JP3479230B2 - 導電型キャピラリープレートによるガス放射線検出器 - Google Patents
導電型キャピラリープレートによるガス放射線検出器Info
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- JP3479230B2 JP3479230B2 JP1019699A JP1019699A JP3479230B2 JP 3479230 B2 JP3479230 B2 JP 3479230B2 JP 1019699 A JP1019699 A JP 1019699A JP 1019699 A JP1019699 A JP 1019699A JP 3479230 B2 JP3479230 B2 JP 3479230B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電型キャピラリ
ープレート（Ｃａｐｉｌｌａｒｙ ｐｌａｔｅ）による
ガス放射線検出器に関するものである。
ープレート（Ｃａｐｉｌｌａｒｙ ｐｌａｔｅ）による
ガス放射線検出器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＭＳＧＣ（マイクロストリップガスチャ
ンバー）は、高い位置分解能と時間分解能を持つ新しい
タイプのガス増幅型粒子線検出器として、１９８８年に
Ａ．Ｏｅｄによって提案された。さらに、本願発明者等
は、この検出器を二次元化し、画像検出器として提案し
ている。この検出器の特徴として、高い位置分解能の他
に、ガス増幅器としては極めて不感時間が短いことが挙
げられており、高輝度の粒子線に対する検出器としても
大きな期待が持たれている。
ンバー）は、高い位置分解能と時間分解能を持つ新しい
タイプのガス増幅型粒子線検出器として、１９８８年に
Ａ．Ｏｅｄによって提案された。さらに、本願発明者等
は、この検出器を二次元化し、画像検出器として提案し
ている。この検出器の特徴として、高い位置分解能の他
に、ガス増幅器としては極めて不感時間が短いことが挙
げられており、高輝度の粒子線に対する検出器としても
大きな期待が持たれている。
【０００３】現在、Ｘ線を用いたテストでは毎秒、１平
方ｍｍ当たり１０７カウント以上の輝度の下でも動作に
支障がないことが確かめられている。
方ｍｍ当たり１０７カウント以上の輝度の下でも動作に
支障がないことが確かめられている。
【０００４】この種の高利得ガス放射線検出器として
は、本願発明者等により既に提案された特願平１０−８
９７５０号（特許第２８４３３１９号）がある。
は、本願発明者等により既に提案された特願平１０−８
９７５０号（特許第２８４３３１９号）がある。
【０００５】図６はかかる従来のガス放射線検出器（Ｍ
ＳＧＣ）の分解斜視図、図７はそのガス放射線検出器
（ＭＳＧＣ）のデータ収集システムの全体構成を示すブ
ロック図である。
ＳＧＣ）の分解斜視図、図７はそのガス放射線検出器
（ＭＳＧＣ）のデータ収集システムの全体構成を示すブ
ロック図である。
【０００６】図６において、２次元イメージ素子である
ＭＳＧＣ１０２は、基板１、陽極ストリップ２、陰極ス
トリップ３を備え、その陽極ストリップ２と陰極ストリ
ップ３とは交互に配置されている。
ＭＳＧＣ１０２は、基板１、陽極ストリップ２、陰極ス
トリップ３を備え、その陽極ストリップ２と陰極ストリ
ップ３とは交互に配置されている。
【０００７】また、ベース基板４、そのベース基板４上
に形成されるとともに基板１の下層に位置するバックス
トリップ５を有する。
に形成されるとともに基板１の下層に位置するバックス
トリップ５を有する。
【０００８】更に、このようにして形成される素子上に
は約１ｃｍの間隔Ｄ１を隔ててドリフト板６が配置さ
れ、例えば、アルゴンとエタンからなるガスが流通する
チャンバーが形成される。なお、７は増幅器である。
は約１ｃｍの間隔Ｄ１を隔ててドリフト板６が配置さ
れ、例えば、アルゴンとエタンからなるガスが流通する
チャンバーが形成される。なお、７は増幅器である。
【０００９】図７に示すように、マザーボード１０１に
は、２次元ＭＳＧＣ（以下、単にＭＳＧＣという）１０
２、前置増幅器・波高弁別器１０３，１０４、前置増幅
器１０５が搭載される。
は、２次元ＭＳＧＣ（以下、単にＭＳＧＣという）１０
