JP3456524B2 - 移動台制御方法及び移動台制御装置 - Google Patents
移動台制御方法及び移動台制御装置Info
- Publication number
- JP3456524B2 JP3456524B2 JP31662798A JP31662798A JP3456524B2 JP 3456524 B2 JP3456524 B2 JP 3456524B2 JP 31662798 A JP31662798 A JP 31662798A JP 31662798 A JP31662798 A JP 31662798A JP 3456524 B2 JP3456524 B2 JP 3456524B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- controller
- displayed
- program
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Control By Computers (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ステッピングモー
タやサーボモータの如きモータにより移動操作される可
動ステージ部を有する移動台の動作をコンピュータを用
いて制御して光学素子を移動操作する光学機器制御装置
に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、ステッピングモータやサーボモー
タの如きモータにより移動操作される可動ステージ部を
有する移動台が提案されている。この移動台は、例え
ば、光学機器の製造や調整、または、実験において、光
学素子を正確に所望の距離や角度だけ移動操作する場合
などにおいて使用されるものである。 【０００３】この移動台においては、モータを駆動させ
ることにより、可動ステージ部が移動操作される。そし
て、このモータの駆動量を制御することによって、可動
ステージの移動量が制御される。例えば、モータとして
ステッピングモータが使用されている場合には、このス
テッピングモータに供給するパルス数を制御することに
よって、該ステッピングモータの駆動量（回転角）が制
御される。ステッピングモータの駆動量が制御される
と、この駆動量及び動力伝達機構の減速比によって決ま
る可動ステージの移動量が制御される。 【０００４】すなわち、可動ステージを移動させたい方
向や移動量が決まっている場合には、この方向及び移動
量に基づき、動力伝達機構の減速比によって、モータの
駆動量を逆算して求め、この算出結果に合うように、モ
ータを駆動させる。 【０００５】モータの駆動量の制御は、図１８に示すよ
うに、コンピュータの如き信号処理部１０１を用いてコ
ントローラ２ｂを制御し、このコントローラ２ｂにより
ドライバ３を制御し、そして、このドライバ３によって
移動台（自動ステージ）４のモータを駆動させることに
よって行っている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
にして移動台における可動ステージの移動量を制御する
場合においては、移動台４のメーカや機種が複数存在し
てそれぞれ特性が異なるとともに、コントローラ２ｂに
ついても、複数のメーカや機種が存在し、それぞれ特性
が異なることが問題となる。 【０００７】すなわち、移動台４について種々のデー
タ、すなわち、移動台の種類（直動ステージ、回転ステ
ージ、または、傾斜ステージなど）、モータの回転方
向、原点の決め方、動力伝達機構の減速比などの種々の
データは、移動台４のメーカ毎、あるいは、機種毎に異
なり、そのために、信号処理部１０１における演算の基
準が移動台４のメーカや機種毎に異なる。 【０００８】また、コントローラ２ｂについては、通信
プログラム５０が、コントローラ２ｂのメーカ毎に専用
のものとなっており、コントローラ２ｂをメーカや機種
の異なるものに替えた場合、例えば、Ｘ社製のコントロ
ーラ２ｂからＹ社製のボード型コントローラ２ｃに替え
た場合などには、図１９に示すように、通信プログラム
も、新しいコントローラ２ｃに合わせて、Ｙ社コントロ
ーラ通信プログラム５１などに替えなければならない。 【０００９】したがって、複数のプログラム３５より選
択されて実行される制御プログラム４１の如きソフトウ
ェアについては、移動台４のメーカ及び機種とコントロ
ーラ２ｂ，２ｃのメーカ及び機種との組合わせ毎に専用
のものとなっているか、または、使用者が自分で作る必
要がある。すなわち、これらソフトウェアについても、
移動台４やコントローラをメーカや機種の異なるものに
替えた場合には、新しい移動台４やコントローラに合わ
せて替えなければならない。 【００１０】したがって、図１８に示すように、移動台
に関するデータ４２を、使用の度にコントローラ２ｂに
対して与えたり、または、図１９に示すように、移動台
に関するデータ４２を、使用の度に信号処理部１０１に
対して入力しなければならない。 【００１１】そして、可動ステージの移動量に対応する
モータの駆動量を算出することも面倒な作業であり、可
動ステージを交換したときの作業量は膨大なものになっ
てしまう。 【００１２】また、信号処理部となるコンピュータとコ
ントローラとは、ほとんどの場合、いわゆる「ＧＰ−Ｉ
Ｂ」か「ＲＳ２３２Ｃ」などのインターフェイスを介し
て接続される。ところが、「ＧＰ−ＩＢ」や「ＲＳ２３
２Ｃ」などのインターフェイスは、コンピュータと種々
の測定装置や画像処理装置等との接続にも用いられる。
したがって、これらのインターフェイスをコントローラ
との接続のために使用してしまった場合、測定装置や画
像処理装置等を用いた測定や画像処理が困難となってし
まう。 【００１３】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、種々のメーカや異なる機種の移
動台及びコントローラのいずれについても、汎用的、か
つ、容易に制御をすることができるようになされた光学
機器制御装置を提供しようとするものである。 【００１４】 【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る光学機器制御装置は、モータにより移
動操作され光学素子を移動操作する可動ステージ部を有
する移動台の該モータをそれぞれ駆動させる複数のドラ
イバと、これら複数のドライバを制御するコントローラ
部と、このコントローラ部を制御する信号処理部と、こ
の信号処理部に対して可動ステージの移動方向、移動
量、移動速度及び移動加速度を指定する入力手段と、複
数の制御プログラム、複数種類の移動台に関するデータ
及び複数種類の通信プログラムを記憶している記憶手段
とを備えている。 【００１５】そして、この光学機器制御装置において、
信号処理部は、記憶手段により記憶されている複数の制
御プログラムより、接続されているコントローラ部、複
数のドライバ及び複数の移動台のそれぞれの組合わせに
対応した複数の制御プログラムを選択するとともに、複
数種類の移動台に関するデータ及び複数種類の通信プロ
グラムのうち、選択された制御プログラムに対応する通
信プログラムに基づいて、該コントローラ部を介して各
ドライバを制御し、これら各ドライバに対応されて接続
された複数の移動台を制御して、各移動台の可動ステー
ジを指定された移動方向、移動量、移動速度及び移動加
速度にて移動させることを特徴とするものである。 【００１６】 【００１７】 【００１８】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。 【００１９】本発明に係る光学機器制御装置は、図１及
