JP3420643B2 - 光走査装置 - Google Patents

光走査装置

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JP3420643B2
JP3420643B2 JP28189994A JP28189994A JP3420643B2 JP 3420643 B2 JP3420643 B2 JP 3420643B2 JP 28189994 A JP28189994 A JP 28189994A JP 28189994 A JP28189994 A JP 28189994A JP 3420643 B2 JP3420643 B2 JP 3420643B2
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/105Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ビームにより対象物
を走査し、情報の記録または読み取りを行う光走査装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、記録媒体上をレーザビームで
走査し、画像等の情報の記録や読み取りを行うようにし
た光走査装置が広範に使用されている。例えば、図6に
示すレーザプリンタの場合、レーザ発振器2から出力さ
れたレーザビームLは、変調器4によって記録する情報
に応じて強度変調された後、光偏向器6により主走査方
向に偏向される。次いで、偏向された前記レーザビーム
Lは、集光レンズ8および反射ミラー10を介し、ドラ
ム12によって副走査搬送される記録媒体14に導か
れ、2次元情報が記録される。
【0003】ところで、前記のように構成されるレーザ
プリンタにおいて、例えば、光偏向器6の回動軸の軸線
aが所望の方向に対して傾斜している場合、図7Aおよ
び図7Bに示すように、記録媒体14上の走査線Sが主
走査方向(X方向)に対して傾斜し、これにより、記録
媒体14上に形成される画像等が歪んでしまう不具合が
生じる。また、集光レンズ8の光軸が偏芯している場
合、図8Aおよび図8Bに示すように、記録媒体14上
の走査線Sが主走査方向(X方向)および副走査方向
(Z方向)に直交するY方向に傾斜し、これにより、記
録媒体14上に形成される画像の両側または片側の端部
がぼける(以下、像面の傾きという)現象が生じる不具
合がある。
【0004】そこで、このような不具合を、例えば、図
6に示す反射ミラー10の向きを調整することで解消し
ようとすると、走査線SがY方向およびZ方向に共に移
動してしまうため、前記反射ミラー10のみによる調整
は不可能である。一方、走査線Sの傾斜の原因となる光
偏向器6および集光レンズ8を直接調整することも考え
られるが、この場合、夫々を同時且つ試行錯誤的に調整
しなければならず、その調整は極めて困難であった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の不具
合を解消するものであり、対象物上に形成される光ビー
ムによる走査線の傾斜および像面の傾きを容易且つ正確
に補正することのできる光走査装置を提供することを目
的とする。
【0006】また、本発明は、対象物上に形成される光
ビームによる走査線の傾斜、前記走査線の走査方向に対
する走査位置および像面の傾きを容易且つ正確に補正す
ることのできる光走査装置を提供することを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、光ビームにより対象物を走査し、情報
の記録または読み取りを行う光走査装置において、前記
光ビームを出力する光ビーム発生手段と、前記光ビーム
を前記対象物の走査方向に偏向する光偏向手段と、前記
光偏向手段により偏向された前記光ビームを集光する集
光レンズと、前記集光レンズと前記対象物との間に配設
され、前記光ビームを所定方向に反射する第1可動反射
ミラーおよび第2可動反射ミラーと、前記第1可動反射
ミラーに対する前記光ビームの入射光線と前記第1可動
反射ミラーの法線とで形成される入射面に対して直交す
る軸を除くとともに、前記法線を除いて設定した回動軸
を中心として前記第1可動反射ミラーを所定量回動し、
