JP3406974B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク等の光
ピックアップ装置の光源として好適な半導体レーザ装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ピックアップ装置は、光源である半導
体レーザ素子からの出射光を対物レンズにより光ディス
ク等の光記録媒体上に集光させ、前記光記録媒体上の情
報記録或いは情報再生を行うものである。光ピックアッ
プとして用いるためには半導体レーザ装置内部の半導体
レーザ素子の出力を一定に保つ事が必要である。

【０００３】図１２に従来の半導体レーザ装置の概略構
成図を示す。半導体レーザ素子１がマウント台２上にシ
リコン基板３を介して実装され、半導体レーザ素子１か
ら枠体４の窓を通して前方出射光５が出射され、対物レ
ンズ６で集光されて光記録媒体７に入射される。また、
半導体レーザ素子１からの後方出射光８の光路上には後
方出射光出力モニタ用受光素子９が配置されている。

【０００４】なお、１０は装置をささえるステムであ
る。係る構造の半導体レーザ装置に於いては、半導体レ
ーザ素子１からの前方出射光５の出力を一定に保つため
に、半導体レーザ素子１の後方に後方出射光出力モニタ
用受光素子９を配置して光量制御を行っていた。

【０００５】しかしながら、半導体レーザ素子の前方出
射光と後方出射光とでは、端面の反射率の違いや、また
光記録媒体からの戻り光の影響により出力の変化が正確
には一致しないために、後方出射光による光量制御では
正確な半導体レーザ素子の前方出射光の光量制御を行う
事は困難である。半導体レーザ装置を情報記録の光源と
して用いる場合、正確な前方出射光の出力制御が必要と
なるために前方出射光の出力をモニタする受光素子が必
要となる。

【０００６】このために、前方出射光の出力を受光素子
でモニタする構造として、図１３に示す構造がある。

【０００７】この構造は、半導体レーザ素子１の端面か
ら水平方向に出射された前方出射光１１の前面に、反射
ホログラム１２と前方出射光出力モニタ用受光素子（以
後、モニタ用受光素子と記す）１３とが別領域に形成さ
れた平面板を傾斜させて配置されている。そして、前方
出射光１１の一部はモニタ用受光素子１３で受光され、
残りの大部分の前方出射光１１は、反射ホログラム１２
の領域により上方向に反射され、ホログラム素子１５、
対物レンズ６を通って光記録媒体７へと導かれる。そし
て、光記録媒体７で反射された戻り光１６は、ホログラ
ム素子１５で偏光され、信号検出用受光素子１７に導か
れる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】光学系が理想的な状態
の場合は、光記録媒体７からの戻り光１６は、平面板１
４上の一部に形成されたモニタ用受光素子１３の上へは
入射しない。しかしながら実際には光記録媒体７上への
光路上の対物レンズシフトが存在するため、光記録媒体
７からの戻り光がモニタ用受光素子１３上へ一部入射す
る。

【０００９】また、半導体レーザ装置内部で生じた迷光
成分までもがモニタ用受光素子１３へ入射してしまうた
めに正確な光量制御を行う事が困難であるという課題を
内包していた。

【００１０】本発明は上述の事情に鑑み、光記録媒体か
らの戻り光の影響、および半導体レーザ装置内部に於け
る迷光成分の影響を抑制し、且つ正確に前方出射光の光
量制御を行う事を可能とする半導体レーザ装置を提供す
る事を目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の半導体レーザ装置は、前方出射光を対物レ
ンズを介して光ディスクに照射する半導体レーザ素子
と、前記半導体レーザ素子の前方出射光端面側に配置さ
れた出力モニタ用受光素子と、前記出力モニタ用受光素
子の上に接して載置された透明部材とを有し、前記透明
部材は前記前方出射光のうち前記対物レンズに向けて出
射される領域以外の領域にある一部の前方出射光を、前
記出力モニタ用受光素子が設けられた面に対向し、かつ
前記出力モニタ用受光素子の受光面より離れた面にて反
射させて前記半導体レーザ素子側より前記出力モニタ用
受光素子に入射させて受光させるものである。

