JP3480824B2 - 工具製造装置 - Google Patents
工具製造装置Info
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- JP3480824B2 JP3480824B2 JP34558899A JP34558899A JP3480824B2 JP 3480824 B2 JP3480824 B2 JP 3480824B2 JP 34558899 A JP34558899 A JP 34558899A JP 34558899 A JP34558899 A JP 34558899A JP 3480824 B2 JP3480824 B2 JP 3480824B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- grinding wheel
- sintered
- sintered diamond
- grinding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、直径が０．３ｍｍ
以下の焼結ダイヤモンド製工具を製造する為の技術に関
する。
以下の焼結ダイヤモンド製工具を製造する為の技術に関
する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】半導体の分野において
は、シリコン基板に直径が０．１５〜０．２ｍｍの穴
（貫通穴または盲穴）を開けたり、窒化珪素基板に直径
が０．０５ｍｍ程度の穴を開けたりすることが求められ
ている。又、プラズマエッチング用電極においては、シ
リコン基板に直径が０．２〜０．３ｍｍの穴を開けるこ
とが求められている。又、センサの分野においては、ガ
ラス基板に直径が０．２〜０．３ｍｍの穴を開けること
が求められている。又、電子機器部品においては、アル
ミナ基板に直径が０．２〜０．３ｍｍの穴を開けること
が求められている。又、紡糸用ノズルにおいては、直径
が０．１ｍｍ程度の穴を開けることが求められている。
すなわち、各種の製品において、微細な径の穴を開ける
ことが求められている。
は、シリコン基板に直径が０．１５〜０．２ｍｍの穴
（貫通穴または盲穴）を開けたり、窒化珪素基板に直径
が０．０５ｍｍ程度の穴を開けたりすることが求められ
ている。又、プラズマエッチング用電極においては、シ
リコン基板に直径が０．２〜０．３ｍｍの穴を開けるこ
とが求められている。又、センサの分野においては、ガ
ラス基板に直径が０．２〜０．３ｍｍの穴を開けること
が求められている。又、電子機器部品においては、アル
ミナ基板に直径が０．２〜０．３ｍｍの穴を開けること
が求められている。又、紡糸用ノズルにおいては、直径
が０．１ｍｍ程度の穴を開けることが求められている。
すなわち、各種の製品において、微細な径の穴を開ける
ことが求められている。
【０００３】現在、窒化珪素、炭化珪素、その他セラミ
ックス等の硬質脆性材料の微細な径の穴あけ加工に用い
られている微小工具は、電着やメタルボンドにより作製
されている。しかし、磨耗が大きく、寿命が短い為、ラ
イン上で量産に使用できる状況には無い。従って、本発
明が解決しようとする課題は、寿命が長く、かつ、微細
な径の工具を製造する技術を提供することである。
ックス等の硬質脆性材料の微細な径の穴あけ加工に用い
られている微小工具は、電着やメタルボンドにより作製
されている。しかし、磨耗が大きく、寿命が短い為、ラ
イン上で量産に使用できる状況には無い。従って、本発
明が解決しようとする課題は、寿命が長く、かつ、微細
な径の工具を製造する技術を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】工具の長寿命化を図る為
には、工具材料としてはダイヤモンドが好ましい。所
謂、超硬合金と呼ばれる材料でも、ダイヤモンドに比べ
ると劣っている。従って、工具の長寿命化を図る為、工
具材料としては焼結ダイヤモンドを用いることを考え
た。
には、工具材料としてはダイヤモンドが好ましい。所
謂、超硬合金と呼ばれる材料でも、ダイヤモンドに比べ
ると劣っている。従って、工具の長寿命化を図る為、工
具材料としては焼結ダイヤモンドを用いることを考え
た。
【０００５】ところで、従来、超硬合金と呼ばれる材料
の場合には、直径が０．３ｍｍ以下、例えば０．０５ｍ
ｍのものでも得られている。と言うのは、このような微
細な径のものに加工して行っても、超硬合金の場合に
は、剛性に比べて研削抵抗が小さいことから、撓むこと
が無い為、研削加工が可能であった。しかし、超硬合金
の場合と異なって、焼結ダイヤモンドの場合には、これ
まで、直径が０．３ｍｍ以下のものに研削加工するのは
不可能と考えられて来た。
の場合には、直径が０．３ｍｍ以下、例えば０．０５ｍ
ｍのものでも得られている。と言うのは、このような微
細な径のものに加工して行っても、超硬合金の場合に
は、剛性に比べて研削抵抗が小さいことから、撓むこと