前記第1可動反射ミラーによる前記光ビームの反射方向
を調整する第1調整手段と、前記第2可動反射ミラー
対する前記光ビームの入射光線と前記第2可動反射ミラ
ーの法線とで形成される入射面に対して直交する軸を除
くとともに、前記法線を除いて設定した回動軸を中心と
して前記第2可動反射ミラーを所定量回動し、前記第2
可動反射ミラーによる前記光ビームの反射方向を調整す
る第2調整手段と、を備え、前記第1調整手段および前
記第2調整手段により前記第1可動反射ミラーおよび前
記第2可動反射ミラーを回動し、前記対象物上に形成さ
れる前記光ビームによる走査線の傾斜および像面の傾き
を補正することを特徴とする。
【0008】また、本発明は、光ビームにより対象物を
走査し、情報の記録または読み取りを行う光走査装置に
おいて、前記光ビームを出力する光ビーム発生手段と、
前記光ビームを前記対象物の走査方向に偏向する光偏向
手段と、前記光偏向手段により偏向された前記光ビーム
を集光する集光レンズと、前記集光レンズと前記対象物
との間に配設され、前記光ビームを所定方向に反射する
第1可動反射ミラー、第2可動反射ミラーおよび第3可
動反射ミラーと、前記第1可動反射ミラーに対する前記
光ビームの入射光線と前記第1可動反射ミラーの法線と
で形成される入射面に対して直交する軸を除くととも
に、前記法線を除いて設定した回動軸を中心として前記
第1可動反射ミラーを所定量回動し、前記第1可動反射
ミラーによる前記光ビームの反射方向を調整する第1調
整手段と、前記第2可動反射ミラーに対する前記光ビー
ムの入射光線と前記第2可動反射ミラーの法線とで形成
される入射面に対して直交する軸を除くとともに、前記
法線を除いて設定した回動軸を中心として前記第2可動
反射ミラーを所定量回動し、前記第2可動反射ミラーに
よる前記光ビームの反射方向を調整する第2調整手段
と、前記第3可動反射ミラーに対する前記光ビームの入
射光線と前記第3可動反射ミラーの法線とで形成される
入射面に対して直交する軸を除くとともに、前記法線を
除いて設定した回動軸を中心として前記第3可動反射ミ
ラーを所定量回動し、前記第3可動反射ミラーによる前
記光ビームの反射方向を調整する第3調整手段と、を備
え、前記第1調整手段、前記第2調整手段および前記第
3調整手段により前記第1可動反射ミラー、前記第2可
動反射ミラーおよび前記第3可動反射ミラーを回動し、
前記対象物上に形成される前記光ビームによる走査線の
傾斜、前記走査線の走査方向に対する走査位置および像
面の傾きを補正することを特徴とする。
【0009】
【作用】本発明の光走査装置では、第1調整手段および
第2調整手段を用いて第1可動反射ミラーおよび第2可
動反射ミラーを独立に回動することで、光ビームの反射
方向および対象物に至る光路長を調整し、前記対象物上
での走査線の傾斜および像面の傾きを補正する。
【0010】また、本発明では、第1調整手段、第2調
整手段および第3調整手段を用いて第1可動反射ミラ
ー、第2可動反射ミラーおよび第3可動反射ミラーを独
立に回動することで、光ビームの反射方向および対象物
に至る光路長を調整し、前記対象物上での走査線の傾
斜、前記走査線の走査方向に対する走査位置および像面
の傾きを補正する。
【0011】
【実施例】図1は、本発明の光走査装置が適用される実
施例である光走査記録装置20の構成を示す。
【0012】この光走査記録装置20は、ドラム22に
沿って矢印Z方向に副走査搬送されるフイルムFに対し
て記録用レーザビームL1を用いて画像を記録する記録
用光学系24と、前記記録用光学系24による記録時に
おける同期信号を同期用レーザビームL2を用いて生成
する同期用光学系26とから基本的に構成される。
【0013】記録用光学系24は、記録用レーザビーム
L1を出力するHe−Neレーザ等からなるレーザ発振
器28(光ビーム発生手段)と、反射ミラー30を介し
て導かれた記録用レーザビームL1を記録する情報に応
じて強度変調する音響光学変調器(AOM)32と、反
射ミラー34および36を介して導かれた前記記録用レ
ーザビームL1を偏向するレゾナントスキャナ等の光偏
向器38(光偏向手段)と、前記光偏向器38により偏
向された記録用レーザビームL1のフイルムF上での走
査速度を調整するfθレンズ等からなる集光レンズ40
と、前記集光レンズ40を透過した記録用レーザビーム
L1を反射する可動反射ミラー42(第1可動反射ミラ
ー)と、前記可動反射ミラー42により反射された記録
用レーザビームL1を反射してフイルムFに導く可動反
射ミラー44(第2可動反射ミラー)とを備える。な
お、可動反射ミラー42および44は、主走査方向(矢
印X方向)に沿って長尺に構成される。
【0014】同期用光学系26は、同期用レーザビーム
L2を出力するレーザダイオード46と、同期用レーザ
ビームL2をコリメートするコリメータレンズ48と、
主走査方向(矢印X方向)に沿って複数のスリットが形
成され、反射ミラー36、光偏向器38、集光レンズ4
0、可動反射ミラー42および反射ミラー50を介して
同期用レーザビームL2が導かれるグリッド52と、前
記グリッド52の背面部に沿って配設され、前記グリッ
ド52のスリットを介して導入される同期用レーザビー
ムL2を集光する集光バー54と、前記集光バー54の
端部に配設され、前記同期用レーザビームL2を検出す
る光検出器56とを備える。なお、反射ミラー50、グ
リッド52および集光バー54は、主走査方向(矢印X
方向)に沿って長尺に構成される。
【0015】ここで、可動反射ミラー42および44
は、図2に示すように、入射光である記録用レーザビー
ムL1と走査方向の両者に対して略直交する軸線b1お
よびb2を中心として前記可動反射ミラー42および4
4を回動させる回動機構58および60(第1調整手
段、第2調整手段)により支持されている。前記回動機
構58(60)は、図3に示すように、光学定盤62上
に固定される固定台座64と、回転中心となるピン部材
66を介して前記固定台座64上に支承される回転台座
68と、前記回転台座68上にミラーブラケット70
a、70bを介して支持される可動反射ミラー42(4
4)とを有する。前記回転台座68は、前記固定台座6
4に装着されたブラケット72a、72bに螺入される
調整ねじ74a、74bにより固定台座64に対する回
動位置が調整される。
【0016】本実施例の光走査記録装置20は、基本的
には以上のように構成されるものであり、次にその動作
並びにそれを用いた調整方法について説明する。
【0017】先ず、光走査記録装置20による記録動作
について説明する。
【0018】同期用光学系26において、レーザダイオ
ード46より出力された同期用レーザビームL2は、コ
リメータレンズ48によって平行光とされた後、反射ミ
ラー36を介して光偏向器38に入射し、主走査方向
(矢印X方向)に偏向される。偏向された前記同期用レ
ーザビームL2は、集光レンズ40によって走査速度が
調整された後、可動反射ミラー42および反射ミラー5
0を介してグリッド52に導かれる。前記グリッド52
には、主走査方向に沿って複数のスリットが形成されて
いる。前記スリットを通過した同期用レーザビームL2
は、パルス状の光信号に変換され、集光バー54を介し
て光検出器56に導かれ、電気信号に変換される。この
電気信号は、所定の周波数に逓倍され、波形整形される
ことで所望の同期信号が生成される。
【0019】一方、記録用光学系24において、レーザ
発振器28より出力された記録用レーザビームL1は、
反射ミラー30を介してAOM32に導かれ、記録する
情報に応じて強度変調された後、反射ミラー34および
36を介して光偏向器38に入射し、主走査方向(矢印
X方向)に偏向される。偏向された前記記録用レーザビ
ームL1は、集光レンズ40によって走査速度が調整さ
れた後、可動反射ミラー42および44を介してフイル
ムFに導かれ、前記フイルムF上を矢印X方向に主走査
する。この場合、前記フイルムFは、ドラム22によっ
て矢印Z方向に副走査搬送されており、これにより2次
元的な情報の記録がなされる。
【0020】ところで、前記のようにしてフイルムF上
に形成される記録用レーザビームL1の走査線Sは、光
偏向器38の軸線の傾斜や集光レンズ40の光軸の偏芯
により図7A、7Bおよび図8A、8Bに示すように、
傾斜して形成されることで、画像の歪みや像面の傾きを
惹起する。