２、前置増幅器・波高弁別器１０３，１０４、前置増幅
器１０５が搭載される。
【００１０】また、ＭＳＧＣ１０２の陽極からの出力信
号を処理する第１の信号同期化回路１１１、ＭＳＧＣ１
０２の背面電極（バックストリップ）からの出力信号を
処理する第２の信号同期化回路１１２、第１の信号同期
化回路１１１に接続される第１のエンコーダ１１３、第
２の信号同期化回路１１２に接続される第２のエンコー
ダ１１４、入射粒子線のヒット判定回路１１５、大容量
記憶装置１１６、コンピュータ１１７により、データ収
集システム１１０を構築している。
号を処理する第１の信号同期化回路１１１、ＭＳＧＣ１
０２の背面電極（バックストリップ）からの出力信号を
処理する第２の信号同期化回路１１２、第１の信号同期
化回路１１１に接続される第１のエンコーダ１１３、第
２の信号同期化回路１１２に接続される第２のエンコー
ダ１１４、入射粒子線のヒット判定回路１１５、大容量
記憶装置１１６、コンピュータ１１７により、データ収
集システム１１０を構築している。
【００１１】また、ＭＳＧＣ１０２の陰極は、前置増幅
器１０５−アナログ・ディジタル変換器（ＡＤＣ）１０
６を介して大容量記憶装置１１６に接続されている。
器１０５−アナログ・ディジタル変換器（ＡＤＣ）１０
６を介して大容量記憶装置１１６に接続されている。
【００１２】しかし、ＭＳＧＣの実用化にあたっての最
大の難問の一つに、電極間の放電による電極の破壊が挙
げられる。ＭＳＧＣでは、５０μｍ以下の間隔の電極間
に、電圧をかけるため、高いガス増幅率を得るために高
い電圧をかけると、電極間に放電による大電流が流れ、
放電による熱で電極ストリップが切断されたり、その破
片などが表面絶縁層に付着するなどして、電極間を導通
させる障害が頻繁に起こっていた。
大の難問の一つに、電極間の放電による電極の破壊が挙
げられる。ＭＳＧＣでは、５０μｍ以下の間隔の電極間
に、電圧をかけるため、高いガス増幅率を得るために高
い電圧をかけると、電極間に放電による大電流が流れ、
放電による熱で電極ストリップが切断されたり、その破
片などが表面絶縁層に付着するなどして、電極間を導通
させる障害が頻繁に起こっていた。
【００１３】この解決策の一つとして、ガス増幅過程に
よる増幅をＭＳＧＣのみに頼らず、電子のドリフト領域
中に中間ガス増幅器をつけることでＭＳＧＣのガス増幅
率を低く抑える方法が、これまでに考えられている。
よる増幅をＭＳＧＣのみに頼らず、電子のドリフト領域
中に中間ガス増幅器をつけることでＭＳＧＣのガス増幅
率を低く抑える方法が、これまでに考えられている。
【００１４】（１）ＣＥＲＮのグループでは、絶縁体薄
膜の両面に導電体をコーティングし、さらに数１０μｍ
の大きさの穴をほぼ隙間なく空けた、ＧＥＭ（Ｇａｓ
Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒ）を用いるこ
とによって、ドリフト領域中で１０００倍程度のガス増
幅を実現している。
膜の両面に導電体をコーティングし、さらに数１０μｍ
の大きさの穴をほぼ隙間なく空けた、ＧＥＭ（Ｇａｓ
Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒ）を用いるこ
とによって、ドリフト領域中で１０００倍程度のガス増
幅を実現している。
【００１５】（２）本願発明者等や山形大学のグループ
においては、ガラスの毛細管を並べた板（キャピラリー
プレート）の両面に電極をつけたもので、ＧＥＭ同様ド
リフト領域中のガス増幅を実現することに成功してい
る。
においては、ガラスの毛細管を並べた板（キャピラリー
プレート）の両面に電極をつけたもので、ＧＥＭ同様ド
リフト領域中のガス増幅を実現することに成功してい
る。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
はいずれも、ガス増幅をしている部分と絶縁体部分が非
常に接近しているため、ある程度以上の放射線の入射に
おいては、絶縁体部分における電荷の蓄積によって、増
幅率が急激に減少してしまうという問題点があり、この
ままでは、中間ガス増幅器を用いた検出器は、ほとんど
実用にならない状態であった。
はいずれも、ガス増幅をしている部分と絶縁体部分が非
