JP3453703B2 - ヘッドサスペンションアセンブリ - Google Patents
ヘッドサスペンションアセンブリInfo
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- JP3453703B2 JP3453703B2 JP35017399A JP35017399A JP3453703B2 JP 3453703 B2 JP3453703 B2 JP 3453703B2 JP 35017399 A JP35017399 A JP 35017399A JP 35017399 A JP35017399 A JP 35017399A JP 3453703 B2 JP3453703 B2 JP 3453703B2
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に用いられる薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュ
エータを備えたヘッドサスペンションアセンブリに関す
る。
に用いられる薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュ
エータを備えたヘッドサスペンションアセンブリに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、ヘッドサスペン
ションアセンブリのサスペンションの先端部に取り付け
られた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの
表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライ
ダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスク
への記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われ
る。
ションアセンブリのサスペンションの先端部に取り付け
られた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの
表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライ
ダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスク
への記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われ
る。
【０００３】近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
【０００４】磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行なう技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行なう技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。
【０００５】図１は本出願人が既に提案したヘッドサス
ペンションアセンブリにおけるアクチュエータ及び磁気
ヘッドスライダ部分の構造を示す側面図である。
ペンションアセンブリにおけるアクチュエータ及び磁気
ヘッドスライダ部分の構造を示す側面図である。
【０００６】同図において、１１は磁気ヘッド素子の精
密位置決めを行うためのアクチュエータ、１２は磁気ヘ
ッド素子を有する磁気ヘッドスライダ、１３及び１４は
サスペンションのフレクシャ及びロードビーム、１６は
ロードビーム１４に設けられておりサスペンションの荷
重点となっている突起をそれぞれ示している。
密位置決めを行うためのアクチュエータ、１２は磁気ヘ
ッド素子を有する磁気ヘッドスライダ、１３及び１４は
サスペンションのフレクシャ及びロードビーム、１６は
ロードビーム１４に設けられておりサスペンションの荷
重点となっている突起をそれぞれ示している。
【０００７】アクチュエータ１１はその後端部１１ａに
おいてフレクシャ１３に固着されており、その先端部１
１ｂにおいて磁気ヘッドスライダ１２に固着されてい
る。このフレクシャ１３に固着された後端部１１ａがア
クチュエータの固定部となり、先端部１１ｂが可動部と
なって磁気ヘッドスライダ１２を左右に揺動させること
によって磁気ヘッド素子の精密位置決めが行なわれる。
おいてフレクシャ１３に固着されており、その先端部１
１ｂにおいて磁気ヘッドスライダ１２に固着されてい
る。このフレクシャ１３に固着された後端部１１ａがア
クチュエータの固定部となり、先端部１１ｂが可動部と
なって磁気ヘッドスライダ１２を左右に揺動させること
によって磁気ヘッド素子の精密位置決めが行なわれる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造によると、ロードビーム１４の突起１６の位
置、即ちサスペンションの荷重点がアクチュエータ１１
の変位部分に位置しているため、耐衝撃性が低く、また
荷重がかかるとアクチュエータ１１とフレクシャ１３と
の間に摩擦が生じてアクチュエータの動きを阻害してし
まう。
うな構造によると、ロードビーム１４の突起１６の位
置、即ちサスペンションの荷重点がアクチュエータ１１
の変位部分に位置しているため、耐衝撃性が低く、また
荷重がかかるとアクチュエータ１１とフレクシャ１３と
の間に摩擦が生じてアクチュエータの動きを阻害してし
まう。
【０００９】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解消するものであり、その目的は、アクチュエータ
の耐衝撃性が高く、しかもその動作を阻害することがな
い薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータを備
えたヘッドサスペンションアセンブリを提供することに
ある。
点を解消するものであり、その目的は、アクチュエータ
の耐衝撃性が高く、しかもその動作を阻害することがな
い薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータを備
えたヘッドサスペンションアセンブリを提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、第１の
部分（固定部）及び第２の部分（可動部）を有しており
圧電現象によって位置決めを行うアクチュエータと、ア
クチュエータの第１の部分（固定部）が固着されている
サスペンションと、アクチュエータの第２の部分（可動
部）に固着されており少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド
素子を有する磁気ヘッドスライダとを備えており、アク
チュエータの第１の部分（固定部）及び第２の部分（可
動部）がアクチュエータのサスペンションにおける先端
側及び基端側の位置にそれぞれ存在しているか、又はア
クチュエータの第１の部分（固定部）がアクチュエータ
のサスペンションにおける先端側の位置に、第２の部分
（可動部）がアクチュエータの中間部の位置にそれぞれ
存在しており、アクチュエータは、その面内において、
第２の部分（可動部）が第１の部分（固定部）に対して
揺動することによって少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド
素子の位置決めを行うように構成されており、サスペン
ションの、荷重点を構成する突起がアクチュエータの第
１の部分（固定部）に位置しているヘッドサスペンショ
ンアセンブリが提供される。
部分（固定部）及び第２の部分（可動部）を有しており
圧電現象によって位置決めを行うアクチュエータと、ア
クチュエータの第１の部分（固定部）が固着されている
サスペンションと、アクチュエータの第２の部分（可動
部）に固着されており少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド
素子を有する磁気ヘッドスライダとを備えており、アク
チュエータの第１の部分（固定部）及び第２の部分（可
動部）がアクチュエータのサスペンションにおける先端
側及び基端側の位置にそれぞれ存在しているか、又はア
クチュエータの第１の部分（固定部）がアクチュエータ
のサスペンションにおける先端側の位置に、第２の部分
（可動部）がアクチュエータの中間部の位置にそれぞれ
存在しており、アクチュエータは、その面内において、
第２の部分（可動部）が第１の部分（固定部）に対して
揺動することによって少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド
素子の位置決めを行うように構成されており、サスペン
ションの、荷重点を構成する突起がアクチュエータの第
１の部分（固定部）に位置しているヘッドサスペンショ
ンアセンブリが提供される。
【００１１】サスペンションの荷重点を構成する突起が
アクチュエータの固定部である第１の部分に位置してい
る。従って、アクチュエータに衝撃が印加された際の耐
性が高くなり、しかも、アクチュエータに荷重が印加さ
れた際にもアクチュエータとサスペンションとの間に摩
擦がほとんど発生せず、アクチュエータの動きが阻害さ
れることはない。
アクチュエータの固定部である第１の部分に位置してい
る。従って、アクチュエータに衝撃が印加された際の耐
性が高くなり、しかも、アクチュエータに荷重が印加さ
れた際にもアクチュエータとサスペンションとの間に摩
擦がほとんど発生せず、アクチュエータの動きが阻害さ
れることはない。
【００１２】サスペンションの荷重点が、磁気ヘッドス
ライダの中心点にほぼ一致していることが好ましい。こ
れによって、磁気ヘッドスライダの浮上特性が安定化す
る。
ライダの中心点にほぼ一致していることが好ましい。こ
れによって、磁気ヘッドスライダの浮上特性が安定化す
る。
【００１３】磁気ヘッドスライダの薄膜磁気ヘッド素子
が、アクチュエータの第１の部分よりサスペンションに
おける先端側である前方に位置していることが好まし
い。磁気ヘッドスライダの磁気ヘッド素子が存在する端
とは反対側の端部がアクチュエータの可動部に固着され
ており、かつアクチュエータの支点（固定部）を越えて
磁気ヘッドスライダの磁気ヘッド素子の端が位置してい
るため、アクチュエータの変位量に対する磁気ヘッド素
子の変位量をかなり大きくなり、ストロークが大きくな
る。
が、アクチュエータの第１の部分よりサスペンションに
おける先端側である前方に位置していることが好まし
い。磁気ヘッドスライダの磁気ヘッド素子が存在する端
とは反対側の端部がアクチュエータの可動部に固着され
ており、かつアクチュエータの支点（固定部）を越えて
磁気ヘッドスライダの磁気ヘッド素子の端が位置してい
るため、アクチュエータの変位量に対する磁気ヘッド素
子の変位量をかなり大きくなり、ストロークが大きくな
る。
【００１４】磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の
面が平坦な面に形成されており、この平坦な面がアクチ
ュエータの第２の部分に固着されていることが好まし
い。この場合、磁気ヘッドスライダが、その平坦な面の
全面に渡って厚みが薄くなるように構成されていること
がヘッドサスペンションアセンブリ全体の高さを低減し
て磁気ディスク装置の薄型化を図るためにも好ましい。
面が平坦な面に形成されており、この平坦な面がアクチ
ュエータの第２の部分に固着されていることが好まし
い。この場合、磁気ヘッドスライダが、その平坦な面の
全面に渡って厚みが薄くなるように構成されていること
がヘッドサスペンションアセンブリ全体の高さを低減し
て磁気ディスク装置の薄型化を図るためにも好ましい。
【００１５】磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の
面に平坦な底面を有する凹部が形成されており、この凹
部の底面がアクチュエータの第２の部分に固着されてい
ることも好ましい。このように磁気ヘッドスライダに設
けられた凹部内にアクチュエータが取り付けられている
ため、磁気ヘッドスライダ全体の厚みを薄くすることな
くヘッドサスペンションアセンブリ全体の高さを低減し
て磁気ディスク装置の薄型化を図ることが可能となる。
また、アクチュエータと磁気ヘッドスライダとを組み立
てる際の位置決めが非常に容易となる。
面に平坦な底面を有する凹部が形成されており、この凹
部の底面がアクチュエータの第２の部分に固着されてい
ることも好ましい。このように磁気ヘッドスライダに設
けられた凹部内にアクチュエータが取り付けられている
ため、磁気ヘッドスライダ全体の厚みを薄くすることな
くヘッドサスペンションアセンブリ全体の高さを低減し
て磁気ディスク装置の薄型化を図ることが可能となる。
また、アクチュエータと磁気ヘッドスライダとを組み立
てる際の位置決めが非常に容易となる。
【００１６】凹部の内壁とアクチュエータとの間が空隙
であってもよいし、凹部の内壁とアクチュエータとの間
に弾性樹脂が充填されていてもよい。後者の場合、アク
チュエータを補強することができ、アクチュエータ構造
の微細化を図ることができるので、アクチュエータ自体
の変位量を増大させることが可能となる。しかも、アク
チュエータの耐衝撃性を向上させることができ、また、
脱粒を多少なりとも防止できる。
であってもよいし、凹部の内壁とアクチュエータとの間
に弾性樹脂が充填されていてもよい。後者の場合、アク
チュエータを補強することができ、アクチュエータ構造
の微細化を図ることができるので、アクチュエータ自体
の変位量を増大させることが可能となる。しかも、アク
チュエータの耐衝撃性を向上させることができ、また、
脱粒を多少なりとも防止できる。
【００１７】凹部が溝であることも好ましい。
【００１８】磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の
面に、アクチュエータに係合する位置決め用凸部が形成
されていることも好ましい。このような凸部を設けるこ
とにより、組み立て時の位置決めが非常に容易となる。
面に、アクチュエータに係合する位置決め用凸部が形成
されていることも好ましい。このような凸部を設けるこ
とにより、組み立て時の位置決めが非常に容易となる。
【００１９】本発明の実施形態においては、アクチュエ
ータの第１の部分の固着面積と第２の部分の固着面積と
がほぼ等しいか、アクチュエータの第１の部分の固着面
積が第２の部分の固着面積より大きいか、又はアクチュ
エータの第２の部分の固着面積が第１の部分の固着面積
より大きい。
ータの第１の部分の固着面積と第２の部分の固着面積と
がほぼ等しいか、アクチュエータの第１の部分の固着面
積が第２の部分の固着面積より大きいか、又はアクチュ
エータの第２の部分の固着面積が第１の部分の固着面積
より大きい。
【００２０】
【発明の実施の形態】図２は本発明の一実施形態とし
て、ヘッドサスペンションアセンブリの全体をスライダ
側から見た平面図であり、図３は図２の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャ
への取り付け構造を示す側面図であり、図４は図２の実
施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダ
の構造を示しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエー
タ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）は
アクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を
示す斜視図である。
て、ヘッドサスペンションアセンブリの全体をスライダ
側から見た平面図であり、図３は図２の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャ
への取り付け構造を示す側面図であり、図４は図２の実
施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダ
の構造を示しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエー
タ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）は
アクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を
示す斜視図である。
【００２１】これらの図に示すように、ヘッドサスペン
ションアセンブリは、サスペンション２０の先端部に磁
気ヘッド素子の精密位置決めを行うためのアクチュエー
タ２１を取り付け、そのアクチュエータ２１に磁気ヘッ
ド素子を有するスライダ２２を固着して構成される。
ションアセンブリは、サスペンション２０の先端部に磁
気ヘッド素子の精密位置決めを行うためのアクチュエー
タ２１を取り付け、そのアクチュエータ２１に磁気ヘッ
ド素子を有するスライダ２２を固着して構成される。
【００２２】周知のように、磁気ディスク駆動装置に
は、このようなヘッドサスペンションアセンブリを取り
付けた駆動アームを変位させてアセンブリ全体を動かす
主アクチュエータ（ＶＣＭ）が設けられている。アクチ
ュエータ２１は、そのような主アクチュエータでは駆動
できない微細な変位を可能にするために設けられてい
る。
は、このようなヘッドサスペンションアセンブリを取り
付けた駆動アームを変位させてアセンブリ全体を動かす
主アクチュエータ（ＶＣＭ）が設けられている。アクチ
ュエータ２１は、そのような主アクチュエータでは駆動
できない微細な変位を可能にするために設けられてい
る。
【００２３】このアクチュエータ２１は、後述するよう
に、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪
材料層を含む多層構造であり、磁気ヘッドスライダ２２
とは機械的に、サスペンション２０とは電気的及び機械
的に接続されている。その大きさは、例えば、１．２５
ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍの磁気ヘッドスライダ２
２とほぼ同等の大きさである。
に、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪
材料層を含む多層構造であり、磁気ヘッドスライダ２２
とは機械的に、サスペンション２０とは電気的及び機械
的に接続されている。その大きさは、例えば、１．２５
ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍの磁気ヘッドスライダ２
２とほぼ同等の大きさである。
【００２４】本実施形態では、アクチュエータ２１及び
磁気ヘッドスライダ２２が、共に、磁気ディスク媒体の
表面に対向するように、サスペンション２０の磁気ディ
スク媒体と対向する側の面上に取り付けられている。な
お、図示されていないが、サスペンション２０の途中に
ヘッド駆動用ＩＣチップを装着してもよい。
磁気ヘッドスライダ２２が、共に、磁気ディスク媒体の
表面に対向するように、サスペンション２０の磁気ディ
スク媒体と対向する側の面上に取り付けられている。な
お、図示されていないが、サスペンション２０の途中に
ヘッド駆動用ＩＣチップを装着してもよい。
【００２５】サスペンション２０は、アクチュエータ２
１を介してスライダ２２を一方の端部に設けられた舌部
で担持する弾性を有するフレクシャ２３と、フレクシャ
２３を支持固着しておりこれも弾性を有するロードビー
ム２４と、ロードビーム２４の基部に設けられたベース
プレート２５とから主として構成されている。
１を介してスライダ２２を一方の端部に設けられた舌部
で担持する弾性を有するフレクシャ２３と、フレクシャ
２３を支持固着しておりこれも弾性を有するロードビー
ム２４と、ロードビーム２４の基部に設けられたベース
プレート２５とから主として構成されている。
【００２６】ロードビーム２４には、点荷重を行うため
の突起（ディンプルに対応する）２６が設けられてお
り、この突起２６がフレクシャ２３を介してさらにアク
チュエータ２１を介して磁気ヘッドスライダ２２を押圧
することによりサスペンションからの荷重が行なわれ
る。従ってこの突起２６の位置が荷重点となる。なお、
ロードビーム２４は、アクチュエータ２１を介してスラ
イダ２２を磁気ディスク方向に押さえつけるための弾性
を持っている。
の突起（ディンプルに対応する）２６が設けられてお
り、この突起２６がフレクシャ２３を介してさらにアク
チュエータ２１を介して磁気ヘッドスライダ２２を押圧
することによりサスペンションからの荷重が行なわれ
る。従ってこの突起２６の位置が荷重点となる。なお、
ロードビーム２４は、アクチュエータ２１を介してスラ
イダ２２を磁気ディスク方向に押さえつけるための弾性
を持っている。
【００２７】フレクシャ２３は、ロードビーム２４に設
けられた突起２６に押圧される軟らかい舌部を持ち、こ
の舌部でアクチュエータ２１を介してスライダ２２を柔
軟に支えるような弾性を持っている。本実施形態のよう
に、フレクシャ２３とロードビーム２４とが独立した部
品である３ピース構造のサスペンションでは、フレクシ
ャ２３の剛性はロードビーム２４の剛性より低くなって
いる。
けられた突起２６に押圧される軟らかい舌部を持ち、こ
の舌部でアクチュエータ２１を介してスライダ２２を柔
軟に支えるような弾性を持っている。本実施形態のよう
に、フレクシャ２３とロードビーム２４とが独立した部
品である３ピース構造のサスペンションでは、フレクシ
ャ２３の剛性はロードビーム２４の剛性より低くなって
いる。
【００２８】フレクシャ２３は、本実施形態では、厚さ
約２５μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４Ｔ
Ａ）によって構成されている。後述するように、フレク
シャ２３の先端部２３ａは、このフレクシャ２３の他の
部分２３ｂから分離独立して形成されている。
約２５μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４Ｔ
Ａ）によって構成されている。後述するように、フレク
シャ２３の先端部２３ａは、このフレクシャ２３の他の
部分２３ｂから分離独立して形成されている。
【００２９】フレクシャ２３上及びフレクシャ２３が存
在しない空間上には、積層薄膜パターンによる複数のリ
ード導体を含む可撓性の配線部材２７が形成されてい
る。即ち、配線部材２７は、フレクシブルプリント回路
（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔ Ｃｉｒｃｕｉｔ、Ｆ
ＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基板を作成するの
と同じ公知のパターニング方法で形成されている。例え
ば、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第１
の絶縁性材料層、パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ
層（リード導体層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の
樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこの順序でフレク
シャ２３側から順次積層することによって形成される。
ただし、磁気ヘッド素子及び外部回路と接続するための
接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成され
ており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。
在しない空間上には、積層薄膜パターンによる複数のリ
ード導体を含む可撓性の配線部材２７が形成されてい
る。即ち、配線部材２７は、フレクシブルプリント回路
（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔ Ｃｉｒｃｕｉｔ、Ｆ
ＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基板を作成するの
と同じ公知のパターニング方法で形成されている。例え
ば、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第１
の絶縁性材料層、パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ
層（リード導体層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の
樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこの順序でフレク
シャ２３側から順次積層することによって形成される。
ただし、磁気ヘッド素子及び外部回路と接続するための
接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成され
ており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。
【００３０】本実施形態においてこの配線部材２７は、
磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本の
リード導体を含む第１の配線部材２７ａと、アクチュエ
ータ２１に接続される片側２本、両側で計４本のリード
導体を含む第２の配線部材２７ｂとから構成されてい
る。
磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本の
リード導体を含む第１の配線部材２７ａと、アクチュエ
ータ２１に接続される片側２本、両側で計４本のリード
導体を含む第２の配線部材２７ｂとから構成されてい
る。
【００３１】第１の配線部材２７ａのリード導体の一端
は、フレクシャ２３の分離独立した先端部２３ａ上に設
けられた接続パッド２８に接続されており、接続パッド
２８は、図３に示すように、磁気ヘッドスライダ２２の
端子電極に金ボール３１でボールボンディングされてい
る。第１の配線部材２７ａのリード導体の他端は外部回
路と接続するための接続パッド２９に接続されている。
従って、この第１の配線部材２７ａは、フレクシャの他
の部分２３ｂ上に積層されている部分と、アクチュエー
タ２１及び磁気ヘッドスライダ２２の両側で空中に浮動
している部分と、フレクシャの分離独立した先端部２３
ａ上に積層されている部分とから構成されることとな
る。フレクシャのこの先端部２３ａと、他の部分２３ｂ
とは、互いに異なる平面内に存在しているが、第１の配
線部材２７ａのこの空中に浮動している部分が自由に湾
曲することによって、分離独立した先端部２３ａにスト
レスを与えることなく磁気ヘッド素子との電気的接続が
確保される。
は、フレクシャ２３の分離独立した先端部２３ａ上に設
けられた接続パッド２８に接続されており、接続パッド
２８は、図３に示すように、磁気ヘッドスライダ２２の
端子電極に金ボール３１でボールボンディングされてい
る。第１の配線部材２７ａのリード導体の他端は外部回
路と接続するための接続パッド２９に接続されている。
従って、この第１の配線部材２７ａは、フレクシャの他
の部分２３ｂ上に積層されている部分と、アクチュエー
タ２１及び磁気ヘッドスライダ２２の両側で空中に浮動
している部分と、フレクシャの分離独立した先端部２３
ａ上に積層されている部分とから構成されることとな
る。フレクシャのこの先端部２３ａと、他の部分２３ｂ
とは、互いに異なる平面内に存在しているが、第１の配
線部材２７ａのこの空中に浮動している部分が自由に湾
曲することによって、分離独立した先端部２３ａにスト
レスを与えることなく磁気ヘッド素子との電気的接続が
確保される。
【００３２】なお、ボールボンディングに代えて、ステ
ッチボンディングにより、接続パッド２８と磁気ヘッド
スライダ２２の端子電極とを接続してもよい。
ッチボンディングにより、接続パッド２８と磁気ヘッド
スライダ２２の端子電極とを接続してもよい。
【００３３】第２の配線部材２７ｂのリード導体の一端
は、フレクシャ２３の舌部に形成された接続パッドに接
続されており、この接続パッドはアクチュエータ２１の
端子電極に接続されている。第２の配線部材２７ｂのリ
ード導体の他端は外部回路と接続するための接続パッド
２９に接続されている。
は、フレクシャ２３の舌部に形成された接続パッドに接
続されており、この接続パッドはアクチュエータ２１の
端子電極に接続されている。第２の配線部材２７ｂのリ
ード導体の他端は外部回路と接続するための接続パッド
２９に接続されている。
【００３４】ロードビーム２４は、先端に向けて幅が狭
くなる形状の約６０〜６５μｍ厚の弾性を有するステン
レス鋼板で構成されており、フレクシャ２３をその全長
に渡って支持している。ただし、フレクシャ２３とロー
ドビーム２４との固着は、複数の溶接点によるピンポイ
ント固着によってなされている。
くなる形状の約６０〜６５μｍ厚の弾性を有するステン
レス鋼板で構成されており、フレクシャ２３をその全長
に渡って支持している。ただし、フレクシャ２３とロー
ドビーム２４との固着は、複数の溶接点によるピンポイ
ント固着によってなされている。
【００３５】ベースプレート２５は、ステンレス鋼又は
鉄で構成されており、ロードビーム２４の基部に溶接に
よって固着されている。このベースプレート２５を取り
付け部３０で固定することによって、サスペンション２
０の可動アーム（図示なし）への取り付けが行われる。
なお、フレクシャ２３とロードビーム２４とを別個に設
けず、ベースプレートとフレクシャ−ロードビームとの
２ピース構造のサスペンションとしてもよい。
鉄で構成されており、ロードビーム２４の基部に溶接に
よって固着されている。このベースプレート２５を取り
付け部３０で固定することによって、サスペンション２
０の可動アーム（図示なし）への取り付けが行われる。
なお、フレクシャ２３とロードビーム２４とを別個に設
けず、ベースプレートとフレクシャ−ロードビームとの
２ピース構造のサスペンションとしてもよい。
【００３６】図４に示すように、アクチュエータ２１
は、フレクシャ２３に固着される第１の部分（以下固定
部と称する）２１ａ及び磁気ヘッドスライダ２２に固着
される第２の部分（以下可動部と称する）２１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
