JP3420241B2 - 特にマイクロフローチャネルを有する流体操作体用弁 - Google Patents
特にマイクロフローチャネルを有する流体操作体用弁Info
- Publication number
- JP3420241B2 JP3420241B2 JP50863095A JP50863095A JP3420241B2 JP 3420241 B2 JP3420241 B2 JP 3420241B2 JP 50863095 A JP50863095 A JP 50863095A JP 50863095 A JP50863095 A JP 50863095A JP 3420241 B2 JP3420241 B2 JP 3420241B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- membrane
- sealing surface
- valve seat
- flow channel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 85
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 52
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 7
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C3/00—Circuit elements having moving parts
- F15C3/04—Circuit elements having moving parts using diaphragms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/126—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm the seat being formed on a rib perpendicular to the fluid line
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Check Valves (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
Description
弁に関し、特に、液体及び気体の種々の流体を操作する
ための流路網に含まれる弁に関する。
表面に形成される二つの液体フローチャネルは、膜に対
する接触面を有するランド部分又は弁座によって分離さ
れる。膜は、膜の表面が第1の位置においてランド部分
に密封して接触して二つのチャネル間の流動を遮断し、
第2の位置においてランド部分から分離してチャネル間
の液体の流動を可能にするように作動する。
り、弁体の表面の残部と一致し、膜は膜に取り付けられ
た電磁操作ロッド部材によって二つの位置の間で機械的
に曲げられる。更に具体的には、膜は静止状態において
ランド部分に接触し、かつ弁を開けるために下方に引か
れて膜の下のアパーチャ内に入るようになっている。
操作が比較的複雑であり、微妙な調整を必要とすること
以外に膜が大きい応力を受けて永久に伸びるおそれがあ
る。更に、弁を通る液体の流動は、膜がランド部分から
引き出されるときに瞬時に発生するのではなく、形成さ
れる空隙が最初に液体で満たされ、従って弁開時間が長
くなる。
開発は、米国特許第4848722号、米国特許第4852851号、
及び米国特許第4858883号に記載されている。まず第一
に、膜の機械作動の代わりにこれらの全ての弁構造にお
いてかなり簡単な空気作動が使用される。
部分の代わりにその中で二つのフローチャネルが終端す
る弁体内の球状凹形くぼみが使用される。膜に対する接
触面をそのような凹形にすることによって密封面積が最
大となり、膜がしわになるので膜に加わる応力が小さく
なり、膜の急な曲がりが避けられる。しかしながら、接
触面積を拡大すると開弁が遅くなるので不利である。
くぼみの底部に溝又はチャネルを備えている。このチャ
ネルも弁の閉位置において膜によって密封されるが、弁
が開くと膜によって迅速に開いて二つのフローチャネル
が接続し、その結果、膜と弁座との間に大きい間隙又は
空隙ができるほぼ直前に液体の流動が生じる。これによ
って弁の応答時間がかなりの程度まで小さくなる。
る。ただし、膜によって密封されないような深さを有す
るフロースルーチャネルを凹形表面内に形成することに
よって弁を通る連続的な流動を小さくしている。
及び閉弁がより迅速であり、弁の位置状態の制御がより
再現性よく行え、かつ弁膜並びに弁座の材料疲労が最小
限である上述の形式の更に改善された弁構造に関する。
の膜弁によって達成される。空気式の膜弁では弁座表面
は、小さいほうが好ましい第1の密封面又は上部密封面
と大きいほうが好ましい第2の密封面とに分割されてお
り、従って弁の開閉は夫々、二つの段部で行われる。更
に具体的には、弁が閉じると膜は、最初に上部密封面に
当たって迅速に密封し、次いで(大きいほうが好まし
い)第2の密封面と接触して更に確実な密封が保証され
る。一方、逆に、弁が開くと、膜は最初に(大きいほう
が好ましい)第2の密封面から分離され、次いで上部密
封面からほとんど瞬時に分離される。
する。有利な実施例は従属請求の範囲に定義されてい
る。
て、添付の図面を参照して更に詳細に説明する。
のA−Aに沿った縦断面図である。
ような弁とマイクロ流動チャネルを含む流体処理ブロッ
ク、例えば、米国特許第5313264号に記載されている光
バイオセンサシステムに含まれる形式の流体処理ブロッ
クに組込み可能なように設計されている。
第1のより硬い(例えばショアAで約75゜)、例えばシ
リコーンゴムであるエラストマ層2、第2のより軟らか
い(例えばショアAで約30゜)、例えばシリコーンゴム
であるエラストマ層3、並びに下部支持プレート4から
構成される。第1のエラストマ層は、フローチャネル
5、5'が第1のエラストマ層2と第2のエラストマ層3
との間で画定されるようにその中に形成された適切なフ
ローチャネルシステムを有する。
内の二つのフローチャネル5、5'間に形成されたランド
部分又は弁座6と、圧縮空気の供給源(図示せず)に結
合された円筒形圧力ダクト8上に取り付けられた第2の
エラストマ層3の対向部分とによって構成される。ここ
では、エラストマ層3を薄くして可撓性弁膜又はダイア
フラム7を形成している。図示の例では、圧力ダクト8
は下部支持プレート4内に作られたくぼみ9内の下方に
延びるエラストマ層の一部に形成されている。圧力ダク
ト部分10は短い液柱(図示せず)、例えばグリセロール
で満たされる。液柱の機能について以下に説明する。
部が(その無負荷位置において)ほぼ弁膜7にまで延
び、第3図及び第4図を見れば最もよく分かるように、
膜7に対する接触面10のフローチャネルを横切る形状が
凹形(図示の例では、楕円柱形)になっている。この接
触面又は領域10は以下で称される上部密封面内にあり、
それ自体と膜7との間でフローチャネル11を画定する。
上部密封面10の形状は以下に示す理由で、作動圧力が作
用した場合に膜7によって得られる湾曲と異なる湾曲を
有する必要がある。
合)で、弁座6は、膜7に対して上部密封面から鋭い角
度で移行するところの下方に位置する第2の密封面又は
面積12及び12'を夫々有する。横からみるとこれらの二
つの第2の密封面12、12'は夫々、図示の例(特に第1
図及び第2図を参照)では、上方段部13、13'(上部密
封面10に最も近い)と下方段部14、14'との二つの異な
る凹形「段部」の形で配置されており、二つの段部の間
は鋭い角度で移行している。従って、比較的薄い可撓性
の弁座6は全密封面積が十分に画定されている。
圧力ダクト8にガス圧力が印加されておらず、流体、通
常は液体(ただし気体の場合もある)が弁座6の各面で
