JP3412297B2 - Mr素子式回転センサ - Google Patents

Mr素子式回転センサ

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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、回転センサに係り、特
に、回転体に取付けられたスリット円板と磁気抵抗素子
(以下MR素子と略記する)及びバイアス磁石とからな
るMR素子式回転センサに関する。 【0002】 【従来の技術】従来のMR素子式回転センサは、例え
ば、図10に示すような構造を有しており、自動車のエ
ンジン制御を目的とし、エンジンの回転数、カム軸の回
転角度、エンジンの各気筒におけるシリンダ位置などを
計測してエンジンの回転状況を検出するために、エンジ
ンのカム軸に取り付けられている。同図において、回転
センサ1は、ハウジング5内に収容された回転するシャ
フト3、シャフトロータ4によってシャフト3に固定さ
れたスリット円板2、スリット円板2と対向して設けた
センサユニット13によって構成されており、センサユ
ニット13は、MR素子7〜10、バイアス磁石11、
検出回路12などを内蔵している。図11に示すよう
に、スリット円板2には、角度検出用スリット14、基
準位置検出用スリット15が形成されている。また、図
12に示すように、MR素子7、8はスリット14と対
向する位置に、MR素子9、10はスリット15に対向
する位置に配設されている。さらに、MR素子7〜10
の背面側、すなわち、MR素子7、8、9、10に関し
て、スリット円板2と反対側にはバイアス磁石11が配
置されている。そして、MR素子7、8、9、10は、
図示しない端子を介して検出回路12(図10)に接続
されている。 【0003】上記回転センサ1の構成において、図12
に示す矢印A方向にスリット円板2が回転すると、バイ
アス磁石11による、MR素子7、8、9、10を通過
する磁束密度が変化することにより、検出回路12の抵
抗値が変化する。すなわち、図13に示すようにMR素
子7、8、9、10を直列に接続し、その中点電位を増
幅器17、18により増幅し、その後、比較器19、2
0により矩形波に変換し、角度信号と基準位置信号を出
力するようになっている。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術の回転
センサは、MR素子7、8を角度検出用に、基準位置検
出用にMR素子9、10をそれぞれペアで使用する構成
となっているため、求めようとする信号の数に応じて、
このようなMR素子のペアを増設しなければならず、構
造が複雑化し費用が増大するという問題点があった。本
発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので
ある。 【0005】 【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、角度検出用としてスリット円板の第1
の円周上に等中心角で配設されるべきスリットn個のう
ち、基準位置となる角度範囲内に連続するm個のスリッ
トを、前記第1の円周と同心の第2の円周上に設け、残
りの(n−m)個のスリットを前記第1の円周上に残
し、かつ、第1のMR素子を第1の円周上に形成した
(n−m)個のスリットと対応させ、第2のMR素子を
前記m個のスリットと対応させるように配置し、前記第
1のMR素子と第2のMR素子を直列に接続し、その接
続中点電位を計測することを特徴とするMR素子式回転
センサである。すなわち、特許請求の範囲に記載されて
いるように、円板上に同一中心で半径を異にする第1の
円周と第2の円周を設け、第1の円周上に等中心角でn
分割し、n個中の連続m個分に相当するスリット欠落部
を残して穿設した(n−m)個の角度検出用の第1のス
リットと、前記第1の円周上の連続m個分のスリット欠
落部に対応した第2の円周上の位置に、前記第1のスリ
ットと等中心角で穿設した基準位置検出用のm個の第2
のスリットと、前記第1のスリットに対向する位置に配
設した第1のMR素子と、前記第2のスリットに対向す
る位置に配設した第2のMR素子と、前記第1、第2の
MR素子を挟んで前記スリット円板と反対側に配設した
バイアス磁石を有し、前記第1のMR素子と第2のMR
素子を直列に接続し、その接続中点電位と第1の基準電
圧とを比較して、前記接続中点電位が前記第1の基準電
圧以上である場合に高出力を出力する第1の比較器と、
前記接続中点電位と第1の基準電圧よりも低い第2の基
準電圧とを比較して、前記接続中点電位が前記第2の基
準電圧よりも低い場合に高出力を出力する第2の比較器
と、前記第1の比較器の出力と前記第2の比較器の出力
とを入力し、どちらかの出力が高出力である場合に高出
力を出力するOR回路と、前記OR回路の出力に基づい
て角度信号を検出すると共に、前記第2の比較器の出力
に基づいて前記基準位置信号を求めるように構成してい
る。 【0006】 【作用】回転検出素子としてMR素子を使用する回転セ
ンサの原理について、図6〜図9を用いて説明する。M
R素子とは、磁束密度に応じてその電気抵抗値が変化す
る薄膜素子であって、主として半導体を使用するもの
と、強磁性体を使用するものとに大別することができ
る。なかでも、In−Sb 半導体薄膜によるMR素子が挙
げられ、MR素子の膜厚方向に印加される磁束密度Bに
応じて、抵抗値Rは図6に示すように変化する。一般的
にMR素子を回転検出素子として使用する構成は、図7
に示すように、2個のMR素子33、34の前面をスリ
ット36が通過するように回転するスリット円板35が
配置される。MR素子33、34の背面にはバイアス磁
界を付与するバイアス磁石37が設けられている。スリ
ット円板35の材質は、エネルギー積BHmaxの大きいN
d−Fe−B磁石(BHmax=40MGOe程度)が望ましい
が、使用温度範囲が広いときは、不可逆減磁及び可逆温
度係数が小さく、かつ、エネルギー積も大きいSm−Co磁
石(BHmax=30MGOe程度)が望ましい。スリット
円板35が回転するとMR素子33、34の前面をスリ
ット36が通過する。一般にスリットがMR素子と正対
する位置関係にあるときに磁束密度Bが最も大きくな
る。このように、スリットがMR素子の前面を通過する
ことにより、MR素子に垂直な方向の磁束密度Bが変化
する。磁束密度の最大値と最小値の差をΔB、このとき
のMR素子抵抗値の変化をΔRとすると、 ΔR=R0・μ・f・ΔB ……(数1) となる。ここで、R0はB=0のときのMR素子の抵抗
値、μは電子移動速度、fはMR素子の形状ファクタで
ある。 【0007】MR素子は温度に対する抵抗値の変化が極
めて大きく、例えば、In−Sb半導体薄膜のMR素子では
25℃における抵抗値を1とすると、−40℃において
7程度、150℃において0.2程度である。このた
め、図8の回路に示されるように、2個のMR素子3
3、34を直列に接続し、その中点電位を計測すること
によって、温度による影響を相殺する手法が採用されて
いる。 【0008】MR素子33、34の間隔L1とスリット
36間のピッチL2との比が1:2、すなわち、L1/L
2=0.5となるように、MR素子を配設した場合、M
R素子33、34の抵抗値Rc、Rdは、時間とともに図
9(a)に示すように変化する。電源電圧をVccとする
と、MR素子33と34の中点電位Voutの変化量Vpp
は Vpp=Vcc・ΔR/(2R0′+ΔR) ……(数2) となり、図9(b)に示すようなスリット円板35の回
転に応じた信号が得られる。 【0009】 【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明に係るMR素子式回転センサの構造を示
す断面図、図2は、同回転センサのスリット円板の平面
図、図3は、同スリット円板とMR素子の位置関係を示
す図である。図1において、回転センサ21は、従来技
術の回転センサ(図13)に準ずる断面構造を有してお
り、ハウジング5内に収容された回転するシャフト3、
シャフトロータ4によってシャフト3に固定されたスリ
ット円板22、スリット円板22と対向して設けたセン
サユニット26によって構成されており、センサユニッ
ト26は、MR素子23、24、バイアス磁石11、検
出回路25などを内蔵している。シャフト3は、ベアリ
ング6を介して円滑に回転可能のようにハウジング5内
に係止されている。MR素子23、24の背面にはバイ
アス磁石11が配置されていて、MR素子23、24
は、図示しない端子を介して検知回路25と電気的に接
続されている。スリット円板22、MR素子23、2
4、検出回路25及びセンサユニット26を除く他の部
品は、図10と共通使用可能である。 【0010】図2に示すように、本実施例のスリット円
板22には、角度検出用のスリット27が、第1の円周
上に等角度ピッチで、また、角度検出と基準位置検出用
を兼ねる兼用のスリット28が、スリット27のピッチ
円より内周側の第2の円周上に前記と等ピッチで設けら
れている。すなわち、スリット28を形成する中心角θ
の範囲内は、スリット27に代ってスリット28が第2
の円周上に形成されている。そして図3に示すように、
MR素子23は前記角度検出用のスリット27と対向す
るように、MR素子24は前記兼用のスリット28にそ
れぞれ対向するように構成されている。 【0011】図5は、検出回路25の構成を示す図であ
る。図5において、29はMR素子23、24の中点電
位を増幅する増幅器、30、31は増幅器29からの信
号を受けて基準電圧V、Vと比較し矩形波を出力す
る比較器であり、32は比較器30、31からの信号を
演算して角度信号を出力するOR回路である。また図4
は、スリット円板22の回転に伴い、MR素子23、2
4を有する検出回路25の動作特性を示す図である。図
4(a)は、スリット円板22の回転に伴いMR素子2
3、24の位置に対向して変化するスリット27及びス
リット28の相互関係位置を示す図であって、上段はス
リット27、下段はスリット28を表示している。すな
わち、角度検出用のスリット27がMR素子23と対向
する位置では、角度検出と基準位置検出を兼ねるスリッ
ト28はMR素子24とは対向していない。従って、ス
リット円板22が矢印A方向に回転したときに、スリッ
ト27、及びスリット28がそれぞれMR素子23、及
びMR素子24の位置を通過し、MR素子23の抵抗値
、及びRはそれぞれ図4(b)に示すように変化
する。 【0012】図5に示すようにMR素子23と24を直
列に接続すると、その中点電位Vは図4(c)のよう
に変化する。Vは増幅器29によりV′に増幅され
比較器30、31に入力される。比較器30においてV
′は「+」側に入力されて、「−」側に入力された所
定の電圧Vと比較され、比較器30からの出力は
′>Vのときに高出力、V′<Vのときに低
出力となり、図4(d)におけるVような特性を示
す。一方比較器31ではV′は「−」側に入力され、
「+」側に入力された所定電圧Vと比較され、比較器
31の出力はV′<Vのときに出力となり、図4
(d)に示されるVが出力される。Vはこのまま基
準位置検出信号として出力される。また、VとV
OR回路32において演算され、角度検出用信号V
して出力される。中点電位Vは、周囲環境温度T
=Tのとき次式によって表わされる。 【0013】 Va(T0)=Vcc×Ra/(Ra+Rb) ……(数3) 周囲環境温度TaがT0からT1に変化すると、Ra、Rb
は物質固有の温度係数に応じてα倍となる。Ta=T1
ときの中点電位Va(T1)は次式によって示される。 【0014】 Va(T1)=Vcc×αRa/α(Ra+Rb) =Vcc×Ra/(Ra+Rb)=Va(T0) ……(数4) このように、周囲環境温度Taが変化しても、MR素子
23とMR素子24の中点電位Vaは変化せず、温度変
化による影響は相殺されることがわかる。 【0015】上記の実施例に示したように、スリット円
板22は、角度検出用として、第1の円周上に等角度で
穿設されるべきn個のスリットのうち、基準位置となる
角度範囲内にm個のスリット28を第1の円周と同心の
第2の円周上に移動して設けることにより、第1の円周
上に(n−m)個のスリット27と、第2の円周上にm
個のスリット28を形成したものであって、第1の円周
上の角度θの範囲にはスリット27は形成されていな
い。この構成のスリット円板22のスリット27と対向
してMR素子23(第1のMR素子)、スリット28と
対向してMR素子24(第2のMR素子)が配設されて
いる。そして、第2のMR素子24と第1のMR素子2
3を直列に接続すると共に、その中点電位を計測するこ
とにより、角度信号と基準位置信号を求めるように構成
されているものである。 【0016】 【発明の効果】本発明の実施により、2組のMR素子を
使用する必要がなく、1組のMR素子によって角度信号
と基準位置信号の検出用信号を得ることができ、しか
も、周囲環境温度の変化による影響が小さく、精度の高
い回転センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】本発明に係るMR素子式回転センサの構造を示
す断面図である。 【図2】図1に示した回転センサのスリット円板の平面
図である。 【図3】図1に示した回転センサのスリット円板とMR
素子の位置関係を示す図である。を示す図である。 【図4】図1に示したスリット円板の回転に伴いMR素
子を有する検出回路の動作特性を示す図である。 【図5】図1に示した回転センサの検出回路の構成を示
す図である。 【図6】MR素子を使用した回転センサの磁束密度と電
気抵抗値の関係を示す原理特性図である。 【図7】MR素子を使用した回転センサの構造と作用を
示す側面図である。 【図8】図7に示したMR素子の中点電位を示す接続図
である。 【図9】図7に示したMR素子の抵抗値の変化と中点電
位の変化を示す特性図である。 【図10】従来のMR素子式回転センサの構造を示す断
面図である。 【図11】図10に示した回転センサのスリット円板の
平面図である。 【図12】図10に示した回転センサのスリット円板の
平面図である。 【図13】図10に示した回転センサの検出回路を示す
図である。 【符号の説明】 1…回転センサ 2…スリット
円板 3…シャフト 4…シャフト
ロータ 5…ハウジング 6…ベアリン
グ 7〜10…MR素子 11…バイアス
磁石 12…検出回路 13…センサ
ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 7/30 101 G01D 5/244 G01D 5/245 G01P 3/488

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】円板上に同一中心で半径を異にする第1の
    円周と第2の円周を設け、 第1の円周上に等中心角でn分割し、n個中の連続m個
    分に相当するスリット欠落部を残して穿設した(n−
    m)個の角度検出用の第1のスリットと、 前記第1の円周上の連続m個分のスリット欠落部に対応
    した第2の円周上の位置に、前記第1のスリットと等中
    心角で穿設した基準位置検出用のm個の第2のスリット
    と、 前記第1のスリットに対向する位置に配設した第1のM
    R素子と、 前記第2のスリットに対向する位置に配設した第2のM
    R素子と、 前記第1、第2のMR素子を挟んで前記スリット円板と
    反対側に配設したバイアス磁石を有し、前記第1のMR素子と第2のMR素子を直列に接続し、
    その接続中点電位と第1の基準電圧とを比較して、前記
    接続中点電位が前記第1の基準電圧以上である場合に高
    出力を出力する第1の比較器と、 前記接続中点電位と第1の基準電圧よりも低い第2の基
    準電圧とを比較して、前記接続中点電位が前記第2の基
    準電圧よりも低い場合に高 出力を出力する第2の比較器
    と、 前記第1の比較器の出力と前記第2の比較器の出力とを
    入力し、どちらかの出力が高出力である場合に高出力を
    出力するOR回路と、 前記OR回路の出力に基づいて角度信号を検出すると共
    に、前記第2の比較器の出力に基づいて前記 基準位置信
    号を求めるように構成したことを特徴とするMR素子式
    回転センサ。
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