が無い為、研削加工が可能であった。しかし、超硬合金
の場合と異なって、焼結ダイヤモンドの場合には、これ
まで、直径が０．３ｍｍ以下のものに研削加工するのは
不可能と考えられて来た。
【０００６】実際、直径が０．３ｍｍ以下の焼結ダイヤ
モンド製の工具は提供されていなかった。そして、この
ような点についての研究が鋭意押し進められて行く中、
本発明者は、超音波ねじり振動研削により焼結ダイヤモ
ンドを加工した処、直径が０．３ｍｍ以下に至っても加
工が可能であることを見出すに至った。
モンド製の工具は提供されていなかった。そして、この
ような点についての研究が鋭意押し進められて行く中、
本発明者は、超音波ねじり振動研削により焼結ダイヤモ
ンドを加工した処、直径が０．３ｍｍ以下に至っても加
工が可能であることを見出すに至った。
【０００７】本発明はかかる知見に基づいて達成された
ものである。すなわち、前記の課題は、ダイヤモンド研
削用砥石を用いて焼結ダイヤモンドを研削することによ
り直径が０．３ｍｍ以下の焼結ダイヤモンド製工具を製
造する装置であって、 ダイヤモンド研削用砥石と、 前記
ダイヤモンド研削用砥石により研削加工される焼結ダイ
ヤモンド材を保持する保持手段と、 前記ダイヤモンド研
削用砥石に超音波ねじり振動を作用させる超音波ねじり
振動手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石により研削加
工される焼結ダイヤモンド材の撓みを防止する撓み防止
手段とを具備することを特徴とする焼結ダイヤモンド製
工具の製造装置によって解決される。
ものである。すなわち、前記の課題は、ダイヤモンド研
削用砥石を用いて焼結ダイヤモンドを研削することによ
り直径が０．３ｍｍ以下の焼結ダイヤモンド製工具を製
造する装置であって、 ダイヤモンド研削用砥石と、 前記
ダイヤモンド研削用砥石により研削加工される焼結ダイ
ヤモンド材を保持する保持手段と、 前記ダイヤモンド研
削用砥石に超音波ねじり振動を作用させる超音波ねじり
振動手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石により研削加
工される焼結ダイヤモンド材の撓みを防止する撓み防止
手段とを具備することを特徴とする焼結ダイヤモンド製
工具の製造装置によって解決される。
【０００８】特に、ダイヤモンド研削用砥石を用いて焼
結ダイヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍｍ
以下の焼結ダイヤモンド製工具を製造する装置であっ
て、 ダイヤモンド研削用砥石と、 前記ダイヤモンド研削
用砥石を回転駆動する回転駆動手段と、 前記ダイヤモン
ド研削用砥石に超音波ねじり振動を作用させる超音波ね
じり振動手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石により研
削加工される焼結ダイヤモンド材を回転可能に保持する
保持・回転駆動手段と、 前記焼結ダイヤモンド材を間に
挟んで前記ダイヤモンド研削用砥石と反対側の位置に設
けられた回転体とを具備することを特徴とする焼結ダイ
ヤモンド製工具の製造装置によって解決される。更に
は、ダイヤモンド研削用砥石を用いて焼結ダイヤモンド
を研削することにより直径が０．３ｍｍ以下の焼結ダイ
ヤモンド製工具を製造する装置であって、 ダイヤモンド
研削用砥石と、 前記ダイヤモンド研削用砥石を回転駆動
する回転駆動手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石に超
音波ねじり振動を作用させる超音波ねじり振動手段と、
前記ダイヤモンド研削用砥石により研削加工される焼結
ダイヤモンド材を回転可能に保持する保持・回転駆動手
段と、 前記焼結ダイヤモンド材を間に挟んで前記ダイヤ
モンド研削用砥石と反対側の位置に設けられた回転体と
を具備し、 前記ダイヤモンド研削用砥石と回転体との回
転方向は同方向であり、前記回転方向とは逆方向に焼結
ダイヤモンドが回転させられるよう構成されてなること
を特徴とする焼結ダイヤモンド製工具の製造装置によっ
て解決される。
結ダイヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍｍ
以下の焼結ダイヤモンド製工具を製造する装置であっ
て、 ダイヤモンド研削用砥石と、 前記ダイヤモンド研削
用砥石を回転駆動する回転駆動手段と、 前記ダイヤモン
ド研削用砥石に超音波ねじり振動を作用させる超音波ね
じり振動手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石により研
削加工される焼結ダイヤモンド材を回転可能に保持する
保持・回転駆動手段と、 前記焼結ダイヤモンド材を間に
挟んで前記ダイヤモンド研削用砥石と反対側の位置に設
けられた回転体とを具備することを特徴とする焼結ダイ
ヤモンド製工具の製造装置によって解決される。更に