２１ｃ及び２１ｄを有する。変位発生部２１ｃ及び２１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部２１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極２１ｅ〜２１ｇが形
成されている。
は、フレクシャ２３に固着される第１の部分（以下固定
部と称する）２１ａ及び磁気ヘッドスライダ２２に固着
される第２の部分（以下可動部と称する）２１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
２１ｃ及び２１ｄを有する。変位発生部２１ｃ及び２１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部２１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極２１ｅ〜２１ｇが形
成されている。
【００３７】図３から明らかのように、フレクシャ２３
には、アクチュエータ２１の固定部２１ａの上面及び／
又は側面が接着剤３２によって固着されている。この場
合、アクチュエータ２１の固定部２１ａがこのアクチュ
エータ２１のサスペンションにおける先端側に位置し、
かつロードビーム２４に設けられた突起２６が固定部２
１ａ内に、望ましくはその中心近傍に位置するように固
着されている。
には、アクチュエータ２１の固定部２１ａの上面及び／
又は側面が接着剤３２によって固着されている。この場
合、アクチュエータ２１の固定部２１ａがこのアクチュ
エータ２１のサスペンションにおける先端側に位置し、
かつロードビーム２４に設けられた突起２６が固定部２
１ａ内に、望ましくはその中心近傍に位置するように固
着されている。
【００３８】このように、本実施形態では、サスペンシ
ョン１０の荷重点がアクチュエータ２１の固定部２１ａ
に位置している。従って、アクチュエータ２１に衝撃が
印加された際のこれが変位部に印加されず固定部に印加
されるので耐衝撃性が高くなる。しかも、面外荷重を変
位部からはずすことができるので、アクチュエータ２１
とサスペンション１０との間に摩擦がほとんど発生せ
ず、アクチュエータ２１の動きが阻害されることはな
い。
ョン１０の荷重点がアクチュエータ２１の固定部２１ａ
に位置している。従って、アクチュエータ２１に衝撃が
印加された際のこれが変位部に印加されず固定部に印加
されるので耐衝撃性が高くなる。しかも、面外荷重を変
位部からはずすことができるので、アクチュエータ２１
とサスペンション１０との間に摩擦がほとんど発生せ
ず、アクチュエータ２１の動きが阻害されることはな
い。
【００３９】アクチュエータ２１の固着方法としては、
接着剤による接着の他に、アクチュエータ２１の固定部
２１ａに設けられた端子電極２１ｅ〜２１ｇをフレクシ
ャ２３に形成された接続パッドにハンダ接続すること、
又は固定部２１ａに設けられた端子電極２１ｅ〜２１ｇ
をフレクシャ２３に形成された接続パッドに導電接着剤
を用いて接着することであってもよい。
接着剤による接着の他に、アクチュエータ２１の固定部
２１ａに設けられた端子電極２１ｅ〜２１ｇをフレクシ
ャ２３に形成された接続パッドにハンダ接続すること、
又は固定部２１ａに設けられた端子電極２１ｅ〜２１ｇ
をフレクシャ２３に形成された接続パッドに導電接着剤
を用いて接着することであってもよい。
【００４０】一方、図３及び図４から明らかのように、
アクチュエータ２１の可動部２１ｂは、磁気ヘッドスラ
イダ２２の浮上面（ＡＢＳ）とは反対側の平坦な面上で
あって磁気ヘッド素子が存在する端とは反対側の端部
に、その下面が接着剤３３により接着されることによっ
て固着されている。この場合、アクチュエータ２１の可
動部２１ｂがこのアクチュエータ２１の後端部（サスペ
ンションにおける後端側）に位置するように設定されて
いる。
アクチュエータ２１の可動部２１ｂは、磁気ヘッドスラ
イダ２２の浮上面（ＡＢＳ）とは反対側の平坦な面上で
あって磁気ヘッド素子が存在する端とは反対側の端部
に、その下面が接着剤３３により接着されることによっ
て固着されている。この場合、アクチュエータ２１の可
動部２１ｂがこのアクチュエータ２１の後端部（サスペ
ンションにおける後端側）に位置するように設定されて
いる。
【００４１】上述のごとく、変位発生部２１ｃ及び２１
ｄの一端は固定部２１ａを介してフレクシャ２３に連結
され、変位発生部２１ｃ及び２１ｄの他端は可動部２１
ｂを介して磁気ヘッドスライダ２２に連結されている。
従って、変位発生部２１ｃ及び２１ｄの伸縮により磁気
ヘッドスライダ２２が変位して、磁気ヘッド素子が磁気
ディスクの記録トラックと交差するように弧状に変位す
る。特に、本実施形態では、磁気ヘッドスライダ２２の
磁気ヘッド素子が存在する端２２ａとは反対側の端部が
アクチュエータ２１の可動部２１ｂに固着されており、
かつアクチュエータ２１の固定部２１ａと可動部２１ｂ
との間の距離に比して磁気ヘッドスライダ２２のアクチ
ュエータ２１への固着部と磁気ヘッド素子が存在する端
２２ａとの間の距離が大きいため、換言すれば、磁気ヘ
ッド素子が存在する端２２ａがアクチュエータ２１の固
定部２１ａより前方に位置しているため、アクチュエー
タ２１の変位量に対する磁気ヘッド素子部分の変位量が
かなり大きくなり、ストロークが大きくなる。
ｄの一端は固定部２１ａを介してフレクシャ２３に連結
され、変位発生部２１ｃ及び２１ｄの他端は可動部２１
ｂを介して磁気ヘッドスライダ２２に連結されている。
従って、変位発生部２１ｃ及び２１ｄの伸縮により磁気
ヘッドスライダ２２が変位して、磁気ヘッド素子が磁気
ディスクの記録トラックと交差するように弧状に変位す
る。特に、本実施形態では、磁気ヘッドスライダ２２の
磁気ヘッド素子が存在する端２２ａとは反対側の端部が
アクチュエータ２１の可動部２１ｂに固着されており、
かつアクチュエータ２１の固定部２１ａと可動部２１ｂ
との間の距離に比して磁気ヘッドスライダ２２のアクチ
ュエータ２１への固着部と磁気ヘッド素子が存在する端
２２ａとの間の距離が大きいため、換言すれば、磁気ヘ
ッド素子が存在する端２２ａがアクチュエータ２１の固
定部２１ａより前方に位置しているため、アクチュエー
タ２１の変位量に対する磁気ヘッド素子部分の変位量が
かなり大きくなり、ストロークが大きくなる。
【００４２】以下、アクチュエータ２１の構造について
より詳しく説明する。
より詳しく説明する。
【００４３】変位発生部２１ｃ及び２１ｄにおける圧電
・電歪材料層がＰＺＴ等のいわゆる圧電材料から構成さ
れている場合、この圧電・電歪材料層には、通常、変位
性能向上のための分極処理が施されている。この分極処
理による分極方向は、アクチュエータ２１の厚さ方向で
ある。電極層に電圧を印加したときの電界の向きが分極
方向と一致する場合、両電極間の圧電・電歪材料層はそ
の厚さ方向に伸長（圧電縦効果）し、その面内方向では
収縮（圧電横効果）する。一方、電界の向きが分極方向
と逆である場合、圧電・電歪材料層はその厚さ方向に収
縮（圧電縦効果）し、その面内方向では伸長（圧電横効
果）する。そして、一方の変位発生部と他方の変位発生
部とに、収縮を生じさせる電圧を交互に印加すると、一
方の変位発生部の長さと他方の変位発生部の長さとの比
率が変化し、これによって両変位発生部はアクチュエー
タ２１の面内において同方向に撓む。この撓みによっ
て、固定部２１ａに対し可動部２１ｂが、電圧無印加時
の位置を中央として図４の矢印３４の方向に揺動するこ
とになる。この揺動は、可動部２１ｂが、変位発生部２
１ｃ及び２１ｄの伸縮方向に対しほぼ直交する方向に弧
状の軌跡を描く変位であり、揺動方向はアクチュエータ
の面内に存在する。従って、磁気ヘッド素子も図４の矢
印３５に示すようにより大きな弧状の軌跡を描いて揺動
することになる。このとき、電圧と分極とは向きが同じ
なので、分極減衰のおそれがなく、好ましい。なお、両
変位発生部に交互に印加する電圧が変位発生部を伸長さ
せるものであっても、同様な揺動が生じる。
・電歪材料層がＰＺＴ等のいわゆる圧電材料から構成さ
れている場合、この圧電・電歪材料層には、通常、変位
性能向上のための分極処理が施されている。この分極処
理による分極方向は、アクチュエータ２１の厚さ方向で
ある。電極層に電圧を印加したときの電界の向きが分極
方向と一致する場合、両電極間の圧電・電歪材料層はそ
の厚さ方向に伸長（圧電縦効果）し、その面内方向では
収縮（圧電横効果）する。一方、電界の向きが分極方向
と逆である場合、圧電・電歪材料層はその厚さ方向に収
縮（圧電縦効果）し、その面内方向では伸長（圧電横効
果）する。そして、一方の変位発生部と他方の変位発生
部とに、収縮を生じさせる電圧を交互に印加すると、一
方の変位発生部の長さと他方の変位発生部の長さとの比
率が変化し、これによって両変位発生部はアクチュエー
タ２１の面内において同方向に撓む。この撓みによっ
て、固定部２１ａに対し可動部２１ｂが、電圧無印加時
の位置を中央として図４の矢印３４の方向に揺動するこ
とになる。この揺動は、可動部２１ｂが、変位発生部２
１ｃ及び２１ｄの伸縮方向に対しほぼ直交する方向に弧
状の軌跡を描く変位であり、揺動方向はアクチュエータ
の面内に存在する。従って、磁気ヘッド素子も図４の矢
印３５に示すようにより大きな弧状の軌跡を描いて揺動
することになる。このとき、電圧と分極とは向きが同じ
なので、分極減衰のおそれがなく、好ましい。なお、両
変位発生部に交互に印加する電圧が変位発生部を伸長さ
せるものであっても、同様な揺動が生じる。
【００４４】アクチュエータ２１としては、両変位発生
部に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加
してもよい。即ち、一方の変位発生部と他方の変位発生
部とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮
したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加し
てもよい。このときの可動部２１ｂの揺動は、電圧無印
加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電
圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加
する場合の約２倍となる。ただし、この場合、揺動の一
方の側では変位発生部を伸長させることになり、このと
きの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加
電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧
電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。従って、
分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えてお
き、このバイアス電圧に前記交番電圧を重畳したものを
駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向
きと逆になることがないようにする。この場合の揺動
は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とす
るものとなる。
部に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加
してもよい。即ち、一方の変位発生部と他方の変位発生
部とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮
したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加し
てもよい。このときの可動部２１ｂの揺動は、電圧無印
加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電
圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加
する場合の約２倍となる。ただし、この場合、揺動の一
方の側では変位発生部を伸長させることになり、このと
きの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加
電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧
電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。従って、
分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えてお
き、このバイアス電圧に前記交番電圧を重畳したものを
駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向
きと逆になることがないようにする。この場合の揺動
は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とす
るものとなる。
【００４５】アクチュエータ２１は、所定箇所に電極層
を設けた圧電・電歪材料の板状体に孔部および切り欠き
を形成することにより、変位発生部２１ｃ及び２１ｄ、
固定部２１ａ並びに可動部２１ｂを一体的に形成した構
造となっている。従って、アクチュエータの剛性および
寸法精度を高くでき、組立誤差が生じる心配もない。ま
た、アクチュエータ自体の製造に接着剤を用いないた
め、変位発生部の変形によって応力が生じる部分に接着
剤層が存在しない。このため、接着剤層による伝達ロス
や、接着強度の経年変化などの問題も生じない。
を設けた圧電・電歪材料の板状体に孔部および切り欠き
を形成することにより、変位発生部２１ｃ及び２１ｄ、
固定部２１ａ並びに可動部２１ｂを一体的に形成した構
造となっている。従って、アクチュエータの剛性および
寸法精度を高くでき、組立誤差が生じる心配もない。ま
た、アクチュエータ自体の製造に接着剤を用いないた
め、変位発生部の変形によって応力が生じる部分に接着
剤層が存在しない。このため、接着剤層による伝達ロス
や、接着強度の経年変化などの問題も生じない。
【００４６】なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果ま
たは電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電
歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部
に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が
高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）
Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌ
ａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴ
ｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
たは電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電
歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部
に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が
高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）
Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌ
ａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴ
ｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
【００４７】図５は本発明の他の実施形態におけるアク
チュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示してお
り、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを
磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図であ
る。
チュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示してお
り、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを
磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図であ
る。
【００４８】図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、アク
チュエータ５１は、固定部５１ａ及び可動部５１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
５１ｃ及び５１ｄを有する。変位発生部５１ｃ及び５１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部５１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極５１ｅ〜５１ｇが形
成されている。
チュエータ５１は、固定部５１ａ及び可動部５１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
５１ｃ及び５１ｄを有する。変位発生部５１ｃ及び５１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部５１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極５１ｅ〜５１ｇが形
成されている。
【００４９】本実施形態では、特に、アクチュエータ５
１の固定部５１ａが、サスペンションとの固着面積が大
きくなるような形状に形成されている。このため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ５２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ５１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。
１の固定部５１ａが、サスペンションとの固着面積が大
きくなるような形状に形成されている。このため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ５２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ５１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。
【００５０】本実施形態における、アクチュエータ５１
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００５１】図６は本発明のさらに他の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。
【００５２】図６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、アク
チュエータ６１は、固定部６１ａ及び可動部６１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
６１ｃ及び６１ｄを有する。変位発生部６１ｃ及び６１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部６１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極６１ｅ〜６１ｇが形
成されている。
チュエータ６１は、固定部６１ａ及び可動部６１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
６１ｃ及び６１ｄを有する。変位発生部６１ｃ及び６１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部６１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極６１ｅ〜６１ｇが形
成されている。
【００５３】本実施形態では、特に、アクチュエータ６
１の固定部６１ａが、サスペンションとの固着面積が大
きくなるような形状に形成されているため、ため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ６２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ６１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。
１の固定部６１ａが、サスペンションとの固着面積が大
きくなるような形状に形成されているため、ため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ６２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ６１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。
【００５４】さらに、磁気ヘッドスライダ６２が例えば
図５の実施形態のごとき通常の場合より薄く形成されて
いため、ヘッドサスペンションアセンブリ全体の厚みが
減少し、磁気ディスク装置の薄型化を図ることが可能と
なる。また、ヘッドサスペンションアセンブリの厚みを
減少させる必要のない場合には、磁気ヘッドスライダ６
２を薄くした分、アクチュエータ６１の厚みを増大させ
てその耐衝撃性を向上させることが可能となる。
図５の実施形態のごとき通常の場合より薄く形成されて
いため、ヘッドサスペンションアセンブリ全体の厚みが
減少し、磁気ディスク装置の薄型化を図ることが可能と
なる。また、ヘッドサスペンションアセンブリの厚みを
減少させる必要のない場合には、磁気ヘッドスライダ６
２を薄くした分、アクチュエータ６１の厚みを増大させ
てその耐衝撃性を向上させることが可能となる。
【００５５】本実施形態における、アクチュエータ６１
及び磁気ヘッドスライダ６２の構造を除くその他の構成
及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様である
ため、説明を省略する。
及び磁気ヘッドスライダ６２の構造を除くその他の構成
及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様である
ため、説明を省略する。
【００５６】図７は、本発明のまたさらに他の実施形態
におけるサスペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッ
ドスライダの取り付け構造を示しており、同図（Ａ）は
これらサスペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダを互いに固着した状態の側面図、同図（Ｂ）は
その底面図である。また、図８は図７の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。
におけるサスペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッ
ドスライダの取り付け構造を示しており、同図（Ａ）は
これらサスペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダを互いに固着した状態の側面図、同図（Ｂ）は
その底面図である。また、図８は図７の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。
【００５７】これらの図において、７０はフレクシャ７
３、これを支持するロードビーム７４及びこのロードビ
ーム７４の基部に設けられたベースプレート（図示な
し）とから主として構成されているサスペンション、７
１はフレクシャ７３の舌部７３ｃに固着されたアクチュ
エータ、７２はアクチュエータ７１に固着された磁気ヘ
ッドスライダ、７６はロードビーム２４に設けられた点
荷重を行うための突起（ディンプルに対応する）、７７
ａ及び７７ｂは複数のリード導体を含む可撓性の第１及
び第２の配線部材、７８はフレクシャ７３の分離独立し
た先端部７３ａ上に設けられた接続パッドをそれぞれ示
している。
３、これを支持するロードビーム７４及びこのロードビ
ーム７４の基部に設けられたベースプレート（図示な
し）とから主として構成されているサスペンション、７
１はフレクシャ７３の舌部７３ｃに固着されたアクチュ
エータ、７２はアクチュエータ７１に固着された磁気ヘ
ッドスライダ、７６はロードビーム２４に設けられた点
荷重を行うための突起（ディンプルに対応する）、７７
ａ及び７７ｂは複数のリード導体を含む可撓性の第１及
び第２の配線部材、７８はフレクシャ７３の分離独立し
た先端部７３ａ上に設けられた接続パッドをそれぞれ示
している。
【００５８】第１の配線部材７７ａは磁気ヘッド素子に
接続されるリード導体を含んでおり、第２の配線部材７
７ｂはアクチュエータ７１に接続されるリード導体を含
んでいる。第１の配線部材７７ａのリード導体の一端は
７８に接続されており、これら接続パッド７８は磁気ヘ
ッドスライダ７２の端子電極に金ボール８１でボールボ
ンディングされている。
接続されるリード導体を含んでおり、第２の配線部材７
７ｂはアクチュエータ７１に接続されるリード導体を含
んでいる。第１の配線部材７７ａのリード導体の一端は
７８に接続されており、これら接続パッド７８は磁気ヘ
ッドスライダ７２の端子電極に金ボール８１でボールボ
ンディングされている。
【００５９】フレクシャ７３の舌部７３ｃには、アクチ
ュエータ７１の固定部７１ａの上面及び側面が接着剤８
２によって固着されている。この場合、アクチュエータ
７１の固定部７１ａがこのアクチュエータ７１のサスペ
ンションにおける先端側に位置し、かつロードビーム７
４に設けられた突起７６が固定部７１ａ内に、望ましく
はその中心近傍に位置するように固着されている。
ュエータ７１の固定部７１ａの上面及び側面が接着剤８
２によって固着されている。この場合、アクチュエータ
７１の固定部７１ａがこのアクチュエータ７１のサスペ
ンションにおける先端側に位置し、かつロードビーム７
４に設けられた突起７６が固定部７１ａ内に、望ましく
はその中心近傍に位置するように固着されている。
【００６０】アクチュエータ７１の可動部７１ｂは、磁
気ヘッドスライダ７２の磁気ヘッド素子が存在する端と
は反対側の端部にその下面が接着剤８３により接着され
ることによって固着されている。本実施形態において
は、アクチュエータ７１のこの可動部７１ｂは、このア
クチュエータ７１の後端部（サスペンションにおける後
端側）から折り返した中間部に位置している。
気ヘッドスライダ７２の磁気ヘッド素子が存在する端と
は反対側の端部にその下面が接着剤８３により接着され
ることによって固着されている。本実施形態において
は、アクチュエータ７１のこの可動部７１ｂは、このア
クチュエータ７１の後端部（サスペンションにおける後
端側）から折り返した中間部に位置している。
【００６１】アクチュエータ７１は、固定部７１ａ及び
可動部７１ｂから折り返した後端部を接続する２本の棒
状の変位発生部７１ｃ及び７１ｄを有する。変位発生部
７１ｃ及び７１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・
電歪材料層が少なくとも１層設けられており、電極層に
電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となって
いる。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果に
より伸縮する圧電・電歪材料からなる。固定部７１ａに
は、上述の電極層に接続されている３つの端子電極７１
ｅ〜７１ｇが形成されている。
可動部７１ｂから折り返した後端部を接続する２本の棒
状の変位発生部７１ｃ及び７１ｄを有する。変位発生部
７１ｃ及び７１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・
電歪材料層が少なくとも１層設けられており、電極層に
電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となって
いる。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果に
より伸縮する圧電・電歪材料からなる。固定部７１ａに
は、上述の電極層に接続されている３つの端子電極７１
ｅ〜７１ｇが形成されている。
【００６２】本実施形態では、特に、アクチュエータ７
１の可動部７１ｂが、その後端部から折り返した位置に
あり、磁気ヘッドスライダ７２との固着面積が大きくな
るような形状に形成されている。このため、サスペンシ
ョン７０と磁気ヘッドスライダ７２との間にアクチュエ
ータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約が
あるにもかかわらず、磁気ヘッドスライダ７２とアクチ
ュエータ７１との間で十分な固着強度を得ることが可能
となる。
１の可動部７１ｂが、その後端部から折り返した位置に
あり、磁気ヘッドスライダ７２との固着面積が大きくな
るような形状に形成されている。このため、サスペンシ
ョン７０と磁気ヘッドスライダ７２との間にアクチュエ
ータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約が
あるにもかかわらず、磁気ヘッドスライダ７２とアクチ
ュエータ７１との間で十分な固着強度を得ることが可能
となる。
【００６３】本実施形態における、アクチュエータ７１
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００６４】図９は本発明のさらに他の実施形態におけ
