JP3454465B2 - 半導体装置製造設備の真空圧連結装置 - Google Patents

半導体装置製造設備の真空圧連結装置

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JP3454465B2 JP23152098A JP23152098A JP3454465B2 JP 3454465 B2 JP3454465 B2 JP 3454465B2 JP 23152098 A JP23152098 A JP 23152098A JP 23152098 A JP23152098 A JP 23152098A JP 3454465 B2 JP3454465 B2 JP 3454465B2
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    • Y10T279/11—Vacuum

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置製造設備
の真空圧連結装置に係り、より詳しくはウェーハを吸着
装着する真空チャックに真空圧を伝達する半導体装置製
造設備の真空圧連結装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置を製作するための製造
設備の内部には、厳しい工程条件と精密な製造技術及び
製造収率とを高い水準で維持しなければならないために
各種構成設備での正確な作動等が要求される。
【０００３】前述したように、正確な作動が要求される
各種構成設備には、ウェーハの底面を吸着装着する真空
チャックに、真空ポンプから真空圧を供給する真空圧連
結装置が設けてある。このような真空圧連結装置の従来
技術に対して添付図面を参照して説明する。図６は、こ
のような従来の半導体装置製造設備の真空圧連結装置の
構成を示した斜視図である。また、図７は、図６に示し
た真空圧連結装置の動作関係を示す平面図である。
【０００４】図６に示すように、従来の半導体装置製造
設備の真空圧連結装置１０は、半導体装置製造設備（図
を単純化するために省略する）に固定した上側支持板１
２にガイド１４により前後方向スライディング可能に装
着され、前端部に連結管１６と熱電対１８とを設置した
下側支持板２０を設けてあり、この上側支持板１２に装
着されて下側支持板２０を真空チャック２２の方向に移
動させる押部組立体２４を備えている。
【０００５】このような構成をより詳しく説明すると、
上側支持板１２の下面には、前後方向に所定の長さを備
えるガイドレール（図を単純化するために省略する）が
形成されており、このガイドレールは下側支持板２０に
装着されたガイド１４と接続され、下側支持板２０の前
後方向の移動を案内するように設けてある。一方、下側
支持板２０の一端には、真空ポンプ（図を単純化するた
めに省略する）と接続された下側真空チャック２２に対
向するように設けられた連結管１６と、図６に示したウ
ェーハＷを吸着されている部位の温度を感知するために
設けた熱電対１８とが突出した状態で設置されている。
【０００６】また、下側支持板２０の片側側面には、ガ
イドレールが案内する方向に対して所定の角度を有しな
がら次第に下側支持板２０の両側の幅が狭くなる形状に
形成した傾斜面２６を備えた側部溝２８が形成されてい
る。このような構成による下側支持板２０は、前述した
押部組立体２４によって真空チャック２２の方向に移動
するように設けてあり、この際、連結管１６の端部が真
空チャック２２に接触して真空圧を供給するように設け
てある。
【０００７】ここで、下側支持板２０を真空チャック方
向に移動させるための押部組立体２４は、図６に示した
ように、側部溝２８が位置する上側支持板１２の側壁
に、所定の幅と長さで屈曲し、両側の端部が相互内側に
当接するように付勢する弾性力を備えた板スプリング３
０が設置されている。
【０００８】このような板スプリング３０は、一端部に
長方形の体結ホール３２が開口されており、この体結ホ
ール３２を貫通して２つの体結具３４を上側支持板１２
の側壁に圧着することにより上側支持板１２に装着でき
るように設けてある。また、このような板スプリング３
０の位置調節は、２つの体結具３４を緩めて体結ホール