常に接近しているため、ある程度以上の放射線の入射に
おいては、絶縁体部分における電荷の蓄積によって、増
幅率が急激に減少してしまうという問題点があり、この
ままでは、中間ガス増幅器を用いた検出器は、ほとんど
実用にならない状態であった。
【００１７】ところで、ＭＳＧＣの特徴の一つとして
は、これまでのガス増幅型放射線検出器と比較して非常
に優れた高入射許容量（１０７ｃｐｓ／ｍｍ２以上）を
持つことが挙げられる。そのため、ＭＳＧＣの特性を改
善させるために中間増幅器を挿入するには、これに見合
うだけの入射許容量を持ったものを開発することが要求
される。これまで、従来のキャプラリープレートとＭＳ
ＧＣを組み合わせた試験では、１０２ｃｐｓ／ｍｍ２程
度のＸ線の入射量によって、数秒の内にガス増幅率が急
激に低下した。
は、これまでのガス増幅型放射線検出器と比較して非常
に優れた高入射許容量（１０７ｃｐｓ／ｍｍ２以上）を
持つことが挙げられる。そのため、ＭＳＧＣの特性を改
善させるために中間増幅器を挿入するには、これに見合
うだけの入射許容量を持ったものを開発することが要求
される。これまで、従来のキャプラリープレートとＭＳ
ＧＣを組み合わせた試験では、１０２ｃｐｓ／ｍｍ２程
度のＸ線の入射量によって、数秒の内にガス増幅率が急
激に低下した。
【００１８】実用を考えれば、１０６ｃｐｓ／ｍｍ２程
度のＸ線入射量でも長期的（数時間以上）に安定して動
作するものを実現させる必要がある。
度のＸ線入射量でも長期的（数時間以上）に安定して動
作するものを実現させる必要がある。
【００１９】本発明は、上記問題点を除去し、毛細管表
面のガラスに導電性を持たせることにより、ガス増幅に
よって生成されたイオンを取り除き、強度の大きいＸ線
照射に対しても高利得で安定に動作する導電型キャピラ
リープレートによるガス放射線検出器を提供することを
目的とする。
面のガラスに導電性を持たせることにより、ガス増幅に
よって生成されたイオンを取り除き、強度の大きいＸ線
照射に対しても高利得で安定に動作する導電型キャピラ
リープレートによるガス放射線検出器を提供することを
目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕導電型キャピラリープレートによるガス放射線検
出器において、（ａ）穴を有するキャピラリープレート
本体と、このキャピラリープレート本体の両面に形成さ
れる金属メッキと、前記キャピラリープレート本体の穴
の表面に形成される前記金属メッキよりは抵抗率の高い
導電性メタルを有する導電型キャピラリープレートと、
（ｂ）この導電型キャピラリープレートによって、ガス
増幅するとともに、このガス増幅によって生成されたイ
オンが取り除かれた電子を取り込むＭＳＧＣとを具備す
るようにしたものである。
成するために、 〔１〕導電型キャピラリープレートによるガス放射線検
出器において、（ａ）穴を有するキャピラリープレート
本体と、このキャピラリープレート本体の両面に形成さ
れる金属メッキと、前記キャピラリープレート本体の穴
の表面に形成される前記金属メッキよりは抵抗率の高い
導電性メタルを有する導電型キャピラリープレートと、
（ｂ）この導電型キャピラリープレートによって、ガス
増幅するとともに、このガス増幅によって生成されたイ
オンが取り除かれた電子を取り込むＭＳＧＣとを具備す
るようにしたものである。
【００２１】〔２〕上記〔１〕記載の導電型キャピラリ
ープレートによるガス放射線検出器において、前記キャ
ピラリープレート本体の材質が鉛ガラスであり、前記導
電性メタルが酸化鉛が還元された鉛である。
ープレートによるガス放射線検出器において、前記キャ
ピラリープレート本体の材質が鉛ガラスであり、前記導
電性メタルが酸化鉛が還元された鉛である。
【００２２】〔３〕導電型キャピラリープレートによる
ガス放射線検出器において、（ａ）毛細管表面のガラス
に導電性を持たせることにより、Ｘ線照射に対しても安
定に動作する前段増幅器と、（ｂ）この前段増幅器の後
面に配置される読み出し用の電極を有するＭＳＧＣとを
具備するようにしたものである。
ガス放射線検出器において、（ａ）毛細管表面のガラス
に導電性を持たせることにより、Ｘ線照射に対しても安
定に動作する前段増幅器と、（ｂ）この前段増幅器の後
面に配置される読み出し用の電極を有するＭＳＧＣとを