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。
るアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示し
ており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘ
ッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエー
タを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図で
ある。
【００６５】図９（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、アク
チュエータ９１は、固定部９１ａ及び可動部９１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
９１ｃ及び９１ｄを有する。変位発生部９１ｃ及び９１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部９１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極９１ｅ〜９１ｇが形
成されている。
チュエータ９１は、固定部９１ａ及び可動部９１ｂを有
し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
９１ｃ及び９１ｄを有する。変位発生部９１ｃ及び９１
ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少
なくとも１層設けられており、電極層に電圧を印加する
ことにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電
歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧
電・電歪材料からなる。固定部９１ａには、上述の電極
層に接続されている３つの端子電極９１ｅ〜９１ｇが形
成されている。
【００６６】本実施形態では、特に、アクチュエータ９
１の固定部９１ａ及び可動部９１ｂが、サスペンション
及び磁気ヘッドスライダ９２との固着面積がそれぞれ大
きくなるような形状に形成されている。このため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ９２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ９１、並びに磁気ヘッドスライダ９２とアクチュエー
タ９１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。
１の固定部９１ａ及び可動部９１ｂが、サスペンション
及び磁気ヘッドスライダ９２との固着面積がそれぞれ大
きくなるような形状に形成されている。このため、サス
ペンションと磁気ヘッドスライダ９２との間にアクチュ
エータを設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約
があるにもかかわらず、サスペンションとアクチュエー
タ９１、並びに磁気ヘッドスライダ９２とアクチュエー
タ９１との間で十分な固着強度を得ることが可能とな
る。
【００６７】本実施形態における、アクチュエータ９１
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形
態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００６８】図１０は本発明のまたさらに他の実施形態
におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレ
クシャへの取り付け構造を示す側面図であり、図１１は
図１０の実施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッ
ドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこれらア
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同
図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着
した状態を示す斜視図である。
におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレ
クシャへの取り付け構造を示す側面図であり、図１１は
図１０の実施形態におけるアクチュエータ及び磁気ヘッ
ドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこれらア
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同
図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着
した状態を示す斜視図である。
【００６９】これらの図において、１００はフレクシャ
１０３、これを支持するロードビーム１０４及びこのロ
ードビーム１０４の基部に設けられたベースプレート
（図示なし）とから主として構成されているサスペンシ
ョン、１０１はフレクシャ１０３の舌部に固着されたア
クチュエータ、１０２はアクチュエータ１０１に固着さ
れた磁気ヘッドスライダ、１０６はロードビーム１０４
に設けられた点荷重を行うための突起（ディンプルに対
応する）、１０３ａはフレクシャ１０３の分離独立した
先端部をそれぞれ示している。
１０３、これを支持するロードビーム１０４及びこのロ
ードビーム１０４の基部に設けられたベースプレート
（図示なし）とから主として構成されているサスペンシ
ョン、１０１はフレクシャ１０３の舌部に固着されたア
クチュエータ、１０２はアクチュエータ１０１に固着さ
れた磁気ヘッドスライダ、１０６はロードビーム１０４
に設けられた点荷重を行うための突起（ディンプルに対
応する）、１０３ａはフレクシャ１０３の分離独立した
先端部をそれぞれ示している。
【００７０】フレクシャ１０３の先端部１０３ａには、
磁気ヘッドスライダ１０２の端子電極に金ボール１１１
でボールボンディングされる接続パッドが設けられてい
る。
磁気ヘッドスライダ１０２の端子電極に金ボール１１１
でボールボンディングされる接続パッドが設けられてい
る。
【００７１】フレクシャ１０３の舌部には、アクチュエ
ータ１０１の固定部１０１ａの上面及び／又は側面が接
着剤１１２によって固着されている。この場合、アクチ
ュエータ１０１の固定部１０１ａがこのアクチュエータ
１０１のサスペンションにおける先端側に位置し、かつ
ロードビーム１０４に設けられた突起１０６が固定部１
０１ａ内に、望ましくはその中心近傍に位置するように
固着されている。
ータ１０１の固定部１０１ａの上面及び／又は側面が接
着剤１１２によって固着されている。この場合、アクチ
ュエータ１０１の固定部１０１ａがこのアクチュエータ
１０１のサスペンションにおける先端側に位置し、かつ
ロードビーム１０４に設けられた突起１０６が固定部１
０１ａ内に、望ましくはその中心近傍に位置するように
固着されている。
【００７２】磁気ヘッドスライダ１０２の浮上面（ＡＢ
Ｓ）と反対側の面には、底面が平坦な溝１０２ｂが形成
されており、この溝１０２ｂ内にアクチュエータ１０１
の可動部１０１ｂがその下面が接着剤１１３により接着
されることによって固着されている。可動部１０１ｂの
固着位置は、磁気ヘッドスライダ１０２の磁気ヘッド素
子が存在する端１０２ａとは反対側の端部近傍の溝１０
２ｂ内である。この場合、アクチュエータ１０１の可動
部１０１ｂがこのアクチュエータ１０１の後端部（サス
ペンションにおける後端側）に位置するように設定され
ている。
Ｓ）と反対側の面には、底面が平坦な溝１０２ｂが形成
されており、この溝１０２ｂ内にアクチュエータ１０１
の可動部１０１ｂがその下面が接着剤１１３により接着
されることによって固着されている。可動部１０１ｂの
固着位置は、磁気ヘッドスライダ１０２の磁気ヘッド素
子が存在する端１０２ａとは反対側の端部近傍の溝１０
２ｂ内である。この場合、アクチュエータ１０１の可動
部１０１ｂがこのアクチュエータ１０１の後端部（サス
ペンションにおける後端側）に位置するように設定され
ている。
【００７３】アクチュエータ１０１は、固定部１０１ａ
及び可動部１０１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１０１ｃ及び１０１ｄを有する。変位発生部１０１ｃ及
び１０１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１０１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１０１ｅ
〜１０１ｇが形成されている。
及び可動部１０１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１０１ｃ及び１０１ｄを有する。変位発生部１０１ｃ及
び１０１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１０１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１０１ｅ
〜１０１ｇが形成されている。
【００７４】このように本実施形態では、磁気ヘッドス
ライダ１０２に設けられた溝１０２ｂ内にアクチュエー
タ１０１が取り付けられているため、磁気ヘッドスライ
ダ１０２全体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペン
ションアセンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装
置の薄型化を図ることが可能となる。また、この溝１０
２ｂにより、アクチュエータ１０１と磁気ヘッドスライ
ダ１０２とを組み立てる際の位置決めが非常に容易とな
る。
ライダ１０２に設けられた溝１０２ｂ内にアクチュエー
タ１０１が取り付けられているため、磁気ヘッドスライ
ダ１０２全体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペン
ションアセンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装
置の薄型化を図ることが可能となる。また、この溝１０
２ｂにより、アクチュエータ１０１と磁気ヘッドスライ
ダ１０２とを組み立てる際の位置決めが非常に容易とな
る。
【００７５】本実施形態における、磁気ヘッドスライダ
１０２の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の
実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略す
る。
１０２の構造を除くその他の構成及び作用効果は図２の
実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略す
る。
【００７６】なお、図７又は図９の実施形態で用いたご
とき形状のアクチュエータをこの図１０の実施形態にお
ける溝付の磁気ヘッドスライダに組み合わせることも本
発明の一実施形態である。
とき形状のアクチュエータをこの図１０の実施形態にお
ける溝付の磁気ヘッドスライダに組み合わせることも本
発明の一実施形態である。
【００７７】図１２は本発明のさらに他の実施形態にお
けるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示
しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気
ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエ
ータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図
である。
けるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示
しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気
ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエ
ータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図
である。
【００７８】図１２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、磁
気ヘッドスライダ１２２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の
面には、底面が平坦な溝１２２ｂが形成されており、こ
の溝１２２ｂ内にアクチュエータ１２１の可動部１２１
ｂが固着されている。可動部１２１ｂの固着位置は、磁
気ヘッドスライダ１２２の磁気ヘッド素子が存在する端
１２２ａとは反対側の端部近傍の溝１２２ｂ内である。
この場合、アクチュエータ１２１の可動部１２１ｂがこ
のアクチュエータ１２１の後端部（サスペンションにお
ける後端側）に位置するように設定されている。
気ヘッドスライダ１２２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の
面には、底面が平坦な溝１２２ｂが形成されており、こ
の溝１２２ｂ内にアクチュエータ１２１の可動部１２１
ｂが固着されている。可動部１２１ｂの固着位置は、磁
気ヘッドスライダ１２２の磁気ヘッド素子が存在する端
１２２ａとは反対側の端部近傍の溝１２２ｂ内である。
この場合、アクチュエータ１２１の可動部１２１ｂがこ
のアクチュエータ１２１の後端部（サスペンションにお
ける後端側）に位置するように設定されている。
【００７９】また、アクチュエータ１２１は、固定部１
２１ａ及び可動部１２１ｂを接続する２本の棒状の変位
発生部１２１ｃ及び１２１ｄを有する。変位発生部１２
１ｃ及び１２１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・
電歪材料層が少なくとも１層設けられており、電極層に
電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となって
いる。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果に
より伸縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１２１ａ
には、上述の電極層に接続されている３つの端子電極１
２１ｅ〜１２１ｇが形成されている。
２１ａ及び可動部１２１ｂを接続する２本の棒状の変位
発生部１２１ｃ及び１２１ｄを有する。変位発生部１２
１ｃ及び１２１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・
電歪材料層が少なくとも１層設けられており、電極層に
電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となって
いる。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果に
より伸縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１２１ａ
には、上述の電極層に接続されている３つの端子電極１
２１ｅ〜１２１ｇが形成されている。
【００８０】本実施形態では、特に、磁気ヘッドスライ
ダ１２２に設けられた溝１２２ｂ内にアクチュエータ１
２１が取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１
２２全体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンショ
ンアセンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の
薄型化を図ることが可能となる。また、この溝１２２ｂ
により、アクチュエータ１２１と磁気ヘッドスライダ１
２２とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。
ダ１２２に設けられた溝１２２ｂ内にアクチュエータ１
２１が取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１
２２全体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンショ
ンアセンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の
薄型化を図ることが可能となる。また、この溝１２２ｂ
により、アクチュエータ１２１と磁気ヘッドスライダ１
２２とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。
【００８１】さらに、アクチュエータ１２１の固定部１
２１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１２２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１２１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。
２１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１２２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１２１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。
【００８２】本実施形態における、アクチュエータ１２
１及び磁気ヘッドスライダ１２２の構造を除くその他の
構成及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様で
あるため、説明を省略する。
１及び磁気ヘッドスライダ１２２の構造を除くその他の
構成及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様で
あるため、説明を省略する。
【００８３】図１３は本発明のまたさらに他の実施形態
におけるアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着し
た状態を示す斜視図である。
におけるアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着し
た状態を示す斜視図である。
【００８４】図１３に示すように、磁気ヘッドスライダ
１３２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の面には、底面が平
坦な溝１３２ｂが形成されており、この溝１３２ｂ内に
アクチュエータ１３１の可動部１３１ｂが固着されてい
る。可動部１３１ｂの固着位置は、磁気ヘッドスライダ
１３２の磁気ヘッド素子が存在する端１３２ａとは反対
側の端部近傍の溝１３２ｂ内である。この場合、アクチ
ュエータ１３１の可動部１３１ｂがこのアクチュエータ
１３１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位
置するように設定されている。
１３２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の面には、底面が平
坦な溝１３２ｂが形成されており、この溝１３２ｂ内に
アクチュエータ１３１の可動部１３１ｂが固着されてい
る。可動部１３１ｂの固着位置は、磁気ヘッドスライダ
１３２の磁気ヘッド素子が存在する端１３２ａとは反対
側の端部近傍の溝１３２ｂ内である。この場合、アクチ
ュエータ１３１の可動部１３１ｂがこのアクチュエータ
１３１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位
置するように設定されている。
【００８５】特に本実施形態では、磁気ヘッドスライダ
１３２の溝１３２ｂ内においてその内壁とアクチュエー
タ１３１との間隙に弾性樹脂１３９が充填されている。
１３２の溝１３２ｂ内においてその内壁とアクチュエー
タ１３１との間隙に弾性樹脂１３９が充填されている。
【００８６】アクチュエータ１３１は、固定部１３１ａ
及び可動部１３１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１３１ｃ及び１３１ｄを有する。変位発生部１３１ｃ及
び１３１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１３１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１３１ｅ
〜１３１ｇが形成されている。
及び可動部１３１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１３１ｃ及び１３１ｄを有する。変位発生部１３１ｃ及
び１３１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１３１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１３１ｅ
〜１３１ｇが形成されている。
【００８７】本実施形態では、磁気ヘッドスライダ１３
２に設けられた溝１３２ｂ内にアクチュエータ１３１が
取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１３２全
体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンションアセ
ンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の薄型化
を図ることが可能となる。また、この溝１３２ｂによ
り、アクチュエータ１３１と磁気ヘッドスライダ１３２
とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。
２に設けられた溝１３２ｂ内にアクチュエータ１３１が
取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１３２全
体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンションアセ
ンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の薄型化
を図ることが可能となる。また、この溝１３２ｂによ
り、アクチュエータ１３１と磁気ヘッドスライダ１３２
とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。
【００８８】特に、内壁とアクチュエータ１３１との間
に弾性樹脂１３９が充填されているので、アクチュエー
タ１３１を補強することができ、アクチュエータ構造の
微細化を図ることができるので、アクチュエータ１３１
自体の変位量を増大させることが可能となる。しかも、
アクチュエータ１３１の耐衝撃性を向上させることがで
き、また、脱粒を多少なりとも防止できる。溝部分に弾
性樹脂を注入することにより、その流出が防止される。
しかも、弾性を有するので、アクチュエータ１３１の動
きを阻害することもない。
に弾性樹脂１３９が充填されているので、アクチュエー
タ１３１を補強することができ、アクチュエータ構造の
微細化を図ることができるので、アクチュエータ１３１
自体の変位量を増大させることが可能となる。しかも、
アクチュエータ１３１の耐衝撃性を向上させることがで
き、また、脱粒を多少なりとも防止できる。溝部分に弾
性樹脂を注入することにより、その流出が防止される。
しかも、弾性を有するので、アクチュエータ１３１の動
きを阻害することもない。
【００８９】本実施形態における、アクチュエータ１３
１、磁気ヘッドスライダ１３２及び弾性樹脂１３９の構
造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。
１、磁気ヘッドスライダ１３２及び弾性樹脂１３９の構
造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００９０】なお、図７又は図９の実施形態で用いたご
とき形状のアクチュエータをこの図１３の実施形態にお
ける弾性樹脂の充填された溝付の磁気ヘッドスライダに
組み合わせることも本発明の一実施形態である。
とき形状のアクチュエータをこの図１３の実施形態にお
ける弾性樹脂の充填された溝付の磁気ヘッドスライダに
組み合わせることも本発明の一実施形態である。
【００９１】図１４は本発明のさらに他の実施形態にお
けるアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状
態を示す斜視図である。
けるアクチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状
態を示す斜視図である。
【００９２】図１４に示すように、磁気ヘッドスライダ
１４２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の面には、底面が平
坦な溝１４２ｂが形成されており、この溝１４２ｂ内に
アクチュエータ１４１の可動部１４１ｂが固着されてい
る。可動部１４１ｂの固着位置は、磁気ヘッドスライダ
１４２の磁気ヘッド素子が存在する端１４２ａとは反対
側の端部近傍の溝１４２ｂ内である。この場合、アクチ
ュエータ１４１の可動部１４１ｂがこのアクチュエータ
１４１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位
置するように設定されている。
１４２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の面には、底面が平
坦な溝１４２ｂが形成されており、この溝１４２ｂ内に
アクチュエータ１４１の可動部１４１ｂが固着されてい
る。可動部１４１ｂの固着位置は、磁気ヘッドスライダ
１４２の磁気ヘッド素子が存在する端１４２ａとは反対
側の端部近傍の溝１４２ｂ内である。この場合、アクチ
ュエータ１４１の可動部１４１ｂがこのアクチュエータ
１４１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位
置するように設定されている。
【００９３】特に本実施形態では、磁気ヘッドスライダ
１４２の溝１４２ｂ内においてその内壁とアクチュエー
タ１４１との間隙に弾性樹脂１４９が充填されている。
１４２の溝１４２ｂ内においてその内壁とアクチュエー
タ１４１との間隙に弾性樹脂１４９が充填されている。
【００９４】アクチュエータ１４１は、固定部１４１ａ
及び可動部１４１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１４１ｃ及び１４１ｄを有する。変位発生部１４１ｃ及
び１４１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１４１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１４１ｅ
〜１４１ｇが形成されている。
及び可動部１４１ｂを接続する２本の棒状の変位発生部
１４１ｃ及び１４１ｄを有する。変位発生部１４１ｃ及
び１４１ｄには、両側に電極層が存在する圧電・電歪材
料層が少なくとも１層設けられており、電極層に電圧を
印加することにより伸縮を発生する構成となっている。
圧電・電歪材料層は、逆圧電効果又は電歪効果により伸
縮する圧電・電歪材料からなる。固定部１４１ａには、
上述の電極層に接続されている３つの端子電極１４１ｅ
〜１４１ｇが形成されている。
【００９５】本実施形態では、磁気ヘッドスライダ１４
２に設けられた溝１４２ｂ内にアクチュエータ１４１が
取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１４２全
体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンションアセ
ンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の薄型化
を図ることが可能となる。また、この溝１４２ｂによ
り、アクチュエータ１４１と磁気ヘッドスライダ１４２
とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。
２に設けられた溝１４２ｂ内にアクチュエータ１４１が
取り付けられているため、磁気ヘッドスライダ１４２全
体の厚みを薄くすることなくヘッドサスペンションアセ
ンブリ全体の高さを低減して磁気ディスク装置の薄型化
を図ることが可能となる。また、この溝１４２ｂによ
り、アクチュエータ１４１と磁気ヘッドスライダ１４２
とを組み立てる際の位置決めが非常に容易となる。
【００９６】しかも、アクチュエータ１４１の固定部１
４１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１４２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１４１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。
４１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１４２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１４１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。
【００９７】特に、内壁とアクチュエータ１４１との間
に弾性樹脂１４９が充填されているので、アクチュエー
タ１４１を補強することができ、アクチュエータ構造の
微細化を図ることができるので、アクチュエータ１４１
自体の変位量を増大させることが可能となる。しかも、
アクチュエータ１４１の耐衝撃性を向上させることがで
き、また、脱粒を多少なりとも防止できる。溝部分に弾
性樹脂を注入することにより、その流出が防止される。
しかも、弾性を有するので、アクチュエータ１４１の動
きを阻害することもない。
に弾性樹脂１４９が充填されているので、アクチュエー
タ１４１を補強することができ、アクチュエータ構造の
微細化を図ることができるので、アクチュエータ１４１
自体の変位量を増大させることが可能となる。しかも、
アクチュエータ１４１の耐衝撃性を向上させることがで
き、また、脱粒を多少なりとも防止できる。溝部分に弾
性樹脂を注入することにより、その流出が防止される。
しかも、弾性を有するので、アクチュエータ１４１の動
きを阻害することもない。
【００９８】本実施形態における、アクチュエータ１４
１、磁気ヘッドスライダ１４２及び弾性樹脂１４９の構
造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。
１、磁気ヘッドスライダ１４２及び弾性樹脂１４９の構
造を除くその他の構成及び作用効果は図２の実施形態の
場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００９９】図１５は本発明のまたさらに他の実施形態
におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造
を示しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び
磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチ
ュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜
視図である。
におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造
を示しており、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び
磁気ヘッドスライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチ
ュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜
視図である。
【０１００】図１５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、磁
気ヘッドスライダ１５２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の
平坦な面１５２ｃ上には、凸部１５２ｄが形成されてい
る。この凸部１５２ｄがアクチュエータ１５１の一部と
係合することにより、アクチュエータ１５１と磁気ヘッ
ドスライダ１５２との位置決めが行われ、アクチュエー
タ１５１の可動部１５１ｂが磁気ヘッドスライダ１５２
に固着されている。可動部１５１ｂの固着位置は、磁気
ヘッドスライダ１５２の磁気ヘッド素子が存在する端１
５２ａとは反対側の端部である。この場合、アクチュエ
ータ１５１の可動部１５１ｂがこのアクチュエータ１５
１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位置す
るように設定されている。
気ヘッドスライダ１５２の浮上面（ＡＢＳ）と反対側の
平坦な面１５２ｃ上には、凸部１５２ｄが形成されてい
る。この凸部１５２ｄがアクチュエータ１５１の一部と
係合することにより、アクチュエータ１５１と磁気ヘッ
ドスライダ１５２との位置決めが行われ、アクチュエー
タ１５１の可動部１５１ｂが磁気ヘッドスライダ１５２
に固着されている。可動部１５１ｂの固着位置は、磁気
ヘッドスライダ１５２の磁気ヘッド素子が存在する端１
５２ａとは反対側の端部である。この場合、アクチュエ
ータ１５１の可動部１５１ｂがこのアクチュエータ１５
１の後端部（サスペンションにおける後端側）に位置す
るように設定されている。
【０１０１】また、アクチュエータ１５１は、サスペン
ションに固着される固定部１５１ａと可動部１５１ｂと
を接続する２本の棒状の変位発生部１５１ｃ及び１５１
ｄを有する。変位発生部１５１ｃ及び１５１ｄには、両
側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少なくとも１
層設けられており、電極層に電圧を印加することにより
伸縮を発生する構成となっている。圧電・電歪材料層
は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪
材料からなる。固定部１５１ａには、上述の電極層に接
続されている３つの端子電極１５１ｅ〜１５１ｇが形成
されている。
ションに固着される固定部１５１ａと可動部１５１ｂと
を接続する２本の棒状の変位発生部１５１ｃ及び１５１
ｄを有する。変位発生部１５１ｃ及び１５１ｄには、両
側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少なくとも１
層設けられており、電極層に電圧を印加することにより
伸縮を発生する構成となっている。圧電・電歪材料層
は、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪
材料からなる。固定部１５１ａには、上述の電極層に接
続されている３つの端子電極１５１ｅ〜１５１ｇが形成
されている。
【０１０２】本実施形態では、特に、磁気ヘッドスライ
ダ１５２上に設けられた凸部１５２ｄにアクチュエータ
１５１が係合しているため、アクチュエータ１５１と磁
気ヘッドスライダ１５２とを組み立てる際の位置決めが
非常に容易となる。
ダ１５２上に設けられた凸部１５２ｄにアクチュエータ
１５１が係合しているため、アクチュエータ１５１と磁
気ヘッドスライダ１５２とを組み立てる際の位置決めが
非常に容易となる。
【０１０３】さらに、アクチュエータ１５１の固定部１
５１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１５２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１５１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。
５１ａが、サスペンションとの固着面積が大きくなるよ
うな形状に形成されている。このため、サスペンション
と磁気ヘッドスライダ１５２との間にアクチュエータを
設けるという構造的、形状的及び寸法的な制約があるに
もかかわらず、サスペンションとアクチュエータ１５１
との間で十分な固着強度を得ることが可能となる。
【０１０４】本実施形態における、アクチュエータ１５
１及び磁気ヘッドスライダ１５２の構造を除くその他の
構成及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様で
あるため、説明を省略する。
１及び磁気ヘッドスライダ１５２の構造を除くその他の
構成及び作用効果は図２の実施形態の場合と全く同様で
あるため、説明を省略する。
【０１０５】なお、図７又は図９の実施形態で用いたご
とき形状のアクチュエータをこの図１５の実施形態にお
ける凸部付の磁気ヘッドスライダに組み合わせることも
本発明の一実施形態である。
とき形状のアクチュエータをこの図１５の実施形態にお
ける凸部付の磁気ヘッドスライダに組み合わせることも
本発明の一実施形態である。
【０１０６】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【０１０７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、サスペンションの荷重点がアクチュエータの固定部
である第１の部分に位置している。従って、アクチュエ
ータに衝撃が印加された際の耐性が高くなり、しかも、
アクチュエータに荷重が印加された際にもアクチュエー
タとサスペンションとの間に摩擦がほとんど発生せず、
アクチュエータの動きが阻害されることはない。
ば、サスペンションの荷重点がアクチュエータの固定部
である第１の部分に位置している。従って、アクチュエ
ータに衝撃が印加された際の耐性が高くなり、しかも、
アクチュエータに荷重が印加された際にもアクチュエー
タとサスペンションとの間に摩擦がほとんど発生せず、
アクチュエータの動きが阻害されることはない。
【図１】本出願人が既に提案したヘッドサスペンション
アセンブリにおけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスラ
イダ部分の構造を示す側面図である。
アセンブリにおけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスラ
イダ部分の構造を示す側面図である。
【図２】本発明の一実施形態として、ヘッドサスペンシ
ョンアセンブリの全体をスライダ側から見た平面図であ
る。
ョンアセンブリの全体をスライダ側から見た平面図であ
る。
【図３】図２の実施形態におけるアクチュエータ及び磁
気ヘッドスライダのフレクシャへの取り付け構造を示す
側面図である。
気ヘッドスライダのフレクシャへの取り付け構造を示す
側面図である。
【図４】図２の実施形態におけるアクチュエータ及び磁
気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこ
れらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視
図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダ
に固着した状態を示す斜視図である。
気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこ
れらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視
図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダ
に固着した状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の他の実施形態におけるアクチュエータ
及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同図
（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダ
の分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッ
ドスライダに固着した状態を示す斜視図である。
及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同図
（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダ
の分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッ
ドスライダに固着した状態を示す斜視図である。
【図６】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチュ
エータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同
図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライ
ダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘ
ッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。
エータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同
図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライ
ダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘ
ッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。
【図７】本発明のまたさらに他の実施形態におけるサス
ペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの
取り付け構造を示しており、同図（Ａ）はこれらサスペ
ンション、アクチュエータ及び磁気ヘッドスライダを互
いに固着した状態の側面図、同図（Ｂ）はその底面図で
ある。
ペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの
取り付け構造を示しており、同図（Ａ）はこれらサスペ
ンション、アクチュエータ及び磁気ヘッドスライダを互
いに固着した状態の側面図、同図（Ｂ）はその底面図で
ある。
【図８】図７の実施形態におけるアクチュエータ及び磁
気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこ
れらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視
図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダ
に固着した状態を示す斜視図である。
気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）はこ
れらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解斜視
図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスライダ
に固着した状態を示す斜視図である。
【図９】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチュ
エータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同
図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライ
ダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘ
ッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。
エータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同
図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライ
ダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘ
ッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。
【図１０】本発明のまたさらに他の実施形態におけるア
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャへの
取り付け構造を示す側面図である。
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレクシャへの
取り付け構造を示す側面図である。
【図１１】図１０の実施形態におけるアクチュエータ及
び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）
はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解
斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスラ
イダに固着した状態を示す斜視図である。
び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、同図（Ａ）
はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの分解
斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気ヘッドスラ
イダに固着した状態を示す斜視図である。
【図１２】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチ
ュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、
同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスラ
イダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気
ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。
ュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示しており、
同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッドスラ
イダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを磁気
ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図である。
【図１３】本発明のまたさらに他の実施形態におけるア
クチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示
す斜視図である。
クチュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示
す斜視図である。
【図１４】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチ
ュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜
視図である。
ュエータを磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜
視図である。
【図１５】本発明のまたさらに他の実施形態におけるア
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示してお
り、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを
磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図であ
る。
クチュエータ及び磁気ヘッドスライダの構造を示してお
り、同図（Ａ）はこれらアクチュエータ及び磁気ヘッド
スライダの分解斜視図、同図（Ｂ）はアクチュエータを
磁気ヘッドスライダに固着した状態を示す斜視図であ
る。
２０、７０、１００ サスペンション
２１、５１、６１、７１、９１、１０１、１２１、１３
１、１４１、１５１アクチュエータ ２２ａ、５１ａ、６１ａ、７１ａ、９１ａ、１０１ａ、
１２１ａ、１３１ａ、１４１ａ、１５１ａ 固定部 ２１２ｂ、５１ｂ、６１ｂ、７１ｂ、９１ｂ、１０１
ｂ、１２１ｂ、１３１ｂ、１４１ｂ、１５１ｂ 可動部 ２１ｃ、２１ｄ、５１ｃ、５１ｄ、６１ｃ、６１ｄ、７
１ｃ、７１ｄ、９１ｃ、９１ｄ、１０１ｃ、１０１ｄ、
１２１ｃ、１２１ｄ、１３１ｃ、１３１ｄ、１４１ｃ、
１４１ｄ、１５１ｃ、１５１ｄ 変位発生部 ２１ｅ、２１ｆ、２１ｇ、５１ｅ、５１ｆ、５１ｇ、６
１ｅ、６１ｆ、６１ｇ、７１ｅ、７１ｆ、７１ｇ、９１
ｅ、９１ｆ、９１ｇ、１０１ｅ、１０１ｆ、１０１ｇ、
１２１ｅ、１２１ｆ、１２１ｇ、１３１ｅ、１３１ｆ、
１３１ｇ、１４１ｅ、１４１ｆ、１４１ｇ、１５１ｅ、
１５１ｆ、１５１ｇ 端子電極 ２２、５２、６２、７２、９２、１０２、１２２、１３
２、１４２、１５２磁気ヘッドスライダ ２２ａ、１０２ａ、１２２ａ、１３２ａ、１４２ａ、１
５２ａ 端 ２３、７３、１０１ フレクシャ ２３ａ、７３ａ、１０３ａ 先端部 ２４、７４、１０４ ロードビーム ２５ ベースプレート ２６、７６、１０６ 突起 ２７ 配線部材 ２７ａ、７７ａ 第１の配線部材 ２７ｂ、７７ｂ 第２の配線部材 ２８、２９、７８ 接続パッド ３０ 取り付け部 ３１、８１、１１１ 金ボール ３２、３３、８２、８３、１１２、１１３ 接着剤 ７３ｃ 舌部 １０２ｂ、１２２ｂ、１３２ｂ、１４２ｂ 溝 １３９、１４９ 弾性樹脂 １５２ｃ 上面 １５２ｄ 凸部
１、１４１、１５１アクチュエータ ２２ａ、５１ａ、６１ａ、７１ａ、９１ａ、１０１ａ、
１２１ａ、１３１ａ、１４１ａ、１５１ａ 固定部 ２１２ｂ、５１ｂ、６１ｂ、７１ｂ、９１ｂ、１０１
ｂ、１２１ｂ、１３１ｂ、１４１ｂ、１５１ｂ 可動部 ２１ｃ、２１ｄ、５１ｃ、５１ｄ、６１ｃ、６１ｄ、７
１ｃ、７１ｄ、９１ｃ、９１ｄ、１０１ｃ、１０１ｄ、
１２１ｃ、１２１ｄ、１３１ｃ、１３１ｄ、１４１ｃ、
１４１ｄ、１５１ｃ、１５１ｄ 変位発生部 ２１ｅ、２１ｆ、２１ｇ、５１ｅ、５１ｆ、５１ｇ、６
１ｅ、６１ｆ、６１ｇ、７１ｅ、７１ｆ、７１ｇ、９１
ｅ、９１ｆ、９１ｇ、１０１ｅ、１０１ｆ、１０１ｇ、
１２１ｅ、１２１ｆ、１２１ｇ、１３１ｅ、１３１ｆ、
１３１ｇ、１４１ｅ、１４１ｆ、１４１ｇ、１５１ｅ、
１５１ｆ、１５１ｇ 端子電極 ２２、５２、６２、７２、９２、１０２、１２２、１３
２、１４２、１５２磁気ヘッドスライダ ２２ａ、１０２ａ、１２２ａ、１３２ａ、１４２ａ、１
５２ａ 端 ２３、７３、１０１ フレクシャ ２３ａ、７３ａ、１０３ａ 先端部 ２４、７４、１０４ ロードビーム ２５ ベースプレート ２６、７６、１０６ 突起 ２７ 配線部材 ２７ａ、７７ａ 第１の配線部材 ２７ｂ、７７ｂ 第２の配線部材 ２８、２９、７８ 接続パッド ３０ 取り付け部 ３１、８１、１１１ 金ボール ３２、３３、８２、８３、１１２、１１３ 接着剤 ７３ｃ 舌部 １０２ｂ、１２２ｂ、１３２ｂ、１４２ｂ 溝 １３９、１４９ 弾性樹脂 １５２ｃ 上面 １５２ｄ 凸部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 本田 隆
東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティ
ーディーケイ株式会社内
(56)参考文献 特開 平６−259905（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−309822（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−180623（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−97174（ＪＰ，Ａ)
国際公開98／019304（ＷＯ，Ａ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G11B 21/16 - 21/26
G11B 5/56 - 5/60
G11B 21/10
Claims (14)
- 【請求項１】 第１の部分及び第２の部分を有しており
圧電現象によって位置決めを行うアクチュエータと、該
アクチュエータの前記第１の部分が固着されているサス
ペンションと、前記アクチュエータの前記第２の部分に
固着されており少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を
有する磁気ヘッドスライダとを備えており、前記アクチ
ュエータの前記第１の部分及び前記第２の部分が該アク
チュエータの前記サスペンションにおける先端側及び基
端側の位置にそれぞれ存在しており、前記アクチュエー
タは、その面内において、前記第２の部分が前記第１の
部分に対して揺動することによって前記少なくとも１つ
の薄膜磁気ヘッド素子の位置決めを行うように構成され
ており、前記サスペンションの、荷重点を構成する突起
が前記アクチュエータの前記第１の部分に位置している
ことを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。 - 【請求項２】 第１の部分及び第２の部分を有しており
圧電現象によって位置決めを行うアクチュエータと、該
アクチュエータの前記第１の部分が固着されているサス
ペンションと、前記アクチュエータの前記第２の部分に
固着されており少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を
有する磁気ヘッドスライダとを備えており、前記アクチ
ュエータの前記第１の部分が該アクチュエータの前記サ
スペンションにおける先端側の位置に、前記第２の部分
が該アクチュエータの中間部の位置にそれぞれ存在して
おり、前記アクチュエータは、その面内において、前記
第２の部分が前記第１の部分に対して揺動することによ
って前記少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子の位置決
めを行うように構成されており、前記サスペンション
の、荷重点を構成する突起が前記アクチュエータの前記
第１の部分に位置していることを特徴とするヘッドサス
ペンションアセンブリ。 - 【請求項３】 前記サスペンションの前記荷重点が、前
記磁気ヘッドスライダの中心点にほぼ一致していること
を特徴とする請求項１又は２に記載のヘッドサスペンシ
ョンアセンブリ。 - 【請求項４】 前記磁気ヘッドスライダが、前記薄膜磁
気ヘッド素子が存在する端とは反対側の端部において前
記アクチュエータの前記第２の部分に固着されているこ
とを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の
ヘッドサスペンションアセンブリ。 - 【請求項５】 前記磁気ヘッドスライダの前記薄膜磁気
ヘッド素子が、前記アクチュエータの前記第１の部分よ
り前記サスペンションにおける先端側である前方に位置
していることを特徴とする請求項４に記載のヘッドサス
ペンションアセンブリ。 - 【請求項６】 前記磁気ヘッドスライダの浮上面とは反
対側の面が平坦な面に形成されており、該平坦な面が前
記アクチュエータの前記第２の部分に固着されているこ
とを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の
ヘッドサスペンションアセンブリ。 - 【請求項７】 前記磁気ヘッドスライダの浮上面とは反
対側の面に平坦な底面を有する凹部が形成されており、
該凹部の底面が前記アクチュエータの前記第２の部分に
固着されていることを特徴とする請求項１から５のいず
れか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリ。 - 【請求項８】 前記凹部の内壁と前記アクチュエータと
の間が空隙であることを特徴とする請求項７に記載のヘ
ッドサスペンションアセンブリ。 - 【請求項９】 前記凹部の内壁と前記アクチュエータと
の間に弾性樹脂が充填されていることを特徴とする請求
項７に記載のヘッドサスペンションアセンブリ。 - 【請求項１０】 前記凹部が溝であることを特徴とする
請求項８又は９に記載のヘッドサスペンションアセンブ
リ。 - 【請求項１１】 前記磁気ヘッドスライダの浮上面とは
反対側の面に、前記アクチュエータに係合する位置決め
用凸部が形成されていることを特徴とする請求項１から
５のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセン
ブリ。 - 【請求項１２】 前記アクチュエータの前記第１の部分
の固着面積と前記第２の部分の固着面積とがほぼ等しい
ことを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記
載のヘッドサスペンションアセンブリ。 - 【請求項１３】 前記アクチュエータの前記第１の部分
の固着面積が前記第２の部分の固着面積より大きいこと
を特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の
ヘッドサスペンションアセンブリ。 - 【請求項１４】 前記アクチュエータの前記第２の部分
の固着面積が前記第１の部分の固着面積より大きいこと
を特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の
ヘッドサスペンションアセンブリ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35017399A JP3453703B2 (ja) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | ヘッドサスペンションアセンブリ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35017399A JP3453703B2 (ja) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | ヘッドサスペンションアセンブリ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001167545A JP2001167545A (ja) | 2001-06-22 |
| JP3453703B2 true JP3453703B2 (ja) | 2003-10-06 |
Family
ID=18408720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35017399A Expired - Fee Related JP3453703B2 (ja) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | ヘッドサスペンションアセンブリ |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3453703B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
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-
1999
- 1999-12-09 JP JP35017399A patent/JP3453703B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2001167545A (ja) | 2001-06-22 |
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