び図２に示すように、信号処理部となるコンピュータ１
と、このコンピュータ１に接続されたコントローラ部と
なるコントローラ２と、このコントローラ２に接続され
該コントローラ２により制御される複数のドライバ３を
備えている。これらドライバ３には、それぞれ、移動台
４においてこの移動台４の可動ステージ５を移動操作す
るモータ６が対応して接続される。各ドライバ３は、ド
ライバボックス３ａに収納されている。 【００２０】移動台４は、基台部７と、この基台部７に
より移動可能に支持された可動ステージ５を備えて構成
されている。この移動台４において、可動ステージ５
は、基台部７に設けられた送りネジ機構などにより、該
基台部７に対して移動操作される。そして、この送りネ
ジ機構は、モータ６により移動される。このモータ６と
しては、ステッピングモータやサーボモータなど、回転
角度及び回転速度の制御が可能なものが用いられる。 【００２１】移動台４は、図３に示すように、可動ステ
ージ５が基台部７に対して水平な一直線Ｌｈに平行に移
動する直動ステージ型や、図４に示すように、可動ステ
ージ５が基台部７に対して水平な一軸Ａｈ回りに回動す
る傾斜ステージ型や、あるいは、図５に示すように、可
動ステージ５が基台部７に対して垂直な一軸Ａｖ回りに
回転する回転ステージ型などがある。 【００２２】各ドライバ３は、コントローラ２の指示に
したがって、対応するモータ６に駆動パルスまたは駆動
電流を供給する装置である。コントローラ２には、複数
のドライバ３を接続することができる。コントローラ２
は、コンピュータ１からの指示にしたがって各ドライバ
３を制御する回路装置であり、コンピュータ１の出力と
各ドライバ３とのインターフェイスとなるものである。
すなわち、コンピュータ１からは数値的な情報信号が出
力され、この出力に基づいてコントローラ２が各ドライ
バ３を制御することにより、これらドライバ３からは、
対応するモータ６の駆動に必要な電流が該各モータ６に
供給される。 【００２３】そして、コンピュータ１では、移動台制御
プログラムが実行される。この移動台制御プログラム
は、実行されると、まず、図６に示すように、コンピュ
ータ１の表示画面部８にメインコントロール画面を表示
させる。このメインコントロール画面上においては、コ
ンピュータ１において操作されるマウスポインタ及びク
リックスイッチを用いて、種々の入力や選択の操作が行
える。このマウスポインタは、いわゆるマウスによって
画面上を移動操作される。また、クリックスイッチは、
マウスに設けられる。 【００２４】このメインコントロール画面においては、
図７に示すように、メニューバー９に表示された「プロ
グラム」、「設定」、「原点」、「運転」、「ＧＰＩ
Ｂ」、「２３２Ｃ」との項目からの一の項目を選択する
ことができる。また、このメインコントロール画面に
は、ティーチング画面１０が表示され、このティーチン
グ画面１０中には、指定された軸名称の表示１１、軸名
称が表示された軸の移動量の表示１２、実行中のプログ
ラムの名称及び行番号の表示１３、指定した移動台を手
動で駆動させるジョグボタン１４、スピードスライダ及
びスピードの表示１５、初期状態（オリジナル）への復
帰をするＯＲＧボタン１６などが表示される。また、メ
ッセージボタン１８、ＯＫボタン１９，終了ボタン２０
が表示される。 【００２５】さらに、メインコントロール画面において
は、移動台制御装置に接続されている全ての移動台の各
軸について、軸名称及び該軸の移動量の一覧表示１７が
なされる。ここで「軸」とは、この移動台制御装置に接
続された各移動台における移動軸のことである。直動ス
テージ型においては、移動軸に沿った移動距離が、傾斜
ステージ型及び回転ステージ型においては、回転軸回り
の回転角度が、それぞれ移動量となる。 【００２６】メッセージボタン１８をクリックすると、
「ＩＯ入力点数」、「ＩＯ出力点数」、「タイマー値
（秒）」、「サブコール名」などの項目の入力が行える
メッセージ入力ウィンドウ２１が表示される。 【００２７】なお、メインコントロール画面において
は、「Ｍキャンセル」ボタンが表示される。この「Ｍキ
ャンセル」ボタンは、プログラムを実行しても、実際に
は移動台を駆動させない状態とするもので、移動台を駆
動させない状態でプログラムの実行速度を測定する場合
などに用いる。また、メインコントロール画面において
は、「シングル」ボタンが表示される。この「シング
ル」ボタンは、プログラムを実行したときに、１行ずつ
プログラム中の指令を実行し、「スタート」ボタンが操
作されるまで停止状態となるようにするものである。プ
ログラムの内容の誤りを発見する場合などに用いる。 【００２８】メニューバー９に表示された「プログラ
ム」をクリックすると、図８に示すように、「新規作
成」、「開く」、「閉じる」、「上書き保存」、「名前
を付けて保存」、「閉じる」というプルダウンメニュー
２２が表示される。これらは、このコンピュータ１にお
いて記録されているプログラムについて、それぞれの項
目に応じた動作を実行させるためのものである。また、
メニューバー９に表示された「設定」をクリックする
と、図８に示すように、「軸数」、「各軸」、「ＧＰＩ
Ｂ」、「ＲＳ２３２Ｃ」というプルダウンメニュー２３
が表示される。これらは、それぞれの項目に応じた設定
を行う画面を呼び出すためのものである。さらに、メニ
ューバー９に表示された「原点」をクリックすると、
「原点」というプルダウンメニュー２４が表示される。
これは、この項目に応じた設定を行う画面を呼び出すた
めのものである。メニューバー９に表示された「画面」
をクリックすると、「画面」というプルダウンメニュー
２５が表示される。これは、この項目に応じた設定を行
う画面を呼び出すためのものである。メニューバー９に
表示された「運転」をクリックすると、「運転」という
プルダウンメニュー２６が表示される。これは、この項
目に応じた設定を行う画面を呼び出すためのものであ
る。 【００２９】メニューバー９に表示された「プログラ
ム」に対応したプルダウンメニュー２２において、「新
規作成」をクリックすると、図９に示すように、新規に
作成するプログラムについてのプログラム名（グループ
名）及びモーションプログラム名（ファイル名）などを
入力する入力ウィンドウ２７が表示される。ここで、新
たな実験項目や測定内容に応じたプログラムを作成する
ことができる。 【００３０】メニューバー９に表示された「プログラ
ム」に対応したプルダウンメニュー２２において、「開
く」をクリックすると、新たに開くプログラムについて
のプログラム名（グループ名）及びモーションプログラ
ム名（ファイル名）などを選択する選択ウィンドウ２８
が表示される。ここでは、実験項目や測定内容に応じた
プログラムを選択する。 【００３１】メニューバー９に表示された「プログラ
ム」に対応したプルダウンメニュー２２において、「名
前を付けて保存」をクリックすると、開いているプログ
ラムについて保存する際のプログラム名（グループ名）
及びモーションプログラム名（ファイル名）などを入力
する入力ウィンドウ２９が表示される。 【００３２】次に、メニューバー９に表示された「設
定」に対応したプルダウンメニュー２３において、「軸
数」をクリックすると、図１０に示すように、使用する
軸の数が表示される。また、ここで、移動量のカウント
のしかたとして、「アブソリュート」と「インクレメン
タル」との選択を行うことができる。 【００３３】メニューバー９に表示された「設定」に対
応したプルダウンメニュー２３において、「各軸」をク
リックすると、各軸設定ウィンドウ３１が表示される。
