JP3467573B2 - スクリーン版のクリーニング装置 - Google Patents
スクリーン版のクリーニング装置Info
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- JP3467573B2 JP3467573B2 JP11612394A JP11612394A JP3467573B2 JP 3467573 B2 JP3467573 B2 JP 3467573B2 JP 11612394 A JP11612394 A JP 11612394A JP 11612394 A JP11612394 A JP 11612394A JP 3467573 B2 JP3467573 B2 JP 3467573B2
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- Japan
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- screen plate
- solder
- suction
- solder paste
- cleaning device
- Prior art date
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
Landscapes
- Screen Printers (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面実装タイプ等の微
細印刷配線基板等にスクリーン版を用いて半田粒子を混
入させた半田ペーストを付着させる装置に好適なスクリ
ーン版のクリーニング装置に関するものである。
細印刷配線基板等にスクリーン版を用いて半田粒子を混
入させた半田ペーストを付着させる装置に好適なスクリ
ーン版のクリーニング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、印刷配線基板（プリント基板）で
は、実装する部品の高密度化、小型化が進み、ＩＣのピ
ンや部品のリードのピッチが微細になり、表面実装が行
われている。このような微細なプリント基板の端子や配
線等に半田を付着させる場合には、半田を５〜５０ミク
ロンの微粒子にしてペーストに混入させた半田ペースト
を、金属製あるいは金属メッシュ製のスクリーン版を介
して刷り込むことで行われている。その際、問題となる
のは、スクリーン版に半田ペーストが付着して残り、そ
の後の作業に支障を与えることである。
は、実装する部品の高密度化、小型化が進み、ＩＣのピ
ンや部品のリードのピッチが微細になり、表面実装が行
われている。このような微細なプリント基板の端子や配
線等に半田を付着させる場合には、半田を５〜５０ミク
ロンの微粒子にしてペーストに混入させた半田ペースト
を、金属製あるいは金属メッシュ製のスクリーン版を介
して刷り込むことで行われている。その際、問題となる
のは、スクリーン版に半田ペーストが付着して残り、そ
の後の作業に支障を与えることである。
【０００３】従来は、このスクリーン版に上下方向から
エアーを吹き付けて、付着した半田ペースト（特に半
田）を吹き飛ばしてクリーニングしていた。
エアーを吹き付けて、付着した半田ペースト（特に半
田）を吹き飛ばしてクリーニングしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のクリーニングの技術では、ミクロン単位の半田粒子
（単に半田と記す）が取り切れず、結局手作業で取るこ
とになり、手間がかかるという問題点があった。また、
吹き付けたエアーで飛び散った半田等が、環境を悪くす
るという問題があった。
来のクリーニングの技術では、ミクロン単位の半田粒子
（単に半田と記す）が取り切れず、結局手作業で取るこ
とになり、手間がかかるという問題点があった。また、
吹き付けたエアーで飛び散った半田等が、環境を悪くす
るという問題があった。
【０００５】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、その目的は、プリント基板に半田ペ
ーストを刷り込むためのスクリーン版に付着したミクロ
ン単位の半田までも取ることができ、その際、環境を悪
化させないようなスクリーン版のクリーニング装置を提
供することにある。
されたものであり、その目的は、プリント基板に半田ペ
ーストを刷り込むためのスクリーン版に付着したミクロ
ン単位の半田までも取ることができ、その際、環境を悪
