JP3469730B2 - 半導体素子 - Google Patents

半導体素子

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    • H01L2924/13091Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子に関す
るものであり、特にトランジスタ動作を阻害する電流の
流れを阻止したトランジスタ素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】パワーデバイスは、電力変換や制御を行
う半導体で、応用分野も格段に広がっている。特にバイ
ポーラ・トランジスタは、近年省エネルギーの要求か
ら、モータなどのインバータ制御に使用されている。
【0003】このバイポーラ・トランジスタは、サイリ
スタに比べると、高耐圧、大電流化が困難な反面、ベー
ス信号により主電流を遮断/通電でき、しかも高速のス
イッチングが可能であるという、サイリスタにはない利
点を持っている。またインバータの応用に対し、逆バイ
アスSOA(安全動作領域)や短絡耐量といった高破壊
耐量も備えている。
【0004】従って、MOSFETやIGBTなどの新
しいパワーデバイスが注目される中で、現在でも中心的
な素子として広い範囲で活用されてる。これらを具体的
に説明するものとしては、例えばトランジスタ技術9月
号、1994年に述べられており、特に216頁〜22
3頁に詳細に述べられている。図10は、従来のダーリ
ントン回路の一例であり、前段のトランジスタTR1と
後段のトランジスタTR2がダーリントン接続されてい
るものである。この特性は、一般に
【0005】
【数1】
【0006】ここでhFE1,hFE2<<hFE1×hFE2
なので
【0007】
【数2】
【0008】と実質的に表せる。また
【0009】
【数3】
【0010】
【数4】
【0011】で示される。ここでhFE1、VCE(sat)
1、VBE(sat)1は、前段のトランジスタの電流増幅
率、コレクタ−エミッタ間の飽和電圧、ベース−エミッ
タ間の飽和電圧である。またhFE2、VCE(sat)2、VB
E(sat)2は、後段のトランジスタの電流増幅率、コレク
タ−エミッタ間の飽和電圧、ベース−エミッタ間の飽和
電圧である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】ダーリントンタイプの
長所は、数2のように電流増幅率hFEが高く、ドライブ
に必要なベース電流が少なくて済むことであるが、短所
は、数3に示すように、コレクタ−エミッタ間飽和電圧
VCE(sat)が高く、電力損失が高いことである。例え
ば、図13の従来型ダーリントントランジスタの出力特
性波形A(縦軸:コレクタ電流、横軸:コレクタ−エミ
ッタ間電圧VCE)をみれば、立ち上がり電圧VCEが約1
V程度であり、電力損失を少なくするためには、飽和領
域(VCE(sat)が最も低い部分)を使用する必要がある
事が判る。
【0013】例えば、モーターの駆動を考えると、大電
流が必要な起動時、点Sを用い、定常状態になって駆動
電流が小電流になり点Tを使って駆動した場合、VCEは
約1V〜2V程度の間で設定される。特にモータの定常
状態は、駆動期間の殆どを占めるため、この定常状態で
のVCE(sat)を低下させる必要があった。このモータ
は、色々な分野で使われており、エアコンは1日中稼働
している。また換気扇等も休まず稼働している。またラ
ンプ等も同様である。これらは、起動時の一瞬に大電流
が流れ、定常状態になると負荷インピーダンスが低下
し、起動時の駆動電流よりも遙かに小さい電流で駆動さ
れる。この定常状態は、駆動期間の殆どを占めるため、
ここでの電力損失を抑制することは、省エネ等の点から
大変重要なことである。
【0014】図11を活用して図10のダーリントン回
路を解析してみる。トランジスタは、ベースからコレク
タ、ベースからエミッタにPN接合が形成されるので、