フロースルーチャネル11を介してフローチャネル5、5'
間の弁中を流動する。第3図に点線で示すように、膜7
は通常、液体圧力によって15で示される位置にまで押し
出され、その結果、フロースルーチャネル11の断面は膜
が無負荷の場合に存在する断面よりもやや大きくなる
(図では、見やすいように膜が押し出される程度を誇張
してある)。弁を閉じるには、圧力ガスの作動圧力、通
常は圧縮空気を圧力ダクト8に印加し、この圧力がその
中で上述の液柱(図示せず)を介して膜7を弁座6に押
し当てる。液柱により圧縮空気が膜7に浸透し、チャネ
ル5、5'内に望ましくない気泡が発生するのを回避でき
る。
印加される作動圧力によって引き伸ばされる。上部密封
面10の表面積が比較的小さいために(図示の例では、膜
面積の約5%にしてある)膜超過圧力が比較的低く、膜
の伸びが妥当な場合でも膜及び弁座間の高い接触圧力が
得られ、その結果、チャネル部分5、5'の間で液体の流
動が迅速かつ確実に遮断される。
密封面12、12'に接触するまで更に引き延ばされる。弁
座にかかる接触圧力は減少するが、接触面積が拡大され
るので確実な弁の密封を準備するのに十分高いままであ
る。この密封位置は第2図に点線で示される膜の輪郭16
によって示されている。
いて作動力が弁座接触力及び膜弾性力と平衡するまで上
部密封面10のまわりに伸びる。次いで膜7は薄い弁座表
面10のまわりに垂下し、膜が機械的に摩耗し、変形し又
は破壊されるおそれがある。
結果、作動圧力が瞬時に零に下がる。伸びた膜7の弾性
力とフローチャネル部分5、5'内の流体圧力とが協働し
て最初に弁座6の大きい方の段部形の第2の密封面12、
12'から膜7を分離する。弁は、膜が上部密封面10と接
触しているので閉じたままである。次いで、膜7の残り
の減少した弾性力とチャネル流体圧力とはかなり小さい
上部密封面10からほぼ瞬時に膜を分離する。
を横切る形状は、作動圧力が印加された場合に膜7によ
って得られる放物線形状と異なる湾曲を有する必要があ
る。従って、膜の中心は膜の側面部分よりも速く上部密
封面10に達する。これは、膜が最初に中心から解放さ
れ、次いで側面から解放されるので、表面10からの膜の
分離も連続的に起こり、それにより分離が容易になり、
かつより迅速に起こることを意味する。
力)とチャネル内の流体圧力との差によって決定され、
他方では弁座6の二つのエラストマ表面と膜7とが圧接
されるときに生じる閉弁「粘着力」によって決定され
る。この「粘着力」並びにそれに関連する膜の分離時間
は膜7の接触面積にほぼ比例する。
ることにより、上部密封面からの分離も上述のように連
続的に起こることが好ましい。同時に、膜全体を弁座面
積全体から同時に分離する場合と比較して、又は上述の
米国特許第4858883号による周知の構造の場合と同様
に、最初に開いた小さいチャネルを液体フローチャネル
に結合させる場合と比較して、かなり再現性のよい弁開
時間が得られるので弁開時間が小さくなる。開弁に必要
なチャネル流体圧力も小さくなるため、膜全体が弁座か
らほぼ同時に分離される弁構造と異なり、流動の開始時
における圧力ピークを回避できる。これは、かなり大き
い力によって面積全体を同時に分離する代わりに小さい
力によって接触面を連続的に分離できる小さい部分に分
割すると、互いに固着した二つの表面を再現可能に分離
しやすくなるためである。
知の弁構造と比較していくつかの利点があることが明ら
かである。まず第一に、低い作動圧力を使用でき、更に
膜の弁座に対する高い接触圧力により十分な密封が得ら
れる。更に、弁の開閉が迅速に行われ、弁の位置状態を
高い再現性で制御できる。最後に、一方では「二段弁座
構造」によって、他方では膜及び弁座の両方が弾性材料
でできているので、弁膜及び弁座の材料疲労が最小であ
る。
されるものではなく、以下の請求の範囲に規定されるよ
うな一般的な発明の概念の範囲内で多数の修正及び変更
が可能である。
Claims (11)
- 【請求項1】膜(7)が弁座(6)に密封して接触する
閉位置と、弁座(6)及び膜(7)間の空間(11)に通
じるフローチャネルがある開位置との間で膜を流体圧力
で作動させるように配置されており、弁座の前方で開く
ダクト(8)上に取り付けられた可撓性膜(7)と協働
する密封面を有する弁座(6)を形成するランド部分に
よって分離された二つの流体フローチャネル(5、5')
を有する弁体を備える弁において、弁座(6)の前記密
封面が、(i)膜の最も近くにありかつ膜に面した第1
の密封面(10)と、(ii)弁座の各流体チャネル面に設
けられた第2の密封面(12、12')とを備えており、弁
が閉じると、膜(7)が第1の密封面(10)及び第2の
密封面(12、12')に当接して連続的に密封し、逆に、
弁が開くと、膜(7)が第2の密封面(12、12')及び
第1の密封面(10)から連続的に分離されることを特徴
とする弁。 - 【請求項2】第2の密封面(12、12')が第1の密封面
(10)よりも大きい膜接触面積を有することを特徴とす
る請求の範囲第1項に記載の弁。 - 【請求項3】膜(7)が弾性を有していることを特徴と
する請求の範囲第1項又は第2項に記載の弁。 - 【請求項4】弁座(6)が弾性を有していることを特徴
とする請求の範囲第1項又は第2項又は第3項に記載の
弁。 - 【請求項5】弁座(6)及び膜(7)の両方が弾性を有
しており、弁座(6)の弾性が膜(7)の弾性よりも小
さいことを特徴とする請求の範囲第1項又は第2項に記
載の弁。 - 【請求項6】膜(7)を流体圧力で作動させるためのダ
クト(8)が圧縮空気の供給源に接続されるように配置
されることを特徴とする請求の範囲第1項から第5項の
いずれか一項に記載の弁。 - 【請求項7】各第2の密封面(12、12')がフローチャ
ネル方向に延びると共に第1の密封面(10)から離間し
ている段部(13、13')を備えていることを特徴とする
請求の範囲第1項から第6項のいずれか一項に記載の
弁。 - 【請求項8】弁座(6)が第1の密封面(10)から前記
段部(13、13')まで凹形状に広がっていることを特徴
とする請求の範囲第7項に記載の弁。 - 【請求項9】弁座(6)が前記段部(13、13')から膜
(7)と反対側のフローチャネルの壁に向かって凹形状
(14、14')に広がっていることを特徴とする請求の範
囲第8項に記載の弁。 - 【請求項10】第1の密封面(10)から第2の密封面
(12、12')への移行が急であることを特徴とする請求
の範囲第1項から第9項のいずれか一項に記載の弁。 - 【請求項11】第1の密封面(10)のフローチャネル
(5、5')を横切る形状が凹形であることを特徴とする
請求の範囲第1項から第10項のいずれか一項に記載の
弁。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9302865A SE501713C2 (sv) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | Ventil av membrantyp, speciellt för vätskehanteringsblock med mikroflödeskanaler |
SE9302865-2 | 1993-09-06 | ||
PCT/SE1994/000824 WO1995007425A1 (en) | 1993-09-06 | 1994-09-06 | Valve, especially for fluid handling bodies with microflowchannels |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09502249A JPH09502249A (ja) | 1997-03-04 |