化させないようなスクリーン版のクリーニング装置を提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るスクリーン版のクリーニング装置は、
スクリーン版を介して印刷配線基板に半田粒子をペース
トに混入してなる半田ペーストを付着させる装置におけ
る前記スクリーン版に付着した半田もしくは半田ペース
トを高速気流で除去するクリーニング装置であって、前
記スクリーン版の上下の面の少なくとも一方の面に吹き
出し口を有する高速気流発生手段と吸引口を有する吸引
手段とを間隔をあけて配置し、前記吹き出し口は前記吸
引口側に傾けて前記スクリーン版に対して斜めもしくは
水平に設置し、前記吸引口は前記吹き出し口側に傾けて
前記スクリーン版に対して斜めもしくは水平に設置した
ことを特徴とするものである。
め、本発明に係るスクリーン版のクリーニング装置は、
スクリーン版を介して印刷配線基板に半田粒子をペース
トに混入してなる半田ペーストを付着させる装置におけ
る前記スクリーン版に付着した半田もしくは半田ペース
トを高速気流で除去するクリーニング装置であって、前
記スクリーン版の上下の面の少なくとも一方の面に吹き
出し口を有する高速気流発生手段と吸引口を有する吸引
手段とを間隔をあけて配置し、前記吹き出し口は前記吸
引口側に傾けて前記スクリーン版に対して斜めもしくは
水平に設置し、前記吸引口は前記吹き出し口側に傾けて
前記スクリーン版に対して斜めもしくは水平に設置した
ことを特徴とするものである。
【０００７】また、本発明に係るスクリーン版のクリー
ニング装置は、上記のスクリーン版のクリーニング装置
において、前記高速気流発生手段の吹き出し口の傾きの
向きを変化させる回動手段もしくは揺動手段を設けたこ
とを特徴とするものである。
ニング装置は、上記のスクリーン版のクリーニング装置
において、前記高速気流発生手段の吹き出し口の傾きの
向きを変化させる回動手段もしくは揺動手段を設けたこ
とを特徴とするものである。
【０００８】さらに、本発明に係るスクリーン版のクリ
ーニング装置は、上記いずれかのスクリーン版のクリー
ニング装置において、スクリーン版に付着した半田もし
くは半田ペーストを前記高速気流発生手段の高速気流で
除去する際に前記スクリーン版を振動させる振動手段を
設けたことを特徴とするものである。
ーニング装置は、上記いずれかのスクリーン版のクリー
ニング装置において、スクリーン版に付着した半田もし
くは半田ペーストを前記高速気流発生手段の高速気流で
除去する際に前記スクリーン版を振動させる振動手段を
設けたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】本発明のスクリーン版のクリーニング装置で
は、高速気流発生手段と吸引手段とで高速気流がスクリ
ーン版上を水平に流れるようにし、スクリーン版の表面
に負圧を発生させて半田を吸い出すように作用させるこ
とにより、付着したミクロン単位の半田までも取れるよ
うにする。また、対抗する側の吸引手段が吸い出され吹
き飛ばされた半田等を吸引し、半田等が飛び散るのを防
止して環境に悪影響を与えないようにする。また、高速
気流発生手段の吹き出し口を変化させることで、スクリ
ーン版上で良好な負圧の発生する場所を移動させて、よ
り広い範囲を良好にクリーニングできるようにする。さ
らに、クリーニングの際に、スクリーン版に振動を与え
ることで、付着した半田を遊離させ、より一層半田が取
れ易くなるようにする。
は、高速気流発生手段と吸引手段とで高速気流がスクリ
ーン版上を水平に流れるようにし、スクリーン版の表面
に負圧を発生させて半田を吸い出すように作用させるこ
とにより、付着したミクロン単位の半田までも取れるよ
うにする。また、対抗する側の吸引手段が吸い出され吹
き飛ばされた半田等を吸引し、半田等が飛び散るのを防
止して環境に悪影響を与えないようにする。また、高速
気流発生手段の吹き出し口を変化させることで、スクリ
ーン版上で良好な負圧の発生する場所を移動させて、よ
り広い範囲を良好にクリーニングできるようにする。さ
らに、クリーニングの際に、スクリーン版に振動を与え
ることで、付着した半田を遊離させ、より一層半田が取
れ易くなるようにする。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施例の全体構成を示す
側面図、図２は要部の斜視図である。図において、１は
スクリーン版、２，３はブロワ、４，５は吸引機、６は
ブロワ２と吸引機４の上下動フレーム、７はブロワ３と
吸引機５の上下動フレーム、８は半田ペースト付着装
置、９は半田ペースト付着装置８の上下動フレーム、１