この各軸設定ウィンドウ３１においては、各軸について
の設定及び「設定軸名称」を入力するウィンドウ３１
ａ、「ステップ」の入力ウィンドウ３１ｂ、「加減速」
の入力ウィンドウ３１ｃ、ステージの種類についての選
択ウィンドウ３１ｄが表示される。 【００３４】ここで、「ステップ」の入力ウィンドウ３
１ｂでは、「フルステップ」、「ハーフステップ」、ま
たは、「マイクロステップ〔（１／ｎ）ステップ〕」の
選択ができる。ステージの種類についての選択ウィンド
ウ３１ｄでは、「直動型」、「回転型」、「傾斜型（ゴ
ニオ）」、「その他」のうちからの選択ができ、さら
に、このコンピュータ１内の記憶手段となる記憶装置に
予め記憶されている複数種類の移動台についてのデータ
を「検索」ボタン３１ｅによって呼び出すことができ
る。この記憶装置は、例えば、ハードディスク、ＲＯＭ
などである。ここでは、実際に接続され使用する移動台
に対応したデータを呼び出して選択することができる。 【００３５】また、記憶装置に予め記憶されている複数
種類のコントローラについての通信プログラムを呼び出
すことができ、実際に接続され使用するコントローラに
対応した通信プログラムを選択することができる。 【００３６】さらに、メニューバー９に表示された「原
点」に対応したプルダウンメニュー２４において、「原
点」をクリックすると、図１１に示すように、原点指定
ウィンドウ３２が表示される。この原点指定ウィンドウ
３２においては、各軸についての原点の設定を行うこと
ができる。メニューバー９に表示された「画面」に対応
したプルダウンメニュー２５において、「画面」をクリ
ックすると、画面設定ウィンドウ３３が表示される。こ
の画面設定ウィンドウ３３においては、カウンター入力
の有無、カウンターのリセットを行うことができる。メ
ニューバー９に表示された「運転」に対応したプルダウ
ンメニュー２６において、「運転」をクリックすると、
運転ウィンドウ３４が表示される。この運転ウィンドウ
３４においては、指定されたモーションプログラム名が
表示され、運転を開始する「ＯＫ」ボタン３４ａと、運
転を中止する「キャンセル」ボタン３４ｂが表示され
る。 【００３７】ところで、メニューバー９より、「設
定」、「各軸」、ステージの種類についての選択ウィン
ドウ３１ｄと辿り、「検索」ボタン３１ｅによって呼び
出される複数種類の移動台についてのデータは、図１２
乃至図１４に示すように、例えば表計算ソフト用のファ
イル形式を用いて記述しておくことができる。 【００３８】直動ステージ型の移動台については、図１
２に示すように、例えば「Ａ社製００１型」、「Ａ社製
００２型」及び「Ｂ社製００１型」について、それぞれ
モータの回転方向（＋、−）に対する可動ステージの移
動の方向性（１はＣＷ（時計方向）、２はＣＣＷ（反時
計方向）を示す）、「リミット」（１は＋、２は−、３
はニア原点、４は原点、０はなし、ＡはＡ接点、ＢはＢ
接点を示す）、「パルス」（１パルスの移動量を示
す）、「バックラッシュ」（可動ステージの遊びを示
す）、「スピード」（最高移動速度、原点速度（最高移
動速度に対する％）、ニア原点速度（最高移動速度に対
する％）を示す）、「加減速」（最高移動速度になるま
での時間を示す）、「単位」（１は「ｍｍ」、２は角度
を示す）などが表記される。 【００３９】回転ステージ型の移動台についても同様
に、図１３に示すように、例えば「Ａ社製１０１型」、
「Ａ社製１０２型」及び「Ｂ社製１０１型」について、
それぞれモータの回転方向（＋、−）に対する可動ステ
ージの移動の方向性、「リミット」、「パルス」、「バ
ックラッシュ」、「スピード」、「加減速」、「単位」
などが表記される。 【００４０】傾斜ステージ型の移動台についても同様
に、図１４に示すように、例えば「Ａ社製２０１型」、
「Ａ社製２０２型」及び「Ｂ社製２０１型」について、
それぞれモータの回転方向（＋、−）に対する可動ステ
ージの移動の方向性、「リミット」、「パルス」、「バ
ックラッシュ」、「スピード」、「加減速」、「単位」
などが表記される。 【００４１】このような移動台に関するデータは、適
宜、新規に作成して追加し、または、削除することがで
きる。 【００４２】さらに、複数種類のコントローラについて
の通信プログラムも、上述のようなファイル形式を用い
て記述しておくことができる。 【００４３】上述のような表示に基づいて所定事項の入
力及び選択を行ってプログラムを実行すると、図１５に
示すように、コンピュータ１において記録されている複
数の制御プログラム３５，３６，３７より、接続された
コントローラ２と移動台４とのメーカ及び機種の組合わ
せに応じて、Ａ装置ファイル３８、Ｂ装置ファイル３
９、Ｃ装置ファイル４０として選択され、自動ステージ
制御プログラム４１として実行を開始する。 【００４４】そして、コンピュータ１において記録され
ている複数の移動台に関するデータ４２，４３，４４よ
り、選択された制御プログラムに応じて、すなわち、接
続されている移動台に応じて、直動ステージファイル４
５、回転ステージファイル４６、傾斜ステージファイル
４７として選択され、自動ステージデータ４８として実
行するプログラム中で使用される。 【００４５】さらに、コンピュータ１において記録され
ている複数の通信プログラム４９，５０，５１（例え
ば、当社（本件出願人）製、Ｘ社製及びＹ社製）より、
選択された制御プログラムに応じて、すなわち、使用す
るコントローラに応じて、通信ファイル５２として選択
され、コントローラとの通信を行うための通信プログラ
ム５３として実行される。 【００４６】コンピュータ１には、当社製のコントロー
ラ２ａの他、例えば、Ｘ社製コントローラ２ｂ、Ｙ社製
（ボード型）コントローラ２ｃをも接続しておくことが
できる。そして、当社製コントローラ２ａ、または、Ｘ
社製コントローラ２ｂ、Ｙ社製コントローラ２ｃを介し
て、ドライバ３が制御されて、移動台４は、自動ステー
ジ制御プログラム４１に定められた移動を行う。 【００４７】このようにして自動ステージ制御プログラ
ム４１が実行されることにより、コンピュータ１上にお
いて、移動台４の可動ステージ５の移動につき、移動方
向、移動量、移動速度、移動加速度などについて所望の
数値を指定するのみで、該可動ステージ５は、指定され
た数値に応じた移動操作をなされる。 【００４８】そして、この移動台制御装置においては、
図１６に示すように、コンピュータとしていわゆるデス
クトップ型のパーソナルコンピュータ１ａを用いる場合
において、コントローラ２は、パーソナルコンピュータ
１ａのＰＣＩバスまたはＩＳＡバスから該コントローラ
２のＩＳＡバスに接続されるようにすることで、パーソ
ナルコンピュータ１ａのＧＰＩＢ端子やＲＳ２３２Ｃ端
子には、測定項目や測定順序を定めた測定実行プログラ
ムや画像処理装置などを含む測定装置５４を接続するこ
とができる。この場合には、パーソナルコンピュータ１
ａにおける測定装置５４から得られるデータの処理が容
易になる。 【００４９】また、この移動台制御装置においては、図
１７に示すように、コンピュータとしていわゆるノート
型のパーソナルコンピュータ１ｂを用いる場合におい
て、コントローラ２は、パーソナルコンピュータ１ｂの
ＰＣＭＣＩＡバスから該コントローラ２のＩＳＡバスに
接続されるようにすることで、パーソナルコンピュータ
１ｂのＲＳ２３２Ｃ端子には、測定項目や測定順序を定
めた測定実行プログラムや画像処理装置などを含む測定
装置５４を接続することができる。この場合にも、パー
ソナルコンピュータ１ｂにおける測定装置５４から得ら
れるデータの処理が容易になる。 【００５０】 【発明の効果】上述のように、本発明に係る光学機器制
