JP3468205B2 - 圧電デバイスの周波数特性調整装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば水晶フィル
タ（ＭＣＦ（モノリシック クリスタル フィルタ））
に代表される圧電デバイスの製造工程において、圧電デ
バイスの周波数特性を調整する周波数特性調整装置に係
る。特に、本発明は、圧電デバイスの画像認識を高精度
で行うための改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば水晶板の厚みすべり振
動等を利用した水晶フィルタにおいては、一般には、水
晶板の一方の面に入力電極と出力電極とが所定のギャッ
プを存して形成されると共に、その他方の面にはこれら
電極と対向する位置に共通電極が形成されている。

【０００３】また、このような水晶フィルタの製造工程
の一つとして、電極形成後のその電極表面に、例えばＡ
ｇやＡｌ等の材質からなる薄膜を蒸着させて、周波数特
性を調整するパーシャル工程がある。このパーシャル工
程は例えば特開平６−１４０８６１号公報に開示されて
いる。

【０００４】また、このパーシャル工程にあっては、蒸
着材料の蒸着位置を正確に得るために、水晶板上におけ
る電極位置をＣＣＤカメラ等の撮像手段によって予め認
識しておき、それに基づいて蒸着材料の蒸着位置を決定
している。

【０００５】具体的には、水晶フィルタの製造ラインに
おいて上記共通電極に対向してハロゲンランプ及びＣＣ
Ｄカメラが設置され、共通電極に向かってハロゲンライ
トを照射しながら、その反射光をＣＣＤカメラによって
捉えて電極位置を画像認識する。そして、この画像認識
情報に基づいて蒸着材料の蒸着位置を決定し、それ以外
の領域をパーシャルマスクによりマスキングする。この
状態で、蒸着源からの蒸着材料を共通電極上の所定位置
に蒸着させるようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の画像認識の手法では、電極の輪郭を明瞭に識別す
るには未だ不十分であった。つまり、電極とその背景と
のコントラストを十分に得ることができず、電極位置の
誤認識を引き起こしてしまう可能性があった。特に、ポ
リッシュ処理やディープエッチング処理が施されている
水晶板にあっては、結晶面が露出しているために略透明
となっており、その背景（水晶板が取り付けられるベー
ス側の回路パターン）までもがＣＣＤカメラによって撮
像されてしまう。これでは、検出すべき電極の輪郭とそ
の背景の回路パターンとの識別が困難になり、パーシャ
ルマスクの位置ずれによるマスキング不良が発生し、蒸
着材料の蒸着位置にずれが生じる可能性がある。このた
め、水晶フィルタの不良品発生率を削減するには限界が
あった。また、このような位置ずれが生じる可能性のあ
る状態では、所望の周波数特性を有する水晶フィルタを
製造するために多数回のパーシャル工程を繰り返さねば
ならないといった製造効率の悪化も招いてしまう。

【０００７】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、圧電デバイスの製造
時にそのデバイス上の電極を画像認識するに際し、電極
とその背景とのコントラストを十分に得ることによって
電極の輪郭を明瞭に識別することができる圧電デバイス
の周波数特性調整装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】−発明の概要− 上記の目的を達成するために、本発明は、圧電デバイス
上の電極を画像認識する際の照明光を特定の単色光に設
定し、それによって、撮像手段で撮像する際の電極と背
景とのコントラストが十分に得られるようにしたもので
ある。

【０００９】−解決手段− 具体的に、第１の解決手段では、略透明の基板の一方の
面及び他方の面に電極がそれぞれ形成されている圧電デ
バイスを撮像して画像認識し、上記他方の面の電極に対
して蒸着材料の蒸着動作を行って周波数特性を調整する
圧電デバイスの周波数特性調整装置を前提とする。この
周波数特性調整装置に対し、１種類のＬＥＤを光源と
し、上記基板の他方の面に向けて特定波長の単色光のみ
の照射を行う圧電デバイス認識用照明装置と、上記圧電
デバイスを基板の上記他方の面側から撮像する撮像手段
と、上記略透明の基板を透過して撮像手段により撮像さ
れた基板の一方の面の画像データに基づいて他方の面の
電極上での中心位置を算出する画像処理装置と、上記基
板の他方の面の電極上での中心位置データを用いて蒸着
材料の蒸着動作を制御する制御部とを備えさせている。

【００１０】この特定事項により、光源から圧電デバイ
スに照射された特定波長の単色光は、圧電デバイスによ
り反射され、撮像手段によって撮像される。これによ
り、圧電デバイス上の例えば電極位置などが画像認識さ
れ、その後の処理（例えば周波数調整のためのパーシャ
ル処理）に利用される。そして、圧電デバイスに照射さ
れた照明光は単色光であるため、色収差の影響を受ける
ことがなく、撮像手段による高精度の画像認識が可能と
なる。例えば電極とその背景の回路パターンとのコント
ラストが十分に得られ、この電極の輪郭が明瞭に撮像さ
れる。

【００１１】上記光源の具体例として以下の第２及び第
３の解決手段が挙げられる。先ず、第２の解決手段で
は、上記第１の解決手段において、光源を青色ＬＥＤと
している。また、第３の解決手段では、上記第１の解決
手段において、光源を緑色ＬＥＤとしている。