０は半田を付着させる対象のプリント基板である。
側面図、図２は要部の斜視図である。図において、１は
スクリーン版、２，３はブロワ、４，５は吸引機、６は
ブロワ２と吸引機４の上下動フレーム、７はブロワ３と
吸引機５の上下動フレーム、８は半田ペースト付着装
置、９は半田ペースト付着装置８の上下動フレーム、１
０は半田を付着させる対象のプリント基板である。
【００１２】スクリーン版１に対し、ブロワ２、吸引機
４は上側に、ブロワ３、吸引機４は下側に、それぞれ向
い合うように配置され、上下動フレーム６，７に固定さ
れている。上下動フレーム６は２つのエアシリンダ６
１，６２を介して上方の支持部材１２に、上下動フレー
ム７は２つのエアシリンダ７１，７２を介して下方の支
持部材１３に、それぞれ固定されている。半田ペースト
付着装置８は上下動フレーム９に固定され、上下動フレ
ーム９はスクリーン版１上方の支持部材１４にエアシリ
ンダ９１，９２を介して固定されている。
４は上側に、ブロワ３、吸引機４は下側に、それぞれ向
い合うように配置され、上下動フレーム６，７に固定さ
れている。上下動フレーム６は２つのエアシリンダ６
１，６２を介して上方の支持部材１２に、上下動フレー
ム７は２つのエアシリンダ７１，７２を介して下方の支
持部材１３に、それぞれ固定されている。半田ペースト
付着装置８は上下動フレーム９に固定され、上下動フレ
ーム９はスクリーン版１上方の支持部材１４にエアシリ
ンダ９１，９２を介して固定されている。
【００１３】上記構成において、ブロワ２，３はライン
状の吹き出し口２１，３１を有し、モータ２２，３２の
回転によって高速気流を吹き出し口２１，３１から送り
出す。ブロワ２，３は高速気流発生手段の一例であり、
別に発生させた高圧のエアーをライン状に吹き出させる
ようなエアージェット装置などを用いることができる。
一方、吸引機４，５はライン状の吸引口４１，５１を有
し、集風用フード４２，５２を有する。ブロワ２と吸引
機４とは間隔を開けて配置し、吹き出し口２１は吸引機
４側に向けて傾けるとともにスクリーン版１の上面に対
して斜め（あるいは水平に近くても良い）になるように
上下動フレーム６で固定する。同様に、ブロワ３と吸引
機５とは間隔を開けて配置し、吹き出し口３１は吸引機
５側に向けて傾けるとともにスクリーン版１の下面に対
して斜め（あるいは水平に近くても良い）になるように
上下動フレーム７で固定する。
状の吹き出し口２１，３１を有し、モータ２２，３２の
回転によって高速気流を吹き出し口２１，３１から送り
出す。ブロワ２，３は高速気流発生手段の一例であり、
別に発生させた高圧のエアーをライン状に吹き出させる
ようなエアージェット装置などを用いることができる。
一方、吸引機４，５はライン状の吸引口４１，５１を有
し、集風用フード４２，５２を有する。ブロワ２と吸引
機４とは間隔を開けて配置し、吹き出し口２１は吸引機
４側に向けて傾けるとともにスクリーン版１の上面に対
して斜め（あるいは水平に近くても良い）になるように
上下動フレーム６で固定する。同様に、ブロワ３と吸引
機５とは間隔を開けて配置し、吹き出し口３１は吸引機
５側に向けて傾けるとともにスクリーン版１の下面に対
して斜め（あるいは水平に近くても良い）になるように
上下動フレーム７で固定する。
【００１４】ブロワ２，３は図１の２点鎖線で示したよ
うに、例えば一定周期で揺動もしくは回動させるのが好
適である。図３（ａ），（ｂ）にその構成例を示す。こ
の構成例は、ブロワ２についての揺動機構の例である。
（ａ）は側面図、（ｂ）は分解斜視図である。まず、ブ
ロワ２の長手方向の端面の略中心上（モータ２２が有る
場合はその外側）に軸２３を設け、これを支持部材２４
で軸支するとともに、ピニオンギア２５を固着する。支
持部材２４は上下動出来るようにエアシリンダ２６に取
り付ける。一方、ブロワ２を取り付ける上下動フレーム
６には、上下方向に長穴６３を開け、片側に上記ピニオ
ンギア２５が動けるようなラック６３ａを形成する。ま
た、エアシリンダ２６の取り付け部６４を設け、これに
エアシリンダ２６を取り付けることで、ピニオンギア２
５をラック６３ａに噛み合わせるととともに、ブロワ２
を上下動可能にフレーム６に取り付ける。以上の構成に
おいて、エアシリンダ２６を動作させて、ブロワ２を上
下に揺動させると、ラック６３ａによって、ピニオンギ
ア２５が所定の角度範囲で回動し、ブロワ２が上下動と
ともに上記角度で回動される。なお、ブロワ３について
も同様である。
うに、例えば一定周期で揺動もしくは回動させるのが好
適である。図３（ａ），（ｂ）にその構成例を示す。こ
の構成例は、ブロワ２についての揺動機構の例である。
（ａ）は側面図、（ｂ）は分解斜視図である。まず、ブ
ロワ２の長手方向の端面の略中心上（モータ２２が有る
場合はその外側）に軸２３を設け、これを支持部材２４
で軸支するとともに、ピニオンギア２５を固着する。支
持部材２４は上下動出来るようにエアシリンダ２６に取
り付ける。一方、ブロワ２を取り付ける上下動フレーム
６には、上下方向に長穴６３を開け、片側に上記ピニオ
ンギア２５が動けるようなラック６３ａを形成する。ま
た、エアシリンダ２６の取り付け部６４を設け、これに
エアシリンダ２６を取り付けることで、ピニオンギア２
５をラック６３ａに噛み合わせるととともに、ブロワ２
を上下動可能にフレーム６に取り付ける。以上の構成に
おいて、エアシリンダ２６を動作させて、ブロワ２を上
下に揺動させると、ラック６３ａによって、ピニオンギ
ア２５が所定の角度範囲で回動し、ブロワ２が上下動と
ともに上記角度で回動される。なお、ブロワ３について
も同様である。
【００１５】以上のように構成した実施例の動作および
作用を述べる。
作用を述べる。
【００１６】プリント基板１０に半田ペーストを付着さ
せるときは、図１に示すように所定のスクリーン版１の
パターン位置にプリント基板１０を位置決めして下から
密着させ、上からシリンダ９１，９２を下動させて半田
ペースト付着装置８をスクリーン版１の上面に接触さ
せ、下部の吐出口を開口して半田ペーストをそのパター
ン位置に流す。ここで、半田ペースト付着装置８とスク
リーン版１の位置をプリント基板１０を密着させたま
ま、相対的にスライドさせて行くと、半田ペーストはス
クリーン版１に形成されたパターンに従ってプリント板
１０に付着される。終了すると半田ペースト付着装置８
の吐出口は閉じられ、エアシリンダ９１，９２が上動さ
れて半田ペースト付着装置８はスクリーン版１より離さ
れ退避される。同様にプリント板１０も次の工程へと移
送される。
せるときは、図１に示すように所定のスクリーン版１の
パターン位置にプリント基板１０を位置決めして下から
密着させ、上からシリンダ９１，９２を下動させて半田
ペースト付着装置８をスクリーン版１の上面に接触さ
せ、下部の吐出口を開口して半田ペーストをそのパター
ン位置に流す。ここで、半田ペースト付着装置８とスク
リーン版１の位置をプリント基板１０を密着させたま
ま、相対的にスライドさせて行くと、半田ペーストはス
クリーン版１に形成されたパターンに従ってプリント板
１０に付着される。終了すると半田ペースト付着装置８
の吐出口は閉じられ、エアシリンダ９１，９２が上動さ
れて半田ペースト付着装置８はスクリーン版１より離さ
れ退避される。同様にプリント板１０も次の工程へと移
送される。
【００１７】次のプリント板１０の半田ペースト付着工
程に入る前に、ブロワ２，３と吸引機４，５を作動させ
てスクリーン版１に付着した半田もしくは半田ペースト
を除去するクリーニングを行う。まず、シリンダ６１，
６２を下動させ、シリンダ７１，７２を上動させて、ブ
ロワ２，３および吸引機４，５をスクリーン版１のクリ
ーニング範囲に接近させる。次に、ブロワ２，３から高
速気流（エアージェット）をスクリーン版１に吹き付け
るとともに、吸引機４，５で吸引を行う。すると高速気
流はスクリーン版１の上下の面を水平に流れるようにな
る。これにより、スクリーン版１の上下の面には負圧が
発生する。この負圧がスクリーン版１に付着した半田も
しくは半田ペーストを吸い出すように作用し、これまで
手作業でしか取れなかったミクロン単位の半田までも取
れるようになる。この際、除去された半田等は気流に運
ばれて吸引機４，５で吸引されて飛び散るのが防止され
るので、環境を悪くする恐れがない。ここで、図３で示
したような機構を用いて、ブロワ２，３の吹き出し口２
１，３１の傾きを変化させると、良好な負圧の発生する
部分がスクリーン版１の所定の範囲で移動し、より広い
範囲が良好にクリーニングできる。
程に入る前に、ブロワ２，３と吸引機４，５を作動させ
てスクリーン版１に付着した半田もしくは半田ペースト
を除去するクリーニングを行う。まず、シリンダ６１，
６２を下動させ、シリンダ７１，７２を上動させて、ブ
ロワ２，３および吸引機４，５をスクリーン版１のクリ
ーニング範囲に接近させる。次に、ブロワ２，３から高
速気流（エアージェット）をスクリーン版１に吹き付け
るとともに、吸引機４，５で吸引を行う。すると高速気
流はスクリーン版１の上下の面を水平に流れるようにな
る。これにより、スクリーン版１の上下の面には負圧が