御装置においては、予め記憶手段により記憶されている
複数の制御プログラムより接続されているコントローラ
部、複数のドライバ及び複数の移動台のそれぞれの組合
わせに対応した複数の制御プログラムを選択するととも
に、複数種類の移動台に関するデータ及び複数種類の通
信プログラムのうち、選択された制御プログラムに対応
する通信プログラムに基づいて、該コントローラ部を介
して各ドライバを制御し、これら各ドライバに対応され
て接続された複数の移動台の制御を行い、各移動台の可
動ステージを指定された移動方向、移動量、移動速度及
び移動加速度にて移動させることができる。 【００５１】したがって、この光学機器制御装置におい
ては、複数の移動台、複数のドライバ及びコントローラ
部のメーカや機種がそれぞれ種々のものであっても、汎
用的に制御を行うことができる。 【００５２】すなわち、本発明は、種々のメーカや異な
る機種の複数の移動台、複数のドライバ及びコントロー
ラのいずれの組合わせについても、汎用的、かつ、容易
に制御をすることができるようになされた光学機器制御
装置を提供することができるものである。
タやサーボモータの如きモータにより移動操作される可
動ステージ部を有する移動台の動作をコンピュータを用
いて制御して光学素子を移動操作する光学機器制御装置
に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、ステッピングモータやサーボモー
タの如きモータにより移動操作される可動ステージ部を
有する移動台が提案されている。この移動台は、例え
ば、光学機器の製造や調整、または、実験において、光
学素子を正確に所望の距離や角度だけ移動操作する場合
などにおいて使用されるものである。 【０００３】この移動台においては、モータを駆動させ
ることにより、可動ステージ部が移動操作される。そし
て、このモータの駆動量を制御することによって、可動
ステージの移動量が制御される。例えば、モータとして
ステッピングモータが使用されている場合には、このス
テッピングモータに供給するパルス数を制御することに
よって、該ステッピングモータの駆動量（回転角）が制
御される。ステッピングモータの駆動量が制御される
と、この駆動量及び動力伝達機構の減速比によって決ま
る可動ステージの移動量が制御される。 【０００４】すなわち、可動ステージを移動させたい方
向や移動量が決まっている場合には、この方向及び移動
量に基づき、動力伝達機構の減速比によって、モータの
駆動量を逆算して求め、この算出結果に合うように、モ
ータを駆動させる。 【０００５】モータの駆動量の制御は、図１８に示すよ
うに、コンピュータの如き信号処理部１０１を用いてコ
ントローラ２ｂを制御し、このコントローラ２ｂにより
ドライバ３を制御し、そして、このドライバ３によって
移動台（自動ステージ）４のモータを駆動させることに
よって行っている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
にして移動台における可動ステージの移動量を制御する
場合においては、移動台４のメーカや機種が複数存在し
てそれぞれ特性が異なるとともに、コントローラ２ｂに
ついても、複数のメーカや機種が存在し、それぞれ特性
が異なることが問題となる。 【０００７】すなわち、移動台４について種々のデー
タ、すなわち、移動台の種類（直動ステージ、回転ステ
ージ、または、傾斜ステージなど）、モータの回転方
向、原点の決め方、動力伝達機構の減速比などの種々の
データは、移動台４のメーカ毎、あるいは、機種毎に異
なり、そのために、信号処理部１０１における演算の基
準が移動台４のメーカや機種毎に異なる。 【０００８】また、コントローラ２ｂについては、通信
プログラム５０が、コントローラ２ｂのメーカ毎に専用
のものとなっており、コントローラ２ｂをメーカや機種
の異なるものに替えた場合、例えば、Ｘ社製のコントロ
ーラ２ｂからＹ社製のボード型コントローラ２ｃに替え
た場合などには、図１９に示すように、通信プログラム
も、新しいコントローラ２ｃに合わせて、Ｙ社コントロ
ーラ通信プログラム５１などに替えなければならない。 【０００９】したがって、複数のプログラム３５より選
択されて実行される制御プログラム４１の如きソフトウ
ェアについては、移動台４のメーカ及び機種とコントロ
ーラ２ｂ，２ｃのメーカ及び機種との組合わせ毎に専用
のものとなっているか、または、使用者が自分で作る必
要がある。すなわち、これらソフトウェアについても、
移動台４やコントローラをメーカや機種の異なるものに
替えた場合には、新しい移動台４やコントローラに合わ
せて替えなければならない。 【００１０】したがって、図１８に示すように、移動台
に関するデータ４２を、使用の度にコントローラ２ｂに
対して与えたり、または、図１９に示すように、移動台
に関するデータ４２を、使用の度に信号処理部１０１に
対して入力しなければならない。 【００１１】そして、可動ステージの移動量に対応する
モータの駆動量を算出することも面倒な作業であり、可
動ステージを交換したときの作業量は膨大なものになっ
てしまう。 【００１２】また、信号処理部となるコンピュータとコ
ントローラとは、ほとんどの場合、いわゆる「ＧＰ−Ｉ
Ｂ」か「ＲＳ２３２Ｃ」などのインターフェイスを介し
て接続される。ところが、「ＧＰ−ＩＢ」や「ＲＳ２３
２Ｃ」などのインターフェイスは、コンピュータと種々
の測定装置や画像処理装置等との接続にも用いられる。
したがって、これらのインターフェイスをコントローラ
との接続のために使用してしまった場合、測定装置や画
像処理装置等を用いた測定や画像処理が困難となってし
まう。 【００１３】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、種々のメーカや異なる機種の移
動台及びコントローラのいずれについても、汎用的、か
つ、容易に制御をすることができるようになされた光学
機器制御装置を提供しようとするものである。 【００１４】 【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る光学機器制御装置は、モータにより移
動操作され光学素子を移動操作する可動ステージ部を有
する移動台の該モータをそれぞれ駆動させる複数のドラ
イバと、これら複数のドライバを制御するコントローラ
部と、このコントローラ部を制御する信号処理部と、こ
の信号処理部に対して可動ステージの移動方向、移動
量、移動速度及び移動加速度を指定する入力手段と、複
数の制御プログラム、複数種類の移動台に関するデータ
及び複数種類の通信プログラムを記憶している記憶手段
とを備えている。 【００１５】そして、この光学機器制御装置において、
信号処理部は、記憶手段により記憶されている複数の制
御プログラムより、接続されているコントローラ部、複
数のドライバ及び複数の移動台のそれぞれの組合わせに
対応した複数の制御プログラムを選択するとともに、複
数種類の移動台に関するデータ及び複数種類の通信プロ
グラムのうち、選択された制御プログラムに対応する通
信プログラムに基づいて、該コントローラ部を介して各
ドライバを制御し、これら各ドライバに対応されて接続
された複数の移動台を制御して、各移動台の可動ステー
ジを指定された移動方向、移動量、移動速度及び移動加
速度にて移動させることを特徴とするものである。 【００１６】 【００１７】 【００１８】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。 【００１９】本発明に係る光学機器制御装置は、図１及