2つのダイオードで構成され、図11からも判るよう
に、ダーリントン回路は、ダイオードD1〜D4の4つ
のダイオードと、2つのスイッチング素子S1、S2で
構成されていると解釈できる。つまり点nから点i、点
nから点kに順方向にダイオードD1、D2が、また点
kから点j、点kから点mに順方向にダイオードD3、
D4が接続され、点nから点kに電流が流れるとスイッ
チS1が作動して点iから点kに増幅された電流が流れ
TR1がオンし、点kから点mに電流が流れるとスイッ
チS2が作動して点jから点mに増幅された電流が流
れ、TR2がオンすると仮定できる。
【0015】ここで着目する点は、点h(点i)の電位
が点nよりも低ければ点nから流れるベース電流の一部
は、点h(点i)に向かい流れる。更に図12を使って
説明する。ダーリントントランジスタのベース−エミッ
タ間に5Vが印加され、ベース抵抗として350Ωが接
続され、コレクタ側には負荷R(例えばモータやランプ
等)が接続されている。また負荷Rとエミッタの間には
電源100Vが印加されているとする。S3がオンする
と、VBE(sat)として1.4Vが発生し、ベース電流と
して約10mAが流れ、前段のトランジスタTR1がオ
ンし、、この前段のトランジスタTR1のエミッタ電流
が後段のトランジスタTR2のベースに入力され、トラ
ンジスタTR2がオンする。この時、点Cは、VCE(sa
t)=VCE(sat)1+VCE(sat)2=1.0程度と成る。点
Bは、GNDに対して約1.4V発生しているから、点
C(約1V)が点B(約1.4V)よりもその電位が低
くなり、ベース電流の一部は、点CにダイオードD1を
介して流れ始める。
【0016】この動作は、トランジスタTR1のベース
電流が減少するため、トランジスタTR1をOFFしよ
うと動作しエミッタ電流が減少する。そのため、トラン
ジスタTR2もOFFしようと動作する。その結果、負
荷Rに流れる電流は減少し点Cは、1Vから上昇しよう
とする。この点Cが1Vから上昇し約1.4Vを越えれ
ば、点Bに流れるベース電流は、点i(点h)に流れず
全ての電流がトランジスタTR1に流れ、トランジスタ
TR1がオンし、その結果トランジスタTR2もオン
し、またVCE(sat)が1V程度に成る。この繰り返しを
しながらVCE(sat)が一定の電圧になる。
【0017】つまり図11のトランジスタに於いて、点
nと点h(端子C)の電圧の変動により、端子Bに流し
たベース電流が全てエミッタに向かい流れなくてはなら
ないのに、ベース電流の一部がコレクタに流れ、トラン
ジスタとしての正常な動作を妨げることがあった。この
ため、本願出願人は、特願平8−290719号(出願
後平成8年10月31日)でダーリントン回路を出願し
ている。図6に示すように前段トランジスタTR1のコ
レクタと後段トランジスタTR2のコレクタとの間に電
流抑制手段、例えばダイオードを設け、この電流抑制手
段により前段のトランジスタTR1のベース電流が点点
i(点h)へ流れないようにした。しかし一般的なダー
リントン素子に於いて、前段のトランジスタTR1と後
段のトランジスタTR2のコレクタ領域は、同じ基板で
一体で共通使用されており、TR1とTR2のコレクタ
間にダイオードD5を形成し、1チップにするのは非常
に難しい等の問題があった。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明は上述した課題に
鑑みてなされ、トランジスタのベース電極を介して前記
トランジスタを動作にするに必要なベース電流を与えた
際、エミッタ領域に流れずベース領域とコレクタ領域と
の間に発生するベース電流の流れを阻止するようにダイ
オードをトランジスタに設け半導体素子とする事で解決
するものである。
【0019】またこれを実現するために、前記トランジ
スタがNPN型である場合は、カソードにコレクタ領域
が、PNP型である場合は、アノードがコレクタ領域に
電気的に接続されることで解決するものである。更に前
記トランジスタは半導体チップでなり、且つ前記コレク
タ電極は前記半導体チップを構成する基板裏面に設けら
れ、前記ダイオードを前記コレクタ電極と半田または導
電性接着剤により固着して一体化することで解決するも
のである。
【0020】例えばNPN型のトランジスタに於いて、
カソード電極をコレクタに接続したダイオードを設けれ
ば、たとえベース電流の一部がコレクタに流れようとし
ても流れず、しかもベース電流がベース領域に流れた
ら、増幅された電流はコレクタからエミッタに流れるた
め、ダイオードを設けても何ら問題はない。従って、前
述したような問題で回路動作に影響がある回路であって
も、トランジスタ単体の代わりにこの半導体素子を設け
ることで、これらの問題は解決される。また前記問題の
ために別途対策も不要となる。
【0021】またトランジスタとダイオードを1つにパ
ッケージにしたり、1チップにした半導体素子によりこ
の素子自身のサイズが小さくできると共に、混成集積回
路基板やプリント基板の実装面積を減らすこともでき
る。
【0022】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を使って説明する。図1は、NPN型のトランジスタT
R1とダイオードD5を一体化したもので、D5のカソ
ードがTR1のコレクタと電気的に接続されているもの
である。また図2は、PNP型のトランジスタTR1の
コレクタに、D5のアノードが接続されているものであ
る。また点線で示した枠は、図3、図4および図5のよ
うに混成集積回路基板、リードフレームまたは半導体基
板にダイオードを実装し、一体化して半導体素子として
成っていることを示すものである。
【0023】例えばNPN型のトランジスタに於いて、
ベース電流の一部がコレクタに流れようとしてもダイオ
ードがあるために流れず、しかもベース電流がベース領
域に流れることにより増幅された電流は、ダイオードの
両端に順方向電圧が発生している限りダイオードを介し
てコレクタからエミッタに流れる。ここでダイオード
は、順方向電圧の低いものが好ましく、例えばPNダイ
オードの代わりにショットキーバリアダイオードを取り
付けても良い。
【0024】またPNP型のトランジスタであっては、
ベース電流をエミッタから引き抜く際に、コレクタから
も引き抜かれるのをD5で阻止している。従って、前述
したような問題で回路動作に影響がある回路であって
も、トランジスタ単体の代わりにこの半導体素子を設け
ることで、これらの問題は解決される。また前記問題の
ために別途対策を設けることも不要となる。
【0025】図3は、これを実現するための1例であ
り、トランジスタチップとダイオードチップを半田で固
着したものである。つまりN型の基板30をコレクタと
し、この基板にはP型のベース領域31が拡散形成さ
れ、更にベース領域31にはN型のエミッタ領域32が
拡散形成されている。また図は省略するが、基板裏面に
はコレクタ電極が、基板表面にはベース電極およびエミ
ッタ電極が形成されている。
【0026】一方、ダイオードチップは、上層にカソー
ドとなるN型層33が、下層にはアノードとなるP型層
34が設けられ、カソード領域とオーミック接続された
カソード電極は、半田やAgペースト等を介してコレク
タ電極と接続され、アノード電極は半導体素子のコレク
タ電極として成る。第4図は、2例目であり、少なくと
も表面が絶縁性を有する混成集積回路基板40にCuよ
り成る導電手段が貼着されている。ここで混成集積回路
基板50は、セラミック、ガラス、金属基板であり、導
電手段は、スクリーン印刷で印刷焼結したAg、Ag−
Pd、AuまたはCuで、金属基板では絶縁樹脂を全面
に貼り付け、熱圧着により銅箔を貼り合わせたものであ
る。また導電手段としては、ランド41、ボンディング
パッド42であり、ランド41上にはトランジスタTR
1とダイオードD5がベアチップで固着されている。説
明するまでもないが、コレクタ電極とカソード電極がラ
ンド41に接続されている。また手前のボンディングパ
ッド42の一方には、エミッタ電極から延在された金属