３２の位置を前後方向の側壁に沿って適正位置に移動さ
せた後、再び体結具３４を締結することで位置を調節で
きる。そして、板スプリング３０の他の端部には、ロー
ラー軸３６が垂直に装着されており、このローラー軸３
６の所定位置には下側支持板２０の傾斜面２６に当接す
るローラー３８が回転可能に支持されている。
【０００９】このような構成による真空圧連結装置１０
を使用する場合、まず、作業者は下側支持板２０を真空
チャック２２の方向に移動させてローラー３８を傾斜面
２６に位置させる。その後、ローラー３８は、板スプリ
ング３０の弾性力によって傾斜面２６を加圧するため、
傾斜面２６は図７に示した二点鎖線のようにローラー３
８に付勢されて図７に示した矢印方向にスライディング
する。即ち、下側支持板２０は、ガイドレールに案内さ
れて真空チャック２２が位置する前方に連結管１６と共
にスライディング移動する。
【００１０】前述したように、ローラー３８は、傾斜面
２６に沿って回転して継続的に加圧することで下側支持
板２０に設置された連結管１６の端部を真空チャック２
２に移動させて接続する。これにより連結管１６は、真
空チャック２２に真空圧を供給できるようになる。ここ
で、板スプリング３０の弾性力が限界以上に傾斜面２６
を加圧すると、連結管１６の端部と真空チャック２２の
接触部位との衝撃または摩擦の程度が悪化して摩耗また
は損傷が発生する。これを防止する方法として、体結具
３４を緩めて板スプリング３０を上側支持板１２の側壁
に沿って適正な弾性力が加わる位置に装着することによ
り、下側支持板２０の移動するための弾性力を調節する
ことができる。
【００１１】また、継続的な長時間の使用または設備の
分解及び組立を繰り返すと、各種劣化現象等で板スプリ
ング３０の弾性力が低下してしまう。このような場合に
は、前述したように体結具３４を緩めて板スプリング３
０を上側支持板１２の側壁に沿って適正な弾性力が加わ
る位置に装着することで下側支持板２０の移動するため
の弾性力を調節することができる。
【００１２】このように従来の半導体装置製造設備の真
空圧連結装置は、スプリングなどの弾性部材を調節して
連結管を適正な弾性力で加圧移動することにより真空チ
ャックと接続して真空圧を供給していた。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体装置製造設備の真空圧連結装置では、図７に示し
た板スプリング３０の弾性力がある程度以下に減少する
と、真空チャックと連結管１６との接触部位に隙間が形
成されて正常に真空圧が伝達されなくなるとともに、そ
れ以上の使用が困難になり、これによって同一の大きさ
と弾性力とを有する他の板スプリングに交換しなければ
ならないため、製造コストが向上して経済的ではないと
いう問題があった。また、前述した板スプリングを交
換、または設備の分解及び組み立て時に、弾性力による
下側支持板４２の移動間隔を正確に調節するのが困難で
あるとともに、板スプリング３０の交替及び弾性力によ
る下側支持板４２の移動間隔の調節において作業者の労
働力と設備の復元時間が多く所要され、これによって設
備の稼働率が低下してしまう問題があった。本発明はこ
のような課題を解決し、板スプリングを通常市販された
コイルスプリングと代替可能にすることで継続的な使用
に伴う設備コストを削減するとともに、このコイルスプ
リングの弾性力低下により発生する下側支持板の移動間
隔の隙間を容易に調節可能にして労働力の節減及び設備
の復元時間を短縮し、設備の稼動率を向上させる半導体
装置製造設備の真空圧連結装置を提供することを目的と
する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために、長手方向の側部に傾斜部が形成されてお
り半導体装置製造設備に固定された上側支持板にガイド
によりスライディング可能に装着されて先端の所定位置
に真空チャックと対向してスライディング動作時に接続
可能な連結管を配置した下側支持板と、上側支持板に装
着され傾斜部を通じて下側支持板のスライディング動作
を弾性力により係止する押部組立体と、この押部組立体
に形成して下側支持板の弾性力による係止力を調節する
間極調節部とを備える。