び図２に示すように、信号処理部となるコンピュータ１
と、このコンピュータ１に接続されたコントローラ部と
なるコントローラ２と、このコントローラ２に接続され
該コントローラ２により制御される複数のドライバ３を
備えている。これらドライバ３には、それぞれ、移動台
４においてこの移動台４の可動ステージ５を移動操作す
るモータ６が対応して接続される。各ドライバ３は、ド
ライバボックス３ａに収納されている。 【００２０】移動台４は、基台部７と、この基台部７に
より移動可能に支持された可動ステージ５を備えて構成
されている。この移動台４において、可動ステージ５
は、基台部７に設けられた送りネジ機構などにより、該
基台部７に対して移動操作される。そして、この送りネ
ジ機構は、モータ６により移動される。このモータ６と
しては、ステッピングモータやサーボモータなど、回転
角度及び回転速度の制御が可能なものが用いられる。 【００２１】移動台４は、図３に示すように、可動ステ
ージ５が基台部７に対して水平な一直線Ｌｈに平行に移
動する直動ステージ型や、図４に示すように、可動ステ
ージ５が基台部７に対して水平な一軸Ａｈ回りに回動す
る傾斜ステージ型や、あるいは、図５に示すように、可
動ステージ５が基台部７に対して垂直な一軸Ａｖ回りに
回転する回転ステージ型などがある。 【００２２】各ドライバ３は、コントローラ２の指示に
したがって、対応するモータ６に駆動パルスまたは駆動
電流を供給する装置である。コントローラ２には、複数
のドライバ３を接続することができる。コントローラ２
は、コンピュータ１からの指示にしたがって各ドライバ
３を制御する回路装置であり、コンピュータ１の出力と
各ドライバ３とのインターフェイスとなるものである。
すなわち、コンピュータ１からは数値的な情報信号が出
力され、この出力に基づいてコントローラ２が各ドライ
バ３を制御することにより、これらドライバ３からは、
対応するモータ６の駆動に必要な電流が該各モータ６に
供給される。 【００２３】そして、コンピュータ１では、移動台制御
プログラムが実行される。この移動台制御プログラム
は、実行されると、まず、図６に示すように、コンピュ
ータ１の表示画面部８にメインコントロール画面を表示
させる。このメインコントロール画面上においては、コ
ンピュータ１において操作されるマウスポインタ及びク
リックスイッチを用いて、種々の入力や選択の操作が行
える。このマウスポインタは、いわゆるマウスによって
画面上を移動操作される。また、クリックスイッチは、
マウスに設けられる。 【００２４】このメインコントロール画面においては、
図７に示すように、メニューバー９に表示された「プロ
グラム」、「設定」、「原点」、「運転」、「ＧＰＩ
Ｂ」、「２３２Ｃ」との項目からの一の項目を選択する
ことができる。また、このメインコントロール画面に
は、ティーチング画面１０が表示され、このティーチン
グ画面１０中には、指定された軸名称の表示１１、軸名
称が表示された軸の移動量の表示１２、実行中のプログ
ラムの名称及び行番号の表示１３、指定した移動台を手
動で駆動させるジョグボタン１４、スピードスライダ及
びスピードの表示１５、初期状態（オリジナル）への復
帰をするＯＲＧボタン１６などが表示される。また、メ
ッセージボタン１８、ＯＫボタン１９，終了ボタン２０
が表示される。 【００２５】さらに、メインコントロール画面において
は、移動台制御装置に接続されている全ての移動台の各
軸について、軸名称及び該軸の移動量の一覧表示１７が
なされる。ここで「軸」とは、この移動台制御装置に接
続された各移動台における移動軸のことである。直動ス
テージ型においては、移動軸に沿った移動距離が、傾斜
ステージ型及び回転ステージ型においては、回転軸回り
の回転角度が、それぞれ移動量となる。 【００２６】メッセージボタン１８をクリックすると、
「ＩＯ入力点数」、「ＩＯ出力点数」、「タイマー値
（秒）」、「サブコール名」などの項目の入力が行える
メッセージ入力ウィンドウ２１が表示される。 【００２７】なお、メインコントロール画面において
は、「Ｍキャンセル」ボタンが表示される。この「Ｍキ
ャンセル」ボタンは、プログラムを実行しても、実際に
は移動台を駆動させない状態とするもので、移動台を駆
動させない状態でプログラムの実行速度を測定する場合
などに用いる。また、メインコントロール画面において
は、「シングル」ボタンが表示される。この「シング
ル」ボタンは、プログラムを実行したときに、１行ずつ
プログラム中の指令を実行し、「スタート」ボタンが操
作されるまで停止状態となるようにするものである。プ
ログラムの内容の誤りを発見する場合などに用いる。 【００２８】メニューバー９に表示された「プログラ
ム」をクリックすると、図８に示すように、「新規作
成」、「開く」、「閉じる」、「上書き保存」、「名前
を付けて保存」、「閉じる」というプルダウンメニュー
２２が表示される。これらは、このコンピュータ１にお
いて記録されているプログラムについて、それぞれの項
目に応じた動作を実行させるためのものである。また、
メニューバー９に表示された「設定」をクリックする
と、図８に示すように、「軸数」、「各軸」、「ＧＰＩ
Ｂ」、「ＲＳ２３２Ｃ」というプルダウンメニュー２３
が表示される。これらは、それぞれの項目に応じた設定
を行う画面を呼び出すためのものである。さらに、メニ
ューバー９に表示された「原点」をクリックすると、
「原点」というプルダウンメニュー２４が表示される。
これは、この項目に応じた設定を行う画面を呼び出すた
めのものである。メニューバー９に表示された「画面」
をクリックすると、「画面」というプルダウンメニュー
２５が表示される。これは、この項目に応じた設定を行
う画面を呼び出すためのものである。メニューバー９に
表示された「運転」をクリックすると、「運転」という
プルダウンメニュー２６が表示される。これは、この項
目に応じた設定を行う画面を呼び出すためのものであ
る。 【００２９】メニューバー９に表示された「プログラ
ム」に対応したプルダウンメニュー２２において、「新
規作成」をクリックすると、図９に示すように、新規に
作成するプログラムについてのプログラム名（グループ
名）及びモーションプログラム名（ファイル名）などを
入力する入力ウィンドウ２７が表示される。ここで、新
たな実験項目や測定内容に応じたプログラムを作成する
ことができる。 【００３０】メニューバー９に表示された「プログラ
ム」に対応したプルダウンメニュー２２において、「開
く」をクリックすると、新たに開くプログラムについて
のプログラム名（グループ名）及びモーションプログラ
ム名（ファイル名）などを選択する選択ウィンドウ２８
が表示される。ここでは、実験項目や測定内容に応じた
プログラムを選択する。 【００３１】メニューバー９に表示された「プログラ
ム」に対応したプルダウンメニュー２２において、「名
前を付けて保存」をクリックすると、開いているプログ
ラムについて保存する際のプログラム名（グループ名）
及びモーションプログラム名（ファイル名）などを入力
する入力ウィンドウ２９が表示される。 【００３２】次に、メニューバー９に表示された「設
定」に対応したプルダウンメニュー２３において、「軸
数」をクリックすると、図１０に示すように、使用する
軸の数が表示される。また、ここで、移動量のカウント
のしかたとして、「アブソリュート」と「インクレメン
タル」との選択を行うことができる。 【００３３】メニューバー９に表示された「設定」に対
応したプルダウンメニュー２３において、「各軸」をク
リックすると、各軸設定ウィンドウ３１が表示される。