【００１２】これらのＬＥＤを使用した場合、特に波長
の短い単色光で圧電デバイスを照明しながら撮像手段に
よる圧電デバイスの撮像が行われる。このため、撮像手
段における焦点の合わせ込みを良好に行うことができ、
撮像の解像度が向上して、より高精度の画像認識が可能
となる。

【００１３】圧電デバイスに特定の単色光を照射するた
めの他の手段として以下の構成が挙げられる。つまり、
略透明の基板の一方の面及び他方の面に電極がそれぞれ
形成されている圧電デバイスを撮像して画像認識し、上
記他方の面の電極に対して蒸着材料の蒸着動作を行って
周波数特性を調整する圧電デバイスの周波数特性調整装
置を前提とする。この周波数特性調整装置に対し、光源
の照明光のうちの特定波長の単色光のみを透過させる光
フィルタを備え、この光フィルタを透過した単色光のみ
を上記基板の他方の面に向けて照射するよう構成された
圧電デバイス認識用照明装置と、上記圧電デバイスを基
板の上記他方の面側から撮像する撮像手段と、上記略透
明の基板を透過して撮像手段により撮像された基板の一
方の面の画像データに基づいて他方の面の電極上での中
心位置を算出する画像処理装置と、上記基板の他方の面
の電極上での中心位置データを用いて蒸着材料の蒸着動
作を制御する制御部とを備えさせている。

【００１４】この特定事項によっても、圧電デバイスに
照射される照明光を単色光として得ることができ、色収
差の影響を受けることなしに高精度の画像認識が可能と
なる。

【００１５】上記光フィルタの具体例として以下の第５
及び第６の解決手段が挙げられる。先ず、第５の解決手
段では、上記第４の解決手段において、光フィルタを、
青色単色光のみを透過させる青色フィルタとしている。
また、第６の解決手段では、上記第４の解決手段におい
て、光フィルタを、緑色単色光のみを透過させる緑色フ
ィルタとしている。

【００１６】これらの特定事項によっても、上述した第
２及び第３の解決手段の場合と同様に、特に波長の短い
照明光で圧電デバイスを照明しながら撮像手段による圧
電デバイスの撮像が行われ、撮像の解像度が向上し、よ
り高精度の画像認識が可能となる。

【００１７】第７の解決手段は、圧電デバイスに対する
照明光の照射手法を具体的に特定したものである。つま
り、上記第１〜第６のうち何れか一つの解決手段におい
て、特定波長の単色光を、圧電デバイスの外周囲の複数
方向から圧電デバイスに向けて照射するよう構成してい
る。つまり、所謂リングライトガイド等の手段を用いて
圧電デバイスに対する照明を行うようにしたものであ
る。

【００１８】この特定事項により、圧電デバイスを撮像
手段によって撮像するに際し、この圧電デバイスの影を
生じさせることがない。つまり、影の存在による画像の
誤認識を回避した状態で撮像手段による撮像が可能とな
る。その結果、上記照明光を特定の単色光にしたことに
よる作用と、影の存在を回避させたこととが相俟って更
に高精度の画像認識が可能になる。

【００１９】

【００２０】

【００２１】上述した各解決手段は、圧電デバイスに対
して照射する照明光を改良することにより高精度の画像
認識を行うようにしたものであった。以下の第８の解決
手段は、圧電デバイスから反射されて撮像手段に入射さ
れる反射光を改良することにより高精度の画像認識を行
うようにしたものである。具体的には、略透明の基板の
一方の面及び他方の面に電極がそれぞれ形成されている
圧電デバイスを撮像して画像認識し、上記他方の面の電
極に対して蒸着材料の蒸着動作を行って周波数特性を調
整する圧電デバイスの周波数特性調整装置を前提とす
る。この周波数特性調整装置に対し、上記基板の他方の
面に向けて光を照射する照明手段と、上記照明手段から
圧電デバイスに照射された光の反射光を基板の上記他方
の面側から撮像する撮像手段と、上記撮像手段に入射さ
れる反射光のうちの特定波長の単色光のみを透過させる
光フィルタと、上記略透明の基板を透過して撮像手段に
より撮像された基板の一方の面の画像データに基づいて
他方の面の電極上での中心位置を算出する画像処理装置
と、上記基板の他方の面の電極上での中心位置データを
用いて蒸着材料の蒸着動作を制御する制御部とを備えさ
せている。

【００２２】この特定事項により、圧電デバイスに光を
照射する照明手段としては従来のもの（例えばハロゲン
ランプ）を流用しながらも、上記第１の解決手段の場合
と同様の作用を得ることができ、撮像手段による高精度
の画像認識が可能となる。