【００１５】ここで、押部組立体は、上側支持板に装着
される支持台と、この支持台の一側部に突出形成された
リング部と、このリング部に回動可能に支持された梃子
台と、支持台の側部に設置されて梃子台の一端部を弾性
力により付勢する弾性部材と、梃子台の他の端部に垂直
に装着されるローラー軸と、このローラー軸の端部に回
動可能に支持されて傾斜部の所定部位に接触するように
配置したローラーとにより構成することが好ましい。ま
た、傾斜部は、下側支持板の側部から突出形成された突
起部と、この突起部の片側側部から後方に続いて下側支
持板の幅が狭くなる形状に設け、この狭くなる形状が下
側支持板のスライディング方向に対して次第に緩やかな
傾斜角を有するように形成した側部溝とにより形成する
ことが好ましい。
【００１６】また、支持台は、上側支持板に装着される
装着部支持台と、この装着部支持台に対向して嵌合され
て一側部にリング部と弾性部材とを備えた流動部支持台
と、装着部支持台を基準に流動部支持台が下側支持板の
スライディング方向に対して同じ方向に移動可能にする
スライド部とにより構成することが好ましい。そして、
スライド部は、装着部支持台の所定部位にガイド溝が形
成されており、装着部支持台に対向する流動部支持台の
所定部位にガイド溝とペアになるガイド突起を形成して
嵌合することが好ましい。
【００１７】そしてガイド溝は、流動部支持台と対向す
る装着部支持台の対応面上に下側支持板のスライディン
グ移動方向と平行するように形成することが好ましい。
一方、間極調節部は、装着部支持台の対応面上に形成し
たガイド溝に対して平行に形成するスライド溝と、この
スライド溝の所定部位に形成された装着部溝と、流動部
支持台の対応面上にスライド溝と装着部溝とに対向して
雌ネジが形成された雌ネジ部溝と、この雌ネジ部溝の一
端側に延長形成された挿入部溝と、棒形状に延在した一
端側の外周に雌ネジとペアになる雄ネジを形成して、こ
の棒形状外周の所定部位に装着部溝と挿入部溝との間に
装着される突出した形状の環形突起を形成するととも
に、棒形状の他の一端側に取っ手部を有した間極調節ネ
ジとにより構成することが好ましい。
【００１８】また、押部組立体上には、真空チャックか
ら連結管を分離し易いようにする解体部を付加形成する
ことが望ましい。また、解体部は、流動部支持台の一側
部から屈曲した形状に延在突出するように形成した装着
台と、この装着台の端部に回転可能に支持された回転板
と、この回転板と梃子台の所定部位との両側で回動可能
に装着されるリンクとにより構成することが好ましい。
そして、回転板の外周には、回転板の回転を容易にする
取っ手が形成されていることが望ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
による半導体装置製造設備の真空圧連結装置の実施の形
態を詳細に説明する。図１は、本発明による半導体装置
製造設備の真空圧連結装置４０の実施の形態を示す斜視
図である。また、図２は、図１に示した真空圧連結装置
４０の動作を示す平面図である。また、図３は、図１に
示した装着部支持台６０と流動部支持台６２とを有した
押部組立体４４の構成を示す斜視図である。また、図４
は、図３に示した装着部支持台６０と流動部支持台６２
との嵌合面に形成される間極調節部４６の構成及び取り
付け構造を示す分解斜視図である。また、図５は、図３
に示したＡ−Ａ線の断面での間極調節部４６の結合状態
と動作とを示す断面図である。ここで、図１乃至図５
は、本発明による半導体装置製造設備の真空圧連結装置
の実施の形態を示した図であり、図６に示した従来の半
導体装置製造設備の真空圧連結装置と同じ構成要素には
同一符号を記載するとともに、重複する説明は省略す
る。
【００２０】図１に示すように、本発明による半導体装
置製造設備の真空圧連結装置４０は、半導体装置製造設
備（図を単純化するために省略する）に固定された上側
支持板１２と、この上側支持板１２にガイド１４により
スライディング可能に装着された下側支持板４２と、上
側支持板１２に装着されて下側支持板４２のスライディ
ング動作を弾性力により係止する押部組立体４４（図３
参照）と、この押部組立体４４に備えられて下側支持板