この各軸設定ウィンドウ３１においては、各軸について
の設定及び「設定軸名称」を入力するウィンドウ３１
ａ、「ステップ」の入力ウィンドウ３１ｂ、「加減速」
の入力ウィンドウ３１ｃ、ステージの種類についての選
択ウィンドウ３１ｄが表示される。 【００３４】ここで、「ステップ」の入力ウィンドウ３
１ｂでは、「フルステップ」、「ハーフステップ」、ま
たは、「マイクロステップ〔（１／ｎ）ステップ〕」の
選択ができる。ステージの種類についての選択ウィンド
ウ３１ｄでは、「直動型」、「回転型」、「傾斜型（ゴ
ニオ）」、「その他」のうちからの選択ができ、さら
に、このコンピュータ１内の記憶手段となる記憶装置に
予め記憶されている複数種類の移動台についてのデータ
を「検索」ボタン３１ｅによって呼び出すことができ
る。この記憶装置は、例えば、ハードディスク、ＲＯＭ
などである。ここでは、実際に接続され使用する移動台
に対応したデータを呼び出して選択することができる。 【００３５】また、記憶装置に予め記憶されている複数
種類のコントローラについての通信プログラムを呼び出
すことができ、実際に接続され使用するコントローラに
対応した通信プログラムを選択することができる。 【００３６】さらに、メニューバー９に表示された「原
点」に対応したプルダウンメニュー２４において、「原
点」をクリックすると、図１１に示すように、原点指定
ウィンドウ３２が表示される。この原点指定ウィンドウ
３２においては、各軸についての原点の設定を行うこと
ができる。メニューバー９に表示された「画面」に対応
したプルダウンメニュー２５において、「画面」をクリ
ックすると、画面設定ウィンドウ３３が表示される。こ
の画面設定ウィンドウ３３においては、カウンター入力
の有無、カウンターのリセットを行うことができる。メ
ニューバー９に表示された「運転」に対応したプルダウ
ンメニュー２６において、「運転」をクリックすると、
運転ウィンドウ３４が表示される。この運転ウィンドウ
３４においては、指定されたモーションプログラム名が
表示され、運転を開始する「ＯＫ」ボタン３４ａと、運
転を中止する「キャンセル」ボタン３４ｂが表示され
る。 【００３７】ところで、メニューバー９より、「設
定」、「各軸」、ステージの種類についての選択ウィン
ドウ３１ｄと辿り、「検索」ボタン３１ｅによって呼び
出される複数種類の移動台についてのデータは、図１２
乃至図１４に示すように、例えば表計算ソフト用のファ
イル形式を用いて記述しておくことができる。 【００３８】直動ステージ型の移動台については、図１
２に示すように、例えば「Ａ社製００１型」、「Ａ社製
００２型」及び「Ｂ社製００１型」について、それぞれ
モータの回転方向（＋、−）に対する可動ステージの移
動の方向性（１はＣＷ（時計方向）、２はＣＣＷ（反時
計方向）を示す）、「リミット」（１は＋、２は−、３
はニア原点、４は原点、０はなし、ＡはＡ接点、ＢはＢ
接点を示す）、「パルス」（１パルスの移動量を示
す）、「バックラッシュ」（可動ステージの遊びを示
す）、「スピード」（最高移動速度、原点速度（最高移
動速度に対する％）、ニア原点速度（最高移動速度に対
する％）を示す）、「加減速」（最高移動速度になるま
での時間を示す）、「単位」（１は「ｍｍ」、２は角度
を示す）などが表記される。 【００３９】回転ステージ型の移動台についても同様
に、図１３に示すように、例えば「Ａ社製１０１型」、
「Ａ社製１０２型」及び「Ｂ社製１０１型」について、
それぞれモータの回転方向（＋、−）に対する可動ステ
ージの移動の方向性、「リミット」、「パルス」、「バ
ックラッシュ」、「スピード」、「加減速」、「単位」
などが表記される。 【００４０】傾斜ステージ型の移動台についても同様
に、図１４に示すように、例えば「Ａ社製２０１型」、
「Ａ社製２０２型」及び「Ｂ社製２０１型」について、
それぞれモータの回転方向（＋、−）に対する可動ステ
ージの移動の方向性、「リミット」、「パルス」、「バ
ックラッシュ」、「スピード」、「加減速」、「単位」
などが表記される。 【００４１】このような移動台に関するデータは、適
宜、新規に作成して追加し、または、削除することがで
きる。 【００４２】さらに、複数種類のコントローラについて
の通信プログラムも、上述のようなファイル形式を用い
て記述しておくことができる。 【００４３】上述のような表示に基づいて所定事項の入
力及び選択を行ってプログラムを実行すると、図１５に
示すように、コンピュータ１において記録されている複
数の制御プログラム３５，３６，３７より、接続された
コントローラ２と移動台４とのメーカ及び機種の組合わ
せに応じて、Ａ装置ファイル３８、Ｂ装置ファイル３
９、Ｃ装置ファイル４０として選択され、自動ステージ
制御プログラム４１として実行を開始する。 【００４４】そして、コンピュータ１において記録され
ている複数の移動台に関するデータ４２，４３，４４よ
り、選択された制御プログラムに応じて、すなわち、接
続されている移動台に応じて、直動ステージファイル４
５、回転ステージファイル４６、傾斜ステージファイル
４７として選択され、自動ステージデータ４８として実
行するプログラム中で使用される。 【００４５】さらに、コンピュータ１において記録され
ている複数の通信プログラム４９，５０，５１（例え
ば、当社（本件出願人）製、Ｘ社製及びＹ社製）より、
選択された制御プログラムに応じて、すなわち、使用す
るコントローラに応じて、通信ファイル５２として選択
され、コントローラとの通信を行うための通信プログラ
ム５３として実行される。 【００４６】コンピュータ１には、当社製のコントロー
ラ２ａの他、例えば、Ｘ社製コントローラ２ｂ、Ｙ社製
（ボード型）コントローラ２ｃをも接続しておくことが
できる。そして、当社製コントローラ２ａ、または、Ｘ
社製コントローラ２ｂ、Ｙ社製コントローラ２ｃを介し
て、ドライバ３が制御されて、移動台４は、自動ステー
ジ制御プログラム４１に定められた移動を行う。 【００４７】このようにして自動ステージ制御プログラ
ム４１が実行されることにより、コンピュータ１上にお
いて、移動台４の可動ステージ５の移動につき、移動方
向、移動量、移動速度、移動加速度などについて所望の
数値を指定するのみで、該可動ステージ５は、指定され
た数値に応じた移動操作をなされる。 【００４８】そして、この移動台制御装置においては、
図１６に示すように、コンピュータとしていわゆるデス
クトップ型のパーソナルコンピュータ１ａを用いる場合
において、コントローラ２は、パーソナルコンピュータ
１ａのＰＣＩバスまたはＩＳＡバスから該コントローラ
２のＩＳＡバスに接続されるようにすることで、パーソ
ナルコンピュータ１ａのＧＰＩＢ端子やＲＳ２３２Ｃ端
子には、測定項目や測定順序を定めた測定実行プログラ
ムや画像処理装置などを含む測定装置５４を接続するこ
とができる。この場合には、パーソナルコンピュータ１
ａにおける測定装置５４から得られるデータの処理が容
易になる。 【００４９】また、この移動台制御装置においては、図
１７に示すように、コンピュータとしていわゆるノート
型のパーソナルコンピュータ１ｂを用いる場合におい
て、コントローラ２は、パーソナルコンピュータ１ｂの
ＰＣＭＣＩＡバスから該コントローラ２のＩＳＡバスに
接続されるようにすることで、パーソナルコンピュータ
１ｂのＲＳ２３２Ｃ端子には、測定項目や測定順序を定
めた測定実行プログラムや画像処理装置などを含む測定
装置５４を接続することができる。この場合にも、パー
ソナルコンピュータ１ｂにおける測定装置５４から得ら
れるデータの処理が容易になる。 【００５０】 【発明の効果】上述のように、本発明に係る光学機器制