【００２３】上記第８の解決手段に係る光フィルタの具
体例として以下の第９及び第１０の解決手段が挙げられ
る。先ず、第９の解決手段では、上記第８の解決手段に
おいて、光フィルタを、青色単色光のみを透過させる青
色フィルタとしている。また、第１０の解決手段では、
上記第８の解決手段において、光フィルタを、緑色単色
光のみを透過させる緑色フィルタとしている。第１１の
解決手段は、上記第１〜第１０のうち何れか一つの解決
手段において、基板の一方の面及び他方の面にそれぞれ
引き出し電極が形成されており、画像処理装置が、基板
の一方の面に形成されている引き出し電極の角部を画像
認識し、この角部同士を繋いだ直線状の中央点が基板の
他方の面に形成された電極の中心位置であるとして求め
る構成としている。

【００２４】これらの特定事項によれば、撮像手段に入
射される反射光としては波長の短いもののみとなるた
め、上記第５及び第６の解決手段の場合と同様の作用に
より、撮像の解像度が向上し、より高精度の画像認識が
可能となる。

【００２５】第１２の解決手段は、上記第１〜第１１の
解決手段のうち何れか一つの解決手段において、基板
は、ポリッシュ処理またはディープエッチング処理が施
された水晶基板であって、この水晶基板の一方の面には
入力電極及び出力電極が所定のギャップを開けて形成さ
れており、他方の面には共通電極が形成されている。

【００２６】水晶振動デバイスからの反射光を上記光フ
ィルタに透過させて撮像手段に入射させるようにしたこ
とにより、水晶板における複屈折の影響を受けて偏光し
た反射光が光フィルタを透過することで、この複屈折の
影響を解消することができ、これによって、撮像手段に
よる画像認識動作が良好に行える。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。本形態では、圧電デバイスとして
ＭＣＦ（モノリシック クリスタル フィルタ）を例に
挙げ、このＭＣＦの製造ラインに本発明を適用した場合
について説明する。

【００２８】（第１実施形態）図１は、本実施形態に係
るＭＣＦ１０の製造工程の一つであるパーシャル工程部
分の構成図であって、機械的構成を表す模式図と電気的
構成を表すブロック図とを併記している。

【００２９】本パーシャル工程部分は真空装置１を備え
ており、この真空装置１は、真空前室１１、真空室１２
及び真空後室１３を備えている。これら各室１１，１
２，１３はそれぞれゲートバルブ１４および１５によっ
て仕切られている。また、これらの各室１１，１２，１
３を通じて、周波数調整すべきＭＣＦ１０を保持するキ
ャリア２１を移送するための移送装置２が配設されてい
る。

【００３０】この例において、周波数調整すべきＭＣＦ
１０は、素子Ｅと、この素子Ｅを収容保持する例えばセ
ラミックス製のベースＲとを備えている。素子Ｅは、図
２にその電極パターンの模式図を示すように、水晶基板
Ｓの一方の面（図２においては裏面）にＡｇ等の材料で
成る入力電極Ｅ１及び出力電極Ｅ２が所定のギャップＧ
を開けて形成され、他方の面（図２の手前側の面）に共
通電極Ｅ３が形成されている。また、水晶基板Ｓの各面
には引き出し電極Ｅ４，Ｅ５，Ｅ６が形成されており、
それぞれが各電極Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３に個別に接続されて
いる。尚、本形態に係る水晶基板Ｓは、ポリッシュ処理
またはディープエッチング処理が施されている。このた
め、水晶基板Ｓは、結晶面が露出して略透明となってい
る。その結果、図２に示すように、水晶基板Ｓの裏面側
の引き出し電極Ｅ４，Ｅ５が表面側から視認できる状態
になっている。

【００３１】この素子Ｅが表面実装型のベースＲ（図１
参照）に収容され、このベースＲの蓋が取り外されて共
通電極Ｅ３が下向きの開放側を向いて露呈した状態で、
ＭＣＦ１０がキャリア２１に保持されている。尚、表面
実装型のベースＲの底部には、素子Ｅの入出力電極Ｅ
１，Ｅ２及び共通電極Ｅ３をそれぞれ個別に外部に導出
するための図示しない外部導出部の回路パターンが形成
されている。

【００３２】真空室１２は、真空前室１１側の画像処理
エリアＡ１と、真空後室１３側の周波数調整エリアＡ２
の２つのエリアからなっている。画像処理エリアＡ１に
は、キャリア２１に保持されたＭＣＦ１０を撮像するた
めのＣＣＤカメラ３１が配置されている。このＣＣＤカ
メラ３１からの画像信号は、Ａ−Ｄ変換器（図示せず）
によってデジタル化された後、真空装置１外に置かれた
画像処理装置３に取り込まれる。画像処理装置３では、
ＣＣＤカメラ３１からの画像データに基づいて、各キャ
リア２１に保持されたＭＣＦ１０毎に、各電極Ｅ３，Ｅ
４，Ｅ５，Ｅ６の位置を画像認識し、これら電極Ｅ３，
Ｅ４，Ｅ５，Ｅ６の各位置情報を得る。そして、その情
報に基づき、各キャリア２１に対するＭＣＦ１０の搭載
状態（上下左右へのずれ、回転等）に係る情報を得て搭
載位置補正データとするとともに、その搭載状態におけ
る共通電極Ｅ３の画像上での中心位置を算出する。具体
的に、この共通電極Ｅ３の中心位置の算出は、入力電極
Ｅ１及び出力電極Ｅ２にそれぞれ繋がる引き出し電極Ｅ
４，Ｅ５の角部（図２における点Ｃ，Ｃ）を画像認識
し、この角部Ｃ，Ｃ同士を繋いだ直線上の中央点が共通
電極Ｅ３の中心位置であるとして求めている。これら搭
載位置補正データ及び中心位置のデータは、各ＭＣＦ１
０毎に一旦メモリ３２に格納され、後述する制御部８に
転送される。