４２の支持力を調節する間極調節部４６（図４参照）と
を備えている。
【００２１】このような構成による真空圧連結装置４０
をより詳しく説明すると、下面にガイドレール４８（図
２参照）を形成した上側支持板１２が製造設備に装着さ
れ、ガイドレール４８の下側に下側支持板４２がガイド
１４により前後方向スライディング可能に接続されてい
る。このような下側支持板４２の前端部には、真空チャ
ック（図を単純化するために省略する）に対向するよう
に設置された連結管１６と、真空チャックに吸着された
ウェーハ（図示せず）の温度を感知する熱電対１８とが
設置されている。また、下側支持板４２の側部には、図
２に示すように、外側に突出した形状の突起部５０と、
この突起部５０の片側側部から後端部に延在して下側支
持板４２の長手方向両側部の幅が狭くなる形状に設けた
側部溝５２とからなる傾斜部が形成されている。
【００２２】また、突起部５０と側部溝５２との間に
は、ガイドレール４８に沿ってスライディング動作する
方向に対して次第に緩やかな傾斜角を有して曲線形状の
側壁形状を備えた傾斜面５６を形成している。そして、
下側支持板４２の下面には、作業者によって前後方向に
スライディングし易くするために形成された移動取っ手
５８が設置されている。
【００２３】一方、押部組立体４４（図３参照）は、図
１に示した上側支持板１２の側部に装着部支持台６０と
流動部支持台６２とを設置している。装着部支持台６０
は上側支持板１２の側部に装着し、流動部支持台６２は
装着部支持台６０を基準にスライド部６４によって前後
方向スライディング可能に支持されている。
【００２４】また、図１に示したスライド部６４には、
装着部支持台６０に設けたガイドレール４８（図２参
照）と平行して図４に示したようにガイド溝６６が形成
されている。これに対応し、流動部支持台６２には、図
４に示したようにガイド溝６６とペアになる（嵌合され
る）ガイド突起６８を形成している。ここで、ガイド溝
６６とガイド突起６８とは、図３及び図４に示した形状
以外にも、装着部支持台６０と流動部支持台６２とがお
互い嵌合する嵌合面の形状または位置に応じて多様な形
状に形成することもできる。
【００２５】一方、流動部支持台６２側部の部位には、
図１に示したように、突出して形成した装着リング７０
を設けてあり、この装着リング７０の端部には梃子台７
２が回転可能に支持されている。また、装着リング７０
の近傍の流動部支持台６２の側部には、回転可能に支持
された梃子台７２の端部を弾性力により付勢する弾性部
材７４が設置されている。ここで弾性部材７４は、好ま
しくはコイルスプリングを使用することが望ましい。
【００２６】そして、梃子台７２の他端部には、ローラ
ー軸７６が垂直に形成され、このローラー軸７６にはロ
ーラー７８が回転可能に支持されている。このローラー
７８の側壁は、前述した下側支持板４２の突起部５０と
側部溝５２との間の傾斜面５６に弾性部材７４の弾性力
により当接して加圧するように形成されている。
【００２７】一方、装着部支持台６０と流動部支持台６
２との嵌合面には、図４に示したように、装着部支持台
６０に対して流動部支持台６２がスライディングする程
度の調節、即ち、傾斜面５６（図２参照）に対するロー
ラー７８の位置を調節する間極調節部４６が設置されて
いる。このような間極調節部４６は、装着部支持台６０
と流動部支持台６２との嵌合面上に形成されている。装
着部支持台６０の嵌合面上には、ガイド溝６６に対して
平行して略半円弧形状の深さを備えたスライド溝８２が
形成され、このスライド溝８２の所定部位にはスライド
溝８２より大きい直径の装着部溝８４が形成されてい
る。そして、流動部支持台６２の嵌合面には、ガイド突
起６８と平行してスライド溝８２に対向する内壁に略半
円弧形状の雌ネジを形成した雌ネジ溝８６が形成されて
おり、この雌ネジ溝８６の一端側から装着部溝８４が形
成された位置までに溝を延長させた形状の挿入部溝８８
が形成されている。
【００２８】このように形成されたスライド溝８２、装
着部溝８４、雌ネジ溝８６、挿入部溝８８は、装着部支
持台６０と流動部支持台６２とを相互嵌合時、一つの貫
通した管の形状をなし、これらの間に略棒形状の間極調
節ネジ９０を挿入するように形成されている。このよう
な間極調節ネジ９０は、略棒形状の外周に雌ネジ溝８６
の雌ネジとペアになる雄ネジが形成されており、この略
棒形状に延在する途中には前述した装着部溝８４に回転
可能に装着する環形突起９２が一体に形成されている。
また、環形突起９２の近傍には、間極調節ネジ９０の一
端部に作業者がパージ（把持）し易いように調節取っ手
９４が形成されている。
【００２９】一方、図３に示した押部組立体４４には、
図１及び図２に示した突起部５０の後端に加圧するロー
ラー７８によって下側支持板４２を後進させて連結管１
６を真空チャック（図示せず）から分離する（抜き取
る）動作が容易でないため、下側支持板４２の後進動作
を容易に実行できるように解体部９６を付加設置してい
る。このような解体部９６の構成は、流動部支持台６２
の側壁から突出するとともに屈曲した略Ｌ字形状をなす
装着台９８と、この装着台９８の端部に回転可能に支持
された回転板１００と、この回転板１００の一端側に装
着される回転板取っ手１０２と、回転板１００の上面に
回転板取っ手１０２と対向して回転可能に装着されたリ
ンク１０４とを備えている。そして、このリンク１０４
の他の端部には、前述した梃子台７２の側部が回転可能
に装着されている。従って、回転板１００が回転する
と、リンク１０４に接続された梃子台７２の一端が引っ
張られて装着リング７０を中心に回転し、一端側に設置
されたローラー軸７６が突起部５０から離れるように外
側方向に移動することで下側支持板４２の後方スライデ
ィング動作が自由な状態になる。
【００３０】このような構成からなる本発明による半導
体装置製造設備の真空圧連結装置４０を使用する場合、
まず、下側支持板４２に設置された連結管１６の端部を
真空チャックに接触するように移動する。この際に作業
者は、回転板取っ手１０２を利用して回転板１００を回
転させる。これにより、梃子台７２に設けたローラー７
８側の端部は、リンク１０４が回転板１００により引っ
張られることで突起部５０と離れるように外側方向に移
動する。これと同時に、移動取っ手５８をパージしてロ
ーラー７８が突起部５０の裏側の傾斜面５６（図２参
照）上に位置するように下側支持板４２を真空チャック
方向（連結管１６の先端方向）に移動させる。
【００３１】続いて、作業者が回転板取っ手１０２を徐
々にはなすと、流動部支持台６２の側壁に設置された弾
性部材７４により梃子台７２の一端を付勢することで装
着リング７０を中心に梃子台７２が回動する。この時、
ローラー軸７６に回転可能に支持されたローラー７８
は、傾斜面５６に接触して弾性部材７４の弾性力により
加圧する。これにより下側支持板４２は、傾斜面５６が
次第に緩やかに傾斜する傾斜角であるため、加圧するロ
ーラー７８により突起部５０が押されて移動する。即
ち、下側支持板４２は、ガイドレール４８に沿って案内
されて真空チャックが位置する前方向に連結管１６をス
ライディング移動させる。
【００３２】このようにローラー７８は、急激な傾斜角
から緩やかな傾斜角を有する傾斜面５６に沿って移動し
て継続的に加圧する。これにより下側支持板４２に設置
された連結管１６の先端部は、真空チャックと接触して
接続することで真空圧を伝達することができる。ここ
で、ローラー７８の弾性力により傾斜面５６をある程度
加圧した後、作業者は流動部支持台６２が後退する方向
に図４に示した間極調節部４６の調節取っ手９４を回転
させてローラー７８を緩やかな傾斜角を備えた傾斜面５
６、即ち、適正水準の弾性力が突起部５０に付加される
位置に移動する。このように、傾斜面５６の曲線形状に
よる傾斜角の調節は、ローラー７８によって加圧する弾
性力の程度を調節することで容易に調節することができ
る。
【００３３】一方、設備を継続的に長時間使用または分
解及び組立を繰り返すと、熱化現象等により弾性部材７
４の弾性力が減少する。このような場合、作業者は、再
び、調節取っ手９４を回転させて流動部支持台６２が傾
斜面５６の方向に移動させてローラー７８が突起部５０
の急激な傾斜角の傾斜面５６に位置させることにより弾
性力が補強される。
【００３４】そして、弾性部材７４、即ち、コイルスプ
リングは、弾性力がある程度低下した場合、市販のコイ
ルスプリングにより容易に交換できる。
【００３５】一方、真空チャックを含む各種構成部品の
洗浄または交換等によって連結管１６を真空チャックか
ら分離する場合、まず、作業者は回転板取っ手１０２を
利用して回転板１００を回転させる。これにより回転板
１００に装着したリンク１０４が引っ張られて梃子台７
２の一端に設けたローラー７８が突起部５０と離れるよ
うに外側方向に移動する。以後、作業者は、移動取っ手
５８をパージして下側支持板４２を後方に移動させるこ
とにより、連結管１６を真空チャックから分離すること
ができる。
【００３６】以上、本発明によってなされた半導体装置
製造設備の真空圧連結装置の実施の形態を詳細に説明し
たが、本発明は前述の実施の形態に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。例
えば、弾性部材７４にコイルスプリングを使用した実施
の形態を説明したが、これに限定されるものではない。
【００３７】
【発明の効果】このように本発明の半導体装置製造設備
の真空圧連結装置によれば、板スプリングを通常市販さ
れたコイルスプリングにより代替できるので継続的な使
用に伴う設備コストを低減でき、間極調節部を通じて弾
性力の変化によって下側支持板の弾性支持力を調節し易
くなり労働力が節減され、それによる設備復元時間が短
縮されて設備稼動率が増大する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による半導体装置製造設備の真空圧連結
装置の実施の形態を示す斜視図。
【図２】図１に示した真空圧連結装置の動作を示す平面
図。
【図３】図１に示した装着部支持台と流動部支持台とを
有した押部組立体の構成を示す斜視図。
【図４】図３に示した装着部支持台と流動部支持台との
嵌合面に形成される間極調節部の構成及び取り付け構造
を示す分解斜視図。
【図５】図３に示したＡ−Ａ線の断面での間極調節部の
結合状態と動作とを示す断面図。
【図６】従来の半導体装置製造設備の真空圧連結装置の
構成を示した斜視図。
【図７】図６に示した真空圧連結装置の動作関係を示す
平面図。
【符号の説明】
１２ 上側支持板 １４ ガイド １６ 連結管 １８ 熱電対 ４０ 真空圧連結装置 ４２ 下側支持板 ４４ 押部組立体 ４６ 間極調節部 ４８ ガイドレール ５０ 突起部 ５２ 側部溝 ５６ 傾斜面 ５８ 移動取っ手 ６０ 装着部支持台 ６２ 流動部支持台 ６４ スライド部 ６６ ガイド溝 ６８ ガイド突起 ７０ 装着リング ７２ 梃子台 ７４ 弾性部材 ７６ ローター軸 ７８ ローラー ８２ スライド溝 ８４ 装着部溝 ８６ 雌ネジ溝 ８８ 挿入部溝 ９０ 間極調節ネジ ９２ 環形突起 ９４ 調節取っ手 ９７ 装着台 １００ 回転板 １０２ 回転板取っ手 １０４ リンク

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 長手方向の側部に傾斜部が形成されてお
    り、半導体装置製造設備に固定された上側支持板にガイ
    ドによりスライディング可能に装着され、先端の所定位
    置に真空チャックと対向してスライディング動作時に接
    続可能な連結管を配置した下側支持板と、 前記上側支持板に装着され前記傾斜部を通じて前記下側
    支持板のスライディング動作を弾性力により係止する押
    部組立体と、 前記押部組立体に形成して前記下側支持板の弾性力によ
    る係止力を調節する間極調節部とを含めて構成されてい
    ることを特徴とする半導体装置製造設備の真空圧連結装
    置。
  2. 【請求項２】 前記押部組立体は、 前記上側支持板に装着される支持台と、 前記支持台の一側部に突出形成されたリング部と、 前記リング部に回動可能に支持された梃子台と、 前記支持台の側部に設置されて前記梃子台の一端部を弾
    性力により付勢する弾性部材と、 前記梃子台の他の端部に垂直に装着されるローラー軸
    と、 前記ローラー軸の端部に回動可能に支持されて前記傾斜
    部の所定部位に接触するように配置したローラーとによ
    り構成されていることを特徴とする請求項１に記載の半
    導体装置製造設備の真空圧連結装置。
  3. 【請求項３】 前記弾性部材は、コイルスプリングであ
    ることを特徴とする請求項２に記載の半導体装置製造設
    備の真空圧連結装置。
  4. 【請求項４】 前記傾斜部は、 前記下側支持板の側部から突出形成された突起部と、 前記突起部の片側側部から後方に続いて前記下側支持板
    の幅が狭くなる形状に設け、この狭くなる形状が前記下
    側支持板のスライディング方向に対して次第に緩やかな
    傾斜角を有するように形成した側部溝とにより構成され
    ていることを特徴とする請求項２に記載の半導体装置製
    造設備の真空圧連結装置。
  5. 【請求項５】 前記傾斜部の前記突起部と前記側部溝と
    の間の側壁部は、前記ローラーより大きい直径の曲線形
    状により後方に次第に緩やかな傾斜角をなすように形成
    されていることを特徴とする請求項４に記載の半導体装
    置製造設備の真空圧連結装置。
  6. 【請求項６】 前記支持台は、 前記上側支持板に装着される装着部支持台と、 前記装着部支持台に対向して嵌合されて一側部に前記リ
    ング部と前記弾性部材とを備えた流動部支持台と、 前記装着部支持台を基準に前記流動部支持台が前記下側
    支持板のスライディング方向に対して同じ方向に移動可
    能にするスライド部とにより構成されていることを特徴
    とする請求項２に記載の半導体装置製造設備の真空圧連
    結装置。
  7. 【請求項７】 前記スライド部は、前記装着部支持台の
    所定部位にガイド溝が形成されており、前記装着部支持
    台に対向する前記流動部支持台の所定部位に前記ガイド
    溝とペアになるガイド突起を形成して嵌合していること
    を特徴とする請求項６に記載の半導体装置製造設備の真
    空圧連結装置。
  8. 【請求項８】 前記ガイド溝は、前記流動部支持台と対
    向する前記装着部支持台の対応面上に前記下側支持板の
    スライディング移動方向と平行するように形成されてい
    ることを特徴とする請求項７に記載の半導体装置製造設
    備の真空圧連結装置。
  9. 【請求項９】 前記間極調節部は、 前記装着部支持台の対応面上に形成した前記ガイド溝に
    対して平行に形成するスライド溝と、 前記スライド溝の所定部位に形成された装着部溝と、 前記流動部支持台の対応面上に前記スライド溝と前記装
    着部溝とに対向して雌ネジが形成された雌ネジ部溝と、 前記雌ネジ部溝の一端側に延長形成された挿入部溝と、 棒形状に延在した一端側の外周に前記雌ネジとペアにな
    る雄ネジを形成し、この棒形状外周の所定部位に前記装
    着部溝と前記挿入部溝との間に装着される突出した形状
    の環形突起を形成し、前記棒形状の他の一端側に取っ手
    部を有した間極調節ネジとにより構成されていることを
    特徴とする請求項１に記載の半導体装置製造設備の真空
    圧連結装置。
  10. 【請求項１０】 前記押部組立体上には、前記真空チャ
    ックから前記連結管を分離し易いようにする解体部を付
    加形成することを特徴とする請求項２に記載の半導体装
    置製造設備の真空圧連結装置。
  11. 【請求項１１】 前記解体部は、 前記流動部支持台の一側部から屈曲した形状に延在突出
    するように形成した装着台と、 前記装着台の端部に回転可能に支持された回転板と、 前記回転板と前記梃子台の所定部位との両側で回動可能
    に装着されるリンクとを含めて構成されることを特徴と
    する請求項１０に記載の半導体装置製造設備の真空圧連
    結装置。
  12. 【請求項１２】 前記回転板の外周には、前記回転板の
    回転を容易にする取っ手が形成されていることを特徴と
    する請求項１１に記載の半導体装置製造設備の真空圧連
    結装置。
  13. 【請求項１３】 前記下側支持板の所定部位には、作業
    者により前記下側支持板のスライディング動作を容易に
    する取っ手が形成されていることを特徴とする請求項１
    に記載の半導体装置製造設備の真空圧連結装置。
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