JP3420241B2 true JP3420241B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=20390985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50863095A Expired - Fee Related JP3420241B2 (ja) | 1993-09-06 | 1994-09-06 | 特にマイクロフローチャネルを有する流体操作体用弁 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5593130A (ja) |
EP (1) | EP0775277B1 (ja) |
JP (1) | JP3420241B2 (ja) |
AT (1) | ATE193759T1 (ja) |
DE (1) | DE69424883T2 (ja) |
SE (1) | SE501713C2 (ja) |
WO (1) | WO1995007425A1 (ja) |
Families Citing this family (132)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE9502258D0 (sv) * | 1995-06-21 | 1995-06-21 | Pharmacia Biotech Ab | Method for the manufacture of a membrane-containing microstructure |
US5856174A (en) * | 1995-06-29 | 1999-01-05 | Affymetrix, Inc. | Integrated nucleic acid diagnostic device |
US20020022261A1 (en) * | 1995-06-29 | 2002-02-21 | Anderson Rolfe C. | Miniaturized genetic analysis systems and methods |
US5849208A (en) * | 1995-09-07 | 1998-12-15 | Microfab Technoologies, Inc. | Making apparatus for conducting biochemical analyses |
DE19534137A1 (de) * | 1995-09-14 | 1997-03-20 | Univ Ilmenau Tech | Mikro-Ventilanordnung |
US7214298B2 (en) * | 1997-09-23 | 2007-05-08 | California Institute Of Technology | Microfabricated cell sorter |
US6833242B2 (en) * | 1997-09-23 | 2004-12-21 | California Institute Of Technology | Methods for detecting and sorting polynucleotides based on size |
US7247490B2 (en) * | 1999-04-06 | 2007-07-24 | Uab Research Foundation | Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth |
US7214540B2 (en) | 1999-04-06 | 2007-05-08 | Uab Research Foundation | Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth |
DE60034033T2 (de) * | 1999-04-06 | 2007-12-06 | University of Alabama, Birmingham Research Foundation, Birmingham | Vorrichtung zum screening von kristallisierungsbedingungen in lösungen zur kristallzüchtung |
US20020164812A1 (en) * | 1999-04-06 | 2002-11-07 | Uab Research Foundation | Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth |
US7250305B2 (en) * | 2001-07-30 | 2007-07-31 | Uab Research Foundation | Use of dye to distinguish salt and protein crystals under microcrystallization conditions |
US7244396B2 (en) * | 1999-04-06 | 2007-07-17 | Uab Research Foundation | Method for preparation of microarrays for screening of crystal growth conditions |
US7195670B2 (en) * | 2000-06-27 | 2007-03-27 | California Institute Of Technology | High throughput screening of crystallization of materials |
DK1065378T3 (da) * | 1999-06-28 | 2002-07-29 | California Inst Of Techn | Elastomere mikropumpe- og mikroventilsystemer |
US8550119B2 (en) * | 1999-06-28 | 2013-10-08 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US7144616B1 (en) * | 1999-06-28 | 2006-12-05 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US8709153B2 (en) | 1999-06-28 | 2014-04-29 | California Institute Of Technology | Microfludic protein crystallography techniques |
US8052792B2 (en) * | 2001-04-06 | 2011-11-08 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography techniques |
US7052545B2 (en) * | 2001-04-06 | 2006-05-30 | California Institute Of Technology | High throughput screening of crystallization of materials |
US6899137B2 (en) | 1999-06-28 | 2005-05-31 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US6929030B2 (en) * | 1999-06-28 | 2005-08-16 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US7244402B2 (en) * | 2001-04-06 | 2007-07-17 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography |
US7459022B2 (en) * | 2001-04-06 | 2008-12-02 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography |
US7306672B2 (en) * | 2001-04-06 | 2007-12-11 | California Institute Of Technology | Microfluidic free interface diffusion techniques |
US7217321B2 (en) * | 2001-04-06 | 2007-05-15 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography techniques |
US20080277007A1 (en) * | 1999-06-28 | 2008-11-13 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
WO2001067369A2 (en) * | 2000-03-03 | 2001-09-13 | California Institute Of Technology | Combinatorial array for nucleic acid analysis |
US20050118073A1 (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-02 | Fluidigm Corporation | Devices and methods for holding microfluidic devices |
US7867763B2 (en) * | 2004-01-25 | 2011-01-11 | Fluidigm Corporation | Integrated chip carriers with thermocycler interfaces and methods of using the same |
US6431212B1 (en) | 2000-05-24 | 2002-08-13 | Jon W. Hayenga | Valve for use in microfluidic structures |
US7351376B1 (en) * | 2000-06-05 | 2008-04-01 | California Institute Of Technology | Integrated active flux microfluidic devices and methods |
US6581899B2 (en) | 2000-06-23 | 2003-06-24 | Micronics, Inc. | Valve for use in microfluidic structures |
US7062418B2 (en) * | 2000-06-27 | 2006-06-13 | Fluidigm Corporation | Computer aided design method and system for developing a microfluidic system |
US6833920B2 (en) * | 2000-07-11 | 2004-12-21 | Maven Technologies Llc | Apparatus and method for imaging |
US6594011B1 (en) | 2000-07-11 | 2003-07-15 | Maven Technologies, Llc | Imaging apparatus and method |
US7193711B2 (en) * | 2000-07-11 | 2007-03-20 | Maven Technologies, Llc | Imaging method and apparatus |
US20020093654A1 (en) * | 2000-07-11 | 2002-07-18 | Lieberman Robert A. | Apparatus and method for imaging |
US7518724B2 (en) | 2000-07-11 | 2009-04-14 | Maven Technologies | Image acquisition, processing, and display |
US7126688B2 (en) * | 2000-07-11 | 2006-10-24 | Maven Technologies, Llc | Microarray scanning |
US7023547B2 (en) * | 2000-07-11 | 2006-04-04 | Maven Technologies, Llc | Apparatus including a biochip for imaging of biological samples and method |
EP1334347A1 (en) * | 2000-09-15 | 2003-08-13 | California Institute Of Technology | Microfabricated crossflow devices and methods |
US7097809B2 (en) * | 2000-10-03 | 2006-08-29 | California Institute Of Technology | Combinatorial synthesis system |
US7678547B2 (en) * | 2000-10-03 | 2010-03-16 | California Institute Of Technology | Velocity independent analyte characterization |
WO2002029106A2 (en) * | 2000-10-03 | 2002-04-11 | California Institute Of Technology | Microfluidic devices and methods of use |
AU1189702A (en) * | 2000-10-13 | 2002-04-22 | Fluidigm Corp | Microfluidic device based sample injection system for analytical devices |
ATE374162T1 (de) | 2000-11-02 | 2007-10-15 | Biacore Ab | Ventil dem eine mikrofluide flüssigkeitstransportanordnung integral zugeordnet ist |
US7232109B2 (en) * | 2000-11-06 | 2007-06-19 | California Institute Of Technology | Electrostatic valves for microfluidic devices |
WO2002060582A2 (en) * | 2000-11-16 | 2002-08-08 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices for introducing and dispensing fluids from microfluidic systems |
AU2002230524A1 (en) | 2000-11-16 | 2002-05-27 | California Institute Of Technology | Apparatus and methods for conducting assays and high throughput screening |