【００３３】そして、本形態の特徴として、この画像処
理エリアＡ１には、ＣＣＤカメラ３１に対向するＭＣＦ
１０に対して照明用の光の照射を行う照明装置９が備え
られている。以下、この照明装置９の構成について説明
する。この照明装置９は、上記ＣＣＤカメラ３１と一体
的に組み付けられている。図３は、ＣＣＤカメラ３１及
びそれに一体的に組み付けられた照明装置９を示す平面
図（ＭＣＦ１０側から見た図）である。この図３に示す
ように、照明装置９は、ＣＣＤカメラ３１の外周囲に円
環状に配置された複数個のＬＥＤ９１，９１，…により
構成されている。本形態では円環状に１２個のＬＥＤ９
１，９１，…が配列されている。このＬＥＤ９１，９
１，…の個数はこれに限るものではない。各ＬＥＤ９
１，９１，…は青色に発行する所謂青色ＬＥＤである。
これら各ＬＥＤ９１，９１，…の点灯制御は、ＬＥＤ制
御部９２（図１参照）によって行われる。

【００３４】これらＬＥＤ９１，９１，…の点灯によ
り、対向するＭＣＦ１０に対して外周囲の複数方向から
の単色光としての青色光の照射が行われ、これによって
ＭＣＦ１０の影を発生させることなしにＣＣＤカメラ３
１での撮像が行えるようになっている。そして、このよ
うに青色ＬＥＤを採用した場合、波長が比較的短い（４
５０ｎｍ程度）の単色光をＭＣＦ１０に照射することが
できるため、ＣＣＤカメラ３１における焦点の合わせ込
みが良好に行え、撮像の解像度が向上して、高い精度で
電極Ｅ３，Ｅ４，Ｅ５，Ｅ６の画像認識を行うことがで
きる。また、照射される光は単色光（青色光）であるた
め、色収差に起因する水晶基板Ｓの複屈折の影響は殆ど
無く、これによっても高い精度での電極Ｅ３，Ｅ４，Ｅ
５，Ｅ６の画像認識が可能となる。この照明装置９とＣ
ＣＤカメラ３１とにより本発明に係る圧電デバイス認識
装置が構成されている。

【００３５】周波数調整エリアＡ２には、蒸着位置Ｄに
位置決めされたキャリア２１の下方に位置する蒸着源４
と、同じく蒸着位置Ｄに位置決めされたキャリア２１に
保持された１つのＭＣＦ１０に近接して対向配置される
パーシャルマスク５と、このパーシャルマスク５を水平
面上の２次元方向に移動させるためのマスク移動機構５
１と、パーシャルマスク５と蒸着源４との間に配置され
るシャッタ装置６とが配置されている。また、この周波
数調整エリアＡ２には、蒸着位置Ｄに位置決めされたキ
ャリア２１に保持されているＭＣＦ１０のベースＲに形
成された外部導出端子を介して、入力電極Ｅ１、出力電
極Ｅ２及び共通電極Ｅ３を真空室１２外に導出するため
の導出用回路７が設けられている。

【００３６】この導出用回路７は、蒸着位置Ｄに位置決
めされたキャリア２１に保持されているＭＣＦ１０の入
力電極Ｅ１、出力電極Ｅ２及び共通電極Ｅ３を、真空室
１２外の制御部８の制御下にある発振回路（もしくはネ
ットワークアナライザ）８１に接続するための回路であ
り、この発振回路８１により、蒸着位置Ｄ上のＭＣＦ１
０が駆動されるようになっている。

【００３７】制御部８は、発振回路８１から入力される
ＭＣＦ１０の周波数データに基づいて、ＭＣＦ１０の周
波数特性を求めると共に、その求められた周波数特性の
計測結果に従って、その特性が所要の周波数特性となる
ように、共通電極Ｅ３に蒸着すべき膜の厚さのデータ等
を算出するデータ処理部８２のほか、駆動制御部８３及
び蒸着制御部８４を備えている。

【００３８】駆動制御部８３は、データ処理部８２から
の各種データと、メモリ３２に記憶されている画像上で
の中心位置のデータ並びに搭載位置情報に係るデータを
用いて、周波数調整エリアＡ２のマスク移動機構５１や
シャッタ装置６をはじめ、キャリア２１の移送機構２等
を含めた装置全体の駆動部を制御する。また、蒸着制御
部８４は、蒸着源４の駆動制御を行うものであり、蒸着
の開始／停止を制御する。

