JP3458884B2 - ガス吸着除去装置 - Google Patents
ガス吸着除去装置Info
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- JP3458884B2 JP3458884B2 JP24860796A JP24860796A JP3458884B2 JP 3458884 B2 JP3458884 B2 JP 3458884B2 JP 24860796 A JP24860796 A JP 24860796A JP 24860796 A JP24860796 A JP 24860796A JP 3458884 B2 JP3458884 B2 JP 3458884B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば空気中の
湿気や有機溶剤蒸気などの吸着除去に用いられるガス吸
着除去装置に関するものである。
湿気や有機溶剤蒸気などの吸着除去に用いられるガス吸
着除去装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ゼオライトやシリカゲルを担
持したシート材をハニカム状に加工した吸着ロータを用
いたガス吸着除去装置が提案されている。特に近年、塗
装工場等から大気に放出される有機溶剤蒸気を回収する
ために、このようなガス吸着除去装置が注目されてい
る。さらに、このようなガス吸着除去装置は処理空気の
温度にかかわらず有機溶剤蒸気や湿気の吸着除去能力が
発揮できるため、有機溶剤蒸気の除去装置としてだけで
なく除湿機としても用いられるようになった。
持したシート材をハニカム状に加工した吸着ロータを用
いたガス吸着除去装置が提案されている。特に近年、塗
装工場等から大気に放出される有機溶剤蒸気を回収する
ために、このようなガス吸着除去装置が注目されてい
る。さらに、このようなガス吸着除去装置は処理空気の
温度にかかわらず有機溶剤蒸気や湿気の吸着除去能力が
発揮できるため、有機溶剤蒸気の除去装置としてだけで
なく除湿機としても用いられるようになった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ゼオライトやシリカゲ
ルを担持したシート材を用いた吸着ロータは、それ自身
不燃性であり、活性炭を用いた吸着ロータと比較して安
全性が高い。そのため、再生用ヒータの通電のタイミン
グをどのようにするか特に配慮されていなかった。
ルを担持したシート材を用いた吸着ロータは、それ自身
不燃性であり、活性炭を用いた吸着ロータと比較して安
全性が高い。そのため、再生用ヒータの通電のタイミン
グをどのようにするか特に配慮されていなかった。
【０００４】しかしながら再生用ヒータを出た再生空気
の温度は、シリカゲルを用いたもので８０℃以上、ゼオ
ライトを用いたもので１３０℃以上必要であり、より安
全性を高める必要がある。
の温度は、シリカゲルを用いたもので８０℃以上、ゼオ
ライトを用いたもので１３０℃以上必要であり、より安
全性を高める必要がある。
【０００５】本発明は以上の観点から、より安全性の高
いガス吸着除去装置を提供しようとするものである。
いガス吸着除去装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】ガス吸着ロータと、ロー
タに処理空気を送入するブロアと、ロータを回転駆動す
る回転駆動手段、およびロータの再生用ヒータを備え、
電源スイッチが入操作されるとブロアと回転駆動手段を
先に動作開始させ、その後再生用ヒータを動作させるよ
うにした。
タに処理空気を送入するブロアと、ロータを回転駆動す
る回転駆動手段、およびロータの再生用ヒータを備え、
電源スイッチが入操作されるとブロアと回転駆動手段を
先に動作開始させ、その後再生用ヒータを動作させるよ
うにした。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１および請求項２
に記載の発明はガス吸着ロータと、ロータに処理空気を
送入するブロアと、ロータを回転駆動する回転駆動手
段、およびロータの再生用ヒータを備え、電源スイッチ
の入操作に応じて短時間でブロアと回転駆動手段が起動
し暫く経って再生用ヒータが通電される作用を有する。
に記載の発明はガス吸着ロータと、ロータに処理空気を
送入するブロアと、ロータを回転駆動する回転駆動手
段、およびロータの再生用ヒータを備え、電源スイッチ
の入操作に応じて短時間でブロアと回転駆動手段が起動
し暫く経って再生用ヒータが通電される作用を有する。
【０００８】本発明の請求項３および請求項４に記載の
発明は、電源スイッチが切操作されるとヒータを先に停
止させ、その後ブロアと回転駆動手段を停止させる作用
を有する。
発明は、電源スイッチが切操作されるとヒータを先に停
止させ、その後ブロアと回転駆動手段を停止させる作用
を有する。
【０００９】本発明の請求項５に記載の発明は、電源ス
イッチの入操作に応じて短時間でブロアと回転駆動手段
が起動し暫く経って再生用ヒータが通電され、電源スイ
ッチが切操作されるとヒータを先に停止させ、その後ブ
ロアと回転駆動手段を停止させる作用を有する。
イッチの入操作に応じて短時間でブロアと回転駆動手段
が起動し暫く経って再生用ヒータが通電され、電源スイ
ッチが切操作されるとヒータを先に停止させ、その後ブ
ロアと回転駆動手段を停止させる作用を有する。
【００１０】本発明の請求項６に記載の発明は、処理空
気を送入するブロアが動作していることを検出した検出
出力に応じて再生用ヒータを動作させるようにする作用
を有する。
気を送入するブロアが動作していることを検出した検出
出力に応じて再生用ヒータを動作させるようにする作用
を有する。
【００１１】本発明の請求項７に記載の発明は、再生用
ヒータが動作停止していることを検出した検出出力に応
じてブロアと回転駆動手段を停止させる作用を有する。
ヒータが動作停止していることを検出した検出出力に応
じてブロアと回転駆動手段を停止させる作用を有する。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の第１実施例の斜視図であり、
図２は第１実施例の回路図である。図１において、１は
ガス吸着ロータであり、ケーシング２に回転自在に収納
されている。ガス吸着ロータ１としては、例えば特許出
願公告平成３年第６４１６４号公報などに開示されたハ
ニカムロータを用いることができる。
図２は第１実施例の回路図である。図１において、１は
ガス吸着ロータであり、ケーシング２に回転自在に収納
されている。ガス吸着ロータ１としては、例えば特許出
願公告平成３年第６４１６４号公報などに開示されたハ
ニカムロータを用いることができる。
【００１３】３はガス吸着ロータ１を回転駆動するギヤ
ドモータであり、これもケーシング２に収納されてい
る。また４は駆動ベルトであり、ギヤドモータ３の回転
駆動力はこの駆動ベルト４を介してガス吸着ロータ１に
伝えられる。
ドモータであり、これもケーシング２に収納されてい
る。また４は駆動ベルトであり、ギヤドモータ３の回転
駆動力はこの駆動ベルト４を介してガス吸着ロータ１に
伝えられる。
【００１４】５はガス吸着ロータ１に処理空気を送入す
るブロアである。６はガス吸着ロータ１の再生用ヒータ
であり、ここで加熱された空気はガス吸着ロータ１の一
部を加熱し、吸着された有機溶剤蒸気や湿気を放出させ
る。７はガス吸着ロータ１に再生空気を送入するブロア
である。
るブロアである。６はガス吸着ロータ１の再生用ヒータ
であり、ここで加熱された空気はガス吸着ロータ１の一
部を加熱し、吸着された有機溶剤蒸気や湿気を放出させ
る。７はガス吸着ロータ１に再生空気を送入するブロア
である。
【００１５】図２において９は電源スイッチであり、こ
のスイッチ９をオン・オフすることによりガス吸着除去
装置が起動・停止する。スイッチ９にはタイマーＴ1と
タイマーＴ2が接続されている。またタイマーＴ1にはリ
レーＲＬ1のコイルが接続され、タイマーＴ2にはリレー
ＲＬ2のコイルが接続されている。
のスイッチ９をオン・オフすることによりガス吸着除去
装置が起動・停止する。スイッチ９にはタイマーＴ1と
タイマーＴ2が接続されている。またタイマーＴ1にはリ