発生する。この負圧がスクリーン版１に付着した半田も
しくは半田ペーストを吸い出すように作用し、これまで
手作業でしか取れなかったミクロン単位の半田までも取
れるようになる。この際、除去された半田等は気流に運
ばれて吸引機４，５で吸引されて飛び散るのが防止され
るので、環境を悪くする恐れがない。ここで、図３で示
したような機構を用いて、ブロワ２，３の吹き出し口２
１，３１の傾きを変化させると、良好な負圧の発生する
部分がスクリーン版１の所定の範囲で移動し、より広い
範囲が良好にクリーニングできる。
【００１８】なお、図１において例えば吸引機４の下部
に超音波域で振動する圧電素子を固着し、下動したとき
にスクリーン版１に圧接するようにしてクリーニング時
にスクリーン版１に振動を与えるようにすることによ
り、スクリーン版１に付着した半田を遊離させて、より
一層早く、きれいに、付着した半田を除去できるように
することができる。また、スクリーン版のクリーニング
範囲が、本装置でクリーニングできる範囲より広い場合
には、適宜、本装置とスクリーン版の位置を相対的に移
動させて行けば良い。このように本発明は、その主旨に
沿って種々に応用され、種々の実施態様を取り得るもの
である。
に超音波域で振動する圧電素子を固着し、下動したとき
にスクリーン版１に圧接するようにしてクリーニング時
にスクリーン版１に振動を与えるようにすることによ
り、スクリーン版１に付着した半田を遊離させて、より
一層早く、きれいに、付着した半田を除去できるように
することができる。また、スクリーン版のクリーニング
範囲が、本装置でクリーニングできる範囲より広い場合
には、適宜、本装置とスクリーン版の位置を相対的に移
動させて行けば良い。このように本発明は、その主旨に
沿って種々に応用され、種々の実施態様を取り得るもの
である。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
のスクリーン版のクリーニング装置によれば、スクリー
ン版の上に付着した半田を吸い出すように作用する負圧
を発生させるようにしたので、これまで手作業でしか取
れなかったスクリーン版に付着したミクロン単位の半田
まで除去することができ、また、吸い出した半田等を吸
引するようにしたので、環境を悪くすることがない。
のスクリーン版のクリーニング装置によれば、スクリー
ン版の上に付着した半田を吸い出すように作用する負圧
を発生させるようにしたので、これまで手作業でしか取
れなかったスクリーン版に付着したミクロン単位の半田
まで除去することができ、また、吸い出した半田等を吸
引するようにしたので、環境を悪くすることがない。
【００２０】また、請求項２の発明によれば、特に、高
速気流発生手段の高速気流の向きを変化させるようにし
たので、スクリーン版上に発生する良好な負圧が所定範
囲を移動し、半田の除去できる範囲がより一層広くな
る。
速気流発生手段の高速気流の向きを変化させるようにし
たので、スクリーン版上に発生する良好な負圧が所定範
囲を移動し、半田の除去できる範囲がより一層広くな
る。
【００２１】さらに、請求項３の発明によれば、特に、
半田の除去時に、スクリーン版に振動を与えるようにし
たので、付着した半田が遊離し、半田の除去がより一層
早くきれいに行うことができる。
半田の除去時に、スクリーン版に振動を与えるようにし
たので、付着した半田が遊離し、半田の除去がより一層
早くきれいに行うことができる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図
【図２】上記実施例の要部の斜視図
【図３】（ａ），（ｂ）は上記実施例におけるブロワの
揺動機構の構成図
揺動機構の構成図
１…スクリーン版
２，３…ブロワ
４，５…吸引機
６，７…上下動フレーム
２１，３１…吹き出し口
４１，５１…吸引口
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−318711（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−193102（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−126928（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−193124（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−220460（ＪＰ，Ａ)
特開 昭55−2041（ＪＰ，Ａ)
実開 昭63−3445（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41F 35/00
B41F 15/08 303
B41F 15/12
H05K 3/34 505
Claims (3)
- 【請求項１】 スクリーン版を介して印刷配線基板に半
田粒子をペーストに混入してなる半田ペーストを付着さ
せる装置における前記スクリーン版に付着した半田もし
くは半田ペーストを高速気流で除去するクリーニング装
置であって、前記 スクリーン版の上下の面の少なくとも一方の面に吹
き出し口を有する高速気流発生手段と吸引口を有する吸
引手段とを間隔をあけて配置し、前記吹き出し口は前記
吸引口側に傾けて前記スクリーン版に対して斜めもしく
は水平に設置し、前記吸引口は前記吹き出し口側に傾け
て前記スクリーン版に対して斜めもしくは水平に設置し
たことを特徴とするスクリーン版のクリーニング装置。 - 【請求項２】請求項１記載のスクリーン版のクリーニン
グ装置において、前記高速気流発生手段の吹き出し口の
傾きの向きを変化させる回動手段もしくは揺動手段を設
けたことを特徴とするスクリーン版のクリーニング装
置。 - 【請求項３】請求項１または請求項２記載のスクリーン
版のクリーニング装置において、スクリーン版に付着し
た半田もしくは半田ペーストを前記高速気流発生手段の
高速気流で除去する際に前記スクリーン版を振動させる
振動手段を設けたことを特徴とするスクリーン版のクリ
ーニング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11612394A JP3467573B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | スクリーン版のクリーニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11612394A JP3467573B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | スクリーン版のクリーニング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07314653A JPH07314653A (ja) | 1995-12-05 |
| JP3467573B2 true JP3467573B2 (ja) | 2003-11-17 |
Family
ID=14679273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11612394A Expired - Fee Related JP3467573B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | スクリーン版のクリーニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3467573B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112536258A (zh) * | 2020-11-06 | 2021-03-23 | 麻伟光 | 一种集成电路板回收清洗设备 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000117954A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-25 | Tani Denki Kogyo Kk | スクリーン版のクリーニング方法と該装置と該スクリーン版 |
-
1994
- 1994-05-30 JP JP11612394A patent/JP3467573B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112536258A (zh) * | 2020-11-06 | 2021-03-23 | 麻伟光 | 一种集成电路板回收清洗设备 |
| CN112536258B (zh) * | 2020-11-06 | 2021-12-07 | 缙云双海建材有限公司 | 一种集成电路板回收清洗设备 |
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|---|---|
| JPH07314653A (ja) | 1995-12-05 |
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