具備するようにしたものである。
【００２３】〔４〕上記〔３〕記載の導電型キャピラリ
ープレートによるガス放射線検出器において、前記ＭＳ
ＧＣが約１ｋｅｖ〜１０ｋｅｖのＸ線を検出可能とする
ようにしたものである。
ープレートによるガス放射線検出器において、前記ＭＳ
ＧＣが約１ｋｅｖ〜１０ｋｅｖのＸ線を検出可能とする
ようにしたものである。
【００２４】〔５〕上記〔３〕記載の導電型キャピラリ
ープレートによるガス放射線検出器において、前記Ｘ線
照射は約１０５ｃｐｓ／ｍｍ２以上で１０６ｃｐｓ／ｍ
ｍ２以下であるようにしたものである。
ープレートによるガス放射線検出器において、前記Ｘ線
照射は約１０５ｃｐｓ／ｍｍ２以上で１０６ｃｐｓ／ｍ
ｍ２以下であるようにしたものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら詳細に説明する。
を参照しながら詳細に説明する。
【００２６】図１は本発明の実施例を示す導電型キャピ
ラリープレートによるガス放射線検出器の要部模式図、
図２はその導電型キャピラリープレートの部分拡大斜視
図、図３はその導電型キャピラリープレートによるガス
放射線検出器の断面模式図、図４はその導電型キャピラ
リープレートによるガス放射線検出器の要部平面模式図
である。
ラリープレートによるガス放射線検出器の要部模式図、
図２はその導電型キャピラリープレートの部分拡大斜視
図、図３はその導電型キャピラリープレートによるガス
放射線検出器の断面模式図、図４はその導電型キャピラ
リープレートによるガス放射線検出器の要部平面模式図
である。
【００２７】これらの図において、２０１はＭＳＧＣ、
２０２は導電型キャピラリープレート、２０３，２０４
は導電型キャピラリープレート２０２に接続される接続
導体、２０５はドリフト板である。
２０２は導電型キャピラリープレート、２０３，２０４
は導電型キャピラリープレート２０２に接続される接続
導体、２０５はドリフト板である。
【００２８】ここで、ＭＳＧＣ２０１と導電型キャピラ
リープレート２０２との距離Ｌ１は例えば５ｍｍであ
り、これらの間への印加電圧Ｖ１は０．５ｋＶ、導電型
キャピラリープレート２０２とドリフト板２０５との距
離Ｌ２は例えば７ｍｍであり、これらの間への印加電圧
Ｖ２は約１００Ｖ、また、接続導体２０３と２０４間に
は、１ｋＶ〜２ｋＶを印加する。
リープレート２０２との距離Ｌ１は例えば５ｍｍであ
り、これらの間への印加電圧Ｖ１は０．５ｋＶ、導電型
キャピラリープレート２０２とドリフト板２０５との距
離Ｌ２は例えば７ｍｍであり、これらの間への印加電圧
Ｖ２は約１００Ｖ、また、接続導体２０３と２０４間に
は、１ｋＶ〜２ｋＶを印加する。
【００２９】また、図３及び図４に示すように、導電型
キャピラリープレート２０２は両面の周囲を電極板２０
６，２０７に挟まれており、ガスチェンバーの表面板２
０９から垂下される支持部材２１０に支持されるように
なっている。その電極板２０６，２０７には接続導体２
０３，２０４が接続されて導出されている。
キャピラリープレート２０２は両面の周囲を電極板２０
６，２０７に挟まれており、ガスチェンバーの表面板２
０９から垂下される支持部材２１０に支持されるように
なっている。その電極板２０６，２０７には接続導体２
０３，２０４が接続されて導出されている。
【００３０】また、ＭＳＧＣ２０１を囲うように枠部材
２０８が形成されており、その上部の封止部材２１３を
介して枠状の表面板２０９が配置されている。この表面
板２０９の中央部にはドリフト板２０５が張られてい
る。
２０８が形成されており、その上部の封止部材２１３を
介して枠状の表面板２０９が配置されている。この表面
板２０９の中央部にはドリフト板２０５が張られてい
る。
【００３１】次に、上記導電型キャピラリープレート２
０２の構造を図２を用いて詳細に説明する。
０２の構造を図２を用いて詳細に説明する。
【００３２】図２において、２０２Ａは材質が鉛ガラス
からなる導電型キャピラリープレート本体であり、厚さ
Ｌ３は１ｍｍ、この導電型キャピラリープレート本体２
０２Ａには、直径Ｌ４（１００μｍ）の穴２０２Ｂが約
１３０μｍピッチで、細密状に並んでいる。このキャピ
ラリープレート本体２０２Ａの両面には、金属メッキ２
０２Ｃが形成されており、穴２０２Ｂの両側に高電圧を
かけることにより、穴２０２Ｂの内部にガス増幅に必要
な高電場を作り出すことができる。穴２０２Ｂの内壁に
あたる部分は、鉛ガラスを水素で還元することによっ
て、高い抵抗率の導電性メタル（一つの穴当たり、２〜
３×１０１３Ω、ここでは、鉛）２０２Ｄを得ており、
これによって、穴２０２Ｂの内壁への電荷の付着を防止
するようにしている。
からなる導電型キャピラリープレート本体であり、厚さ
Ｌ３は１ｍｍ、この導電型キャピラリープレート本体２
０２Ａには、直径Ｌ４（１００μｍ）の穴２０２Ｂが約
１３０μｍピッチで、細密状に並んでいる。このキャピ
ラリープレート本体２０２Ａの両面には、金属メッキ２
０２Ｃが形成されており、穴２０２Ｂの両側に高電圧を
かけることにより、穴２０２Ｂの内部にガス増幅に必要
な高電場を作り出すことができる。穴２０２Ｂの内壁に
あたる部分は、鉛ガラスを水素で還元することによっ
て、高い抵抗率の導電性メタル（一つの穴当たり、２〜
３×１０１３Ω、ここでは、鉛）２０２Ｄを得ており、
これによって、穴２０２Ｂの内壁への電荷の付着を防止
するようにしている。
【００３３】このキャピラリープレート２０２は、図１
に示したように、ＭＳＧＣ２０１のドリフト領域中に置
くことによって、ＭＳＧＣ２０１に到達する電子を増幅
し、ＭＳＧＣ２０１の増幅率自体は低くても読み出しに
十分な信号の大きさを得ることができる。
に示したように、ＭＳＧＣ２０１のドリフト領域中に置
くことによって、ＭＳＧＣ２０１に到達する電子を増幅
し、ＭＳＧＣ２０１の増幅率自体は低くても読み出しに
十分な信号の大きさを得ることができる。
【００３４】図５は本発明によるキャピラリープレート
とＭＳＧＣの組み合わせにより得られた、大強度下のＸ
線によるガス増幅率の変化を示す図であり、縦軸は観測
された導電型キャピラリープレートによるガス増幅率
を、横軸は照射するＸ線の強度を示す。この図におい
て、横軸は対数目盛になっている。
とＭＳＧＣの組み合わせにより得られた、大強度下のＸ
線によるガス増幅率の変化を示す図であり、縦軸は観測
された導電型キャピラリープレートによるガス増幅率
を、横軸は照射するＸ線の強度を示す。この図におい
て、横軸は対数目盛になっている。
【００３５】この結果から示されるように、少なくとも
１０５ｃｐｓ／ｍｍ２までの強度のＸ線入射に対して
は、増幅率の減少はほとんど観測されない。この結果で
はむしろ増幅率が若干増加する傾向にあるが、これはほ
とんど測定誤差のうちである。
１０５ｃｐｓ／ｍｍ２までの強度のＸ線入射に対して
は、増幅率の減少はほとんど観測されない。この結果で
はむしろ増幅率が若干増加する傾向にあるが、これはほ
とんど測定誤差のうちである。
【００３６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００３７】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。
【００３８】（Ａ）毛細管表面のガラスに導電性を持た
せることにより、ガス増幅によって生成されたイオンを
取り除き、約１０５ 〜１０６ｃｐｓ／ｍｍ２という大強
度のＸ線照射に対しても高利得で安定に動作させること
ができる。
せることにより、ガス増幅によって生成されたイオンを
取り除き、約１０５ 〜１０６ｃｐｓ／ｍｍ２という大強
度のＸ線照射に対しても高利得で安定に動作させること
ができる。
【００３９】（Ｂ）さらに、これをＭＳＧＣの前面に取
り付け、前段増幅器と使用することで高利得の安定した
リアルタイムＸ線画像検出器を実現した。
り付け、前段増幅器と使用することで高利得の安定した
リアルタイムＸ線画像検出器を実現した。
【図１】本発明の実施例を示す導電型キャピラリープレ
ートによるガス放射線検出器の要部模式図である。
ートによるガス放射線検出器の要部模式図である。
【図２】本発明の実施例を示す導電型キャピラリープレ
ートの部分拡大斜視図である。
ートの部分拡大斜視図である。
【図３】本発明の実施例を示す導電型キャピラリープレ
ートによるガス放射線検出器の断面模式図である。
ートによるガス放射線検出器の断面模式図である。
【図４】本発明の実施例を示す導電型キャピラリープレ
ートによるガス放射線検出器の要部平面模式図である。
ートによるガス放射線検出器の要部平面模式図である。
【図５】本発明によるキャピラリープレートとＭＳＧＣ
の組み合わせにより得られた、大強度下のＸ線によるガ
ス増幅率の変化を示す図である。
の組み合わせにより得られた、大強度下のＸ線によるガ
ス増幅率の変化を示す図である。
【図６】従来のガス放射線検出器（ＭＳＧＣ）の分解斜
視図である。
視図である。
【図７】従来のガス放射線検出器（ＭＳＧＣ）のデータ
収集システムの全体構成を示すブロック図である。
収集システムの全体構成を示すブロック図である。
２０１ ＭＳＧＣ
２０２ 導電型キャピラリープレート
２０２Ａ 導電型キャピラリープレート本体
２０２Ｂ 穴
２０２Ｃ 金属メッキ
２０２Ｄ 高い抵抗率の導電性メタル
２０３，２０４ 導電型キャピラリープレートに接続
される接続導体 ２０５ ドリフト板 ２０６，２０７ 電極板 ２０８ 枠部材 ２０９ 透光性の表面板 ２１０ 支持部材 ２１３ 封止部材
される接続導体 ２０５ ドリフト板 ２０６，２０７ 電極板 ２０８ 枠部材 ２０９ 透光性の表面板 ２１０ 支持部材 ２１３ 封止部材
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フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平６−176734（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−300856（ＪＰ，Ａ)
特表 平９−508750（ＪＰ，Ａ)
特表 平10−501622（ＪＰ，Ａ)
特表2001−508935（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01T 1/167
G01T 1/00
Claims (5)
- 【請求項１】 導電型キャピラリープレートによるガス
放射線検出器において、 （ａ）穴を有するキャピラリープレート本体と、該キャ
ピラリープレート本体の両面に形成される金属メッキ
と、前記キャピラリープレート本体の穴の表面に形成さ
れる前記金属メッキよりは抵抗率の高い導電性メタルを
有する導電型キャピラリープレートと、 （ｂ）該導電型キャピラリープレートによって、ガス増
幅するとともに、該ガス増幅によって生成されたイオン
が取り除かれた電子を取り込むＭＳＧＣとを具備するこ
とを特徴とする導電型キャピラリープレートによるガス
放射線検出器。 - 【請求項２】 請求項１記載の導電型キャピラリープレ
ートによるガス放射線検出器において、前記キャピラリ
ープレート本体の材質が鉛ガラスであり、前記導電性メ
タルが酸化鉛が還元された鉛であることを特徴とする導
電型キャピラリープレートによるガス放射線検出器。 - 【請求項３】 導電型キャピラリープレートによるガス
放射線検出器において、 （ａ）毛細管表面のガラスに導電性を持たせることによ
り、Ｘ線照射に対しても安定に動作する前段増幅器と、 （ｂ）該前段増幅器の後面に配置される読み出し用の電
極を有するＭＳＧＣとを具備することを特徴とする導電
型キャピラリープレートによるガス放射線検出器。 - 【請求項４】 請求項３記載の導電型キャピラリープレ
ートによるガス放射線検出器において、前記ＭＳＧＣが
約１ｋｅｖ〜１０ｋｅｖのＸ線を検出可能とすることを
特徴とする導電型キャピラリープレートによるガス放射
線検出器。 - 【請求項５】 請求項３記載の導電型キャピラリープレ
ートによるガス放射線検出器において、前記Ｘ線照射は
約１０５ｃｐｓ／ｍｍ２以上で１０６ｃｐｓ／ｍｍ２以
下であることを特徴とする導電型キャピラリープレート
によるガス放射線検出器。
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| JP1019699A JP3479230B2 (ja) | 1999-01-19 | 1999-01-19 | 導電型キャピラリープレートによるガス放射線検出器 |
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Family Applications (1)
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