レーＲＬ1のコイルが接続され、タイマーＴ2にはリレー
ＲＬ2のコイルが接続されている。
【００１６】リレーＲＬ1の接点にはブロア５、ブロア
７及びギヤドモータ３が接続されている。また、リレー
ＲＬ2の接点にはヒータ６が接続されている。
７及びギヤドモータ３が接続されている。また、リレー
ＲＬ2の接点にはヒータ６が接続されている。
【００１７】タイマーＴ1の内部には、コンデンサＣ1と
抵抗Ｒ1の直列回路およびコンデンサＣ1とダイオードＤ
1の並列回路が設けられている。
抵抗Ｒ1の直列回路およびコンデンサＣ1とダイオードＤ
1の並列回路が設けられている。
【００１８】タイマーＴ2の内部には、抵抗Ｒ2及び抵抗
Ｒ3の直列回路と、抵抗Ｒ4及びコンデンサＣ2の直列回
路が設けられている。さらにタイマーＴ2の内部には、
コンパレータＫ1が設けられ、コンパレータＫ1の基準電
圧入力端子は、抵抗Ｒ2及び抵抗Ｒ3の接続中点に接続さ
れている。またコンパレータＫ1の比較電圧入力端子
は、抵抗Ｒ4及びコンデンサＣ2の接続中点に接続されて
いる。
Ｒ3の直列回路と、抵抗Ｒ4及びコンデンサＣ2の直列回
路が設けられている。さらにタイマーＴ2の内部には、
コンパレータＫ1が設けられ、コンパレータＫ1の基準電
圧入力端子は、抵抗Ｒ2及び抵抗Ｒ3の接続中点に接続さ
れている。またコンパレータＫ1の比較電圧入力端子
は、抵抗Ｒ4及びコンデンサＣ2の接続中点に接続されて
いる。
【００１９】さらにコンパレータＫ1の比較電圧入力端
子は、ダイオードＤ2を介し抵抗Ｒ5に接続されている。
子は、ダイオードＤ2を介し抵抗Ｒ5に接続されている。
【００２０】本発明の第１実施例は以上の構成よりな
り、以下その動作について説明する。先ず、スイッチ９
を投入するとタイマーＴ1とタイマーＴ2に電圧が掛か
る。するとコンデンサＣ1が充電されるが、抵抗Ｒ1がダ
イオードＤ1でショートされているため、短時間で充電
される。従って、リレーＲＬ1のコイルの電圧は短時間
で上昇しリレーＲＬ1がオンになる。つまり、スイッチ
９を投入するとすぐにブロア５，７およびギヤドモータ
３が起動する。
り、以下その動作について説明する。先ず、スイッチ９
を投入するとタイマーＴ1とタイマーＴ2に電圧が掛か
る。するとコンデンサＣ1が充電されるが、抵抗Ｒ1がダ
イオードＤ1でショートされているため、短時間で充電
される。従って、リレーＲＬ1のコイルの電圧は短時間
で上昇しリレーＲＬ1がオンになる。つまり、スイッチ
９を投入するとすぐにブロア５，７およびギヤドモータ
３が起動する。
【００２１】一方、コンデンサＣ2は抵抗Ｒ4を介して充
電されるため、時定数Ｔ＝Ｃ2×Ｒ4に従って電圧が上昇
し、コンパレータＫ1の比較電圧入力端子もこれに伴っ
て上昇する。
電されるため、時定数Ｔ＝Ｃ2×Ｒ4に従って電圧が上昇
し、コンパレータＫ1の比較電圧入力端子もこれに伴っ
て上昇する。
【００２２】これに対し、コンパレータＫ1の基準電圧
入力端子には、抵抗Ｒ2及び抵抗Ｒ3の分圧電圧が加わっ
ているため、当初この基準電圧入力端子の方が電圧が高
く、コンパレータＫ1はオフ状態である。所定時間が経
過するとコンデンサＣ2の電圧が抵抗Ｒ2及び抵抗Ｒ3の
分圧電圧を越え、コンパレータＫ1は反転してオンとな
る。
入力端子には、抵抗Ｒ2及び抵抗Ｒ3の分圧電圧が加わっ
ているため、当初この基準電圧入力端子の方が電圧が高
く、コンパレータＫ1はオフ状態である。所定時間が経
過するとコンデンサＣ2の電圧が抵抗Ｒ2及び抵抗Ｒ3の
分圧電圧を越え、コンパレータＫ1は反転してオンとな
る。
【００２３】これに伴って、リレーＲＬ2もオンとな
る。つまりヒータ６はスイッチ９を投入して所定時間後
にオンとなる。この所定時間は３分ないし１０分が好ま
しい。
る。つまりヒータ６はスイッチ９を投入して所定時間後
にオンとなる。この所定時間は３分ないし１０分が好ま
しい。
【００２４】次に、スイッチ９を断にすると、タイマー
Ｔ2のコンパレータＫ1の電源供給が停止するためコンパ
レータＫ1はオフとなる。また、コンデンサＣ2はダイオ
ードＤ2及び抵抗Ｒ5を介して放電される。
Ｔ2のコンパレータＫ1の電源供給が停止するためコンパ
レータＫ1はオフとなる。また、コンデンサＣ2はダイオ
ードＤ2及び抵抗Ｒ5を介して放電される。
【００２５】一方、タイマーＴ1のコンデンサＣ1はリレ
ーＲＬ1のコイル及び抵抗Ｒ1を介して時定数Ｔ＝Ｃ1×
Ｒ1×コイルのインピーダンスに従って放電する。従っ
て、コイルには所定時間電流が流れる。このため、ブロ
ア５，７およびギヤドモータ３はスイッチ９を断にして
所定時間経過後に停止する。
ーＲＬ1のコイル及び抵抗Ｒ1を介して時定数Ｔ＝Ｃ1×
Ｒ1×コイルのインピーダンスに従って放電する。従っ
て、コイルには所定時間電流が流れる。このため、ブロ
ア５，７およびギヤドモータ３はスイッチ９を断にして
所定時間経過後に停止する。
【００２６】このように、第１実施例のものはスイッチ
９を投入すると、すぐにブロア５，７およびギヤドモー
タ３は起動し、ヒータ６は所定時間後に通電される。ま
た、スイッチ９を断にするとヒータ６はすぐに通電がと
まり、所定時間後にブロア５，７およびギヤドモータ３
は停止する。
９を投入すると、すぐにブロア５，７およびギヤドモー
タ３は起動し、ヒータ６は所定時間後に通電される。ま
た、スイッチ９を断にするとヒータ６はすぐに通電がと
まり、所定時間後にブロア５，７およびギヤドモータ３
は停止する。
【００２７】次に本発明の第２実施例について説明す
る。図３および図４はそれぞれ本発明の第２実施例の斜
視図および回路図である。図３において図１と共通の構
成については同一の番号を付与し、重複説明を避ける。
る。図３および図４はそれぞれ本発明の第２実施例の斜
視図および回路図である。図３において図１と共通の構
成については同一の番号を付与し、重複説明を避ける。
【００２８】図４において９は電源スイッチであり、こ
のスイッチ９をオン・オフすることによりガス吸着除去
装置が起動・停止する。スイッチ９にはリレーＲＬ1及
びリレーＲＬ2が接続されている。
のスイッチ９をオン・オフすることによりガス吸着除去
装置が起動・停止する。スイッチ９にはリレーＲＬ1及
びリレーＲＬ2が接続されている。
【００２９】リレーＲＬ1は２回路の接点を有してお
り、一方の接点にはブロア５、ブロア７及びギヤドモー
タ３が接続されている。そして他方の接点にはヒータ６
の温度を検出する温度センサ１０を介してコイルに接続
されている。つまり、他方の接点はリレーＲＬ1のラッ
チングに寄与している。
り、一方の接点にはブロア５、ブロア７及びギヤドモー
タ３が接続されている。そして他方の接点にはヒータ６
の温度を検出する温度センサ１０を介してコイルに接続
されている。つまり、他方の接点はリレーＲＬ1のラッ
チングに寄与している。
【００３０】また、リレーＲＬ2の接点にはヒータ６が
接続されている。そしてリレーＲＬ2のコイルはブロア
７の風圧を検出する風圧センサ１１を介してスイッチ９
に接続されている。
接続されている。そしてリレーＲＬ2のコイルはブロア
７の風圧を検出する風圧センサ１１を介してスイッチ９
に接続されている。
【００３１】温度センサ１０は熱電対やサーミスタを有
しておりヒータ６の付近に取り付けられ、ヒータ６の温
度が所定値以上になるとオン、それ以下になるとオフに
なる。
しておりヒータ６の付近に取り付けられ、ヒータ６の温
度が所定値以上になるとオン、それ以下になるとオフに
なる。
【００３２】風圧センサ１１は、風を受ける作動片とマ
イクロスイッチの組合せよりなり、ブロア７の送風路内
に設置され、ブロア７の発生する風の流れが所定値以上
になるとオンとなり、それ以下になるとオフとなるもの
である。
イクロスイッチの組合せよりなり、ブロア７の送風路内
に設置され、ブロア７の発生する風の流れが所定値以上
になるとオンとなり、それ以下になるとオフとなるもの
である。
【００３３】本発明の第２実施例は以上の構成よりな
り、以下その動作について説明する。先ず、スイッチ９
を投入するとリレーＲＬ1のコイルに電流が流れ、両接
点がオンとなる。すると、ブロア５、ブロア７及びギヤ
ドモータ３が起動する。ブロア７の風圧が上がると、風
圧センサ１１がオンとなりリレーＲＬ2のコイルが通電
してヒータ６も通電する。