【００３９】以下、上述の如く構成された真空装置１に
よるパーシャル動作を説明する。先ず、キャリア２１に
保持された状態で、真空前室１１からゲートバルブ１４
を介して真空室１２の画像処理エリアＡ１にＭＣＦ１０
が搬入される。そして、このＭＣＦ１０が照明装置９及
びＣＣＤカメラ３１に対向する位置に達すると、照明装
置９の各青色ＬＥＤ９１，９１，…からの照明光がＭＣ
Ｆ１０に向けて照射されると共に、その画像がＣＣＤカ
メラ３１により撮像される。これにより、画像処理装置
３により画像認識され、キャリア２１に対する搭載情報
に基づく搭載位置補正データが求められるとともに、共
通電極Ｅ３の画像上の中心位置が算出され、メモリ３２
に格納される。このような撮像動作が連続搬送されるＭ
ＣＦ１０，１０，…に対して順に行われる。

【００４０】以上の画像処理を終了したＭＣＦ１０は、
キャリア２１によって周波数調整エリアＡ２に移送さ
れ、１個ずつ蒸着位置Ｄ上に位置決めされた後、パーシ
ャルマスク５が位置決めされる。このパーシャルマスク
５の位置決めに際しては、メモリ３２内のマスク５の開
口の位置情報と、同じくメモリ３２内の個々のデバイス
Ｗの搭載位置補正データ、並びに画像上の中心位置が呼
び出され、画像上の中心位置を基準として位置決めされ
る。その位置決め後、シャッタ装置６が駆動制御され
て、共通電極Ｅ３の所定領域に対してマスク５の開口に
対応したパターンで、蒸着膜が形成される。この蒸着材
料（例えばＡｇ）の蒸着動作時には、ＭＣＦ１０の電気
的特性をモニタリングしながら、蒸着源４からシャッタ
ー装置６及びマスク５を介して共通電極Ｅ３に対してパ
ーシャル蒸着が行われていく。

【００４１】このような蒸着動作を行うことにより、所
望の周波数特性を有するＭＣＦ１０が得られ、周波数調
整動作を終了する。この動作が、各ＭＣＦ１０，１０，
…に対して順に行われ、ゲートバルブ１５を通過して真
空後室１３に搬送されていく。

【００４２】−実施形態の効果− 以上説明したように、本形態では、ＭＣＦ１０上の電極
Ｅ３，Ｅ４，Ｅ５，Ｅ６を画像認識する際の照明光を複
数の青色ＬＥＤ９１，９１，…により得るようにしてい
る。つまり、照明光として、波長が比較的短い単色光の
みを採用している。このため、ＣＣＤカメラ３１におけ
る焦点の合わせ込みが良好に行え、且つ色収差の影響を
受けることがなくＣＣＤカメラ３１による高精度の画像
認識が可能となる。その結果、電極Ｅ３，Ｅ４，Ｅ５，
Ｅ６とその背景であるベースＲの回路パターンとのコン
トラストを十分に得ることができ、電極の輪郭を良好に
識別できてパーシャルマスク５の位置ずれが防止でき
る。これにより、蒸着材料の蒸着位置にずれを生じさせ
ることなしに、正確な位置への蒸着が可能となる。

【００４３】（第２実施形態）上述した第１実施形態で
は、照明装置９に複数個の青色ＬＥＤ９１，９１，…を
備えさせ、波長が４５０ｎｍ程度の単色光をＭＣＦ１０
に照射するようにした。

【００４４】本形態は、それに代えて、照明装置９に複
数個の緑色ＬＥＤを備えさせ、波長が５５０ｎｍ程度の
単色光をＭＣＦ１０に照射するようにしたものである。
各緑色ＬＥＤの配設状態は上述した実施形態１のものと
同様である（図３参照）。つまり、各緑色ＬＥＤをＣＣ
Ｄカメラ３１の外周囲に円環状に配置することにより照
明装置９を構成したものである。

【００４５】本形態においても、上述した第１実施形態
の場合と同様に、照明光として波長が比較的短い単色光
のみを採用しているため、ＣＣＤカメラ３１による高精
度の画像認識が可能となり、正確な位置への蒸着材料の
蒸着が可能となる。

【００４６】（第３実施形態）本形態は照明装置９の変
形例である。その他の構成は上述した第１実施形態と同
様であるので、ここでは照明装置９についてのみ説明す
る。

【００４７】図４は、本形態に係る照明装置９を示す概
略図である。本照明装置９は、光源ユニット９３と照射
ユニット９４とを備えている。

【００４８】光源ユニット９３は、ケーシング９３ａ内
に光源ランプ９３ｂが内蔵されている。この光源ランプ
９３ｂとしては例えばハロゲンランプが採用されてい
る。また、この光源ユニット９３には、光フィルタ９３
ｃが内蔵されている。この光フィルタ９３ｃは、上記ハ
ロゲンランプ９３ｂからの発光のうち青色単色光のみを
透過させる青色フィルタである。

【００４９】照射ユニット９４は、上述した第１実施形
態に係る照明装置９と同様にＣＣＤカメラ３１の外周囲
に円環状に配置された複数個の発光部（図４では図示省
略）を備えている。この照射ユニット９４は光源ユニッ
ト９３と光ケーブル９５により接続されており、ハロゲ
ンランプ９３ｂからの発光が青色フィルタ９３ｃを透過
し、光ケーブル９５を経て各発光部からＭＣＦ１０に向
かって照射される構成となっている。

【００５０】本形態の構成においても、ＭＣＦ１０の外
周囲の複数方向からこのＭＣＦ１０に向かって青色の単
色光が照射されることになる。このため、上記各実施形
態の場合と同様に、ＣＣＤカメラ３１による高精度の画
像認識が可能となり、正確な位置への蒸着材料の蒸着が
可能となる。また、光源として、従来と同様のハロゲン
ランプを使用することが可能である。つまり、上記第１
及び第２実施形態のような複数のＬＥＤ９１，９１，…
を使用する必要なしに、同様の効果を得ることができ、
照明装置９全体としての構成の簡素化とコストの削減と
を図ることができる。

【００５１】尚、上記光フィルタ９３ｃとしては、青色
フィルタばかりでなく、ハロゲンランプからの発光のう
ち緑色単色光のみを透過させる緑色フィルタを採用して
もよい。

【００５２】（第４実施形態）本形態はＣＣＤカメラ３
１の変形例である。その他の構成は上述した第１実施形
態と同様であるので、ここではＣＣＤカメラ３１につい
てのみ説明する。尚、本形態に係る真空装置１に採用さ
れる照明装置９は、従来と同様のものである。つまり、
光源としてハロゲンランプを使用し、このハロゲンラン
プからの照明光をＭＣＦ１０に向けて照射するようにな
っている。尚、この光源の構成としては、上記各実施形
態のものと同様にＣＣＤカメラ３１の外周囲に円環状に
発光部を配置したものや、ＣＣＤカメラ３１とは個別に
設置されたランプを使用してもよい。

【００５３】図５は、本形態に係るＣＣＤカメラ３１を
示す概略図である。このＣＣＤカメラ３１には、ＭＣＦ
１０で反射されてＣＣＤカメラ３１に入射される反射光
のうちの青色単色光のみを透過させる光フィルタとして
の青色フィルタ３３が内蔵されている。

【００５４】このため、ＭＣＦ１０からの反射光のうち
画像認識に有益な特定周波数の単色光のみを選出してＣ
ＣＤカメラ３１に入射させることが可能になる。従っ
て、本形態の構成によっても、ＣＣＤカメラ３１による
高精度の画像認識が可能となり、正確な位置への蒸着材
料の蒸着が可能となる。また、本形態においても、上記
第３実施形態の場合と同様に、従来と同様のハロゲンラ
ンプを使用することが可能であり、照明装置９全体とし
ての構成の簡素化とコストの削減とを図ることができ
る。

【００５５】尚、本形態においても光フィルタとして
は、青色フィルタばかりでなく、ＭＣＦ１０からの反射
光のうち緑色単色光のみを透過させる緑色フィルタを採
用してもよい。

【００５６】（実験例）次に、上記各実施形態の効果を
確認するために行った実験例及びその実験結果について
説明する。本実験例では、上述した第１、第２及び第３
実施形態における画像処理エリアＡ１でＣＣＤカメラ３
１により得られた画像と、従来の画像処理エリア（ハロ
ゲンランプの照射を行うもの）でＣＣＤカメラにより得
られた画像とを比較した。また、第１実施形態におい
て、青色ＬＥＤに代えて赤色ＬＥＤを採用した場合（波
長は６５０ｎｍ程度）における画像処理エリアＡ１でＣ
ＣＤカメラ３１により得られた画像をも参考のために取
得した。

【００５７】図６は、それぞれの画像写真を示し、
（ａ）は第１実施形態に係るもの、（ｂ）は従来のも
の、（ｃ）は第２実施形態に係るもの、（ｄ）は第３実
施形態に係るもの、（ｅ）は赤色ＬＥＤを採用した場合
のものである。

【００５８】これら画像写真からも判るように、（ｂ）
の従来のものでは水晶基板Ｓ上の各電極と、背景である
ベース側の回路パターンとの両方が認識される状態にあ
り、電極と背景とのコントラストが十分に得られていな
い。このため、電極位置の誤認識を引き起こしてしまう
可能性が高いものとなっている。それに対し、本発明に
係る他の画像写真では、ベース側の回路パターンは殆ど
認識されず、電極と背景とのコントラストを十分に得る
ことができている。このため、電極位置の誤認識を引き
起こす可能性は従来のものに比べて極端に低減されてお
り、パーシャルマスクの位置ずれは生じ難く、蒸着材料
の蒸着位置にずれが生じる可能性も大幅に低減できるこ
とが判る。特に、波長の短い照明光を採用している第１
〜第３実施形態に係るものにあってはその効果が顕著で
ある。

【００５９】−その他の実施形態− 尚、上記各実施形態においては、ＭＣＦ１０の製造に本
発明を適用した場合について説明した。本発明は、この
種のデバイスに限定されるものではなく、水晶発振器の
周波数調整や、表面実装型ではない圧電振動デバイスに
も適用し得る。また、周波数調整動作（パーシャル工
程）に限らず、素子ＥをベースＲに搭載した後に、各引
き出し電極Ｅ４，Ｅ５，Ｅ６をベースＲ上のパッドに接
着する際の導電性接着剤の塗布工程（所謂二次塗布工
程）における画像認識動作に本発明を適用することも可
能である。