細線がボンデイングされ、更にリードが固着されてい
る。また他方には、アノード電極から延在された金属細
線がボンディングされ、リードが固着されている。また
反対側のパッド42には、ベース電極から延在された金
属細線がボンディングされ、更にリードが固着されてい
る。更にこれらを封止する手段が設けられ、半導体素子
として実現されている。
【0027】図5は、第3の例であり、トランジスタの
リードフレームを活用したもので、アイランド50が設
けられ、アイランド50の近傍には、手前の端部にボン
デイングパット部51が設けられたリード52が設けら
れている。図4と同様にTR1のコレクタ電極とD5の
カソード電極がアイランド50と半田を介して固着され
ている。また、エミッタ電極、ベース電極およびアノー
ド電極は、金属細線を介してリード52と電気的に接続
されている。更には、絶縁樹脂によりトランスファーモ
ールドされている。
【0028】以上、図1や図2の回路を1つの半導体素
子とする構造を説明したが、これを用いて例えば図6の
ようなダーリントン回路に応用すると、点線の枠で示す
ように、素子は2つで済み、ダイオードを平面的に実装
しない分、効率の良い配置が可能となる。具体例とし
て、図3の半導体素子がダーリントン回路に組み込まれ
たものを図8や図9に示す。
【0029】図8は図4の混成集積回路基板60を採用
し、ランド61、配線62およびボンディングパッド6
3が設けられている。また手前のチップが図3のチップ
であり、もう一つのチップが、後段のトランジスタチッ
プである。またダイオードのカソード電極と後段のトラ
ンジスタのコレクタ電極は、配線62により共通接続さ
れ、他は、金属細線にて電気的に接続されている。図面
では省略するが、各ボンディングパッドから延在した電
極には外部リードが設けられ、全体が封止されている。
【0030】図9は、図5のリードフレームを採用し、
外部リード70と一体で成るアイランド71,72が設
けられている。一方のアイランド71には、カソード電
極が、72にはコレクタ電極が半田を介して固着されて
いる。またアイランド71,72の近傍には、手前の端
部にボンデイングパット部73が設けられたリード74
が設けられ、アイランド72の近傍には、端部にボンデ
ィングパッド75が設けられたリード76が設けられて
いる。
【0031】前段のトランジスタTR1のエミッタ電極
は、後段のトランジスタTR2のベース電極と金属細線
を介して電気的に接続され、前段のトランジスタのベー
ス電極は、ボンディングパッド部73と金属細線にて接
続されている。更には、後段のトランジスタのエミッタ
電極は、ボンディングパッド部75と金属細線にて接続
されている。更に、封止法の一例として点線で示す絶縁
樹脂77によりトランスファーモールドされている。
【0032】以上説明したように、図3、図4または図
5のように半導体素子とすることで、混成集積回路基板
やプリント基板の実装効率を改善できる。しかもこれら
を使って図8や図9の如きダーリントンの半導体素子を
構成することで、この素子のサイズの縮小も可能とな
る。続いて図1の半導体素子を使ったダーリントン回路
(図6)について説明する。まずトランジスタの出力特
性、つまり縦軸がコレクタ電流、横軸がコレクタ−エミ
ッタ間電圧である図13のグラフを考えると、VCEの立
ち上がりは、シングルトランジスタの方がダーリントン
回路のダブルトランジスタ構成よりも小さい。
【0033】ここで図13の波形Aは、図10の従来型
のダーリントントランジスタの出力波形でありVCE=1
V程度から立ち上がっている。また波形Bは、本発明の
波形であり、VCEは0V程度から立ち上がる第1の立ち
上がりカーブを有し、VCEは1.5V程度から更に2段
目の立ち上がりカーブを有している。また、VCE=0V
から立ち上がっている波形Cは、周知のシングルトラン
ジスタの出力波形である。
【0034】先ずダーリントントランジスタの負荷とし
て、モーターを考え、起動時には図13の点Sの約6.