【００１２】本発明によれば、半導体レーザ素子からの
出射光をモニタ用受光素子へ直接入射するのではなく、
モニタ用受光素子に導く透明部材を介して間接的に入射
させるため、他の方向からの光をモニタ用受光素子へ入
射するのを防ぐことができる。

【００１３】このため、光記録媒体からの戻り光の影響
および半導体レーザ装置内部に於ける迷光成分の影響を
受けず、かつ正確な前方出射光の光量制御を行う事がで
きる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図面を参
照して説明する。

【００１５】（実施の形態１）本発明の第１の実施の形
態の半導体レーザ装置を図１に示す。

【００１６】この構造は、光源である半導体レーザ素子
１と、半導体レーザ素子１を実装するマウント台２と、
半導体レーザ素子１とマウント台２の間に挟まれたシリ
コン基板３と、マウント台２につながるステム１０と、
半導体レーザ装置全体をカバーする金属キャップよりな
る枠体４と、半導体レーザ素子１の前方出射光端面の近
傍に、半導体レーザ素子１から出射されるレーザ光の出
射方向に対して垂直方向に配置されたモニタ用受光素子
１３と、このモニタ用受光素子１３上に接して配置され
た透明部材１８より構成される。そして透明部材１８
は、少なくとも、前方出射光のモニタ用受光素子１３へ
の接触面１９と接触面１９に対して対向する面（上面）
とが平行な立体構造である。

【００１７】次に上記構成の半導体レーザ装置の動作に
ついて説明する。半導体レーザ装置内部の半導体レーザ
素子１からの前方出射光５の大部分は、対物レンズ６で
集光され、光記録媒体７へ入射される。一方、前方出射
光５の一部分は、半導体レーザ素子１の前方出射端面の
近傍に配置されたモニタ用受光素子１３上に接して配置
された透明直方体よりなる透明部材１８の側面より透明
部材１８の内部に入射される。透明部材１８の側面より
内部に入射された光は、透明部材１８内部に於いてモニ
タ用受光素子１３に接する面と対向する面上に於いて全
反射され、モニタ用受光素子１３へ入射する。モニタ用
受光素子１３での受光量に応じて半導体レーザ素子１へ
流す電流量を制御して、出射光量にフィードバックをか
ける事により正確な光量制御を行う。

【００１８】以上のように本発明の第１の実施の形態の
半導体レーザ装置では、半導体レーザ素子１の前方出射
光端面の近傍にモニタ用受光素子１３が配置され、この
モニタ用受光素子１３上に接し、このモニタ用受光素子
１３への接触面とこの接触面に対して対向する面とが平
行な透明部材１８が配置されているために前方出射光５
の一部を、全反射を利用してモニタ用受光素子１３へ間
接的に入射させる事ができる。

【００１９】このため、光記録媒体７からの戻り光、お
よび半導体レーザ装置内部に於いて発生した迷光成分
は、透明部材１８に於けるモニタ用受光素子１３への接
触面に対して対向する面により散乱され、モニタ用受光
素子１３へ入射されない。これにより、光記録媒体７か
らの戻り光の影響を受けず、かつ半導体レーザ装置内部
に於ける迷光の影響を抑制し、半導体レーザ素子１から
前方出射光５の正確な光量制御を行う事ができる。

【００２０】（実施の形態２）次に、本発明の第２の実
施の形態の半導体レーザ装置を図２に示す。

【００２１】図２に示すように、図１と異なる点は、透
明部材１８１が、モニタ用受光素子１３への接触面１９
に対向する面が接触面１９に対して傾斜をもった立体構
造であることである。なお、その他の構造は、図１と同
じであるので同一の部材には同一の符号を付記して説明
を省略する。

【００２２】上述の構造によれば、透明部材１８１が、
モニタ用受光素子１３への接触面１９に対して対向する
面が接触面１９に対して傾斜しているため、透明部材１
８１内に入射した光を更に奥深く反射させることがで
き、同じ大きさのモニタ用受光素子１３の場合、より広
い範囲に入射させる事ができる。

【００２３】（実施の形態３）次に、本発明の第３の実
施の形態の半導体レーザ装置を図３に示す。

【００２４】図３に示すように、図１と異なる点は、透
明部材１８２が、半導体レーザ素子１側の側面から上面
にかけて、凸状に曲面をもたせた立体構造であることで
ある。なお、その他の構造は、図１と同じであるので同
一の部材には同一の符号を付記して説明を省略する。

【００２５】この構成に於いては、半導体レーザ素子１
側の側面でレーザ光をより透明部材１８２の奥の方向に
屈折させることができるため、透明部材１８２内に入射
した光を、モニタ用受光素子１３のより広い範囲に効率
よく入射させる事ができる。

【００２６】なお、この構成では、樹脂をモニタ用受光
素子１３の上に垂らすことによって簡単に形成できる。

【００２７】（実施の形態４）本発明の第４の実施の形
態に於ける半導体レーザ装置を図４に示す。

【００２８】この半導体レーザ装置は、第１の実施の形
態の図１で示した、少なくとも、前方出射光の出力モニ
タ用受光素子１３への接触面１９と接触面１９に対して
対向する面とが平行な透明部材１８のモニタ用受光素子
１３への接触面に対して対向する面上に金属蒸着等の手
段により反射膜２３が形成された構造のものである。な
お、その他の構造は第１の実施の形態と同じであるの
で、同一の部材には同一の符号を付記して説明を省略す
る。

【００２９】この構造によれば、透明部材１８の側面よ
り内部に入射した光は、透明部材１８内部に於いてモニ
タ用受光素子１３に接する面と対向する面（上面）上の
反射膜２３に於いて反射され、モニタ用受光素子１３へ
入射する。

【００３０】このとき、反射膜２３が設けられているた
め、透明部材１８だけによる全反射を利用するより、よ
り反射効率がよくなる。

【００３１】また、透明部材１８の上面の反射膜２３に
より、光記録媒体７からの戻り光および半導体レーザ装
置内部に於いて発生する迷光成分が、モニタ用受光素子
１３へ入射する事を、透明部材１８だけの場合より、よ
り防止することができる。このため、光記録媒体７から
の戻り光の影響、及び半導体レーザ装置内部に於ける迷
光の影響を受けず、かつ半導体レーザ素子１から前方出
射光５の更に正確な光量制御を行う事ができる。

【００３２】なお、透明部材１８の上面に反射膜２３を
つける構造を第１の実施の形態で用いた透明部材１８で
説明したが、第２の実施の形態や第３の実施の形態で説
明した透明部材１８１や１８２の上面に反射膜２３をつ
ける構造にしてもよい。

【００３３】このときも、同様に反射膜が設けられてい
るため、透明部材だけによる全反射を利用するより、よ
り反射効率がよくなるとともに、透明部材の上面の反射
膜により光記録媒体からの戻り光および半導体レーザ装
置内部に於いて発生する迷光成分がモニタ用受光素子１
３へ入射する事をより防止することができる。

【００３４】（実施の形態５）次に、今までの実施の形
態に於いては、モニタ用受光素子上に接して配置された
部材として透明部材を用いる場合について説明したが、
図５に示すように、モニタ用受光素子１３に対して対向
する位置に反射面を有する反射板２０を設けることがで
きる。なお、その他の構造は、図１と同じであるので同
一の部材には同一の符号を付記して説明を省略する。

【００３５】この構成によれば、反射面を有する反射板
２０を最適な傾斜をもたせることにより、より簡単な構
造で半導体レーザ素子１からの前方出射光５を、効率良
くモニタ用受光素子１３へ入射させる事ができる。

【００３６】（実施の形態６）本発明の第６の実施の形
態に於ける半導体レーザ装置を図６に示す。

【００３７】この半導体レーザ装置は、光源である半導
体レーザ素子１と、半導体レーザ素子１が装着され、か
つモニタ用受光素子１３が形成された半導体基板２１お
よびモニタ用受光素子１３上に接して装着された透明部
材１８およびこれらを収納する枠体４より構成される。

【００３８】なお、透明部材１８は、第１の実施の形態
の図１で示した、少なくとも、前方出射光の出力モニタ
用受光素子１３への接触面１９と接触面１９に対して対
向する面とが平行な立体構造である。

【００３９】また、半導体基板２１上に於いて一部領域
にはモニタ用受光素子１３の面よりエッチングされた段
差を設けた凹部の領域があり、前記凹部の領域のモニタ
用受光素子１３側の段差部には約４５度の傾斜がある反
射面２２が形成され、半導体レーザ素子１は前記凹部の
領域内に前方出射光１１が反射面２２で９０度反射する
ように装着されている。そしてモニタ用受光素子１３と
半導体レーザ素子１とは平行な平面上に実装されてい
る。

【００４０】さらに、この実施の形態に於いては、モニ
タ用受光素子１３が約４５度の反射面２２の近傍に形成
され、前方出射光１１の大部分が反射面で反射され、対
物レンズ６を通って光記録媒体７の方向へ出射され、前
方出射光１１の残りの一部分が透明部材１８の内部へ側
面より入射され、上面で全反射されてモニタ用受光素子
１３上に入射される構造となっている。

【００４１】次に上記構成の半導体レーザ装置の動作に
ついて説明する。半導体レーザ素子１から出射された前
方出射光１１は、大部分約４５度の反射面２２により反
射され、半導体基板２１の上面に対して鉛直方向へ出射
される。そして、半導体レーザ素子１からの前方出射光
１１の一部分は、約４５度の反射面２２の近傍に配置さ
れたモニタ用受光素子１３上に接して配置された透明部
材１８の側面より透明部材１８の内部に入射する。透明
部材１８の側面より内部に入射された光は、透明部材１
８内部に於いてモニタ用受光素子１３に接する面と対向
する面上に於いて全反射され、モニタ用受光素子１３へ
入射する。モニタ用受光素子１３での受光量に応じて出
射光量にフィードバックをかける事により正確な光量制
御を行う。

【００４２】以上のように本発明の第６の実施の形態の
半導体レーザ装置では、モニタ用受光素子１３への接触
面と同接触面に対して対向する面（上面）とが平行な透
明部材１８が配置されているため、光記録媒体７からの
戻り光および半導体レーザ装置内部に於ける迷光成分
が、透明部材１８の上面により散乱されモニタ用受光素
子１３へ入射されない。このため、半導体レーザ素子１
から前方出射光１１の正確な光量制御を行う事ができ
る。

【００４３】又、この実施の形態に於いて、モニタ用受
光素子１３を形成した半導体基板２１上に約４５度の反
射面２２をエッチングにより形成し、半導体レーザ素子
１からの前方出射光１１を半導体基板２１上面に対して
鉛直方向へ出射させる構造であるために、半導体レーザ
素子１やモニタ用受光素子１３を平行面に配置すること
ができ、組立調整の容易化が図られるとともに小型薄型
化および低コスト化が可能であるという利点を有する。

【００４４】（実施の形態７）次に、本発明の第７の実
施の形態の半導体レーザ装置を図７に示す。

【００４５】図７に示すように、図６と異なる点は、透
明部材１８１が、モニタ用受光素子１３への接触面１９
に対向する面が接触面１９に対して傾斜をもたせた立体
構造であることである。なお、その他の構造は、図６と
同じであるので同一の部材には同一の符号を付記して説
明を省略する。

【００４６】上述の構成によれば前記接触面に対して対
向する面が前記接触面に対して傾斜しているために、傾
斜角を調整して最適にすることにより、透明部材１８１
内に入射した光を更に効率良くモニタ用受光素子１３へ
入射させる事ができる。

【００４７】（実施の形態８）次に、本発明の第８の実
施の形態の半導体レーザ装置を図８に示す。

【００４８】図８に示すように、図６と異なる点は、透
明部材１８２が、半導体レーザ素子１側の側面から上面
にかけて、凸状に曲面をもたせた立体構造であることで
ある。

【００４９】なお、その他の構造は、図６と同じである
ので同一の部材には同一の符号を付記して説明を省略す
る。

【００５０】上述の構成に於いては、半導体レーザ素子
１側の側面で凸状に曲面をもたせているため、レーザ光
の透明部材１８２への屈折を利用することにより、透明
部材１８２内に入射した光を、同じ大きさのモニタ用受
光素子１３の場合、より広い範囲に効率良く入射させる
事ができる。このため、前方出射光１１の正確な光量制
御を行う事が可能であるという効果を奏する。

【００５１】（実施の形態９）本発明の第９の実施の形
態に於ける半導体レーザ装置を図９に示す。

【００５２】本実施の形態に於ける半導体レーザ装置
は、第６の実施の形態の図６で示した、少なくとも、前
方出射光の出力モニタ用受光素子１３への接触面１９と
接触面１９に対して対向する面とが平行な透明部材１８
のモニタ用受光素子１３への接触面に対して対向する面
上に金属蒸着等の手段により反射膜２３が形成された構
造のものである。なお、その他の構造は第６の実施の形
態と同じであるので、同一の部材には同一の符号を付記
して説明を省略する。

【００５３】この構造によれば、透明部材１８の側面よ
り内部に入射した光は、透明部材１８内部に於いてモニ
タ用受光素子１３に接する面と対向する面上の反射膜２
３に於いて反射され、モニタ用受光素子１３へ入射す
る。このとき、反射膜２３が設けられているため、透明
部材１８だけによる全反射を利用するより、より反射効
率がよくなる。

【００５４】また、透明部材１８の上面の反射膜２３に
より光記録媒体７からの戻り光、及び半導体レーザ装置
内部に於いて発生する迷光成分がモニタ用受光素子１３
へ入射する事を防止する構造であるために、光記録媒体
７からの戻り光の影響、及び半導体レーザ装置内部に於
ける迷光の影響を受けず、かつ半導体レーザ素子１から
前方出射光１１の更に正確な光量制御を行う事ができ
る。

【００５５】なお、透明部材１８の上面に反射膜２３を
つける構造を第６の実施の形態で用いた透明部材１８で
説明したが、第７の実施の形態や第８の実施の形態で説
明した透明部材１８１や１８２の上面に反射膜２３をつ
ける構造にしてもよい。

【００５６】このときも、同様に反射膜が設けられてい
るため、透明部材だけによる全反射を利用するより、よ
り反射効率がよくなるとともに、透明部材の上面の反射
膜により光記録媒体からの戻り光、及び半導体レーザ装
置内部に於いて発生する迷光成分がモニタ用受光素子１
３へ入射する事をより防止することができる。

【００５７】（実施の形態１０）本発明の第１０の実施
の形態に於ける半導体レーザ装置を図１０に示す。

【００５８】この構造は、図１０に示すように、モニタ
用受光素子１３に対して対向する位置に反射面を有する
反射板２０を設けたものである。なお、その他の構造
は、図６と同じであるので同一の部材には同一の符号を
付記して説明を省略する。

【００５９】この構成によれば、反射面を有する反射板
２０に最適な傾斜をもたせることにより、より簡単な構
造で半導体レーザ素子１からの前方出射光１１を、効率
良くモニタ用受光素子１３へ入射させる事ができる。

【００６０】また、光記録媒体７からの戻り光や半導体
レーザ装置内部に於いて発生する迷光成分の影響を受け
ず前方出射光１１の正確な出力制御ができる。

【００６１】（実施の形態１１）本発明の第１１の実施
の形態に於ける半導体レーザ装置を図１１に示す。

【００６２】この実施の形態に於ける半導体レーザ装置
は、半導体基板２１上に装着された半導体レーザ素子１
と、半導体レーザ素子１から出射された前方出射光１１
が反射面２２で９０度反射された光路上に配置されたホ
ログラム素子１５と、半導体基板２１上に形成され、ホ
ログラム素子１５により偏向された戻り光１６を受光す
る信号検出用受光素子１７と、半導体基板２１上に形成
されたモニタ用受光素子１３と、モニタ用受光素子１３
上に接して装着され、上面に反射膜が形成された透明部
材１８とで構成されている。なお、その他の構造は図６
に示した構造と同じであるので図６と同一の部材には同
一の符号を付記して説明を省略する。

【００６３】次に、上記構成の半導体レーザ装置の動作
について説明する。半導体レーザ装置内部の半導体レー
ザ素子１からの前方出射光１１は、大部分が反射面２２
で９０度反射され、ホログラム素子１５に於いて０次回
折、即ち透過し、次に対物レンズ６により光記録媒体７
上に集光され、反射される。反射された戻り光１６は、
上記と逆の経路をたどり、ホログラム素子１５に入射
し、１次回折される。この回折光は半導体レーザ装置内
の半導体基板２１上に形成された信号検出用受光素子１
７へ入射し、演算出力される。

【００６４】一方、半導体レーザ装置内部の半導体レー
ザ素子１からの前方出射光１１の一部分は、約４５度の
反射面２２の近傍に配置されたモニタ用受光素子１３上
に接して配置された透明部材１８の側面より透明部材１
８の内部に入射する。透明部材１８の側面より内部に入
射した光は、透明部材１８内部に於いてモニタ用受光素
子１３に接する面と対向する平行面上の反射膜２３に於
いて効率良く反射され、モニタ用受光素子１３へ入射す
る。モニタ用受光素子１３での受光量に応じて出射光量
にフィードバックをかける事により正確な光量制御がで
きる。

【００６５】本発明の第１１の実施の形態の半導体レー
ザ装置では、透明部材１８上の反射膜２３により光記録
媒体７からの戻り光、及び半導体レーザ装置内部に於い
て発生する迷光成分が、モニタ用受光素子１３へ入射す
る事を防止する構造であるために、光記録媒体７からの
戻り光の影響、及び半導体レーザ装置内部に於ける迷光
の影響を受けず、半導体レーザ素子１から前方出射光１
１の正確な光量制御を行う事ができるとともに、ホログ
ラム素子１５を用いているため、光記録媒体７へのサー
ボ信号および光記録媒体の記録信号の検出光学系を一体
化することができる。

【００６６】なお、半導体レーザ素子１からの前方出射
光をモニタ用受光素子１３へ導く手段として第９の実施
の形態の図９で示した構造で説明したが、第６の実施の
形態、第７の実施の形態、第８の実施の形態および第１
０の実施の形態のいずれの実施の形態に用いたものも使
用することができる。

【００６７】また、半導体レーザ素子１から出射された
光路上に配置されたホログラム素子１５と、ホログラム
素子１５により偏向された戻り光１６を受光する信号検
出用受光素子１７とを備えた構造を、第１の実施の形
態、第２の実施の形態、第３の実施の形態、第４の実施
の形態および第５の実施の形態に用いることもできる。

【００６８】これにより、光記録媒体７へのサーボ信号
および光記録媒体の記録信号の検出光学系を一体化する
ことができる。

【００６９】以上、今までの本実施の形態に於いては、
モニタ用受光素子１３と約４５度の反射面２２とは同一
半導体基板２１上に形成されているものとしたが、モニ
タ用受光素子１３を個別に形成し、かつ約４５度の反射
面を有する反射板を所定の位置に配置する構成にするこ
とができる。

【００７０】なお、本実施の形態に於ける半導体レーザ
装置として上記構造の代わりにステムタイプの半導体レ
ーザ装置を使用した場合に於いても前方出射光の正確な
出力制御が可能となる。

【００７１】また、本実施の形態で説明した半導体レー
ザ装置は光ピックアップ装置の光源として使用する場合
について説明を行ったが、光ファイバー通信の光源とし
ても正確な光量制御が可能である光源として使用する事
ができる。

【００７２】

【発明の効果】本発明の半導体レーザ装置によると、半
導体レーザ素子の前方出射光端面の近傍にモニタ用受光
素子が配置され、前記半導体レーザ素子からの前方出射
光の一部をモニタ用受光素子に導く手段を介してモニタ
用受光素子へ入射させる構造であるために、前方出射光
が直接モニタ用受光素子に入射されないので、記録媒体
からの戻り光の影響および半導体レーザ装置内部に於け
る迷光成分の影響を受けない。そのため、正確な前方出
射光の光量制御を行う事ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して直角方向に配置され、モニタ用
受光素子上に平行な透明部材が配置された半導体レーザ
装置を示す断面図

【図２】本発明の第２の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して直角方向に配置され、モニタ用
受光素子の上面が傾斜した透明部材が配置された半導体
レーザ装置を示す断面図

【図３】本発明の第３の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して直角方向に配置され、モニタ用
受光素子上に側面と上面にかけて凸状の曲面を有する透
明部材が配置された半導体レーザ装置を示す断面図

【図４】本発明の第４の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して直角方向に配置され、モニタ用
受光素子上に反射膜を有する平行な透明部材が配置され
た半導体レーザ装置を示す断面図

【図５】本発明の第５の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して直角方向に配置され、モニタ用
受光素子上に反射板が配置された半導体レーザ装置を示
す断面図

【図６】本発明の第６の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して平行に配置され、モニタ用受光
素子上に平行な透明部材が配置された半導体レーザ装置
を示す断面図

【図７】本発明の第７の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して平行に配置され、モニタ用受光
素子の上面が傾斜した透明部材が配置された半導体レー
ザ装置を示す断面図

【図８】本発明の第８の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して平行に配置され、モニタ用受光
素子上に側面と上面にかけて凸状の曲面を有する透明部
材が配置された半導体レーザ装置を示す断面図

【図９】本発明の第９の実施の形態に係る、モニタ用受
光素子が出射光に対して平行に配置され、モニタ用受光
素子上に反射膜を有する平行な透明部材が配置された半
導体レーザ装置を示す断面図

【図１０】本発明の第１０の実施の形態に係る、モニタ
用受光素子が出射光に対して平行に配置され、モニタ用
受光素子上に反射板が配置された半導体レーザ装置を示
す断面図

【図１１】本発明の第１１の実施の形態に係る、半導体
基板上にモニタ用受光素子と信号検出用受光素子が一体
的に形成され、前方出射光の光路上にホログラム素子を
有し、モニタ用受光素子が出射光に対して平行に配置さ
れ、モニタ用受光素子上に反射膜を有する平行な透明部
材が配置された半導体レーザ装置を示す断面図

【図１２】従来例１に係る、内部に後方出射光出力モニ
タ用受光素子を備えた半導体レーザ装置を示す断面図

【図１３】従来例２に係る、モニタ用受光素子と反射ホ
ログラムが配置された半導体レーザ装置を示す断面図

【符号の説明】

１ 半導体レーザ素子 ２ マウント台 ３ シリコン基板 ４ 枠体 ５，１１ 前方出射光 ６ 対物レンズ ７ 光記録媒体 ８ 後方出射光 ９ 後方出射光出力モニタ用受光素子 １０ ステム １２ 反射ホログラム １３ 前方出射光出力モニタ用受光素子（モニタ用受光
素子） １４ 平面板 １５ ホログラム素子 １６ 戻り光 １７ 信号検出用受光素子 １８，１８１，１８２ 透明部材 １９ 接触面 ２０ 反射板 ２１ 半導体基板 ２２ 反射面 ２３ 反射膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−274926（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−332185（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−36108（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−309685（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−290403（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−274728（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−99322（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 7/12 - 7/135 H01S 5/00 - 5/50

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 前方出射光を対物レンズを介して光ディ
   スクに照射する半導体レーザ素子と、前記半導体レーザ
   素子の前方出射光端面側に配置された出力モニタ用受光
   素子と、前記出力モニタ用受光素子の上に接して載置さ
   れた透明部材とを有し、前記透明部材は前記前方出射光
   のうち前記対物レンズに向けて出射される領域以外の領
   域にある一部の前方出射光を、前記出力モニタ用受光素
   子が設けられた面に対向し、かつ前記出力モニタ用受光
   素子の受光面より離れた面にて反射させて前記半導体レ
   ーザ素子側より前記出力モニタ用受光素子に入射させて
   受光させるものであることを特徴とする半導体レーザ装
   置。
2. 【請求項２】 前記透明部材は、前記出力モニタ用受光
   素子上に接して配置され、少なくとも前記出力モニタ用
   受光素子への接触面に対向する面が、前記接触面に対し
   て傾斜をもたせた立体構造を有することを特徴とする請
   求項１記載の半導体レーザ装置。