【００６０】また、上記各実施形態では、ＬＥＤ９１と
しては青色または緑色を発光色とするものを採用し、光
フィルタとしても青色または緑色を透過するものを採用
した。本発明は、これに限らず、赤色や黄色などを発光
色や透過色とするものを採用することも可能である。但
し、本発明の効果を顕著に得るためにはできるだけ波長
の短い色のＬＥＤや光フィルタを採用することが好まし
い。また、光源としては複数配列されたものに限らず、
１個の光源でＭＣＦ１０を照明するようにしたものも本
発明の範疇である。

【００６１】また、上記各実施形態では、圧電材料とし
て水晶基板Ｓを使用したデバイスの製造に本発明を適用
した場合について説明した。本発明は、これに限らず、
タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウ
ムなどの圧電材料を使用したデバイスの製造に適用する
ことも可能である。

【００６２】また、電極Ｅ１〜Ｅ６及び蒸着材料として
は、Ａｇに限るものではなく、ＡｌやＡｕ等種々の材料
を採用することが可能である。

【００６３】また、照明装置９における照射光の照射形
態としても上述したもの（図３に示すもの）に限らな
い。例えば、ＬＥＤ９１，９１，…を同心円上に複数の
円環状に配列したり、四角形状に配列した形態を採用す
るなど種々の形態が適用可能である。

【００６４】更には、照明装置９における照明光の光量
を調整可能として、より高い精度の画像認識が可能な光
量を自動または手動により選出できるようにしてもよ
い。

【００６５】加えて、パーシャル工程における蒸着法と
しても、真空蒸着法に限らず、スパッタリング蒸着法や
電子ビーム蒸着法を採用することも可能である。

【００６６】また、本発明は、イオンミリング法やレー
ザミリング法などにおける画像認識動作にも適用するこ
とが可能である。

【００６７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、以下の
ような効果が発揮される。

【００６８】請求項１及び請求項４記載の発明では、圧
電デバイスを撮像するための照明光として特定波長の単
色光のみを使用している。また、請求項８記載の発明で
は、圧電デバイスからの反射光のうち特定波長の単色光
のみを撮像手段に入射させている。このため、色収差の
影響を受けることなしに撮像手段による高精度の画像認
識が可能となる。その結果、例えば、パーシャル工程に
おいて電極の画像認識を行う場合にあっては、その電極
とその背景とのコントラストを十分に得ることができ、
電極の輪郭を良好に識別できてパーシャルマスクの位置
ずれが防止できる。これにより、蒸着材料の蒸着位置に
ずれを生じさせることなしに、正確な位置への蒸着が可
能となり、圧電デバイスの不良品発生率を削減できると
共に、製造効率の向上を図ることができる。

【００６９】請求項２，３，５，６，９及び１０記載の
発明では、上記特定波長の単色光として青色または緑色
を採用している。このように特に波長の短い単色光を使
用したことにより、撮像手段における焦点の合わせ込み
を良好に行うことができ、撮像の解像度が向上して、よ
り高精度の画像認識が可能となる。

【００７０】請求項７記載の発明では、特定波長の単色
光を、圧電デバイスの外周囲の複数方向から圧電デバイ
スに向けて照射するようにしている。このため、圧電デ
バイスの影がない状態での撮像が可能になる。その結
果、影の存在による画像の誤認識を回避でき、撮像手段
による更なる高精度の画像認識が可能になる。

【００７１】請求項１２記載の発明では、撮像対象を水
晶振動デバイスとしている。このため、水晶板の複屈折
の影響を殆どなくした状態で、撮像を行うことができ
る。つまり、本発明は、特に、この複屈折の影響が懸念
される水晶振動デバイスの撮像においては有効なもので
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係るパーシャル工程部分の構成
図である。

【図２】水晶振動デバイス上の素子の電極パターンを示
す模式図である。

【図３】ＣＣＤカメラ及び照明装置を示す平面図であ
る。

【図４】第３実施形態に係る照明装置を示す概略図であ
る。

【図５】第４実施形態に係るＣＣＤカメラを示す概略図
である。

【図６】実験例における画像写真を示す図である。

【符号の説明】

１０ ＭＣＦ（圧電デバイス） ３１ ＣＣＤカメラ（撮像手段） ３３，９３ｃ 光フィルタ ９ 照明装置 ９１ ＬＥＤ（光源）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−308641（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−208017（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−181511（ＪＰ，Ａ) 特開2000−65758（ＪＰ，Ａ) 特開2000−124683（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−262784（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H03H 3/00 - 3/04