5A、定常時には点Tの約1.5Aが必要と仮定する。
(ここで起動時と定常時の必要電流は、負荷の種類によ
り色々と変化するが、前段のトランジスタTR1と後段
のトランジスタTR2の選択によりいくらでも対応可能
である。) 従来のダーリントン回路の出力波形Aでは、起動時VCE
=1.3V程度、定常時VCE=0.8V程度が必要とな
る。しかしモーター等の負荷の駆動を考えると、定常動
作の方が駆動時間の殆どを占める。モータは起動時にモ
ータ回転のためにトルクが必要となり大電流を必要と
し、定常状態に成るに連れてこのトルクが小さくなるた
め、この電流は少なくて済む。また定常駆動している際
中に突然大電流が必要になる場合(この場合を再起動時
と仮称する)がある。例えばエアコンを考えると、定常
駆動している際、突然の温度上昇により、エアコンの冷
却動作を急激に行わなければならない時である。つまり
起動し、定常状態に移行し、この定常状態の一時期に大
電流が流れる場合である。この冷却動作も駆動期間を考
えるとほんの一瞬である。
【0035】従って図6のダーリントン回路を用いれ
ば、従来のダーリントン回路では定常時VCE=0.8V
も必要であったものを、本ダーリントン回路を採用する
ことでVCEを0.5V以下に設定でき、VCEが減少した
分電力損失を低減できることになる。一方、波形Bにす
るには、ダーリントン回路の出力電流として高電流域が
必要な場合、ダーリントン動作しているダーリントン回
路の出力を活用し、ダーリントン回路の出力電流として
低電流域が必要な場合は、後段のトランジスタTR2を
シングルタイプとして使用することで得ることができ
る。
【0036】例えば図6や図7に於いて、低電流で駆動
する場合、点hと点kが切断され、別途外部からのベー
ス電流が点kに入力されれば、後段のトランジスタTR
2は、シングルとして動作し、起動時(または再起動
時)の高電流の場合、点hと点kが接続されればダーリ
ントンとして動作し、高電流を供給できる。つまり低電
流の場合、シングルトランジスタとして波形Cが出力さ
れ、高電流の場合、ダーリントン接続されたダブルトラ
ンジスタの波形が出力できるように構成することで、起
動時(または再起動時)は点VのVCEが1.8V程度
で、定常時は、点WのVCEが0.2V程度で駆動させる
ことができる。(図13の波形Bを参照) ここで重要な事は、起動時(または再起動時)には大電
流が必要となり、定常時には起動時(または再起動時)
よりも少ない低電流で済むモータ、ランプ等の負荷に適
用されることであり、また ダーリントン回路の出力電流として低電流が必要な場
合 後段のトランジスタTR2を、前段のトランジスタTR
1のベース−エミッタ間に流れるベース電流で実質的に
駆動する。
【0037】ダーリントン回路の出力電流として高電
流が必要な場合 後段のトランジスタTR2を前段のトランジスタTR1
のベース−エミッタ間およびコレクタ−エミッタ間に流
れるエミッタ電流で駆動する。の、が満たされるよ
うに、前段のトランジスタTR1のコレクタと後段のト
ランジスタTR2のコレクタとの間に電流制限手段、具
体的には図6の様にダイオードを設けたり、抵抗を設け
ることである。
【0038】この電流制限手段は、端子Eに於けるエミ
ッタ電流が小さい場合は、点hからTR1のコレクタに
つながる電流通路を遮断(または抑制)し、この遮断に
よりTR1のベース電流がTR1により増幅されること
なくTR2のベースに入力され、端子Eに於けるエミッ
タ電流が大きい場合には、点hからTR1のコレクタに
つながる電流通路を導通させ、TR1のベース電流のh
FE(TR1)倍がTR2のベースに入力されるように成った
ものである。
【0039】図6に於いてTR1のコレクタとTR2の
コレクタに、点hからTR1のコレクタに電流が流入で
きるように(TR1のベース電流が点hに流れ込むのを
阻止するように)ダイオードD5が接続されている。図
7を見れば、ベース端子Bに電流が流れ、点nから点k
に電流が流れS1が作動して点iから点kに電流が流れ
トランジスタが一旦オンし、点kから点mに電流が流れ
るとスイッチS2が作動して点h、j、mを介して端子
EにhFE2倍の電流が流れる。その結果、端子Bと端子
Eの間の電位VBEは約1.4Vとなり、点Cと点Eとの
間のVCE(sat)は約1.0Vに成る。
【0040】ここで従来回路図11では、点hに向かい
ベース電流がD1を介して流れるが、本発明ではダイオ
ードD5が設けられているために、端子Bから入力され
るベース電流は、D1を介し点iから点hには流れな
い。従って、端子Bに入力される全てのベース電流は、
点kに向かい流れる。一方、点hは図13の点Wで0.