御装置においては、予め記憶手段により記憶されている
複数の制御プログラムより接続されているコントローラ
部、複数のドライバ及び複数の移動台のそれぞれの組合
わせに対応した複数の制御プログラムを選択するととも
に、複数種類の移動台に関するデータ及び複数種類の通
信プログラムのうち、選択された制御プログラムに対応
する通信プログラムに基づいて、該コントローラ部を介
して各ドライバを制御し、これら各ドライバに対応され
て接続された複数の移動台の制御を行い、各移動台の可
動ステージを指定された移動方向、移動量、移動速度及
び移動加速度にて移動させることができる。 【００５１】したがって、この光学機器制御装置におい
ては、複数の移動台、複数のドライバ及びコントローラ
部のメーカや機種がそれぞれ種々のものであっても、汎
用的に制御を行うことができる。 【００５２】すなわち、本発明は、種々のメーカや異な
る機種の複数の移動台、複数のドライバ及びコントロー
ラのいずれの組合わせについても、汎用的、かつ、容易
に制御をすることができるようになされた光学機器制御
装置を提供することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光学機器制御装置の構成を示す斜
視図である。 【図２】上記光学機器制御装置の構成を示すブロック図
である。 【図３】上記光学機器制御装置により制御される直動ス
テージ型移動台の構成を示す平面図及び側面図である。 【図４】上記光学機器制御装置により制御される傾斜ス
テージ型移動台の構成を示す平面図及び側面図である。 【図５】上記光学機器制御装置により制御される回転ス
テージ型移動台の構成を示す平面図及び側面図である。 【図６】移動台制御プログラムを実行することにより信
号処理装置となるコンピュータにおいて表示されるメイ
ンコントロール画面を示す正面図である。 【図７】上記メインコントロール画面の内容を示す正面
図である。 【図８】上記メインコントロール画面から選択されるプ
ルダウンメニューの内容を示す正面図である。 【図９】上記メインコントロール画面から選択される
「プログラム」のプルダウンメニューからさらに選択さ
れるウィンドウの内容を示す正面図である。 【図１０】上記メインコントロール画面から選択される
「設定」のプルダウンメニューからさらに選択されるウ
ィンドウの内容を示す正面図である。 【図１１】上記メインコントロール画面から選択される
「原点」、「画面」、「運転」のプルダウンメニューか
らさらに選択されるウィンドウの内容を示す正面図であ
る。 【図１２】複数の直動ステージ型移動台に関して予め記
憶されるデータの内容を示す正面図である。 【図１３】複数の回転ステージ型移動台に関して予め記
憶されるデータの内容を示す正面図である。 【図１４】複数の傾斜ステージ型移動台に関して予め記
憶されるデータの内容を示す正面図である。 【図１５】上記光学機器制御装置のプログラム及びデー
タを含めた全体の構造を示すブロック図である。 【図１６】信号処理装置としてデスクトップ型のパーソ
ナルコンピュータを用い、測定装置も接続した場合を示
すブロック図である。 【図１７】信号処理装置としてノート型のパーソナルコ
ンピュータを用い、測定装置も接続した場合を示すブロ
ック図である。 【図１８】従来の光学機器制御装置の構成を示すブロッ
ク図である。 【図１９】従来の光学機器制御装置の他の構成を示すブ
ロック図である。 【符号の説明】 １ コンピュータ ２ コントローラ ３ ドライバ ４ 移動台 ５ 可動ステージ ６ モータ
視図である。 【図２】上記光学機器制御装置の構成を示すブロック図
である。 【図３】上記光学機器制御装置により制御される直動ス
テージ型移動台の構成を示す平面図及び側面図である。 【図４】上記光学機器制御装置により制御される傾斜ス
テージ型移動台の構成を示す平面図及び側面図である。 【図５】上記光学機器制御装置により制御される回転ス
テージ型移動台の構成を示す平面図及び側面図である。 【図６】移動台制御プログラムを実行することにより信
号処理装置となるコンピュータにおいて表示されるメイ
ンコントロール画面を示す正面図である。 【図７】上記メインコントロール画面の内容を示す正面
図である。 【図８】上記メインコントロール画面から選択されるプ
ルダウンメニューの内容を示す正面図である。 【図９】上記メインコントロール画面から選択される
「プログラム」のプルダウンメニューからさらに選択さ
れるウィンドウの内容を示す正面図である。 【図１０】上記メインコントロール画面から選択される
「設定」のプルダウンメニューからさらに選択されるウ
ィンドウの内容を示す正面図である。 【図１１】上記メインコントロール画面から選択される
「原点」、「画面」、「運転」のプルダウンメニューか
らさらに選択されるウィンドウの内容を示す正面図であ
る。 【図１２】複数の直動ステージ型移動台に関して予め記
憶されるデータの内容を示す正面図である。 【図１３】複数の回転ステージ型移動台に関して予め記
憶されるデータの内容を示す正面図である。 【図１４】複数の傾斜ステージ型移動台に関して予め記
憶されるデータの内容を示す正面図である。 【図１５】上記光学機器制御装置のプログラム及びデー
タを含めた全体の構造を示すブロック図である。 【図１６】信号処理装置としてデスクトップ型のパーソ
ナルコンピュータを用い、測定装置も接続した場合を示
すブロック図である。 【図１７】信号処理装置としてノート型のパーソナルコ
ンピュータを用い、測定装置も接続した場合を示すブロ
ック図である。 【図１８】従来の光学機器制御装置の構成を示すブロッ
ク図である。 【図１９】従来の光学機器制御装置の他の構成を示すブ
ロック図である。 【符号の説明】 １ コンピュータ ２ コントローラ ３ ドライバ ４ 移動台 ５ 可動ステージ ６ モータ
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 モータにより移動操作され光学素子を移
動操作する可動ステージ部を有する移動台の該モータを
それぞれ駆動させる複数のドライバと、 上記複数のドライバを制御するコントローラ部と、 上記コントローラ部を制御する信号処理部と、上記信号処理部に対して、上記可動ステージの移動方
向、移動量、移動速度及び移動加速度を指定する入力手
段と、 複数の制御プログラム、複数種類の移動台に関するデー
タ及び複数種類の通信プログラムを記憶している記憶手
段とを備え、 上記信号処理部は、上記記憶手段により記憶されている
複数の制御プログラムより、接続されているコントロー
ラ部、複数のドライバ及び複数の移動台のそれぞれの組
合わせに対応した複数の制御プログラムを選択するとと
もに、複数種類の移動台に関するデータ及び複数種類の
通信プログラムのうち、選択された制御プログラムに対
応する通信プログラムに基づいて、該コントローラ部を
介して上記各ドライバを制御し、これら各ドライバに対
応されて接続された複数の移動台を制御して、各移動台
の可動ステージを指定された移動方向、移動量、移動速
度及び移動加速度にて移動させることを特徴とする光学
機器制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31662798A JP3456524B2 (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | 移動台制御方法及び移動台制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31662798A JP3456524B2 (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | 移動台制御方法及び移動台制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000148217A JP2000148217A (ja) | 2000-05-26 |