は、ダイヤモンド研削用砥石を用いて焼結ダイヤモンド
を研削することにより直径が０．３ｍｍ以下の焼結ダイ
ヤモンド製工具を製造する装置であって、 ダイヤモンド
研削用砥石と、 前記ダイヤモンド研削用砥石を回転駆動
する回転駆動手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石に超
音波ねじり振動を作用させる超音波ねじり振動手段と、
前記ダイヤモンド研削用砥石により研削加工される焼結
ダイヤモンド材を回転可能に保持する保持・回転駆動手
段と、 前記焼結ダイヤモンド材を間に挟んで前記ダイヤ
モンド研削用砥石と反対側の位置に設けられた回転体と
を具備し、 前記ダイヤモンド研削用砥石と回転体との回
転方向は同方向であり、前記回転方向とは逆方向に焼結
ダイヤモンドが回転させられるよう構成されてなること
を特徴とする焼結ダイヤモンド製工具の製造装置によっ
て解決される。
【０００９】又、ダイヤモンド研削用砥石及び回転体を
用いて焼結ダイヤモンドを研削することにより直径が
０．３ｍｍ以下の焼結ダイヤモンド製工具を製造する方
法であって、 前記ダイヤモンド研削用砥石を回転させる
工程と、 前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振
動を作用させる工程と、 前記焼結ダイヤモンドを回転さ
せる工程と、 前記ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体
とによって前記焼結ダイヤモンドが間に挟まれて当接す
るように配する工程とを具備することを特徴とする焼結
ダイヤモンド製工具の製造方法によって解決される。特
に、ダイヤモンド研削用砥石及び回転体を用いて焼結ダ
イヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍｍ以下
の焼結ダイヤモンド製工具を製造する方法であって、 前
記ダイヤモンド研削用砥石を回転させる工程と、 前記ダ
イヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動を作用させる
工程と、 前記焼結ダイヤモンドを回転させる工程と、 前
記ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体とによって前記
焼結ダイヤモンドが間に挟まれて当接するように配する
工程とを具備し、 前記ダイヤモンド研削用砥石と回転体
との回転方向は同方向であり、前記回転方向とは逆方向
に焼結ダイヤモンドが回転させられることを特徴とする
焼結ダイヤモンド製工具の製造方法によって解決され
る。
用いて焼結ダイヤモンドを研削することにより直径が
０．３ｍｍ以下の焼結ダイヤモンド製工具を製造する方
法であって、 前記ダイヤモンド研削用砥石を回転させる
工程と、 前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振
動を作用させる工程と、 前記焼結ダイヤモンドを回転さ
せる工程と、 前記ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体
とによって前記焼結ダイヤモンドが間に挟まれて当接す
るように配する工程とを具備することを特徴とする焼結
ダイヤモンド製工具の製造方法によって解決される。特
に、ダイヤモンド研削用砥石及び回転体を用いて焼結ダ
イヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍｍ以下
の焼結ダイヤモンド製工具を製造する方法であって、 前
記ダイヤモンド研削用砥石を回転させる工程と、 前記ダ
イヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動を作用させる
工程と、 前記焼結ダイヤモンドを回転させる工程と、 前
記ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体とによって前記
焼結ダイヤモンドが間に挟まれて当接するように配する
工程とを具備し、 前記ダイヤモンド研削用砥石と回転体
との回転方向は同方向であり、前記回転方向とは逆方向
に焼結ダイヤモンドが回転させられることを特徴とする
焼結ダイヤモンド製工具の製造方法によって解決され
る。
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明になる焼結ダイヤモンド製
工具の製造装置は、ダイヤモンド研削用砥石を用いて焼
結ダイヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍｍ
以下（特に、０．３ｍｍ未満。０．０１ｍｍ以上）の焼
結ダイヤモンド製工具を製造する装置であって、ダイヤ
モンド研削用砥石と、前記ダイヤモンド研削用砥石によ
り研削加工される焼結ダイヤモンド材を保持する保持手
段と、前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動
を作用させる超音波ねじり振動手段と、前記ダイヤモン
ド研削用砥石により研削加工される焼結ダイヤモンド材
の撓みを防止する撓み防止手段とを具備する。特に、ダ
イヤモンド研削用砥石を用いて焼結ダイヤモンドを研削
することにより直径が０．３ｍｍ以下（特に、０．３ｍ
ｍ未満。０．０１ｍｍ以上）の焼結ダイヤモンド製工具
を製造する装置であって、ダイヤモンド研削用砥石と、
前記ダイヤモンド研削用砥石を回転駆動する回転駆動手
段と、前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動
を作用させる超音波ねじり振動手段と、前記ダイヤモン
ド研削用砥石により研削加工される焼結ダイヤモンド材
を回転可能に保持する保持・回転駆動手段と、前記焼結
ダイヤモンド材を間に挟んで前記ダイヤモンド研削用砥
石と反対側の位置に設けられた回転体とを具備する。前
記ダイヤモンド研削用砥石と回転体との回転方向は同方
向であり、前記回転方向とは逆方向に焼結ダイヤモンド
が回転させられるよう構成されている。
工具の製造装置は、ダイヤモンド研削用砥石を用いて焼
結ダイヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍｍ
以下（特に、０．３ｍｍ未満。０．０１ｍｍ以上）の焼
結ダイヤモンド製工具を製造する装置であって、ダイヤ
モンド研削用砥石と、前記ダイヤモンド研削用砥石によ
り研削加工される焼結ダイヤモンド材を保持する保持手
段と、前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動
を作用させる超音波ねじり振動手段と、前記ダイヤモン
ド研削用砥石により研削加工される焼結ダイヤモンド材
の撓みを防止する撓み防止手段とを具備する。特に、ダ
イヤモンド研削用砥石を用いて焼結ダイヤモンドを研削
することにより直径が０．３ｍｍ以下（特に、０．３ｍ
ｍ未満。０．０１ｍｍ以上）の焼結ダイヤモンド製工具
を製造する装置であって、ダイヤモンド研削用砥石と、
前記ダイヤモンド研削用砥石を回転駆動する回転駆動手
段と、前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動
を作用させる超音波ねじり振動手段と、前記ダイヤモン
ド研削用砥石により研削加工される焼結ダイヤモンド材
を回転可能に保持する保持・回転駆動手段と、前記焼結
ダイヤモンド材を間に挟んで前記ダイヤモンド研削用砥
石と反対側の位置に設けられた回転体とを具備する。前
記ダイヤモンド研削用砥石と回転体との回転方向は同方
向であり、前記回転方向とは逆方向に焼結ダイヤモンド
が回転させられるよう構成されている。
【００１４】本発明になる焼結ダイヤモンド製工具の製
造方法は、ダイヤモンド研削用砥石及び回転体を用いて
焼結ダイヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍ
ｍ以下（特に、０．３ｍｍ未満。０．０１ｍｍ以上）の
焼結ダイヤモンド製工具を製造する方法であって、前記
ダイヤモンド研削用砥石を回転させる工程と、前記ダイ
ヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動を作用させる工
程と、前記焼結ダイヤモンドを回転させる工程と、前記
ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体とによって前記焼
結ダイヤモンドが間に挟まれて当接するように配する工
程とを具備する。特に、ダイヤモンド研削用砥石及び回
転体を用いて焼結ダイヤモンドを研削することにより直
径が０．３ｍｍ以下（特に、０．３ｍｍ未満。０．０１
ｍｍ以上）の焼結ダイヤモンド製工具を製造する方法で
あって、前記ダイヤモンド研削用砥石を回転させる工程
と、前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動を
作用させる工程と、前記焼結ダイヤモンドを回転させる
工程と、前記ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体とに
よって前記焼結ダイヤモンドが間に挟まれて当接するよ
うに配する工程とを具備し、前記ダイヤモンド研削用砥
石と回転体との回転方向は同方向であり、前記回転方向
とは逆方向に焼結ダイヤモンドが回転させられる。
造方法は、ダイヤモンド研削用砥石及び回転体を用いて
焼結ダイヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍ
ｍ以下（特に、０．３ｍｍ未満。０．０１ｍｍ以上）の
焼結ダイヤモンド製工具を製造する方法であって、前記
ダイヤモンド研削用砥石を回転させる工程と、前記ダイ
ヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動を作用させる工
程と、前記焼結ダイヤモンドを回転させる工程と、前記
ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体とによって前記焼
結ダイヤモンドが間に挟まれて当接するように配する工
程とを具備する。特に、ダイヤモンド研削用砥石及び回
転体を用いて焼結ダイヤモンドを研削することにより直
径が０．３ｍｍ以下（特に、０．３ｍｍ未満。０．０１
ｍｍ以上）の焼結ダイヤモンド製工具を製造する方法で
あって、前記ダイヤモンド研削用砥石を回転させる工程
と、前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動を
作用させる工程と、前記焼結ダイヤモンドを回転させる
工程と、前記ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体とに
よって前記焼結ダイヤモンドが間に挟まれて当接するよ
うに配する工程とを具備し、前記ダイヤモンド研削用砥
石と回転体との回転方向は同方向であり、前記回転方向
とは逆方向に焼結ダイヤモンドが回転させられる。
【００１５】以下、更に詳しく説明する。図１は本発明
になる焼結ダイヤモンド製工具製造装置の全体概略図、
図２及び図３は本発明になる焼結ダイヤモンド製工具製
造装置を用いた超音波ねじり振動研削加工の説明図であ
る。各図中、１は、超音波ねじり振動研削加工がなされ
て作製される工具となる焼結ダイヤモンド材１ａが設け
られたワークである。尚、ワーク１は、焼結ダイヤモン
ド材（長さは、例えば０．５〜３ｍｍ）１ａが設けられ
た基部（例えば、ＷＣ等の超硬合金材）１ｂ側がワーク
チャック２に保持されるようになっている。そして、ワ
ークチャック２は回転駆動手段からの力を受けて回転す
るように構成されている。
になる焼結ダイヤモンド製工具製造装置の全体概略図、
図２及び図３は本発明になる焼結ダイヤモンド製工具製
造装置を用いた超音波ねじり振動研削加工の説明図であ
る。各図中、１は、超音波ねじり振動研削加工がなされ
て作製される工具となる焼結ダイヤモンド材１ａが設け
られたワークである。尚、ワーク１は、焼結ダイヤモン
ド材（長さは、例えば０．５〜３ｍｍ）１ａが設けられ
た基部（例えば、ＷＣ等の超硬合金材）１ｂ側がワーク
チャック２に保持されるようになっている。そして、ワ
ークチャック２は回転駆動手段からの力を受けて回転す
るように構成されている。
【００１６】３は、ワークチャック２に保持されたワー
ク１の先端部側にある焼結ダイヤモンド材１ａ及び超硬
合金製基部１ｂを研削加工するダイヤモンド砥石であ
る。尚、この砥石３は、図３からも判る通り、回転可能
に取り付けられている。そして、砥石３は駆動源からの
回転駆動力をベルト４を介して受け、焼結ダイヤモンド
材１ａや超硬合金製基部１ｂに接触し、これを研削加工
する。
ク１の先端部側にある焼結ダイヤモンド材１ａ及び超硬
合金製基部１ｂを研削加工するダイヤモンド砥石であ
る。尚、この砥石３は、図３からも判る通り、回転可能
に取り付けられている。そして、砥石３は駆動源からの
回転駆動力をベルト４を介して受け、焼結ダイヤモンド
材１ａや超硬合金製基部１ｂに接触し、これを研削加工
する。
【００１７】５は回転体であり、この回転体５はワーク
１に当接するよう、かつ、ワーク１を挟んで砥石３の反
対側に設けられたものである。これにより、回転体５
は、ワーク１の撓みを防止する機能を奏する。６は超音
波発振器であり、図示しないホーンなどを介して超音波
ねじり振動が砥石３に作用させられる。従って、焼結ダ
イヤモンド材１ａや超硬合金製基部１ｂは、超音波ねじ
り振動を受けた砥石３によって研削加工される。
１に当接するよう、かつ、ワーク１を挟んで砥石３の反
対側に設けられたものである。これにより、回転体５
は、ワーク１の撓みを防止する機能を奏する。６は超音
波発振器であり、図示しないホーンなどを介して超音波
ねじり振動が砥石３に作用させられる。従って、焼結ダ
イヤモンド材１ａや超硬合金製基部１ｂは、超音波ねじ
り振動を受けた砥石３によって研削加工される。
【００１８】上記装置を用いて焼結ダイヤモンド材を超
音波ねじり振動研削加工した。すなわち、図３に示す如
く、例えば反時計方向に回転する焼結ダイヤモンド材１
ａや超硬合金製基部１ｂに、時計方向に回転すると共に
周辺部が超音波ねじり振動する砥石３を押し当て、研削
加工した。その結果、これまで不可能と思われて来た直
径が０．０５〜０．３ｍｍの微細穴加工用の焼結ダイヤ
モンド製工具が得られた。
音波ねじり振動研削加工した。すなわち、図３に示す如
く、例えば反時計方向に回転する焼結ダイヤモンド材１
ａや超硬合金製基部１ｂに、時計方向に回転すると共に
周辺部が超音波ねじり振動する砥石３を押し当て、研削
加工した。その結果、これまで不可能と思われて来た直
径が０．０５〜０．３ｍｍの微細穴加工用の焼結ダイヤ
モンド製工具が得られた。
【００１９】この工具は、焼結ダイヤモンド材からなる
ので、超硬合金製のものに比べて遙に長寿命なものであ
った。
ので、超硬合金製のものに比べて遙に長寿命なものであ
った。
【００２０】
【発明の効果】超硬合金製のものに比べて遙に長寿命で
あり、そして直径が０．３ｍｍ以下の微細穴加工用の焼
結ダイヤモンド製工具が得られる。
あり、そして直径が０．３ｍｍ以下の微細穴加工用の焼
結ダイヤモンド製工具が得られる。
【図１】焼結ダイヤモンド製工具製造装置の全体概略図
【図２】超音波ねじり振動研削加工の説明図
【図３】超音波ねじり振動研削加工の説明図
１ ワーク
１ａ 焼結ダイヤモンド材
１ｂ 基部
２ ワークチャック（保持手段）
３ ダイヤモンド砥石
５ 回転体（撓み防止手段）
６ 超音波発振器（超音波ねじり振動手段）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B24B 1/04
Claims (2)
- 【請求項１】 ダイヤモンド研削用砥石を用いて焼結ダ
イヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍｍ以下
の焼結ダイヤモンド製工具を製造する装置であって、 ダイヤモンド研削用砥石と、 前記ダイヤモンド研削用砥石により研削加工される焼結
ダイヤモンド材を保持する保持手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動を作用
させる超音波ねじり振動手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石により研削加工される焼結
ダイヤモンド材の撓みを防止する撓み防止手段とを具備
することを特徴とする焼結ダイヤモンド製工具の製造装
置。 - 【請求項２】 ダイヤモンド研削用砥石を用いて焼結ダ
イヤモンドを研削することにより直径が０．３ｍｍ以下
の焼結ダイヤモンド製工具を製造する装置であって、 ダイヤモンド研削用砥石と、 前記ダイヤモンド研削用砥石を回転駆動する回転駆動手
段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石に超音波ねじり振動を作用
させる超音波ねじり振動手段と、 前記ダイヤモンド研削用砥石により研削加工される焼結
ダイヤモンド材を回転可能に保持する保持・回転駆動手
段と、 前記焼結ダイヤモンド材を間に挟んで前記ダイヤモンド
研削用砥石と反対側の位置に設けられた回転体とを具備
し、 前記ダイヤモンド研削用砥石と前記回転体との回転方向
は同方向であり、前記回転方向とは逆方向に前記焼結ダ
イヤモンドが回転させられるよう構成されてなる ことを
特徴とする焼結ダイヤモンド製工具の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34558899A JP3480824B2 (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 工具製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34558899A JP3480824B2 (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 工具製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001162492A JP2001162492A (ja) | 2001-06-19 |
| JP3480824B2 true JP3480824B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=18377619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34558899A Expired - Lifetime JP3480824B2 (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 工具製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3480824B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114683097B (zh) * | 2022-03-07 | 2023-06-02 | 广州大学 | 一种圆柱滚子轴承滚动体超声强化加工系统和方法 |
-
1999
- 1999-12-06 JP JP34558899A patent/JP3480824B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001162492A (ja) | 2001-06-19 |
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