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 略透明の基板の一方の面及び他方の面に
   電極がそれぞれ形成されている圧電デバイスを撮像して
   画像認識し、上記他方の面の電極に対して蒸着材料の蒸
   着動作を行って周波数特性を調整する圧電デバイスの周
   波数特性調整装置において、 １種類のＬＥＤを光源とし、上記基板の他方の面に向け
   て特定波長の単色光のみの照射を行う圧電デバイス認識
   用照明装置と、 上記圧電デバイスを基板の上記他方の面側から撮像する
   撮像手段と、 上記略透明の基板を透過して撮像手段により撮像された
   基板の一方の面の画像データに基づいて他方の面の電極
   上での中心位置を算出する画像処理装置と、 上記基板の他方の面の電極上での中心位置データを用い
   て蒸着材料の蒸着動作を制御する制御部とを備えている
   ことを特徴とする圧電デバイスの周波数特性調整装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の圧電デバイスの周波数特
   性調整装置において、圧電デバイス認識用照明装置の 光源は青色ＬＥＤである
   ことを特徴とする圧電デバイスの周波数特性調整装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の圧電デバイスの周波数特
   性調整装置において、圧電デバイス認識用照明装置の 光源は緑色ＬＥＤである
   ことを特徴とする圧電デバイスの周波数特性調整装置。
4. 【請求項４】 略透明の基板の一方の面及び他方の面に
   電極がそれぞれ形成されている圧電デバイスを撮像して
   画像認識し、上記他方の面の電極に対して蒸着材料の蒸
   着動作を行って周波数特性を調整する圧電デバイスの周
   波数特性調整装置において、 光源の照明光のうちの特定波長の単色光のみを透過させ
   る光フィルタを備え、この光フィルタを透過した単色光
   のみを上記基板の他方の面に向けて照射するよう構成さ
   れた圧電デバイス認識用照明装置と、 上記圧電デバイスを基板の上記他方の面側から撮像する
   撮像手段と、 上記略透明の基板を透過して撮像手段により撮像された
   基板の一方の面の画像データに基づいて他方の面の電極
   上での中心位置を算出する画像処理装置と、 上記基板の他方の面の電極上での中心位置データを用い
   て蒸着材料の蒸着動作を制御する制御部とを備えている
   ことを特徴とする圧電デバイスの周波数特性調整装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の圧電デバイスの周波数特
   性調整装置において、圧電デバイス認識用照明装置の 光フィルタは、青色単色
   光のみを透過させる青色フィルタであることを特徴とす
   る圧電デバイスの周波数特性調整装置。
6. 【請求項６】 請求項４記載の圧電デバイスの周波数特
   性調整装置において、圧電デバイス認識用照明装置の 光フィルタは、緑色単色
   光のみを透過させる緑色フィルタであることを特徴とす
   る圧電デバイスの周波数特性調整装置。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のうち何れか一つに記載の
   圧電デバイスの周波数特性調整装置において、圧電デバイス認識用照明装置は、 特定波長の単色光を、
   圧電デバイスの外周囲の複数方向から圧電デバイスに向
   けて照射するよう構成されていることを特徴とする圧電
   デバイスの周波数特性調整装置。
8. 【請求項８】 略透明の基板の一方の面及び他方の面に
   電極がそれぞれ形成されている圧電デバイスを撮像して
   画像認識し、上記他方の面の電極に対して蒸着材料の蒸
   着動作を行って周波数特性を調整する圧電デバイスの周
   波数特性調整装置において、 上記基板の他方の面に向けて 光を照射する照明手段と、 上記照明手段から圧電デバイスに照射された光の反射光
   を基板の上記他方の面側から撮像する撮像手段と、 上記撮像手段に入射される反射光のうちの特定波長の単
   色光のみを透過させる光フィルタと、 上記略透明の基板を透過して撮像手段により撮像された
   基板の一方の面の画像データに基づいて他方の面の電極
   上での中心位置を算出する画像処理装置と、 上記基板の他方の面の電極上での中心位置データを用い
   て蒸着材料の蒸着動作を制御する制御部とを備えている
   ことを特徴とする圧電デバイスの周波数特性調整装置。
9. 【請求項９】 請求項８記載の圧電デバイスの周波数特
   性調整装置において、 光フィルタは、青色単色光のみを透過させる青色フィル
   タであることを特徴とする圧電デバイスの周波数特性調
   整装置。
10. 【請求項１０】 請求項８記載の圧電デバイスの周波数
    特性調整装置において、 光フィルタは、緑色単色光のみを透過させる緑色フィル
    タであることを特徴とする圧電デバイスの周波数特性調
    整装置。
11. 【請求項１１】 請求項１〜１０のうち何れか一つに記
    載の圧電デバイスの周波数特性調整装置において、 基板の一方の面及び他方の面にはそれぞれ引き出し電極
    が形成されており、 画像処理装置は、基板の一方の面に形成されている引き
    出し電極の角部を画像認識し、この角部同士を繋いだ直
    線状の中央点が基板の他方の面に形成された電極の中心
    位置であるとして求める構成とされていることを特徴と
    する圧電デバイスの周波数特性調整装置。
12. 【請求項１２】 請求項１〜１１のうち何れか一つに記
    載の圧電デバイスの周波数特性調整装置において、 基板は、ポリッシュ処理またはディープエッチング処理
    が施された水晶基板であって、 この水晶基板の一方の面には入力電極及び出力電極が所
    定のギャップを開けて形成されており、他方の面には共
    通電極が形成されていることを特徴とする圧電デバイス
    の周波数特性調整装置。