US20050196785A1 (en) * | 2001-03-05 | 2005-09-08 | California Institute Of Technology | Combinational array for nucleic acid analysis |
US20020159920A1 (en) * | 2001-04-03 | 2002-10-31 | Weigl Bernhard H. | Multiple redundant microfluidic structures cross reference to related applications |
US7670429B2 (en) * | 2001-04-05 | 2010-03-02 | The California Institute Of Technology | High throughput screening of crystallization of materials |
EP1384022A4 (en) | 2001-04-06 | 2004-08-04 | California Inst Of Techn | AMPLIFICATION OF NUCLEIC ACID USING MICROFLUIDIC DEVICES |
US20020164816A1 (en) * | 2001-04-06 | 2002-11-07 | California Institute Of Technology | Microfluidic sample separation device |
JP4565026B2 (ja) * | 2001-04-06 | 2010-10-20 | カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー | エラストマーミクロ流体デバイスに圧力を適用するための構造物 |
ATE500051T1 (de) | 2001-04-06 | 2011-03-15 | Fluidigm Corp | Polymeroberflächenmodifikation |
US6752922B2 (en) * | 2001-04-06 | 2004-06-22 | Fluidigm Corporation | Microfluidic chromatography |
US20050149304A1 (en) * | 2001-06-27 | 2005-07-07 | Fluidigm Corporation | Object oriented microfluidic design method and system |
US7075162B2 (en) * | 2001-08-30 | 2006-07-11 | Fluidigm Corporation | Electrostatic/electrostrictive actuation of elastomer structures using compliant electrodes |
WO2003031066A1 (en) | 2001-10-11 | 2003-04-17 | California Institute Of Technology | Devices utilizing self-assembled gel and method of manufacture |
US8440093B1 (en) | 2001-10-26 | 2013-05-14 | Fuidigm Corporation | Methods and devices for electronic and magnetic sensing of the contents of microfluidic flow channels |
US7118910B2 (en) * | 2001-11-30 | 2006-10-10 | Fluidigm Corporation | Microfluidic device and methods of using same |
US7691333B2 (en) * | 2001-11-30 | 2010-04-06 | Fluidigm Corporation | Microfluidic device and methods of using same |
US6739576B2 (en) | 2001-12-20 | 2004-05-25 | Nanostream, Inc. | Microfluidic flow control device with floating element |
US7312085B2 (en) * | 2002-04-01 | 2007-12-25 | Fluidigm Corporation | Microfluidic particle-analysis systems |
EP2666849A3 (en) * | 2002-04-01 | 2014-05-28 | Fluidigm Corporation | Microfluidic particle-analysis systems |
US6976590B2 (en) * | 2002-06-24 | 2005-12-20 | Cytonome, Inc. | Method and apparatus for sorting particles |
US9943847B2 (en) | 2002-04-17 | 2018-04-17 | Cytonome/St, Llc | Microfluidic system including a bubble valve for regulating fluid flow through a microchannel |
US20070026528A1 (en) * | 2002-05-30 | 2007-02-01 | Delucas Lawrence J | Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth |
US20050238506A1 (en) * | 2002-06-21 | 2005-10-27 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Electromagnetically-actuated microfluidic flow regulators and related applications |
US8168139B2 (en) * | 2002-06-24 | 2012-05-01 | Fluidigm Corporation | Recirculating fluidic network and methods for using the same |
US20040007672A1 (en) * | 2002-07-10 | 2004-01-15 | Delucas Lawrence J. | Method for distinguishing between biomolecule and non-biomolecule crystals |
US7135147B2 (en) | 2002-07-26 | 2006-11-14 | Applera Corporation | Closing blade for deformable valve in a microfluidic device and method |
US7198759B2 (en) * | 2002-07-26 | 2007-04-03 | Applera Corporation | Microfluidic devices, methods, and systems |
WO2004011132A2 (en) * | 2002-07-26 | 2004-02-05 | Applera Corporation | Closing blade for deformable valve in a microfluidic device, and method |
US8220494B2 (en) * | 2002-09-25 | 2012-07-17 | California Institute Of Technology | Microfluidic large scale integration |
US7139613B2 (en) * | 2002-09-25 | 2006-11-21 | Medtronic, Inc. | Implantable medical device communication system with pulsed power biasing |
EP1551753A2 (en) * | 2002-09-25 | 2005-07-13 | California Institute Of Technology | Microfluidic large scale integration |
EP1546412B1 (en) | 2002-10-02 | 2014-05-21 | California Institute Of Technology | Microfluidic nucleic acid analysis |
US7169602B2 (en) * | 2002-12-04 | 2007-01-30 | Applera Corporation | Sample substrate for use in biological testing and method for filling a sample substrate |
US7332348B2 (en) * | 2003-02-28 | 2008-02-19 | Applera Corporation | Sample substrate having a divided sample chamber and method of loading thereof |
EP2340890B1 (en) * | 2003-04-03 | 2016-10-19 | Fluidigm Corporation | Method of performimg digital PCR |
US20050145496A1 (en) | 2003-04-03 | 2005-07-07 | Federico Goodsaid | Thermal reaction device and method for using the same |
US7604965B2 (en) * | 2003-04-03 | 2009-10-20 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
US8828663B2 (en) * | 2005-03-18 | 2014-09-09 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
US7476363B2 (en) * | 2003-04-03 | 2009-01-13 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods of using same |
WO2004094020A2 (en) * | 2003-04-17 | 2004-11-04 | Fluidigm Corporation | Crystal growth devices and systems, and methods for using same |
AU2004240944A1 (en) | 2003-05-20 | 2004-12-02 | Fluidigm Corporation | Method and system for microfluidic device and imaging thereof |
SG145697A1 (en) * | 2003-07-28 | 2008-09-29 | Fluidigm Corp | Image processing method and system for microfluidic devices |
US7413712B2 (en) * | 2003-08-11 | 2008-08-19 | California Institute Of Technology | Microfluidic rotary flow reactor matrix |
US8268446B2 (en) * | 2003-09-23 | 2012-09-18 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Photocurable perfluoropolyethers for use as novel materials in microfluidic devices |
US7407799B2 (en) | 2004-01-16 | 2008-08-05 | California Institute Of Technology | Microfluidic chemostat |
MXPA06008399A (es) * | 2004-01-25 | 2008-03-07 | Fluidigm Corp | Dispositivos formadores de cristal y sistemas y metodos para hacer y utilizar los mismos. |
US7867194B2 (en) | 2004-01-29 | 2011-01-11 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Drug delivery apparatus |
US20070275193A1 (en) * | 2004-02-13 | 2007-11-29 | Desimone Joseph M | Functional Materials and Novel Methods for the Fabrication of Microfluidic Devices |
US20060024751A1 (en) * | 2004-06-03 | 2006-02-02 | Fluidigm Corporation | Scale-up methods and systems for performing the same |
US7749445B2 (en) * | 2005-05-02 | 2010-07-06 | Bioscale, Inc. | Method and apparatus for analyzing bioprocess fluids |
US7648844B2 (en) * | 2005-05-02 | 2010-01-19 | Bioscale, Inc. | Method and apparatus for detection of analyte using an acoustic device |
US7300631B2 (en) | 2005-05-02 | 2007-11-27 | Bioscale, Inc. | Method and apparatus for detection of analyte using a flexural plate wave device and magnetic particles |
US7611908B2 (en) * | 2005-05-02 | 2009-11-03 | Bioscale, Inc. | Method and apparatus for therapeutic drug monitoring using an acoustic device |
US7611673B2 (en) * | 2005-09-28 | 2009-11-03 | California Institute Of Technology | PMDS microfluidic components and methods of operation of the same |
US8075852B2 (en) * | 2005-11-02 | 2011-12-13 | Affymetrix, Inc. | System and method for bubble removal |
US8007267B2 (en) * | 2005-11-02 | 2011-08-30 | Affymetrix, Inc. | System and method for making lab card by embossing |
US20070099288A1 (en) * | 2005-11-02 | 2007-05-03 | Affymetrix, Inc. | Microfluidic Methods, Devices, and Systems for Fluid Handling |
US20080038714A1 (en) * | 2005-11-02 | 2008-02-14 | Affymetrix, Inc. | Instrument to Pneumatically Control Lab Cards and Method Thereof |
US20080311585A1 (en) * | 2005-11-02 | 2008-12-18 | Affymetrix, Inc. | System and method for multiplex liquid handling |
US7815868B1 (en) | 2006-02-28 | 2010-10-19 | Fluidigm Corporation | Microfluidic reaction apparatus for high throughput screening |
US8925579B2 (en) | 2006-03-02 | 2015-01-06 | Pacific Bag, Inc. | Pressure relief valve |
US8202491B2 (en) | 2006-11-21 | 2012-06-19 | Bioscale, Inc. | Apparatus for analyte processing |
US20080118402A1 (en) * | 2006-11-21 | 2008-05-22 | David Brancazio | Method and apparatus for analyte processing |
US9046192B2 (en) | 2007-01-31 | 2015-06-02 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Membrane-based fluid control in microfluidic devices |
US7867783B2 (en) | 2007-02-22 | 2011-01-11 | Maven Technologies, Llc | Apparatus and method for performing ligand binding assays on microarrays in multiwell plates |
US7863037B1 (en) | 2007-04-04 | 2011-01-04 | Maven Technologies, Llc | Ligand binding assays on microarrays in closed multiwell plates |
US20090041633A1 (en) * | 2007-05-14 | 2009-02-12 | Dultz Shane C | Apparatus and method for performing ligand binding assays on microarrays in multiwell plates |
US7799558B1 (en) | 2007-05-22 | 2010-09-21 | Dultz Shane C | Ligand binding assays on microarrays in closed multiwell plates |
WO2009033056A1 (en) * | 2007-09-06 | 2009-03-12 | Bioscale, Inc. | Reusable detection surfaces and methods of using same |
US20090081768A1 (en) * | 2007-09-21 | 2009-03-26 | Applera Corporation | Devices and Methods for Thermally Isolating Chambers of an Assay Card |
WO2009119698A1 (ja) | 2008-03-24 | 2009-10-01 | 日本電気株式会社 | マイクロチップの流路制御機構 |
US8039270B2 (en) * | 2008-05-22 | 2011-10-18 | Maven Technologies, Llc | Apparatus and method for performing ligand binding assays on microarrays in multiwell plates |
US7981664B1 (en) | 2008-05-22 | 2011-07-19 | Maven Technologies, Llc | Apparatus and method for performing ligand binding assays on microarrays in multiwell plates |
IT1398480B1 (it) * | 2009-12-17 | 2013-03-01 | Silicon Biosystems Spa | Sistema microfluidico |
US8355133B2 (en) * | 2009-12-30 | 2013-01-15 | Maven Technologies, Llc | Biological testing with sawtooth-shaped prisms |
US9267618B2 (en) | 2010-05-18 | 2016-02-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Microvalve device and method of manufacturing the same |
KR20110136629A (ko) | 2010-06-15 | 2011-12-21 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 밸브를 갖는 미세 유체 소자 |
JP6162047B2 (ja) | 2011-02-02 | 2017-07-12 | ザ チャールズ スターク ドレイパー ラボラトリー インク | 薬物送達装置 |
CN103157523A (zh) * | 2011-12-15 | 2013-06-19 | 三星电子株式会社 | 微流器件及其制造方法 |
JP6540705B2 (ja) * | 2013-12-19 | 2019-07-10 | ジーイー・ヘルスケア・バイオサイエンス・アクチボラグ | 生物学的液体処理システムのための遠隔操作弁 |
US10451591B1 (en) * | 2013-12-19 | 2019-10-22 | Ge Healthcare Bio-Sciences Ab | Remotely actuated valve for a biological liquid treatment system |
US10300484B2 (en) | 2014-03-26 | 2019-05-28 | The George Washington University | Handheld fluid handling systems and methods |
EP3168512B1 (en) * | 2014-07-07 | 2019-09-04 | The University of Tokyo | Fluid device and method for manufacturing valve |
CN109185554B (zh) * | 2018-09-30 | 2019-10-18 | 浙江大学 | 一种音圈驱动的微型柔性阀 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2345645A1 (fr) * | 1976-03-22 | 1977-10-21 | Demangel Vence | Perfectionnements apportes a une vanne a membrane autopilotee |
US4304257A (en) * | 1980-07-01 | 1981-12-08 | Instrumentation Laboratory Inc. | Valve with flexible sheet member |
US4852851A (en) * | 1987-12-11 | 1989-08-01 | Integrated Fluidics, Inc. | Valve with flexible sheet member |
US4858883A (en) * | 1987-12-11 | 1989-08-22 | Integrated Fluidics, Inc. | Valve with flexible sheet member |
US4848722A (en) * | 1987-12-11 | 1989-07-18 | Integrated Fluidics, Inc. | Valve with flexible sheet member |
SE462408B (sv) * | 1988-11-10 | 1990-06-18 | Pharmacia Ab | Optiskt biosensorsystem utnyttjande ytplasmonresonans foer detektering av en specific biomolekyl, saett att kalibrera sensoranordningen samt saett att korrigera foer baslinjedrift i systemet |
US5203368A (en) * | 1992-07-29 | 1993-04-20 | Protein Technologies Inc. | Matrix of valves |
US5496009A (en) * | 1994-10-07 | 1996-03-05 | Bayer Corporation | Valve |
-
1993
- 1993-09-06 SE SE9302865A patent/SE501713C2/sv not_active IP Right Cessation
-
1994
- 1994-09-06 AT AT94926446T patent/ATE193759T1/de not_active IP Right Cessation
- 1994-09-06 EP EP94926446A patent/EP0775277B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-09-06 WO PCT/SE1994/000824 patent/WO1995007425A1/en active IP Right Grant
- 1994-09-06 DE DE69424883T patent/DE69424883T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-09-06 JP JP50863095A patent/JP3420241B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-09-06 US US08/605,166 patent/US5593130A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0775277B1 (en) | 2000-06-07 |
EP0775277A1 (en) | 1997-05-28 |
ATE193759T1 (de) | 2000-06-15 |
DE69424883D1 (de) | 2000-07-13 |
JPH09502249A (ja) | 1997-03-04 |
SE9302865L (sv) | 1995-03-07 |
SE9302865D0 (sv) | 1993-09-06 |
SE501713C2 (sv) | 1995-05-02 |
US5593130A (en) | 1997-01-14 |
DE69424883T2 (de) | 2000-10-05 |
WO1995007425A1 (en) | 1995-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3420241B2 (ja) | 特にマイクロフローチャネルを有する流体操作体用弁 | |
AU740396B2 (en) | Improved spring diaphragm for shut-off valves and regulators | |
US5496009A (en) | Valve | |
US6830229B2 (en) | Two-stage valve suitable as high-flow high-pressure microvalve | |
KR20060096499A (ko) | 격막 밸브 | |
JPH09329252A (ja) | 弁 | |
KR0170018B1 (ko) | 탱크실을 가진 블록밸브 | |
CA2307406A1 (en) | Pilot solenoid control valve with pressure responsive diaphragm | |
JPS6053227B2 (ja) | 逆止め弁 | |
IL156797A (en) | Diaphragm and hydraulically-operated valve using same | |
US4936542A (en) | Catheter flow control valve | |
AU641229B2 (en) | A diaphragm valve | |
US20020175302A1 (en) | Two-stage valve suitable as high-flow high-pressure microvalve | |
KR850001584B1 (ko) | 복식 차단밸브 장치 | |
KR880013753A (ko) | 작동기 | |
WO2001066916A3 (es) | Válvula hidráulica de membrana perfeccionada, para regulación del caudal de fluidos | |
JPH034077A (ja) | 逆止弁 | |
JPH10339375A (ja) | 開閉弁 | |
JP3144853B2 (ja) | 流体制御器 | |
US6192924B1 (en) | Pilot operated relief valve | |
JPS6023584Y2 (ja) | バルブ | |
JPS58124870A (ja) | 可撓性管を用いた弁 | |
JP2004036728A (ja) | マイクロバルブ | |
Ezkerra et al. | ELECTROCHEMICAL BUBBLE-ACTUATED MICROVALVES AND PERISTALTIC PUMPS BASED ON EMBEDDED SU-8 MICROCANTILEVERS | |
JPH0528845B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |