JP3411813B2 - Slurry management system - Google Patents

Slurry management system

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JP3411813B2
JP3411813B2 JP2734098A JP2734098A JP3411813B2 JP 3411813 B2 JP3411813 B2 JP 3411813B2 JP 2734098 A JP2734098 A JP 2734098A JP 2734098 A JP2734098 A JP 2734098A JP 3411813 B2 JP3411813 B2 JP 3411813B2
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JP
Japan
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slurry
tank
passage
recovery
circulation
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昇 勝俣
健正 黒田
裕幸 芋生
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株式会社日平トヤマ
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/025Use, recovery or regeneration of abrasive mediums

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤソー等に
おいて使用されるスラリを調製管理するスラリ管理シス
テムに関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a slurry management system that is used Luz lari preparing managed in wire saw or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、ワイヤソーにおいては、複数の
加工用ローラ間に1本のワイヤが所定ピッチで巻回され
ている。そして、このワイヤが走行されながら、ワイヤ
上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、この状態でワイ
ヤに対しワークが押し付け接触されて、そのワークがウ
ェハ状に切断加工されるようになっている。
2. Description of the Related Art Generally, in a wire saw, one wire is wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers. Then, while the wire is running, a slurry containing loose abrasive grains is supplied onto the wire, and in this state, the work is pressed against and brought into contact with the wire, and the work is cut into a wafer shape. .

【0003】この種のワイヤソーには、スラリを循環使
用するためのスラリタンクが備えられており、このスラ
リタンクに対し、例えば定期的に使用済みのスラリを抜
き取って、新たなスラリの入れ替えを行うための交換装
置が接続されている。交換装置の交換動作及びそのスラ
リを調製管理するためのスラリ管理システムが付設され
ている。そして、このスラリ管理システムにおいては、
調合槽内で新規な砥粒及び分散液を混合してスラリが調
製され、そのスラリが供給通路を介してワイヤソーに供
給されるようになっている。
This type of wire saw is equipped with a slurry tank for circulating and using the slurry. For example, a used slurry is periodically withdrawn to replace a new slurry. A switching device for is connected. A slurry management system for managing the replacement operation of the replacement device and its slurry is additionally provided. And in this slurry management system,
A slurry is prepared by mixing new abrasive grains and a dispersion liquid in a mixing tank, and the slurry is supplied to the wire saw through a supply passage.

【0004】また、ワイヤソーで使用された使用済みス
ラリは、回収通路を介してスラリ管理システムの分離回
収機構に移送されて、その分離回収機構の第1分離回収
段階で、使用可能な砥粒と分散液とに分離され、固形分
として砥粒が回収される。さらに、分離された分散液
は、分離回収機構の第2分離回収段階で、細かい微粒成
分の不純物と使用可能な分散液とに分離され、その分散
液が回収される。そして、回収された砥粒と分散液とが
調合槽に戻されてスラリが再調製され、そのスラリがワ
イヤソーに供給されて再使用されるようになっている。
Further, the used slurry used in the wire saw is transferred to the separation / recovery mechanism of the slurry management system through the recovery passage, and is used in the first separation / recovery stage of the separation / recovery mechanism to remove the usable abrasive grains. It is separated into a dispersion liquid, and the abrasive grains are collected as a solid content. Further, the separated dispersion liquid is separated into impurities of fine particle components and usable dispersion liquid in the second separation and recovery stage of the separation and recovery mechanism, and the dispersion liquid is recovered. Then, the recovered abrasive particles and the dispersion liquid are returned to the mixing tank to re-prepare the slurry, and the slurry is supplied to the wire saw for reuse.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
スラリ交換装置及びスラリ管理システムでは、ワイヤソ
ーの加工運転中等、ワイヤソーのスラリタンクに対しス
ラリ交換動作が行われていないときには、供給通路や回
収通路及びその途中のポンプやバルブ等の内部にスラリ
が滞留して砥粒分が沈殿し、スラリが流れ難くなるとい
う問題があった。
However, in the conventional slurry exchanging device and the slurry managing system, when the slurry exchanging operation is not performed on the slurry tank of the wire saw, such as during the processing operation of the wire saw, the supply passage and the recovery passage are not provided. In addition, there is a problem that the slurry stays inside the pump, valve, etc. on the way and sediments the abrasive grains, making it difficult for the slurry to flow.

【0006】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、スラリの供給通路や回収通路等の内部に
スラリが滞留して砥粒分が沈殿し、スラリが流れ難くな
るおそれを防止することができるスラリ管理システムを
提供することにある。
The present invention has been made by paying attention to the problems existing in such conventional techniques. And has an object, in the interior, such as a supply passage and the recovery passage of the slurry staying slurry precipitated abrasive grains fraction, provide Angeles library management system can prevent the risk of the slurry it becomes difficult to flow Especially.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1に記載の発明では、調合槽内で砥粒及び
分散液を混合してスラリを調製し、そのスラリを供給通
路を介して使用装置に供給するとともに、該使用装置か
らの使用済みのスラリを回収通路を介して分離回収機構
に移送し、そのスラリから使用可能な砥粒及び分散液を
分離回収して、それらを調合槽に戻して再利用するよう
にしたスラリ管理システムにおいて、前記調合槽から使
用装置へのスラリの供給通路には、調合槽とスラリの供
給通路との間でスラリを循環させるための循環用通路を
接続し、前記スラリの循環用通路は、分離回収機構への
使用済みのスラリの回収通路と部分的に共用するように
形成したものである。
In order to achieve the above object, in the invention described in claim 1 , abrasive grains and
The dispersion is mixed to prepare a slurry, and the slurry is fed through
Is supplied to the device to be used through a channel and
Separation and recovery mechanism for used slurries through the recovery passage
The available abrasive particles and dispersion from the slurry.
Separate them and return them to the compounding tank for reuse
In the slurry management system
The slurry supply passage to the equipment is used to supply the mixing tank and the slurry.
A circulation passage for circulating the slurry with the supply passage
The slurry circulation passage is connected to the separation recovery mechanism.
Partially shared with used slurry recovery passage
It was formed .

【0008】[0008]

【0009】[0009]

【0010】請求項に記載の発明では、請求項に記
載のスラリ管理システムにおいて、前記スラリの循環用
通路と使用済みのスラリの回収通路との共用部分には、
スラリの性状を検出するための検出手段を配設したもの
である。
[0010] In the invention described in claim 2, in slurry management system of claim 1, the common portion between the recovery passage of the circulation passage and spent slurry of the slurry,
A detection means for detecting the property of the slurry is provided.

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下に、この発明の一実施形態
を、図面に基づいて説明する。図1〜図3に示すよう
に、この実施形態においては、スラリを使用する使用装
置として、複数のワイヤソー11が装設されている。各
ワイヤソー11にはスラリタンク12が備え付けられ、
それらの内部には撹拌機13が回転可能に配設されると
ともに、外側にはレベルセンサ14が付設されている。
そして、各スラリタンク12内には、油性または水性の
分散液と砥粒とからなる所定量のスラリが貯溜され、ポ
ンプ15により各ワイヤソー11に循環供給される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 3, in this embodiment, a plurality of wire saws 11 are installed as a usage device that uses a slurry. Each wire saw 11 is equipped with a slurry tank 12,
A stirrer 13 is rotatably arranged inside of them and a level sensor 14 is attached to the outside thereof.
Then, a predetermined amount of slurry made of oily or aqueous dispersion liquid and abrasive grains is stored in each slurry tank 12, and is circulated and supplied to each wire saw 11 by the pump 15.