2V程度、点iは、VBE(sat)2+VCE(sat)1=0.7
V+0.3V=1V程度であるが、電位に対して逆方向
に接続されているためダイオードD5には殆ど電流が流
れないようになる。すると一旦S1がオンしたとして
も、TR1のコレクタからエミッタに電流が供給されな
いためS1はオフの傾向となり、ベース電流のhFE1倍
の電流がTR1には流れない(増幅作用を示さない)よ
うなにる。つまり最終的には、端子Bの電流のみが点k
からTR2のベースに入力され、TR2は、TR1のベ
ース電流を増幅するだけであり、結局ダーリントン回路
はシングルTRの特性を示して動作する。
【0041】高電流の場合、図13の波形を見れば判る
通り、コレクタ電流Icが大きくなれば成る程、VCEも
大きくなる。例えば、点Vの所で動作すると、VCE=
1.8Vとなる。つまり点hが1.8V、点iが1Vで
あるので、端子Cからの電流は、ダイオードD5を介し
S1をオンして点iから点kに流れる。従って端子Bの
ベース電流のhFE1倍のコレクタ電流とベース電流が加
わった電流が、TR2のベースに流れ、更にTR2で増
幅され、通常のダーリントン(ダブルトランジスタ)と
して動作する。
【0042】従来波形では、点Sの値は、VCE=1.3
V、本発明はVCE=1.8Vと高い値を示すが、起動
(または再起動時)は駆動時間を考えるとほんの一瞬で
あるため、駆動期間の長さを考えると電力損失は、それ
ほど大きくならない。続いて、図5を用いて、立ち上が
りの調整について説明する。先ずPNダイオードの時、
点iの電位は、VBE(sat)2+VCE(sat)1であり、点h
の電位Vhが、点iの電位よりも0.7V高くなった時
点で、TR1のコレクタに電流が流れ込む。このポイン
トが、図13の波形Bの2段目の立ち上がりである。つ
ぎにショットキーバリアダイオードを使うと、点hの電
位Vhが、VBE(sat)2+VCE(sat)1よりも0.3V高
くなった時点で、TR1のコレクタに電流が流れ込む。
従って、オン電圧の小さいダイオードを使えば使うほ
ど、2段目の立ち上がり電圧VCE(sat)を、従来のダー
リントン出力波形Aに近づける事ができる。つまりダイ
オードのオン電圧の小さいものを使えば、波形Bの点V
を更に左側に移動させることができ、起動時(または再
起動時)のVCE電圧も小さくすることができる。
【0043】また逆にショットキーバリアダイオードよ
りもPNダイオードを使えば、点Vを右側に移動させる
ことができる。更には、ダイオードを複数個使うことに
より、更に右側または左側に移動させることもできる。
つまりショットキーダイオードを複数個、PNダイオー
ドを複数個、また両者を混ぜて複数個使うことにより、
第2の立ち上げカーブを調整することができる。
【0044】以上、起動時(または再起動時)に大電流
を必要とし、起動時(または再起動時)よりも電流が少
なくて済む定常状態をもつ負荷、例えばモータやランプ
等の駆動に本願ダーリントン回路を採用すれることで電
力損失を低減できる事が判る。
【0045】
【発明の効果】以上に説明した通り、ダイオードをTR
のコレクタに接続した半導体素子を用いることで、トラ
ンジスタとして正常な動作を妨げるベース電流の流れを
阻止することができ、この問題を考えることなく回路設
計ができる。しかもダーリントン回路を用いた負荷の駆
動回路に応用した場合、ベース電流の一部がトランジス
タの動作を妨げる様に流れ、ダーリントン回路のVCEの
立ち上がりを高くしてしまい、電力損失を大きくしてし
まうが、本半導体素子の採用により、ダーリントントラ
ンジスタのVCEの立ち上がりを小さくでき、電力損失を
抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を説明するための半導体素