【0021】そこで、次に、前記走査線Sの傾斜を補正
する方法について説明する。
【0022】可動反射ミラー42、44は、図2および
図3に示す回動機構58、60によって、記録用レーザ
ビームL1の入射方向と走査方向の両者に対して略直交
する軸線b1、b2を中心として回動するように構成さ
れている。ここで、可動反射ミラー42または44のい
ずれか一方を回動させると、フイルムF上の走査線S
は、矢印Y方向およびZ方向の両方に傾斜する。この場
合、走査線Sの矢印Z方向に対する傾きを、図7Bに示
すように、走査線Sの両端位置の偏差Δhで表し、ま
た、走査線Sの矢印Y方向に対する傾きを、図8Aに示
すように、走査線Sの両端位置の偏差Δdで表すと、可
動反射ミラー42、44の両方を回動角Δθ 1 、Δθ2
だけ回動させた場合の偏差Δh、Δdは、 Δh=a11・Δθ1 +a12・Δθ2 ……(1) Δd=a21・Δθ1 +a22・Δθ2 ……(2) として求めることができる。従って、フイルムF上での
走査線Sが矢印Z方向に偏差Δhだけ傾斜し、また、矢
印Y方向に偏差Δdだけ傾斜している場合、(3)式に
示すように、補正行列Mを用いて各可動反射ミラー4
2、44を回動角Δθ1 、Δθ2 だけ回動させることに
より、前記偏差ΔhおよびΔdを0とすることができ
る。
【0023】
【数1】
【0024】なお、(3)式の補正行列Mは、
【0025】
【数2】
【0026】であり、シミュレーション等により
(1)、(2)式の係数a11、a12、a21、a22を求め
ることで得ることができる。
【0027】ここで、各可動反射ミラー42、44は、
図3に示す調整ねじ74a、74bを用いて、軸線b
1、b2の回りに回動させることができる。この場合、
前記軸線b1、b2を各可動反射ミラー42、44に入
射する記録用レーザビームL1と走査方向の両者に対し
て略直交する方向に設定することにより、前記各可動反
射ミラー42、44の反射有効領域を最小限とし、これ
によって装置全体の小型化に寄与することができる。
【0028】すなわち、例えば、図4Aに示すように、
可動反射ミラー42の面内に設定した軸線b1* を中心
として前記可動反射ミラー42を回動させる場合、前記
可動反射ミラー42が点線で示す位置にあるときは、前
記可動ミラー42の両端部での前記記録用レーザビーム
L1の入射範囲a1、a2が前記可動反射ミラー42の
幅方向に対して同等の位置となるが、前記可動反射ミラ
ー42が実線で示す位置にあるときは、前記可動ミラー
42の両端部での前記記録用レーザビームL1の入射範
囲a1、a2が、一方が可動反射ミラー42の上方側と
なり、他方が下方側となるため、前記可動反射ミラー4
2の幅l* を予め十分に確保しておかなければならな
い。これに対して、例えば、図4Bに示すように、入射
する記録用レーザビームL1と走査方向の両者に対して
略直交する方向に設定した軸線b1を中心として可動反
射ミラー42を回動させる場合、前記可動反射ミラー4
2が点線で示す位置にあるときと、実線で示す位置にあ
るときとで、光偏向器38による偏向走査によって前記
可動反射ミラー42の両端部での前記記録用レーザビー
ムL1の入射範囲a1、a2に変わりはない。この結
果、前記可動反射ミラー42の回動中心を軸線b1とす
ることにより、幅lを図4Bの場合の幅l* よりも小さ
い最小限の幅に設定することができる。
【0029】一方、可動反射ミラー42、44の回動中
心の軸線b1、b2は、必ずしも記録用レーザビームL
1の入射方向に対して直交する方向に設定する必要はな
く、前記可動反射ミラー42、44の法線方向を除く方
向であればどのような方向であっても補正は可能であ
る。この場合、例えば、前記軸線b1、b2を可動反射
ミラー42、44の法線方向に傾斜した方向に設定する
と、当該可動反射ミラー42、44の大きな回動量に対
して走査線Sの補正量を小さくすることができ、これに
よって走査線Sの微調整が可能となる。また、逆に、前
記軸線b1、b2を可動反射ミラー42、44の法線と
直交する方向に設定すると、前記走査線Sの補正量を大
きくすることができる。
【0030】なお、上述した実施例では、2枚の可動反
射ミラー42、44を回動させることで走査線Sの傾斜