【0013】すなわち、前記各ワイヤソー11において
は、図示しないが、複数の加工用ローラ間に1本のワイ
ヤが所定ピッチで巻回され、そのワイヤが走行されなが
ら、ワイヤ上にスラリタンク12からスラリが供給され
る。この状態で、ワイヤにワークが押し付け接触され
て、ワークがラッピング作用によりウェハ状に切断加工
される。また、この切断加工中には、ワイヤ上から使用
済みのスラリがスラリタンク12内に回収されるととも
に、そのスラリが再び走行中のワイヤ上に供給されて、
スラリの繰り返し使用が図られる。前記各ワイヤソー1
1の間には図1に示すスラリ交換装置Aが接続され、こ
のスラリ交換装置Aにより使用済みのスラリが抜き取ら
れて、新たなスラリに入れ替えられる。この実施形態に
おいて、後記する供給槽16、回収槽24、回収通路2
8、移送通路39、連通路39a、及び循環用通路20
a,28a,76等からスラリ交換装置Aが構成されて
いる。
That is, in each of the wire saws 11, although not shown, one wire is wound between a plurality of processing rollers at a predetermined pitch, and while the wire is running, the slurry is slid from the slurry tank 12 onto the wire. Is supplied. In this state, the work is pressed against and brought into contact with the wire, and the work is cut into a wafer by the lapping action. Also, during this cutting process, the used slurry is collected from the wire into the slurry tank 12, and the slurry is supplied again to the running wire,
The slurry can be used repeatedly. Each wire saw 1
1 is connected to the slurry exchange device A shown in FIG. 1, and the used slurry is extracted by the slurry exchange device A and replaced with a new slurry. In this embodiment, a supply tank 16, a recovery tank 24, and a recovery passage 2 described later are provided.
8, transfer passage 39, communication passage 39a, and circulation passage 20
A slurry exchanging device A is composed of a, 28a, 76 and the like.

【0014】図1に示すように、前記ワイヤソー11に
はスラリタンク12への供給用スラリを貯留しているス
ラリ供給槽16が対向配置され、その内部には撹拌機1
7が回転可能に配設されるとともに、外側にはレベルセ
ンサ18,19が付設されている。供給槽16からスラ
リタンク12へのスラリの供給通路20中にはバルブ2
1、ポンプ22及びバルブ23が配設されている。そし
て、供給槽16内に貯溜された新規なスラリが、ポンプ
22により供給通路20のバルブ23を介して、各ワイ
ヤソー11のスラリタンク12に供給される。また、供
給通路20中には供給槽16と供給通路20との間でス
ラリを循環させるための循環用通路20aが接続されて
いる。
As shown in FIG. 1, the wire saw 11 is opposed to a slurry supply tank 16 for storing the slurry for supply to the slurry tank 12, and the stirrer 1 is provided inside thereof.
7 is rotatably arranged, and level sensors 18 and 19 are attached to the outside. A valve 2 is provided in the slurry supply passage 20 from the supply tank 16 to the slurry tank 12.
1, a pump 22 and a valve 23 are provided. Then, the new slurry stored in the supply tank 16 is supplied to the slurry tank 12 of each wire saw 11 by the pump 22 via the valve 23 of the supply passage 20. In addition, a circulation passage 20 a for circulating slurry between the supply tank 16 and the supply passage 20 is connected to the supply passage 20.

【0015】前記ワイヤソー11にはスラリタンク12
から抜き取られた使用済みのスラリを回収貯留しておく
回収槽24が対向配置され、その内部には撹拌機25が
回転可能に配設されるとともに、外側にはレベルセンサ
26,27が付設されている。スラリタンク12から回
収槽24への回収通路28中には、ポンプ15及びバル
ブ31が配設され、回収槽24から後述するスラリ移送
通路39への連通路39a中にはバルブ29、ポンプ3
0及びバルブ35が配設されている。そして、各ワイヤ
ソー11におけるスラリタンク12内の使用済みのスラ
リの全部または一部が、ポンプ15によりバルブ31及
び回収通路28を介して、回収槽24内へ定期的に或い
はスライス完了毎に回収される。
The wire saw 11 has a slurry tank 12
A collection tank 24 for collecting and storing the used slurry extracted from is oppositely arranged, a stirrer 25 is rotatably arranged inside thereof, and level sensors 26 and 27 are provided outside thereof. ing. A pump 15 and a valve 31 are provided in a recovery passage 28 from the slurry tank 12 to the recovery tank 24, and a valve 29 and a pump 3 are provided in a communication passage 39a from the recovery tank 24 to a slurry transfer passage 39 described later.
0 and a valve 35 are provided. Then, all or a part of the used slurry in the slurry tank 12 of each wire saw 11 is collected by the pump 15 into the collection tank 24 via the valve 31 and the collection passage 28 regularly or at every slice completion. It

【0016】また、このスラリタンク12からの使用済
みスラリの回収量に応じて、前記供給槽16からスラリ
タンク12内に、供給用スラリが補給される。これによ
り、スラリの繰り返し使用に伴って、スラリ中における
ワークの切り粉の混入量が次第に増大したり、ラッピン
グで破砕される砥粒の比率が増大して正常な粒径の砥粒
量が次第に減少することによる、ワークの切断効率が低
下するのが防止される。また、回収通路28と連通路3
9a中のバルブ35との間には、循環用通路28aが接
続され、バルブ35を介し、回収槽24と回収通路28
との間でスラリを循環させることができようになってい
る。
Further, according to the amount of the used slurry recovered from the slurry tank 12, the supply slurry is replenished from the supply tank 16 into the slurry tank 12. As a result, with repeated use of the slurry, the amount of cutting chips mixed in the work gradually increases, or the ratio of the abrasive grains crushed by lapping increases, and the amount of abrasive grains having a normal grain size gradually increases. It is possible to prevent the work cutting efficiency from being lowered due to the decrease. In addition, the collection passage 28 and the communication passage 3
A circulation passage 28 a is connected to the valve 35 in 9 a, and the recovery tank 24 and the recovery passage 28 are connected via the valve 35.
The slurry can be circulated between the and.

【0017】図2に示すように、前記回収槽24の下流
側には計量タンク34が配設され、回収槽24内の使用
済みのスラリが、図1のポンプ30により連通路39a
からバルブ35を介して、この計量タンク34内に供給
される。計量タンク34の外側にはレベルセンサ36,
37及び温度センサ38が付設され、レベルセンサ3
6,37により1回分の分離処理に供する使用済みスラ
リが計量されるとともに、温度センサ38によりスラリ
の温度が検出される。
As shown in FIG. 2, a measuring tank 34 is disposed downstream of the recovery tank 24, and the used slurry in the recovery tank 24 is communicated with the communication passage 39a by the pump 30 shown in FIG.
Is supplied into the measuring tank 34 through the valve 35. On the outside of the measuring tank 34, a level sensor 36,
37 and a temperature sensor 38 are attached, and the level sensor 3
The used slurry for one separation process is weighed by 6, 37, and the temperature of the slurry is detected by the temperature sensor 38.

【0018】前記計量タンク34の下流側には移送通路
39を介して図3に示す分離回収機構40が接続され、
その移送通路39内にはバルブ41,42,43,44
及びポンプ45が配設されている。なお、回収通路28
のみならず、移送通路39及び連通路39aにて、本発
明でいう回収通路が構成されている。分離回収機構40
には、第1分離回収機構としての第1デカンタ46と、
第2分離回収機構としての第2デカンタ47とが装備さ
れている。そして、計量タンク34内の使用済みスラリ
が移送通路39を介して分離回収機構40に移送される
とき、その使用済みスラリ中から不要な成分が両デカン
タ46,47により除去されて、再利用可能な砥粒及び
分散液が分離回収される。
A separating and collecting mechanism 40 shown in FIG. 3 is connected to the downstream side of the measuring tank 34 through a transfer passage 39.
Valves 41, 42, 43, 44 are provided in the transfer passage 39.
And a pump 45 are provided. The recovery passage 28
Not only that, the transfer passage 39 and the communication passage 39a constitute a recovery passage according to the present invention. Separation and collection mechanism 40
Includes a first decanter 46 as a first separating and collecting mechanism,
It is equipped with a second decanter 47 as a second separation and recovery mechanism. When the used slurry in the measuring tank 34 is transferred to the separation / recovery mechanism 40 via the transfer passage 39, unnecessary components are removed from the used slurry by the decanters 46 and 47 and can be reused. Abrasive grains and dispersion are separated and collected.