| JP3456524B2 true JP3456524B2 (ja) | 2003-10-14 |
Family
ID=18079166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31662798A Expired - Lifetime JP3456524B2 (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | 移動台制御方法及び移動台制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3456524B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005346144A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | サーボ制御装置の支援装置 |
| WO2010140390A1 (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-09 | 三菱電機株式会社 | 数値制御装置および生産システム |
-
1998
- 1998-11-06 JP JP31662798A patent/JP3456524B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005346144A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | サーボ制御装置の支援装置 |
| WO2010140390A1 (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-09 | 三菱電機株式会社 | 数値制御装置および生産システム |
| JP5202735B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2013-06-05 | 三菱電機株式会社 | 数値制御装置 |
| US9377776B2 (en) | 2009-06-03 | 2016-06-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Numerical control apparatus and production system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000148217A (ja) | 2000-05-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5428965B2 (ja) | 表示装置、表示制御方法、プログラム、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
| JP5418322B2 (ja) | 表示装置、表示制御方法、プログラム、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
| JP6434434B2 (ja) | 加工装置をロボットに接続して加工を行う加工ロボットシステム | |
| WO2010017835A1 (en) | A system and a method for off-line programming of an industrial robot | |
| US10761513B2 (en) | Information processing device, information processing method, and non-transitory computer-readable recording medium | |
| KR100246862B1 (ko) | 툴 버튼의 설정 방법 및 편집 장치 | |
| EP1546870A2 (en) | A wizard for programming an intelligent module | |
| CN102393674A (zh) | 产生脉冲输出的方法和系统 | |
| JP3456524B2 (ja) | 移動台制御方法及び移動台制御装置 | |
| US10474132B2 (en) | Information processing device, information processing method, and recording medium | |
| JP2014206939A (ja) | コントローラ、制御装置、機器制御システム、コンピュータプログラム及びコンピュータ可読情報記憶媒体 | |
| JP6374456B2 (ja) | 電子機器及び数値制御装置 | |
| JP2009048396A (ja) | モータモーション用シミュレータ | |
| JPH11265280A (ja) | グラフィックエディター及びエディタープログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
| TW202129610A (zh) | Cnc數控操作模擬工作裝置與教學方法 | |
| JP2001075790A (ja) | エディタ装置およびエディタプログラムを記録した記録媒体 | |
| CN112207824B (zh) | 多个单轴模组的控制方法、系统、装置及存储介质 | |
| JP2008538440A (ja) | 駆動システムのハードウェアトポロジーをグラフィックで視覚化する方法およびハードウェアトポロジー表示を有する表示装置 | |
| US20230173670A1 (en) | Information processing apparatus, system, information processing method, method of manufacturing products, and recording medium | |
| Rodriguez et al. | One-dimensional force feedback slider: Digital platform | |
| JPH03265006A (ja) | ベンダ用データ入力装置 | |
| TWI387756B (zh) | 自動測試系統、儀控裝置及其運作方法 | |
| US5467445A (en) | Cross sectional configuration creating apparatus in the creation of free curve | |
| JP2603167B2 (ja) | ピクチャーカム変換装置 | |
| JP2882220B2 (ja) | アイコンの配置変更装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010306 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100801 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130801 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |