
衝撃は、AE素子８によって検出され、基準値となる。次
に、バンプディスク１をディスク駆動部４より取外し、
図１０に示すように、浮上保証試験を行なう磁気ディス
ク９をディスク駆動部４にセットする。 【００１０】セット後、ディスク駆動部４を駆動して磁
気ディスク９を回転駆動する。そして、ヘッド駆動部を
駆動し、試験スライダ２を磁気ディスク９へアクセスす
る。磁気ディスク９上の凸部と試験スライダ２との衝突
時の衝撃はAE素子８によって検出され、基準値と比較さ
れる。 【００１１】基準値より小さな場合は、磁気ディスク９
上の凸部はバンプ３より低いと判断され、磁気ディスク
９は良品と判断(浮上保証)される。逆に、基準値より大
きな場合は、磁気ディスク９上の凸部はバンプ３より高
いと判断され、磁気ディスク９は不良品と判断される。 【００１２】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の磁
気ディスクの浮上保証試験装置において、基準値を設定
する際、バンプディスク１上に付着する汚れ等により、
AE素子８の出力には疑似信号(ノイズ)が混在し、試験ス
ライダ２とバンプ３との衝突時の信号を検出しにくい問
題点がある。 【００１３】 本発明は、上記問題点に鑑みてなされた
もので、その目的は、基準値を確実に検出できる磁気デ
ィスクの浮上保証試験方法を提供することにある。 【００１４】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、試験スライダの浮上量より高さが若干高いバンプ
が形成されたバンプディスクに試験スライダをアクセス
し、センサによって検出された前記試験スライダと前記
バンプとの衝突時の衝撃の大きさを基準値とし、次に、
浮上保証試験を行なう磁気ディスクに前記試験スライダ
をアクセスし、前記センサによって検出された前記試験
スライダと前記磁気ディスク上の凸部との衝撃値が前記
基準値より低い場合は、前記磁気ディスク上の凸部が前
記試験スライダの浮上量より低いと判断して前記磁気デ
ィスクの浮上保証を行なう磁気ディスクの浮上保証試験
方法において、前記バンプディスクの前記バンプが設け
られた円周上に前記バンプを特定する磁気信号を記録
し、前記試験スライダに前記磁気信号を検出する磁気ヘ
ッド素子を設け、前記磁気信号で前記バンプを特定した
時の前記センサの出力を前記基準値とすることを特徴と
するものである。 【００１５】 バンプを特定する磁気信号をバンプディ
スクに設け、磁気ヘッド素子でバンプを特定する磁気信
号を検出することにより、試験スライダとバンプとが衝
突した時のセンサの出力（基準値）を確実に検出するこ
とができる。 【００１６】 【００１７】 【００１８】 前記磁気信号の一例としては、前記バン
プの近傍以外に記録されているものがある。 【００１９】 【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態を説明する。図１は実施の一形態例の磁気ディスク
の浮上保証試験方法を行なう装置を説明する図、図２は
図１における正面図、図３は図１におけるバンプディス
クのバンプ部分の断面図である。 【００２０】図１及び図２において、１１は試験スライ
ダ１２の浮上量より高さが若干高いバンプ１３が形成さ
れたバンプディスクである。このバンプディスク１１は
ディスク駆動部１４によって回転駆動されるようになっ
ている。 【００２１】試験スライダ１２はサスペンション１５を
介してヘッドアーム１６に取付けられる。そして、試験
スライダ１２,サスペンション１５及びヘッドアーム１
６は図示しないヘッド駆動部により、試験スライダ１２
がバンプディスク１の円周方向を横切る方向に駆動され
る。 【００２２】更に、ヘッドアーム１６には、試験スライ
ダ１２に作用する衝撃を検出し、電気信号として出力す
るセンサとしてのAE素子１８が設けられている。また、
バンプディスク１１は、図３に示すように、ガラスやア
ルミニウム等の基板２０上に磁性層２１及び硬質カーボ
ン(ダイヤモンドライクカーボン)等の保護膜層２２が形
成されたものである。そして、図１に示すように、バン
プ１３が設けられた円周上(トラック)には、バンプ１３
近傍以外にバンプ１３を特定する信号としての磁気信号
２３が書込まれている。 【００２３】尚、本実施の形態例のバンプ１３は、バン
プ形成部分以外がマスキングされたマスクを用い、スパ
ッタリング法で形成した。又、本実施の形態例のバンプ
１３の基板２０に平行な方向の断面積は、従来のバンプ
の断面積より広くなるように設定し、更に、バンプ１３
の上面と側面との角部にはアール(丸み)を形成した。 【００２４】一方、試験スライダ１２には、バンプディ
スク１１に記録された磁気信号を読み取り可能な磁気ヘ
ッド素子２４が設けられている。次に、このような構成
の磁気ディスクの浮上保証試験装置を用いて磁気ディス
クの浮上保証を行なう方法を説明する。 【００２５】まず、図１に示すように、バンプ１３が形
成されたバンプディスク１１をディスク駆動部１４にセ
ットし、次に、ディスク駆動部１４を駆動してバンプデ
ィスク１１を回転駆動する。そして、ヘッド駆動部を駆
動して試験スライダ１２をバンプディスク１１へアクセ
スする。 【００２６】この時、図４に示すように、AE素子１８の
出力(AE出力)だけを見ると、バンプディスク１１上や試
験スライダ１２の浮上面に付着する汚れ等により、疑似
信号が混在し、どのピークがバンプディスク１１上のバ
ンプ１３に衝突した時の出力か判別できない。 【００２７】一方、試験スライダ１２の磁気ヘッド素子
２４の出力(リード信号)を見ると、バンプディスク１１
上や試験スライダ１２の浮上面に付着する汚れ等の影響
は受けず、磁気信号が書込まれていないバンプ１３近傍
では、信号イレーズ部分として明確に判別でき、確実に
バンプ１３を特定できる。 【００２８】よって、AE信号とリード信号との両方を見
て、リード信号が信号イレーズ部分となった時のAE出力
のピークが基準値(バンプ出力)となる。次に、バンプデ
ィスク１１をディスク駆動部１４より取外し、従来例と
同様に、浮上保証試験を行なう磁気ディスクをディスク
駆動部４にセットする。 【００２９】セット後、ディスク駆動部４を駆動して磁
気ディスクを回転駆動する。そして、ヘッド駆動部を駆
動し、試験スライダ１２を磁気ディスクへアクセスす
る。磁気ディスク上の凸部と試験スライダ１２との衝突
時の衝撃はAE素子１８によって検出され、先程検出した
基準値と比較される。 【００３０】基準値より小さな場合は、磁気ディスク上
の凸部はバンプ１３より低いと判断され、磁気ディスク
は良品と判断(浮上保証)される。逆に、基準値より大き
な場合は、磁気ディスク上の凸部はバンプ１３より高い
と判断され、磁気ディスクは不良品と判断される。 【００３１】本実施の形態例によれば、バンプ特定信号
としての磁気信号２３をバンプディスク１１に設け、こ
の信号を読み取る機能として試験スライダ１２に磁気ヘ
ッド素子２４を設けたことにより、基準値を確実に検出
できる。 【００３２】更に、バンプ１３の基板２０に平行な方向
の断面積は、従来のバンプの断面積より広くなるように
設定したことにより、基板２０との接触面積が広くな
り、バンプ１３の耐久性が向上する。更に、バンプ１３
の上面と側面との角部にはアールを形成したことによ
り、バンプ１３に試験スライダ１２が衝突して、バンプ
１３の上面と側面との角部が欠けてしまうことを防止す
ることができる。 【００３３】本発明は上記実施の形態例に限定するもの
ではない。上記実施の形態例では、バンプ特定信号とし
て、磁気信号をバンプ１３の近傍以外に設けたが、図５
に示すように、バンプ１３近傍にのみ磁気信号３０を書
込んでおいてもよい。 【００３４】更に、AE素子１８はヘッドアーム１６に設
けたが、ここに限定するものではなく、試験スライダ１
２に作用する衝撃を検出できる箇所ならどこでもよい。
又、バンプディスクは、上述のような磁気ディスクの浮
上保証試験に用いられる他に、スライダの浮上量の校正
を行なう場合にも用いられる。 【００３５】即ち、スライダの浮上量は、単色光の屈折
化,反射による干渉縞を利用し測定しているが、スライ
ダの表面状態により浮上量が異なって計測されるので、
バンプディスクはその校正用としても使用される。 【００３６】この場合のバンプディスクは、図６に示す
ように、バンプディスク３１の半径方向に高さの異なる
複数のバンプ(図６では５つのバンプ３２〜３６)を形成
する。バンプディスク３１は磁気層を形成する必要がな
いので、図７に示すように基板３７上にCr合金等の密着
層３８を形成し、その上にスパッタ成膜法で高さの異な
るバンプ３２〜３６を形成する。そして、バンプの耐久
性向上,スライダの損傷を低減するために、硬質カーボ
ンの保護層３９を形成する。 【００３７】更に、前述の実施の形態例のバンプ１３と
同様に、バンプディスク３１の耐久性向上にために、バ
ンプ３２〜３６の基板２０に平行な方向の断面積は、従
来のバンプの断面積より広くなるように設定し、更に、
バンプ３２〜３６の上面と側面との角部にはアール(丸
み)を形成する。 【００３８】 【発明の効果】以上述べたように本発明の磁気ディスク
の浮上保証試験方法によれば、バンプ特定する磁気信号
をバンプディスクに設け、磁気ヘッド素子でバンプを特
定する磁気信号を検出することにより、試験スライダが
バンプに衝突した時のセンサの出力（基準値）を確実に
検出することができる。 【００３９】
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の一形態例の磁気ディスクの浮上保証試験
方法を行なう装置を説明する図である。 【図２】図１における正面図である。 【図３】図１におけるバンプディスクのバンプ部分の断
面図である。 【図４】図１におけるAE素子と磁気ヘッド素子との出力
の一例を説明する図である。 【図５】実施の他の形態例を説明する図である。 【図６】スライダ浮上量校正用バンプディスクの説明図
である。 【図７】図６におけるバンプ付近の断面図である。 【図８】従来の磁気ディスクの浮上保証試験装置を説明
する図である。 【図９】図８における斜視図である。 【図１０】図８において磁気ディスクをセットした時の
斜視図である。 【符号の説明】 １１ バンプディスク １２ 試験スライダ １３ バンプ １８ AE素子(センサ) ２３ 磁気信号(バンプを特定する信号) ２４ 磁気ヘッド素子
方法を行なう装置を説明する図である。 【図２】図１における正面図である。 【図３】図１におけるバンプディスクのバンプ部分の断
面図である。 【図４】図１におけるAE素子と磁気ヘッド素子との出力
の一例を説明する図である。 【図５】実施の他の形態例を説明する図である。 【図６】スライダ浮上量校正用バンプディスクの説明図
である。 【図７】図６におけるバンプ付近の断面図である。 【図８】従来の磁気ディスクの浮上保証試験装置を説明
する図である。 【図９】図８における斜視図である。 【図１０】図８において磁気ディスクをセットした時の
斜視図である。 【符号の説明】 １１ バンプディスク １２ 試験スライダ １３ バンプ １８ AE素子(センサ) ２３ 磁気信号(バンプを特定する信号) ２４ 磁気ヘッド素子
フロントページの続き
(72)発明者 原田 和彦
神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地
富士通株式会社内
(56)参考文献 特開 平３−5919（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−11333（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−265147（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−16025（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−220148（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−151456（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−124127（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−254142（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−341825（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−20268（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−283421（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G11B 5/84
G11B 5/455
G11B 19/02 501
G11B 21/21
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 試験スライダの浮上量より高さが若干高
いバンプが形成されたバンプディスクに試験スライダを
アクセスし、センサによって検出された前記試験スライ
ダと前記バンプとの衝突時の衝撃の大きさを基準値と
し、 次に、浮上保証試験を行なう磁気ディスクに前記試験ス
ライダをアクセスし、前記センサによって検出された前
記試験スライダと前記磁気ディスク上の凸部との衝撃値
が前記基準値より低い場合は、前記磁気ディスク上の凸
部が前記試験スライダの浮上量より低いと判断して前記
磁気ディスクの浮上保証を行なう磁気ディスクの浮上保
証試験方法において、 前記バンプディスクの前記バンプが設けられた円周上に
前記バンプを特定する磁気信号を記録し、 前記試験スライダに前記磁気信号を検出する磁気ヘッド
素子を設け、 前記磁気信号で前記バンプを特定した時の前記センサの
出力を前記基準値とすることを特徴とする磁気ディスク
の浮上保証試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30417895A JP3481754B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 磁気ディスクの浮上保証試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30417895A JP3481754B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 磁気ディスクの浮上保証試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09147356A JPH09147356A (ja) | 1997-06-06 |
| JP3481754B2 true JP3481754B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=17929983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30417895A Expired - Fee Related JP3481754B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 磁気ディスクの浮上保証試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3481754B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005038781A1 (en) * | 2003-10-16 | 2005-04-28 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method and mechanism of the suspension resonance optimization for the hard disk driver |
-
1995
- 1995-11-22 JP JP30417895A patent/JP3481754B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09147356A (ja) | 1997-06-06 |
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