【0019】すなわち、前記第1デカンタ46及び第2
デカンタ47としては、例えばスクリューコンベア型の
遠心分離機が使用され、第2デカンタ47の回転速度が
第1デカンタ46の回転速度の2〜3倍程度に設定され
ている。そして、第1デカンタ46により、使用済みの
スラリが、砥粒と、その砥粒よりも細かい微粒成分を不
純物として含む濁分散液とに遠心分離され、固形分とし
て砥粒が回収される。また、第1デカンタ46により分
離された濁分散液は、第2デカンタ47により、使用可
能な砥粒よりも細かい微粒成分の不純物と、使用可能な
分散液とに遠心分離されて、分散液が回収される。
That is, the first decanter 46 and the second decanter 46
As the decanter 47, for example, a screw conveyor type centrifugal separator is used, and the rotation speed of the second decanter 47 is set to about 2 to 3 times the rotation speed of the first decanter 46. Then, the used slurry is centrifugally separated by the first decanter 46 into abrasive particles and a turbid dispersion liquid containing fine particle components finer than the abrasive particles as impurities, and the abrasive particles are collected as solid content. The turbid dispersion liquid separated by the first decanter 46 is centrifugally separated by the second decanter 47 into fine particle component impurities smaller than the usable abrasive grains and the usable dispersion liquid, and the dispersion liquid is obtained. Be recovered.

【0020】さらに、前記第2デカンタ47によって分
離された使用可能な分散液は、バルブ48,70を介し
て、第1デカンタ46によって分離された使用可能な砥
粒と混合しながら下流側に排出され、以降の配管系への
砥粒の流れを促進させる作用もなす。一方、第2デカン
タ47によって分離された微粒成分の不純物は、収容タ
ンク49内に排出して貯溜される。
Further, the usable dispersion liquid separated by the second decanter 47 is discharged downstream through the valves 48 and 70 while being mixed with the usable abrasive grains separated by the first decanter 46. And also has the function of promoting the flow of abrasive grains into the piping system thereafter. On the other hand, the impurities of the fine particle component separated by the second decanter 47 are discharged and stored in the storage tank 49.

【0021】前記第1デカンタ46の下流側には第1切
換バルブ50及び第2切換バルブ51が配設されてい
る。そして、前記第1デカンタ46から排出される使用
可能な砥粒及び分散液は、第1切換バルブ50の切換え
により、第2切換バルブ51上または計量タンク34内
のいずれか一方に導かれる。また、第2切換バルブ51
上に導かれた使用可能な砥粒及び分散液は、第2切換バ
ルブ51の切換えにより、一対の調合槽54のいずれか
一方に導入される。
A first switching valve 50 and a second switching valve 51 are arranged downstream of the first decanter 46. Then, the usable abrasive particles and the dispersion liquid discharged from the first decanter 46 are introduced to either the second switching valve 51 or the measuring tank 34 by switching the first switching valve 50. In addition, the second switching valve 51
The usable abrasive grains and dispersion liquid introduced above are introduced into one of the pair of mixing tanks 54 by switching the second switching valve 51.

【0022】前記各調合槽54の内部には撹拌機55が
回転可能に配設されるとともに、外側には重量センサ5
6及び温度センサ57が付設されている。そして、重量
センサ56により調合槽54内のスラリの重量が検出さ
れるとともに、温度センサ57によりスラリの温度が検
出される。
A stirrer 55 is rotatably disposed inside each of the mixing tanks 54, and a weight sensor 5 is disposed outside.
6 and a temperature sensor 57 are attached. Then, the weight sensor 56 detects the weight of the slurry in the mixing tank 54, and the temperature sensor 57 detects the temperature of the slurry.

【0023】前記各調合槽54の上部にはホッパ58が
配設され、ホッパ58内に収容された新規な砥粒がスク
リューフィーダ59を介して各調合槽54内に供給され
る。各ホッパ58にはエア供給路60を介してエアコン
プレッサ61が接続され、調合槽54内への砥粒の供給
時に、エアコンプレッサ61からホッパ58内に圧縮エ
アが供給されて、砥粒の供給が促進される。各ホッパ5
8及び各調合槽54には吸引路62を介して集塵器63
が接続され、ホッパ58及び調合槽54内で浮遊してい
る砥粒の微粒成分が、この集塵器63によって吸引除去
される。
A hopper 58 is provided above each of the mixing tanks 54, and the new abrasive grains contained in the hoppers 58 are supplied into each of the mixing tanks 54 via a screw feeder 59. An air compressor 61 is connected to each hopper 58 via an air supply path 60, and when the abrasive grains are supplied into the mixing tank 54, compressed air is supplied from the air compressor 61 into the hopper 58 to supply the abrasive grains. Is promoted. Each hopper 5
8 and each of the mixing tanks 54 through the suction passage 62.
The fine particle component of the abrasive grains floating in the hopper 58 and the mixing tank 54 is sucked and removed by the dust collector 63.

【0024】前記調合槽54の側部には図3に示す複数
の分散液槽64が配設され、これらの分散液槽64内に
貯溜された油性または水性の分散液が、バルブ65、ポ
ンプ66及びバルブ67を介して各調合槽54内に供給
される。そして、各調合槽54内に供給された新規の砥
粒及び分散液と、分離回収機構40から戻された砥粒及
び分散液とが撹拌混合されて、所定調合比率のスラリが
調製される。なお、このスラリの調製動作は、一対の調
合槽54において交互に実行される。
A plurality of dispersion liquid tanks 64 shown in FIG. 3 are disposed on the side of the mixing tank 54, and the oily or aqueous dispersion liquid stored in these dispersion liquid tanks 64 is controlled by a valve 65 and a pump. It is supplied into each mixing tank 54 via 66 and a valve 67. Then, the new abrasive grains and the dispersion liquid supplied into each of the mixing tanks 54 and the abrasive grains and the dispersion liquid returned from the separating and collecting mechanism 40 are stirred and mixed to prepare a slurry having a predetermined mixing ratio. The slurry preparation operation is alternately executed in the pair of mixing tanks 54.

【0025】前記分散液槽64から前記分離回収機構4
0への分散液の供給路には分岐供給路68が接続され、
その分岐供給路68中にはバルブ69,70が配設され
ている。第2デカンタ47にて分離回収された分散液は
定期的にバルブ48から収容タンク49へ排出される。
このときにバルブ69が開かれ、分散液槽64内の分散
液が分岐供給路68を介して第1デカンタ46に供給さ
れ、第1デカンタ46によって分離された使用可能な砥
粒に混入されて砥粒の流れを促進させる作用をなすとと
もに、調合槽54へ新しい分散液を供給する。
From the dispersion liquid tank 64, the separating and collecting mechanism 4
A branch supply passage 68 is connected to the supply passage of the dispersion liquid to 0,
Valves 69 and 70 are arranged in the branch supply path 68. The dispersion liquid separated and collected by the second decanter 47 is periodically discharged from the valve 48 to the storage tank 49.
At this time, the valve 69 is opened, the dispersion liquid in the dispersion liquid tank 64 is supplied to the first decanter 46 via the branch supply path 68, and mixed with the usable abrasive grains separated by the first decanter 46. It serves to accelerate the flow of abrasive grains and supplies a new dispersion liquid to the mixing tank 54.

【0026】前記各調合槽54と供給槽16との間には
供給通路71が接続され、その供給通路71中にはバル
ブ72,73,74及びポンプ75が配設されている。
そして、調合槽54内で調製されたスラリが、この供給
通路71を介して供給槽16内に供給貯溜された後、各
ワイヤソー11のスラリタンク12に供給される。
A supply passage 71 is connected between each of the mixing tanks 54 and the supply tank 16, and valves 72, 73, 74 and a pump 75 are arranged in the supply passage 71.
The slurry prepared in the mixing tank 54 is supplied and stored in the supply tank 16 through the supply passage 71, and then supplied to the slurry tank 12 of each wire saw 11.

【0027】前記スラリの供給通路71の途中における
バルブ74には、調合槽54と供給通路71との間でス
ラリを循環させるための循環用通路76が接続され、そ
の循環用通路76中にはバルブ77が配設されている。
また、このスラリの循環用通路76と分離回収機構40
への使用済みスラリの移送通路39とは、バルブ43,
44間において部分的に共用されている。そして、調合
槽54内でのスラリの調製中及び調製後に、ポンプ75
の回転に伴って、調合槽54内のスラリが供給通路71
の一部及び循環用通路76を介して循環される。
A circulation passage 76 for circulating the slurry between the mixing tank 54 and the supply passage 71 is connected to the valve 74 in the middle of the slurry supply passage 71. A valve 77 is provided.
In addition, the slurry circulation passage 76 and the separation / recovery mechanism 40
The used slurry transfer passage 39 to the valve 43,
It is partially shared between 44. Then, during and after the preparation of the slurry in the mixing tank 54, the pump 75
With the rotation of the slurry, the slurry in the mixing tank 54
Is circulated through a part of the flow path and the circulation passage 76.

【0028】前記循環用通路76の共用部分39(7
6)には、スラリの性状を検出するための検出手段とし
ての比重計78、流量計79及び粘度計80が接続され
ている。そして、移送通路39を介して分離回収機構4
0に使用済みのスラリが移送されるとき、または循環用
通路76を介して調合槽54内のスラリが循環されると
き、それらのスラリの比重、流量及び粘度が比重計7
8、流量計79及び粘度計80によって検出される。
The common portion 39 (7) of the circulation passage 76
A densitometer 78, a flow meter 79, and a viscometer 80 are connected to 6) as detecting means for detecting the property of the slurry. Then, the separation and recovery mechanism 4 is transferred through the transfer passage 39.
When the used slurry is transferred to 0 or when the slurry in the mixing tank 54 is circulated through the circulation passage 76, the specific gravity, the flow rate and the viscosity of the slurry are determined by the specific gravity meter 7
8, detected by flowmeter 79 and viscometer 80.

【0029】前記比重計78、流量計79及び粘度計8
0の上流側において、循環用通路76の共用部分39
(76)には温度調節器81が接続されている。そし
て、移送通路39を介して分離回収機構40に使用済み
のスラリが移送されるとき、及び供給通路71の一部と
循環用通路76とを介して調合槽54内のスラリが循環
されるとき、前記温度センサ38,57の検出結果に基
づいて、この温度調節器81によりスラリの温度が加減
される。これにより、スラリの温度が所定範囲内に保持
されて、スラリの温度変化に伴って粘度が変動するのが
抑制される。
The specific gravity meter 78, the flow meter 79 and the viscometer 8
On the upstream side of 0, the common portion 39 of the circulation passage 76
A temperature controller 81 is connected to (76). Then, when the used slurry is transferred to the separation / recovery mechanism 40 via the transfer passage 39, and when the slurry in the mixing tank 54 is circulated through a part of the supply passage 71 and the circulation passage 76. The temperature of the slurry is adjusted by the temperature controller 81 based on the detection results of the temperature sensors 38 and 57. As a result, the temperature of the slurry is kept within a predetermined range, and the fluctuation of the viscosity due to the temperature change of the slurry is suppressed.

【0030】次に、前記第1切換バルブ50及び第2切
換バルブ51の構成について詳細に説明する。図4〜図
6に示すように、各切換バルブ50,51はバルブケー
ス84を備え、その上部には1つの流入口85が形成さ
れるとともに、下部には2つの流出口86,87が形成
されている。そして、第1切換バルブ50における流入
口85には第1デカンタ46からの配管路が接続される
とともに、一方(図4の左側)の流出口87には計量タ
ンク34への配管路が接続されている。また、第1切換
バルブ50の他方(図4の右側)の流出口86と第2切
換バルブ51の流入口85とは、直接または配管路を介
して接続されている。さらに、第2切換バルブ51の2
つの流出口86,87には各調合槽54への配管路がそ
れぞれ接続されている。
Next, the structures of the first switching valve 50 and the second switching valve 51 will be described in detail. As shown in FIGS. 4 to 6, each switching valve 50, 51 is provided with a valve case 84, one inflow port 85 is formed in the upper part thereof, and two outflow ports 86, 87 are formed in the lower part thereof. Has been done. A pipe line from the first decanter 46 is connected to the inflow port 85 of the first switching valve 50, and a pipe line to the weighing tank 34 is connected to one outflow port 87 (on the left side in FIG. 4). ing. Further, the other outlet (the right side in FIG. 4) of the first switching valve 50 and the inlet 85 of the second switching valve 51 are connected directly or via a pipeline. Furthermore, 2 of the second switching valve 51
Pipe lines to the respective mixing tanks 54 are connected to the two outlets 86 and 87, respectively.

【0031】前記バルブケース84の両側壁には回転軸
88が、オイルレスブッシュ89及びオイルシール90
を介して回転可能に挿通支持されている。バルブケース
84内において、回転軸88には弁体91が固定され、
回転軸88の回転に伴って、図2に実線で示す第1切換
位置P1と、鎖線で示す第2切換位置P2とに回動配置
される。
A rotary shaft 88 is provided on both side walls of the valve case 84, an oilless bush 89 and an oil seal 90.
It is rotatably inserted and supported via. In the valve case 84, the valve body 91 is fixed to the rotary shaft 88,
With the rotation of the rotary shaft 88, the rotary shaft 88 is pivotally arranged between a first switching position P1 shown by a solid line in FIG. 2 and a second switching position P2 shown by a chain line.

【0032】前記バルブケース84の外側にはエアシリ
ンダ92が配設され、そのピストンロッド93がレバー
94を介して回転軸88に連結されている。そして、前
記エアコンプレッサ61からのエア供給に伴い、エアシ
リンダ92が没入動作されたときには、弁体91が第1
切換位置P1に回動配置されて、流入口85から他方の
流出口86に至る流路が開放される。また、エアシリン
ダ92が突出動作されたときには、弁体91が第2切換
位置P2に回動配置されて、流入口85から他方の流出
口87に至る流路が開放される。
An air cylinder 92 is arranged outside the valve case 84, and a piston rod 93 thereof is connected to a rotary shaft 88 via a lever 94. Then, when the air cylinder 92 is retracted due to the air supply from the air compressor 61, the valve body 91 moves to the first position.
It is pivotally arranged at the switching position P1 and the flow path from the inflow port 85 to the other outflow port 86 is opened. When the air cylinder 92 is projected, the valve body 91 is pivotally arranged at the second switching position P2, and the flow path from the inflow port 85 to the other outflow port 87 is opened.

【0033】前記のように、この実施形態の切換バルブ
50,51においては、駆動トルクの大きなエアシリン
ダ92により、弁体91が第1切換位置P1と第2切換
位置P2とに切換え回動されるようになっている。この
ため、切換バルブ50,51が砥粒と分散液とを分離す
る第1デカンタ46の砥粒取出側に配設されていて、バ
ルブケース84内に超高粘度の砥粒が流動していても、
弁体91を大きな駆動力にて、所定の切換位置へ正確に
作動させることができる。
As described above, in the switching valves 50 and 51 of this embodiment, the valve cylinder 91 is switched and rotated between the first switching position P1 and the second switching position P2 by the air cylinder 92 having a large driving torque. It has become so. Therefore, the switching valves 50 and 51 are arranged on the abrasive grain extraction side of the first decanter 46 that separates the abrasive grains and the dispersion liquid, and the ultrahigh viscosity abrasive grains are flowing in the valve case 84. Also,
The valve element 91 can be accurately operated to a predetermined switching position with a large driving force.

【0034】次に、前記のように構成されたスラリ管理
システムの電気的回路構成について説明する。図2に示
すように、中央処理装置(CPU)97は、スラリ管理
システムの各部の動作を制御する。リードオンリメモリ
(ROM)98は、スラリ管理システムの動作に必要な
各種の制御プログラムを記憶している。ランダムアクセ
スメモリ(RAM)99は、制御プログラムの実行に伴
って得られたデータ等を一時的に記憶する。そして、こ
のCPU97、ROM98及びRAM99により、制御
手段が構成されている。
Next, the electrical circuit configuration of the slurry management system configured as described above will be described. As shown in FIG. 2, a central processing unit (CPU) 97 controls the operation of each unit of the slurry management system. A read only memory (ROM) 98 stores various control programs necessary for the operation of the slurry management system. The random access memory (RAM) 99 temporarily stores data and the like obtained by executing the control program. The CPU 97, the ROM 98 and the RAM 99 constitute a control means.

【0035】前記CPU97には、比重計78、流量計
79及び粘度計80からの検出信号、並びに操作パネル
100からの操作信号が入力される。また、CPU97
からは、駆動回路101,102,103を介して、バ
ルブ41〜44,72〜74を含む各種バルブ、ポンプ
45,75を含む各種ポンプ、及び各デカンタ46,4
7に作動信号が出力される。
To the CPU 97, detection signals from the pycnometer 78, the flowmeter 79 and the viscometer 80, and an operation signal from the operation panel 100 are input. Also, the CPU 97
Through the drive circuits 101, 102 and 103, various valves including valves 41 to 44 and 72 to 74, various pumps including pumps 45 and 75, and decanters 46 and 4 respectively.
An operation signal is output to 7.

【0036】そして、前記CPU97は、使用済みスラ
リの分離処理に際して、バルブ41〜44の切換えによ
り移送通路39を形成した状態で、ポンプ45の作動に
より、計量タンク34から分離回収機構40に使用済み
のスラリを移送させる。このとき、比重計78、流量計
79及び粘度計80により、使用済みスラリの比重、流
量及び粘度を検出させて、その検出信号に応じて、分離
回収機構40へのスラリの供給流量を調整したり、スラ
リの温度を調整する等して、第1デカンタ46における
使用可能な砥粒の分離効率、及び第2デカンタ47にお
け使用可能な分散液の分離効率を一定に制御する。
When the used slurry is separated from the measuring tank 34, the CPU 97 operates the pump 45 while the transfer passage 39 is formed by switching the valves 41 to 44. Transfer the slurry. At this time, the specific gravity, flow rate 79, and viscometer 80 are used to detect the specific gravity, flow rate, and viscosity of the used slurry, and the supply flow rate of the slurry to the separation / recovery mechanism 40 is adjusted according to the detection signal. Alternatively, the separation efficiency of the abrasive particles usable in the first decanter 46 and the separation efficiency of the dispersion liquid usable in the second decanter 47 are controlled to be constant by adjusting the temperature of the slurry or the like.

【0037】また、CPU97は、調合槽54でのスラ
リの調製中また調製後に、バルブ43,44,72〜7
4の切換えにより循環用通路76を形成した状態で、ポ
ンプ75の作動により、供給通路71の一部と循環用通
路76とを介して調合槽54内のスラリを循環させる。
このとき、比重計78、流量計79及び粘度計80によ
り、スラリの比重、流量及び粘度を検出させて、その検
出信号に応じて、調合槽54に対するホッパ58からの
砥粒の供給量及び分散液64からの分散液の供給量を調
整する。これにより、調製スラリにおける砥粒と分散液
との調合比率を所定値となるように調整制御する。
Further, the CPU 97 controls the valves 43, 44, 72 to 7 during and after the preparation of the slurry in the mixing tank 54.
In the state where the circulation passage 76 is formed by switching 4, the operation of the pump 75 circulates the slurry in the mixing tank 54 through a part of the supply passage 71 and the circulation passage 76.
At this time, the specific gravity, flow rate 79, and viscometer 80 are used to detect the specific gravity, flow rate, and viscosity of the slurry, and the amount and distribution of abrasive grains from the hopper 58 to the mixing tank 54 are detected according to the detection signals. The supply amount of the dispersion liquid from the liquid 64 is adjusted. As a result, the mixing ratio of the abrasive grains and the dispersion liquid in the prepared slurry is adjusted and controlled to be a predetermined value.

【0038】次に、この実施形態のスラリ管理システム
について動作を説明する。さて、各ワイヤソー11にお
いて、ワークの切断加工が開始されると、スラリタンク
12内のスラリがワイヤソー11との間で循環されて、
ワイヤソー11のワイヤ上に供給される。そして、各ワ
イヤソー11で使用されたスラリは、スラリタンク12
から回収槽24内へ定期的に或いはスライス完了毎に回
収され、その回収量に応じて、供給槽16からスラリタ
ンク12内に新規なスラリが補給される。
Next, the operation of the slurry management system of this embodiment will be described. Now, in each wire saw 11, when the cutting work of the work is started, the slurry in the slurry tank 12 is circulated between the wire saw 11 and the wire saw 11,
It is supplied onto the wire of the wire saw 11. The slurry used in each wire saw 11 is the slurry tank 12
From the supply tank 16 to the inside of the recovery tank 24 periodically or every time the slice is completed, and new slurry is replenished from the supply tank 16 into the slurry tank 12.

【0039】また、回収槽24内に回収された使用済み
のスラリは、計量タンク34及び移送通路39を介して
分離回収機構40に移送され、第1デカンタ46及び第
2デカンタ47により、そのスラリ中から使用可能な砥
粒及び分散液が分離回収される。そして、回収された砥
粒及び分散液は調合槽54内に戻され、ホッパ58から
供給される砥粒及び分散液槽64から供給される分散液
と混合して、所定調合比率のスラリが調製される。
The used slurry recovered in the recovery tank 24 is transferred to the separation / recovery mechanism 40 through the measuring tank 34 and the transfer passage 39, and the slurry is recovered by the first decanter 46 and the second decanter 47. The usable abrasive grains and dispersion liquid are separated and collected from the inside. Then, the recovered abrasive particles and dispersion liquid are returned to the mixing tank 54 and mixed with the abrasive particles supplied from the hopper 58 and the dispersion liquid supplied from the dispersion liquid tank 64 to prepare a slurry having a predetermined mixing ratio. To be done.

【0040】さらに、このスラリの調製中及び調製後に
は、調合槽54内のスラリが供給通路71の一部と循環
用通路76とを介して循環される。そして、供給槽16
内のスラリが所定レベル以下になったとき、調合槽54
内の調製後のスラリが供給通路71を介して供給槽16
に供給される。
Furthermore, during and after the preparation of the slurry, the slurry in the mixing tank 54 is circulated through a part of the supply passage 71 and the circulation passage 76. And the supply tank 16
When the slurry inside falls below a predetermined level, the mixing tank 54
The prepared slurry inside the supply tank 16 through the supply passage 71.
Is supplied to.

【0041】次に、前記回収槽24、供給槽16及び調
合槽54内のスラリを循環させる場合の動作を、図8〜
図10のフローチャートに基づいてさらに詳細に説明す
る。なお、このフローチャートは、ROM98に記憶さ
れている制御プログラムに基づいて、CPU97の制御
のもとで進行する。
Next, the operation of circulating the slurry in the recovery tank 24, the supply tank 16 and the mixing tank 54 will be described with reference to FIGS.
A more detailed description will be given based on the flowchart of FIG. Note that this flowchart proceeds under the control of the CPU 97 based on the control program stored in the ROM 98.

【0042】まず、図8において、回収槽24における
スラリの循環フローについて説明する。スラリの循環開
始(S1)により、ポンプ30に異常がないか(S
2)、回収槽24のタンクレベルが低すぎないか(S
3)、ワイヤソー11よりスラリ抜き取り動作中でない
か(S4)が常に判別され、これらの条件が整っている
間、スラリの循環動作は継続される。すなわち、ポンプ
30によって回収槽24内のスラリがバルブ29を介し
て連通路39への一部及びバルブ35を介して循環用通
路28a,回収通路28を通って再び回収槽24内に戻
され、この回路中でスラリの循環が繰り返される。スラ
リの循環が繰り返されている間にポンプ30の異常や回
収槽24のタンクレベルが低レベルに達した場合には、
スラリの循環が停止(S5)される。また、バルブ31
が開かれるとともに、ポンプ15が駆動されると、ワイ
ヤソー11からスラリの抜き取り動作が開始されたとき
はバルブ29が閉じられるとともに、ポンプ30が駆動
停止し、スラリの循環動作が停止(S5)される。そし
て、スラリの抜き取り動作が完了される(S7)と、再
びスラリの循環動作が開始される。
First, the circulation flow of slurry in the recovery tank 24 will be described with reference to FIG. There is no abnormality in the pump 30 due to the start of slurry circulation (S1) (S
2) Is the tank level of the recovery tank 24 too low (S
3) It is always determined whether the slurry is being extracted from the wire saw 11 (S4), and while these conditions are satisfied, the slurry circulation operation is continued. That is, the slurry in the recovery tank 24 is returned to the recovery tank 24 again by the pump 30 through the valve 29, a part of the communication path 39, the valve 35, the circulation path 28a and the recovery path 28. Circulation of the slurry is repeated in this circuit. When the abnormality of the pump 30 or the tank level of the recovery tank 24 reaches a low level while the circulation of the slurry is repeated,
Circulation of the slurry is stopped (S5). Also, the valve 31
Is opened and the pump 15 is driven, the valve 29 is closed when the operation of extracting the slurry from the wire saw 11 is started, the pump 30 is stopped, and the circulation operation of the slurry is stopped (S5). It Then, when the extraction operation of the slurry is completed (S7), the circulation operation of the slurry is started again.

【0043】次に、図9において、供給槽16における
スラリの循環フローについて説明する。スラリの循環開
始(S8)により、ポンプ30に異常がないか(S
9)、供給槽16のタンクレベルが低すぎないか(S1
0)が常に判別され、これらの条件が整っている間、ス
ラリの循環動作は継続される。すなわち、供給路20、
循環用通路20aを通って、再び供給路16内に戻さ
れ、この回路中でスラリの循環が繰り返される。その間
にポンプ22の異常や供給槽16のタンクレベルが低レ
ベルに達した場合には、スラリの循環が停止(S11)
される。
Next, referring to FIG. 9, a circulation flow of the slurry in the supply tank 16 will be described. Is there any abnormality in the pump 30 due to the start of slurry circulation (S8)?
9) Is the tank level of the supply tank 16 too low? (S1
0) is always discriminated, and while these conditions are satisfied, the slurry circulation operation is continued. That is, the supply path 20,
It is returned to the inside of the supply passage 16 through the circulation passage 20a, and the circulation of the slurry is repeated in this circuit. During that time, if the pump 22 is abnormal or the tank level of the supply tank 16 reaches a low level, the circulation of the slurry is stopped (S11).
To be done.

【0044】次に、図10において、調合槽54におけ
る循環フローについて説明する。スラリ管理システムに
おける操作パネル100上の循環ボタンがオンされると
(S12)、スラリの循環開始条件が整っているか否か
が判別される(S13)。すなわち、スラリ管理システ
ムが自動運転中であるか、スラリの抜き取り動作中でな
いか、スラリの供給動作中でないか、フラッシング中で
ないか、あるいは調合槽54内に所定量のスラリが収容
されているか等の判別が行われる。そして、循環開始条
件が整っている場合には、バルブ43,44,72〜7
4等が切換えられて、循環用通路76が形成される(S
14)。この状態で、ポンプ75が低速で回転されて、
調合槽54内のスラリが供給通路71の一部と循環用通
路76とを介して循環が開始される(S15)。
Next, referring to FIG. 10, a circulation flow in the mixing tank 54 will be described. When the circulation button on the operation panel 100 in the slurry management system is turned on (S12), it is determined whether or not the conditions for starting circulation of the slurry are satisfied (S13). That is, whether the slurry management system is operating automatically, the slurry is not being extracted, the slurry is being supplied, the flushing is not being performed, or whether a predetermined amount of slurry is contained in the mixing tank 54, or the like. Is determined. Then, when the circulation start condition is satisfied, the valves 43, 44, 72 to 7
4 and the like are switched to form a circulation passage 76 (S
14). In this state, the pump 75 is rotated at a low speed,
Circulation of the slurry in the mixing tank 54 is started via a part of the supply passage 71 and the circulation passage 76 (S15).

【0045】スラリの循環中、操作パネル100上の循
環ボタンがオフされたか否かの判別(S16)、及び自
動運転中にバッチ処理が開始されたか否かの判別(S1
7)が行われる。また、自動運転中にスラリタンク12
から回収槽24へのスラリの抜き取り動作や、調合槽5
4から供給槽16へのスラリの供給動作が開始されたか
否かの判別(S18)、及び配管路内等を清掃するフラ
ッシングが開始されたか否かの判別(S19)が行わ
れ、このS16〜S19の判別結果が全てノウであれ
ば、そのままスラリの循環が続けられる。一方、このS
16〜S19のいずれかの判別結果がイエスになると、
ポンプ75が停止され(S20)、バルブ43,44,
72〜74等が切換えられて、循環用通路76が遮断さ
れ、循環動作が停止される(S21)。その後も前記S
12からの動作を繰り返す。
During the circulation of the slurry, it is determined whether the circulation button on the operation panel 100 is turned off (S16), and whether the batch processing is started during the automatic operation (S1).
7) is performed. In addition, the slurry tank 12 during automatic operation
From the recovery tank 24 to the recovery tank 24 and the mixing tank 5
4 is performed to determine whether the operation of supplying the slurry to the supply tank 16 has been started (S18), and whether the flushing for cleaning the inside of the pipeline or the like has been started (S19). If the determination results of S19 are all "NO", the circulation of the slurry is continued. On the other hand, this S
If the determination result of any of 16 to S19 is YES,
The pump 75 is stopped (S20), and the valves 43, 44,
72 to 74 are switched, the circulation passage 76 is blocked, and the circulation operation is stopped (S21). After that, the above S
The operation from 12 is repeated.

【0046】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 ・ この実施形態においては、回収槽24と回収通路2
8,39,39aとの間、及び供給槽16と供給通路2
0との間で、それぞれスラリを循環させるための循環用
通路76を接続した。そのため、ワイヤソー11へのス
ラリの入れ替え動作中でないときでも、回収槽24内の
スラリをそれぞれ回収通路28,39,39a、供給通
路20との間で循環させることができる。従って、通路
20,28、バルブ21,29,35又はポンプ20,
33等の内部でスラリが滞留することがないので、スラ
リの沈殿や詰まりを防止でき、スラリが流れ難くなるお
それを防止することができる。
The effects expected from the above embodiment will be described below. -In this embodiment, the collection tank 24 and the collection passage 2
8, 39, 39a, and between the supply tank 16 and the supply passage 2
The circulation passages 76 for circulating the slurry are connected to each other. Therefore, the slurry in the recovery tank 24 can be circulated between the recovery passages 28, 39, 39a and the supply passage 20 even when the operation of replacing the slurry in the wire saw 11 is not being performed. Therefore, the passages 20, 28, the valves 21, 29, 35 or the pumps 20,
Since the slurry does not stay inside 33 or the like, sedimentation or clogging of the slurry can be prevented, and it is possible to prevent the slurry from becoming difficult to flow.

【0047】・ この実施形態においては、調合槽54
から使用装置としてのワイヤソー11へのスラリの供給
通路71に、スラリを循環させるための循環用通路76
が接続されている。このため、ワイヤソー11の加工運
転中等において、調合槽54からのスラリの供給動作が
止まっているときでも、常に配管内でスラリの循環が行
われるため、調合槽54や供給通路71の内部にスラリ
が滞留することはない。よって、滞留したスラリ中で砥
粒分が沈殿して、スラリが流れ難くなるおそれを防止す
ることができる。
In this embodiment, the mixing tank 54
A circulation passage 76 for circulating the slurry in the slurry supply passage 71 from the device to the wire saw 11 as the device to be used.
Are connected. Therefore, during the operation of the wire saw 11 or the like, even when the operation of supplying the slurry from the mixing tank 54 is stopped, the slurry is constantly circulated in the pipe, so that the slurry is kept inside the mixing tank 54 and the supply passage 71. Does not stay. Therefore, it is possible to prevent the abrasive grains from being settled in the retained slurry and making it difficult for the slurry to flow.

【0048】・ この実施形態においては、スラリの循
環用通路76が、分離回収機構40への使用済みのスラ
リの移送通路39と部分的に共用するように形成されて
いる。このため、スラリの配管系を短縮することができ
て、スラリ管理システムの構成を簡略化することができ
る。
In this embodiment, the slurry circulation passage 76 is formed so as to be partially shared with the used slurry transfer passage 39 to the separation / recovery mechanism 40. Therefore, the slurry piping system can be shortened, and the configuration of the slurry management system can be simplified.

【0049】・ この実施形態においては、スラリの循
環用通路76と使用済みのスラリの移送通路39との共
用部分39(76)に、スラリの性状を検出するための
検出手段としての比重計78と流量計79及び粘度計8
0が配設されている。このため、調製中または調製後の
スラリの性状を検出するための検出手段と、使用済みの
スラリの性状を検出するための検出手段とを別々に設け
る必要がなく、スラリ管理システムの構成を簡略化する
ことができる。また、検出手段が配設されている循環用
通路76と移送通路39との共用部分39(76)に
は、スラリが滞留しないため、スラリの性状を正確に検
出することができる。
In this embodiment, the specific gravity meter 78 as a detection means for detecting the property of the slurry is provided in the shared portion 39 (76) of the slurry circulation passage 76 and the used slurry transfer passage 39. And flowmeter 79 and viscometer 8
0 is set. For this reason, it is not necessary to separately provide a detection means for detecting the properties of the slurry during or after preparation and a detection means for detecting the properties of the used slurry, which simplifies the configuration of the slurry management system. Can be converted. Further, since the slurry does not stay in the shared portion 39 (76) of the circulation passage 76 and the transfer passage 39 in which the detecting means is disposed, the property of the slurry can be accurately detected.

【0050】・各ワイヤソー11の間にスラリ交換装置
Aを設けた。そのため、各ワイヤソー11毎にスラリ交
換装置Aを設ける必要がなく、スラリ管理システムの構
成を簡素化することができる。
A slurry exchanging device A is provided between the wire saws 11. Therefore, it is not necessary to provide the slurry exchanging device A for each wire saw 11, and the configuration of the slurry management system can be simplified.

【0051】なお、この実施形態は、次のように変更し
て具体化することも可能である。 ・ 2つの調合槽54を配設することなく、1つの調合
槽54のみにより、スラリを調製するように構成するこ
と。
Note that this embodiment can be modified and embodied as follows. -It is configured such that the slurry is prepared only by one mixing tank 54 without disposing the two mixing tanks 54.

【0052】このように構成した場合には、スラリ管理
システムを簡素化することができて、ワイヤソー11が
多数並設されていない場合におけるスラリの管理に有効
である。
With such a configuration, the slurry management system can be simplified, and it is effective for managing the slurry when a large number of wire saws 11 are not arranged in parallel.

【0053】・ 1つの調合槽54を備えたスラリ管理
システムにおいて、供給槽16を省略して、調合槽54
で調製されたスラリを、ワイヤソー11のスラリタンク
12に直接供給するように構成すること。
In the slurry management system provided with one mixing tank 54, the supply tank 16 is omitted and the mixing tank 54
The slurry prepared in 1. is directly supplied to the slurry tank 12 of the wire saw 11.

【0054】このように構成した場合には、スラリ管理
システムを一層簡素化することができる。 ・ 1つの調合槽54を備えたスラリ管理システムにお
いて、回収槽24を省略して、使用済みのスラリをワイ
ヤソー11のスラリタンク12から計量タンク34内に
直接抜き取るように構成すること。
With such a structure, the slurry management system can be further simplified. In a slurry management system having one mixing tank 54, the recovery tank 24 may be omitted, and used slurry may be directly extracted from the slurry tank 12 of the wire saw 11 into the measuring tank 34.

【0055】このように構成した場合には、スラリ管理
システムを一層簡素化することができる。 ・ 1つの調合槽54を備えたスラリ管理システムにお
いて、計量タンク34の出口側を循環用ポンプ75の入
口側に接続し、その接続点からバルブ44までの通路
を、使用済みスラリの移送通路39と、調製スラリの循
環用通路76との共用部分とすること。
With this configuration, the slurry management system can be further simplified. In the slurry management system including one mixing tank 54, the outlet side of the measuring tank 34 is connected to the inlet side of the circulation pump 75, and the passage from the connection point to the valve 44 is used as the used slurry transfer passage 39. And the passage 76 for circulating the prepared slurry.

【0056】このように構成した場合には、スラリの配
管系をさらに短縮することができるとともに、移送通路
39内の移送用ポンプ45を省略することができて、ス
ラリ管理システムを一層簡素化することができる。
With this structure, the slurry piping system can be further shortened, and the transfer pump 45 in the transfer passage 39 can be omitted, further simplifying the slurry management system. be able to.

【0057】・ 前記実施形態のエアシリンダ92に代
えて、オイルシリンダを使用すること。 ・ 各切換バルブ50,51の流路切換構成を適宜に変
更すること。例えば、バルブ50,51を単純な2方
弁、あるいは4方弁、5方弁にすること。
An oil cylinder is used instead of the air cylinder 92 of the above embodiment. -Change the flow path switching configuration of each switching valve 50, 51 appropriately. For example, the valves 50 and 51 should be simple 2-way valves, or 4-way valves, 5-way valves.

【0058】さらに、前記実施形態により把握される請
求項以外の技術的思想について、以下にそれらの効果と
ともに記載する。 (1)前記検出手段は、スラリの流量、比重または粘度
の少なくともいずれか一つを検出する請求項に記載の
スラリ管理システム。
Further, technical ideas other than the claims grasped by the embodiment will be described below together with their effects. (1) The slurry management system according to claim 2 , wherein the detection means detects at least one of the flow rate, specific gravity, and viscosity of the slurry.

【0059】この構成によれば、調製中あるいは調製後
に、スラリの流量、比重または粘度の少なくともいずれ
か一つを検出することにより、その検出結果に基づい
て、砥粒と分散液との調合比率を常に一定となるように
制御することができる。また、分離回収機構への使用済
みスラリの移送時に、その使用済みスラリの流量、比重
または粘度の少なくともいずれか一方を検出することに
より、その検出結果に基づいて、分離回収機構による砥
粒と分散液との分離回収効率を、常に一定となるように
制御することができる。
According to this structure, at least one of the flow rate, the specific gravity and the viscosity of the slurry is detected during or after the preparation, and the mixing ratio of the abrasive grains and the dispersion liquid is detected based on the detection result. Can be controlled to be always constant. In addition, when the used slurry is transferred to the separation / recovery mechanism, at least one of the flow rate, specific gravity, and viscosity of the used slurry is detected. The efficiency of separation and recovery from the liquid can be controlled to be always constant.

【0060】(2)使用済みのスラリから砥粒と分散液
とを分離回収する分離回収機構の砥粒取出側に配設され
る切換バルブにおいて、砥粒の流路を切換える弁体と、
その弁体を切換え作動させるアクチュエータ(エアシリ
ンダ92)とを備えた切換バルブ。
(2) A valve body for switching the flow path of abrasive grains in a switching valve arranged on the abrasive grain take-out side of a separating and collecting mechanism for separating and collecting the abrasive grains and the dispersion liquid from the used slurry.
A switching valve including an actuator (air cylinder 92) for switching and operating the valve body.

【0061】この構成によれば、分離回収機構から取り
出される砥粒が超高粘度流体であっても、その砥粒が弁
体に付着していても、弁体を大トルクの駆動力で、所定
の切換位置へ正確に作動させることができる。従って、
弁体をソレノイド等の小トルクの駆動源で切換え作動し
ている従来構成のように、弁体の切換え作動が困難にな
ることはない。
According to this structure, even if the abrasive grains taken out from the separation / recovery mechanism are ultra-high viscosity fluid or the abrasive grains adhere to the valve body, the valve body is driven with a large torque, It can be accurately operated to a predetermined switching position. Therefore,
The switching operation of the valve element does not become difficult unlike the conventional configuration in which the valve element is switched by a small torque drive source such as a solenoid.

【0062】(3)アクチュエータはエアシリンダであ
る前記(2)項に記載の切換バルブ。この構成によれ
ば、弁体の切換駆動がエアシリンダにより行われるた
め、無理な動作を回避でき、弁体等の損傷を防止でき
る。
(3) The switching valve according to item (2), wherein the actuator is an air cylinder. According to this configuration, since the switching operation of the valve element is performed by the air cylinder, it is possible to avoid an unreasonable operation and prevent damage to the valve element and the like.

【0063】[0063]

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項1に記載の発
明によれば、使用装置の運転中等において、調合槽やバ
ルブや供給通路の内部にスラリが滞留して砥粒分が沈殿
し、スラリが流れ難くなるおそれを防止することができ
る。また、スラリの配管系を短縮することができて、ス
ラリ管理システムの構成を簡略化することができる。
Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. According to the invention described in claim 1 , the mixing tank and the bag are
Slurry stays inside the lube and inside the supply passage, and the abrasive grains settle.
However, it is possible to prevent the slurry from becoming difficult to flow.
It Also, the slurry piping system can be shortened,
The configuration of the library management system can be simplified.

【0064】[0064]

【0065】求項に記載の発明によれば、調製中ま
たは調製後のスラリの性状を検出するための検出手段
と、使用済みのスラリの性状を検出するための検出手段
とを別々に設ける必要がなく、スラリ管理システムの構
成を簡略化することができる。また、検出手段が配設さ
れている循環用通路と移送通路との共用部分には、スラ
リが滞留しないため、スラリの性状を正確に検出するこ
とができる。
[0065] According to the invention described in Motomeko 2, a detecting means for detecting the properties of the slurry during or after the preparation, and a separate detection means for detecting a property of the used slurry The configuration of the slurry management system can be simplified because it is not necessary to provide it. Further, since the slurry does not stay in the shared portion of the circulation passage and the transfer passage where the detection means is disposed, the property of the slurry can be accurately detected.

【0066】[0066]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 一実施形態のスラリ管理システムを部分的に
示す配管図。
FIG. 1 is a piping diagram partially showing a slurry management system according to an embodiment.

【図2】 スラリ管理システムの他の部分を示す配管
図。
FIG. 2 is a piping diagram showing another part of the slurry management system.

【図3】 スラリ管理システムのその他の部分を示す配
管図。
FIG. 3 is a piping diagram showing the other parts of the slurry management system.

【図4】 切換バルブの構成を示す断面図。FIG. 4 is a sectional view showing a configuration of a switching valve.

【図5】 その切換バルブの平面図。FIG. 5 is a plan view of the switching valve.

【図6】 図4の6−6線における部分拡大断面図。6 is a partially enlarged sectional view taken along line 6-6 of FIG.

【図7】 スラリ管理システムの電気的回路構成を示す
ブロック図。
FIG. 7 is a block diagram showing an electric circuit configuration of the slurry management system.

【図8】 回収槽におけるスラリの循環動作を示すフロ
ーチャート。
FIG. 8 is a flowchart showing a circulation operation of slurry in a recovery tank.

【図9】 供給槽におけるスラリの循環動作を示すフロ
ーチャート。
FIG. 9 is a flowchart showing a circulation operation of slurry in a supply tank.

【図10】 調合槽におけるスラリの循環動作を示すフ
ローチャート。
FIG. 10 is a flowchart showing a slurry circulating operation in the mixing tank.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…スラリ使用装置としてのワイヤソー、12…スラ
リタンク、16…供給槽、20…供給通路、20a…循
環用通路、24…回収槽、24a…循環用通路、28…
回収通路、34…計量タンク、39…移送通路(回収通
路)、39a…連通路(回収通路)、40…分離回収機
構、46…第1デカンタ、47…第2デカンタ、54…
調合槽、58…ホッパ、64…分散液槽、71…供給通
路、76…循環用通路、、78…検出手段を構成する比
重計、79…検出手段を構成する流量計、80…検出手
段を構成する粘度計、97…制御手段を構成するCP
U、98…制御手段を構成するROM、99…制御手段
を構成するRAM。
11 ... Wire saw as a slurry using device, 12 ... Slurry tank, 16 ... Supply tank, 20 ... Supply passage, 20a ... Circulation passage, 24 ... Recovery tank, 24a ... Circulation passage, 28 ...
Recovery passage, 34 ... Measuring tank, 39 ... Transfer passage (recovery passage), 39a ... Communication passage (recovery passage), 40 ... Separation / recovery mechanism, 46 ... First decanter, 47 ... Second decanter, 54 ...
Mixing tank, 58 ... Hopper, 64 ... Dispersion tank, 71 ... Supply passage, 76 ... Circulation passage, 78 ... Densitometer constituting detection means, 79 ... Flowmeter constituting detection means, 80 ... Detection means Viscometer constituting 97, CP constituting control means
U, 98 ... ROM constituting control means, 99 ... RAM constituting control means.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−168971(JP,A) 特開 平9−29637(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24B 57/00 - 57/04 B24B 27/06 B24B 37/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-9-168971 (JP, A) JP-A-9-29637 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B24B 57/00-57/04 B24B 27/06 B24B 37/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 調合槽内で砥粒及び分散液を混合してス
ラリを調製し、そのスラリを供給通路を介して使用装置
に供給するとともに、該使用装置からの使用済みのスラ
リを回収通路を介して分離回収機構に移送し、そのスラ
リから使用可能な砥粒及び分散液を分離回収して、それ
らを調合槽に戻して再利用するようにしたスラリ管理シ
ステムにおいて、 前記調合槽から使用装置へのスラリの供給通路には、調
合槽とスラリの供給通路との間でスラリを循環させるた
めの循環用通路を接続し、前記スラリの循環用通路は、
分離回収機構への使用済みのスラリの回収通路と部分的
に共用するように形成したスラリ管理システム。
1. An abrasive grain and a dispersion liquid are mixed in a mixing tank to form a slurry.
A device that prepares a slurry and uses that slurry through a supply passage
Used sludge from the equipment used.
Of the slurry to the separation / recovery mechanism via the recovery passageway.
The usable abrasive grains and dispersion liquid are separated and collected from the
Slurry management system in which these are returned to the mixing tank for reuse.
In the stem, the slurry supply passage from the mixing tank to the equipment used is
The slurry was circulated between the mixing tank and the slurry supply passage.
And a circulation passage for the slurry,
Used slurry recovery passageway to the separation and recovery mechanism and partial
Slurry management system designed to be shared by
【請求項2】 前記スラリの循環用通路と使用済みのス
ラリの回収通路との共用部分には、スラリの性状を検出
するための検出手段を配設した請求項1に記載のスラリ
管理システム。
2. A circulation passage for the slurry and a used soot
The property of the slurry is detected in the shared area with the recovery passage of the slurry.
The slurry according to claim 1, further comprising detection means for
Management system.
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