り、以下その動作について説明する。先ず、スイッチ９
を投入するとリレーＲＬ1のコイルに電流が流れ、両接
点がオンとなる。すると、ブロア５、ブロア７及びギヤ
ドモータ３が起動する。ブロア７の風圧が上がると、風
圧センサ１１がオンとなりリレーＲＬ2のコイルが通電
してヒータ６も通電する。
【００３４】ヒータ６の温度が所定値以上になると温度
センサ１０がオンとなり、リレーＲＬ1のコイルには接
点および温度センサ１０を介して電流が流れるためリレ
ーＲＬ1はラッチされた状態となる。
センサ１０がオンとなり、リレーＲＬ1のコイルには接
点および温度センサ１０を介して電流が流れるためリレ
ーＲＬ1はラッチされた状態となる。
【００３５】スイッチ９を断にすると、リレーＲＬ2の
コイルに流れる電流が途切れるため、リレーＲＬ2はオ
フとなって、ヒータ６への電流も途切れる。するとヒー
タ６の温度も次第に下がり、ヒータ６の温度が所定値以
下になると温度センサ１０はオフとなる。これによって
リレーＲＬ1はラッチ状態が解かれ、オフとなる。
コイルに流れる電流が途切れるため、リレーＲＬ2はオ
フとなって、ヒータ６への電流も途切れる。するとヒー
タ６の温度も次第に下がり、ヒータ６の温度が所定値以
下になると温度センサ１０はオフとなる。これによって
リレーＲＬ1はラッチ状態が解かれ、オフとなる。
【００３６】このように、第２実施例のものはスイッチ
９を投入すると、すぐにブロア５，７およびギヤドモー
タ３は起動し、ブロア７の風圧が所定値以上に上がると
ヒータ６は通電される。また、スイッチ９を断にすると
ヒータ６はすぐに通電がとまり、ヒータ６の温度が所定
値まで下がったらブロア５，７およびギヤドモータ３は
停止する。
９を投入すると、すぐにブロア５，７およびギヤドモー
タ３は起動し、ブロア７の風圧が所定値以上に上がると
ヒータ６は通電される。また、スイッチ９を断にすると
ヒータ６はすぐに通電がとまり、ヒータ６の温度が所定
値まで下がったらブロア５，７およびギヤドモータ３は
停止する。
【００３７】
【発明の効果】本発明のガス吸着除去装置は上記の如く
構成したので、起動に際しブロアが運転を始めた後にヒ
ータに通電され、停止に際しヒータの通電が断となった
後にブロアの運転が停止されるものであり、安全性を高
めることができるものである。
構成したので、起動に際しブロアが運転を始めた後にヒ
ータに通電され、停止に際しヒータの通電が断となった
後にブロアの運転が停止されるものであり、安全性を高
めることができるものである。
【００３８】さらに本発明の第１実施例のものは、タイ
マーによって通電開始のタイミングを設定するようにし
ているため、タイマーの動作時間を変更することによっ
て簡単にヒータの通電開始時間を変更することができ、
吸着ロータを収納する部材等の耐熱性に応じた設定とす
ることができる。
マーによって通電開始のタイミングを設定するようにし
ているため、タイマーの動作時間を変更することによっ
て簡単にヒータの通電開始時間を変更することができ、
吸着ロータを収納する部材等の耐熱性に応じた設定とす
ることができる。
【００３９】また、本発明の第２実施例のものは、ブロ
アの発生風圧を検出してヒータを通電するようにしてい
るため、万一ブロアが故障していた場合はヒータに通電
されずさらに安全性を高くすることができる。さらに、
ヒータの温度を検出してブロアの停止を行うようにして
いるため、万一リレーの故障等でヒータの通電が止まっ
ていない場合はブロアも運転を維持し安全性が高い。
アの発生風圧を検出してヒータを通電するようにしてい
るため、万一ブロアが故障していた場合はヒータに通電
されずさらに安全性を高くすることができる。さらに、
ヒータの温度を検出してブロアの停止を行うようにして
いるため、万一リレーの故障等でヒータの通電が止まっ
ていない場合はブロアも運転を維持し安全性が高い。
【００４０】
【図１】本発明のガス吸着除去装置の第１実施例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】本発明のガス吸着除去装置の第１実施例を示す
配線図である。
配線図である。
【図３】本発明のガス吸着除去装置の第２実施例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図４】本発明のガス吸着除去装置の第２実施例を示す
配線図である。
配線図である。
１ ガス吸着ロータ
２ ケーシング
３ ギヤドモータ
４ 駆動ベルト
５ ブロア
６ 再生用ヒータ
７ ブロア
９ 電源スイッチ
１０ 温度センサ
１１ 風圧センサ
Ｔ1 タイマー
Ｔ2 タイマー
ＲＬ1 リレー
ＲＬ2 リレー
Ｃ1 コンデンサ
Ｃ2 コンデンサ
Ｒ1 抵抗
Ｒ2 抵抗
Ｒ3 抵抗
Ｒ4 抵抗
Ｒ5 抵抗
Ｄ1 ダイオード
Ｄ2 ダイオード
Ｋ1 コンパレータ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01D 53/02
B01D 53/26
Claims (4)
- 【請求項１】ガス吸着ロータと、前記ロータに処理空気
を送入するブロアと、前記ロータを回転駆動する回転駆
動手段、および前記ロータの再生用ヒータを備え、電源
スイッチが入操作されると前記ブロアと回転駆動手段を
先に動作開始させ、その後前記再生用ヒータを動作させ
るようにしたことを特徴とするガス吸着除去装置。 - 【請求項２】電源スイッチが入操作されると所定時間後
に再生用ヒータを動作させるタイマーを設けたことを特
徴とする請求項１記載のガス吸着除去装置。 - 【請求項３】ガス吸着ロータと、前記ロータに処理空気
を送入するブロアと、前記ロータを回転駆動する回転駆
動手段、および前記ロータの再生用ヒータを備え、電源
スイッチが入操作されると短時間で閉となり電源スイッ
チが切操作されると長時間で開となる第１のリレーを介
して前記ブロアと回転駆動手段を電源に接続し、前記電
源スイッチが入操作されると長時間で閉となり電源スイ
ッチが切操作されると短時間で開となる第２のリレーを
介して前記再生用ヒータを電源に接続したことを特徴と
するガス吸着除去装置。 - 【請求項４】処理空気を送入するブロアが動作している
ことを検出する手段を有し、その検出出力に応じて再生
用ヒータを動作させるようにしたことを特徴とする請求
項１記載のガス吸着除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24860796A JP3458884B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | ガス吸着除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24860796A JP3458884B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | ガス吸着除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1085540A JPH1085540A (ja) | 1998-04-07 |
| JP3458884B2 true JP3458884B2 (ja) | 2003-10-20 |
Family
ID=17180638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24860796A Expired - Fee Related JP3458884B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | ガス吸着除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3458884B2 (ja) |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP24860796A patent/JP3458884B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1085540A (ja) | 1998-04-07 |
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