JP3404804B2 - 熱電材料の製造方法 - Google Patents

熱電材料の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は熱電対等に用いられる熱
発電素子を構成する熱電材料の製造方法に係り、特に鉄
珪化物を主原料とした熱電材料の製造方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】熱発電素子は周知の通り、熱電効果を利
用して熱エネルギーから電気エネルギーに、或いはその
反対に変換する素子であり、代表的なものとして、熱電
対や電子冷凍素子(ペルチェ素子)等が挙げられる。こ
の熱電対は二種の金属線を接続して閉回路を作り、二つ
の接点を異なる温度に保つと、これら接点間に熱起電力
が生ずるというゼーベック効果を利用したもので、両端
の電圧を測定して温度を測るものである。一方、電子冷
凍素子は、異種の導体や半導体の接触面を通して電流が
流れるとき、その接触面でジュール熱以外の熱の発生、
吸収が起こるペルチェ効果を利用したものであり、マイ
ナス20℃〜プラス70℃程度の範囲で精密に温度制御
が必要な場合などに良く使用されている。
【0003】この熱発電素子は、幾つかの標準的な組合
せがJIS規格等で定まっており、その一つとしてp型
鉄珪化物熱電材料とn型鉄珪化物熱電材料との組合せか
らなるFeSi2熱発電素子がある。
【0004】このFeSi2には、金属相α−FeSi2
(α相)と半導体相β−FeSi2(β相)との二相が
存在し、このうち熱電材料として有望なものはβ相の方
である。このFeSi2は、アトマイズ法により急冷凝
固して得られた準安定状態の原料粉末はα相であり、α
相からβ相への相転移は約720℃付近で、さらにβ相
からα相への相転移は約980℃付近で起こる。従っ
て、この準安定状態の原料粉末の焼結固化は、焼結温度
が980℃をえるとα相になってしまうため、720
〜980℃の温度範囲で行うことになる。また、焼結体
の材料密度を向上させるためには、できるだけ高温で焼
結固化することが望ましいが、上述の理由から980℃
での焼結固化が限度である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の熱
電材料の製造方法にあっては、980℃を最上限とし
て、準安定状態の原料粉末の焼結固化を行っていたた
め、充分に材料密度を向上させることが出来ず、熱電材
料の熱電特性が低下してしまうといった問題があった。
【0006】また、980℃以下においても焼結圧力を
上昇すれば材料密度の向上させることができるが、焼結
体に内部応力が残留し、クラック等の欠陥が容易に発生
してしまうという問題があった。そこで、本発明は上記
の問題点を有効に解決するために案出されたものであ
り、その目的は熱電特性が良好で、且つクラック等の欠
陥の発生を防止することができる新規な熱電材料の製造
方法を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明に係る熱電材料の製造方法は、p型またはn型に
調整したα相FeSi2 粉末を母粒子とし、銅化合物
あるいは金粉末を子粒子としてカプセル粒子を形成
し、該カプセル粒子を980℃以上の温度で焼結固化す
るようにしたものである。
【0008】また、上記構成において、好ましくは上記
子粒子が、母粒子に対して1〜3wt%混入されるもの
である。
【0009】
【作用】上記構成によれば、上記カプセル粒子の母粒子
はp型またはn型に調整したα相FeSi2 粉末により
形成されている。一方、上記カプセル粒子の子粒子は、
銅化合物粉末により形成されている。このようなカプセ
ル粒子を980℃以上の温度で焼結固化すると、α相か
らβ相への相転移が約720℃付近で、さらにβ相から
α相への相転移が約980℃付近で起こる。そして、9
80℃以上の温度からの冷却時にα相からβ相への相転
移(復元性)が約800℃付近で起こる。この冷却時に
おける復元性は、上記銅化合物が約1080℃付近で還
元反応を起こし、この反応がトリガーとなって生じるも
のと考えられる。従って、母粒子としてのα相FeSi
2 粉末に、子粒子としての銅化合物粉末を混入すること
により、980℃以上の温度での焼結固化が可能になる
ので、焼結体の材料密度が向上し、その熱電特性が向上
するものである。
【0010】さらに、この場合に、上記子粒子としての
銅化合物粉末母粒子としてのα相FeSi2 粉末
対して1〜3wt%混入すれば、上記還元反応によるα
相からβ相への相転移が良好に促進されるものである。
上記子粒子の母粒子に対する混入量を1〜3wt%とし
たのは、1wt%未満では上記還元反応によるα相から
β相への復元性が起こり難く、3wt%を超えると焼結
体の熱電特性が低下する虞があるからである。
【0011】また、焼結体のβ−FeSi2の粒界に銅
化合物粉末が介在するので、この銅化合物粉末によりβ
−FeSi2の内部応力が緩和され、焼結体の材料密度
を向上させても、クラック等の欠陥の発生が防止される
ものである。
【0012】また、子粒子として銅化合物粉末に代え
てAu粉末を用いることもできる。しかも、この場合に
は熱電特性の信頼性がさらに向上することになる。すな
わち、銅化合物粉末を添加したFeSi2 粉末を真空中
あるいはアルゴン等の不活性ガス雰囲気中で使用する
合、その特性に問題はないが、大気中(特に970℃以
上の高温)で使用する場合、酸化し易くなり、熱電特性
が低下してしまう。そのため、子粒子として、銅化合物
粉末に代えてA粉末を用いれば、大気中においても酸
化しない上に、銅化合物粉末と同様な復元性、熱電特
性、強度が得られる。
【0013】
【実施例】以下、本発明に係る熱電材料の製造方法の好
適一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
【0014】先ず、請求項1に記載した第一の発明の
実施例について説明する。
【0015】図1に示すように、先ずカプセル粒子を構
成する母粒子を形成する。母粒子には、急冷アトマイズ
法により製造した準安定状態のα相FeSi2の粉末を
用いる。そして、p型の場合には、α相FeSi2粉末
の製造時にMn等を添加し、n型の場合には、α相Fe
Si2粉末の製造時にCoを添加する。
【0016】具体的には、このα相FeSi2粉末の製
造は、図2(a)に示すようにFeとSiとの粉末中に
それぞれ添加元素である微量のMnまたはCoを添加し
た原料粉末をルツボ1内に装入して混合した後、図2
(b)に示すように、高周波加熱により溶解し、図2
(c)に示すように、その溶湯をAr等の不活性ガス雰
囲気下で噴霧して急冷することにより行われる。尚、こ
れらの過程は、一台の装置で連続して行われる。
【0017】また、子粒子には、例えば、CuO,Cu
2O,O及びCu(i−OC372などの銅化合物の粉
末を用いる。子粒子としてCu粉末を採用しても良い
が、酸化しやすいため、良好な粉末を得るのは困難であ
る。そして、上記母粒子に対して、この粒子を1〜3
wt%程度混入する。
【0018】次に、図3に示すように、このようにして
形成された母粒子2と子粒子3とによりカプセル粒子4
を形成する。このカプセル粒子4は、母粒子の周囲に子
粒子3が付着した状態であり、静電付着法、機械的衝撃
法などの周知技術を用いて形成することができる。この
ようにカプセル化するには、例えば、母粒子2としての
α相FeSi2粉末の粒径を1〜10μm程度に形成
し、子粒子3としての銅化合物粉末の粒径を母粒子2の
粒径に対して、例えば、十分の一から二十分の一程度に
小さく設定することが望ましい。このような粒径に形成
すると、焼結体の密度が上昇し、子粒子3としての銅化
合物粉末が母粒子2としてのα相FeSi2粉末の表面
に均一に分散されるからである。
【0019】そして、このように形成されたカプセル粒
子4を成形型(図示せず)内に収容し、これを、例えば
プラズマ焼結装置により980℃以上の温度で焼結固化
させる。本実施例にあっては、1100℃の温度で焼結
固化する。尚、本発明はこのプラズマ焼結法に限らず、
ホットプレス法などの他の焼結法を使用しても良く、焼
結法は通常の鉄珪化物熱電対を焼結する場合と同じであ
る。
【0020】このようにして製造した焼結体を放置して
冷却すれば、約800℃付近でα相からβ相に相転移し
た真性半導体としてのβ−FeSi2熱電材料が製造さ
れるものである。
【0021】次に、本実施例における作用を説明する。
【0022】上述のように、上記カプセル粒子4の母粒
子2は、MnまたはCoを添加することにより、p型ま
たはn型のα相FeSi2 粉末にて形成されている。一
方、上記カプセル粒子4の子粒子3は、CuO等の銅化
合物粉末により形成されている。このようなカプセル粒
子4を980℃以上の温度で焼結固化すると、図4に示
すように、約720℃付近でα相からβ相への相転移が
起こり、さらに約980℃付近でβ相からα相への相転
移が起こる。そして、980℃以上の温度から徐々に冷
却していくと、約800℃付近で再びα相からβ相への
相転移して復元性が起こる。尚、α相FeSi2 粉末
CuO等の銅化合物粉末を添加しない場合には980
℃以上の温度から冷却してもα相からβ相への相転移は
起こらず、常温ではα相FeSi2しか得られない。
【0023】上記CuO,Cu2O及びCu(i−OC3
72等の銅化合物粉末は、約1080℃付近で還元反
応を起こす。例えばCuOの場合、図5に示すように、
約1080℃付近で2CuO→Cu2O+Oの還元反応
が起こる。従って、冷却時における約800℃付近での
α相からβ相への復元は、この還元反応がトリガーとな
って生じるものと考えられる。すなわち、母粒子2とし
てのα相FeSi2 粉末に、子粒子3としての銅化合物
粉末を混入することにより、980℃以上の温度で焼結
固化しても、常温でβ相FeSi2を得ることができ
る。その結果、焼結体の材料密度を向上させることがで
き、その熱電特性を向上させることが出来るものであ
る。
【0024】このように、α相FeSi2 粉末に銅化合
粉末を混入することによる作用効果は、重量・示差熱
分析機(TG−DTA)による熱分析により実際に確認
することができた。すなわち、準安定状態のα相FeS
2粉末のみの場合と、準安定状態のα相FeSi2粉末
に1〜3wt%のCuO粉末をカプセル化した場合との
二種について、約1100℃で焼結固化後、放置して冷
却を行った。その結果、昇温時には、両者とも約720
℃付近でα相からβ相への相転移のピークが確認され、
さらに約980℃付近でβ相からα相への相転移のピー
クが確認された。しかし、降温時には後者には約800
℃付近でα相からβ相への相転移のピークが確認された
が、前者にはピークは確認されなかった。そして、常温
で両者の焼結体をX線解析により分析した結果、前者の
焼結体はα相であったが、後者の焼結体はβ相であっ
た。つまり、後者は980℃以上の高温に晒されても、
一端はα相になるが、降温時にβ相に戻ることになる。
そして、CuO,Cu2Oについても、同様の作用効果
を確認することができた。
【0025】また、準安定状態のα相FeSi2粉末の
みではβ相からのα相へ相転移してしまう温度である1
030℃(980℃+50℃)で、準安定状態のα相F
eSi2粉末に1〜3wt%のCuO粉末を混入してカ
プセル化し、実際に焼結固化を行った結果、常温でβ相
FeSi2を得ることができ、又、クラック等の欠陥が
無く十分緻密で、熱電特性に優れた焼結体を得ることが
できた。
【0026】このように、焼結体の材料密度を向上させ
てもクラック等の欠陥の発生が無いのは、焼結体のβ−
FeSi2の粒界に銅化合物が介在するからである。す
なわち、銅化合物粉末無添加のFeSi2 粉末の焼結体
の粒界には、SiO2アモルファス層が介在し、これが
様々な方向を向いた結晶粒の内部応力緩和の作用を促し
ていると考えられる。しかし実際にはSiO2アモルフ
ァス層のみでは内部応力を緩和することはできず、図6
に示すように、銅化合物粉末を添加して粒界に介在させ
ることで、その緩和力が増し、焼結体の材料密度を向上
させても、クラック等の欠陥の発生を防止することがで
きる。尚、この焼結体のβ−FeSi2粒界に銅化合物
粉末を均等に介在させるには、PAS(プラズマ)焼結
法により焼結固化を行うことが最良である。すなわち、
図7に示すように、矢印の方向に圧力を加えると、焼結
粒は横に潰れた状態となり、圧力方向に略垂直な電流が
流れ難く、その界面を流れようとする。このため、子粒
子3としての銅化合物粉末がβ−FeSi2の粒界に均
等に介在し易くなるものである。
【0027】また、従来の製造方法により製造した熱電
材料を熱発電素子として構成する場合は、約980℃付
近でβ相からα相への相転移が起こるので、熱発電素子
を980℃以上の温度で使用することはできない。しか
し、本実施例の製造方法により製造した熱電材料を熱発
電素子として構成する場合は、980℃以上の温度で使
用しても、約800℃付近まで降温すれば、相転移を起
こしてα相からβ相へ復元するので、熱発電素子を98
0℃以上の温度まで昇温することが可能であり、これに
より温度差を大きくとることができ、起電力を多く取り
出すことができるものである。
【0028】次に、請求項に記載した第の発明の一
実施例について説明する。
【0029】先ず、上記方法で得られたアトマイズ粉で
ある準安定状態のα−FeSi2 粉末を母粒子とし、こ
のα−FeSi2 粉末に対して、それぞれ子粒子として
Au粉末、Cu粉末を用い、それぞれ2wt%ずつ乳バ
チを用いてカプセル化し、2種類のカプセル化材を形成
した。次に、これら2種類のカプセル化材を重量・示差
熱分析器(TG−DTA)にかけ、大気中で20℃/m
inの昇温速度で1100℃まで昇温した後、20℃/
minの降温速度で400℃まで降温してから、そのま
ま常温まで放冷して降温した。
【0030】そして、これらカプセル化材の特性をそれ
ぞれ調べたところ、いずれも昇温時700℃付近で準安
定状態のα相からβ相への相転移による発熱ピークが、
また、980℃付近でβ相からα相への吸熱ピークが見
られたが、Cuカプセル化材は990℃付近が酸化と思
われる発熱ピークがみられ、この時点からTGが約7w
t%増加したのに対し、Auカプセル化材はこの様な現
象は見られなかった。また、常温にしたこれらのカプセ
ル化材をX線解析により分析したところ、酸化と思われ
る発熱ピークがみられたCuカプセル化材ではFeSi
2以外に酸化物SiO2とFeSiが確認された。これは
DTAのピークは酸化によるものと判断され、また、F
eSi2+O2→SiO2+FeSiの反応が起き、この
反応が促進されるのにCuが触媒として作用しているも
のと思われる。一方、Auカプセル化材ではSiO2
みられず、FeSi2のみであり、殆ど酸化は皆無であ
った。
【0031】このように、本発明は子粒子として銅化合
物粉末に代えてAu粉末を用いることにより、酸化を未
然に防止することができ、しかも、銅化合物粉末と同様
な復元性及び熱電特性を得ることができるため、大気中
使用の頻度、信頼性が向上する。尚、実際に、このAu
カプセル化材をPAS焼結した場合は大気に接触する面
積が粉末より極めて小さいため、前述したような酸化に
より重量が増加することはなく、十分使用することが可
能であるが、本発明では製造コストが高価になるものの
上述したような酸化が殆ど無いため、より優れた熱電効
果を得ることができる。
【0032】
【発明の効果】以上述べたように、本発明に係る熱電材
料の製造方法によれば、焼結体の材料密度を向上させ
て、その熱電特性を向上させることができ、且つ、クラ
ック等の欠陥の発生を防止することができ、また、子粒
子にAu粉末を用いることにより、銅化合物粉末を用い
た効果に加えて、高温酸化を防止することが可能とな
、信頼性が更に向上する等といった優れた効果を発揮
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一及び第二の発明に係る熱電材料の製造方法
の一実施例を示すチャート図である。
【図2】本実施例の熱電材料の製造方法に使用するガス
アトマイズ粉末成形法を示し、(a)はルツボ内におけ
る原料混入の説明図、(b)は高周波溶融の説明図、
(c)はアトマイズ粉末の噴霧状態の説明図である。
【図3】本実施例におけるカプセル粒子を示す概略図で
ある。
【図4】FeSi2の相転移を示す説明図である。
【図5】CuOの熱的性質を示す説明図である。
【図6】β−FeSi2と同化合物との固化状態を示す
説明図である。
【図7】プラズマ焼結法における電流の流れを示す説明
図である。
【符号の説明】
2 母粒子 3 子粒子 4 カプセル粒子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥村 英二 神奈川県藤沢市土棚8番地 株式会社い すゞ中央研究所内 (72)発明者 瀧田 茂生 神奈川県藤沢市土棚8番地 株式会社い すゞ中央研究所内 (72)発明者 小川 誠 神奈川県藤沢市土棚8番地 株式会社い すゞ中央研究所内 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 35/14 H01L 35/34 B01J 13/00 C01B 33/06

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 p型またはn型に調整したα相FeSi
    2 粉末を母粒子とし、銅化合物粉末を子粒子としてカプ
    セル粒子を形成し、該カプセル粒子を980℃以上の温
    度で焼結固化するようにしたことを特徴とする熱電材料
    の製造方法。
  2. 【請求項2】 p型またはn型に調整したα相FeSi
    2 粉末を母粒子とし、Au粉末を子粒子としてカプセル
    粒子を形成し、該カプセル粒子を980℃以上の温度で
    焼結固化するようにしたことを特徴とする熱電材料の製
    造方法。
  3. 【請求項3】 上記子粒子が、母粒子に対して1〜3w
    t%混入される請求項1又は2記載の熱電材料の製造方
    法。
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