を補正する場合について説明したが、図5に示すよう
に、可動反射ミラー42(第1可動反射ミラー)および
可動反射ミラー44(第2可動反射ミラー)により反射
された記録用レーザビームL1を、さらにもう1枚の可
動反射ミラー76(第3可動反射ミラー)を介してフイ
ルムFに導くように構成し、且つ、前記各可動反射ミラ
ー42、44および76を夫々回動機構58、60およ
び78を用いて入射する記録用レーザビームL1と走査
方向の両者に対して略直交する軸線b1、b2、b3の
回りに回動可能とすることにより、図1における矢印Z
方向およびY方向に対する前記走査線Sの傾斜を補正す
ることができるとともに、矢印X方向に対する走査線S
の位置を補正することができる。この場合、矢印X方向
に対する走査線Sの位置の偏差をΔXとし、可動反射ミ
ラー76の回動角をΔθ3 とすると、可動反射ミラー4
2、44、76を回動角Δθ 1 、Δθ2 、Δθ3 だけ回
動させた場合の偏差Δh、Δd、ΔXは、 Δh=a11・Δθ1 +a12・Δθ2 +a13・Δθ3 ……(5) Δd=a21・Δθ1 +a22・Δθ2 +a23・Δθ3 ……(6) ΔX=a31・Δθ1 +a32・Δθ2 +a33・Δθ3 ……(7) として求めることができる。従って、各可動反射ミラー
42、44、76を次の(8)式に従って回動させるこ
とにより、走査線Sの傾斜および主走査方向(矢印X方
向)に対する位置を補正することができる。
【0031】
【数3】
【0032】なお、(8)式において、補正行列Nは、
次の(9)式により設定される。
【0033】
【数4】
【0034】
【発明の効果】以上のように、本発明の光走査装置で
は、光ビームの光路中に挿入された2枚の可動反射ミラ
ーを所定方向に独立に回動させることにより、対象物上
に形成される光ビームによる走査線の傾斜および像面の
傾きを容易且つ正確に補正することができ、これによっ
て高精度な画像等の記録あるいは読み取りが可能とな
る。
【0035】また、本発明の光走査装置では、光ビーム
の光路中に挿入された3枚の可動反射ミラーを所定方向
に独立に回動させることにより、対象物上に形成される
光ビームによる走査線の傾斜、前記走査線の走査方向に
対する走査位置および像面の傾きを容易且つ正確に補正
することができ、さらに高精度な画像等の記録あるいは
読み取りが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光走査装置が適用される光走査記
録装置の構成図である。
【図2】図1に示す光走査記録装置における要部の構成
説明図である。
【図3】図1に示す光走査記録装置における可動反射ミ
ラーの回動機構の分解構成図である。
【図4】図4Aは、可動反射ミラーの面内に設定した軸
を中心として可動反射ミラーを回動させる場合の説明図
であり、図4Bは、光ビームの入射方向と走査方向の両
者に対して略直交する方向に設定した軸を中心として可
動反射ミラーを回動させる場合の説明図である。
【図5】図1に示す光走査記録装置における要部の他の
構成の説明図である。
【図6】従来技術に係る光走査記録装置の構成図であ
る。
【図7】図6に示すドラム上での走査線の副走査方向に
対する傾斜を示す説明図であり、図7AはX−Y平面
図、図7BはX−Z平面図である。
【図8】図6に示すドラム上での走査線の像面の傾きの
説明図であり、図8AはX−Y平面図、図8BはX−Z
平面図である。
【符号の説明】
20…光走査記録装置 22…ドラム 24…記録用光学系 26…同期用光学
系 28…レーザ発振器 38…光偏向器 40…集光レンズ 42、44、76
…可動反射ミラー 46…レーザダイオード 58、60、78
…回動機構

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光ビームにより対象物を走査し、情報の記
    録または読み取りを行う光走査装置において、 前記光ビームを出力する光ビーム発生手段と、 前記光ビームを前記対象物の走査方向に偏向する光偏向
    手段と、 前記光偏向手段により偏向された前記光ビームを集光す
    る集光レンズと、 前記集光レンズと前記対象物との間に配設され、前記光
    ビームを所定方向に反射する第1可動反射ミラーおよび
    第2可動反射ミラーと、 前記第1可動反射ミラーに対する前記光ビームの入射光
    線と前記第1可動反射ミラーの法線とで形成される入射
    面に対して直交する軸を除くとともに、前記法線を除い
    て設定した回動軸を中心として前記第1可動反射ミラー
    所定量回動し、前記第1可動反射ミラーによる前記光
    ビームの反射方向を調整する第1調整手段と、 前記第2可動反射ミラーに対する前記光ビームの入射光
    線と前記第2可動反射ミラーの法線とで形成される入射
    面に対して直交する軸を除くとともに、前記法線を除い
    て設定した回動軸を中心として前記第2可動反射ミラー
    所定量回動し、前記第2可動反射ミラーによる前記光
    ビームの反射方向を調整する第2調整手段と、 を備え、前記第1調整手段および前記第2調整手段によ
    り前記第1可動反射ミラーおよび前記第2可動反射ミラ
    ーを回動し、前記対象物上に形成される前記光ビームに
    よる走査線の傾斜および像面の傾きを補正することを特
    徴とする光走査装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の装置において、 第1調整手段および第2調整手段は、第1可動反射ミラ
    ーおよび第2可動反射ミラーを光ビームの夫々の入射方
    向と走査方向の両者に対して略直交する回動軸を中心
    として回動させる構成からなることを特徴とする光走査
    装置。
  3. 【請求項3】光ビームにより対象物を走査し、情報の記
    録または読み取りを行う光走査装置において、 前記光ビームを出力する光ビーム発生手段と、 前記光ビームを前記対象物の走査方向に偏向する光偏向
    手段と、 前記光偏向手段により偏向された前記光ビームを集光す
    る集光レンズと、 前記集光レンズと前記対象物との間に配設され、前記光
    ビームを所定方向に反射する第1可動反射ミラー、第2
    可動反射ミラーおよび第3可動反射ミラーと、 前記第1可動反射ミラーに対する前記光ビームの入射光
    線と前記第1可動反射ミラーの法線とで形成される入射
    面に対して直交する軸を除くとともに、前記法線を除い
    て設定した回動軸を中心として前記第1可動反射ミラー
    所定量回動し、前記第1可動反射ミラーによる前記光
    ビームの反射方向を調整する第1調整手段と、 前記第2可動反射ミラーに対する前記光ビームの入射光
    線と前記第2可動反射ミラーの法線とで形成される入射
    面に対して直交する軸を除くとともに、前記法線を除い
    て設定した回動軸を中心として前記第2可動反射ミラー
    所定量回動し、前記第2可動反射ミラーによる前記光
    ビームの反射方向を調整する第2調整手段と、 前記第3可動反射ミラーに対する前記光ビームの入射光
    線と前記第3可動反射ミラーの法線とで形成される入射
    面に対して直交する軸を除くとともに、前記法線を除い
    て設定した回動軸を中心として前記第3可動反射ミラー
    所定量回動し、前記第3可動反射ミラーによる前記光
    ビームの反射方向を調整する第3調整手段と、 を備え、前記第1調整手段、前記第2調整手段および前
    記第3調整手段により前記第1可動反射ミラー、前記第
    2可動反射ミラーおよび前記第3可動反射ミラーを回動
    し、前記対象物上に形成される前記光ビームによる走査
    線の傾斜、前記走査線の走査方向に対する走査位置およ
    び像面の傾きを補正することを特徴とする光走査装置。
  4. 【請求項4】請求項3記載の装置において、 第1調整手段、第2調整手段および第3調整手段は、第
    1可動反射ミラー、第2可動反射ミラーおよび第3可動
    反射ミラーの全てを、夫々に入射する光ビームの入射方
    と走査方向の両者に対して略直交する回動軸を中心
    として回動させる構成からなることを特徴とする光走査
    装置。
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