子の等価回路図である。
【図2】本発明の実施の形態を説明するための半導体素
子の等価回路図である。
【図3】本発明の実施の形態を説明するための半導体素
子の断面図である。
【図4】本発明の実施の形態を説明するための半導体素
子の斜視図である。
【図5】本発明の実施の形態を説明するための半導体素
子の斜視図である。
【図6】図1を用いたダーリントン回路の図である。
【図7】図6の動作を説明するための解析図である。
【図8】図3の半導体素子を用いたダーリントン素子の
斜視図である。
【図9】図3の半導体素子を用いたダーリントン素子の
斜視図である。
【図10】従来のダーリントン回路を説明する図であ
る。
【図11】図10の動作を説明するための解析図であ
る。
【図12】ダーリントン回路に負荷を接続した場合の回
路図である。
【図13】本発明と従来のダーリントントランジスタの
出力特性を説明する図である。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一導電型のコレクタ領域と、このコレク
    タ領域に形成された逆導電型のベース領域と、このベー
    ス領域に形成された一導電型のエミッタ領域と、前記コ
    レクタ領域、ベース領域およびエミッタ領域と電気的に
    接続されたコレクタ電極、ベース電極およびエミッタ電
    極とを有し、ダーリントン接続された前段の第1トラン
    ジスタおよび後段の第2のトランジスタと、 前記第1および第2のトランジスタのコレクタに接続さ
    れ、第2のトランジスタのコレクタ電位が第1のトラン
    ジスタのコレクタ電位より所定の電位だけ高くなったと
    きに、前記第1のトランジスタのコレクタに電流を流す
    ダイオードとよりなり、 前記第1および第2のトランジスタは半導体チップでな
    り、且つ第1および第2トランジスタの前記コレクタ電
    極は前記半導体チップを構成する基板裏面に設けられ、
    前記ダイオードの一電極は第1または第2のトランジス
    タのコレクタ電極と半田または導電性接着剤により固着
    され一体化され、ダイオードの他電極と第2または第1
    のトランジスタのコレクタ電極は混成集積回路基板に設
    けられ配線で接続されたランドに固着し共通接続した
    とを特徴とする半導体素子。
  2. 【請求項2】 一導電型のコレクタ領域と、このコレク
    タ領域に形成された逆導電型のベース領域と、このベー
    ス領域に形成された一導電型のエミッタ領域と、前記コ
    レクタ領域、ベース領域およびエミッタ領域と電気的に
    接続されたコレクタ電極、ベース電極およびエミッタ電
    極とを有し、ダーリントン接続された前段の第1トラン
    ジスタおよび後段の第2のトランジスタと、 前記第1および第2のトランジスタのコレクタに接続さ
    れ、第2のトランジスタのコレクタ電位が第1のトラン
    ジスタのコレクタ電位より所定の電位だけ高くなったと
    きに、前記第1のトランジスタのコレクタに電流を流す
    ダイオードとよりなり、 前記第1および第2のトランジスタは半導体チップでな
    り、且つ第1および第2トランジスタの前記コレクタ電
    極は前記半導体チップを構成する基板裏面に設けられ、
    前記ダイオードの一電極は第1または第2のトランジス
    タのコレクタ電極と半田または導電性接着剤により固着
    され一体化され、ダイオードの他電極と第2又は第1の
    トランジスタのコレクタ電極はリードフレームの外部リ
    ードと一体で成るアイランドに固着し共通接続した こと
    を特徴とする半導体素子。
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